DE112021007286T5 - Probenhalter und analysesystem - Google Patents

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Hideki Kikuchi
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN119008367B (zh) * 2024-08-14 2025-09-19 北京大学 一种用于保护敏感样品的样品杆

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4654216B2 (ja) 2007-04-23 2011-03-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置用試料ホールダ
JP5517559B2 (ja) 2009-10-26 2014-06-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における三次元情報の表示方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5875500B2 (ja) * 2012-10-31 2016-03-02 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子ビーム顕微装置
JP2015018645A (ja) * 2013-07-10 2015-01-29 株式会社日立ハイテクノロジーズ 試料ホールダおよび荷電粒子装置
JP6515320B2 (ja) * 2014-11-19 2019-05-22 日本製鉄株式会社 試料ホルダー及び透過型電子顕微鏡による観察方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4654216B2 (ja) 2007-04-23 2011-03-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置用試料ホールダ
JP5517559B2 (ja) 2009-10-26 2014-06-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における三次元情報の表示方法

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