Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Verfahren, Computerprogrammprodukt und Messsystem zum Betrieb mindestens eines Triangulations-Laserscanners zur Identifizierung von Oberflächeneigenschaften eines zu vermessenden Werkstücks
Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion von Defekten am Randbereich eines Wafers und Verwendung der Vorrichtung in einer Inspektionseinrichtung für Wafer
Optische vorrichtung und verfahren zum bestimmen räumlicher koordinaten von oberflächen makroskopischer objekte durch triangulation zweier zeilenkameras
Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung von Oberflächen, insbesondere von Stahloberflächen, z.B. hinsichtlich Struktur, Farbintensität und/oder Farbverteilung