DE1623128A1 - Einrichtung zur lichtelektrischen Dicken- oder Abstandsmessung optisch abgebildeter Objekte - Google Patents

Einrichtung zur lichtelektrischen Dicken- oder Abstandsmessung optisch abgebildeter Objekte

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DE1623128A1 DE19671623128 DE1623128A DE1623128A1 DE 1623128 A1 DE1623128 A1 DE 1623128A1 DE 19671623128 DE19671623128 DE 19671623128 DE 1623128 A DE1623128 A DE 1623128A DE 1623128 A1 DE1623128 A1 DE 1623128A1
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Description

  • Einrichtung zur lichtelektrischen Dicken- oder Abstandsmessung optisch abgebildeter Objekte.
  • Es sind Anordnungen zur berührungslosen Dickenmessung von Drähten, Bändern u.dgl. bekannt, bei denen das Messobjekt abgebilde und fotoelektrisch gemessen wird, und zwar derart, dass die Kon turen des Prüflings mit einem bewegten Lichtstrahl abgetastet und mittels geeigneter elektrotechnischer Schaltungen als phasenverschobene, diskrete Impulse dargestellt werden. Ferner sind Einrichtungen vorgeschlagen worden, bei denen die von einer Lichtquelle abgestrahlte, von einem Fotoelement empfangene Energie teilweise durch den Prttfling absorbiert und die Empfängerspannung als eine der Objektdicke propottionale Mesegrösse dargestellt wird, Dartiber hinaus wurden Verfahren vorgeschlagen, bei denen zur berührungslosen Messung die optisch abgebildeten Objekte durch mit bekannter Geschwindigkeit über die Abbildung bewegte Schlitz blenden fotoelektrisch abgetastet werden. Die der Dicke des Mess objektes entsprechende Zeitdauer beim Ueberstreichen der Abbildung wird dabei mit Hilfe eines Stromtores ausgezählt, Die Lösungen nach der Intensitäts- oder Phasenmessmethode sind für die extrem genaue Messung grdsserer, schwer zugänglicher Objekte nicht brauchbar. Auch führen die bekannten lageabhängigen optischen Systeme mit rotierendem Lichtstrahl oder rotierendem Empfänger aus physikalischen und technischen Grtinden, s,B, bei der auf l µm genauen Messung eines Walzspaltes, nicht zum Erfolg. So wird etwa bei der bekannten Abtastanordnung mit einer n-eckigen, rotierenden Spiegelsäule der Lichtstrahl nicht mit konstanter Geschwindigkeit Über das Objekt geführt, so dass eine aufwendige und wegen der Lageabhängigkeit schwierige Fehlerkorrektur unerlässlich ist. Ueberdies ist es bei den bekannten Systemen nicht gelungen, den schädlichen Einfluss der Randeffekte bei einer Messwegauflösung von rund 10-4 und einer Ansprechempfindlichkeit von 1/1000 mm sicher zu beherrschen.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die erwähnten Schwierigkeiten und Nachteile bekannter Messanordnungen zu vermeiden. Sie betrifft eine Einrichtung zur lichtelektrischen Dicken- oder Abstandsmessung optisch abgebildeter Objekte mit einer mittels eines Kondensors in einem Objektiv abgebildeten Lichtquelle und einem beleuchtungsseitig wr dem Lichtempfänger angeordneten, eine Relativbewegung quer zur Abbildungsachse ausführenden Blendensystem. Eine solche Einrichtung ist erfindungsgemäss dadurch gekennzeichnet, dass die optische Anordnung so getroffen ist, dass ein im Strahlengang vor dem Objektiv befindliches, mit der zu messenden Dimension parallel zur genannten Bewegung ausgerichtetes Objekt auf einem in der Bildebene der Anordnung angebrachten Fotoelement eine unbewegt von Schattenrisslinien begrenzte Hellzone von der genannten Dimension proportionaler Breite ausblendet, dass das Blendensyol stem einen vor dem Fotoelement beweglich geführten Blendenkörper enthält, welcher eine oder mehrere gleichartige, einander nicht überlappende Blendenöffnungen aufweist, um bei der Bewegung jeweils während einer der Hellzonenbreite proportionalen Zeitspanne das fotoelement zur Belichtung freizugeben, und dass der Ausgang des Fotoelementes Über einen Schwellwertdiskriminator (Trigger) mit einem Tor verbunden ist, um in Abhängigkeit von der Dauer des getriggerten Fotostromes den Durchlass von Taktimpulsen von einem Impulsgenerator auf eine dem Tor na@@-geschaltete Zählvorrichtung zu steuern.
  • Mit einer solchen neuartigen Einrichtung kann bei einer nur Mässig vergrösserten Abbildung der Messstrecke auf dem dem@ wotoelement unmittelbar vorgelagerten Blendenträger eine beträchtliche. Wegauflösung praktisch fehlerfrei erreicht werden.
  • Fortschrittlich und von grossem Nutzen ist dabei gegenüber bekannten Verfahren, dass auch bei sehr schnell veränderlichen Messgronsen innerhalb weniger Millisekunden, die Vorschubgeschwindigkeit des Blendensystems bzw. -antriebes sehr niedrig gehalten werden kann und ihre effektive Grösse bei Gleichlauf mit dem als Zeitbasisgeber dienenden Impulsgenerator ohne Einfluss auf die Messgenauigkeit ist. Ist beispielsweise bei einem Kaltbandwalzwerk die Exzentrizität des mit höherer Drehzahl rotierenden Walzenpaares im Walzspalt zu messen und zu regeln, so sind bei einer Messwegauflösung von etwa 1 µm ungefähr 300 Messungen pro Stützwalzenumlauf vorzunehmen. Bei den üblichen Abmessungen solcher Anlagen erfordert dies etwa 400 Messungen pro Sekunde. Wollte man diese Tastfrequenz mit einer der bekannten Einrichtungen einhalten, so müsste die Drehzahl des betreffenden optischen Systems, dessen Abtaststrahl (Fahrstrahl) eine kreisförmige Fokallinie beschreibt, etwa 24 000 Umläufe pro Minute betragen. Es ist jedoch bekannt, dass die Unwucht und Eigenvibration solcher rotierenden Anordnungen eine Messung im Mikrometerbereich nicht zulässt.
  • Demgegenüber braucht mit der erfindungsgemässen Einrichtung die Vorschubgeschwindigkeit bei der gleichen vorgenannten Wegauf lösung und Uastfrequenz nur ungefAhr 1 m/s zu betragen. Diesd Vorschubgeschwindigkeit bedingt, auch bei kleinerem Durchmesser der Antriebstrommel, lediglich eine Drehzahl von rd. 375 U/min, also eine 64-fach kleinere Tourenzahl.
  • Nachstehend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert, und zwar zeigt Fig'l die schematische optische Abbildung einer Messstrecke be a) der Dickenmessung b) der Abstandsmessung Fig. 2 die schematische Ausführung eines fotoelektrischen Messkopfes in a)- der Seitenansicht b) der Stirnansicht, Fig. 3 das elektrische Signal am Fotoempfänger bei a) der Dickenmessung b) der Abstandsmessung, Fig. 4 das Wirkschaltbild der Messwertverarbeitung bei einer Walzspaltmessung.
  • Für das Verständnis der nachfolgenden Erläuterungen sei noch darauf hingewiesen, dass der für das Messverfahren benötigte telezentrische Strahlengang mit bekannten Mittel der geometrischen Optik erzeugt wird, wobei in bekannter Weise die Ebene einer Oeffnungsblende in der (Mess-) Ebene eines Prüflings und dieser in einer Bildebene (Empfängerebene) abgebildet wird.
  • Es zeigt Fig. 1 die schematischen Anordnungen für die Messung eines Körpers und eines Abstandes zweier Körper. In Fig. la wird das Messobjekt 1, das sich in der Messebene 2 befindet, mit Hilfe der Strahlen 3 so in eine Bildebene 4 projiziert, dass eine unterbrochene Hell-Dunkelzone 5-6 ensteht. In Fig. lb wird der Abstand zweier Walzen 8' und 8'' als Lichtband so auf dem (hier nicht dargestellten) Fotoempfänger in der Bildebene 4 abgebildet, dass ausser einer messlängenabhängigen Hellzonet7 eine dazu korrespondierende Dunkelzone entsteht.
  • Die Ausführung des eigentlichen Messaufnehmers ist in Fig. 2 skiziert. Das von einer nicht dargestellten Optikauf den Messaufnehmer geleitete und zu messende Lichtband 3 trifft senkrecht auf das über die Rollen 9, 10 und 11 geführte und angetriebene Blendenband 12, dessen Blendenfenster 13', 13'' usw., durch die über einen nicht gezeigten Motor angetriebene Trommel 11 gleiclförmig über das Fotoelement 14 gleiten. Gemäss der Beziehung s= v t (mit s=Weg bzw. Hellzonenbreite, v=Blendengeschwindigkeit und t=Belichtungsdauer) wird dabei die Messstrecke durch eine Zeitspanne dargestellt, und zwar in Form eines zeitabhängigen Spannungssprunges an dem belichteten und unbelichteten Fotoelement. Die Blenden'bffnungen oder die auf dem Ilendenträger zusätzlich angebrachten Fenster 15', l5'1, usw. gestatten darüber hinaus, in Verbindung mit einer Lichtquelle 16 und einer Fotodiode 17, die Steuerung (Uebertragung Löschung usw.) des diskontinuierlich gewonnenen Messwertes.
  • Die in Fig. 3 dargestellten Diagramme zeigen die am fotoelement auftretenden zeitlichen Spannungs änderungen, insbesondere jene, die durch die Randeffekte verursacht werden (Verzerrungen bzw.
  • Rauschspannungen). Wie das Diagramm erkennen lässt, bewirkt die den Messwert verfälschende Unsicherheitszone 20-21 bzw.
  • 30-31 für den Impulsanstieg, und 22-23 bzw. 32-33 für den Impulsabfall, je nach Lichtintensität einen gegenüber dem exakten Zeitmesswert 23-20 mit dem zugehörigen Schwellwert 24 (bei der Dickenmessung) bzw. einen gegenu.er dem exakten Zeitmesswert 30-33 mit dem zugehörigen Schwellwert 34 (bei der Abstandsmessung) verschobenen Zeitwert 21 und 22 bzw. 31 und 32 mit dem reproduzierbaren Grenzspannungswert 25 bzw. 35.
  • Der Einfluss dieser Unsicherheitszone wird dadurch eliminiert, dass durch geeignete Massnahmen die maximale Amplitude des Eingangseignais mit dem Wert 27 bzw. 37 gemessen und konstant gehalten, und sowohl der Anstieg als der Abfall des längenproportionalen Impulses reproduzierbar fixiert wird. Für die Messung der Impulsbreite bzw. Weglänge sind bei derart ausgeführten Messeinrichtungen die Schwellwerte 26 bzw. 36 zu den Zeiten 28 und 29 bei der Dickenmessung bzw. 38 und 39 bei der Abstandsmessung verbindlich. Die von der jeweiligen Messlänge unabhängige und reproduzierbare Zeitdifferenz 28-23 und 20-29 bzw. 30-38 und 39-33, beziehungsweise die diesen Zeiten entsprechenden Weglängen (Dicken oder Abständen) werden bei der Messwertverarbeitung durch eine einetellbare konetante Korrek turlänge bzw. Zeitdauer (Impulszahl) berücksichtigt, und zwar subtraktiv oder additiv.
  • In Fig. 4 ist das vereinfachte komplette Wirkschaltbild einer Abatandsmesseinrichtung gemäß der Erfindung dargestellt.
  • Die mit Hilfe eines Regelverstärkers 40 auf konstante Lichtintensität am Fotoelement 45 geregelte Glihlampe 41 bildet mittels dem optischen System 43 den Spalt (Abstand) der Walzen 44 in der Ebene des Blenträgers 46 ab. Die mit Hilfe des Antriebsrades 47 und dem Motor 48 gleichförmig über das Fotoelement geführten Schlitze 13 (in Fig. 2) belichten dabei, abhängig von der abgebildeten Lichtbandbreite (Hellzone) in der Blendenebene, das Fotoelement 45 und erzeugen an diesem einen Spannungsverlauf Je Schlitz ähnlich Fig. 3b. Der jeweilige Über den Verstärker 49 an den Diskriminator (Trigger) 50 geleitete Impuls öffnet beim Erreichen des Schwellwertes 36 (in Fig. 3b) und schliesst bei dem Wert 39 das Tor 51. Die kontinuierlich vom Generator 52 an das Tor 51 gelieferten Zeitbasisimpulse bilden somit die für die Auflösung der Lichtbandbreite erforderlichen Zeitmarken, die das Tor 51 solange passieren, wie es vom Diskriminator 50 offen-gehalten wird. Die vom Generator 52 über eine einstellbare Untersetzung 56 gelieferte Wechselspannung synchronisiert dabei über den Antriebsmotor 48 den Vorschub des Schlitzbandes (Blendenträgers) 12 (in Fig. 2) mit der Zeitbasis, so dass gemäss 9 = k/v . i/u die Aenderung der Zeitmarkenfrequenz bzw. des Vorschubes auf die Messgenauigkeit ohne Einfluss ist. Hierbei berechnet sich 5 = v . t = k/2 . i/ü mit k = D /p sowie ii = t/T und es bedeuten s = Messstrecke v = Blendengeschwindigkeit t = Belichtungsdauer k = Gerätekonstante mit der Polpaarzahl p des Blendenmotors Q = Abbildungsmassstab (optische Vergrösserung) ü = Zeit- bzw. Frequenzübersetzung mit t = Motorperiode und T Generatorperiode i = Anzahl der gemessenen Impulsa Weiterhin werden die am Ausgang von Tor 51 austretenden, zunächst noch fehlerbehafteten wegproportionalen Zeitmarken (Impulse) uber ein Messglied (Zeit- oder Impulszähler) 53 mit einstellbarer Zeitverzögerung (Vorwahl), sowie parallel dazu direkt auf ein nachgeschaltetes Tor 54 geführt. Die aufgrund der endlichen Breite (Oeffnung) des Blendenschlitzes (13 in Fig0 2b) und infolge der Schwellwert-Zeitverschiebung (Anstiegs- und Abfallflanken des Fotostromes gem. Fig. 3b) vorzunehmende Zeit- bzw. Wegkorrektur, wird mit Hilfe der genannten Geräte (53 und 54) derart vorgenommen, dass das Tor 54 - und damit die Weiterleitung der Messimpulse - solange von dem Zeitmessglied 53 gesperrt wird, bis der exakte Zeit-Nullwert bzw. die exakte äquivalente Messstrecken-Impulszahl erreicht ist. Die das Tor 54 passierenden Impulse werden in der nachgeschalteten Integrationseinheit (z eS repetierender Impulszähler) 55 gespeichert und angezeigt, wobei der Messsyklus, der nicht nur die eigentlichen Messzeiten je Schlitz, sondern auch die Löschung und gegebenenfalls den Uebertrag bzw. die Weiterleitung det Messwerte an eine nicht dargestellte Regeleinrichtung einschliesst, durch die Steuersehlitze 15 oder die Blendenschlitze 13 (in Fig. 2) bestimmt wird.

Claims (1)

  1. Patentansprüche 1. Einrichtung zur lichtelektrischen Dicken- oder Abstandsmessung optisch abgebildeter Objekte, mit einer mittels eines Kondensors in einem Objektiv abgebildeten Lichtquelle und einem beleuchtungsseitig vor dem Lichtempfänger angeordneten, eine Relativbewegung quer zur Abbildungsachse ausführenden Blendensystem, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Anordnung so getroffen ist, dass ein im Strahlengang (3) vor dem Objektiv (43"') befindliches, mit der zu messenden Dimension parallel zur genannten Bewegung ausgerichtetes Objekt ( 1 bzw. 8'/8") auf einem in der Bildebene (4) der Anordnung angebrachten Fotoelement (14) eine unbewegte, von Schattenrisslinien begrenzte Hell 1 zone (7) von der genannten Dimension proportionaler Breite ausblendet, dass das Blendensystem einen vor dem Fotoelement (14) beweglich geführten Blendenkörper (12 bzw. 46) enthält, welcher eine oder mehrere gleichartige, einander nicht überlappende Blendenöffnungen (13) aufweist, um bei der Bewegung jeweils während einer der Hellzonenbreite (7) proportionalen Zeitspanne (30-33) das Potoelement (14) zur Belichtung freizugeben, und dass der Ausgang des Fotoelementes über einen Schwellwertdiskriminator (Trigger) (50) mit einem Tpr (51) verbunden ist, um in Abhängigkeit von der Diuer (38-39) des getriggerten Potostromes den Durchiass von Ttimpulsen von einem Impulsgenerator (52) auf eine dem Tor nachgeschaltete Zählvorrichtung (55) zu steuern, 2. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekerrnzeichnet, dass mit dem genannten, als Zeitbasisgeber dienenden Impulsgenerator (52) ein den Blendenkörper (46) antreibender Elektromotor (48) synchronisiert ist.
    3. Einrichtung nach Patentanspruch 1, gekemlzeichnet durch eine Regeleinrichtung (40) zur Konstanthaltung des das Objekt beleuchtenden Lichtstromes (3) 4. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem genannten Tor (51) ein zweites Tor (54) nachgeschaltet ist, von welchem ein erster Eingang direkt und ein weiterer Einging über einen Vorwahlzähler (53) mit dem Ausgang des ersten Tores (51) verbunden sind, um die Weiterleitung von Impulsen durch das zweite, vom Vorwahlzähler (53) gesteuerte Tor (54) hindurch nach einem in Wegeinheiten geeichten Impulszähler (55) solange zu sperren, bis der Vorwahlzähler (53) eine einstellbare, die Breite der Blendenöffnungen und den Schwellwert (30-38 und 39) des Diskriminators (so) berücksichtigende Impulszahl erreicht hat, 5. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweites, von einer Lichtquelle (16) durch die Blendenöffnungen (13 oder 15) hindurch beleuchtetes Fotoelement (17) vorhanden ist, um entsprechend der Bewegung des Blendenkörpers (12 bzw 46) elektrische Impulse zur zyklisch wiederholten Steuerung des Zählvorganges fiir jede Blendenöffnung zu erzeugen.
    6. Einrichtung nach Patentanspruch 1, gekennzeichnet durch optische Ptittel (43) zur konturenscharf vergrösserten Abbildung der Schattenr isslinien.
    7. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Lichtquelle (4ir ein Laser verwendet ist.
    L e e r s e i t e
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