DE1235463T1 - Elektroakustischer übertrager mit verwendung eines optischen geräts - Google Patents

Elektroakustischer übertrager mit verwendung eines optischen geräts

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DE1235463T1
DE1235463T1 DE1235463T DE00978067T DE1235463T1 DE 1235463 T1 DE1235463 T1 DE 1235463T1 DE 1235463 T DE1235463 T DE 1235463T DE 00978067 T DE00978067 T DE 00978067T DE 1235463 T1 DE1235463 T1 DE 1235463T1
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DE
Germany
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vibrating plate
acoustoelectric transducer
transducer according
optical
light
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DE1235463T
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English (en)
Inventor
Okihiro Kobayashi
Nobuhiro Miyahara
Hiroshi Miyazawa
Tamio Takeda
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Kenwood KK
Original Assignee
Kenwood KK
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Publication date
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Priority claimed from JP35370099A external-priority patent/JP3673992B2/ja
Priority claimed from JP2000008380A external-priority patent/JP3481179B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R23/00Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R23/00Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00
    • H04R23/008Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00 using optical signals for detecting or generating sound

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Signal Processing (AREA)
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  • Semiconductor Lasers (AREA)
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Claims (18)

Kabushiki Kaisha Kenwood Yutaka Hattori Patentansprüche
1. Optischer akustoelektrischer Transducer mit einer Lumi-
neszenzeinrichtung und einem Fotodetektorelement, die auf dem selben Substrat angeordnet sind, bei welchem Licht von der Lumineszenzeinrichtung zu einer vibrierenden Platte emittiert wird, die in einer dem Substrat gegenüberliegenden Position angebracht ist, und das von der vibrierenden Platte reflektierte Licht von dem Fotodetektorelement empfangen wird, um so die Verschiebung der vibrierenden Platte zu erfassen,
dadurch gekennzeichnet, daß eine vertikal oberflächenemittierende Lumineszenzeinrichtung, die eine im wesentlichen gleichmäßige konzentrische Intensitätsverteilung der Lichtemission um die Mitte eines Licht emittierenden Bereichs hat, als die Lumineszenzeinrichtung in einer Mitte des Substrats angeordnet wird und das Fotodetektorelement so vorgesehen ist, daß es die Lumineszenzeinrichtung umgibt.
2. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 1, bei welchem das Fotodetektorelement aus einer Vielzahl von konzentrisch angeordneten Einrichtungen besteht.
3. Optischer akustoelektrischer Transducer mit einem Differenzdetektor zum Erfassen eines Differenzsignals zwischen Signalen, die von zu verschiedenen konzentrischen Kreisen gehö-
renden Fotodetektorelementen erfasst werden, um so die Verschiebung einer vibrierenden Platte aus der Ausgabe des Differenzdetektors zu erfassen.
4. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
bei welchem die Lumineszenzeinrichtung und das Fotodetektorelement gleichzeitig auf dem Substrat gebildet werden.
5. ■ Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
bei welchem das Substrat aus einem Galliumarsenidwafer besteht.
6. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
bei welchem die vibrierende Platte beinahe parallel zu und nahe an dem Substrat angebracht ist.
7. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
bei welchem ein Linsenelement zum Fokussieren von einfallendem Licht von der Lumineszenzeinrichtung, um es zu der vibrierenden Platte zu leiten, und zum Fokussieren von gestreutem reflektiertem Licht von der vibrierenden Platte, um es zu dem Fotodetektorelement zu leiten, in einem optischen Weg zwischen dem Substrat und der vibrierenden Platte angeordnet ist, so daß die Lumineszenzeinrichtung auf einer optischen Achse derselben liegt.
8. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 7, bei welchem das Linsenelement eine Mikrolinse ist.
9. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 7, 5 bei welchem das Linsenelement ein Hologramm ist.
&psgr;*
10. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der Ansprüche 7 bis 8,
bei welchem das Linsenelement so angeordnet ist, daß die vibrierende Platte in einer Position liegt, die geringfügig weiter entfernt ist als eine Fokusposition des Linsenelements .
11. Optischer akustoelektrischer Transducer mit einer vibrierenden Platte, die bedingt durch Schalldruck vibriert, einer Lumineszenzeinrichtung zum Aufstrahlen eines Lichtstrahls auf die vibrierende Platte, einem Fotodetektorelement zum Empfangen von reflektiertem Licht von dem auf die vibrierende Platte aufgestrahlten Lichtstrahl und Ausgeben eines Signals, das der Vibrationsverschiebung der vibrierenden Platte entspricht, und einem Substrat zur Anbringung der Lumineszenzeinrichtung und des Fotodetektorelements,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Lumineszenzeinrichtung und eines oder eine Vielzahl der Fotodetektorelemente auf dem Substrat so angeordnet sind, daß eine Licht emittierende Oberfläche der Lumineszenzeinrichtung und eine Licht empfangende Oberfläche des Fotodetektorelements parallel und beinahe in der selben Ebene angeordnet sind;
die vibrierende Platte um einen vorbestimmten Winkel zu dem Substrat geneigt ist und der von der Lumineszenzeinrichtung beinahe vertikal zu der Licht emittierenden Oberfläche emittierte Lichtstrahl auf die vibrierende Platte aufgestrahlt wird; und
das an der vibrierenden Platte reflektierte Licht durch den einen oder eine Vielzahl von Fotodetektorelementen empfangen wird.
DE/EP 1 235 463T1
12. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 11,
bei welchem ein Bereich der vibrierenden Platte, auf den das einfallende Licht aufgestrahlt wird, als Spiegeloberfläche ausgeführt ist.
13. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 12,
bei welchem dieser Bereich ringförmig ausgebildet ist. 10
14. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 12,
bei welchem dieser Bereich als kreisförmiger Punkt ausgebildet ist.
15
15. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 11,
■bei welchem eine Vielzahl der Fotodetektorelemente linear gegen die Lumineszenzeinrichtung angeordnet sind.
16 . Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch 11,
bei welchem eine Vielzahl der Fotodetektorelemente kreisförmig angeordnet sind.
17. Optischer akustoelektrischer Transducer nach Anspruch
11,
bei welchem eine Vielzahl der Fotodetektorelemente rechteckig angeordnet s ind.
30
18. Optischer akustoelektrischer Transducer nach einem der Ansprüche 11 bis 17,
bei welchem eine Vielzahl der Lumineszenzeinrichtungen vorgesehen sind.
DE1235463T 1999-12-03 2000-12-01 Elektroakustischer übertrager mit verwendung eines optischen geräts Pending DE1235463T1 (de)

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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100437142B1 (ko) * 2001-12-07 2004-06-25 에피밸리 주식회사 광 마이크로 폰
US7134343B2 (en) * 2003-07-25 2006-11-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Opto-acoustoelectric device and methods for analyzing mechanical vibration and sound
US7282694B2 (en) * 2004-12-15 2007-10-16 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd Optical navigation system having a ring pixel array
US7388283B2 (en) * 2005-02-04 2008-06-17 Avago Technologies Ecbu Ip Pte Ltd Method and device for integrating an illumination source and detector into the same IC package that allows angular illumination with a common planar leadframe
US7544924B2 (en) * 2006-02-17 2009-06-09 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Directional input device with a light directing shaft
CN101778328A (zh) * 2010-01-26 2010-07-14 北京邮电大学 一种光纤麦克风
US8232615B2 (en) * 2010-02-23 2012-07-31 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Packaged device with acoustic transducer and amplifier
WO2011064411A2 (en) * 2011-03-17 2011-06-03 Advanced Bionics Ag Implantable microphone
US8594507B2 (en) * 2011-06-16 2013-11-26 Honeywell International Inc. Method and apparatus for measuring gas concentrations
US20120321322A1 (en) * 2011-06-16 2012-12-20 Honeywell International Inc. Optical microphone
US20150365770A1 (en) * 2014-06-11 2015-12-17 Knowles Electronics, Llc MEMS Device With Optical Component
US20160091363A1 (en) * 2014-09-26 2016-03-31 Mitsumi Electric Co., Ltd. Optical sensor
US9885888B2 (en) * 2016-02-08 2018-02-06 International Business Machines Corporation Integrated microwave-to-optical single-photon transducer with strain-induced electro-optic material
US9967664B1 (en) * 2017-05-22 2018-05-08 Apple Inc. Sensor assembly for measuring diaphragm displacement and temperature in a micro speaker
CN114576303B (zh) * 2022-03-02 2024-05-24 西安热工研究院有限公司 一种复合式电磁减震器

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB313986A (en) * 1928-03-19 1929-06-19 John Neale Improvements relating to the construction and use of light-sensitive cells
JPS57149000U (de) * 1981-03-12 1982-09-18
DD240598A1 (de) * 1985-09-02 1986-11-05 Akad Wissenschaften Ddr Opto-elektronische vorrichtung zur messung von druck-, insbesondere schalldruckdifferenzen
JPS63260396A (ja) * 1987-04-17 1988-10-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd マイクロホン
JPS63260300A (ja) * 1987-04-17 1988-10-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd マイクロホン
US5095199A (en) * 1989-09-11 1992-03-10 Ithaco Incorporated Scanning horizon sensors using an inner and an outer radiation senstive detector
US5285466A (en) * 1992-05-20 1994-02-08 Wisconsin Alumni Research Foundation Feedback mechanism for vertical cavity surface emitting lasers
US5995260A (en) * 1997-05-08 1999-11-30 Ericsson Inc. Sound transducer and method having light detector for detecting displacement of transducer diaphragm
US6154551A (en) * 1998-09-25 2000-11-28 Frenkel; Anatoly Microphone having linear optical transducers
JP2001119785A (ja) * 1999-10-15 2001-04-27 Phone Or Ltd 収音装置
DE1239698T1 (de) * 1999-12-13 2003-04-10 Kabushiki Kaisha Kenwood, Tokio/Tokyo Optischer elektroakustischer wandler
JP3997280B2 (ja) * 2001-11-16 2007-10-24 株式会社ケンウッド 光音響変換装置の振動板構造
US7134343B2 (en) * 2003-07-25 2006-11-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Opto-acoustoelectric device and methods for analyzing mechanical vibration and sound
JP3908751B2 (ja) * 2004-04-30 2007-04-25 株式会社東芝 音響電気変換素子

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US20050163509A1 (en) 2005-07-28
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WO2001041502A1 (fr) 2001-06-07

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