DE1522489A1 - Verfahren zur Bestrahlung von Werkstuecksoberflaechen durch Masken hindurch und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Bestrahlung von Werkstuecksoberflaechen durch Masken hindurch und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens

Info

Publication number
DE1522489A1
DE1522489A1 DE19661522489 DE1522489A DE1522489A1 DE 1522489 A1 DE1522489 A1 DE 1522489A1 DE 19661522489 DE19661522489 DE 19661522489 DE 1522489 A DE1522489 A DE 1522489A DE 1522489 A1 DE1522489 A1 DE 1522489A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
workpiece
masks
mask
irradiation
radiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19661522489
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Luderus Francois Jacques
De La Court Albert Willem
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of DE1522489A1 publication Critical patent/DE1522489A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/22Exposing sequentially with the same light pattern different positions of the same surface
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/08Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B27/00Photographic printing apparatus
    • G03B27/02Exposure apparatus for contact printing
    • G03B27/14Details
    • G03B27/28Edge-masking devices

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Weting (AREA)
DE19661522489 1965-05-24 1966-05-11 Verfahren zur Bestrahlung von Werkstuecksoberflaechen durch Masken hindurch und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens Pending DE1522489A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL6506544A NL138864B (nl) 1965-05-24 1965-05-24 Werkwijze en inrichting voor het belichten van een prismatisch werkstuk via patroonmaskers, en werkstuk,in het bijzonder afdrukwiel, vervaardigd met behulp van deze werkwijze.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1522489A1 true DE1522489A1 (de) 1969-08-28

Family

ID=19793210

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19661522489 Pending DE1522489A1 (de) 1965-05-24 1966-05-11 Verfahren zur Bestrahlung von Werkstuecksoberflaechen durch Masken hindurch und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE1522489A1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
FR (1) FR1480735A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
GB (1) GB1093328A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
NL (1) NL138864B (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)

Also Published As

Publication number Publication date
GB1093328A (en) 1967-11-29
NL138864B (nl) 1973-05-15
NL6506544A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) 1966-11-25
FR1480735A (fr) 1967-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2626216B1 (de) Verfahren zur Bearbeitung einer strukturierten Oberfläche eines Prägewerkzeugs und das Prägewerkzeug
DE60030138T3 (de) Nichteisenenthaltende/ferromagnetische, laminierte stempel für graphischen druck und herstellungsverfahren dafür
DE3307171C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
DE69424806T2 (de) Vorrichtung zur Herstellung von Stempeln
DE2628099A1 (de) Verfahren zum herstellen einer maske
DE3533290A1 (de) Verfahren zur herstellung von unterdruck-gleitstuecken
DE19542658A1 (de) Integrierte Formeinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
DE2706947B2 (de) Verfahren und Druckwalzeneinrichtung zur Herstellung von Prägegravuren auf großformatigen Preßplatten für Kunststoffplattenpressen durch Auftragen einer Ätzreserve
EP0103217A2 (de) Brillenlinse mit Kennzeichnung und/oder Markierung und Verfahren zur Herstellung der Kennzeichnung und/oder Markierung
EP0340448A2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Grundplatte mit durch Ätzen hergestellte Einarbeitung für einen Tintendruckkopf
DE1522489A1 (de) Verfahren zur Bestrahlung von Werkstuecksoberflaechen durch Masken hindurch und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
DE1145458B (de) Verfahren zur Herstellung von metallischen Aufdampf- und Legierungsmasken fuer Halbleiteranordnungen
CH624504A5 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
DE69508705T2 (de) Stiftfreie Dünnschicht für eine permanente Form für eine Düsenöffnungsplatte
DE2838632A1 (de) Verfahren zum herstellen reliefartiger muster auf metalloberflaechen
DE102023002812B3 (de) Tauschbare Muster in Vorrichtung für Metallic-Lackschicht auf Kunststoff-Bauteil
AT204635B (de) Einrichtung zum Anbringen einer stroboskopischen Strichteilung am Umfang von Zähler-Läuferscheiben
DE2536723A1 (de) Verfahren zur herstellung eines zifferblattes oder schildes
DE1652311B1 (de) Vorrichtung zum Praegen von Schriftzeichen od.dgl. in einen Kunststoffstreifen
DE102005005124B4 (de) Verfahren zur Ausrichtung einer Vielzahl von Substraten auf eine Belichtungsmaske
DE2728256A1 (de) Werkzeug zum elektro-chemischen bezeichnen einer metallischen oberflaeche
DE463314C (de) Verfahren zur Herstellung von Mustern auf Metallwalzen oder -platten fuer das Bedrucken von Textilstoffen
EP0101406B1 (de) Zeichengerät zum Verschieben von technischen Zeichenhilfsmitteln
DE394450C (de) Vorrichtung zum Schablonieren von Gussformen
DE1652311C (de) Vorrichtung zum Prägen von Schrift zeichen oder dergleichen in einen Kunst stoffstreifen