DE1287319B - Elektrische Winkel- oder Laengenmesseinrichtung - Google Patents

Elektrische Winkel- oder Laengenmesseinrichtung

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DE1287319B
DE1287319B DE1960C0023029 DEC0023029A DE1287319B DE 1287319 B DE1287319 B DE 1287319B DE 1960C0023029 DE1960C0023029 DE 1960C0023029 DE C0023029 A DEC0023029 A DE C0023029A DE 1287319 B DE1287319 B DE 1287319B
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DE
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voltage
amplifier
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electrical
transmitter
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DE1960C0023029
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Dipl-Phys Dr Eberhard
Frisch
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Continental Elektronidustrie AG
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Continental Elektronidustrie AG
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/243Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the phase or frequency of ac

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur elektrischen Winkel- oder Längenmessung mit einem die Meßgröße in den Phasenwinkel einer elektrischen Wechselspannung abbildenden elektromechanischen Meßumformer. bestehend aus zwei relativ gegeneinander beweglichen Teilen (z.B. Rotor, Slator). zwischen denen eine den Phasenwinkel einer dem Meßumformer entnehmbaren Ausgangswechselspinnu ng steucrnde elektrische Wechselwirkung besteht, bei der die Ausgangswechselspannung des Meßumformers über einen elektrischen Verstärker einer Meßvorrichtung zugeführt ist, der gleichzeitig eine zweite als Vergleichsspannung dienende, einem Vergleichsspannungsgemerator entnommene Wcchsclspannung festen Phasenwinkels zugcführt ist, und die Mittel zur Anzeige der Differenz zwischen den Phasenwinkeln beider Wechselspannungen aufweist.
  • Einrichtungen dieser Art weisen den Nachteil auf, daß die Ausgangsspannung des z. B. kapazitiv wirksamen Mcßumformcrs (vergleiche z. 13. die Zeitschrift »Control Engineering«, Mai 1960, S. 109 bis 111) infolge der Belastung des Meßumformerausgangs mit nachgeordneten elektrischen Schaltelementen (Eingangswiderstand eines nachgeschalteten Verstärkers oder Eingangswiderstand einer Phasenvergleichsei nrichtung) eine Phasendrehung erfährt. wodurch Meßfehler auftreten. Wären die Eingangswiderstände dieser nachgeordneten Schaltelemente konstant, so wären auch die durch diese hervorgerufenen Phasend reh tingen konstant und könnten durch eine nachträgliche entgegengesetzte Phasendrehung bcsciligt werden. In vielen Fällen insbesondere bei der Verwendung von Transistorverstärkern, durch dic die Ausgangsspannungen vor der Zuführung zu der Vergleichseinrichtung verstärkt werden sind clie Eingangswiderstände der Verstirker von der Temperatur und von anderen Einflüssen abhängig, so daß eine zusätzliche, zeitlich veränderliche Phasendrchung auftritt. Bei Präzisionsmessungen ist eine solche Drchung einem erheblichen Meßfchler ialuiv. llclll.
  • Erfindungsgemäß wird daher zur Beseitigung dieser Umstäde eine Einrichtung zur elektrischen Winkel-oder Längenmessung der eingangs näher bezeichneten Art vorgeschlagen, welche sieh dadurch kennzeichnet, daß cl ic Vergleichsspannung clei. Nl Meßvorrichtung ebenfalls über einen dieser Vorrichtung vorgeschal-{CtCI1 Verstärker zugeführt ist und dadurch. daß diesem Verstärker ein lediglich passive Schaltelemente enthaltendes Scheinwiderstandsnetzwerk vorgeschaltet ist. das unter Einschluß seines Belast ungswiderstandes hinsichtlich des Phasenwinkels der Vergleichsspannung das gleiche @bersetzungsverhältnis aufweist WiC cler Meßumformer unter Einbeziehung seines 13clastungswiederstandes.
  • In den Zeichnungen ist eine Einrichtung nach der Erfindung als Ausfßhrungsbeispiel erläutert.
  • 1 1 g. 1 und 2 erläutern dcn prinzipiellen Aufbau ii eines Meßumformers der hier verwendeten Art F i g. 3 zeigt ihren elektrischen Aufbau schematisch F i g. 4 erläutert den elektrischen Aufbau des Meßumformers nach F und i g. 1 and 2 an Hand eines elektrischen Erstzschaltbildes; F i g. 5 bis 7 erläutern Ausführungsbeispiele.
  • In j: i g. @ ist iii Teidarstellung uticl 1 @raufsicht der Rotor des Meßumformers, eine Glasplatte 1, drgestellt. 1 Die Glasplatte 1 ist auf ihrem 1 Umfang ist einer üblichen Kreisteilung 2 versehen, the es es @m Verbindung mit einer geeigneten optischen Ablesevorrichtung gestattet. die Winkelstellung des Rotors visucll zu bcstimmcn. Zur elektrischen Abbildung dieser Winkelstellung ist die Oberlliichc des Rotors teilweise mit kreisringförmigen Metallbelegungen 3.
  • 4 und 5 versehen. Die Belegungen 4 und 5 sind jeweils durch mäanderförmig verlaufende Aussparungen 6 und 7 in jeweils zwei elektrisch voneinander isolierte Tcilc 8 und 9 bzw. 10 und 11 zerlegt.
  • Die F i g. 2 zeigt in Teildarstellung und Draufsieht den Stator des Mcßtllllformcrs. eine Glasplatte 12. Er weist auf seiner Oberfläche die kreisringförmigen Metallbelegungen 13 und 14 auf. Die Belegung 13 ist durch eine mäanderförmige Aussparung 15 in zwei elektrisch voneinander isolierte Tcilc 16 und 17 zerlegt.
  • In Gebrauchslage (1 i g. 3) sind die Mctallhclcgungen von Rotor 1 und Stator 12 einander in geringem Luftabstand gegenüberstehend angeordnet. und der Rotor ist gegen den Stator um eine durch den Mittelpunkt der Metallbelegungen gehende Drchachsc 18 drehbar gelagert. Die Teile 8,9, 10 und 11 der Belegungen 4 und 5 sind über Zuleitungen und über Schleifringe mit jeweils einer Spannungsquelle 19 19 verbunden. die jede Teilbelegung mit einer Wechselspannung speist. Die Spannungen weisen die gleiche Frequenz auf. Sie sind jedoch gegeneinander in passender Weise so phasenverschoben. daß auf der Metallbelegung des Stators zwischen den Belegungen 15 und 17 eine Wechselspannung influenziert wird. deren Phasenwinkel sieh bei Drehung des Rotors I um die Achse 18 periodisch und stetig zwischen 0 ... 2 @ ändert, Die Änderung ist dem Drehwinkel @ liiieat. zugeordnet. l)ie Teile 8, 9. 10. II der Belegungen 4 und 5 bilden als Elektroden mit den Teilen 16 und 17 der Belegung 13 als Getgenelektrode ein System variabler kapazitiver Kopplung, welches als Wechselspannungsgenerator t<ir aufgefaßt werden kann.
  • Im übrigen ist die Anordnung nach F i g. 3 derart getroffen, daß eine tlcr Elektroden 16 und 17 iii Masse gelegt und die andere wie dargestellt mit dem Eingang eines Verstärkers 20 verbunden ist.
  • Eine cler vier Speisespannungen des Meßumformers 1.
  • 12 dient als Vergleichsspannung für den Phasenwinkel seiner Ausgangsspannung. Sie wird mittels eines Verstärkers 21 verstärkt. Die Ausgangsspanlltlll cll tlcr Verstärker 20 und 21 sind einer Phasenmeßvorrichtung 22 zugeführt, clie die Phase cler Ausgangsspannung des Meßumformers und damit die Stellung der Drchachse 18 digital anzeigt.
  • Von dem Generator 19 führt eine Leitung 24 an Masse. die als Bezugspunkt für clie vier phasenverschobenen, dem Rotor 1 zugeführten Wechselspannungen dient. Die freien Eingangsklemmen der Verstärker 20 und 21 sind dabei an Masse gelegt.
  • Die Wirkungsweise ist folgende: Die dem Rotor 1 zugeleiteten phasenverschobenen Wechselspannungeii influenzieeren auf der nicht an Masse gelcgtcii Elektrode des Stators 12 eine Ausgangswechselspannung, die dem Verstärker 20 20 zugeleitet ist. Die Phasenlage cler Ausgangswechselspannung is dabei a abhängig von der Winkelstellung, die der Rotor 1 und der Stastor 11 II gegeneinander einnehmen. Bedingt durch die besondere Eigenart der mäanderförmigen Schnittlimen, durch clie die Kondensatorbelegungen voll einander getrennt sind, ergibt sich dabei die Proportionalitär # n # q, wobei unter q der Drehwinkel der Drehachse 10 und unter # der Phasenwinkel zu verstehen ist. um den die Ausglngsspannung gegenüber der Vergleichsspannung verschoben ist.
  • Die meist kleine Ausgangsspannung muß dabei zur Vermeidung von Störeffekten möglichst nahe an ihrem Entstehungsort verstärkt werden. Dic Eingangswiderstände der Verstärker 20 und 21, vorzugsweise die gesamten Venstärkeranordnungen, sind gleich hinsichtlich ihrcs zeitlichen Vcrhaltcns (Tcmpcraturverhaltens) ausgebildet. Außerdem wird in die Versorgungsleitung, die die Bezungsspannung dem Verstärker 21 zuführt,ein Kondensator C eingeschaltet.
  • Dieser Kondensator hat dieselbe Kapazität wie die nicht geerdete Elektrode des Stators 12 gegenüber sämtlichen Elektroden des Rotors,die man sich dabei parallel geschaltet zu denken hat, Bei Anwendung dieser Maßnahmen erreicht man, daß sich nur die Differenz der Eingangswiderstandsänderungen beider Versärker auf das Meßergebnis auswirken kann. Da die Verstärker gleichartig aufgebaut sind, ist diese Differenz schr vicl geringer als die Änderungen der Eingangswiderstände selbst.
  • Zur Erläuterung der Größe der Kapazität C sci auf die F i g.4 verwiesen. die als Ersatzschaltbild fiir deti kapazitiven Phasenschieber 1. II aufzufassen ist. In diesen' Ersatzschaltbild sind mit U1, U2, U3, U4 die vier phasenverschobenen, dem Rotor 1 zugeführten Wechselspannungen bezeichnet.
  • Die Teilkapazitäten zwischen der Abnahmeclektrode (das ist die nicht an Masse gelege Elektrode clcs Stators) und den vier Speiseelektroden der anderen Platte sind durch die Kondensatoren C1(q) bis C4(q) dargestellt. Von der Ausgangsklemme A aus betrachtet stellt dieses TGebilde einen Generator dar.
  • Seine Lecrlaufspannung U1.(q) ist die an der Abnahmeelektrode vorhandene Spannung, wenn diese Elektrode unbelastet. d. h. der Verstärker 20 abgetrennt ist. Den Generatorinnenwiderstand erhält man bekanntlich, wenn man sich alle Spannungsquellen kurzgeschlossen denkt. Schließt man in Ii i g. 4 clie Spannungsquellen kurz, So sieht man, daß cler Iunenwiderstand durch dieKapazität C1+C2+C3+C4 gebildet wird. Das ist aber wie oben gesagt die @@ Kapazität (der Abnahmeelektrode gegen die gesamte gegenüberstehende Platte. Diese Kapazität wird durch den kr Kondensator C in F i g.3 nachgebildet.
  • Die Eingangsspannung des Verstärkers 20 beträgt demnach R1 U@@ UL(q) # . (1) RF @ @ @ Der mit der Vergleichsspannung gespeiste Verstärker 21, welcher voraussetzungsgemäß ebenfalls dcii Eingangswiderstand R@ besitzt, wird über die Kapazität C von der Vergleichsspannung gespeist, die hier mit U1 bezeichnet sein möge. Seine Eingangsspannung beträgt Re U12 U1 # (2) R1 | Die Phasendifferenz zwischen U@@ und U12 ist also gleich cler Phasendifferenz zwischen I; und 1 und zwar dem von der Erfindung angestrebten Zweck entsprchend unabhängig oder wenigstens nahezu unabhängig von der Anderung der Eingangswiderstände RE der beiden Verstärker.
  • Bei der bisher beschriebenen Anordnung ist noch nicht die Tatsache berücksichtigt worden, daß die Abnahmeelektrode auch noch eine Kapazität gegen Masse aufweist. Um auch diese Fehlerquelle zu eliminieren. wird diese Kapazität durch den Kondensator C' am Eingang des Verstärkers 20 nachgebildet. Der Kondensator C' ist mit seiner einen Seite geerdet und mit seinem anderen Ende an die Verbindungsleitung zwischen dem Kondensator C und dem Verstiirkereingang von 21 angeschlossen.
  • Die Erfindung läßt sich weiterhin so verbessern. daß auch noch Fehler, die durch Abstandsänderungen zwischen Rotor und Stator während des Drehens entstehen können. eliminiert werden. Hierzu wird vorgeschlagen, den Kondensator C mit seinen beiden Elektroden jeweils auf Rotor und Stator anzuordnen.
  • Zu diesem Zwecke sind die Belegungen 3 und 14 (s. F i g. 1 und 2) vorgesehen worden, die als die beiden Elektroden des Kondensators C dienen können. Ändert sich also der Abstand des Rotors vom Stator, was nach (1) auch eine Phasendrehung der Meßspannung UE1 verursacht, so tritt diese Phasendrehung als Fehler nicht in Erscheinung. weil durch die gleichartige Abstandsänderung der Elektroden des Kondensators C eine gleich große Phasendrehung der Spannung UE2 gemäß Formel (2) erfolgt und demgemäß die als Meßgröße dienende Phasendiffereiiz nicht beeinflußt wird. Diese beiden Phasenwinkelfehler werden nämlich durch die Phasenvergleichseinrichtung 22 herausgehoben.
  • Die Erlindung läßt sich auch unter Einbeziehung einer bereitgs bekannten Maßnahme vewirklichen.
  • Der in den Zeichungen dargestellte Meßumformer weist nämlich den Nachteil auf, daß die Apannungszu-bzw. -abletiung zum bzw. vom Rotor iiber Kollektoren erfolgen muß.
  • Nach einem bekannten Vorgehen kann man die Kollektoren dadurch vermeiden. daß man als Rotor die Scheibe mit der geringeren Zahl von Anschlüssen (also hier die Scheibe 12 mit ihren zwei Anschlüssen) verwendet. während die Scheibe, die die meisten Anachlüsse aufweist. zweckmäßig als Stator verwendet wird. Der Kollektor zur Abnahme oder Zuleitung der Spannung vom Rotor kann dann dadurch eingespart werden, daß man die Elektroden dieser Platte vergrößert und dieser Verzögerung gegenüber auf dem Stator eine zusätzliche kreisringförmige Elektrode anbringt. Die Zulcitung oder Ableitung der Spannung zum oder vom Rotor wird dann durch kapazitive Koppelung über diese besondere Elektrode bewerkstelligt (Koppelkondensator).
  • I) iescr Koppel kondensator sei mit C bezeichnet.
  • Es ist dann ercichtlich, daß man die Kapazität C im Vergleichspfad vor dem Eingang des Verstärkers 21 so bestimmen mtiß, daß sie auch noch die Koppelkapazität ( berücksichigt. Man berechnet sie. indem man die Kapazität cler Reihenschaltung vom Koppel= kondensator C" mit den parallelgeschalteten Teilkapazitäten C1 (q) bis C4(q) bestimmt.
  • Wenngleich es im Prinzip möglich ist, die Eingangswechselspannungen cles Meßumformers u und cl ie Bezugswechselpannung jeweils durch besondere Generatoren herzustellen, ist es doch von großem Vorteil, sämtliche Spannungen von einem einzeigen Generator abzuleiten. da so clie erforerliche genaue Frequenzgleichheit am einfachsten und sichersten gewährleister ist. Es sei außerdem darauf hingewiesen. daß die Ausdrücke »Masse« bzw. »geerdet« so zu verstehen sind, daß die Masse bzw. Erde den gemeinsamen Bezugspunkt für die Ausgangswechselspannung und für die Bezugswechselspannung darstellt. Dieser Bezugspunkt kann an ein Gehäuse oder an Erde gelegt sein, muß es aber nicht notwendig.
  • Die Erfindung ist nicht an den dargestellten Spezialfall gebunden, bei dem eine der Elektroden des Stators 12 an Masse gelegt ist. Vielmehr könnte diese Elektrode statt direkt auch über eine Impedanz an Masse gelegt sein. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist ja die an Masse gelegte Elektrode wirkungslos und trägt nichts zur Ausgangsleistung bei. Ihr Vorhandensein hat dabei hauptsächlich fertigungstechnische Gründe. Will man z.B. auch sie zur Erzeugung einer Ausgangswechselspannung nutzbar machen, so ließe sie sich beispielsweise einer Phasenumkehrstufe zuführen, deren Ausgangsspannung in geeigneter Weise mit der von der Abnahmeelektrode gelieferten Ausgangsspannung in Reihe geschaltet und dem Verstärker 20 zugeleitet werden könnte. Man erhielte dann eine stärkere Ausgangsleistung des Phasenschiebers.
  • Der Eingang einer solchen Phasenumkehrstufe stellt nun aber eine Impedanz dar, von der zunächst angenommen sei, daß sie konstant ist. Dann bedeutet das also, daß die bisher an Masse gelegte Elektrode jetzt über eine Impedanz Z an Masse liegt. In diesem Fall werden die Verhältnisse unübersichtlich. Es müssen dann im Vergleichskanal die Kondensatoren C und C' durch Kopplungsdreipole ersetzt werden, die die Kapazitäten beider Abnahmeelektroden gegen die Elektroden des Rotors sowie die Teilkapazität gegenüber dem Bezugspunkt der von dem Generatorl9 erzeugten phasenverschobenen Wechselspannungen und die Impedanz Z nachbilden. Ein solcher Kopplungsdreipol ist in F i g. 5 (in Dreieckschaltung) und in F i g. 6 (Sternschaltung) dargestellt. In diesen Ausführungsbeispielen ist angenommen. daß die Vergleichsspannung jeweils an den Punkten a und a' in das Netzwerk eine und in den Punkten b und b' aus dem Netzwerk austritt. Von den Punkten b und b' aus ist sie dem Verstärker 21 zugeleitet. Diese Kopplungsdreipole bestehen aus einer Zusammenschaltung von Kondensatoren und der Impedanz Z'. Dabei liegen die Punkte a' und b' in beiden Fällen an Masse bzw. stellen den gemeinsamen Bezugspunkt für die phasenverschobenen Eingangswechselspannungen des Phasenschiebers und für die Bezugsspannung dar.
  • Die Form des Kopplungsdreipols ergibt sich aus einem Ersatzschaltbild, das komplizierter ist als im Fall der F i g. 4. In F i g. 5 stellt C wieder die Teilkapazität der Abnahmeelektrode gegen die Summe der Belegungen 8, 9, 10, 11 der Rotorplatte dar. Mit C* ist die Teilkapazität der anderen über die Impedanz Z an Masse gelegten Elektrode gegenüber den Belegungen 8, 9, 10, 11 bezeichnet, während CK die Kapazität zwischen den beiden Elektroden der Abnahmeplatte (das ist beim Ausführungsbeispiel die Statorplatte) bedeutet. Z' bildet die Impedanz Z nach.
  • Dabei muß Z = Z' gelten. und Z' muß das gleiche Widerstandsverhalten aufweisen wie die Impedanz Z.
  • Der Kopplungsdreipol nach F i g. 6 läßt sich durch einfache Stern-Dreieck-Transformation aus dem der F i g. 5 herstellen. Die Kapazitäten Ki. K2 und K3 sind mit den Gesetzen der Stern-Dreieck-Transformation zu berechnen.
  • Wenn hier als Ausführungsbeispiel ein solches gewählt worden ist, bei dem der Phasenschieber kapazitiv arbeitet, so treten doch prinzipiell die gleichen Probleme bei induktiv arbeitenden Systemen auf. Bei solchen Phasenschiebern hat man sich den Rotor und den Stator mit Spulenelementen oder Stromschleifen belegt zu denken, die mit Wechsclstrom gespeist werden und induktiv miteinander gekoppelt sind. Auch in diesen Einrichtungen kann es notwendig sein, die von den Anderungen der Verstärkereingangswiderstände hervorgerufenen Phasendrehungen im Vergleichskanal nachzubilden. Dies ist in der F i g. 7 dargestellt, in der mit 30 der Generator zur Erzeugung der Wechselspannungen für den Phasenschieber und für den Vergleichskanal bezeichnet ist, während L, r und C"' induktive, ohmsche und kapazitive Schaltelemente sind. die zu einem Netzwerk vereinigt sind. Dieses Netzwerk liegt vor dem Eingang des Verstärkers, der sich im Vergleichskanal befindet. Sein Eingangswiderstand ist ersatzschaltbildmäßig durch R. dargestellt. Auch in diesem Fall müssen beide Verstärker gleichartig aufgebaut werden, zumindest aber gleiche Verstärkereingänge aufweisen.
  • Für den Fall, daß eine Verstärkung der Ausgangsspannung des Phasenschiebers oder der Vergleichsspannung nicht notwendig ist. ist sinngemäß dafür zu sorgen, daß die beiden Eingänge der Phasenvergleichseinrichtung 22 gleichartige Eingangswiderstände aufweisen.

Claims (2)

  1. Patentansprüche: 1. Einrichtung zur elektrischen Winkel- oder Längenmessung mit einem die Meßgröße in den Phasenwinkel einer elektrischen Wechselspannung abbildenden elektromechanischen Meßumformer, oeste : hend aus zwei relativ gegeneinander beweglichen Teilen (z. B. Rotor, Stator), zwischen denen eine den Phasenwinkel einer dem Meßumformer entnehmbaren Ausgangswechselspannung steuernde elektrische Wechselwirkung besteht, bei der die Ausgangswechselspannung des Meßumformers über einen elektrischen Verstärker einer Meßvorrichtung zugeführt ist, der gleichzeitig eine zweite als Vergleichsspannung dienende, einem Vergleichsspannungsgenerator entnommene Wechselspannung festen Phasenwinkels zugeführt ist, und die Mittel zur Anzeige der Differenz zwischen den Phasenwinkeln beider Wechselspannungen aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsspannung der Meßvorrichtung (22) ebenfalls über einen dieser Vorrichtung vorgeschalteten Verstärker (21) zugeführt ist und dadurch, daß diesem Verstärker ein lediglich passive Schaltelemente enthaltendes Scheinwiderstandsnetzwerk (C, C') vorgeschaltet ist, das unter Einschluß seines Belastungswiderstandes hinsichtlich des Phasenwinkels der Vergleichsspannung das gleiche Ubersetzungsverhältnis aufweist wie der Meßumformer (1, 12) unter Einbeziehung seines Belastungswiderstandes.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsspannung des Meßumformers und die Vergleichsspannung auf das gleiche Bezugspotential bezogen sind und bei der ferner zwischen den Elementen des elektromechanischen Meßumformers eine kapazitive Wechselwirkung besteht und in den Pfad der Bezugswechselspannung eine Kapazität eingeschaltet ist und daß diese Kapazität durch Metallbelegungen der gegeneinander beweglichen Meßumformerteile gebildet ist.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015011634B4 (de) 2014-09-19 2023-01-12 Elmos Semiconductor Se Vorrichtung zum ISO26262 konformen Betrieb eines induktiven Drehwinkelsensors durch Erkennung asymmetrischer Fehlerzustände

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