Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem und Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer vollautomatischen oder halbautomatischen Betriebsart
Schaltungsanordnung für Fernmelde-, Insbesondere Fernsprechanlagen, In denen von Teilnehmerstellen aus Daten In einen Speicher eines Rechners eingegeben werden