DE1136028B - Anordnung zur Untersuchung der magnetischen Bereiche in duennen Schichten mittels eines korpuskularstrahloptischen Mikroskops - Google Patents

Anordnung zur Untersuchung der magnetischen Bereiche in duennen Schichten mittels eines korpuskularstrahloptischen Mikroskops

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DE1136028B DES70893A DES0070893A DE1136028B DE 1136028 B DE1136028 B DE 1136028B DE S70893 A DES70893 A DE S70893A DE S0070893 A DES0070893 A DE S0070893A DE 1136028 B DE1136028 B DE 1136028B
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/266—Measurement of magnetic or electric fields in the object; Lorentzmicroscopy

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