DE1473412A1

DE1473412A1 - Electric micromanometer for absolute measurement of differential pressures

Info

Publication number: DE1473412A1
Application number: DE19641473412
Authority: DE
Inventors: Paffrath Dipl-Phys Dieter; Dahlem Dipl-Phys Theodor
Original assignee: VERSUCHSANSTALT F LUFT U RAUMF
Current assignee: VERSUCHSANSTALT F LUFT U RAUMF
Priority date: 1964-07-23
Filing date: 1964-07-23
Publication date: 1968-11-07

Description

Elektrisches Mikromanometer zur AbsolutElectric micromanometer for the absolute

Dr. Expl.Dr. Expl.

messung von Differenzdruckenmeasurement of differential pressures

Geräte zur Absolutmessung kleiner Differenzdrucke, als Mikromanometer bezeichnet, sind bekannt« Die Meßempfindlichkeit wird bei ihnen im allgemeinen dadurch erzielt, daß ein U-Rohrmanometer verwendet wird, bei dem einer seiner Schenkel um einen bestimmten Winkel gegen die Vertikale geneigt ist. Die Empfindlichkeit ist theoretisch um so größer, je kleiner der Neigungswinkel gegen die Horizontale ist. Geräte dieser Bauart weisen jedoch in der Praxis wesentliche Mangel auf.Devices for the absolute measurement of small differential pressures, known as micromanometers, are known generally achieved in them that a U-tube manometer is used, in which one of its legs around a certain Angle is inclined to the vertical. Theoretically, the sensitivity is greater, the smaller the angle of inclination against the Horizontal is. However, devices of this type have significant shortcomings in practice.

Verwendet man als Meßflüssigkeit eine benetzende Flüssigkeit, so hat dies zur Folge, daß bei Schrägstellung des Schenkelrohres der Meniskus um so stärker verformt wird, je größer der Neigungswinkel gewählt wird. Damit ist eine erhebliche Ungenauigkeit in der Ablesung verbunden. Man kann zwar durch Wahl kleinerer Rohrquerschnitte diesen Mangel in gewissem Maße beheben, es treten jedoch dann den Druckkräften entgegengesetzte Kräfte (Kapillarkräfte, Reibungskräfte) merklich in Erscheinung, die nicht nur eine erhebliche Trägheit der Meßanzeige bewirken, sondern auch noch die Reproduzierbarkeit des Nullpunktes beeinträchtigen. Das nicht netzende Quecksilber ist als Meßflüssigkeit infolge seiner hohen Dichte und seiner anderen unangenehmen Eigenschaften für den vorgesehenen Meßzweck nicht geeignet. Die Erfahrung lehrt, daß Messungen von Differenzdrucken unter 1 mm Wassersäule mit den bisher bekannten Mikromanometern mit großen Schwierigkeiten verbunden sind.If a wetting liquid is used as the measuring liquid, so This has the consequence that when the leg tube is inclined, the greater the angle of inclination, the more the meniscus is deformed is chosen. This is associated with a considerable inaccuracy in the reading. You can by choosing smaller pipe cross-sections to remedy this deficiency to a certain extent, but then forces opposing the compressive forces occur (capillary forces, frictional forces) noticeable in appearance, which is not only a significant indolence of the Cause measurement display, but also impair the reproducibility of the zero point. Mercury non-wetting is as Measuring liquid not suitable for the intended measuring purpose due to its high density and other unpleasant properties. Experience shows that measurements of differential pressures below 1 mm water column with the previously known micromanometers with large Difficulties are associated.

Vorliegender Erfindung liegt zugrunde, ein Mikromanometer zu entwickeln, welches frei ist von den oben beschriebenen Mängeln und ermöglicht, Differenzdrucke, die weit unter 1 mm Wassersäule liegen, reproduzierbar zu messen. Das erfindungsgemäße Mikromanometer zur Abeolutmessung von Differenzdrucken ist dadurch gekennzeichnet, daß sich in der Nähe der Oberfläche der in einem U-Rohr befindlichen Flüssigkeitssäule ein in eine Meßbrücke geschalteter elektrischer Widerstand befindet, dessen Größe von der Höhe der Flüssigkeitssäule und damit von der Druckdifferenz abhängt und der mit einer Gewindespindel F verbunden ist, deren Achse die Riohtung der Längenänderung der Flüssigkeitssäule hat und daß die mit einer Höhenänderung des Flüseigkeitespiegels verbundene elektrische Gleichgewichtsänderung mit Hilfe einer an sich bekannten elektrischen Meßbrücke durch eine entsprechende Drehung der Gewindespindel kompensiert werden kann, wobei die mit dieser Drehung verbundene axiale Verschiebung der Spindel der Höhenänderung des Flüseigkeitsspiegels entspricht und damit ein Maß für die Druckdifferenz ist.The present invention is based on developing a micromanometer which is free from the deficiencies described above and enables differential pressures that are far below 1 mm water column, to measure reproducibly. The micromanometer according to the invention for Abeolut measurement of differential pressures is characterized in that In the vicinity of the surface of the liquid column located in a U-tube, an electrical resistance connected to a measuring bridge is located, the size of which depends on the height of the liquid column and thus on the pressure difference and which is connected to a threaded spindle F, the axis of which has the Riohtung the change in length of the liquid column and that the electrical balance change associated with a change in height of the liquid level with the help of a known electrical measuring bridge can be compensated by a corresponding rotation of the threaded spindle, the with this Rotation-related axial displacement of the spindle corresponds to the change in height of the liquid level and is therefore a measure of the pressure difference.

Me Erfindung soll nun an Hand der Abb. 1 bis 6 näher erläutert werden. A"bb.1 zeigt den schematischen Aufbau des erfindungsgemäßen Meßgerätes. Es ist im Prinzip ein U-Rohrmanometer mit vertikalen Sehenkeln A ' und Ap, die über das Gefäß B miteinander verbunden sind, über die beiden Rohrstutzen C₁ und C- wird das Manometer mit den Meßorten verbundeil.The invention will now be explained in more detail with reference to FIGS. A "bb.1 shows the schematic structure of the measuring device according to the invention. In principle, it is a U-tube manometer with vertical strands A 'and Ap, which are connected to one another via the vessel B, and the manometer becomes the manometer _{via the two pipe sockets C 1 and C-} verbundeil with the measuring locations.

Ia Deckel D des Rohres A₁ befindet sich eine gasdichte Stopfbuchse E, durch die eine Gewindespindel F geführt ist. Diese kann mit Hilfe der Händelscheibe G in ihrer Höhe verstellt werden, und die Höhenverstellung kann an dem gegen die Rändelsoheibe G verstellbaren Skalenring H mit Hilfe der Schneide J abgelesen werden. Auf dem Gefäß B ist einIa cover D of the pipe A ₁ is a gas-tight stuffing box E through which a threaded spindle F is guided. The height of this can be adjusted with the help of the Handel disk G, and the height adjustment can be read off the scale ring H, which can be adjusted against the knurled base G, with the aid of the cutting edge J. On the vessel B is a

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Entlüftungsrohr K angebracht. Die Meßflüssigkeit wird über den RohrstutEen C₁ eingefüllt und kann mittels der Entleerungeschraube L abgelassen werden. Der Meßfühler^ M ist an der Gewindespindel F angebracht. Je nach Art bzw. Funktion des verwendeten Meßfühlers bieten eich folgende vier Möglichkeiten an, die Differenz der Höhe des FlÜBSigkeitsspiegele im Rohr A₁ gegen den im Rohr A₂ zu bestimmen, die in den Detailabbildungen 2 bis 5 dargestellt sind.Vent pipe K attached. The measuring liquid is filled in via the pipe socket C ₁ and can be drained off using the drain screw L. The sensor ^ M is attached to the threaded spindle F. Depending on the type or function of the sensor used, the following four options are available to determine the difference between the height of the liquid level in pipe A ₁ and that in pipe A ₂ , which are shown in the detailed figures 2 to 5.

Capacitive sensor

Der Meßfühler besteht aus einem Plattenkondensator (vgl. hierzu Detailabb. 2), dessen untere Platte N₁ von dem Schwimmer 0 getragen wird, der in der Meßflüssigkeit schwimmt und dessen obere Platte N₂ an der Gewindespindel F aufgehängt ist. Durch das Gefäß B führt eine Drahtlocke P als elektrische Zuleitung zur Platte N₁* Der Schwimmer besitzt eine möglichst tiefe Schwerpunktslage, womit eine horizontale Lage der Kondensatorplatte N₁ gewährleistet ist. Damit die Berührungsfläche zwischen dem Rand der Platte N₁ und der Wand des Rohres A₁ möglichst klein und damit auch die Haftreibung möglichst klein gehalten wird, sind am Plattenrand vier Distanzstifte Q₁, Q₂, Q^ und Q^ angebracht. Die Platte N₁ hat in ihrer Mitte eine feine Bohrung R, so daß im Innern des Schwimmers 0 stets der gleiche Druck herrscht, wie im Innern des Rohres A... Um eine horizontale Lage der Platte N₂ und damit die Parallelität zur Platte N₁ zu erzielen und zwar weitgehend unabhängig von der Lage des Manometers, ist die Platte N₂ pendelartig an der Gewindespindel F aufgehängt. Die Aufhängung erfolgt durch eine feingliedrige Kette S, weil die von ihr auf die Platte N_g wirkenden Rückstellkräfte praktisch gleich Null sind. Die Befestigung der Kette S am oberen Ende des in das Plattenzentrum fest eingefügtenThe sensor consists of a plate capacitor (cf. detail Fig. 2), the lower plate N ₁ of which is carried by the float 0, which floats in the measuring liquid and the upper plate N ₂ of which is suspended from the threaded spindle F. Through the vessel B wire Locke P supplied as electrical supply lead to the plate N ₁ * The float has a lowest possible center of gravity, whereby a horizontal position of the capacitor plate N is ensured. ₁ So that the contact area between the edge of the plate N ₁ and the wall of the pipe A _{1 is kept} as small as possible and the static friction is kept as small as possible, four spacer pins Q ₁ , Q ₂ , Q ^ and Q ^ are attached to the edge of the plate. The plate ₁ has a fine bore N R, so that in the interior of the float 0 always prevails in the center thereof, the same pressure as inside the pipe A ... At a horizontal position of the plate ₂ N, and thus the parallelism to the plate N ₁ , largely independent of the position of the pressure gauge, the plate N _{2 is} suspended from the threaded spindle F in a pendulum-like manner. The suspension is carried out by a finely linked chain S because the restoring forces acting _{on the plate N g are practically zero.} The attachment of the chain S at the upper end of the firmly inserted into the plate center

Stiftes T gewährleistet einen möglichst großen Abstand des Piatten-Schwerpunktes vom Aufhängepunkt und damit eine horizontale Lage der Platte N₂.Pin T ensures the greatest possible distance between the center of gravity of the plate and the suspension point and thus a horizontal position of the plate N ₂ .

Die elektrische Zuleitung zur Platte N_ erfolgt über die Gewindespindel F. Zur Überwindung der an sich schon geringen Haftkräfte zwischen den Distanzstiften Q₁, Q_, Q,, Qj, und der Wand des Rohres A₁ ist an Gehäuse B ein Vibrator U, z.B. ein elektrischer Summer, angebracht.The electrical supply to the plate N_ takes place via the threaded spindle F. To overcome the already low adhesive forces between the spacer pins Q ₁ , Q_, Q ,, Qj, and the wall of the pipe A ₁ , a vibrator U, e.g. a vibrator, is attached to housing B. electric buzzer attached.

Die Wirkungsweise der Anordnung ist folgende:The mode of operation of the arrangement is as follows:

Der Kondensator (N₁, N_) wird über seine elektrischen Zuleitungen als kapazitiver Widerstand in eine an sich bekannte Wechselstrommeßbrücke geschaltet. Bei dem Differenzdruck A ρ - 0 wird ein beliebiger Plattenabstand zwischen N₁ und N_ eingestellt, der zur Erzielung hoher Meßgenauigkeit nicht zu groß zu wählen ist. Damit ist die Anfangskapazität des Kondensators (N₁, N) festgelegt und die Meßbrücke wird auf den Zeigerausschlag Null am Brückeninstrument abgeglichen« Der Skalenring H an der Rändelscheibe G ist ebenfalls auf den Wert Null einzustellen. Wird auf die Rohrstutzen C₁ und C_ ein DifferenzdruckA ρ ^ 0 gegeben, so ändert sich die Höhenlage des Schwimmers 0 und damit der Plattenabstand N₁ - N_, was wegen der damit verbundenen Kapazitätsänderung einen endlichen Zeigerausschlag am Brückeninstrument zur Folge hat. Es ergeben sich nun zwei Möglichkeiten der Messung des Differenzdruckes:The capacitor (N ₁ , N_) is connected via its electrical leads as a capacitive resistor in an alternating current measuring bridge known per se. At the differential pressure A ρ - 0, any plate spacing between N ₁ and N_ is set, which should not be selected too large in order to achieve high measurement accuracy. This defines the initial capacitance of the capacitor (N ₁ , N) and the measuring bridge is adjusted to zero pointer deflection on the bridge instrument. If a differential pressure A ρ ^ 0 is applied to the pipe sockets C ₁ and C_, the height of the float 0 changes and thus the plate spacing N ₁ - N_, which results in a finite pointer deflection on the bridge instrument due to the associated change in capacitance. There are now two options for measuring the differential pressure:

Die erste besteht darin, daß man die Kapazität, die diesem Plattenabstand entspricht, durch Kompensation der Heßbrücke auf den Zeigerausschlag Null am Brückeninstrument bestimmt. Diese Meßmethode erfordert eine vorhergehende Eichung der Kapazität des Kondensators in Abhängigkeit vom Abstand seiner Platten.The first is that you get the capacity that this plate spacing is determined by compensating the Hess bridge to zero pointer deflection on the bridge instrument. This measurement method requires a previous calibration of the capacitance of the capacitor as a function of the distance between its plates.

! Die zweite Möglichkeit besteht darin, daß der infolge der Kapazitätsänderung am Brückeninstrument auftretende Zeigerausschlag durch Änderung des Abstandes der Platten des Kondensators (N^₁ N.) mit Hilfe der Gewindespindel F auf den Wert Null kompensiert wird, wobei die dem Differenzdruck ^l ρ = 0 zugehörige Anfangskapazität und damit der ursprüngliche Plattenabstand wieder eingestellt wird. Der Differenzdruck ύ ρ kann somit am Skalenring H der Rändelscheibe Q in Bruchteilen von Millimetern Meßflüssigkeitssäule direkt abgelesen werden· Eine vorhergehende Eichung des Gerätes ist also bei dieser Meßmethode nicht erforderlich·! The second possibility is that the pointer deflection that occurs as a result of the change in capacitance on the bridge instrument _{is compensated for by changing the distance between the plates of the capacitor (N ^ 1} N.) with the aid of the threaded spindle F, whereby the differential pressure ^ l ρ = 0 associated initial capacity and thus the original plate spacing is set again. The differential pressure ύ ρ can thus be read directly on the scale ring H of the knurled disk Q in fractions of a millimeter measuring liquid column.

Dielectric sensor

Der Meßfühler besteht aus einem Kondensator V, der an der Gewindespindel F befestigt ist und zum Teil mit seinen zur Oberfläche der Meßflüssigkeit senkrecht stehenden Belegungen in sie eintaucht, (Vgl. hierzu Detailabb. J>) Die elektrischen Zuleitungen sind gasdicht durch die Gewindespindel F zu den Belegungen geführt.The sensor consists of a capacitor V, which is attached to the threaded spindle F and partially immersed in it with its coverings that are perpendicular to the surface of the measuring liquid (cf. detail Fig. J>) the assignments.

Eine mit einer Druckänderung Δ ρ verbundene Höhenänderung der dielektrischen Flüssigkeitssäule ruft eine Kapazitätsänderung an dem in eine V/echselstrommeßbrücke als Widerstand geschalteten Kon-' densator und damit einen Ausschlag des Zeigers am Brückeninstrument hervor. Zur Messung der Druckdifferenz können die in den beiden vorangehenden Abschnitten näher beschriebenen Kompensationsmethoden angewendet werden.A change in height of the dielectric liquid column associated with a change in pressure Δ ρ causes a change in capacitance at the capacitor connected as a resistance to a V / echselstrommeßbrücke and thus a deflection of the pointer on the bridge instrument. The compensation methods described in more detail in the two preceding sections can be used to measure the pressure difference.

Inductive sensor

Der Meßfühler besteht aus einer an der Gewindespindel F befestigten Topfkernspule W, in deren Bohrung der auf dem Schwimmer O₁ angebrachteThe sensor consists of a pot core coil W attached to the threaded spindle F, in the bore of which the one on the float O ₁ is attached

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Eisenstift X eintaucht. (Vgl. hierzu Detailabb. h) Die elektrischen Zuleitungen erfolgen gasdicht durch die hohle Gewindespindel F. Der am Gehäuse B des Manometers angebrachte Vibrator U hat dabei die gleiche Aufgabe, wie der beim kapazitiven Fühler beschriebene Vibrator· Die Topfkernspule W ist als induktiver Widerstand in eine Wechsels trommeßbrücke geschaltet·Iron pin X is immersed. (See detail fig.h ) The electrical leads are gas-tight through the hollow threaded spindle F. The vibrator U attached to the housing B of the manometer has the same task as the vibrator described for the capacitive sensor.The pot core coil W is an inductive resistor in an alternating drum measuring bridge switched

Sine mit einer Druckdifferenz Δ ρ \ 0 verbundene HShenänderung des Schwimmers 0. und damit des Eisenstiftes X ruft in der Spule W eine Änderung ihres Selbstinduktions-Koeffizienten und damit eine Änderung ihres Wechselstromwiderstandes hervor, die sich als Zeigerausschlag am Brückeninstrument Museert, wobei zuvor bei der Druckdifferenz 4p 3 0 der Zeigerausschlag auf den Wert Null kompensiert wurde· Die Messung der Druckdifferenz erfolgt analog den beim kapazitiven Meßfühler beschriebenen Methoden, wobei an Stelle der Kapazität des Kondensators die Induktivität der Topfkernspule W tritt·The change in height of the float 0, associated with a pressure difference Δ ρ \ 0, and thus of the iron pin X, causes a change in its self-induction coefficient and thus a change in its alternating current resistance in the coil W, which changes as a pointer deflection on the bridge instrument Pressure difference 4p 3 0 the pointer deflection has been compensated to the value zeroThe measurement of the pressure difference is carried out in the same way as the methods described for the capacitive sensor, with the inductance of the pot core coil W taking the place of the capacitance of the capacitor

Fotoelektrischer MeßfühlerPhotoelectric probe

Der Meßfühler ist ein außerhalb des aus lichtdurchlässigem Material bestehenden Rohres A₁ über die Gewindespindel F beweglich angeordneter Schlitten Ϊ.. Er trägt auf der einen Seite einen Fotowiderstand oder eine sonstige lichtelektrische Einrichtung Y_? und dieser gegenüber eine Lichtquelle Y,. Im Innern des Rohres A₁ befindet sich der Schwimmer 0 , auf dem ein zylindrischer Körper Z₁ angeordnet ist, der in das von der Lichtquelle Y, durch die Blende Z_ auf den Fotowideretand oder die sonstige lichtelektrische Einrichtung. Y₂ fallende Lichtbündel teilweise eintaucht. (V^l. hierzu Detailabb. 5) D'ie Höhenlage des Schlittens und damit die des Lichtstrahles gegenüber der Höhenlage des Schwimmers kann über die Gewindespirale F verändertThe sensor is a slide Ϊ which is movably arranged outside of the tube A ₁ made of translucent material via the threaded spindle F. On one side it carries a photoresistor or some other photoelectric device Y _? and opposite a light source Y ,. Inside the tube A ₁ is the float 0, on which a cylindrical body Z _{1 is} arranged, which is drawn into the by the light source Y, through the aperture Z_ on the photoresistor or other photoelectric device. Y ₂ falling light beam is partially immersed. The height of the slide and thus that of the light beam in relation to the height of the float can be changed via the spiral thread F.

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werden» Dl· Gewindespindel F ist bei Verwendung des fotoelektrischen MeöfUhlere nicht in das Innere des Rohres A₁ geführt und die sonst erforderliche Stopfbuchse entfällt· Der Fotowiderstand oder die sonstige lichtelektrische Hinrichtung T_ ist als Widerstand in eine elektrische Meßbrücke geschaltet·when the photoelectric sensor is used, the threaded spindle F is not inserted into the inside of the pipe A ₁ and the otherwise required stuffing box is not required.

Beim Differenzdruok^ ρ ■ 0 wird die Meßbrücke auf den Zeigerausschlag Null abgeglichen· Eine mit einer Änderung des Differenzdruokes Δ ρ verbundene Höhenänderung des Flüssigkeitsspiegele oder des Schwimmers O₂ mit zylindrischem Körper Z. bewirkt eine Änderung der Größe der bestrahlten Fläche des Fotowiderstandes oder der sonstigen liohtelektrisohen Einrichtung Y_. Das hat eine Verschiebung des Gleichgewichtes der MeßbrUoke zur Folge· Die Messung des Differenzdruckes & ρ mittels Kompensation auf den Zeigerausschlag Hull am BrUckeninstrument kann wiederum nach den in den vorangehenden Abschnitten beschriebenen Kompensations-Methoden erfolgen·With the difference pressure ^ ρ ■ 0 the measuring bridge is adjusted to the pointer deflection zero · A change in the height of the liquid level or the float O ₂ with a cylindrical body Z associated with a change in the difference pressure Δ ρ causes a change in the size of the irradiated area of the photo resistor or other Liohtelektrisohen device Y_. This results in a shift in the equilibrium of the measuring bridge.The measurement of the differential pressure & ρ by means of compensation on the pointer deflection Hull on the bridge instrument can in turn be carried out using the compensation methods described in the previous sections.

Zum Schluß sei noch auf das Ergebnis einer überprüfung der Meßgenauigkeit des erfindungsgemäßen Mikromanometers, beispielsweise mit kapazitivem Meßfühler, hingewiesen· (Zur Erzeugung eines variablen Diffe· renzdruckes«d ρ wurde mittels Pumpe durch eine Düse Luft angesaugt.Finally, the result of a check of the measurement accuracy of the micromanometer according to the invention, for example with capacitive sensor, pointed out (to generate a variable difference air was sucked in through a nozzle by means of a pump.

Abb. 6 zeigt den gemessenen Differenzdruck Δ ρ in mm XthylenglykolsäuleFig. 6 shows the measured differential pressure Δ ρ in mm of ethylene glycol column

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als Funktion der Durchsatzgeschwindigkeit ν in m . h . Das Auflösungsvermögen dieser Meßanordnung lag bei 20M.Äthylenglykolsäule, dem entspricht in etwa 1|5m Quecksilbersäule.as a function of the throughput speed ν in m. H . The resolution of this measuring arrangement was 20M. Ethylene glycol column, the corresponds to about 1 | 5m of mercury.

Der quadratische Verlauf der Abb· 6 ist nicht eine Eigenschaft des Mikromanometers, sondern eine Eigenschaft der verwendeten Meßdüse. In dieser Anordnung ist also das Mikromanometer zur Bestimmung sehrThe quadratic shape of Fig. 6 is not a property of the Micromanometer, but a property of the measuring nozzle used. So in this arrangement, the micromanometer is very useful for determination

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kleiner Gasgeachwindigkeiten besonders geeignet· Dem angegebenen "Auflösungsvermögen" von 20 /*■ Äthylenglykolsäule entspricht eineparticularly suitable for low gas speeds · The specified "resolving power" of 20 / * ■ ethylene glycol column corresponds to a

—1
Gasgeschwindigkeit von 5 cm see im engsten Düsenquerschnitt·)-1
Gas velocity of 5 cm see in the narrowest nozzle cross-section ·)

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Claims

Dr. Expl. J claims

1) Micromanometer for the absolute measurement of differential pressures, characterized in that it is close to the surface the column of liquid in a U-bore has an electrical resistor connected to a measuring bridge, the size of which depends on the height of the liquid column and thus on the pressure difference and that with a threaded spindle F. is connected, the axis of which has the direction of the change in length of the liquid column and that with a change in height the electrical equilibrium change associated with the liquid level with the aid of an electrical measuring bridge known per se can be compensated by a corresponding rotation of the threaded spindle, the associated with this rotation axial displacement of the spindle corresponds to the change in height of the liquid level and thus a measure of the Pressure difference is.

2) micromanometer according to claim 1), characterized in that

the electrical resistance is formed by a plate capacitor (N ₁ , Ν.), one plate (N.) of which is parallel to the surface of the liquid and is carried by a float (0) that swims in the liquid, while the other plate (N ₂ ) is attached to the threaded spindle (F) parallel to the first, so that the capacitance of the capacitor (N., N_) and thus its alternating current resistance depend on the height of the liquid.

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pillar depends.

3) micromanometer according to claim 1), characterized in that the electrical resistance is formed by a capacitor (V) is, in which the change in resistance is caused by the fact that the dielectric fluid between its coatings rises or falls and thus the capacitance is changed via the dielectric constant and that the capacitor (V) is attached to the threaded spindle (F).

4) micromanometer according to claim 1), characterized in that the electrical resistance is formed by an inductive coil (W) connected to the threaded spindle (F), in the interior of which a metal pin (X) which rests on a float (O ₁ ) is attached, immersed and, via the change in the self-induction coefficient of the coil (W), its resistance changes depending on the height of the liquid level.

5) micromanometer according to claim 1), characterized in that the resistor is a photo resistor or some other photoelectric device (I) which is illuminated by a light source (I_) opposite it, the photo resistor or the other photoelectric device (I _? ) Through a light-absorbing liquid column located between it and the light source (T-) or a float (0_) with a cylindrical body (Z ₁ ) lying on it, depending on the height of the liquid column, more or less darkened and

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damit verändert wird und daß das System Fotowiderstand oder sonstige lichtelektrische Einrichtung T₂ - Lichtquelle Y, mit der Gewindespindel F angehoben oder gesenkt werden kann.is thus changed and that the system photoresistor or other photoelectric device T ₂ - light source Y, can be raised or lowered with the threaded spindle F.

6)6) Mikromanometer nach Anspruch 1) und 2) dadurch gekennzeichnet, daß der Schwimmer 0 bei seiner Bewegung im Manometerrohr A₁ mittels an der Platte N. befestigten Distanzstiften Q₁,..., Qr geführt wird, wodurch die Berührungsfläche der Platte N. des Sohwimmers 0 mit. der Rohrwand minimal und das Haften an der Wandung vermieden wird. ,Micromanometer according to claims 1) and 2), characterized in that the float 0 is _{guided during its movement in the pressure gauge tube A 1} by means of spacer pins Q ₁ , ..., Qr attached to the plate N. whereby the contact surface of the plate N. of the Sohwimmer 0 with. the pipe wall is minimal and sticking to the wall is avoided. ,

7) Mikromanometer nach den Ansprüchen 1), 2) und 6) dadurch gekennzeichnet, daß am Manometergehäuse B ein elektrischer Vibrator U, z.B. ein an sieh bekannter elektrischer Summer, angebracht ist« der die zwischen Rohrwandung und Distanzstiften Q ,..., Q. auftretenden Haftkräfte bei Lagenänderung des Schwimmers 0 überwinden hilft.7) micromanometer according to claims 1), 2) and 6), characterized in that an electric vibrator U, E.g. a well-known electrical buzzer is attached, which is located between the pipe wall and spacer pins Q, ..., Q. Helps overcome the adhesive forces that occur when the swimmer changes position.

8) Mikromanometer nach den Ansprüchen 1), 2) und 6) daduroh gekennzeichnet, daß die obere Kondensatorplatte (Np) an einer feinfliedrigen Kette (S) frei beweglich an der Gewindespindel (F)8) micromanometer according to claims 1), 2) and 6) characterized daduroh that the upper capacitor plate (Np) on a fine chain (S) freely movable on the threaded spindle (F) so aufgehängt ist, daß der Plattenschwerpunkt möglichst weit Tom unteren Kettenende entfernt ist, so daß die Kondensatorplatte (N₂) der auf dem Schwimmer (0) befindlichen Platte (N₁) ständig parallel bleibt, unabhängig von der Raumlage des Manometers·is suspended in such a way that the center of gravity of the plate is as far away as possible from the lower end of the chain, so that the capacitor plate (N ₂ _{) remains parallel to the plate (N 1} ) on the float (0), regardless of the spatial position of the manometer

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