DE1521294B2 - METHOD AND DEVICE FOR THE PRODUCTION OF SWITCHING CONTACT - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf die Anwendung eines an sich bekannten Verfahrens der chemischen Umwandlung gasförmiger Verbindungen zum Aufbringen von hochschmelzendem elektrisch leitendem Stoff auf ein Grundmaterial aus Metall mit für die elektrische Stromleitung erforderlichen mechanischen, elektrischen und/oder magnetischen Eigenschaften und eine Vorrichtung zur Durchführung des angewandten Verfahrens zur Herstellung von Schaltkontakten. The invention relates to the use of a known chemical method Conversion of gaseous compounds for the application of refractory electrically conductive Substance on a base material made of metal with the mechanical, electrical and / or magnetic properties and a device for carrying out the applied Process for the production of switch contacts.
Kontaktfedern werden für elektrische Schaltkontakte, beispielsweise an Relais, benötigt. Die Kontaktfedern bewegen sich entweder über eine mechanische Verbindung oder unmittelbar im magnetischen Feld und stellen über ein an dem Federmaterial anhaftendes Kontaktmaterial sowie über ein zumeist gleichförmig ausgebildetes weiteres Kontaktglied eine elektrische Verbindung her. Charakteristisch für Kontaktfedern ist, daß sie einer Dauerbelastung unterworfen werden und einer großen Schalthäufigkeit ausgesetzt sind. Von den elektrischen Kontakten wird verlangt, daß sie gute federnde und gute Kontakteigenschaften haben. Das im allgemeinen verwendete hochwertige teure Kontaktmaterial soll in dünner Schicht gut haftend mit dem federnden Material verbunden sein und das sogenannte Kontaktverschweißen verhindern.Contact springs are required for electrical switching contacts, for example on relays. the Contact springs move either via a mechanical connection or directly in a magnetic connection Field and set a contact material adhering to the spring material as well as a mostly uniformly formed further contact member establishes an electrical connection. It is characteristic of contact springs that they are subject to constant load are subject to and are exposed to a high switching frequency. From the electric Contacts are required to have good resilience and good contact properties. That in general The high-quality, expensive contact material used should adhere well to the resilient layer in a thin layer Material be connected and prevent the so-called contact welding.
Im allgemeinen bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zum Beschichten bereits ausgestanzter Federn oder von bandförmigem Grundmaterial als Trägermetall, vorzugsweise einem Federmaterial, wie.. beispielsweise einer Eisen-Nickel-Legierung, Neusilber oder Messing oder einem Bronzematerial oder einem reinen Metall, wie Kupfer, Silber oder Nickel. Nach dem Beschichten wird das bandförmige Grundmaterial zu elektrischen Kontaktfedern verarbeitet. Es ist hierfür bekannt, nur einen begrenzten Streifen der Oberfläche des bandförmigen Grundmaterials mit dem hochwertigen Kontaktmaterial zu beschichten. Die Kontaktfedern werden nach dem Beschichten aus dem Bandmaterial ausgestanzt, so daß sich die Kontaktschicht nur auf der Stelle der Kontaktfeder befindet, an welcher eine lösbare elektrische Verbindung hergestellt wird. Diese bewährte Methode läßt sich auch für das Verfahren nach der Erfindung anwenden. Insbesondere ist es nach wie vor möglich, das bandförmige Material zum Beschichtungsvorgang auf einen leicht konisch ausgebildeten Zylinder spiralig aufzuwickeln, so daß eine Selbstabdeckung erfolgt, bei welcher nur der zu beschichtende Streifen des Bandes frei bleibt.In general, the invention relates to a method for coating already punched out Springs or of strip-shaped base material as a carrier metal, preferably a spring material, such as .. for example an iron-nickel alloy, nickel silver or brass or a bronze material or a pure metal such as copper, silver or nickel. After coating, the strip-shaped base material becomes processed into electrical contact springs. It is known to have only a limited strip to coat the surface of the strip-shaped base material with the high-quality contact material. The contact springs are punched out of the strip material after coating, so that the Contact layer is only located on the point of the contact spring at which a releasable electrical connection will be produced. This proven method can also be used for the method according to the invention. In particular, it is still possible to use the strip-shaped material for the coating process wind up spirally on a slightly conical cylinder so that self-covering takes place, in which only the strip of the tape to be coated remains free.
Zur Beschichtung aus der Gasphase ist ein Abscheidungsverfahren bekannt, bei dem Molybdän, Wolfram und Rhenium sowie Karbide und Boride dieser Metalle durch Umwandlung gasförmiger Verbindungen niedergeschlagen werden.A deposition process is known for coating from the gas phase in which molybdenum, Tungsten and rhenium as well as carbides and borides of these metals by converting gaseous compounds get knocked down.
Für das Aufdampfen von elektrischem Kontaktmaterial auf die Unterlage eignen sich insbesondere Edelmetalle, die allerdings die elektrische Kontaktherstellung wesentlich verteuern. Es ist deshalb auch schon versucht worden, hochschmelzende Metalle, wie Molybdän oder Wolfram, als elektrische Kontaktschicht entweder im Walzplattierverfahren oder durch Bedampfen aufzubringen. Beim Walzplattieren entsteht aber eine ungünstige Textur in Längsrichtung des Bandmaterials, die selbstverständlich auch auf der aus dem Bandmaterial gestanzten fertigen elektrischen Kontaktfeder auftritt. Ein weiterer Nachteil ist dadurch gegeben, daß sich hochschmelzende Metalle nicht beliebig dünn auswalzen lassen. Auch dem Bedampfen mit hochschmelzenden Metallen stehen Schwierigkeiten entgegen, da diese Metalle durch Elektronenstrahlerhitzung verdampft werden und die dazu erforderlichen hohen Temperaturen zu starken Energieverlusten durch Leitung und Strahlung sowie zu unerwünscht hoher Erwärmung des Grundmetalls führen.For the vapor deposition of electrical contact material on the base are particularly suitable Precious metals, which, however, make electrical contacts much more expensive. It is therefore also Attempts have already been made to use refractory metals such as molybdenum or tungsten as an electrical contact layer to be applied either by roll cladding or by vapor deposition. When roll cladding arises but an unfavorable texture in the longitudinal direction of the tape material, which of course also occurs the finished electrical contact spring stamped from the strip material occurs. Another disadvantage is given by the fact that refractory metals cannot be rolled out as thinly as desired. Even that Vapor deposition with refractory metals are difficult because these metals get through Electron beam heating to be evaporated and the high temperatures required to strong Energy losses through conduction and radiation as well as undesirably high heating of the base metal to lead.
ίο Ferner ist ein Verfahren zur Herstellung von Überzügen auf elektrisch leitenden Drähten, Federn oder Bändern durch Abscheiden des Uberzugstoffes aus der dampfförmigen chemischen Verbindung auf die erhitzten Grundkörper bekannt. Für die Herstellung der zusammenhängenden Schicht auf dem erhitzten Grundkörper werden dampfförmige Halogenverbindungen von Metallen oder anderen Elementen benutzt. ίο There is also a process for the production of coatings on electrically conductive wires, springs or tapes by depositing the coating material the chemical compound in vapor form on the heated body is known. For the production of the coherent layer on the heated base are vaporous halogen compounds used by metals or other elements.
Bei einem weiteren Verfahren zum Niederschlagen von Metallen, die vorzugsweise einen hohen Schmelzpunkt besitzen, auf eine Formunterlage wird dieselbe nach Abschluß des Niederschlagvorgangs entfernt. .(Jr, Der auf diese Weise erhaltene Metallgegenstand besteht nur aus den niedergeschlagenen Metallschichten.In another method of depositing metals, preferably a high melting point have, on a form pad, the same is removed after the precipitation process is complete. . (Jr, The metal object obtained in this way consists only of the deposited metal layers.
Es ist schließlich auch bekannt, Schichten elektrolytisch aufzubringen, wobei jedoch dieses chemische Verfahren nicht die Verarbeitung hochschmelzender Metalle zuläßt. .Finally, it is also known to apply layers electrolytically, but this is done chemically Process does not allow the processing of refractory metals. .
Obwohl die Anwendung der chemischen Umwandlung in der Beschichtungstechnik an und für sich bekannt ist, sind derartige Verfahren noch nicht für die Herstellung von elektrischen Schaltkontakten ausgenutzt worden. .Although the application of chemical conversion in coating technology in and of itself is known, such methods are not yet for the production of electrical switch contacts been exploited. .
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, durch die Anwendung eines an sich bekannten Verfahrens der chemischen Umwandlung gasförmiger Verbindungen elektrische Schaltkontakte mit günstigen mechanischen und elektrischen Kontakteigenschaften und langer Lebensdauer zu schaffen.It is the object of the present invention, by using a method known per se the chemical conversion of gaseous compounds electrical switching contacts with favorable mechanical and electrical contact properties and a long service life.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß das beschichtete Grundmaterial für elektrische Schaltkontakte Beschichtungskomponenten aus Molybdän, Wolfram, Rhenium oder Platinmetallen oder Molyb- /. dän-Rhenium-Wolfram-Rhenium- oder Rhenium-Iridium-Legierungen bzw. Molybdän- oder Wolframkarbide oder Molybdän- oder Wolframboride enthält. Bei dem Verfahren werden störende Restgase durch vorangehendes Evakuieren des Reaktionskessels entfernt. Dieses Verfahren ermöglicht eine wirtschaftliche Beschichtung von Ausgangsmaterial für die Herstellung leistungsfähiger elektrischer Schaltkontakte. Es werden neue Werkstoffkombinationen ermöglicht, da nunmehr-Materialien als Kontaktschicht aufgebracht werden können, die gute Kontakteigenschaften gewährleisten, welche aber bislang keine Anwendung finden konnten, weil kein zufriedenstellendes Verfahren zum Aufbringen auf das Grundmaterial zur Verfügung stand. Die Beschichtung haftet sehr gut an der Unterlage, und das beschichtete Bandmaterial zeichnet sich durch Duktilität aus, welche Bearbeitungsschwierigkeiten ausschließt. This object is achieved in that the coated base material for electrical switching contacts Coating components made of molybdenum, tungsten, rhenium or platinum metals or molybdenum /. Danish-rhenium-tungsten-rhenium or rhenium-iridium alloys or contains molybdenum or tungsten carbides or molybdenum or tungsten borides. In the process, disruptive residual gases are released removed by prior evacuation of the reaction vessel. This procedure enables a economical coating of raw material for the production of powerful electrical Switch contacts. New combinations of materials are made possible because now-materials as Contact layer can be applied that ensure good contact properties, but which so far could not be used because no satisfactory method of application the basic material was available. The coating adheres very well to the base, and that coated strip material is characterized by ductility, which eliminates processing difficulties.
Im einzelnen erfolgt die chemische Umwandlung durch thermische Dissoziation an dem erhitzten Grundmaterial. Zu diesem Zweck wird das Grundmaterial auf die erforderliche Umwandlungstemperatur erhitzt. Läßt das Grundmaterial die Anwen-. dung dieser Technik nicht zu, dann kann die chemi-In detail, the chemical conversion takes place through thermal dissociation on the heated one Base material. For this purpose, the base material is brought to the required transformation temperature heated. Lets the basic material apply. If this technology is not used, then the chemical
sehe Umwandlung auch im Hochfrequenzfeld erfolgen. Hierbei kann das Verfahren vorteilhafterweise so ausgebaut werden, daß durch das Hochfrequenzfeld, welches für die Dissoziation sorgt, zugleich die Erhitzung des Grundmaterials als Kondensationsfläche für die Abscheidungskomponente erfolgt.see conversion also take place in the high-frequency field. Here, the method can be advantageous are expanded in such a way that the high-frequency field, which causes the dissociation, also causes the The base material is heated as a condensation surface for the deposition component.
Die chemische Umwandlung kann auch im heißen Plasmastrahl erfolgen. In gewissen Fällen läßt sich vorteilhafterweise ein katalytischer Effekt, der vom Grundmaterial ausgeht, ausnutzen. Das Abscheiden der Beschichtungskomponenten wird hierbei durch eine Keimbildungs- oder katalytische Wirkung des als Kondensationsfläche dienenden Grundmaterials begünstigt.The chemical conversion can also take place in a hot plasma jet. In certain cases advantageously utilize a catalytic effect emanating from the base material. The deposit the coating components is hereby a nucleation or catalytic effect of the The base material used as a condensation surface is favored.
Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist im wesentlichen bei allen Materialien dieselbe. Das aufgewickelte bandförmige Grundmaterial auf einer Trommel ist gegenüber einer oder mehreren Zersetzungsquellen axial beweglich, oder im umgekehrten Fall sind eine oder mehrere Zersetzungsquellen gegenüber einer in axialer Richtung ortsfesten Trommel axial beweglich.The apparatus for performing the method is essentially the same for all materials. The wound band-shaped base material on a drum is opposite one or more Decomposition sources are axially movable, or, in the opposite case, one or more decomposition sources are stationary relative to one in the axial direction Axial movement of the drum.
Nach dem Verfahren entsteht eine Kontaktfeder aus einem.federnden Grundmaterial mit einer Kontaktschicht aus Molybdän, Wolfram, Rhenium oder einem Platinmetall oder einer Legierung, einem Borid oder Karbid der vorgenannten Metalle in einer Stärke zwischen 0,5 und 50 μΐη.According to the process, a contact spring is created from a springy base material with a contact layer made of molybdenum, tungsten, rhenium or a platinum metal or an alloy, a Boride or carbide of the aforementioned metals in a thickness between 0.5 and 50 μm.
Durch die Anwendung der chemischen Umwandlung lassen sich hochschmelzende Materialien mit niedrigem Dampfdruck einfacher verarbeiten als nach den bisherigen für die Kontaktfederherstellung üblichen Verfahren. So lassen sich beispielsweise reine Metalle, wie Molybdän, Wolfram, Rhenium, Osmium, Iridium oder Rhodium, ohne Schwierigkeiten niederschlagen. Darüber hinaus ist es auch möglich, Legierungen der vorgenannten Stoffe auf die Unterlage aufzubringen.By applying chemical conversion, high-melting materials can be used lower vapor pressure than the previous ones for the manufacture of contact springs usual procedures. For example, pure metals such as molybdenum, tungsten, rhenium, Osmium, iridium or rhodium, precipitate without difficulty. In addition, it is too possible to apply alloys of the aforementioned substances to the substrate.
Bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens ergibt sich insbesondere der Vorteil, daß das Dendritenwachstum senkrecht zur Kontaktfläche, also parallel zu den Stromlinien eines elektrischen Schaltkontaktes, günstige Kontakteigenschaften schafft.When using the method according to the invention there is the particular advantage that the Dendrite growth perpendicular to the contact surface, i.e. parallel to the streamlines of an electrical switching contact, creates favorable contact properties.
Die Erfindung wird an Hand der Bechreibung der Zeichnung und der Angabe von Beispielen näher erläutert.The invention is explained in more detail on the basis of the description of the drawing and the indication of examples explained.
In der Zeichnung ist als Prinzipskizze eine Reaktionskammer 10 dargestellt, in welcher sich eine Trommel 12 befindet, die mit bandförmigem Unterlagematerial 14 spiralig umwickelt ist. Die Trommel 12 ist axial gelagert und wird von einem Motor 16 in Drehung versetzt. Außerdem läßt sich die Trommel 12 in Richtung der Pfeile 18 axial in der Kammer verschieben.A reaction chamber is shown as a schematic diagram in the drawing 10 shown, in which a drum 12 is located, which is covered with tape-shaped base material 14 is wrapped spirally. The drum 12 is axially supported and is driven by a motor 16 set in rotation. In addition, the drum 12 can be axially in the chamber in the direction of the arrows 18 move.
Die Kammer ist luftdicht verschlossen und weist einen mit einer nicht dargestellten Pumpe versehenen Absauganschluß 20 auf. Der Druck im Innenraum läßt sich durch ein Meßinstrument 22 überwachen.The chamber is hermetically sealed and has a pump which is not shown Suction connection 20 on. The pressure in the interior can be monitored by a measuring instrument 22.
Im linken Teil (links neben der senkrecht gestrichelten Linie) ist für eine chemische Zersetzung
im Plasmabrenner beispielhaft ein einzelner Plasmabrenner 24 angegeben. Der Plasmabrenner kann mit
Gleichstrom oder Hochfrequenz betrieben werden. Der Plasmabogen brennt zwischen einer wassergekühlten
nicht dargestellten Kathode und einer ebenfalls wassergekühlten Anode 26. Die Anode 26
ist durchbohrt und weist einen Anschluß 28 für ein Betriebsgas, beispielsweise Wasserstoff, auf. Ein weiterer
Kanal, beispielsweise ein Kanal 30, kann der Zuführung eines weiteren Arbeitsgases dienen. Die
gasförmige Reaktionskomponente wird über eine Leitung 32 in den heißen Plasmastrahl gebracht. Der
zugeführte Stoff zersetzt sich in diesem Strahl, in dem eine Temperatur von etwa 3000° C herrscht, und
die Niederschlagskomponente schlägt sich auf. der Trommeloberfläche nieder, auf der eine Temperatur
zwischen 150 und 500° C je nach dem zu beschichtenden Material herrscht. Die Temperatur auf der
Trommeloberfiäche kann durch einen Flüssigkeitsstrom durch Kanäle in der Trommel oder durch auf
die Trommel aufgelötete Rohre geregelt werden.
In der praktischen Ausführung sind mehrere Plasmabrenner 24 gegenüber der sich drehenden
Trommel angeordnet. Außerdem wird durch die axiale Bewegbarkeit der Trommel 12 dafür gesorgt,
daß ein gleichmäßiger Belag auf der Unterlage entsteht. In the left part (to the left of the vertical dashed line), a single plasma torch 24 is indicated as an example for chemical decomposition in the plasma torch. The plasma torch can be operated with direct current or high frequency. The plasma arc burns between a water-cooled cathode, not shown, and a likewise water-cooled anode 26. The anode 26 is drilled through and has a connection 28 for an operating gas, for example hydrogen. Another channel, for example a channel 30, can serve to supply a further working gas. The gaseous reaction component is brought into the hot plasma jet via a line 32. The supplied substance decomposes in this jet, in which there is a temperature of around 3000 ° C, and the precipitation component strikes. the drum surface, on which there is a temperature between 150 and 500 ° C depending on the material to be coated. The temperature on the drum surface can be controlled by a flow of liquid through channels in the drum or by tubes soldered onto the drum.
In the practical embodiment, several plasma torches 24 are arranged opposite the rotating drum. In addition, the axial mobility of the drum 12 ensures that a uniform coating is created on the base.
Im rechten Teil der Zeichnung ist schematisch eine Anordnung für die Zersetzung im Hochfrequenzfeld angedeutet. Die Reaktionskomponente oder die Reaktionskomponenten werden über Zuleitungen 34, 36 und 38 in die Kammer 10 eingeleitet. Die Trommel 12 bewegt sich zwischen Hochfrequenzelektroden 40, die an einen Hochfrequenzgenerator 42 angeschlossen sind. Außer den Reaktionskomponenten wird in nicht dargestellter Weise über eine getrennte Zuleitung ein Reaktionsgas, beispielsweise Wasserstoff, in die Kammer 10 eingeleitet. Im Hochfrequenzfeld zwischen den Elektroden 40, die zugleich der Aufheizung der Schichten 14 auf der Trommel 12 dienen können, zerfällt die Reaktionskomponente so, daß der Belagstoff auf die Unterlage 14 gelangt, während die frei werdenden Stoffe durch das Reaktionsgas gebunden und in nicht dargestellter Weise abgeleitet werden.In the right part of the drawing is a schematic arrangement for the decomposition in the high-frequency field indicated. The reaction component or the reaction components are supplied via feed lines 34, 36 and 38 introduced into the chamber 10. The drum 12 moves between high frequency electrodes 40, which are connected to a high-frequency generator 42. Except for the reaction components a reaction gas, for example hydrogen, is in a manner not shown via a separate supply line, introduced into the chamber 10. In the high-frequency field between the electrodes 40, which at the same time the Heating of the layers 14 on the drum 12 can serve, the reaction component disintegrates so, that the covering material reaches the base 14, while the released substances through the reaction gas bound and derived in a manner not shown.
Es folgen einige Beispiele, in den die Reaktionskomponenten, die sich zur Durchführung des Ver- fahrens eignen, näher angegeben sind. Bei hohen Umwandlungstemperaturen eignen sich besonders das Hochfrequenz- und das Plasmaverfahren, da in beiden Fällen Zersetzung und Kondensation an getrennten Orten stattfinden.The following are some examples in which the reaction components that are used to carry out the process driving suit, are specified in more detail. At high transition temperatures are particularly suitable the high-frequency and plasma processes, since in both cases decomposition and condensation occur separately Places take place.
Ein Band aus einer Eisen-Nickel-Legierung als Unterlage 14 soll eine Kontaktschicht aus Molybdän erhalten. Das Molybdän gewinnt man bei 500 bis 1100° C nach Zersetzung von Molybdän-Chlorid (MoClr) mit Wasserstoff (H2) als Reduktionsmittel. Der Gesamtgasdruck beträgt etwa 1 Atmosphäre. Auf dem Eisen-Nickel-Band schlägt sich Molybdän (Mo) in gewünschter Schichtstärke nieder, und in der Kammer 10 fällt Salzsäure (HCl) an, die aus diesem Grunde säurefest ausgekleidet sein muß. Beim folgenden Beispiel ist dies nicht erforderlich.A strip made of an iron-nickel alloy as a base 14 is to receive a contact layer made of molybdenum. The molybdenum is obtained at 500 to 1100 ° C after the decomposition of molybdenum chloride (MoCl r ) with hydrogen (H 2 ) as a reducing agent. The total gas pressure is approximately 1 atmosphere. Molybdenum (Mo) is deposited in the desired layer thickness on the iron-nickel strip, and hydrochloric acid (HCl) is obtained in chamber 10, which for this reason must be lined with an acid-proof coating. This is not necessary in the following example.
Ein Metallband wie im Beispiel I soll ebenfalls mit Molybdän beschichtet werden, wobei der metallhaltige Ausgangsstoff Molybdän-Karbonyl (Mo(CO)6) und das Transportmittel Wasserstoff (H2) ist. Das Karbonyl zerfällt bei 450 bis 750° C, und der Gesamtdruck ist kleiner als 0,75 mm.A metal strip as in Example I is also to be coated with molybdenum, the metal-containing starting material being molybdenum carbonyl (Mo (CO) 6 ) and the transport medium being hydrogen (H 2 ). The carbonyl breaks down at 450 to 750 ° C and the total pressure is less than 0.75 mm.
Beispiel ΙΠExample ΙΠ
Das Metallband soll mit Wolfram beschichtet werden. Als Ausgangsmaterial wird Wolfram-Chlorid (WCl6) und als Reduktionsmittel Wasserstoff (H?) benutzt. Die Zerfallstemperatur beträgt 500 bis 1100° C und der Gesamtdruck 1 Atmosphäre. Wegen des Anfalls von Salzsäure (HCl) muß die Kammer 10 säurefest ausgekleidet sein. Diese Schwierigkeit läßt sich durch die Anwendung von Wolfram-Karbonyl (W(CO)6) umgehen.The metal strip is to be coated with tungsten. Tungsten chloride (WCl 6 ) is used as the starting material and hydrogen (H ? ) As a reducing agent. The decomposition temperature is 500 to 1100 ° C and the total pressure is 1 atmosphere. Because of the accumulation of hydrochloric acid (HCl), the chamber 10 must be lined with acid-proof. This difficulty can be avoided by using tungsten carbonyl (W (CO) 6 ).
Für die Beschichtung mit Rhenium wird als Ausgangsmaterial Rhenium-Chlorid (ReCl3) benutzt, wobei als Transportgas zusätzlich Stickstoff (N2) zuzugeben ist. Die Zerfallstemperatur beträgt 600 bis 1100° C und der Gesamtgasdruck etwa 1 Atmosphäre. Rhenium chloride (ReCl 3 ) is used as the starting material for coating with rhenium , with nitrogen (N 2 ) also having to be added as a transport gas. The decomposition temperature is 600 to 1100 ° C and the total gas pressure is about 1 atmosphere.
Auf dem Metallband soll ein Karbid, beispielsweise Molybdän-Karbid, aufgeschichtet werden. Aus den Komponenten Molybdän (Mo) und Methan (CH4) entsteht unter Wasserstoffatmosphäre (H2) bei etwa 700° C und 1 Atmosphäre Molybdän-Karbid (MoC). Bei einer erhöhten Temperatur, bei etwa 800° C, kann auch eine zweiwertige Bindung (Mo2C) entstehen.A carbide, for example molybdenum carbide, is intended to be stacked on the metal strip. Molybdenum carbide (MoC) is formed from the components molybdenum (Mo) and methane (CH 4 ) under a hydrogen atmosphere (H 2 ) at around 700 ° C and 1 atmosphere. At an elevated temperature, around 800 ° C, a divalent bond (Mo 2 C) can also be formed.
Für die Herstellung eines Wolfram-Borid-Überzuges wird Wolfram zusammen mit Bortrichlorid (BCl3) in eine Wasserstoff atmosphäre (H,) eingebracht. Es entsteht Wolfram-Borid bei Ϊ800 bis 2000° C und einem Gesamtgasdruck von 1 Atmosphäre, das dann bei tieferer Temperatur auf dem Metallband niedergeschlagen wird. Im Reaktionsgefäß fällt Salzsäure an. For the production of a tungsten-boride coating, tungsten is introduced into a hydrogen atmosphere (H,) together with boron trichloride (BCl 3). Tungsten boride is formed at Ϊ800 to 2000 ° C and a total gas pressure of 1 atmosphere, which is then deposited on the metal strip at a lower temperature. Hydrochloric acid is obtained in the reaction vessel.
Claims (8)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEH0061403 | 1966-12-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1521294A1 DE1521294A1 (en) | 1969-08-07 |
DE1521294B2 true DE1521294B2 (en) | 1971-12-09 |
Family
ID=7161387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19661521294 Pending DE1521294B2 (en) | 1966-12-24 | 1966-12-24 | METHOD AND DEVICE FOR THE PRODUCTION OF SWITCHING CONTACT |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
AT (1) | AT284253B (en) |
DE (1) | DE1521294B2 (en) |
FR (1) | FR1547994A (en) |
GB (1) | GB1217845A (en) |
NL (1) | NL6717448A (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4205763A1 (en) * | 1992-02-25 | 1993-08-26 | Siemens Ag | SILVER-BASED SINTER CONTACT MATERIAL FOR USE IN SWITCHGEAR OF ENERGY TECHNOLOGY |
-
1966
- 1966-12-24 DE DE19661521294 patent/DE1521294B2/en active Pending
-
1967
- 1967-11-07 AT AT1003567A patent/AT284253B/en not_active IP Right Cessation
- 1967-11-29 GB GB54398/67A patent/GB1217845A/en not_active Expired
- 1967-12-15 FR FR132384A patent/FR1547994A/en not_active Expired
- 1967-12-21 NL NL6717448A patent/NL6717448A/xx unknown
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Publication number | Publication date |
---|---|
FR1547994A (en) | 1968-11-29 |
AT284253B (en) | 1970-09-10 |
GB1217845A (en) | 1970-12-31 |
NL6717448A (en) | 1968-06-25 |
DE1521294A1 (en) | 1969-08-07 |
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