DE1297898B - X-ray microanalyser with two spaces separated from each other in a gastight manner - Google Patents
X-ray microanalyser with two spaces separated from each other in a gastight mannerInfo
- Publication number
- DE1297898B DE1297898B DEC33729A DEC0033729A DE1297898B DE 1297898 B DE1297898 B DE 1297898B DE C33729 A DEC33729 A DE C33729A DE C0033729 A DEC0033729 A DE C0033729A DE 1297898 B DE1297898 B DE 1297898B
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- windows
- rays
- ray
- window
- soft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
- G01N23/2251—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
- G01N23/2252—Measuring emitted X-rays, e.g. electron probe microanalysis [EPMA]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J5/02—Vessels; Containers; Shields associated therewith; Vacuum locks
- H01J5/18—Windows permeable to X-rays, gamma-rays, or particles
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Röntgenstrahlen-Mikroanalysator mit zwei durch eine Wand mit röntgenstrahlenempfindlichen Fenstern gasdicht voneinander getrennten Räumen, von denen der eine Raum die Elektronenquelle, die Elektronenoptik und die zu untersuchende Probe und der andere Raum die für die Röntgenstrahlen empfindlichen Einrichtungen enthält. The invention relates to an X-ray microanalyzer with two through a wall with x-ray sensitive windows gas-tight from each other separate spaces, one of which is the electron source, the electron optics and the sample to be examined and the other space sensitive to the X-rays Includes facilities.
Bei Röntgenstrahlen-Mikroanalysatoren dieser Art muß in dem ersten Raum ein Hochvakuum in der Größenordnung von 10-5mmHg herrschen, damit insbesondere das elektronenoptische System bei einer hohen Spannung arbeiten kann. Dagegen ist es unerwünscht, auch den zweiten Raum unter ein so aus geprägtes Hochvakuum zu setzen. Einerseits ist nämlich das Volumen des zweiten Raums sehr viel größer als das Volumen des ersten Raums, so daß an die Leistungsfähigkeit der Hochvakuumpumpe entsprechend große Anforderungen zu stellen wären. Außerdem enthält das in diesem Raum befindliche Spektrometer mechanische und bewegliche Teile, welche vorzugsweise mit Fetten geschmiert werden, deren Dampfspannung über 10-s mm Hg liegt. Schließlich wird als Empfänger in Röntgenstrahlenspektrometern häufig ein Zähler mit Gaszirkulation angewendet, dessen Fenster, das im allgemeinen aus einem sehr dünnen Kunststoffilm besteht, dauernd eine gewisse Gasmenge aussickern läßt. In the case of X-ray microanalyzers of this type, the first Room a high vacuum in the order of 10-5mmHg prevail, so in particular the electron optical system can operate at a high voltage. Against it is it is undesirable to also place the second room under such a high vacuum. On the one hand, namely, the volume of the second room is very much larger than the volume of the first room, so that the performance of the high vacuum pump accordingly great demands would have to be made. Also contains the one in this room Spectrometer mechanical and moving parts, which are preferably lubricated with greases whose vapor tension is above 10-s mm Hg. Finally, as a recipient a counter with gas circulation is often used in X-ray spectrometers, whose window, which generally consists of a very thin plastic film, allows a certain amount of gas to seep out continuously.
Ein Hochvakuum ist aus Gründen der Absorption der Röntgenstrahlen auch nicht erforderlich. Harte Röntgenstrahlen, wie sie bei der Analyse von Elementen mit hoher Atomzahl auftreten, werden noch bei Atmosphärendruck oder geringem Unterdruck ausreichend gut übertragen. Selbst für sehr weiche Röntgenstrahlen, wie sie bei Elementen mit einer Atomzahl unter 12 auftreten, genügt ein Druck in der Größenordnung von 10-2 mm Hg, um die Absorption vernachlässigbar zu machen. A high vacuum is for the sake of absorbing the X-rays also not required. Hard X-rays like those used when analyzing elements occur with a high atomic number, are still at atmospheric pressure or low negative pressure transmitted sufficiently well. Even for very soft X-rays like those at Elements with an atomic number below 12 occur, a pressure of the order of magnitude is sufficient of 10-2 mm Hg to make the absorption negligible.
In beiden Fällen herrscht also eine Druckdifferenz zwischen den beiden Räumen, die bei der Analyse weicher Röntgenstrahlen im allgemeinen kleiner als bei der Analyse harter Röntgenstrahlen ist. In both cases there is a pressure difference between the two Spaces that are generally smaller than when analyzing soft X-rays hard X-ray analysis.
Bei bekannten Vorrichtungen der eingangs angegebenen Art ist in der Trennwand zwischen den beiden Räumen ein Fenster aus Kunststoff, beispielsweise einem Polyamid oder einem Polyester angebracht. In known devices of the type specified in the Partition wall between the two rooms, a window made of plastic, for example a polyamide or a polyester attached.
Ein solches Fenster absorbiert jedoch weiche Röntgenstrahlen so stark, daß eine Analyse von Elementen mit einer Atomzahl unter 12 (Mg) nicht mehr möglich ist. Dennoch müssen besondere Maßnahmen getroffen werden, damit bei möglichst dünnem Fenster der Fensterdurchmesser klein gehalten werden kann.However, such a window absorbs soft X-rays so strongly that that an analysis of elements with an atomic number below 12 (Mg) is no longer possible is. Nevertheless, special measures must be taken to ensure that it is as thin as possible Window the window diameter can be kept small.
Es ist andererseits bekannt, an Stelle eines Fensters zwischen den beiden Räumen einen Satz dynamischer Druckstufen vorzusehen. Damit entfallen zwar alle Probleme hinsichtlich der Absorption der Röntgenstrahlen durch das Fenster, doch wird dafür eine sehr aufwendige und komplizierte Pumpenanordnung notwendig, die während der Verwendung des Geräts dauernd in Betrieb sein muß. It is known, on the other hand, to replace a window between the to provide a set of dynamic pressure levels in both rooms. This does not apply any problems related to the absorption of X-rays through the window, but a very expensive and complicated pump arrangement is necessary for this, which must be in continuous operation while the device is in use.
Das Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung der eingangs angegebenen Art, welche bei sehr einfachem Aufbau die Analyse sowohl von sehr weichen als auch von harten Röntgenstrahlen unter Aufrechterhaltung der jeweils benötigten Druckdifferenz zwischen den beiden Räumen ermöglicht. The aim of the invention is to create a device as described in the opening paragraph specified type, which with a very simple structure makes the analysis of both very soft as well as hard X-rays while maintaining what is needed in each case Pressure difference between the two rooms allows.
Nach der Erfindung wird dies dadurch erreicht, daß in der die beiden Räume voneinander trennenden Wand eine oder mehrere Öffnungen angebracht sind, die durch von außen auswechselbare Fenster verschließbar sind, von denen mindestens eines für weiche Röntgenstrahlen durchlässig ist und nur eine geringe Druckdifferenz aushält und mindestens ein anderes Fenster eine Druckdifferenz von 1 Atmosphäre aushält und die weichen Röntgenstrahlen absorbiert. According to the invention this is achieved in that the two Separating rooms from each other Wall one or more openings are attached, the can be closed by exchangeable windows from the outside, of which at least one is permeable to soft X-rays and has only a small pressure difference withstands and at least one other window a pressure difference of 1 atmosphere withstands and absorbs the soft X-rays.
Wenn bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Öffnungen durch die druckbeständigeren Fenster verschlossen sind, kann in dem zweiten Raum Atmosphärendruck oder ein geringer Unterdruck herrschen, während in dem ersten Raum Hochvakuum herrscht. In diesem Zustand ist auch eine Analyse von harten Röntgenstrahlen möglich, weil diese von den druckbeständigeren Fenstern nicht absorbiert werden. If in the device according to the invention the openings through the More pressure-resistant windows are closed, atmospheric pressure can be in the second room or there is a slight negative pressure, while there is a high vacuum in the first space. Hard X-ray analysis is also possible in this state because these are not absorbed by the more pressure-resistant windows.
Wenn dagegen weiche Röntgenstrahlen analysiert werden sollen, die von den druckbeständigeren Fenstern absorbiert würden, wird zunächst der für diese weichen Röntgenstrahlen erforderliche höhere Unterdruck im zweiten Raum erzeugt. Da dann die Druckdifferenz zwischen den beiden Räumen geringer ist, können nun von außen her die druckbeständigeren Fenster gegen die weniger druckbeständigen Fenster ausgewechselt werden, die für die weichen Röntgenstrahlen durchlässig sind. Falls es aus irgendeinem Grund erforderlich ist, im zweiten Raum wieder den Atmosphärendruck herzustellen, werden zunächst wieder die druckbeständigeren Fenster vor die Offnungen gebracht, worauf die Druckdifferenz ohne Gefahr vergrößert werden kann. Die weniger druckbeständigen-Fenster sind in diesem Fall allseitig dem gleichen Druck ausgesetzt und daher nicht belastet.If, on the other hand, soft X-rays are to be analyzed, the would be absorbed by the more pressure-resistant windows, the first is that for them soft X-rays required higher negative pressure generated in the second room. Since the pressure difference between the two rooms is then lower, from outside the more pressure-resistant windows against the less pressure-resistant windows be replaced, which are transparent to the soft X-rays. If for some reason it is necessary to restore atmospheric pressure in the second room First of all, the more pressure-resistant windows in front of the openings will be restored brought, whereupon the pressure difference can be increased without danger. The less In this case, pressure-resistant windows are exposed to the same pressure on all sides and therefore not burdened.
Die Erfindung löst daher die geschilderten Probleme mit sehr einfachen Mitteln auf sehr bequeme und wirksame Weise. The invention therefore solves the problems outlined with very simple ones Means in a very convenient and effective way.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung besteht darin, daß die Fenster in einem gemeinsamen Träger angebracht sind und durch Verschieben des Trägers jeweils das bzw. die geeigneten Fenster in die Arbeitsstellung bringbar und dabei die übrigen Fenster derart zurückziehbar sind, daß sie sich vollständig in einem der beiden Räume befinden. A preferred embodiment of the invention is that the windows are mounted in a common carrier and by moving the The carrier can be brought into the working position in each case the suitable window or windows and the other windows are retractable in such a way that they are completely in one of the two rooms.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnung beschrieben. Darin zeigt Fig. 1 das Prinzipschema eines Röntgenstrahlen-Mikroanalysators, F i g. 2 die erfindungsgemäß ausgebildete Vorrichtung in einer Betriebsstellung und Fig. 3 die Vorrichtung von Fig. 2 in einer anderen Betriebsstellung. An embodiment of the invention is described below with reference to the Drawing described. 1 shows the basic diagram of an X-ray microanalyser, F i g. 2 the device designed according to the invention in an operating position and FIG. 3 shows the device from FIG. 2 in a different operating position.
Fig. 1 zeigt einen Röntgenstrahlen-Mikroanalysator bekannter Art. Zu diesem Mikroanalysator gehört ein vakuumdichter Raum 1, der ein elektronenoptisches System enthält, das aus einer Katode 21, einem Wehneltzylinder 22, einer Beschleunigungsanode 23 und aus eIektromagnetischen Fokussierungslinsen 24 und 25 besteht. Dieses System richtet einen Elektronenstrahl auf die zu analysierende Probe 3. Der Durchmesser des Elektronenstrahls liegt am Auftreffpunkt in der Größenordnung von 1 F. Fig. 1 shows a known type of X-ray microanalyzer. A vacuum-tight space 1, which is an electron-optical System contains that of a cathode 21, a Wehnelt cylinder 22, an acceleration anode 23 and electromagnetic focusing lenses 24 and 25. This system directs an electron beam at the sample to be analyzed 3. The diameter of the electron beam is on the order of 1 F.
Das Röntgenstrahlenspektrometer ist in einem zweiten Raum 4 untergebracht, der im allgemeinen ein wesentlich größeres Volumen hat. The X-ray spectrometer is housed in a second room 4, which generally has a much larger volume.
Er enthält einen Monochromatorkristall 5 und einen Strahlungsempfänger 6 für die von der Probe ausgesendete Röntgenstrahlung. Die Röntgenstrahlen gehen von dem Raum 1 in den Raum 4 durch eine oeffnung, welche durch ein Röntgenstrahlenfenster 7 verschlossen werden kann. It contains a monochromator crystal 5 and a radiation receiver 6 for the X-ray radiation emitted by the sample. The X-rays walk from room 1 to room 4 through an opening through an X-ray window 7 can be closed.
Im Verlauf der Analyse muß in dem Raum 1 ein Hochvakuum ausgebildet werden, während in dem Raum 4 der Druck nur auf 0-1 mm Hg abgesenkt zu werden braucht, damit eine Absorption der Röntgenstrahlung durch die Luft vermieden wird. In the course of the analysis, a high vacuum must be established in space 1 while in room 4 the pressure only needs to be reduced to 0-1 mm Hg, so that an absorption of the X-rays by the air is avoided.
Ein Beispiel der erfindungsgemäß ausgebildeten Vorrichtung ist in F i g. 2 und 3 für den Fall dargestellt, daß der Röntgenstrahlen-Mikroanalysator im Raum 4 zwei Spektrometer enthält, welche die Röntgenstrahlen analysieren, die in der Richtung X1-X'1 bzw. in der RichtungX2-X'2 ausgesendet werden. An example of the device designed according to the invention is shown in FIG F i g. 2 and 3 for the case that the X-ray microanalyzer in room 4 contains two spectrometers that analyze the X-rays that in the direction X1-X'1 or in the direction X2-X'2.
Das erste Spektrometer ist für die Analyse der harten Röntgenstrahlen und das zweite Spektrometer für die Analyse der weichen Röntgenstrahlen vorgesehen.The first spectrometer is for the analysis of hard X-rays and the second spectrometer is provided for the analysis of the soft X-rays.
Die Vorrichtung enthält zwischen den Räumen 1 und 4 einen Träger 17, welcher mehrere Fenster 11 12, 13 enthält. Dieser Träger kann mittels einer Gleitschiene 8 in zwei Stellungen gebracht werden, von denen die eine in Fig. 2 und die andere in F i g. 3 dargestellt ist. Bei der Stellung von F i g. 2 stehen die Fenster 11 und 12 von zwei Öffnungen 21 und 22, welche in der gemeinsamen Wand zwischen den Räumen 1 und 4 angebracht sind. In der Stellung von F i g. 3 sind diese beiden Öffnungen durch die Fenster 12 und 13 abgedeckt. In den beiden Stellungen ist jeweils das nicht verwendete Fenster in den Raum 1 eingeschoben, wobei seine beiden Seiten dem gleichen Druck ausgesetzt sind. The device contains a carrier between spaces 1 and 4 17, which contains several windows 11, 12, 13. This carrier can by means of a Slide rail 8 can be brought into two positions, one of which is shown in FIG and the other in FIG. 3 is shown. In the position of FIG. 2 stand the windows 11 and 12 of two openings 21 and 22 which are in the common wall between the rooms 1 and 4 are attached. In the position of FIG. 3 are these both openings covered by the windows 12 and 13. In the two positions the unused window is pushed into room 1, with its both sides are exposed to the same pressure.
Die Fenster 11, 12 und 13 sind mit ringförmigen Dichtungen ausgestattet, welche die Abdichtung des Raumes 1 gewährleisten. The windows 11, 12 and 13 are equipped with ring-shaped seals, which ensure the sealing of room 1.
Die Fenster 11 und 12 sind so ausgeführt, daß sie Druckdifferenzen von 1Atmosphäre aushalten können. Sie bestehen aus Beryllium. The windows 11 and 12 are designed so that they pressure differences can withstand a great atmosphere. They are made of beryllium.
Das Fenster 13 ist ein zerbrechliches Fenster aus Kollodium. The window 13 is a frangible collodion window.
Bei der Stellung von F i g. 2 ist das Fenster 13 zurückgezogen. Diese Stellung wird benutzt, wenn Luft in den Raum 4 eingebracht werden soll. In diesem Fall besteht eine beträchtliche Druckdifferenz zwischen den beiden Räumen, und die Fenster müssen druckbeständig sein. Die gleiche Stellung wird verwendet, wenn harte Röntgenstrahlen analysiert werden, weil in diesem Fall das zerbrechliche Fenster überflüssig ist. In the position of FIG. 2 the window 13 is withdrawn. These Position is used when air is to be brought into room 4. In this There is a considerable pressure difference between the two spaces, and the case Windows must be pressure-resistant. The same position is used when tough X-rays are analyzed because in this case the breakable window is superfluous.
Die Stellung von F i g. 3 entspricht dem Fall, daß weiche Röntgenstrahlen analysiert werden sollen. In diesem Fall muß in dem Raum 4 ein hohes Vakuum verwendet werden, damit die weichen Röntgenstrahlen möglichst wenig absorbiert werden. Das Fenster 13 befindet sich in der Betriebsstellung. Es braucht keine Kräfte auszuhalten, weil in dem Raum 1 und in dem Raum 4 im wesentlichen der gleiche Druck herrscht. The position of Fig. 3 corresponds to the case that soft X-rays should be analyzed. In this case, a high vacuum must be used in the space 4 so that the soft X-rays are absorbed as little as possible. That Window 13 is in the operating position. It doesn't have to endure any forces because in the space 1 and in the space 4 there is essentially the same pressure.
Dieses System ergibt also den Vorteil, daß bei jeder beliebigen Druckdifferenz zwischen den beiden Räumen ein dichter Abschluß gewährleistet ist, wobei das zerbrechliche Fenster dann verwendet wird, wenn die Druckdifferenz gering ist. In diesem Fall absorbiert dieses Fenster auf Grund seiner geringen Dicke nur ein Minimum der weichen Röntgenstrahlen. This system therefore has the advantage that at any pressure difference A tight seal is guaranteed between the two spaces, the fragile Window is used when the pressure difference is small. In this case Due to its small thickness, this window absorbs only a minimum of the soft ones X-rays.
Die Einrichtung zum Bewegen und Instellungbringen der Fenster kann anders ausgeführt sein, solange die Bedingung erfüllt ist, daß der auf den beiden Seiten eines zurückgezogenen zerbrechlichen Fensters herrschende Druck gleich ist. The device for moving and positioning the windows can be carried out differently, as long as the condition is met that the on the two Sides of a retracted fragile window is the same.
Claims (2)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR945748A FR1375173A (en) | 1963-08-27 | 1963-08-27 | Window for x-ray microanalyzers |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1297898B true DE1297898B (en) | 1969-06-19 |
Family
ID=8811222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEC33729A Pending DE1297898B (en) | 1963-08-27 | 1964-08-26 | X-ray microanalyser with two spaces separated from each other in a gastight manner |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3319064A (en) |
| DE (1) | DE1297898B (en) |
| FR (1) | FR1375173A (en) |
| GB (1) | GB1027909A (en) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1205231A (en) * | 1966-12-13 | 1970-09-16 | Ass Elect Ind | Improvements relating to x-ray and gamma ray apparatus |
| US3663812A (en) * | 1969-02-27 | 1972-05-16 | Mc Donnell Douglas Corp | X-ray spectrographic means having fixed analyzing and detecting means |
| JPS515316B1 (en) * | 1969-09-25 | 1976-02-19 | ||
| US4463257A (en) * | 1982-08-05 | 1984-07-31 | Tracor Xray Inc. | Rotatable support for selectively aligning a window with the channel of a probe |
| US7618906B2 (en) * | 2005-11-17 | 2009-11-17 | Oxford Instruments Analytical Oy | Window membrane for detector and analyser devices, and a method for manufacturing a window membrane |
| US7474730B2 (en) * | 2006-10-17 | 2009-01-06 | Oxford Instruments Analytical Oy | Compensation for fluctuations over time in the radiation characteristics of the X-ray source in an XRF analyser |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE962206C (en) * | 1954-05-10 | 1957-04-18 | Berthold Schumacher Dipl Phys | Apparatus for spectrochemical analysis and structural analysis of solids, liquids and gases by means of X-rays |
| DE1084044B (en) * | 1958-04-01 | 1960-06-23 | Berthold W Schumacher Dipl Phy | Set of dynamic pressure levels |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2094103A (en) * | 1935-10-12 | 1937-09-28 | Picker X Ray Corp Waite Mfg | Roentgen ray control unit |
-
1963
- 1963-08-27 FR FR945748A patent/FR1375173A/en not_active Expired
-
1964
- 1964-08-14 GB GB33387/64A patent/GB1027909A/en not_active Expired
- 1964-08-24 US US391630A patent/US3319064A/en not_active Expired - Lifetime
- 1964-08-26 DE DEC33729A patent/DE1297898B/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE962206C (en) * | 1954-05-10 | 1957-04-18 | Berthold Schumacher Dipl Phys | Apparatus for spectrochemical analysis and structural analysis of solids, liquids and gases by means of X-rays |
| DE1084044B (en) * | 1958-04-01 | 1960-06-23 | Berthold W Schumacher Dipl Phy | Set of dynamic pressure levels |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1027909A (en) | 1966-04-27 |
| FR1375173A (en) | 1964-10-16 |
| US3319064A (en) | 1967-05-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0955539B1 (en) | Compact X-ray spectrometer | |
| DE19758363C2 (en) | Arrangement for digital subtraction angiography | |
| DE2147382C3 (en) | Device for imaging an object by means of electromagnetic radiation that can be spatially modulated by masks or high-energy corpuscle radiation | |
| DE3636954A1 (en) | MASS SPECTROMETER WITH ATMOSPHERIC PRESSURE IONIZATION | |
| DE2514266C2 (en) | CORPUSCULAR BEAM-OPTICAL DEVICE WITH TWO SUCCESSIVE SUBSPACES OF DIFFERENT PRESSURES IN THE BEAM DIRECTION | |
| DE3104468C2 (en) | X-ray fluorescence spectrometer | |
| DE1297898B (en) | X-ray microanalyser with two spaces separated from each other in a gastight manner | |
| DE2041422A1 (en) | Element analyzer | |
| DE2331091A1 (en) | DEVICE FOR DETERMINING THE ENERGY OF CHARGED PARTICLES | |
| DE4041297A1 (en) | METHOD AND DEVICE FOR SELECTING THE RESOLUTION OF A CHARGED PARTICLE BEAM ANALYZER | |
| DE102018107910A1 (en) | Ion mobility spectrometer and method for analyzing samples by ion mobility spectrometry | |
| DE19526999A1 (en) | Electron energy filter for transmission electron microscope | |
| DE1253836B (en) | Electron beam device | |
| DE3228608A1 (en) | DEVICE, IN PARTICULAR FOR DETERMINING INDIVIDUAL CONCENTRATIONS OF RADON AND THORON SUBSIDIARIES IN AIR | |
| DE2105805B2 (en) | Device for electron spectroscopy for the chemical analysis of a sample | |
| DE4317749A1 (en) | Mass spectrometer with means for monitoring the radiation emitted when ions collide with a target gas | |
| DE1598150C3 (en) | Ion source for mass spectrometers with a field ionization device and an electron impact ionization device | |
| DE112019007323B4 (en) | ION ANALYZER | |
| EP1648019A1 (en) | Scanning radiographic device (variants) | |
| DE2813674A1 (en) | MULTI-CHANNEL ROSE DETECTOR | |
| DE2613079B2 (en) | ION SOURCE | |
| DE2335903C3 (en) | Ion source for mass spectrometers | |
| DE1261343B (en) | Device for changing sample carriers in mass spectrometers | |
| WO2024074173A1 (en) | Switching between vacuum-pressure operation and near-atmospheric-pressure operation in a material analysis system | |
| DE3031136A1 (en) | DEVICE FOR IMAGING A RADIATION INTENSITY DISTRIBUTION |