DE112012003848T5 - System und Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente und System und Verfahren zur Herstellung von LED-Packages - Google Patents

System und Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente und System und Verfahren zur Herstellung von LED-Packages Download PDF

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Abstract

Bei der Fertigung von LED-Packages durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das den fluoreszierenden Stoff enthält, bei einem Kunstharz zuführenden Abgabevorgang zum Zuführen des Kunstharzes zu den LED-Elementen in einem Wafer-Zustand, werden die Lichtemissionskenngrößen des Lichts gemessen, das das Kunstharz abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil Anregungslicht auf ein lichtdurchlässiges Element abgestrahlt wird, dem das Kunstharz für die Messung der Lichtemissionskenngrößen probeweise zugeführt wird, und die geeignete Kunstharzzufuhrmenge wird der Grundlage des Ergebnisses der Messung und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen korrigiert, um eine geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes abzuleiten, die zwecks Durchführung der praktischen Produktion den LED-Elementen zugeführt werden sollte.

Description

  • <Technisches Gebiet>
  • Die Erfindung bezieht sich auf Systeme und Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente und Systeme und Verfahren zur Herstellung von LED-Packages, die lichtemittierende Elemente fertigen, die hergestellt werden, indem LED-Elemente mit Kunstharz beschichtet werden, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, und LED-Packages fertigen, die aufgebaut werden, indem die lichtemittierenden Elemente auf Trägerplatten montiert werden.
  • <Stand der Technik>
  • In letzter Zeit werden LEDs (lichtemittierende Dioden), die ausgezeichnete Eigenschaften aufweisen wie weniger Stromverbrauch und eine lange Lebensdauer, weit verbreitet als Lichtquellen in verschiedenen Beleuchtungsvorrichtungen eingesetzt. Da Primärfarben, die LED-Elemente emittieren, auf drei Farben, oder zur Zeit auf rot, grün und blau beschränkt sind, wird um weißes Licht zu erhalten, das für die Beleuchtung typischerweise zu bevorzugen ist, ein Verfahren zum Erhalten von weißem Licht eingesetzt, bei dem man weißes Licht erhält, indem die oben erwähnten drei Primärfarben addiert und gemischt werden, und ein Verfahren zum Erhalten von quasi weißem Licht, bei dem eine blaue LED mit einem fluoreszierenden Stoff kombiniert wird, der gelbes Fluoreszenzlicht emittiert, dessen Farbe zu blau komplementär ist. In letzter Zeit wird das letztgenannte Verfahren weit verbreitet eingesetzt, und Beleuchtungsvorrichtungen, bei denen LED-Packages benutzt werden, in denen blaue LEDs mit fluoreszierenden YAG-Stoffen kombiniert sind, werden für die Hinterleuchtung von Flüssigkristallanzeigen und dergleichen eingesetzt (siehe zum Beispiel Patentschrift 1).
  • In dieser Patentschrift wird, nachdem ein LED-Element auf der Bodenfläche eines konkaven Befestigungsteils montiert ist, dessen Seitenwände eine reflektierende Fläche bilden, durch Ausbilden eines Kunstharz-Gehäuseteils durch Eingießen von Silikon-Kunstharz oder Epoxid-Kunstharz, in dem YAG-ähnliche Partikel eines fluoreszierenden Stoffs verteilt sind, in den Trägerteil, das LED-Package aufgebaut. Es wird ein Beispiel beschrieben, bei dem zum Zweck des Ausgleichens der Höhe des Kunstharz-Gehäuseteils im Trägerteil nach dem Eingießen des Kunstharzes ein Überschuss-Kunstharz-Reservoir ausgebildet wird, um überflüssiges Kunstharz, das über eine vorgegebene Menge hinaus eingegossen wurde, vom Trägerteil aufzunehmen und zu sammeln. Sogar wenn die Abgabemenge von einem Spender zum Zeitpunkt des Eingießens des Kunstharzes variiert, wird dadurch der Kunstharz-Gehäuseteil einer vorgegebenen Höhe, der eine konstante Menge an Kunstharz aufweist, auf dem LED-Element ausgebildet.
  • <Dokumente zum Stand der Technik>
  • <Patentschriften>
    • Patentschrift 1: Japanische Patentveröffentlichung Nr. 2007-66969
  • <Zusammenfassung der Erfindung>
  • <Von der Erfindung zu lösende Aufgabe>
  • In dem oben erwähnten Beispiel nach dem Stand der Technik besteht jedoch wegen der Änderung der Lichtemissions-Wellenlänge des einzelnen LED-Elementes das Problem, dass die Lichtemissionskenngrößen des LED-Packages als fertiges Produkt variieren. Das heißt, das LED-Element ist einem Herstellungsprozess ausgesetzt, bei dem eine Vielzahl von Elementen gemeinsam auf einem Wafer ausgearbeitet werden. Wegen verschiedener Arten von Abweichungsfaktoren im Herstellungsprozess, zum Beispiel die Änderung der Zusammensetzung zum Zeitpunkt der Schichtbildung im Wafer, kann nicht verhindert werden, dass die Lichtemissions-Kenngrößen wie z. B. Lichtemissions-Wellenlänge des LED-Elementes, das durch Aufteilen des Wafers in einzelne Stücke erhalten wird, variieren. In dem oben erwähnten Beispiel wird, weil die Höhe des Kunstharz-Gehäuseteils, der das LED-Element bedeckt, einheitlich eingestellt ist, die Änderung der Lichtemissions-Wellenlänge in den einzelnen LED-Elementen genau durch die Änderung der Lichtemissions-Kenngrößen des LED-Packages als Fertigprodukt widergespiegelt, und als Folge davon treten zwangsläufig defekte Produkte auf, deren Kenngrößen vom Qualitäts-Toleranzbereich abweichen.
  • Ferner wird bei der herkömmlichen Art einschließlich des oben angegebenen Beispiels, weil das Kunstharz, das den fluoreszierenden Stoff enthält aufgetragen wird, nachdem das LED-Element auf eine Gehäuse-Trägerplatte montiert wurde, das Kunstharz so aufgetragen, dass das Kunstharz für jede Gehäuse-Trägerplatte abfließt. Daher wird in der Kunststoff-Beschichtungsvorrichtung eine Sammlung von Gehäuse-Trägerplatten zu Arbeitsobjekten, so dass während sich die Flächen-Produktivität verringert, da sich die vorrichtungsspezifische Fläche vergrößert, Zeit für die Bewegung der Düse zum Auftragen des Kunstharzes benötigt wird, was zu einem Abfall der Produktions-Effizienz führt.
  • Somit ist mit der vorliegenden Erfindung beabsichtigt, Systeme und Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente und Systeme und Verfahren zur Herstellung von LED-Packages zu schaffen, die LED-Packages fertigen, die hergestellt werden, indem die lichtemittierenden Elemente auf Trägerplatten montiert werden, so dass die Produktions-Ausbeute und die Flächen-Produktivität verbessert werden kann, indem die Lichtemissions-Kenngrößen ausgeglichen werden.
  • <Mittel zum Lösen des Problems>
  • Ein System zur Herstellung lichtemittierender Elemente der vorliegenden Erfindung, das durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit einem Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt umfasst Folgendes: eine Chip-Schneidevorrichtung, die einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, in einzelne LED-Elemente zerteilt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand misst, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die Informationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem Wafer-Zustand zu erhalten, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und eine Aushärtevorrichtung, die das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen; einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngröße, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion; einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird; einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz bei der praktischen Produktion den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen; und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente der vorliegenden Erfindung, das durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt umfasst Folgendes: einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den ein LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand gemessen werden, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um lichtemittierende Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgeschriebene, Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem Wafer-Zustand zu erhalten, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz gehärtet wird; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngrößen; einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil; einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz bei der praktischen Produktion den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen; und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein System zur Herstellung von LED-Packages der vorliegenden Erfindung, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, umfasst Folgendes: eine Chip-Schneidevorrichtung, die einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, in einzelne LED-Elemente zerteilt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand misst, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die als Kunstharz-Zufuhrinformationen Informationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem Wafer-Zustand zu erhalten, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; eine Aushärtevorrichtung, die lichtemittierende Elemente durch Aushärten des den LED-Elementen zugeführten Kunstharzes fertigstellt; und eine Bauelement-Montagevorrichtung, die die lichtemittierende Elemente auf Trägerplatten montiert; wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen, einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngrößen, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein Verfahren zur Herstellung von LED-Packages der vorliegenden Erfindung, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, umfasst Folgendes: einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den ein LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand gemessen werden, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben;
    einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um lichtemittierende Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem Wafer-Zustand zu erhalten, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind, und zwar auf der Grundlage der Kunstharz-Zufuhrinformationen und der Anordnungsdaten; und einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz gehärtet wird, und einen Bauelement-Montageschritt, durch den die lichtemittierende Elemente auf Trägerplatten montiert werden; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngröße, einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil, einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein System zur Herstellung lichtemittierender Elemente der vorliegenden Erfindung, das durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt umfasst Folgendes: eine Trennschneidevorrichtung, die nur die Halbleiterschichten, aus denen die LED-Elemente in einem LED-Wafer bestehen, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, halb in einzelne LED-Element-Stücke trennt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem halb zerteilten Zustand misst, in dem nur die Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die den Elementpositionsinformationen, die für das halb zerteilte LED-Element die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element jedes LED-Wafers zuordnen; eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die als Kunstharz-Zufuhrinformationen Informationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem halb zerteilten Zustand zu erhalten, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und eine Aushärtevorrichtung, die das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; und eine Chip-Schneidevorrichtung, die den LED-Wafer nach dem Aushärten des Kunstharzes in einzelne LED-Elemente zerteilt; wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen, einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngrößen, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente der vorliegenden Erfindung, das durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt umfasst Folgendes: einen Trennschritt, durch den nur die Halbleiterschichten, aus denen die LED-Elemente in einem LED-Wafer bestehen, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, halb in einzelne LED-Element-Stücke getrennt werden; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem halb zerteilten Zustand gemessen werden, in dem nur die Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für das halb zerteilte LED-Element die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element zuordnen; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um lichtemittierende Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem halb zerteilten Zustand zu erhalten, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; und einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den der LED-Wafer nach dem Aushärten des Kunstharzes in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngröße, einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil, einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz bei der den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein System zur Herstellung von LED-Packages der vorliegenden Erfindung, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, umfasst Folgendes: eine Trennschneidevorrichtung, die nur die Halbleiterschichten, aus denen die LED-Elemente in einem LED-Wafer bestehen, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, halb in einzelne LED-Element-Stücke trennt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem halb zerteilten Zustand misst, in dem nur Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die den Elementpositionsinformationen, die für das halb zerteilte LED-Element die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element jedes LED-Wafers zuordnen; eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die Informationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, als Kunstharz-Zufuhrinformationen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem halb zerteilten Zustand zu erhalten, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; eine Aushärtevorrichtung, die das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; eine Chip-Schneidevorrichtung, die den LED-Wafer nach dem Aushärten des Kunstharzes in einzelne lichtemittierende Elemente zerteilt; und eine Bauelement-Montagevorrichtung, die die einzelnen lichtemittierenden Elemente auf Trägerplatten montiert; wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen, einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngrößen, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein Verfahren zur Herstellung von LED-Packages der vorliegenden Erfindung, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, umfasst Folgendes: einen Trennschritt, durch den nur die Halbleiterschichten, aus denen die LED-Elemente in einem LED-Wafer bestehen, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, halb in einzelne LED-Element-Stücke getrennt werden; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem halb zerteilten Zustand gemessen werden, in dem nur die Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben, einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für das halb zerteilte LED-Element die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element zuordnen; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um lichtemittierende Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem halb zerteilten Zustand zu erhalten, und zwar auf der Grundlage der Kunstharz-Zufuhrinformationen und der Anordnungsdaten; einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet, einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den der LED-Wafer nach dem Aushärten des Kunstharzes in einzelne lichtemittierende Elemente zerteilt wird; und einen Bauelement-Montageschritt, durch den die einzelnen lichtemittierende Elemente auf Trägerplatten montiert werden; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngrößen, einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil, einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein System zur Herstellung lichtemittierender Elemente, die durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt umfasst Folgendes: eine Chip-Schneidevorrichtung, die einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, in einzelne LED-Elemente zerteilt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand misst, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Element-Umordnungsteil, der die LED-Elemente auf einer Element-Haltefläche auf der Grundlage der Anordnungsdaten in eine vorgegebene Anordnung umordnet, eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die als Kunstharz-Zufuhrinformationen Informationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der auf der Element-Haltefläche gehaltenen LED-Elemente zu erhalten, und zwar auf der Grundlage von Elementanordnungsinformationen, die die Anordnung der vom Element-Umordnungsteil umgeordneten LED-Elemente angeben, und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und eine Aushärtevorrichtung, die das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen, einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngröße, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente der vorliegenden Erfindung, das durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt umfasst Folgendes: einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den ein LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand gemessen werden, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Element-Umordnungsschritt, durch den die LED-Elemente mit einer vorgegebenen Anordnung auf der Grundlage der Anordnungsdaten auf einer Element-Haltefläche umgeordnet werden; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der auf der Element-Haltefläche gehaltenen LED-Elemente zu erhalten, und zwar auf der Grundlage von Elementanordnungsinformationen, die die Anordnung der durch den Element-Umordnungsschritt umgeordneten LED-Elemente angeben, und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz gehärtet wird; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngrößen, einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil, einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein System zur Herstellung von LED-Packages, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, umfasst Folgendes: eine Chip-Schneidevorrichtung, die einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, in einzelne LED-Elemente zerteilt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand misst, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Element-Umordnungsteil, der die LED-Elemente auf einer Element-Haltefläche auf der Grundlage der Anordnungsdaten in eine vorgegebene Anordnung umordnet, eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die Informationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der auf der Element-Haltefläche gehaltenen LED-Elemente zu erhalten, und zwar auf der Grundlage von Elementanordnungsinformationen, die die Anordnung der vom Element-Umordnungsteil umgeordneten LED-Elemente angeben, und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; eine Aushärtevorrichtung, die lichtemittierende Elemente durch Aushärten des den LED-Elementen zugeführten Kunstharzes fertigstellt; und eine Bauelement-Montagevorrichtung, die die lichtemittierende Elemente auf Trägerplatten montiert, wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen, einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngröße, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • Ein Verfahren zur Herstellung von LED-Packages der vorliegenden Erfindung, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, umfasst Folgendes: einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den ein LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand gemessen werden, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Element-Umordnungsschritt, durch den die LED-Elemente auf einer Element-Haltefläche auf der Grundlage der Anordnungsdaten in eine vorgegebene Anordnung umgeordnet werden; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgeschriebene Lichtemissionskenngrößen der auf der Element-Haltefläche gehaltenen LED-Elemente zu erhalten, und zwar auf der Grundlage von Elementanordnungsinformationen, die die Anordnung der durch den Element-Umordnungsschritt umgeordneten LED-Elemente angeben, und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; und einen Bauelement-Montageschritt, durch den lichtemittierende Elemente auf Trägerplatten montiert werden; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngröße; einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil; einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  • <Auswirkungen der Erfindung>
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung werden bei der Fertigung von lichtemittierenden Elementen durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit dem Kunstharz, das den fluoreszierenden Stoff enthält, bei dem Kunstharz zuführenden Abgabevorgang zum Zuführen des Kunstharzes zu den LED-Elementen in einem Wafer-Zustand die Lichtemissionskenngrößen des Lichts gemessen, das das Kunstharz abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil Anregungslicht auf ein lichtdurchlässiges Element abgestrahlt wird, dem das Kunstharz für die Messung der Lichtemissionskenngrößen probeweise zugeführt wird, und die geeignete Kunstharzzufuhrmenge wird auf der Grundlage des Ergebnisses der Messung und der vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen korrigiert, um eine geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes abzuleiten, die zwecks Durchführung der praktischen Produktion den LED-Elementen zugeführt werden sollte. Sogar wenn die Lichtemissions-Wellenlänge des einzelnen LED-Elementes variiert, kann durch Ausgleichen der Lichtemissions-Kenngrößen des lichtemittierenden Elementes die Produktions-Ausbeute verbessert werden, und die Flächen-Produktivität bei der Fertigung der Vorrichtungen kann verbessert werden.
  • <Kurze Beschreibung der Figuren>
  • 1 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Systems zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes einer Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Die 2(a) und 2(b) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus eines LED-Wafers, der Gegenstand des Systems zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung wird.
  • Die 3(a) und 3(b) sind veranschaulichende Figuren von Funktionen einer Chip-Schneidevorrichtung und einer Elementkenngrößen-Messvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 4(a) und 4(b) sind veranschaulichende Figuren von Anordnungsdaten, die in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung benutzt werden.
  • 5 ist eine veranschaulichende Figur von Kunstharz-Zufuhrinformationen, die in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung benutzt werden.
  • Die 6(a) und 6(b) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus einer Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 7(a) und 7(b) sind veranschaulichende Figuren der Funktionen der Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 8(a) bis 8(c) sind veranschaulichende Figuren einer Lichtemissions-Kenngrößen-Messfunktion, die in der Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung enthalten ist.
  • Die 9(a) und 9(b) sind veranschaulichende Figuren einer Lichtemissions-Kenngrößen-Messfunktion, die in der Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung enthalten ist.
  • Die 10(a) und 10(b) sind veranschaulichende Figuren von Funktionen einer Aushärtevorrichtung und einer Sortiervorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • 11 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Steuerungssystems des Systems zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 12 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Systems zur Herstellung eines LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Die 13(a) und 13(b) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus von LED-Packages, die durch das System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung gefertigt werden.
  • Die 14(a) bis 14(c) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus und von Funktionen einer Bauelement-Montagevorrichtung in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • 15 ist ein Ablaufdiagramm der Herstellung von LED-Packages in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • 16 ist ein Ablaufdiagramm eines Prozesses zum Erstellen von Schwellenwertdaten zur Bestimmung von Qualitätsgrößen in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 17(a) bis 17(c) sind veranschaulichende Figuren von Schwellenwertdaten zur Bestimmung von Qualitätsgrößen in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • 18 ist eine Farbtafel, welche die Schwellenwertdaten für die Bestimmung von Qualitätsgrößen in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung beschreibt.
  • 19 ist ein Ablaufdiagramm des Betriebs der Kunstharzzufuhr in einem Prozess zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 20(a) bis 20(d) sind veranschaulichende Figuren des Betriebs der Kunstharzzufuhr in dem Prozess zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 21(a) bis 21(d) sind veranschaulichende Figuren der Schritte des Prozesses zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 22(a) bis 22(d) sind veranschaulichende Figuren der Schritte des Prozesses zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 1 der vorliegenden Erfindung.
  • 23 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Systems zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes einer Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Die 24(a) und 24(b) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus eines LED-Wafers, der Gegenstand des Systems zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung wird.
  • Die 25(a) und 25(b) sind veranschaulichende Figuren von Funktionen einer Chip-Schneidevorrichtung und einer Elementkenngrößen-Messvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 26(a) und 26(b) sind veranschaulichende Figuren von Anordnungsdaten, die in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung benutzt werden.
  • 27 ist eine veranschaulichende Figur von Kunstharz-Zufuhrinformationen, die in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung benutzt werden.
  • Die 28(a) und 28(b) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus einer Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 29(a) und 29(b) sind veranschaulichende Figuren der Funktionen der Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 30(a) bis 30(c) sind veranschaulichende Figuren einer Lichtemissions-Kenngrößen-Messfunktion, die in der Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung enthalten ist.
  • Die 31(a) und 31(b) sind veranschaulichende Figuren einer Lichtemissions-Kenngrößen-Messfunktion, die in der Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung enthalten ist.
  • Die 32(a) und 32(c) sind veranschaulichende Figuren von Funktionen einer Aushärtevorrichtung und einer Sortiervorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • 33 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Steuerungssystems des Systems zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 34 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Die 35(a) und 35(b) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus von LED-Packages, die durch das System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung gefertigt werden.
  • Die 36(a) bis 36(c) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus und von Funktionen einer Bauelement-Montagevorrichtung in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • 37 ist ein Ablaufdiagramm der Herstellung von LED-Packages in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • 38 ist ein Ablaufdiagramm eines Prozesses zum Erstellen von Schwellenwertdaten zur Bestimmung von Qualitätsgrößen in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 39(a) bis 39(c) sind veranschaulichende Figuren von Schwellenwertdaten zur Bestimmung von Qualitätsgrößen in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • 40 ist ein Ablaufdiagramm des Betriebs der Kunstharzzufuhr in einem Prozess zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 41(a) bis 41(d) sind veranschaulichende Figuren der Schritte des Prozesses zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 42(a) bis 42(d) sind veranschaulichende Figuren der Schritte des Prozesses zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 2 der vorliegenden Erfindung.
  • 43 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Systems zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes einer Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Die 44(a) und 44(b) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus eines LED-Wafers, der Gegenstand des Systems zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung wird.
  • Die 45(a) und 45(b) sind veranschaulichende Figuren von Funktionen einer Chip-Schneidevorrichtung und einer Elementkenngrößen-Messvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 46(a) und 46(b) sind veranschaulichende Figuren von Anordnungsdaten, die in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung benutzt werden.
  • 47 ist eine veranschaulichende Figur von Kunstharz-Zufuhrinformationen, die in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung benutzt werden.
  • Die 48(a) und 48(b) sind veranschaulichende Figuren der Funktionen einer Element-Umordnungsvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 49(a) und 49(b) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus einer Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 50(a) und 50(b) sind veranschaulichende Figuren der Funktionen der Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 51(a) bis 51(c) sind veranschaulichende Figuren einer Lichtemissions-Kenngrößen-Messfunktion, die in der Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung enthalten ist.
  • Die 52(a) und 52(b) sind veranschaulichende Figuren einer Lichtemissions-Kenngrößen-Messfunktion, die in der Kunstharzzufuhrvorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung enthalten ist.
  • Die 53(a) und 53(b) sind veranschaulichende Figuren von Funktionen einer Aushärtevorrichtung und einer Sortiervorrichtung in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • 54 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Steuerungssystems des Systems zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 55 ist ein Blockdiagramm, das den Aufbau eines Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Die 56(a) und 56(b) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus von LED-Packages, die durch das System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung gefertigt werden.
  • Die 57(a) bis 57(c) sind veranschaulichende Figuren des Aufbaus und von Funktionen einer Bauelement-Montagevorrichtung in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • 58 ist ein Ablaufdiagramm der Herstellung von LED-Packages in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • 59 ist ein Ablaufdiagramm eines Prozesses zum Erstellen von Schwellenwertdaten zur Bestimmung von Qualitätsgrößen in dem System zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 60(a) bis 60(c) sind veranschaulichende Figuren von Schwellenwertdaten zur Bestimmung von Qualitätsgrößen in dem System zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • 61 ist ein Ablaufdiagramm des Betriebs der Kunstharzzufuhr in einem Prozess zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 62(a) bis 62(d) sind veranschaulichende Figuren der Schritte des Prozesses zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • Die 63(a) bis 63(d) sind veranschaulichende Figuren der Schritte des Prozesses zur Herstellung von LED-Packages des Systems zur Herstellung von LED-Packages der Ausführung 3 der vorliegenden Erfindung.
  • <Ausführungsformen der Erfindung>
  • (Ausführungsform 1)
  • Als nächstes wird eine Ausführungsform 1 der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnung beschrieben. Zuerst wird mit Bezug auf 1 der Aufbau eines Systems 1 zur Herstellung eines lichtemittierenden Elements beschrieben. Das System 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente hat eine Funktion der Herstellung lichtemittierender Elemente für die weiße Beleuchtung, die durch Beschichten der Oberseite eines LED-Elements, das blaues Licht emittiert, mit einem Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, der gelb angeregtes Licht emittiert, dessen Farbe zu blau komplementär ist, hergestellt werden. Wie in 1 gezeigt ist in dieser Ausführungsform das System 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente so konstruiert, dass jede aus einer Chip-Schneidevorrichtung M1, einer Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2, einer Kunstharzzufuhrvorrichtung M3, einer Aushärtevorrichtung M4 und einer Sortiervorrichtung M5 durch ein LAN-System 2 verbunden ist, und diese Vorrichtungen gemeinsam durch einen Verwaltungscomputer 3 gesteuert werden.
  • Die Chip-Schneidevorrichtung M1 zerteilt einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, in einzelne LED-Elemente. Die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 ist ein Teil zur Messung von Element-Kenngrößen und führt die Vorgänge der individuellen Messung der Lichtemissions-Kenngrößen der einzeln getrennten LED-Bauelemente in einem Zustand aus, in dem sie an der Chip-Schneidplatte befestigt und gehalten sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissions-Kenngrößen der LED-Elemente angeben, und um Anordnungsdaten zu erstellen, mit denen die Element-Positionsinformationen, die die Position eines getrennten LED-Elementes im LED-Wafer den Elementkenngrößeninformation des LED-Elementes für jeden LED-Wafer zugeordnet werden.
  • Die Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 liefert auf der Grundlage der oben erwähnten Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformation, die über das LAN-System 2 vom Verwaltungscomputer 3 übertragen werden, nämlich der Information, die eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes, das den fluoreszierenden Stoff enthält, um das LED-Element zu erhalten, das die geregelten Lichtemissions-Kenngrößen aufweist, die den Lichtelement-Kenngrößeninformationen entspricht, Kunstharz in geeigneten Kunstharzzufuhrmengen, um die geregelten Lichtemissions-Kenngrößen aufzuweisen, an die LED-Elemente in einem Wafer-Zustand, in dem der Wafer auf der Chip-Schneidplatte befestigt ist. Die Aushärtevorrichtung M4 härtet das Kunstharz durch Erwärmen der LED-Elemente, denen das Kunstharz zugeführt wird. Dadurch wird ein lichtemittierendes Element des Aufbaus ausgebildet, in dem das LED-Element mit einer Kunstharzschicht bedeckt ist, die den fluoreszierenden Stoff enthält. Anstatt das Kunstharz zum Härten zu erwärmen, kann die Aushärtevorrichtung M4 so konstruiert sein, dass das Aushärten durch Einstrahlen von UV (ultravioletten Strahlen) gefördert wird, oder sie kann so konstruiert sein, dass das Kunstharz einfach wie es ist aufgebracht wird und natürlich aushärtet. Die Sortiervorrichtung M5 misst die Lichtemissions-Kenngrößen der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen, die an der Chip-Schneidplatte befestigt sind, erneut, klassifiziert die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage der Ergebnisse der Messungen in einzelne vorgegebene Kenngrößen-Bereiche und überträgt sie einzeln zu Element-Halteplatten.
  • In 1 ist ein Beispiel gezeigt, bei dem die Bauelemente von der Chip-Schneidevorrichtung M1 zur Sortiervorrichtung M5 in einer Linie angeordnet sind, um eine Fertigungslinie aufzubauen.
  • Bei dem System 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente wird jedoch nicht notwendigerweise ein solcher Linienaufbau eingesetzt, sondern es kann so konstruiert sein, dass die Prozedurschritte von den Vorrichtungen, die zerstreut angeordnet sind, jeweils sequentiell ausgeführt werden, soweit die in der folgenden Erläuterung zu beschreibende Informationsübertragung geeignet durchgeführt wird.
  • Hierin werden mit Bezug auf die 2(a) und 2(b) ein LED-Wafer 10 und LED-Elemente 5 beschrieben, auf denen Operationen in dem System 1 zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes durchgeführt werden. Wie in 2(a) gezeigt, ist in dem LED-Wafer 10 eine Vielzahl von LED-Elementen 5 in einer Gitteranordnung ausgearbeitet, und eine Chip-Schneidplatte 10a ist an der Unterseite des LED-Wafers 10 befestigt. Ritzlinien 10b, welche die LED-Elemente 5 abtrennen, sind im LED-Wafer 10 festgelegt, und durch Schneiden des LED-Wafers 10 entlang der Ritzlinien 10b wird eine Sammlung von LED-Elementen 5 in einem Wafer-Zustand, in dem die einzelnen LED-Elemente 5 durch die Chip-Schneidplatte 10a gehalten werden, ausgebildet. In den Schritten des Systems 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente werden in einem Zustand, in dem der LED-Wafer 10 in einem Wafer-Halter 4 (siehe 6(a) bis 7(b)) gehalten wird, die Operationen und der Transport durchgeführt.
  • Wie in 2(a) gezeigt, wird das LED-Element 5 aufgebaut, indem ein n-Typ-Halbleiter 5b und ein p-Typ-Halbleiter 5c auf eine Saphir-Platte 5a geschichtet wird und die Oberfläche des p-Typ-Halbleiters 5c mit einer transparenten Elektrode 5d bedeckt wird, und eine Elektrode 6a des Teils vom n-Typ und eine Elektrode 6b des Teils vom p-Typ für externe Anschlüsse auf dem n-Typ-Halbleiter 5b, bzw. dem p-Typ-Halbleiter 5c ausgebildet werden. Das LED-Element 5 ist eine blaue LED und ist geeignet, quasi-weißes Licht zu liefern, indem es mit einem Kunstharz 8 kombiniert wird (siehe 7(b)), das den fluoreszierenden Stoff enthält, der gelbes Fluoreszenzlicht emittiert, dessen Farbe zu blau komplementär ist. In dieser Ausführungsform wird das Kunstharz 8 durch die Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 den LED-Elementen 5 in dem Wafer-Zustand, wie oben beschrieben, zugeführt.
  • Wegen verschiedener Arten von Abweichungsfaktoren bei der Herstellung, zum Beispiel die Änderung der Zusammensetzung zum Zeitpunkt der Schichtbildung im Wafer, kann nicht verhindert werden, dass die Lichtemissions-Kenngrößen wie z. B. die Lichtemissions-Wellenlänge des aus dem Wafer-Zustand einzeln aufgeteilten LED-Elementes 5, variieren. Wenn ein solches LED-Element 5 als lichtemittierendes Element zur Beleuchtung so wie es ist verwendet wird, variieren die Lichtemissions-Kenngrößen des Endproduktes. Um die durch die Änderung der Lichtemissions-Kenngrößen verursachte schlechte Qualität zu verhindern, werden in der vorliegenden Ausführungsform die Lichtemissions-Kenngrößen der Vielzahl der LED-Elemente 5 durch die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 in einem Wafer-Zustand gemessen, es werden Element-Kenngrößeninformationen erstellt, die dafür sorgen, dass jedes LED-Element 5 Daten entspricht, die die Lichtemissions-Kenngrößen des LED-Elementes 5 anzeigen, und eine geeignete Menge des Kunstharzes 8, die den Lichtemissions-Kenngrößen des LED-Elementes 5 entspricht, wird in der Kunstharzzufuhr zugeführt. Um die geeignete Menge des Kunstharzes 8 zuzuführen, werden zuvor Kunstharz-Zufuhrinformationen erstellt, die im Folgenden zu beschreiben sind.
  • Als Nächstes werden in der Reihenfolge der Schritte der Aufbau und die Funktionen der Vorrichtungen beschrieben, die das System 1 zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes aufbauen. Zuerst wird der LED-Wafer 10 zur Chip-Schneidevorrichtung M1 gesendet, wie in 3(a) gezeigt. Wenn Schneidgräben 10c, die die Chip-Schneidplatte 10a erreichen, entlang der Ritzlinien 10b im LED-Wafer 10 durch eine Laser-Schneidmaschine 7 ausgebildet werden, wird der LED-Wafer 10 in einzelne LED-Elemente 5 aufgeteilt, wobei in jedem die transparente Elektrode 5d, der p-Typ-Halbleiter 5c, der n-Typ-Halbleiter 5b und das Saphir-Substrat 5a geschichtet sind. Zum Schneiden der Chips können verschiedene Verfahren benutzt werden. Zum Beispiel können einzelne LED-Elemente 5 mit einem Verfahren des mechanischen Schneidens mit einer Chip-Schneidsäge erhalten werden, oder indem nur die transparente Elektrode 5d, der p-Typ-Halbleiter Sc und der n-Typ-Halbleiter 5b in der Dickenrichtung mit einem Laserstrahl entfernt wird und das Saphir-Substrat 5a durch Zerbröckeln aufgeteilt wird, um die vom Laserstrahl ausgebildeten versprödeten Bereiche zu brechen.
  • Wie in 3(b) gezeigt, wird als Nächstes der LED-Wafer 10 nach dem Zerteilen an die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 gesendet, wo Elementkenngrößen, die die Lichtemissionskenngrößen des LED-Elementes 5 angeben, gemessen werden. Das heißt, während ein Spektroskop 11a direkt über einem LED-Element 5 angeordnet ist, das unter der Vielzahl von LED-Elementen 5 in einem Wafer-Zustand zu messen ist, in dem es auf der Chip-Schneidplatte 10a befestigt und gehalten ist, wobei Prüfspitzen einer Stromversorgung 9 die Elektrode 6a des n-Typ-Teils und die Elektrode 6b des p-Typ-Teils des LED-Elementes 5 berühren, wird der n-Typ-Halbleiter 5b und der p-Typ-Halbleiter 5c mit Strom versorgt, um Licht zu emittieren. Dann wird eine spektroskopische Analyse des Lichts durchgeführt, um vorgegebene Größen, wie die Lichtemissions-Wellenlänge oder die Helligkeit der Lichtemission zu messen, und das Ergebnis der Messung wird von einem Kenngrößen-Messungs-Prozessor 11 verarbeitet, so dass Element-Kenngrößeninformationen erhalten werden, die die Lichtemissions-Kenngrößen des LED-Elementes 5 anzeigen. Diese Messung der Elementkenngrößen wird der Reihe nach für alle LED-Elemente 5 durchgeführt, die den LED-Wafer 10 bilden.
  • Als Nächstes werden die Element-Kenngrößeninformationen mit Bezug auf die 4(a) und 4(b) beschrieben. 4(a) zeigt eine Standardverteilung der Lichtemissions-Wellenlänge, die vorher als Referenzdaten für die zu messenden LED-Elemente 5 zu erstellen ist. Durch Aufteilen eines Wellenlängenbereichs, der dem Standardbereich in der Verteilung entspricht, in eine Vielzahl von Wellenlängenbereichen wird die gemessene Vielzahl von LED-Elementen 5 entsprechend der Lichtemissions-Wellenlänge klassifiziert. Hierbei werden als Reaktion auf jeden der Ränge, die durch Unterteilung des Wellenlängenbereichs in fünf Bereiche festgesetzt werden, der Reihe nach von der Seite der kleinen Wellenlänge Behälter-Codes (Bin-Codes) [1], [2], [3], [4] und [5] vergeben. Auf der Grundlage der Messergebnisse der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 werden für die einzelnen LED-Elemente 5 Bin-Codes vergeben und als Element-Kenngrößeninformation 12 im Speicherteil 71 gespeichert (11).
  • 4(b) zeigt Anordnungsdaten 18, die den Elementpositionsinformationen, die die Position eines abgeteilten LED-Elementes 5 im LED-Wafer 10 den Element-Kenngrößeninformationen 12 über das LED-Element 5 zuordnen. Hierbei werden eine X-Zellkoordinate 18X und eine Y-Zellkoordinate 18Y in einer Matrixanordnung der LED-Elemente 5 im LED-Wafer 10 als Element-Positions-Information benutzt. Das heißt die Anordnungsdaten 18 sind so konstruiert, dass sie dafür sorgen, dass die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5], die einem einzelnen LED-Element 5 auf der Grundlage des Messergebnisses der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 vergeben werden, dem einzelnen LED-Element 5 entsprechen, das durch die Element-Positions-Information gekennzeichnet ist, und durch Angabe einer Wafer-Kennung (Wafer-ID) 18a können die Anordnungsdaten 18 jedes der einzelnen LED-Wafer 10 ausgelesen werden.
  • Dann wird die Kunstharz-Zufuhrinformation, die zuvor als Reaktion auf die oben erwähnte Element-Kenngrößeninformation 12 erstellt wurde, mit Bezug auf 5 beschrieben. In dem lichtemittierenden Element des Aufbaus, mit dem weißes Licht durch Kombination eines VAG-ähnlichen fluoreszierenden Stoffs mit einer blauen LED erhalten werden soll, wird, weil das blaue Licht, welches das LED-Element 5 emittiert, mit dem gelben Licht, das der fluoreszierende Stoff indem er durch das blaue Licht angeregt wird, emittiert, addiert und gemischt wird, die Menge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs in der Kunstharz-Schicht, die die Oberseite des LED-Elementes 5 bedeckt, zu einem wichtigen Faktor zum Sicherstellen der normalen Lichtemissions-Kenngrößen eines fertigen lichtemittierenden Elementes.
  • Wie oben erwähnt unterscheiden sich, weil es durch die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] klassifizierte Schwankungen der Lichtemissions-Wellenlängen einer Vielzahl von LED-Elementen 5, die gleichzeitig zu Arbeitsobjekten werden, gibt, unterscheiden sich die geeigneten Mengen der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs in dem Kunstharz 8, das zugeführt wird, um die LED-Elemente 5 abzudecken auf der Grundlage der Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5]. Wie in 5 gezeigt werden in dieser Ausführungsform in der erstellten Kunstharz-Zufuhrinformation 19 geeignete Kunstharzzufuhrmengen, die auf der Grundlage der Bin-Codes klassifiziert sind, des Kunstharzes 8, in dem YAG-ähnliche Teilchen eines fluoreszierenden Stoffs enthalten sind, wie zum Beispiel in Silikon-Kunstharz oder Epoxid-Kunstharz, zuvor auf der Grundlage der Bin-Code-Bereiche 17 in nl (Nanoliter) festgesetzt. Das heißt, wenn eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge, die in der Kunstharz-Zufuhrinformation 19 gezeigt ist, des Kunstharzes 8 präzise zugeführt wird, um das LED-Element 5 abzudecken, wird die Menge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs in dem Kunstharz, das das LED-Element 5 abdeckt, eine geeignete Zufuhrmenge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs, und dadurch wird eine geforderte normale Lichtemissions-Wellenlänge in einem Endprodukt sichergestellt, nachdem das Kunstharz thermisch gehärtet ist.
  • Wie in einer Spalte 16 der Dichte des fluoreszierenden Stoffs gezeigt, wird hierbei eine Vielzahl von Dichten des fluoreszierenden Stoffs (hier drei Dichten, oder D1 (5%), D2 (10%) und D3 (15%)), die die Dichte der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 8 anzeigen, festgesetzt, und die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen werden auf unterschiedliche numerische Werte festgesetzt, die auf der Grundlage der Dichte des fluoreszierenden Stoffs des benutzten Kunstharzes 8 benutzt werden. Das heißt, wenn das Kunstharz 8 der Dichte D1 des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, wird für die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] das Kunstharz 8 der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen VA0, VB0, VD0, bzw. VE0 (geeignete Kunstharzzufuhrmengen 15(1)) zugeführt. Ebenso wird, wenn das Kunstharz 8 der Dichte D2 des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, für die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] das Kunstharz 8 der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen VF0, VG0, VH0, bzw. VK0 (geeignete Kunstharzzufuhrmengen 15(2)) zugeführt. Ferner wird, wenn das Kunstharz 8 der Dichte D3 des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, für die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] das Kunstharz 8 der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen VL0, VM0, VN0, bzw. VR0 (geeignete Kunstharzzufuhrmengen 15(3)) zugeführt. Auf diese Weise werden die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen jeweils für die Vielzahl von Dichten des fluoreszierenden Stoffs festgesetzt, die unterschiedlich sind, und der Grund dafür ist, dass die Zufuhr des Kunstharzes 8 der am besten geeigneten Dichte des fluoreszierenden Stoffs auf der Grundlage des Grades der Änderung der Lichtemissions-Wellenlänge zur Qualitätssicherung vorzuziehen ist.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf die 6(a) bis 7(b) ein Aufbau und Funktionen der Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 beschrieben. Die Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 weist eine Funktion der individuellen Zufuhr des Kunstharzes 8 an die Vielzahl von LED-Elementen 5 in einem Wafer-Zustand auf, in dem sie durch die Chip-Schneidevorrichtung M1 einzeln unterteilt sind, und deren Elementkenngrößen durch die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 gemessen sind. Wie in einer Draufsicht in 6(a) gezeigt, ist die Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 aufgebaut, indem ein Kunstharz-Zufuhr-Teil A, der in 6(b) in einem Querschnitt A-A gezeigt ist, auf einem Transportmechanismus 31 angeordnet ist, der einen Wafer-Halter 4, der einen LED-Wafer 10 hält, der ein Arbeitsobjekt ist.
  • In dieser Ausführungsform wird eine Kunstharz-Abgabevorrichtung, die das Kunstharz 8 in Tintenstrahldrucker-Manier abgibt, als Kunstharz-Zufuhr-Teil A benutzt. Das heißt am Kunstharz-Zufuhr-Teil A ist ein Druckkopf 32 vorgesehen, dessen Längsrichtung sich in Richtung zur X-Richtung befindet (Transportrichtung des Transportmechanismus 31). Wie in den 7(a) und 7(b) gezeigt ist am Druckkopf 32 eine eingebaute Druckerdüseneinheit 32a vorgesehen, die ein kleines Tröpfchen 8a des Kunstharzes 8 nach unten in einer Weise abgibt, dass die Abgabemenge kontrollierbar ist, und wenn der Druckkopf 32 durch einen Druckkopf-Antriebsteil 35 angetrieben wird, wird der Druckkopf 32 in der Y-Richtung (Pfeil a) über den Wafer 10 bewegt, der im Wafer-Halter 4 gehalten ist, und die Druckerdüseneinheit 32a wird in der X-Richtung (Pfeil b) im Druckkopf 32 bewegt. Wenn der Druckkopf-Antriebsteil 35 durch einen Zufuhrsteuerungsteil 36 gesteuert wird, wird die Druckerdüseneinheit 32a zu einer beliebigen Position in der X-Richtung und in der Y-Richtung bewegt, und die Abgabemenge des kleinen Tröpfchens 8a von der Druckerdüseneinheit 32a kann gesteuert werden.
  • Ein Messkopf 30, der eine Kamera 34a und eine Höhenmesseinheit 33a enthält, ist neben dem Druckkopf 32 angeordnet, um in X- und Y-Richtung (Pfeil c) beweglich zu sein. Wenn der Messkopf 30 über den LED-Wafer 10 bewegt wird, der in dem Wafer-Halter 4 gehalten wird, und ein Bild, das durch Aufzeichnen des LED-Wafers 10 mit der Kamera 34a erfasst wird durch einen Positionserkennungsteil 34 erkannt wird, wird die Position eines einzelnen LED-Elementes 5 auf dem LED-Wafer 10 erkannt. Das Ergebnis der Positionserkennung wird zum Zufuhrsteuerungsteil 36 übertragen.
  • Durch Ausrichten der Höhenmessungsvorrichtung 33a mit der zu messenden Fläche, um eine Entfernungsmessungs-Operation mit einem Laserstrahl durchzuführen, wird die Höhe der zu messenden Fläche gemessen. Hier wird die Oberseite des LED-Elementes 5 vor der Zufuhr des kleinen Tröpfchens 8a durch die Druckerdüseneinheit 32a die zu messende Fläche, und das Ergebnis der Höhenmessung durch den Höhenmessungsteil 33 wird zum Zufuhrsteuerungsteil 36 übertragen. Wenn das kleine Tröpfchen 8a durch die Druckerdüseneinheit 32a zugeführt wird, führt der Zufuhrsteuerungsteil 36 eine Höhenmessung der Oberseite des LED-Elementes 5 mit dem Höhenmessungsteil 33 durch. Wenn der Druckkopf 32 durch den Zufuhrsteuerungsteil 36 auf diese Weise gesteuert wird, wie in 7(b) gezeigt, wird das kleine Tröpfchen 8a von der Druckerdüseneinheit 32a abgegeben, und das Kunstharz 8 einer geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, die in der Kunstharz-Zufuhr-Information 19 vorgeschrieben ist, wird der Oberseite jedes der LED-Elemente 5 des LED-Wafers 10 zugeführt. Das heißt, der Kunstharzzufuhr-Teil A weist Funktionen der Abgabe einer variablen Zufuhrmenge des Kunstharzes 8 und der Zufuhr des Kunstharzes 8 an beliebigen Zufuhrpositionen auf.
  • Neben dem Transportmechanismus 31 ist eine probeweise zuführende und messende Einheit 40 im Bewegungsbereich des Druckkopfes 32 angeordnet. Die probeweise zuführende und messende Einheit 40 weist eine Funktion auf, vor einer Zufuhr-Operation zur praktischen Produktion der Zufuhr des Kunstharzes 8 zu den LED-Elementen 5 des Wafers 10 zu bestimmen, ab die Zufuhrmenge des Kunstharzes 8 geeignet ist, indem die Lichtemissions-Kenngrößen des Kunstharzes 8, das probeweise zugeführt wird, gemessen werden. Das heißt, Lichtemissions-Kenngrößen, wenn ein Licht, das ein Lichtquellen-Teil 45 zur Messung abstrahlt, auf ein lichtdurchlässiges Element 43 fällt, wenn das Kunstharz 8 durch den Kunstharzzufuhr-Teil A probeweise zugeführt wird, werden durch einen Lichtemissions-Kenngrößen-Messungsteil gemessen, der ein Spektraskap 42 und einen Lichtemissions-Kenngrößen-Messungs-Prozessor 39 enthält, und durch Vergleichen des Messergebnisses mit dem zuvor festgesetzten Schwellenwert wird festgestellt, ob die eingestellte Kunstharzzufuhrmenge, die in der in 5 gezeigten Kunstharzzufuhr-Information 19 vorgeschrieben ist, geeignet ist.
  • Die Zusammensetzung und die Kenngrößen des Kunstharzes 8, das Teilchen eines fluoreszierenden Stoffes enthält, sind nicht notwendigerweise stabil, und sogar wenn die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen vorher in der Kunstharzzufuhr-Information 19 festgesetzt werden, kann nicht verhindert werden, dass die Dichte und die Kunstharz-Viskosität des fluoreszierenden Stoffs über der Zeit schwanken. Sogar wenn das Kunstharz 8 entsprechend den Zufuhrparametern abgegeben wird, die den vorher festgesetzten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen entsprechen, ist es daher möglich, dass die Kunstharzzufuhrmenge von dem eingestellten geeigneten Wert abweicht, oder die Kunstharzzufuhrmenge selbst geeignet ist, aber die zugeführte Menge der Teichen des fluoreszierenden Stoffs durch Dichteänderungen von dem abweicht, was ursprünglich zugeführt werden sollte.
  • Um diese Probleme zu lösen, wird in der Ausführungsform durch die Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 in einem festgelegten Abstand eine probeweise Zufuhr durchgeführt, um zu erkennen, ob eine geeignete Zufuhrmenge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, und indem eine Messung der Lichtemissions-Kenngrößen des probeweise zugeführten Kunstharzes durchgeführt wird, wird die Zufuhrmenge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs, mit der die Anforderungen der ursprünglichen Lichtemissions-Kenngrößen erfüllt werden, stabilisiert. Somit hat der Kunstharzzufuhr-Teil A, der in der in der vorliegenden Ausführungsform gezeigten Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 enthalten ist, eine Funktion der Durchführung eines Zufuhrprozesses zur Messung, in dem das Kunstharz 8 probeweise für die oben erwähnte Messung der Lichtemissions-Kenngrößen an das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wird, zusätzlich zu einem Zufuhrprozess für die Produktion, in dem das Kunstharz 8 an eine Vielzahl von LED-Elementen 5 in einem Wafer-Zustand zugeführt wird, indem sie für die praktische Produktion in dem Wafer-Halter 4 gehalten werden. Einer von Zufuhrprozess zur Messung und Zufuhrprozess für die Produktion wird durchgeführt, wenn der Kunstharzzufuhr-Teil A durch den Zufuhrsteuerungsteil 36 gesteuert wird.
  • Mit Bezug auf die 8(a) bis 8(c) wird der detaillierte Aufbau der probeweise zuführenden und messenden Einheit 40 beschrieben. Wie in 8(a) gezeigt, wird das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt, indem es auf einer Vorratsspule 47 aufgewickelt und aufgenommen wird, und nachdem das lichtdurchlässige Element 43 entlang der Oberseite eines Tisches zur probeweisen Zuführung 40a befördert wurde, läuft das lichtdurchlässige Element 43 zwischen einem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 41 und einem bestrahlenden Teil 46 hindurch und wird auf eine Aufwickelspule 48 aufgewickelt, die durch einen Wickelmotor 49 angetrieben wird. Neben dem Aufnahmeverfahren des Aufwickeln auf der Aufwickelspule 48 können verschiedene Verfahren einschließlich eines Transportverfahrens, bei dem das lichtdurchlässige Element 43 durch einen Transportmechanismus in einen Sammelkasten transportiert wird, als Mechanismus zum Sammeln des lichtdurchlässigen Elementes 43 eingesetzt werden.
  • Der bestrahlende Teil 46 hat eine Funktion, Messungslicht, das vom Lichtquellenteil 45 emittiert wird, auf das lichtdurchlässige Element 43 einzustrahlen, und ist konstruiert, indem ein Licht konvergierendes Hilfsmittel 46b, in dem das Messungslicht, das der Lichtquellenteil 45 abstrahlt, durch Lichtwellenleiter-Kabel geführt wird, in einem Abschattungskasten 46a angeordnet wird, der die Funktion eines einfachen dunklen Kastens aufweist. Der Lichtquellenteil 45 hat eine Funktion des Abstrahlens von Anregungslicht, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, der in dem Kunstharz 8 enthalten ist. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Lichtquellenteil 45 über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 41 angeordnet und strahlt das Messungslicht von oben durch das Licht konvergierende Hilfsmittel 46b auf das lichtdurchlässige Element 43.
  • Hier werden ein Bandmaterial einer vorgegebenen Breite, das aus einem planaren Plattenelement aus transparentem Kunstharz ausgebildet ist, oder das oben angegebene Bandmaterial, in dem eingeprägte Teile 43a von der Bodenfläche nach unten vorstehen (Präge-Typ), oder dergleichen als lichtdurchlässiges Element 43 benutzt (siehe 8(b)). In dem Prozess des Transportierens des lichtdurchlässigen Elements 43 auf der probeweise zuführenden und messenden Einheit 40 wird das Kunstharz 8 probeweise vom Druckkopf 32 auf das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt. Diese probeweise Zufuhr wird durchgeführt wie in 8(b) gezeigt, wobei eine vorgegebene Zufuhrmenge des Kunstharzes 8 in einer Form des kleinen Tröpfchens 8a von der Druckerdüseneinheit 32a auf das lichtdurchlässige Element 43 abgegeben (gedruckt) wird, das von unten durch den Tisch zur probeweisen Zuführung 40a getragen wird.
  • (I) in 8(b) zeigt, dass das Kunstharz 8 der festgesetzten geeigneten Zufuhrmenge, die in der Kunstharzzufuhr-Information 19 vorgeschrieben wird, auf das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wird, das aus dem oben erwähnten Bandmaterial ausgebildet ist. (II) in 8(b) zeigt, dass das Kunstharz 8 der festgesetzten geeigneten Zufuhrmenge auf ähnliche Weise in die geprägten Teile 43a des lichtdurchlässigen Elements 43 zugeführt wird, das aus dem oben erwähnten Bandmaterial vom Präge-Typ ausgebildet ist. Wie später beschrieben wird, wird, weil das Kunstharz 8, das auf den Tisch zur probeweisen Zuführung 40a zugeführt wird, probeweise zugeführt wird, um empirisch zu bestimmen, ob die Zufuhrmenge des fluoreszierenden Stoffs zu LE-Element 5 geeignet ist, wenn das Kunstharz 8 durch den Druckkopf 32 kontinuierlich mit derselben Bewegung zur probeweisen Zuführung auf das lichtdurchlässige Element 43 an einer Vielzahl von Punkten zugeführt wird, die Zufuhr durchgeführt, indem die Zufuhrmengen auf der Grundlage der bekannten Daten, die die Korrelation zwischen der Messung der Lichtemissions-Kenngrößen und der Zufuhrmenge anzeigen, progressiv unterschiedlich gemacht werden.
  • Nachdem das Kunstharz 8 auf diese Weise probeweise zugeführt wurde, wird von oben durch das Licht konvergierende Hilfsmittel 46b auf das lichtdurchlässige Element 43, das in dem Abschattungskasten 46a geführt wird, weißes Licht eingestrahlt, das vom Lichtquellen-Teil 45 abgestrahlt wird. Das Licht, das das Kunstharz 8, das auf dem lichtdurchlässigen Element 43 zugeführt wird, durchläuft, wird durch eine Ulbrichtkugel 44, die unter dem das lichtdurchlässige Element tragenden Teil 41 angeordnet ist, durch eine Lichtdurchlassöffnung 41a empfangen, die am das lichtdurchlässige Element tragenden Teil 41 vorgesehen ist. 8(c) zeigt den Aufbau des das lichtdurchlässige Element tragenden Teils 41 und der Ulbrichtkugel 44. Der das lichtdurchlässige Element tragende Teil 41 ist so aufgebaut, dass ein oberes Führungselement 41c, das eine Funktion des Führens von zwei Endflächen des lichtdurchlässigen Elements 43 aufweist, auf der Oberseite eines unteren Trägerelementes 41b installiert ist, das die untere Fläche des lichtdurchlässigen Elements 43 trägt.
  • Der das lichtdurchlässige Element tragende Teil 41 weist in dem Zufuhrprozess für die Messung Funktionen auf, das lichtdurchlässige Element 43 zum Zeitpunkt des Transports in der probeweise zuführenden und messenden Einheit 40 zu führen, und die Position des lichtdurchlässigen Elements 43, auf dem das Kunstharz 8 probeweise zugeführt ist, zu tragen und aufrecht zu erhalten. Die Ulbrichtkugel 44 weist Funktionen auf, das Durchlicht, das vom Licht konvergierenden Hilfsmittel 46b (Pfeil h) ausgestrahlt wird und das Kunstharz 8 durchläuft, zu integrieren und zum Spektroskop 42 zu leiten.
  • Das heißt, die Ulbrichtkugel 44 weist eine kugelförmige reflektierende innere Oberfläche 44c auf, und das ausgesendete Licht (Pfeile i), das durch eine Öffnung 44a eintritt, die sich direkt unter der Licht-Durchlass-Öffnung 41a befindet, fällt von der Öffnung 44a, die an der Oberseite der Ulbrichtkugel 44 vorgesehen ist, in einen Reflexionsraum 44b, verlässt ihn an einem Ausgabeteil 44d als Messungs-Licht (Pfeil k) in einem Prozess der wiederholten Totalreflexion (Pfeile j) an der kugelförmigen reflektierenden Oberfläche 44c, und wird vom Spektroskop 42 empfangen.
  • In dem oben erwähnten Aufbau wird das weiße Licht, das durch ein LED-Package, das für den Lichtquellen-Teil 45 benutzt wird, abgestrahlt wird, auf das Kunstharz 8 gestrahlt, das auf dem lichtdurchlässigen Element 43 probeweise zugeführt wurde. In diesem Prozess regt die blaue Komponente des Lichts, die im weißen Licht enthalten ist, den fluoreszierenden Stoff in dem Kunstharz 8 an, gelbes Licht abzustrahlen. Ein weißes Licht, in dem dieses gelbe Licht und das blaue Licht addiert und gemischt werden, wird vom Kunstharz 8 nach oben abgestrahlt und wird vom Spektroskop 42 durch die oben erwähnte Ulbrichtkugel 44 empfangen.
  • Das empfangene weiße Licht wird durch den Prozessor 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen (6(b)) analysiert, um die Lichtemissions-Kenngrößen zu messen. Lichtemissions-Kenngrößen wie Farbton-Rang oder Strahlungskeule des weißen Lichts werden gemessen, und als Ergebnis der Messung werden Abweichungen von vorgegebenen Lichtemissions-Kenngrößen ermittelt. Die Ulbrichtkugel 44, das Spektroskop 42 und der Prozessor 39 zur Messung von Lichtemissions-Kenngrößen konstruieren einen Lichtemissiorts-Kenngrößen-Messungsteil, der Lichtemissions-Kenngrößen des Lichtes misst, das das Kunstharz 8 abstrahlt, wenn das Anregungslicht (hier von einer weißen LED abgestrahltes weißes Licht), das durch den Lichtquellenteil 45 abgestrahlt wird, von oben auf das Kunstharz 8 eingestrahlt wird, das auf das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wird, indem er das Licht empfängt, das das Kunstharz 8 von unterhalb des lichtdurchlässigen Elementes 43 abstrahlt. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil aufgebaut, indem die Ulbrichtkugel 44 unter dem lichtdurchlässigen Element 43 angeordnet wird, so dass Licht, welches das Kunstharz 8 abstrahlt, durch die Öffnung 44a der Ulbrichtkugel 44 empfangen wird.
  • Die unten beschriebenen Auswirkungen werden erhalten, indem der Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil wie oben angegeben aufgebaut wird. Das heißt für die Zufuhr-Form des Kunstharzes 8, das probeweise auf das in 8(b) gezeigte lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wird, weist, weil die Bodenfläche immer Kontakt zur Oberseite des lichtdurchlässigen Elementes 43 oder zur Bodenfläche der geprägten Teile 43a hat, die Bodenfläche des Kunstharzes 8 immer eine Standard-Höhe auf, die durch das lichtdurchlässige Element 43 vorgegeben ist. Daher wird die Höhendifferenz zwischen der Bodenfläche des Kunstharzes 8 und der Öffnung 44a der Ulbrichtkugel 44 immer konstant gehalten. Andererseits kann für die Oberseite des Kunstharzes 8 wegen Störungen wie z. B. Zufuhrbedingungen der Druckerdüseneinheit 32a dieselbe Form und Höhe der Flüssigkeitsoberfläche nicht notwendigerweise realisiert werden, und der Abstand zwischen der Oberseite des Kunstharzes 8 und des Licht konvergierenden Hilfsmittels 46b wird schwanken.
  • Wenn Stabilität berücksichtigt wird, wenn das auf die Oberseiten des Kunstharzes 8 eingestrahlte Bestrahlungslicht und das ausgesendete Licht von den unteren Flächen des Kunstharzes 8 verglichen werden, ist weil das auf das Kunstharz 8 eingestrahlte Bestrahlungslicht durch das Licht konvergierende Hilfsmittel 46b eingestrahlt wird, der Konvergenzgrad hoch, und der Einfluss, den die Änderung der Abstände zwischen den Oberseiten des Kunstharzes 8 und dem Licht konvergierenden Hilfsmittel 46b auf die Lichtdurchlässigkeit hat, kann ignoriert werden. Andererseits ist, weil das ausgesendete Licht, welches das Kunstharz 8 durchläuft, das angeregte Licht ist, da der fluoreszierende Stoff innerhalb des Kunstharzes 8 angeregt wird, der Grad der Divergenz groß, und der Einfluss, den die Änderung der Abstände zwischen den Bodenflächen des Kunstharzes 8 und der Öffnung 44a auf den Grad hat, mit dem das Licht von der Ulbrichtkugel 44 aufgenommen wird, kann nicht ignoriert werden.
  • In der in der vorliegenden Ausführungsform gezeigten probeweise zuführenden und messenden Einheit 40 ist es möglich, weil eine solche Bauart eingesetzt wird, dass das Licht, welches das Kunstharz 8 abstrahlt, wenn das vom Lichtquellen-Teil 45, der wie oben aufgebaut ist, abgestrahlte Licht von oben auf das Kunstharz 8 eingestrahlt wird, von der Ulbrichtkugel 44 von unterhalb des lichtdurchlässigen Elementes 43 empfangen wird, stabile Lichtemissions-Kenngrößen zu bestimmen. Da die Ulbrichtkugel 44 verwendet wird, ist es nicht erforderlich, im Licht empfangenden Teil getrennt einen Dunkelkammer-Aufbau vorzusehen, und es ist möglich, die Vorrichtung kompakter aufzubauen und die Kosten der Vorrichtung zu verringern.
  • Wie in 6(b) gezeigt, wird das Messergebnis des Prozessors 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen an einen Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge gesendet, und der Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge gesendet, und der Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge korrigiert die geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes 8 auf der Grundlage des Messergebnisses des Prozessors 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen und der zuvor vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen, und leitet die geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes 8 ab, die auf das LED-Element 5 zugeführt werden muss, als die für die praktische Produktion verwendete Menge. Die neue geeignete Abgabemenge, die durch den Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge abgeleitet wurde, wird an einen Prozessor 37 zur Produktionsdurchführung gesendet, und der Prozessor 37 zur Produktionsdurchführung steuert den Zufuhrsteuerungsteil 36 mit der neu abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge. Dadurch steuert der Zufuhrsteuerungsteil 36 den Druckkopf 32, damit der Druckkopf 32 einen Zufuhr-Prozess zur Produktion durchführt, um das Kunstharz 8 der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf das LED-Element 5, das auf der Platte 14 montiert ist, zuzuführen.
  • In dem Zufuhr-Prozess für die Produktion wird zuerst das Kunstharz 8 der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, die in der Kunstharzzufuhr-Information 19 vorgeschrieben ist, tatsächlich zugeführt, und die Lichtemissions-Kenngrößen werden gemessen, wenn das Kunstharz 8 sich in einem ungehärteten Zustand befindet. Auf der Grundlage der erhaltenen Messergebnisse wird ein Qualitätsgrößenbereich des Messwerts der Lichtemissions-Kenngrößen festgelegt, wenn die Lichtemissions-Kenngrößen des Kunstharzes 8, das im Zufuhr-Prozess für die Produktion zugeführt wird, gemessen werden, und dieser Qualitätsgrößenbereich wird als ein Schwellenwert benutzt (siehe die in 11 gezeigten Schwellenwert-Daten 81a), mit dem bestimmt wird, ob eine Qualitätsgröße in dem Zufuhr-Prozess für die Produktion erhalten wird.
  • Das heißt in dem Kunstharzzufuhrverfahren in dem in der vorliegenden Ausführung gezeigten System zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes wird als Lichtquellen-Teil 45 für die Messung der Lichtemissions-Kenngrößen eine weiße LED verwendet, eine Lichtemissions-Charakteristik, die von der Emissions-Charakteristik von normalem Licht abweicht, die bei einem fertigen Produkt erhalten wird, wenn sich das Kunstharz, das dem LED-Element 5 zugeführt wird, in einem gehärteten Zustand befindet, wird für eine Lichtemissions-Kenngrößen-Differenz, weil sich das Kunstharz 8 in einem ungehärteten Zustand befindet, wird als vorher vorgeschriebene Lichtemissions-Charakteristik verwendet, welche die Grundlage zur Festsetzung des Schwellenwertes bestimmt wird, ob eine Qualitätsgröße im Zufuhrprozess für die Produktion erhalten wird. Dadurch kann die Steuerung der Kunstharzzufuhrmenge in dem Prozess der Kunstharzzufuhr auf das LED-Element 5 auf der Grundlage der normalen Lichtemissions-Kenngrößen des fertigen Produktes durchgeführt werden.
  • In der vorliegenden Ausführungsform wird als Lichtquellen-Teil 45 ein LED-Package 50 (siehe 13(b)) benutzt, das weißes Licht abstrahlt. Dadurch kann die Messung der Lichtemissions-Kenngrößen des probeweise zugeführten Kunstharzes 8 mit einem Licht durchgeführt werden, das dieselben Kenngrößen aufweist wie das Anregungslicht, das in dem LED-Package 50 des fertigen Produktes abgestrahlt wird, und es kann ein zuverlässigeres Messergebnis erhalten werden. Es ist nicht erforderlich, dasselbe LED-Package 50 zu verwenden, wie es in einem fertigen Produkt verwendet wird. Bei der Messung der Lichtemissions-Kenngrößen, kann als Lichtquellen-Teil für die Messung eine Lichtquelle verwendet werden, die stabil blaues Licht einer konstanten Wellenlänge abstrahlen kann (zum Beispiel eine blaue LED oder eine blaue Laser-Lichtquelle, die blaues Licht emittiert). Verwendet man jedoch das LED-Package 50, das unter Verwendung der blauen LED weißes Licht abstrahlt, besteht der Vorteil, dass eine Lichtquellen-Vorrichtung mit stabiler Qualität zu geringen Kosten gewählt werden kann. Es ist auch möglich, blaues Licht einer vorgegebenen Wellenlänge unter Verwendung eines Bandpassfilters zu entnehmen.
  • Statt einer probeweise zuführenden und messenden Einheit 40 des oben erwähnten Aufbaus kann eine probeweise zuführende und messende Einheit 140 des in 9(a) gezeigten Aufbaus verwendet werden. Das heißt, wie in 9(a) gezeigt, weist die probeweise zuführende und messende Einheit 140 einen solchen äußeren Aufbau auf, dass ein Abdeckungs-Teil 140b über einer horizontalen Basis 140a einer schmalen Form angeordnet ist. Am Abdeckungs-Teil 140b ist eine Öffnung 140c vorgesehen, und die Öffnung 140c kann mit einem Schiebefenster 140d geöffnet werden, das bei der Zufuhr benutzt wird und verschiebbar ist (Pfeil l). In der probeweise zuführenden und messenden Einheit 140 sind eine Tisch zur probeweisen Zuführung 145a, der das lichtdurchlässige Element 43 von unten stützt, ein das lichtdurchlässige Element transportierender Teil 141, der das lichtdurchlässige Element 43 transportiert und ein Spektroskop 42 vorgesehen, das über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 141 angeordnet ist.
  • Der das lichtdurchlässige Element transportierende Teil 141 enthält eine Lichtquellen-Vorrichtung, die Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, wie der in 6(b) gezeigte Lichtquellen-Teil 45. Das Anregungslicht wird von unten von der Lichtquellen-Vorrichtung zum lichtdurchlässigen Element 43 abgestrahlt, auf dem das Kunstharz 8 in einem Zufuhrprozess für die Messung probeweise zugeführt wird. Wie in dem in den 8(a) bis 8(c) gezeigten Beispiel wird das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt, indem es auf die Vorratsspule 47 gewickelt und dort aufgenommen wird. Nachdem das lichtdurchlässige Element 43 entlang der Oberseite des Tisches zur probeweisen Zuführung 145a befördert wurde (Pfeil m), läuft das lichtdurchlässige Element 43 zwischen dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 141 und dem Spektroskop 42 hindurch und wird auf die Aufwickelspule 48 aufgewickelt, die durch den Wickelmotor 49 angetrieben wird.
  • Wenn das bei der Zufuhr benutzte Schiebefenster 140d in einen offenen Zustand geschoben wird, ist die Oberseite des Tisches zur probeweisen Zuführung 145a nach oben freiliegend, und es ist möglich, dass der Druckkopf 32 das Kunstharz 8 probeweise auf das lichtdurchlässige Element 43 zuführt, das auf der Oberseite befördert wird. Diese probeweise Zufuhr wird durchgeführt, indem eine vorgegebene Zufuhrmenge eines kleinen Tröpfchens 8a von der Druckerdüseneinheit 32a an das lichtdurchlässige Element 43 abgegeben wird, das von unten durch den Tisch zur probeweisen Zuführung 145a getragen wird.
  • 9(b) zeigt, dass durch Bewegen des lichtdurchlässigen Elements 43 auf dem das Kunstharz 8 probeweise zugeführt ist, auf dem Tisch zur probeweisen Zufuhr 145a, damit sich das Kunstharz 8 über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 141 befindet und durch Absenken des Abdeckungs-Teils 140b eine Dunkelkammer für die Messung der Lichtemissions-Kenngrößen zwischen dem Abdeckungs-Teil 140b und der Basis 140a ausgebildet wird. Das LED-Package 50, das weißes Licht abstrahlt, wird als Lichtquellen-Vorrichtung in dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 141 verwendet. In dem LED-Package 50 sind Verdrahtungsschichten 14e und 14d, die mit dem LED-Element 5 verbunden sind, mit einer Stromversorgungs-Vorrichtung 142 verbunden. Durch Einschalten der Stromversorgungs-Vorrichtung 142 wird elektrischer Strom für die Lichtemission an das LED-Element 5 geliefert, und dadurch strahlt das LED-Package 50 weißes Licht ab.
  • In dem Prozess, in dem das weiße Licht zu dem Kunstharz 8 abgestrahlt wird, das probeweise auf das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wurde, wird nachdem das weiße Licht das Kunstharz 8 durchlaufen hat, ein weißes Licht, in dem gelbes Licht, das der fluoreszierende Stoff abstrahlt, in dem Kunstharz, der durch das in dem weißen Licht enthaltene blaue Licht angeregt wurde, und das blaue Licht addiert und gemischt sind, nach oben vom Kunstharz 8 abgestrahlt. Das Spektroskop 42 ist über der probeweise zuführenden und messenden Einheit 140 angeordnet. Das vom Kunstharz 8 abgestrahlte weiße Licht wird vom Spektroskop 42 empfangen. Das empfangene weiße Licht wird durch den Prozessor 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen analysiert, um die Lichtemissions-Kenngrößen zu messen. Lichtemissions-Kenngrößen wie Farbton-Rang oder Strahlungskeule des weißen Lichts werden gemessen, und als Ergebnis werden Abweichungen von vorgegebenen Lichtemissions-Kenngrößen ermittelt. Das heißt, der Prozessor 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen misst die Lichtemissions-Kenngrößen des Lichtes, das das Kunstharz 8, welches auf das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wird, abstrahlt, wenn das Anregungslicht, das von dem LED-Element 5 abgestrahlt wird, das der Lichtquellen-Teil ist, auf das Kunstharz 8 eingestrahlt wird. Das Messergebnis des Prozessors 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen wird an den Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge gesendet, und die Prozesse werden durchgeführt, wie die in 6(a) und 6(b) gezeigten Beispiele.
  • Die LED-Elemente 5, denen das Kunstharz auf diese Weise zugeführt wurde, werden an die Aushärtevorrichtung M4 in einem Zustand des LED-Wafers 10 gesendet. Wie in 10(a) gezeigt, wird das Kunstharz 8 durch Erwärmen des LED-Wafers 10 gehärtet. Dadurch werden lichtemittierende Elemente 5* eines Aufbaus ausgebildet, bei dem das LED-Element 5 mit einer Kunstharz-Schicht 8* bedeckt ist, die ausgebildet wird, wenn das Kunstharz, das den fluoreszierenden Stoff enthält, gehärtet wird. Danach wird der LED-Wafer 10 an die Sortiervorrichtung M5 gesendet, in der die Lichtemissions-Kenngrößen der Vielzahl der lichtemittierenen Elemente 5*, die an der Chip-Schneidplatte 10a befestigt sind, erneut gemessen werden. Auf der Grundlage der Messung wird die Vielzahl der lichtemittierenden Elemente 5*, die den LED-Wafer 10 bilden, in einzelne vorgegebene Kenngrößen-Bereiche klassifiziert und jeweils an die Vielzahl von Element-Halteplättchen 13A, 13B, 13C und dergleichen transportiert. Ob die Sortiervorrichtung M5 in dem System 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente erforderlich ist, wird unter Berücksichtigung der Präzision der Lichtemissions-Kenngrößen, die für ein fertiges Produkt gefordert wird und/oder der Korrektur der Kunstharzzufuhrmenge der Kunstharz-Zufuhrvorrichtung M3 bestimmt, und der Prozess der Sortiervorrichtung M5 ist nicht notwendigerweise erforderlich.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf 11 der Aufbau eines Systems zur Steuerung des Systems 1 zur Herstellung eines lichtemittierenden Elements beschrieben. Unter den Elementen der Vorrichtungen, aus denen das System 1 zur Herstellung von lichtemittierenden Elementen aufgebaut ist, sind diejenigen Elemente, die in Verbindung zum Senden/Empfangen und Aktualisieren der Verarbeitung der Element-Kenngrößeninformationen 12, der Kunstharzzufuhr-Informationen 19, der Anordnungsdaten 18 und der Schwellenwert-Daten 81a stehen, in dem Verwaltungscomputer 3, der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 und der Kunstharzzufuhr-Vorrichtung M3 gezeigt.
  • In 11 umfasst der Verwaltungscomputer 3 einen Systemsteuerteil 60, einen Speicherteil 61 und einen Kommunikationsteil 62. Der Systemsteuerteil 60 steuert insgesamt Herstellungs-Operationen für LED-Packages des Systems 1 zur Herstellung von lichtemittierenden Elementen. Außerdem werden Programme und Daten, die für Steuerungsprozesse des Systemsteuerteils 60, die Element-Kenngrößeninformationen 12, die Kunstharzzufuhr-Informationen 19 und nach Bedarf die Anordnungsdaten 18 und die Schwellenwertdaten 81a benötigt werden, im Speicherteil 61 gespeichert. Der Kommunikationsteil 62 ist über das LAN-System 2 mit anderen Vorrichtungen verbunden und liefert Steuersignale und Daten. Die Kunstharzzufuhr-Informationen 19 werden von außen über das LAN-System 2 und den Kommunikationsteil 62 oder über ein unabhängiges Speichermedium, wie etwa CD ROM, einen USB-Speicher oder eine SD-Karte übertragen und werden um Speicherteil 61 gespeichert.
  • Die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 enthält einen Messungs-Steuerteil 70, einen Speicherteil 71, einen Kommunikationsteil 72, den Kenngrößen-Messungs-Prozessor 11 und einen Prozessor 74 zum Erstellen von Anordnungsdaten. Der Messungs-Steuerteil 70 steuert alle unten beschriebenen Teile auf der Grundlage verschiedener Programme und Daten, die im Speicherteil 71 gespeichert sind, um Operationen zur Messung von Element-Kenngrößen der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 durchzuführen. Neben Programmen und Daten, die für den Steuerungsprozess des Messungs-Steuerteils 70 erforderlich sind, werden Elementpositionsinformationen 71a und die Element-Kenngrößeninformationen 12 im Speicherteil 71 gespeichert. Die Elementpositionsinformationen 71a sind Daten, die die Anordnungs-Positionen der LED-Elemente 5 auf dem LED-Wafer 10 angeben. Die Element-Kenngrößeninformationen 12 sind Daten des Ergebnisses einer Messung durch den Kenngrößen-Messungs-Prozessor 11.
  • Der Kommunikationsteil 72 ist über das LAN-System 2 mit anderen Vorrichtungen verbunden und liefert Steuersignale und Daten. Der Prozessor 74 zum Erstellen von Anordnungsdaten (Einheit zum Erstellen von Anordnungsdaten) führt den Prozess des Erstellens der Anordnungsdaten 18 für jeden LED-Wafer 10 aus, mit denen die im Speicherteil 71 gespeicherten Elementpositionsinformationen 71a mit den Element-Kenngrößeninformationen 12 über das LED-Element 5 verbunden werden. Die so erstellten Anordnungsdaten 18 werden über das LAN-System 2 als Vorschubdaten zur Kunstharzzufuhr-Vorrichtung M3 gesendet. Die Anordnungsdaten 18 können von der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 über den Verwaltungscomputer 3 an die Kunstharzzufuhr-Vorrichtung M3 gesendet werden. Wie in 11 gezeigt, werden in diesem Fall die Anordnungsdaten 18 im Speicherteil 61 des Verwaltungscomputers 3 gespeichert.
  • Die Kunstharzzufuhr-Vorrichtung M3 enthält den Zufuhrsteuerungsteil 36, einen Speicherteil 81, einen Kommunikationsteil 82, den Prozessor 37 zur Produktionsdurchführung, den Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge und den Prozessor 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen. Durch Steuerung des Druckkopf-Antriebsteils 35, der den Kunstharzzufuhrteil A bildet, führen der Zufuhrsteuerungsteil 36, der Positionserkennungsteil 34, der Höhenmessungsteil 33 und die probeweise zuführende und messende Einheit 40 Prozesse aus, die den Zufuhrprozess für die Messung bilden, bei dem das Kunstharz 8 probeweise auf das zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen benutzte lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wird, und den Zufuhrprozess für die Produktion, bei dem das Kunstharz 8 auf das LED-Element 5 für die Durchführung der praktischen Produktion zugeführt wird.
  • Neben Programmen und Daten, die für Steuerungsprozesse des Zufuhrsteuerungsteils 36 erforderlich sind, werden die Kunstharzzufuhr-Informationen 19, die Anordnungsdaten 18, die Schwellenwertdaten 81a und Zufuhrmengen für die praktische Produktion 81b im Speicherteil 81 gespeichert. Die Kunstharzzufuhr-Informationen 19 werden vom Verwaltungscomputer 3 über das LAN-System 2 übertragen, und die Anordnungsdaten 18 werden auf ähnliche Weise von der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 über das LAN-System 2 übertragen. Der Kommunikationsteil 82 ist über das LAN-System 2 mit anderen Vorrichtungen verbunden und liefert Steuersignale und Daten.
  • Der Prozessor 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen führt Prozesse aus, um die Lichtemissions-Kenngrößen des Lichtes zu messen, das das Kunstharz 8 abstrahlt, wenn das vom Lichtquellen-Teil 45 abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz 8, das auf das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wird, eingestrahlt wird. Der Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge führt Berechnungsprozesse aus, um die geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes 8 abzuleiten, die auf das LED-Element 5 für die praktische Produktion zugeführt werden muss, indem es die geeignete Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Prozessors 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen und der zuvor vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen korrigiert. Der Prozessor zur Produktionsdurchführung sorgt dafür, dass der Zufuhrprozess für die Produktion, in dem das Kunstharz der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf das LED-Element 5 zugeführt wird, ausgeführt wird, indem er den Zufuhrsteuerungsteil 36 mit der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, die vom Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge abgeleitet wurde, steuert.
  • In dem in 11 gezeigten Aufbau sind Verarbeitungsfunktionen mit Ausnahme der Funktionen zur Durchführung der für die Vorrichtung spezifischen Operationen, zum Beispiel die Funktion des Prozessors 74 zum Erstellen der Anordnungsdaten, die in der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 vorgesehen ist, und die Funktion des Prozessors 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge, die in der Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 vorgesehen ist, nicht notwendigerweise in den Vorrichtungen enthalten. Zum Beispiel ist es auch möglich, dass die Funktionen des Prozessors 74 zum Erstellen der Anordnungsdaten und des Prozessors 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge von der Berechnungs-Verarbeitungsfunktion abgedeckt werden, die der Systemsteuerungsteil 60 des Verwaltungscomputers 3 aufweist, und dass die erforderliche Übertragung und der Empfang von Signalen durch das LAN-System 2 ausgeführt werden.
  • In dem Aufbau des oben erwähnten Systems 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente sind jede der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 und der Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 mit dem LAN-System 2 verbunden. Somit werden der Verwaltungscomputer 3, in dem die Kunstharzzufuhr-Informationen 19 im Speicherteil 61 gespeichert sind, und das LAN-System 2 eine Kunstharzzufuhr-Informationen vorsehenden Einheit, die die Informationen als Kunstharzzufuhr-Informationen 19 für die Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 vorsehen, die dafür sorgen, dass die geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes 8 mit den Element-Kenngrößeninformationen übereinstimmt, um ein lichtemittierendes Element zu erhalten, das die vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen besitzt.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf 12 der Aufbau eines Systems 101 zur Herstellung von LED-Packages beschrieben, das LED-Packages unter Verwendung der lichtemittierenden Elemente, die vom System 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente hergestellt wurden, fertigt. Das System 101 zur Herstellung von LED-Packages ist aufgebaut, indem eine Bauelemente-Montagevorrichtung M6, eine Aushärtevorrichtung M7, eine Drahtbondvorrichtung M8, eine Kunstharz-Beschichtungs-Vorrichtung M9, eine Aushärtevorrichtung M10 und eine Schneidvorrichtung M11 in dem System 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente des in 1 gezeigten Aufbaus kombiniert werden.
  • Die Bauelemente-Montagevorrichtung M6 montiert lichtemittierende Elemente 5*, die vom System 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente hergestellt wurden, indem sie die lichtemittierenen Elemente 5* mit Kunstharzklebstoff auf eine Trägerplatte 14 montiert (siehe 13(a) und 13(b)), die zu einer Grundplatte von LED-Packages wird. Die Aushärtevorrichtung M7 härtet den Kunstharzklebstoff, der zum Kleben benutzt wird, zum Zeitpunkt der Montage aus, indem die Trägerplatte 14 erwärmt wird, nachdem die lichtemittierenden Elemente 5* montiert sind. Die Drahtbondvorrichtung M8 verbindet Elektroden der lichtemittierenden Elemente 5* mit Elektroden der Trägerplatte 14 mit Bonddrähten. Die Kunstharz-Beschichtungs-Vorrichtung M9 beschichtet jedes der lichtemittierenden Elemente 5* auf der Trägerplatte 14 nach dem Drahtbonden mit einem transparenten Kunstharz zur Versiegelung. Die Aushärtevorrichtung M10 härtet das transparente Kunstharz aus, das beschichtet ist, um das lichtemittierende Element 5* zu bedecken, indem die Trägerplatte 14 nach der Beschichtung mit Kunstharz erwärmt wird. Die Schneidevorrichtung M11 schneidet die Trägerplatte 14 nachdem das Kunstharz für jedes der lichtemittierenden Elemente 5* gehärtet ist, um sie in einzelne LED-Packages aufzutrennen. Dadurch werden die LED-Packages, die in einzelne Stücke getrennt sind, fertiggestellt.
  • In 12 ist ein Beispiel gezeigt, bei dem die Vorrichtungen von der Bauelemente-Montage-Vorrichtung M6 zur Schneidvorrichtung M11 in einer Linie angeordnet sind, um eine Fertigungslinie aufzubauen. Bei dem System 110 zur Herstellung von LED-Packages wird jedoch nicht notwendigerweise ein solcher Linienaufbau eingesetzt, sondern es kann so konstruiert sein, dass die Prozedurschritte von den Vorrichtungen, die zerstreut angeordnet sind, jeweils sequentiell ausgeführt werden. Es ist auch möglich, eine Plasmabearbeitungsvorrichtung, die eine Plasmabearbeitung zum Zweck des Reinigens von Elektroden vor dem Drahtbonden durchführt, und eine Plasmabearbeitungsvorrichtung, die eine Plasmabearbeitung zum Zweck der Oberflächenumbildung zur Verbesserung der Haftung des Kunstharzes nach dem Drahtbonden und vor dem Beschichten mit Kunstharz durchführt, vor und hinter der Drahtbond-Vorrichtung M8 anzuordnen.
  • Mit Bezug auf 13(a) und 13(b) werden die Trägerplatte 14, auf der Operationen durchgeführt werden, die lichtemittierenden Elemente 5* und ein LED-Package 50 als fertiges Produkt im System 101 zur Herstellung von LED-Packages beschrieben. Wie in 13(a) gezeigt, ist die Trägerplatte 14 eine Trägerplatte, mit der mehrere Teile verbunden sind, in der eine Vielzahl einzelner Trägerplatten 14a, von denen jede die Grundplatte eines LED-Package 50 in einem fertigen Produkt wird, ausgearbeitet sind, und ein LED-Montageteil 14b, an dem das lichtemittierende Element 5* montiert ist, wird auf jeder der einzelnen Trägerplatten 14a ausgebildet. Das in 13(b) gezeigte LED-Package 50 wird fertiggestellt, indem das lichtemittierende Element 5* im Montageteil für lichtemittierende Elemente 14b für jede der einzelnen Trägerplatten 14a montiert wird, dann das transparente Kunstharz 28 zur Versiegelung im LED-Montageteil 14b beschichtet wird, um das lichtemittierende Element 5* zu bedecken, und nachdem das Kunstharz 28 gehärtet ist, die Trägerplatte 14, deren Schritte für jede der einzelnen Trägerplatten 14a beendet sind, geschnitten wird.
  • Wie in 13(b) gezeigt, ist an der einzelnen Trägerplatte 14a ein reflektierender Teil 14c in Form eines Hohlraums vorgesehen, der zum Beispiel einen kreisförmigen oder elliptischen ringförmigen Wall aufweist, um den LED-Montage-Teil 14b auszubilden. Eine Elektrode 6a des n-Typ-Teils und eine Elektrode 6b des p-Typ-Teils des lichtemittierenden Elementes 5*, das in dem reflektierenden Teil 14c untergebracht wurde, sind jeweils mit Bonddrähten 27 mit Verdrahtungsschichten 14e und 14d verbunden, die auf der Oberseite der einzelnen Trägerplatte 14a ausgebildet sind. Das Kunstharz 28 wird in einer vorgegebenen Dicke in den reflektierenden Teil 14c beschichtet, um das lichtemittierende Element 5* in diesem Zustand zu bedecken, und weißes Licht, das vom lichtemittierenden Element 5* emittiert wird, wird abgestrahlt, um das transparente Kunstharz 28 zu durchlaufen.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf die 14(a) bis 14(c) ein Aufbau und Funktionen der Bauelemente-Montage-Vorrichtung M6 beschrieben. Wie in der Draufsicht in 14(a) gezeigt, enthält die Bauelemente-Montagevorrichtung M6 einen Trägerplatten-Transportmechanismus 21, der eine Trägerplatte 14 transportiert, die ein Bearbeitungsobjekt ist, die von der vorgelagerten Seite in Richtung der Trägerplatten-Transportrichtung (Pfeil a) zugeführt wird. Im Trägerplatten-Transportmechanismus 21 sind sequentiell von der vorgelagerten Seite ein Klebstoff-Zufuhrteil B, der in 14(b) mit einem Querschnitt entlang B-B gezeigt ist, und ein Bauelemente-Montageteil C, der in 14(c) mit einem Querschnitt entlang C-C gezeigt ist, angeordnet. Der Klebstoff-Zufuhrteil B enthält einen Klebstoff-Zufuhrteil 22, der neben dem Trägerplatten-Transportmechanismus 21 angeordnet ist, und der Kunstharzklebstoff 23 in Form einer Beschichtung einer vorgegebenen Schichtdicke zuführt, und einen Klebstoff-Übertragungsmechanismus 24, der in horizontaler Richtung (Pfeil b) über dem Trägerplatten-Transportmechanismus 21 und dem Klebstoff-Zufuhrteil 22 beweglich ist. Der Bauelemente-Montageteil C enthält einen Bauelemente-Zufuhr-Mechanismus 25, der neben dem Trägerplatten-Transportmechanismus 21 angeordnet ist und der die Element-Halteplättchen 13A, 13B, 13C und dergleichen hält, wie in 10(b) gezeigt, und einen Bauelemente-Montagemechanismus 26, der in horizontaler Richtung (Pfeil c) beweglich ist, über dem Trägerplatten-Transportmechanismus 21 und dem Bauelementezuführungsmechanismus 25.
  • Wie in 14(b) gezeigt, wird die Trägerplatte 14, die in den Trägerplatten-Transportmechanismus 21 eingebracht ist, im Klebstoff-Zufuhrteil B positioniert, und der Kunstharz-Kleber 23 wird auf den LED-Trägerteil 14b zugeführt, der auf jeder der einzelnen Trägerplatten 14a ausgebildet ist. Das heißt, zuerst wird durch Bewegen des Klebstoff-Übertragungsmechanismus 24 über den Klebstoff-Zufuhrteil 22 dafür gesorgt, dass ein Übertragungsstift 24a eine Beschichtung des Kunstharzklebstoffs 23 berührt, die auf einer Übertragungsfläche 22a ausgebildet ist, und der Kunstharzklebstoff 23 wird angelagert. Dann wird durch Bewegen des Klebstoff-Übertragungsmechanismus 24 über die Trägerplatte 14 und Absenken des Übertragungsstiftes 24a auf den LED-Trägerteil 14b (Pfeil d) der Kunstharzklebstoff 23, der am Übertragungsstift 24a angelagert ist, mit der Übertragung einer Element-Montage-Position im LED-Trägerteil 14b zugeführt.
  • Dann wird die Trägerplatte 14, nachdem der Klebstoff zugeführt wurde, in Laufrichtung transportiert und wird im Bauelemente-Montageteil C positioniert, wie in 14(c) gezeigt, und ein lichtemittierendes Element 5* ist auf jedem der LED-Trägerteile 14b montiert, nachdem der Klebstoff zugeführt wurde. Das heißt, zuerst wird durch Bewegen des Bauelemente-Montagemechanismus 26 über den Bauelementezuführungsmechanismus 25 und Absenken einer Montagedüse 26a relativ zu jedem der Element-Halteplättchen 13A, 13B, 13C und dergleichen, die vom Bauelementezuführungsmechanismus 25 gehalten werden, wird ein lichtemittierendes Element 5* gehalten und von der Montagedüse 26a herausgenommen. Dann wird durch Bewegen des Bauelemente-Montagemechanismus 26 über den LED-Trägerteil 14b der Trägerplatte 14 und Absenken der Montagedüse 26a (Pfeil e) das lichtemittierende Element 5*, das in der Montagedüse 26a gehalten wird, in der Element-Montageposition montiert, an der der Klebstoff im LED-Trägerteil 14b zugeführt wird.
  • Als Nächstes werden Prozesse zur Herstellung von LED-Packages, die von dem System 101 zur Herstellung von LED-Packages ausgeführt werden, mit Bezug auf die Figuren entlang eines Ablaufdiagramms von 15 beschrieben. Hierin werden die LED-Packages 50 hergestellt, die konstruiert werden, indem lichtemittierende Elemente 5*, bei denen die Oberseiten der LED-Elemente 5 mit dem Kunstharz 8 beschichtet werden, das den fluoreszierenden Stoff enthält, zuvor auf die Trägerplatte 14 montiert werden.
  • Zuerst wird ein LED-Wafer 10, der ein Arbeitsobjekt ist, in die Chip-Schneidevorrichtung M1 eingebracht, und wie in 3(a) gezeigt, wird der LED-Wafer 10 in einem Zustand, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen 5 ausgearbeitet und auf einer Chip-Schneidplatte 10 befestigt ist, für jedes der LED-Elemente 5 getrennt (ST1) (Chip-Schneideschritt). Dann wird der LED-Wafer 10 in die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 eingebracht, und wie in 3(b) gezeigt, wird eine Messung der Elementkenngrößen durchgeführt. Das heißt, die Lichtemissions-Kenngrößen der einzelnen getrennten LED-Elemente 5 werden in einem Zustand einzeln gemessen, in dem sie an der Chip-Schneidplatte 10a angebracht sind und gehalten werden, um die Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente 5 angeben (ST2) (Schritt der Messung von Elementkenngrößen).
  • Dann werden Anordnungsdaten 18 von dem Prozessor 74 zum Erstellen von Anordnungsdaten der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M2 erstellt. Das heißt die Anordnungsdaten 18 (siehe 4(b), mit denen die Elementpositionsinformationen, die die Position des getrennten LED-Elements 5 im LED-Wafer 10 mit den Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element 5 verbunden werden, werden für jeden LED-Wafer 10 erstellt (ST3) (Schritt zum Erstellen von Anordnungsdaten). Die Information, mit der dafür gesorgt wird, dass geeignete Kunstharzzufuhrmengen des Kunstharzes 8 den Element-Kenngrößeninformationen entsprechen, um lichtemittierende Elemente 5* zu erhalten, die die vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen besitzen, wird vom Verwaltungscomputer 3 über das LAN-System 2 als Kunstharz-Zufuhr-Information 19 erlangt (siehe 5) (ST4) (Schritt des Erlangens von Kunstharz-Informationen).
  • Dann wird der Prozess des Erstellens der Schwellenwertdaten zur Bestimmung von Qualitätsgrößen durchgeführt (ST5). Dieser Prozess wird durchgeführt, um den Schwellenwert festzusetzen (siehe die in 11 gezeigten Schwellenwertdaten 81a), um zu bestimmen, ob Qualitätsgrößen in der Zufuhr für die Produktion erhalten werden, und wird wiederholt für die Zufuhr für die Produktion entsprechend jedem der Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] durchgeführt. Der Prozess zum Erstellen von Schwellenwertdaten wird detailliert mit Bezug auf die 16, 17(a) und 18 beschrieben. In 16 wird zuerst das Kunstharz 8, das den fluoreszierenden Stoff mit Standard-Dichten enthält, die in der Kunstharz-Zufuhrinformation 19 vorgeschrieben sind, bereitgestellt (ST21).
  • Nachdem das Kunstharz 8 im Druckkopf 32 bereitgestellt wurde, wird die Druckerdüseneinheit 32a zum Tisch zur probeweisen Zuführung 40a der probeweise zuführenden und messenden Einheit 40 bewegt, und das Kunstharz 8 wird auf das lichtdurchlässige Element 43 in der vorgeschriebenen Zufuhrmenge (geeignete Kunstharzzufuhrmenge) zugeführt, die in der Kunstharz-Zufuhr-Information 19 angezeigt ist (ST22). Dann wird das auf das lichtdurchlässige Element 43 zugeführte Kunstharz 8 auf den das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 41 bewegt, das LED-Element 5 wird veranlasst, Licht abzustrahlen, und die Lichtemissions-Kenngrößen, wenn das Kunstharz 8 sich in einem ungehärteten Zustand befindet, werden durch den Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil des oben erwähnten Aufbaus gemessen (ST23). Auf der Grundlage der Messwerte 39a der Lichtemissions-Kenngrößen-Messung, die die Messergebnisse der durch den Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil gemessenen Lichtemissions-Kenngrößen sind, werden Qualitätsgrößen bestimmende Bereiche der Messwerte festgesetzt, in den bestimmt wird, dass die Lichtemissions-Kenngrößen die einer Qualitätsgröße sind (ST24). Die festgesetzten die Qualitätsgrößen bestimmenden Bereiche werden als Schwellenwertdaten 81a im Speicherteil 81 gespeichert und werden zum Verwaltungscomputer 3 übertragen und im Speicherteil 61 gespeichert (ST25).
  • Die 17(a) bis 17(c) zeigen die auf diese Weise erstellen Schwellenwertdaten, nämlich Lichtemissions-Kenngrößen-Messwerte, die erhalten werden, wenn das Kunstharz sich in einem ungehärteten Zustand befindet, nachdem das Kunstharz 8 zugeführt wurde, das den fluoreszierenden Stoff mit Standard-Dichten enthält, und die die Qualitätsgrößen bestimmenden Bereiche (die Schwellenwerte) der Messwerte, um festzustellen, ob die Lichtemissions-Kenngröße die einer Qualitätsgröße ist. Die 17(a), 17(b) und 17(c) zeigen Schwellenwerte, die den Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] entsprechen, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs im Kunstharz 8 5%, 10%, bzw. 15% betragen.
  • Wie in 17(a) gezeigt, entspricht zum Beispiel, wenn die Dichte des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 8 5% beträgt, die Zufuhrmenge, die in jeder der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 15(1) gezeigt ist, jedem der Bin-Codes 12b, und die Messergebnisse, nachdem die Lichtemissions-Kenngrößen des Lichtes, das das Kunstharz 8 abstrahlt, indem blaues Licht des LED-Elementes 5 auf das Kunstharz 8 eingestrahlt wurde, das mit jeder der Zufuhrmengen beschichtet wurde, von dem Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil gemessen wurden, sind in den Lichtemissions-Kenngrößen-Messwerten 39a(1) gezeigt. Auf der Grundlage jedes der Lichtemissions-Kenngrößen-Messwerte 39a(1) werden die Schwellenwertdaten 81a(1) festgesetzt.
  • Zum Beispiel wird das Messergebnis, nachdem die Lichtemissions-Kenngrößen des Kunstharzes 8 gemessen werden, das mit der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge VA0 entsprechend dem Bin-Code [1] zugeführt wird, durch einen Farbwertkoordinaten-Punkt ZA0 (XA0, YA0) in der in 18 gezeigten Farbtafel dargestellt. Um den Farbwertkoordinaten-Punkt ZA0 wird ein vorgegebener Bereich der X-Koordinate und der Y-Koordinate in der Farbtafel (zum Beispiel +–10%) als der die Qualitätsgröße bestimmende Bereich (Schwellenwert) festgesetzt. Für die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen, die den anderen Bin-Codes [2] bis [5] entsprechen, werden die die Qualitätsgröße bestimmenden Bereiche (Schwellenwerte) auf die gleiche Weise auf der Grundlage der Ergebnisse der Lichtemissions-Kenngrößen-Messung festgesetzt (siehe die Farbwertkoordinaten-Punkte ZB0 bis ZE0 in der in 18 gezeigten Farbtafel). Hierbei wird der vorgegebene Bereich, der als Schwellenwert festgesetzt wird, in Abhängigkeit vom gewünschten Präzisionsgrad der Lichtemissions-Kenngrößen des LED-Packages 50 als Produkt geeignet festgesetzt.
  • Auf ähnliche Weise zeigen die 17(b) und 17(c) die Messwerte der Lichtemissions-Kenngrößen und die die Qualitätsgröße bestimmenden Bereiche (Schwellenwerte), wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 8 10%, bzw. 15% betragen. In den 14(b) und 14(c) zeigen die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 15(2), bzw. die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 15(3) die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs 10%, bzw. 15% betragen. Die Messwerte 39(a)(2) der Lichtemissions-Kenngrößen, bzw. die Messwerte 39(a)(3) der Lichtemissions-Kenngrößen zeigen die Messwerte der Lichtemissions-Kenngrößen, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs 10%, bzw. 15% betragen, und die Schwellenwertdaten 81a(2), bzw. die Schwellenwertdaten 81a(3) zeigen die die Qualitätsgrößen bestimmenden Bereiche (Schwellenwerte), wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs 10%, bzw. 15% betragen.
  • Die auf diese Weise erstellten Schwellenwertdaten können bei dem Zufuhrvorgang für die Produktion auf der Grundlage des Bin-Codes 12b, in den ein LED-Element 5 fällt, auf dem der Beschichtungsvorgang ausgeführt wird, richtig verwendet werden. Der in (ST5) gezeigte Prozess des Erstellens der Schwellenwertdaten kann als nicht-prozessgekoppelte Operation durch eine unabhängige Messvorrichtung durchgeführt werden, die getrennt vom System 101 zur Herstellung von LED-Packages vorgesehen wird, und die Schwellenwertdaten 81a, die zuvor im Verwaltungscomputer 3 gespeichert werden, können über das LAN-System 2 zur Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 übertragen und benutzt werden.
  • Nachdem auf diese Weise Kunstharzzufuhrvorgänge möglich werden, wird der Wafer-Halter 4, der den LED-Wafer 10 hält, zur Kunstharzzufuhrvorrichtung M3 transportiert (ST6). Auf der Grundlage der Kunstharzzufuhr-Information 19 und der Anordnungsdaten 18 wird das Kunstharz 8 der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, um die vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen zu erhalten, jedem der LED-Elemente 5 in einem Wafer-Zustand, in dem es an der Chip-Schneidplatte 10a befestigt ist, zugeführt (ST7) (Kunstharzzufuhr-Schritt). Der Kunstharzzufuhr-Vorgang wird detailliert mit Bezug auf die 19 und 20(a) bis 20(d) beschrieben.
  • Zuerst wird, wenn der Kunstharzzufuhr-Vorgang gestartet wird, nach Bedarf der Austausch von Kunstharz-Aufbewahrungsbehältern durchgeführt (ST31). Das heißt, die in den Druckkopf 32 montierte Kunstharz-Kartusche wird durch die Kunstharz-Kartusche ausgetauscht, die das Kunstharz 8 der zuvor als Reaktion auf die Kenngrößen des LED-Elementes 5 ausgewählten Dichte enthält. Dann wird das Kunstharz 8 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen auf das lichtdurchlässige Element 43 durch den Kunstharzzufuhrteil A zugeführt, der eine variable Zufuhrmenge des Kunstharzes 8 zuführt (Zufuhrschritt für die Messung) (ST32). Das heißt, das Kunstharz der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge (VA0 bis VE0) für jeden der Bin-Codes 12b, der in der in 5 gezeigten Kunstharz-Zufuhrinformation 19 vorgeschrieben ist, wird auf das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt, das zum Tisch zur probeweisen Zuführung 40a in der probeweise zuführenden und messenden Einheit 40 herausgelassen wird. Zu diesem Zeitpunkt ist, sogar wenn der Druckkopf 32 mit Zufuhrparametern gesteuert wird, die der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge (VA0 bis VE0) entsprechen, die wirkliche Kunstharzzufuhrmenge, die von der Druckerdüseneinheit 32a abgegeben und auf das lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wird, nicht notwendigerweise die oben angegebene geeignete Kunstharzzufuhrmenge, weil sich zum Beispiel die Beschaffenheit des Kunstharzes 8 mit der Zeit ändert. Wie in 20a gezeigt, wird die wirkliche Kunstharzzufuhrmenge VA1 bis VE1, die sich etwas von VA0 bis VE0 unterscheidet.
  • Dann wird, indem das lichtdurchlässige Element 43 in probeweise zuführende und messende Einheit 40 gesendet wird, das lichtdurchlässige Element 43, auf dem das Kunstharz 8 probeweise zugeführt wurde, auf den das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 41 gesendet und von ihm transportiert (Schritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements). Das Anregungslicht zum Anregen des fluoreszierenden Stoffs wird vom Lichtquellenteil 45 abgestrahlt, der über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 41 angeordnet ist. Das Licht, welches das Kunstharz 8 abstrahlt, wenn das Anregungslicht auf das Kunstharz 8 eingestrahlt wird, das von oben auf des lichtdurchlässige Element 43 zugeführt wird, wird vom Spektroskop 42 durch die Ulbrichtkugel 44 von unterhalb des lichtdurchlässigen Elementes 43 empfangen, und die Lichtemissions-Kenngrößen des Lichts werden durch den Prozessor 39 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen gemessen (Schritt der Messung der Lichtemissions-Kenngrößen) (ST33).
  • Wie in 20(b) gezeigt, werden dadurch die Messwerte der Lichtemissions-Kenngrößen vorgesehen, die in Farbwertkoordinaten-Punkten Z dargestellt sind (siehe 18). Diese Messergebnisse entsprechen nicht notwendigerweise den vorher vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen, nämlich den Standard-Farbwertkoordinaten-Punkten ZA0 bis ZE0 zum Zeitpunkt der Zufuhr des geeigneten Kunstharzes, wie in 17(a) gezeigt, wegen zum Beispiel der Abweichung der oben erwähnten Zufuhrmenge und der Dichteänderung der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes B. Daher erhält man die Abweichungen (ΔXA, ΔYA) bis (ΔXE, ΔYE), die die Unterschiede in den X- und Y-Koordinaten zwischen den erhaltenen Farbwertkoordinaten-Punkten ZA1 bis ZE1 und den Standard-Farbwertkoordinaten-Punkten ZA0 bis ZE0 zum Zeitpunkt des Zuführens des in 17(a) gezeigten geeigneten Kunstharzes, und es wird bestimmt, ob eine Korrektur erforderlich ist, um eine gewünschte Lichtemissions-Kenngröße zu erhalten.
  • Es wird bestimmt, ob das Messergebnis innerhalb des Standard-Schwellenwerts liegt oder nicht (ST34). Wie in 20(c) gezeigt, wird durch Vergleich der in (ST33) erhaltenen Abweichungen und der Schwellenwerte festgestellt, ob die Abweichungen (ΔXA, ΔYA) bis (ΔXE, ΔYE) innerhalb von +–10% von ZA0 bis ZE0 liegen. Wenn die Abweichung innerhalb des Schwellenwerts liegt, werden die Abgabeparameter, die den eingestellten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen VA0 bis VE0 entsprechen, einfach beibehalten. Andererseits wird, wenn die Abweichung den Schwellenwert überschreitet, die Zufuhrmenge korrigiert (ST35).
  • Das heißt, man erhält die Abweichung zwischen dem Messergebnis im Schritt der Messung der Lichtemissions-Kenngröße und der zuvor vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngröße, und wie in 20(d) gezeigt, wird auf der Grundlage der erhaltenen Abweichung ein Prozess des Ableitens neuer geeigneter Kunstharzzufuhrmengen (VA2 bis VE2) für die praktische Produktion, mit denen das Kunstharz 8 auf das LED-Element 5 zugeführt werden muss, von dem Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge durchgeführt (Schritt des Ableitens der Zufuhrmenge). Mit anderen Worten werden durch Korrektur der Kunstharzzufuhrmengen auf der Grundlage der Messergebnisse im Schritt der Messung der Lichtemissions-Kenngrößen und der vorher vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen neue geeignete Kunstharzzufuhrmengen für die praktische Produktion abgeleitet.
  • Die korrigierten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen (VA2 bis VE2) sind Werte, die aktualisiert wurden, indem Korrekturmengen hinzugefügt wurden, die jeweils den Abweichungen von den festgesetzten Kunstharzzufuhrmengen VA0 bis VE0 entsprechen. Der Zusammenhang der Abweichungen und die Korrekturmengen werden in dem Kunstharzzufuhr-Informationen 19 als begleitende Daten, die zuvor bekannt sind, aufgezeichnet. Auf der Grundlage der korrigierten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen (VA2 bis VE2), werden die Prozesse von (ST32), (ST33), (ST34) und (ST35) wiederholt ausgeführt. Indem erkannt wird, dass die Abweichung zwischen dem Messergebnis in (ST34) und der vorher vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen innerhalb des Schwellenwerts liegt, werden die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen für die praktische Produktion bestimmt. Das heißt bei dem oben erwähnten Kunstharzzufuhrverfahren werden durch wiederholtes Ausführen des Zufuhrschritts für die Messung, des Schrittes des Transportierens des lichtdurchlässigen Elements, des Schritts des Abstrahlens von Anregungslicht, des Schritts der Messung der Lichtemissions-Kenngrößen und des Schritts des Ableitens der Zufuhrmenge die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen mit Sicherheit abgeleitet. Die bestimmten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen werden in dem Speicherteil 81 als die Zufuhrmengen 81b für die praktische Produktion gespeichert.
  • Danach schaltet der Steuerfluss zum nächsten Schritt, um die Abgabe durchzuführen (ST36). Indem dafür gesorgt wird, dass das Kunstharz 8 der vorgegebenen Menge von der Druckerdüseneinheit 32a abgegeben wird, wird der Kunstharz-Fluss-Zustand im Verlauf der Kunstharzabgabe verbessert, und die Bewegung des Druckkopfes 32 wird stabilisiert. Die in 19 mit einem Rahmen aus einer unterbrochenen Linie gezeigten Prozesse von (ST37), (ST38), (ST39) und (ST40) werden ähnlich wie die in (ST32), (ST33), (ST34) und (ST35) gezeigten Prozesse ausgeführt. Die Prozesse von (ST37), (ST38), (ST39) und (ST40) werden ausgeführt, wenn es erforderlich ist, sorgfältig zu erkennen, dass eine gewünschte Lichtemissionskenngröße vollständig sichergestellt ist, und sind nicht notwendigerweise Objekte, die ausgeführt werden müssen.
  • Auf diese Weise wird, wenn die geeignete Kunstharzzufuhrmenge bestimmt wird, die die gewünschte Lichtemissions-Kenngröße ergibt, der Zufuhrvorgang für die Produktion durchgeführt (ST41). Das heißt, wenn der Prozessor 37 zur Produktionsdurchführung den Zufuhrsteuerungsteil 36, der den Druckkopf 32 steuert, mit der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge steuert, die von dem Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge abgeleitet wird, und als Zufuhrmenge 81b für die praktische Produktion speichert, wird der Zufuhrprozess für die Produktion, der das Kunstharz 8 dieser geeigneten Zufuhrmenge individuell auf das LED-Element 5 zuführt, in einem Wafer-Zustand durchgeführt (Schritt der Produktionsdurchführung).
  • Bei dem Prozess der wiederholten Ausführung des Zufuhrprozesses für die Produktion wird gezählt, wie oft der Druckkopf 32 zuführt, und es wird überwacht, ob die Anzahl der Zufuhren eine bestimmte Zahl überschreitet, die vorher festgesetzt worden ist (ST42). Das heißt, es wird eingeschätzt, dass bis zum Erreichen dieser festgelegten Zahl die Änderungen der Eigenschaften des Kunstharzes 8 und der Dichte des fluoreszierenden Stoffs gering sind, und der Zufuhrprozess für die Produktion (ST41) wird unter Beibehaltung der gleichen Zufuhrmenge 81b für die praktische Produktion wiederholt. Wenn in (ST42) erkannt wird, dass die festgelegte Anzahl überschritten ist, wird eingeschätzt, dass sich die Eigenschaften des Kunstharzes 8 oder die Dichte des fluoreszierenden Stoffs möglicherweise ändern und der Steuerungsfluss kehrt zu (ST32) zurück. Dann werden wiederholt die gleiche Messung der Lichtemissionskenngrößen und, basierend auf dem Messergebnis, der Prozess zur Korrektur der Zufuhrmenge ausgeführt.
  • Als Nächstes, wobei zum Ablaufdiagramm von 15 zurückgekehrt wird, wird der LED-Wafer 10 in die Aushärtevorrichtung M4 transportiert, wie in 10(a) gezeigt ist, das Kunstharz 8 wird durch Erwärmen der LED-Elemente 5, denen das Kunstharz 8 zugeführt wurde, ausgehärtet (Aushärteschritt). Dadurch werden die lichtemittierenden Elemente 5*, bei denen die LED-Elemente 5 mit dem Kunstharz 8 bedeckt sind, fertig gestellt (ST8). Bei dem Aushärteschritt kann, statt das Kunstharz 8 durch Erwärmen zu härten, ein Verfahren zur Förderung des Aushärtens durch Bestrahlen mit UV (Ultraviolettstrahlung) oder ein Verfahren, bei dem einfach das Kunstharz wie es ist, platziert wird, um auf natürliche Weise auszuhärten, angewendet werden. Dann wird der LED-Wafer 10, der sich in einem Zustand befindet, in dem die lichtemittierenden Elemente 5* auf der Chip-Schneidplatte 10a befestigt sind, in die Sortiervorrichtung M5 transportiert, wo die Lichtemissions-Kenngrößen der lichtemittierenden Elemente 5* gemessen werden, und wie in 10(b) gezeigt, wird ein Sortiervorgang des Trennens der lichtemittierenden Elemente 5* auf der Grundlage des Messergebnisses durchgeführt (ST9).
  • Dann werden die auf diese Weise hergestellten lichtemittierenden Elemente 5* auf die Trägerplatte 14 montiert (ST10) (Bauelement-Montageschritt). Das heißt, die in Abhängigkeit von den Lichtemissionskenngrößen separierten lichtemittierenden Elemente 5* werden in einem Zustand, in dem sie an den Element-Halteplättchen 13B, 13B und dergleichen angebracht sind, zur Bauelement-Montagevorrichtung M6 geschickt. Nachdem der Kunstharzklebstoff 23 der Element-Montageposition im LED-Trägerteil 14b durch Anheben des Übertragungsstifts 24a des Klebstoff-Übertragungsmechanismus 24 (Pfeil n) wie in 21(a) gezeigt zugeführt worden ist, wird das lichtemittierende Element 5*, das in der Montagedüse 26a des Bauelement-Montagemechanismus 26 gehalten wird, fallengelassen (Pfeil o) und mittels des Kunstharzklebstoffs 23 in den LED-Trägerteil 14b der Trägerplatte 14 montiert, wie in 21(b) gezeigt ist.
  • Im Anschluss an die Bauelementmontage wird die Trägerplatte 14 in die Aushärtevorrichtung M7 geschickt, wo die Trägerplatte 14 erwärmt wird, sodass, wie in 21(c) gezeigt, der Kunstharzklebstoff 23 thermisch gehärtet und zum Kunstharzklebstoff 23* wird und das lichtemittierende Element 5* an der einzelnen Trägerplatte 14a haftet. Nach dem Aushärten des Kunstharzes wird dann die Trägerplatte 14 zur Drahtbondvorrichtung M8 geschickt, und die Verdrahtungsschichten 14e und 14d der einzelnen Trägerplatte 14a werden mit Bonddrähten 27 an die Elektrode 6a des n-Typ-Teils bzw. die Elektrode 6b des p-Typ-Teils des lichtemittierenden Elements 5* angeschlossen, wie in 21(d) gezeigt ist.
  • Nach dem Drahtbonden wird dann die Trägerplatte 14 zur Kunstharz-Beschichtungsvorrichtung M9 transportiert, und es wird der Arbeitsvorgang des Versiegelns mit Kunstharz ausgeführt (ST11). Das heißt, wie in 22(a) gezeigt, im Innern des LED-Trägerteils 14b, der von dem reflektierenden Teil 14c umgeben ist, wird das transparente Kunstharz 28 zur Versiegelung von einer Abgabedüse 90 abgegeben, um das lichtemittierende Element 5* zu bedecken. Wenn der Kunstharz-Zufuhrvorgang bei einer Trägerplatte 14 auf diese Weise abgeschlossen ist, wird die Trägerplatte 14 zur Aushärtevorrichtung M10 geschickt, und das Kunstharz 28 wird durch Erwärmen der Trägerplatte 4 ausgehärtet (ST9).
  • Dadurch wird, wie in 22(c) gezeigt, das Kunstharz 28, das zugeführt worden ist, um das lichtemittierende Element 5* zu bedecken, thermisch gehärtet, um zu dem festen Kunstharz 28* zu werden und das lichtemittierende Element 5* zu bedecken, das sich in einem in den LED-Trägerteil 14b geklebten Zustand befindet. Nach dem Aushärten des Kunstharzes wird dann die Trägerplatte 14 zur Chip-Schneidevorrichtung M11 geschickt, und durch Schneiden der Trägerplatte 14, um jeweils einzelne Trägerplatten 14a zu erhalten, wie in 22(d) gezeigt, werden die Trägerplatte 4 und dergleichen in einzelne LED-Packages 50 unterteilt (ST10). Dadurch wird das LED-Package 50, in dem das lichtemittierende Element 5*, das durch Bedecken des LED-Elements 5 mit dem Kunstharz 8 hergestellt ist, auf die einzelne Trägerplatte 14a montiert ist, fertiggestellt.
  • Wie oben beschrieben werden mit dem System 1 zur Herstellung lichtemittierender Elemente und dem System 101 zur Herstellung von LED-Packages, in der vorliegenden Ausführungsform dargestellt, bei der Herstellung von lichtemittierenden Elementen 5* durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen 5 mit dem Kunstharz 8, das den fluoreszierenden Stoff enthält, bei dem Kunstharz-Abgabevorgang zum Zuführen des Kunstharzes 8 zu den LED-Elementen 5 in einem Wafer-Zustand, die Lichtemissionskenngrößen des Lichts gemessen, das das Kunstharz 8 abstrahlt, wenn vom Lichtquellenteil 45 das Anregungslicht auf das lichtdurchlässige Element 43 abgestrahlt wird, dem das Kunstharz 8 für die Messung der Lichtemissionskenngröße probeweise zugeführt wird, und die geeignete Kunstharzzufuhrmenge wird auf der Grundlage des Ergebnisses der Messung und der zuvor vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen korrigiert, um eine geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes 8 abzuleiten, die bei der praktischen Produktion den LED-Elementen zugeführt werden sollte. Deshalb kann sogar dann, wenn die Lichtemissionswellenlänge des einzelnen LED-Elements 5 variiert, durch Egalisieren der Lichtemissionskenngrößen des lichtemittierenden Elements 5* die Produktionsausbeute verbessert werden.
  • Weil das Kunstharz 8 auf die LED-Elemente 5 in einem Wafer-Zustand zugeführt wird, kann die Fläche der Kunstharzzufuhr-Objekte begrenzt sein. Dadurch kann im Vergleich zu einem verwandten Verfahren zur Zufuhr vor Kunstharz nach einer Montage an eine Trägerplatte, die eine Vielzahl von einzelnen Trägerplatten enthält, der den Kunstharzzufuhrvorrichtungen vorbehaltene Bereich verkleinert werden und die Flächenproduktivität der Fertigungstechnik kann verbessert werden.
  • (Ausführungsform 2)
  • Als nächstes wird eine Ausführungsform 2 der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnung beschrieben. Zuerst wird mit Bezug auf 23 der Aufbau eines Systems 201 zur Herstellung eines lichtemittierenden Elements beschrieben. Das System 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente hat eine Funktion der Herstellung lichtemittierender Elemente für die weiße Beleuchtung, die durch Beschichten der Oberseite eines LED-Elements, das blaues Licht emittiert, mit einem Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, der gelb angeregtes Licht emittiert, dessen Farbe zu blau komplementär ist, hergestellt werden. Wie in 23 gezeigt, ist in dieser Ausführungsform das System 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente so konstruiert, dass jede aus einer Trennschneidevorrichtung M201, einer Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202, einer Kunstharzzufuhrvorrichtung M203, einer Aushärtevorrichtung M204, eine Chip-Schneidevorrichtung M205 und einer Sortiervorrichtung M206 durch ein LAN-System 202 verbunden ist, und diese Vorrichtungen gemeinsam durch einen Verwaltungscomputer 203 gesteuert werden.
  • Die Trennschneidevorrichtung M20 trennt nur die Halbleiterschichten, aus denen die LED-Elemente in einem LED-Wafer bestehen, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, halb in einzelne LED-Element-Stücke. Die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 ist ein Teil zur Messung von Element-Kenngrößen und führt die Vorgänge der individuellen Messung der Lichtemissions-Kenngrößen der einzeln LED-Bauelemente in einem halb getrennten Zustand aus, in dem nur Halbleiterschichten in einem Zustand, in dem sie an der Chip-Schneidplatte befestigt und gehalten sind, in einzelne Stücke unterteilt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissions-Kenngrößen der LED-Elemente angeben, und um Anordnungsdaten zu erstellen, mit denen die Element-Positionsinformationen, die die Position eines getrennten LED-Elementes im LED-Wafer den Elementkenngrößeninformation des LED-Elementes für jeden LED-Wafer zugeordnet werden.
  • Die Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 liefert auf der Grundlage der oben erwähnten Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformation, die über das LAN-System 202 vom Verwaltungscomputer 203 übertragen werden, nämlich der Information, die eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes, das den fluoreszierenden Stoff enthält, um das LED-Element zu erhalten, das die geregelten Lichtemissions-Kenngrößen aufweist, die den Lichtelement-Kenngrößeninformationen entspricht, Kunstharz in geeigneten Kunstharzzufuhrmengen, um die geregelten Lichtemissions-Kenngrößen aufzuweisen, an die LED-Elemente in einem Wafer-Zustand, in dem der Wafer auf der Chip-Schneidplatte befestigt ist. Die Aushärtevorrichtung M204 härtet das Kunstharz durch Erwärmen der LED-Elemente, denen das Kunstharz zugeführt wird. Dadurch wird ein lichtemittierendes Element des Aufbaus ausgebildet, in dem das LED-Element mit einer Kunstharzschicht des Kunstharzes bedeckt ist, das den fluoreszierenden Stoff enthält. Anstatt das Kunstharz zum Härten zu erwärmen, kann die Aushärtevorrichtung M204 so konstruiert sein, dass das Aushärten durch Einstrahlen von UV (ultravioletten Strahlen) gefördert wird, oder sie kann so konstruiert sein, dass das Kunstharz einfach wie es ist aufgebracht wird und natürlich aushärtet. Die Chip-Schneidevorrichtung M205 teilt den LED-Wafer, bei dem das Kunstharz sich in einem gehärteten Zustand befindet, in einzelne LED-Elemente. Die Sortiervorrichtung M206 misst die Lichtemissions-Kenngrößen der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen, die an der Chip-Schneidplatte befestigt sind, erneut, klassifiziert die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen auf der Grundlage der Ergebnisse der Messungen in einzelne vorgegebene Kenngrößen-Bereiche und überträgt sie einzeln zu Element-Halteplatten.
  • In 23 ist ein Beispiel gezeigt, bei dem die Vorrichtungen von der Trennschneidevorrichtung M201 zur Sortiervorrichtung M206 in einer Linie angeordnet sind, um eine Fertigungslinie aufzubauen. Bei dem System 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente wird nicht notwendigerweise ein solcher Linienaufbau eingesetzt, sondern es kann so konstruiert sein, dass die Prozedurschritte von den Vorrichtungen, die zerstreut angeordnet sind, jeweils sequentiell ausgeführt werden, soweit die in der folgenden Erläuterung zu beschreibende Informationsübertragung geeignet durchgeführt wird.
  • Hierin werden mit Bezug auf die 24(a) und 24(b) ein LED-Wafer 210 und LED-Elemente 205 beschrieben, auf denen Operationen in dem System 201 zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes durchgeführt werden. Wie in 24(a) gezeigt, ist in dem LED-Wafer 210 eine Vielzahl von LED-Elementen 205 in einer Gitteranordnung ausgearbeitet, und eine Chip-Schneidplatte 210a ist an der Unterseite des LED-Wafers 210 befestigt. Ritzlinien 210b, welche die LED-Elemente 205 abtrennen, sind im LED-Wafer 210 festgelegt, und durch Schneiden des LED-Wafers 210 entlang der Ritzlinien 210b wird eine Sammlung von LED-Elementen 205 in einem Wafer-Zustand, in dem die einzelnen LED-Elemente 205 durch die Chip-Schneidplatte 210a gehalten werden, ausgebildet. In den Schritten des Systems 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente werden in einem Zustand, in dem der LED-Wafer 210 in einem Wafer-Halter 204 (siehe 28(a) bis 29(b)) gehalten wird, die Operationen und der Transport durchgeführt.
  • Wie in 24(a) gezeigt, wird das LED-Element 205 aufgebaut, indem ein n-Typ-Halbleiter 205b und ein p-Typ-Halbleiter 205c auf eine Saphir-Platte 205a geschichtet wird und die Oberfläche des p-Typ-Halbleiters 205c mit einer transparenten Elektrode 205d bedeckt wird, und eine Elektrode 206a des Teils vom n-Typ und eine Elektrode 206b des Teils vom p-Typ für externe Anschlüsse auf dem n-Typ-Halbleiter 205b, bzw. dem p-Typ-Halbleiter 205c ausgebildet werden. Das LED-Element 205 ist eine blaue LED und ist geeignet, quasi-weißes Licht zu liefern, indem es mit einem Kunstharz 208 kombiniert wird (siehe 29(b)), das den fluoreszierenden Stoff enthält, der gelbes Fluoreszenzlicht emittiert, dessen Farbe zu blau komplementär ist. In dieser Ausführungsform wird das Kunstharz 208 durch die Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 den LED-Elementen 205 in dem Wafer-Zustand, wie oben beschrieben, zugeführt.
  • Wegen verschiedener Arten von Abweichungsfaktoren im Herstellungsprozess, zum Beispiel die Änderung der Zusammensetzung zum Zeitpunkt der Schichtbildung im Wafer, kann nicht verhindert werden, dass die Lichtemissions-Kenngrößen wie z. B. die Lichtemissions-Wellenlänge des LED-Elementes 205, das durch Aufteilen des Wafers in einzelne Stücke erhalten wird, variieren. Wenn ein solches LED-Element 205 als lichtemittierendes Element zur Beleuchtung so wie es ist verwendet wird, variieren die Lichtemissions-Kenngrößen des Endproduktes. Um die durch die Änderung der Lichtemissions-Kenngrößen verursachte schlechte Qualität zu verhindern, werden in der vorliegenden Ausführungsform die Lichtemissions-Kenngrößen der Vielzahl der LED-Elemente 205 durch die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 in einem Wafer-Zustand gemessen, es werden Element-Kenngrößeninformationen erstellt, die dafür sorgen, dass jedes LED-Element 205 Daten entspricht, die die Lichtemissions-Kenngrößen des LED-Elementes 205 anzeigen, und eine geeignete Menge des Kunstharzes 208, die den Lichtemissions-Kenngrößen des LED-Elementes 205 entspricht, wird in der Kunstharzzufuhr zugeführt. Um die geeignete Menge des Kunstharzes 208 zuzuführen, werden zuvor Kunstharz-Zufuhrinformationen erstellt, die im Folgenden zu beschreiben sind.
  • Als Nächstes werden in der Reihenfolge der Schritte der Aufbau und die Funktionen der Vorrichtungen beschrieben, die das System 201 zur Herstellung des lichtemittierenden Elementes aufbauen. Zuerst wird der LED-Wafer 210 zur Trennschneidevorrichtung M201 gesendet, wie in 25(a) gezeigt. Wenn Schneidgräben 210c, die die Grenzschicht zum Saphir-Substrat 205a erreichen, entlang der Ritzlinien 210b im LED-Wafer 210 durch eine Laser-Schneidmaschine 207 ausgebildet werden, werden nur Halbleiterschichten des LED-Wafers 210 für jedes der LED-Elemente 205 aufgeteilt, die die transparente Elektrode 205d, den p-Typ-Halbleiter 205c, den n-Typ-Halbleiter 205b enthalten. Dadurch werden in dem LED-Wafer 210 ausgebildete Schaltkreis-Muster in die Einheit des LED-Elementes 205 aufgeteilt, und es wird möglich, dass jedes der LED-Elemente 205 einzeln elektrisch in Betrieb genommen wird. Zum Trennschneiden der Chips können verschiedene Verfahren benutzt werden. Zum Beispiel können außer dass die transparente Elektrode 205d, der p-Typ-Halbleiter 205c und der n-Typ-Halbleiter 205b mit einem Laser-Strahl entfernt werden, Verfahren, wie das Verfahren des mechanischen Schneidens nur dieser Schichten mit einer Chip-Schneidsäge benutzt werden.
  • Wie in 25(b) gezeigt, wird als Nächstes der LED-Wafer 210 nach dem Trennschneiden an die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 gesendet, wo Elementkenngrößen, die die Lichtemissionskenngrößen des LED-Elementes 205 angeben, gemessen werden. Das heißt, während ein Spektroskop 211a direkt über einem LED-Element 205 angeordnet ist, das unter der Vielzahl von LED-Elementen 205 nach dem Trennschneiden in einem Wafer-Zustand zu messen ist, in dem es auf der Chip-Schneidplatte 210a befestigt und gehalten ist, wobei Prüfspitzen einer Stromversorgung 209 die Elektrode 206a des n-Typ-Teils und die Elektrode 206b des p-Typ-Teils des LED-Elementes 205 berühren, wird der n-Typ-Halbleiter 205b und der p-Typ-Halbleiter 205c mit Strom versorgt, um Licht zu emittieren. Dann wird eine spektroskopische Analyse des Lichts durchgeführt, um vorgegebene Größen, wie die Lichtemissions-Wellenlänge oder die Helligkeit der Lichtemission zu messen, und das Ergebnis der Messung wird von einem Kenngrößen-Messungs-Prozessor 211 verarbeitet, so dass Element-Kenngrößeninformationen erhalten werden, die die Lichtemissions-Kenngrößen des LED-Elementes 205 anzeigen. Diese Messung der Elementkenngrößen wird der Reihe nach für alle LED-Elemente 205 durchgeführt, die den LED-Wafer 210 bilden.
  • Als Nächstes werden die Element-Kenngrößeninformationen mit Bezug auf die 26(a) und 26(b) beschrieben. 26(a) zeigt eine Standardverteilung der Lichtemissions-Wellenlänge, die vorher als Referenzdaten für die zu messenden LED-Elemente 205 zu erstellen ist. Durch Aufteilen eines Wellenlängenbereichs, der dem Standardbereich in der Verteilung entspricht, in eine Vielzahl von Wellenlängenbereichen wird die gemessene Vielzahl von LED-Elementen 205 entsprechend der Lichtemissions-Wellenlänge klassifiziert. Hierbei werden als Reaktion auf jeden der Ränge, die durch Unterteilung des Wellenlängenbereichs in fünf Bereiche festgesetzt werden, der Reihe nach von der Seite der kleinen Wellenlänge Behälter-Codes (Bin-Codes) [1], [2], [3], [4] und [5] vergeben. Auf der Grundlage der Messergebnisse der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 werden für die einzelnen LED-Elemente 205 Bin-Codes vergeben und als Element-Kenngrößeninformation 212 im Speicherteil 271 gespeichert (33).
  • 26(b) zeigt Anordnungsdaten 218, die den Elementpositionsinformationen, die die Position eines abgeteilten LED-Elementes 205 im LED-Wafer 210 den Element-Kenngrößeninformationen 212 über das LED-Element 205 zuordnen. Hierbei werden eine X-Zellkoordinate 218X und eine Y-Zellkoordinate 218Y in einer Matrixanordnung der LED-Elemente 205 im LED-Wafer 210 als Element-Positions-Information benutzt. Das heißt die Anordnungsdaten 218 sind so konstruiert, dass sie dafür sorgen, dass die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5], die einem einzelnen LED-Element 205 auf der Grundlage des Messergebnisses der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 vergeben werden, dem einzelnen LED-Element 205 entsprechen, das durch die Element-Positions-Information gekennzeichnet ist, und durch Angabe einer Wafer-Kennung (Wafer-ID) 218a können die Anordnungsdaten 218 jedes der einzelnen LED-Wafer 210 ausgelesen werden.
  • Dann wird die Kunstharz-Zufuhrinformation, die zuvor als Reaktion auf die oben erwähnte Element-Kenngrößeninformation 212 erstellt wurde, mit Bezug auf 27 beschrieben. In dem lichtemittierenden Element des Aufbaus, mit dem weißes Licht durch Kombination eines VAG-ähnlichen fluoreszierenden Stoffs mit einer blauen LED erhalten werden soll, wird, weil das blaue Licht, welches das LED-Element 205 emittiert, mit dem gelben Licht, das der fluoreszierende Stoff indem er durch das blaue Licht angeregt wird, emittiert, addiert und gemischt wird, die Menge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs in der Kunstharz-Schicht, die die Oberseite des LED-Elementes 205 bedeckt, zu einem wichtigen Faktor zum Sicherstellen der normalen Lichtemissions-Kenngrößen eines fertigen lichtemittierenden Elementes.
  • Wie oben erwähnt unterscheiden sich, weil es durch die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] klassifizierte Schwankungen der Lichtemissions-Wellenlängen einer Vielzahl von LED-Elementen 205, die gleichzeitig zu Arbeitsobjekten werden, gibt, unterscheiden sich die geeigneten Mengen der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs in dem Kunstharz 208, das zugeführt wird, um die LED-Elemente 205 abzudecken auf der Grundlage der Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5]. Wie in 27 gezeigt werden in dieser Ausführungsform in der erstellten Kunstharz-Zufuhrinformation 219 geeignete Kunstharzzufuhrmengen, die auf der Grundlage der Bin-Codes klassifiziert sind, des Kunstharzes 208, in dem YAG-ähnliche Teilchen eines fluoreszierenden Stoffs enthalten sind, wie zum Beispiel in Silikon-Kunstharz oder Epoxid-Kunstharz, zuvor auf der Grundlage der Bin-Code-Bereiche 217 in nl (Nanoliter) festgesetzt. Das heißt, wenn eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge, die in der Kunstharz-Zufuhrinformation 219 gezeigt ist, des Kunstharzes 208 präzise zugeführt wird, um das LED-Element 205 abzudecken, wird die Menge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs in dem Kunstharz, das das LED-Element 205 abdeckt, eine geeignete Zufuhrmenge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs, und dadurch wird eine geforderte normale Lichtemissions-Wellenlänge in einem Endprodukt sichergestellt, nachdem das Kunstharz thermisch gehärtet ist.
  • Wie in einer Spalte 216 der Dichte des fluoreszierenden Stoffs gezeigt, wird hierbei eine Vielzahl von Dichten des fluoreszierenden Stoffs (hier drei Dichten, oder D1 (5%), D2 (10%) und D3 (15%)), die die Dichte der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 208 anzeigen, festgesetzt, und die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen werden auf unterschiedliche numerische Werte festgesetzt, die auf der Grundlage der Dichte des fluoreszierenden Stoffs des benutzten Kunstharzes 208 benutzt werden. Das heißt, wenn das Kunstharz 208 der Dichte D1 des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, wird für die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] das Kunstharz 208 der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen VA0, VB0, VD0, bzw. VE0 (geeignete Kunstharzzufuhrmengen 215(1)) zugeführt. Ebenso wird, wenn das Kunstharz 208 der Dichte D2 des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, für die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] das Kunstharz 208 der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen VF0, VG0, VH0, bzw. VK0 (geeignete Kunstharzzufuhrmengen 215(2)) zugeführt. Ferner wird, wenn das Kunstharz 208 der Dichte D3 des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, für die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] das Kunstharz 208 der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen VL0, VM0, VN0, bzw. VR0 (geeignete Kunstharzzufuhrmengen 215(3)) zugeführt. Auf diese Weise werden die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen jeweils für die Vielzahl von Dichten des fluoreszierenden Stoffs festgesetzt, die unterschiedlich sind, und der Grund dafür ist, dass die Zufuhr des Kunstharzes 208 der am besten geeigneten Dichte des fluoreszierenden Stoffs auf der Grundlage des Grades der Änderung der Lichtemissions-Wellenlänge zur Qualitätssicherung vorzuziehen ist.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf die 28(a) bis 29(b) ein Aufbau und Funktionen der Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 beschrieben. Die Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 weist eine Funktion der individuellen Zufuhr des Kunstharzes 208 an die Vielzahl von LED-Elementen 205 einem halb geschnittenen Zustand auf, in dem sie durch die Chip-Trennvorrichtung M201 halb getrennt sind, und deren Elementkenngrößen durch die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 gemessen sind. Wie in einer Draufsicht in 28(a) gezeigt, ist die Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 aufgebaut, indem ein Kunstharz-Zufuhrteil 200A, der in 28(b) in einem Querschnitt A-A gezeigt ist, auf einem Transportmechanismus 231 angeordnet ist, der einen Wafer-Halter 204, der einen LED-Wafer 210 hält, der ein Arbeitsobjekt ist.
  • In dieser Ausführungsform wird eine Kunstharz-Abgabevorrichtung, die das Kunstharz 208 in Tintenstrahldrucker-Manier abgibt, als Kunstharz-Zufuhrteil 200A benutzt. Das heißt am Kunstharz-Zufuhrteil 200A ist ein Druckkopf 232 vorgesehen, dessen Längsrichtung sich in Richtung zur X-Richtung befindet (Transportrichtung des Transportmechanismus 231). Wie in den 29(a) und 29(b) gezeigt ist am Druckkopf 232 eine eingebaute Druckerdüseneinheit 232a vorgesehen, die ein kleines Tröpfchen 208a des Kunstharzes 208 nach unten in einer Weise abgibt, dass die Abgabemenge kontrollierbar ist, und wenn der Druckkopf 232 durch einen Druckkopf-Antriebsteil 235 angetrieben wird, wird der Druckkopf 232 in der Y-Richtung (Pfeil a) über den Wafer 210 bewegt, der im Wafer-Halter 204 gehalten ist, und die Druckerdüseneinheit 232a wird in der X-Richtung (Pfeil b) im Druckkopf 232 bewegt. Wenn der Druckkopf-Antriebsteil 235 durch einen Zufuhrsteuerungsteil 236 gesteuert wird, wird die Druckerdüseneinheit 232a zu einer beliebigen Position in der X-Richtung und in der Y-Richtung bewegt, und die Abgabemenge des kleinen Tröpfchens 208a von der Druckerdüseneinheit 232a kann gesteuert werden.
  • Ein Messkopf 230, der eine Kamera 234a und eine Höhenmesseinheit 233a enthält, ist neben dem Druckkopf 232 angeordnet, um in X- und Y-Richtung (Pfeil c) beweglich zu sein. Wenn der Messkopf 230 über den LED-Wafer 210 bewegt wird, der in dem Wafer-Halter 204 gehalten wird, und ein Bild, das durch Aufzeichnen des LED-Wafers 210 mit der Kamera 234a erfasst wird durch einen Positionserkennungsteil 234 erkannt wird, wird die Position eines einzelnen LED-Elementes 205 auf dem LED-Wafer 210 erkannt. Das Ergebnis der Positionserkennung wird zum Zufuhrsteuerungsteil 236 übertragen.
  • Durch Ausrichten der Höhenmessungsvorrichtung 233a mit der zu messenden Fläche, um eine Entfernungsmessungs-Operation mit einem Laserstrahl durchzuführen, wird die Höhe der zu messenden Fläche gemessen. Hier wird die Oberseite des LED-Elementes 205 vor der Zufuhr des kleinen Tröpfchens 208a durch die Druckerdüseneinheit 232a die zu messende Fläche, und das Ergebnis der Höhenmessung durch den Höhenmessungsteil 233 wird zum Zufuhrsteuerungsteil 236 übertragen. Wenn das klein Tröpfchen 208a durch die Druckerdüseneinheit 232a zugeführt wird, führt der Zufuhrsteuerungsteil 236 eine Höhenmessung der Oberseite des LED-Elementes 205 mit dem Höhenmessungsteil 233 durch. Wenn der Druckkopf 232 durch den Zufuhrsteuerungsteil 236 auf diese Weise gesteuert wird, wie in 29(b) gezeigt, wird das kleine Tröpfchen 208a von der Druckerdüseneinheit 232a abgegeben, und das Kunstharz 208 einer geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, die in der Kunstharz-Zufuhr-Information 219 vorgeschrieben ist, wird der Oberseite jedes der LED-Elemente 205 des LED-Wafers 210 in einem halb getrennten Zustand zugeführt. Das heißt, der Kunstharzzufuhr-Teil 200A weist Funktionen der Abgabe einer variablen Zufuhrmenge des Kunstharzes 208 und der Zufuhr des Kunstharzes 8 an beliebigen Zufuhrpositionen auf.
  • Neben dem Transportmechanismus 231 ist eine probeweise zuführende und messende Einheit 240 im Bewegungsbereich des Druckkopfes 232 angeordnet. Die probeweise zuführende und messende Einheit 240 weist eine Funktion auf, vor einer Zufuhr-Operation zur praktischen Produktion der Zufuhr des Kunstharzes 208 zu den LED-Elementen 205 des Wafers 210 zu bestimmen, ob die Zufuhrmenge des Kunstharzes 208 geeignet ist, indem die Lichtemissions-Kenngrößen des Kunstharzes 208, das probeweise zugeführt wird, gemessen werden. Das heißt, Lichtemissions-Kenngrößen, wenn ein Licht, das ein Lichtquellen-Teil 245 zur Messung abstrahlt, auf ein lichtdurchlässiges Element 243 fällt, wenn das Kunstharz 208 durch den Kunstharzzufuhr-Teil 200A probeweise zugeführt wird, werden durch einen Lichtemissions-Kenngrößen-Messungsteil gemessen, der ein Spektroskop 242 und einen Lichtemissions-Kenngrößen-Messungs-Prozessor 239 enthält, und durch Vergleichen des Messergebnisses mit dem zuvor festgesetzten Schwellenwert wird festgestellt, ob die eingestellte Kunstharzzufuhrmenge, die in der in 27 gezeigten Kunstharzzufuhr-Information 219 vorgeschrieben ist, geeignet ist.
  • Die Zusammensetzung und die Kenngrößen des Kunstharzes 208, das Teilchen eines fluoreszierenden Stoffes enthält, sind nicht notwendigerweise stabil, und sogar wenn die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen vorher in der Kunstharzzufuhr-Information 219 festgesetzt werden, kann nicht verhindert werden, dass die Dichte und die Kunstharz-Viskosität des fluoreszierenden Stoffs über der Zeit schwanken. Sogar wenn das Kunstharz 208 entsprechend den Zufuhrparametern abgegeben wird, die den vorher festgesetzten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen entsprechen, ist es daher möglich, dass die Kunstharzzufuhrmenge von dem eingestellten geeigneten Wert abweicht, oder die Kunstharzzufuhrmenge selbst geeignet ist, aber die zugeführte Menge der Teichen des fluoreszierenden Stoffs durch Dichteänderungen von dem abweicht, was ursprünglich zugeführt werden sollte.
  • Um diese Probleme zu lösen, wird in der Ausführungsform durch die Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 in einem festgelegten Abstand eine probeweise Zufuhr durchgeführt, um zu erkennen, ob eine geeignete Zufuhrmenge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, und indem eine Messung der Lichtemissions-Kenngrößen des probeweise zugeführten Kunstharzes durchgeführt wird, wird die Zufuhrmenge der Teilchen des fluoreszierenden Stoffs, mit der die Anforderungen der ursprünglichen Lichtemissions-Kenngrößen erfüllt werden, stabilisiert. Somit hat der Kunstharzzufuhr-Teil 200A, der in der in der vorliegenden Ausführungsform gezeigten Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 enthalten ist, eine Funktion der Durchführung eines Zufuhrprozesses zur Messung, in dem das Kunstharz 208 probeweise für die oben erwähnte Messung der Lichtemissions-Kenngrößen an das lichtdurchlässige Element 243 zugeführt wird, zusätzlich zu einem Zufuhrprozess für die Produktion, in dem das Kunstharz 208 an eine Vielzahl von LED-Elementen 205 in einem Wafer-Zustand zugeführt wird, indem sie für die praktische Produktion in dem Wafer-Halter 204 gehalten werden. Einer von Zufuhrprozess zur Messung und Zufuhrprozess für die Produktion wird durchgeführt, wenn der Kunstharzzufuhr-Teil 200A durch den Zufuhrsteuerungsteil 236 gesteuert wird.
  • Mit Bezug auf die 30(a) bis 8(c) wird der detaillierte Aufbau der probeweise zuführenden und messenden Einheit 240 beschrieben. Wie in 30(a) gezeigt, wird das lichtdurchlässige Element 243 zugeführt, indem es auf einer Vorratsspule 247 aufgewickelt und aufgenommen wird, und nachdem das lichtdurchlässige Element 43 entlang der Oberseite eines Tisches zur probeweisen Zuführung 240a befördert wurde, läuft das lichtdurchlässige Element 43 zwischen einem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 241 und einem bestrahlenden Teil 246 hindurch und wird auf eine Aufwickelspule 248 aufgewickelt, die durch einen Wickelmotor 249 angetrieben wird. Neben dem Aufnahmeverfahren des Aufwickeln auf der Aufwickelspule 248 können verschiedene Verfahren einschließlich eines Transportverfahrens, bei dem das lichtdurchlässige Element 243 durch einen Transportmechanismus in einen Sammelkasten transportiert wird, als Mechanismus zum Sammeln des lichtdurchlässigen Elementes 243 eingesetzt werden.
  • Der bestrahlende Teil 246 hat eine Funktion, Messungslicht, das vom Lichtquellenteil 245 emittiert wird, auf das lichtdurchlässige Element 243 einzustrahlen, und ist konstruiert, indem ein Licht konvergierendes Hilfsmittel 246b, in dem das Messungslicht, das der Lichtquellenteil 45 abstrahlt, durch Lichtwellenleiter-Kabel geführt wird, in einem Abschattungskasten 246a angeordnet wird, der die Funktion eines einfachen dunklen Kastens aufweist. Der Lichtquellenteil 245 hat eine Funktion des Abstrahlens von Anregungslicht, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, der in dem Kunstharz 208 enthalten ist. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Lichtquellenteil 45 über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 241 angeordnet und strahlt das Messungslicht von oben durch das Licht konvergierende Hilfsmittel 246b auf das lichtdurchlässige Element 243.
  • Hier werden ein Bandmaterial einer vorgegebenen Breite, das aus einem planaren Plattenelement aus transparentem Kunstharz ausgebildet ist, oder das oben angegebene Bandmaterial, in dem eingeprägte Teile 243a von der Bodenfläche nach unten vorstehen (Präge-Typ), oder dergleichen als lichtdurchlässiges Element 243 benutzt (siehe 30(b)). In dem Prozess des Transportierens des lichtdurchlässigen Elements 243 auf der probeweise zuführenden und messenden Einheit 240 wird das Kunstharz 208 probeweise vom Druckkopf 232 auf das lichtdurchlässige Element 243 zugeführt. Diese probeweise Zufuhr wird durchgeführt wie in 30(b) gezeigt, wobei eine vorgegebene Zufuhrmenge des Kunstharzes 208 in einer Form des kleinen Tröpfchens 208a von der Druckerdüseneinheit 232a auf das lichtdurchlässige Element 243 abgegeben (gedruckt) wird, das von unten durch den Tisch zur probeweisen Zuführung 240a getragen wird.
  • (I) in 30(b) zeigt, dass das Kunstharz 208 der festgesetzten geeigneten Zufuhrmenge, die in der Kunstharzzufuhr-Information 219 vorgeschrieben wird, auf das lichtdurchlässige Element 243 zugeführt wird, das aus dem oben erwähnten Bandmaterial ausgebildet ist. (II) in 30(b) zeigt, dass das Kunstharz 208 der festgesetzten geeigneten Zufuhrmenge auf ähnliche Weise in die geprägten Teile 243a des lichtdurchlässigen Elements 243 zugeführt wird, das aus dem oben erwähnten Bandmaterial vom Präge-Typ ausgebildet ist. Wie später beschrieben wird, wird, weil das Kunstharz 208, das auf den Tisch zur probeweisen Zuführung 240a zugeführt wird, probeweise zugeführt wird, um empirisch zu bestimmen, ob die Zufuhrmenge des fluoreszierenden Stoffs zu LE-Element 205 geeignet ist, wenn das Kunstharz 208 durch den Druckkopf 232 kontinuierlich mit derselben Bewegung zur probeweisen Zuführung auf das lichtdurchlässige Element 243 an einer Vielzahl von Punkten zugeführt wird, die Zufuhr durchgeführt, indem die Zufuhrmengen auf der Grundlage der bekannten Daten, die die Korrelation zwischen der Messung der Lichtemissions-Kenngrößen und der Zufuhrmenge anzeigen, progressiv unterschiedlich gemacht werden.
  • Nachdem das Kunstharz 208 auf diese Weise probeweise zugeführt wurde, wird von oben durch das Licht konvergierende Hilfsmittel 246b auf das lichtdurchlässige Element 243, das in dem Abschattungskasten 246a geführt wird, weißes Licht eingestrahlt, das vom Lichtquellen-Teil 245 abgestrahlt wird. Das Licht, das das Kunstharz 208, das auf dem lichtdurchlässigen Element 243 zugeführt wird, durchläuft, wird durch eine Ulbrichtkugel 244, die unter dem das lichtdurchlässige Element tragenden Teil 241 angeordnet ist, durch eine Lichtdurchlassöffnung 241a empfangen, die am das lichtdurchlässige Element tragenden Teil 241 vorgesehen ist. 30(c) zeigt den Aufbau des das lichtdurchlässige Element tragenden Teils 241 und der Ulbrichtkugel 244. Der das lichtdurchlässige Element tragende Teil 241 ist so aufgebaut, dass ein oberes Führungselement 241c, das eine Funktion des Führens von zwei Endflächen des lichtdurchlässigen Elements 243 aufweist, auf der Oberseite eines unteren Trägerelementes 241b installiert ist, das die untere Fläche des lichtdurchlässigen Elements 243 trägt.
  • Der das lichtdurchlässige Element tragende Teil 241 weist in dem Zufuhrprozess für die Messung Funktionen auf, das lichtdurchlässige Element 243 zum Zeitpunkt des Transports in der probeweise zuführenden und messenden Einheit 240 zu führen, und die Position des lichtdurchlässigen Elements 243, auf dem das Kunstharz 208 probeweise zugeführt ist, zu tragen und aufrecht zu erhalten. Die Ulbrichtkugel 244 weist Funktionen auf, das Durchlicht, das vom Licht konvergierenden Hilfsmittel 246b (Pfeil h) ausgestrahlt wird und das Kunstharz 208 durchläuft, zu integrieren und zum Spektroskop 242 zu leiten. Das heißt, die Ulbrichtkugel 244 weist eine kugelförmige reflektierende innere Oberfläche 244c auf, und das ausgesendete Licht (Pfeile i), das durch eine Öffnung 244a eintritt, die sich direkt unter der Licht-Durchlass-Öffnung 241a befindet, fällt von der Öffnung 244a, die an der Oberseite der Ulbrichtkugel 244 vorgesehen ist, in einen Reflexionsraum 244b, verlässt ihn an einem Ausgabeteil 244d als Messungs-Licht (Pfeil k) in einem Prozess der wiederholten Totalreflexion (Pfeile j) an der kugelförmigen reflektierenden Oberfläche 244c, und wird vom Spektroskop 242 empfangen.
  • In dem oben erwähnten Aufbau wird das weiße Licht, das durch ein LED-Package, das für den Lichtquellen-Teil 245 benutzt wird, abgestrahlt wird, auf das Kunstharz 208 gestrahlt, das auf dem lichtdurchlässigen Element 243 probeweise zugeführt wurde. In diesem Prozess regen die blauen Komponenten des Lichts, die im weißen Licht enthalten sind, den fluoreszierenden Stoff in dem Kunstharz 208 an, gelbes Licht abzustrahlen. Das weiße Licht, in dem dieses gelbe Licht und das blaue Licht addiert und gemischt werden, wird vom Kunstharz 208 nach oben abgestrahlt und wird vom Spektroskop 242 durch die oben erwähnte Ulbrichtkugel 244 empfangen.
  • Das empfangene weiße Licht wird durch den Prozessor 239 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen (28(b)) analysiert, um die Lichtemissions-Kenngrößen zu messen. Lichtemissions-Kenngrößen wie Farbton-Rang oder Strahlungskeule des weißen Lichts werden gemessen, und als Ergebnis der Messung werden Abweichungen von vorgegebenen Lichtemissions-Kenngrößen ermittelt. Die Ulbrichtkugel 244, das Spektroskop 242 und der Prozessor 239 zur Messung von Lichtemissions-Kenngrößen konstruieren einen Lichtemissions-Kenngrößen-Messungsteil, der Lichtemissions-Kenngrößen des Lichtes misst, das das Kunstharz 208 abstrahlt, wenn das Anregungslicht (hier von einer weißen LED abgestrahltes weißes Licht), das durch den Lichtquellenteil 245 abgestrahlt wird, von oben auf das Kunstharz 208 eingestrahlt wird, das auf das lichtdurchlässige Element 243 zugeführt wird, indem er das Licht empfängt, das das Kunstharz 208 von unterhalb des lichtdurchlässigen Elementes 243 abstrahlt. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil aufgebaut, indem die Ulbrichtkugel 244 unter dem lichtdurchlässigen Element 243 angeordnet wird, so dass Licht, welches das Kunstharz 208 abstrahlt, durch die Öffnung 244a der Ulbrichtkugel 244 empfangen wird.
  • Die unten beschriebenen Auswirkungen werden erhalten, indem der Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil wie oben angegeben aufgebaut wird. Das heißt für die Zufuhr-Form des Kunstharzes 30, das probeweise auf das in 208(b) gezeigte lichtdurchlässige Element 243 zugeführt wird, weist, weil die Bodenfläche immer Kontakt zur Oberseite des lichtdurchlässigen Elementes 243 oder zur Bodenfläche der geprägten Teile 243a hat, die Bodenfläche des Kunstharzes 208 immer eine StandardHöhe auf, die durch das lichtdurchlässige Element 243 vorgegeben ist. Daher wird die Höhendifferenz zwischen der Bodenfläche des Kunstharzes 208 und der Öffnung 244a der Ulbrichtkugel 244 immer konstant gehalten. Andererseits kann für die Oberseite des Kunstharzes 208 wegen Störungen wie z. B. Zufuhrbedingungen der Druckerdüseneinheit 232a dieselbe Form und Höhe der Flüssigkeitsoberfläche nicht notwendigerweise realisiert werden, und der Abstand zwischen der Oberseite des Kunstharzes 208 und des Licht konvergierenden Hilfsmittels 246b wird schwanken.
  • Wenn Stabilität berücksichtigt wird, wenn das auf die Oberseiten des Kunstharzes 208 eingestrahlte Bestrahlungslicht und das ausgesendete Licht von den unteren Flächen des Kunstharzes 208 verglichen werden, ist weil das auf das Kunstharz 208 eingestrahlte Bestrahlungslicht durch das Licht konvergierende Hilfsmittel 246b eingestrahlt wird, der Konvergenzgrad hoch, und der Einfluss, den die Änderung der Abstände zwischen den Oberseiten des Kunstharzes 208 und dem Licht konvergierenden Hilfsmittel 246b auf die Lichtdurchlässigkeit hat, kann ignoriert werden. Andererseits ist, weil das ausgesendete Licht, welches das Kunstharz 208 durchläuft, das angeregte Licht ist, da der fluoreszierende Stoff innerhalb des Kunstharzes 208 angeregt wird, der Grad der Divergenz groß, und der Einfluss, den die Änderung der Abstände zwischen den Bodenflächen des Kunstharzes 208 und der Öffnung 244a auf den Grad hat, mit dem das Licht von der Ulbrichtkugel 244 aufgenommen wird, kann nicht ignoriert werden.
  • In der in der vorliegenden Ausführungsform gezeigten probeweise zuführenden und messenden Einheit 240 ist es möglich, weil eine solche Bauart eingesetzt wird, dass das Licht, welches das Kunstharz 208 abstrahlt, wenn das vom Lichtquellen-Teil 245, der wie oben aufgebaut ist, abgestrahlte Licht von oben auf das Kunstharz 208 eingestrahlt wird, von der Ulbrichtkugel 244 von unterhalb des lichtdurchlässigen Elementes 243 empfangen wird, stabile Lichtemissions-Kenngrößen zu bestimmen. Da die Ulbrichtkugel 244 verwendet wird, ist es nicht erforderlich, im Licht empfangenden Teil getrennt einen Dunkelkammer-Aufbau vorzusehen, und es ist möglich, die Vorrichtung kompakter aufzubauen und die Kosten der Vorrichtung zu verringern.
  • Wie in 28(b) gezeigt, wird das Messergebnis des Prozessors 239 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen an einen Prozessor 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge gesendet, und der Prozessor 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge gesendet, und der Prozessor 38 zum Ableiten der Zufuhrmenge korrigiert die geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes 208 auf der Grundlage des Messergebnisses des Prozessors 239 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen und der zuvor vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen, und leitet die geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes 208 ab, die auf das LED-Element 205 zugeführt werden muss, als die für die praktische Produktion verwendete Menge. Die neue geeignete Abgabemenge, die durch den Prozessor 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge abgeleitet wurde, wird an einen Prozessor 237 zur Produktionsdurchführung gesendet, und der Prozessor 237 zur Produktionsdurchführung steuert den Zufuhrsteuerungsteil 236 mit der neu abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge. Dadurch steuert der Zufuhrsteuerungsteil 236 den Druckkopf 232, damit der Druckkopf 232 einen Zufuhr-Prozess zur Produktion durchführt, um das Kunstharz 208 der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf das LED-Element 205, das auf der Platte 214 montiert ist, zuzuführen.
  • In dem Zufuhr-Prozess für die Produktion wird zuerst das Kunstharz 208 der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, die in der Kunstharzzufuhr-Information 219 vorgeschrieben ist, tatsächlich zugeführt, und die Lichtemissions-Kenngrößen werden gemessen, wenn das Kunstharz 208 sich in einem ungehärteten Zustand befindet. Auf der Grundlage der erhaltenen Messergebnisse wird ein Qualitätsgrößenbereich des Messwerts der Lichtemissions-Kenngrößen festgelegt, wenn die Lichtemissions-Kenngrößen des Kunstharzes 208, das im Zufuhr-Prozess für die Produktion zugeführt wird, gemessen werden, und dieser Qualitätsgrößenbereich wird als ein Schwellenwert benutzt (siehe die in 33 gezeigten Schwellenwert-Daten 281a), mit dem bestimmt wird, ob eine Qualitätsgröße in dem Zufuhr-Prozess für die Produktion erhalten wird.
  • Das heißt in dem Kunstharzzufuhrverfahren in dem in der vorliegenden Ausführung gezeigten System zur Herstellung eines lichtemittierenden Elementes wird als Lichtquellen-Teil 245 für die Messung der Lichtemissions-Kenngrößen eine weiße LED verwendet, eine Lichtemissions-Charakteristik, die von der Emissions-Charakteristik von normalem Licht abweicht, die bei einem fertigen Produkt erhalten wird, wenn sich das Kunstharz, das dem LED-Element 205 zugeführt wird, in einem gehärteten Zustand befindet, wird für eine Lichtemissions-Kenngrößen-Differenz, weil sich das Kunstharz 8 in einem ungehärteten Zustand befindet, wird als vorher vorgeschriebene Lichtemissions-Charakteristik verwendet, welche die Grundlage zur Festsetzung des Schwellenwertes bestimmt wird, ob eine Qualitätsgröße im Zufuhrprozess für die Produktion erhalten wird. Dadurch kann die Steuerung der Kunstharzzufuhrmenge in dem Prozess der Kunstharzzufuhr auf das LED-Element 205 auf der Grundlage der normalen Lichtemissions-Kenngrößen des fertigen Produktes durchgeführt werden.
  • In der vorliegenden Ausführungsform wird als Lichtquellen-Teil 245 ein LED-Package 250 (siehe 35(b)) benutzt, das weißes Licht abstrahlt. Dadurch kann die Messung der Lichtemissions-Kenngrößen des probeweise zugeführten Kunstharzes 208 mit einem Licht durchgeführt werden, das dieselben Kenngrößen aufweist wie das Anregungslicht, das in dem Höhenmessungsteil 250 mit einem lichtemittierenden Element des fertigen Produktes abgestrahlt wird, und es kann ein zuverlässigeres Messergebnis erhalten werden. Es ist nicht erforderlich, dasselbe LED-Package 250 zu verwenden, wie es in einem fertigen Produkt verwendet wird. Bei der Messung der Lichtemissions-Kenngrößen, kann als Lichtquellen-Teil für die Messung eine Lichtquelle verwendet werden, die stabil blaues Licht einer konstanten Wellenlänge abstrahlen kann (zum Beispiel eine blaue LED oder eine blaue Laser-Lichtquelle, die blaues Licht emittiert). Verwendet man jedoch das LED-Package 250, das unter Verwendung der blauen LED weißes Licht abstrahlt, besteht der Vorteil, dass eine Lichtquellen-Vorrichtung mit stabiler Qualität zu geringen Kosten gewählt werden kann. Es ist auch möglich, blaues Licht einer vorgegebenen Wellenlänge unter Verwendung eines Bandpassfilters zu entnehmen.
  • Statt einer probeweise zuführenden und messenden Einheit 240 des oben erwähnten Aufbaus kann eine probeweise zuführende und messende Einheit 340 des in 31(a) gezeigten Aufbaus verwendet werden. Das heißt, wie in 31(a) gezeigt, weist die probeweise zuführende und messende Einheit 340 einen solchen äußeren Aufbau auf, dass ein Abdeckungs-Teil 340b über einer horizontalen Basis 340a einer schmalen Form angeordnet ist. Am Abdeckungs-Teil 340b ist eine Öffnung 340c vorgesehen, und die Öffnung 340c kann mit einem Schiebefenster 340d geöffnet werden, das bei der Zufuhr benutzt wird und verschiebbar ist (Pfeil l). In der probeweise zuführenden und messenden Einheit 340 sind eine Tisch zur probeweisen Zuführung 345a, der das lichtdurchlässige Element 243 von unten stützt, ein das lichtdurchlässige Element transportierender Teil 341, der das lichtdurchlässige Element 243 transportiert und ein Spektroskop 242 vorgesehen, das über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 341 angeordnet ist.
  • Der das lichtdurchlässige Element transportierende Teil 341 enthält eine Lichtquellen-Vorrichtung, die Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, wie der in 28(b) gezeigte Lichtquellen-Teil 245. Das Anregungslicht wird von unten von der Lichtquellen-Vorrichtung zum lichtdurchlässigen Element 243 abgestrahlt, auf dem das Kunstharz 208 in einem Zufuhrprozess für die Messung probeweise zugeführt wird. Wie in dem in den 30(a) bis 8(c) gezeigten Beispiel wird das lichtdurchlässige Element 243 zugeführt, indem es auf die Vorratsspule 247 gewickelt und dort aufgenommen wird. Nachdem das lichtdurchlässige Element 243 entlang der Oberseite des Tisches zur probeweisen Zuführung 345a befördert wurde (Pfeil m), läuft das lichtdurchlässige Element 243 zwischen dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 341 und dem Spektroskop 242 hindurch und wird auf die Aufwickelspule 248 aufgewickelt, die durch den Wickelmotor 249 angetrieben wird.
  • Wenn das bei der Zufuhr benutzte Schiebefenster 340d in einen offenen Zustand geschoben wird, ist die Oberseite des Tisches zur probeweisen Zuführung 345a nach oben freiliegend, und es ist möglich, dass der Druckkopf 232 das Kunstharz 208 probeweise auf das lichtdurchlässige Element 243 zuführt, das auf der Oberseite befördert wird. Diese probeweise Zufuhr wird durchgeführt, indem eine vorgegebene Zufuhrmenge eines kleinen Tröpfchens 208a von der Druckerdüseneinheit 232a an das lichtdurchlässige Element 243 abgegeben wird, das von unten durch den Tisch zur probeweisen Zuführung 345a getragen wird.
  • 31(b) zeigt, dass durch Bewegen des lichtdurchlässigen Elements 243 auf dem das Kunstharz 208 probeweise zugeführt ist, auf dem Tisch zur probeweisen Zufuhr 345a, damit sich das Kunstharz 208 über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 341 befindet und durch Absenken des Abdeckungs-Teils 340b eine Dunkelkammer für die Messung der Lichtemissions-Kenngrößen zwischen dem Abdeckungs-Teil 340b und der Basis 340a ausgebildet wird. Das LED-Package 250, das weißes Licht abstrahlt, wird als Lichtquellen-Vorrichtung in dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 341 verwendet. In dem LED-Package 250 sind Verdrahtungsschichten 214e und 214d, die mit dem LED-Element 205 verbunden sind, mit einer Stromversorgungs-Vorrichtung 342 verbunden. Durch Einschalten der Stromversorgungs-Vorrichtung 342 wird elektrischer Strom für die Lichtemission an das LED-Element 205 geliefert, und dadurch strahlt das LED-Package 250 weißes Licht ab.
  • In dem Prozess, in dem das weiße Licht zu dem Kunstharz 208 abgestrahlt wird, das probeweise auf das lichtdurchlässige Element 243 zugeführt wurde, wird nachdem das weiße Licht das Kunstharz 208 durchlaufen hat, ein weißes Licht, in dem gelbes Licht, das der fluoreszierende Stoff abstrahlt, in dem Kunstharz, der durch das in dem weißen Licht enthaltene blaue Licht angeregt wurde, und das blaue Licht addiert und gemischt sind, nach oben vom Kunstharz 208 abgestrahlt. Das Spektroskop 242 ist über der probeweise zuführenden und messenden Einheit 340 angeordnet. Das vom Kunstharz 208 abgestrahlte weiße Licht wird vom Spektroskop 242 empfangen. Das empfangene weiße Licht wird durch den Prozessor 239 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen analysiert, um die Lichtemissions-Kenngrößen zu messen. Lichtemissions-Kenngrößen wie Farbton-Rang oder Strahlungskeule des weißen Lichts werden gemessen, und als Ergebnis der Messung werden Abweichungen von vorgegebenen Lichtemissions-Kenngrößen ermittelt. Das heißt, der Prozessor 239 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen misst die Lichtemissions-Kenngrößen des Lichtes, das das Kunstharz 208, welches auf das lichtdurchlässige Element 243 zugeführt wird, abstrahlt, wenn das Anregungslicht, das von dem LED-Element 205 abgestrahlt wird, das der Lichtquellen-Teil ist, auf das Kunstharz 208 eingestrahlt wird. Das Messergebnis des Prozessors 239 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen wird an den Prozessor 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge gesendet, und die Prozesse werden durchgeführt, wie die in 28(a) und 28(b) gezeigten Beispiele.
  • Die LED-Elemente 205, denen das Kunstharz auf diese Weise zugeführt wurde, werden an die Aushärtevorrichtung M204 in einem Zustand des LED-Wafers 210 gesendet. Wie in 32(a) gezeigt, wird das Kunstharz 208 durch Erwärmen des LED-Wafers 210 gehärtet. Dadurch werden die Oberseiten der LED-Elemente 205 mit einer Kunstharz-Schicht 208* bedeckt, die ausgebildet wird, wenn das Kunstharz 208, das den fluoreszierenden Stoff enthält, gehärtet wird. Dann wird der LED-Wafer 210 zur Chip-Schneidevorrichtung M205 transportiert, und wie in 32(b) gezeigt, wird die Saphir-Platte 205a, die beim Trennscheiden der Chip-Trennvorrichtung M201 ungeschnitten bleibt, durch die Laser-Schneidemaschine 207 geschnitten. Dadurch werden die lichtemittierenden Elemente 205* ausgebildet, bei denen die Oberseiten der einzelnen LED-Elemente 205 mit der Kunstharzschicht 208* bedeckt sind. Neben dem Verfahren des Entfernens des Saphir-Substrats 205a mit Laser kann als Chip-Schneideverfahren ein Verfahren des mechanischen Schneidens des Saphir-Substrats 205a mit einer Chip-Schneidsäge oder ein Verfahren zum Ausbilden von versprödeten Bereichen mit einem Laserstrahl im Saphir-Substrat 5a beim Trennschneiden und zum Aufteilen des Saphir-Substrats 5a durch Zerbröckeln, um die vom Laserstrahl ausgebildeten versprödeten Bereiche mechanisch zu brechen, benutzt werden.
  • Danach wird der LED-Wafer 210 an die Sortiervorrichtung M206 gesendet, in der die Lichtemissions-Kenngrößen der Vielzahl der lichtemittierenen Elemente 205*, die an der Chip-Schneidplatte 210a befestigt sind, erneut gemessen werden. Auf der Grundlage der Messung wird die Vielzahl der lichtemittierenden Elemente 205*, die den LED-Wafer 210 bilden, in einzelne vorgegebene Kenngrößen-Bereiche klassifiziert und jeweils an die Vielzahl von Element-Halteplättchen 213A, 213B, 213C und dergleichen transportiert. Ob die Sortiervorrichtung M206 in dem System 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente erforderlich ist, wird unter Berücksichtigung der Präzision der Lichtemissions-Kenngrößen, die für ein fertiges Produkt gefordert wird und/oder der Korrektur der Kunstharzzufuhrmenge der Kunstharz-Zufuhrvorrichtung M203 bestimmt, und der Prozess der Sortiervorrichtung M206 ist nicht notwendigerweise erforderlich.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf 33 der Aufbau eines Systems zur Steuerung des Systems 201 zur Herstellung eines lichtemittierenden Elements beschrieben. Unter den Elementen der Vorrichtungen, aus denen das System 201 zur Herstellung von lichtemittierenden Elementen aufgebaut ist, sind diejenigen Elemente, die in Verbindung zum Senden/Empfangen und Aktualisieren der Verarbeitung der Element-Kenngrößeninformationen 212, der Kunstharzzufuhr-Informationen 219, der Anordnungsdaten 218 und der Schwellenwert-Daten 281a stehen, in dem Verwaltungscomputer 203, der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 und der Kunstharzzufuhr-Vorrichtung M203 gezeigt.
  • In 33 umfasst der Verwaltungscomputer 203 einen Systemsteuerteil 260, einen Speicherteil 261 und einen Kommunikationsteil 262. Der Systemsteuerteil 260 steuert insgesamt Herstellungs-Operationen für LED-Packages des Systems 201 zur Herstellung von lichtemittierenden Elementen. Außerdem werden Programme und Daten, die für Steuerungsprozesse des Systemsteuerteils 260, die Element-Kenngrößeninformationen 212, die Kunstharzzufuhr-Informationen 219 und nach Bedarf die Anordnungsdaten 218 und die Schwellenwertdaten 281a benötigt werden, im Speicherteil 261 gespeichert. Der Kommunikationsteil 262 ist über das LAN-System 202 mit anderen Vorrichtungen verbunden und liefert Steuersignale und Daten. Die Kunstharzzufuhr-Informationen 219 werden von außen über das LAN-System 202 und den Kommunikationsteil 262 oder über ein unabhängiges Speichermedium, wie etwa CD ROM, einen USB-Speicher oder eine SD-Karte übertragen und werden um Speicherteil 261 gespeichert.
  • Die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 enthält einen Messungs-Steuerteil 270, einen Speicherteil 271, einen Kommunikationsteil 272, den Kenngrößen-Messungs-Prozessor 211 und einen Prozessor 274 zum Erstellen von Anordnungsdaten. Der Messungs-Steuerteil 270 steuert alle unten beschriebenen Teile auf der Grundlage verschiedener Programme und Daten, die im Speicherteil 271 gespeichert sind, um Operationen zur Messung von Element-Kenngrößen der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 durchzuführen. Neben Programmen und Daten, die für den Steuerungsprozess des Messungs-Steuerteils 270 erforderlich sind, werden Elementpositionsinformationen 271a und die Element-Kenngrößeninformationen 212 im Speicherteil 271 gespeichert. Die Elementpositionsinformationen 271a sind Daten, die die Anordnungs-Positionen der LED-Elemente 205 auf dem LED-Wafer 210 angeben. Die Element-Kenngrößeninformationen 212 sind Daten des Ergebnisses einer Messung durch den Kenngrößen-Messungs-Prozessor 211.
  • Der Kommunikationsteil 272 ist über das LAN-System 202 mit anderen Vorrichtungen verbunden und liefert Steuersignale und Daten. Der Prozessor 274 zum Erstellen von Anordnungsdaten (Teil zum Erstellen von Anordnungsdaten) führt den Prozess des Erstellens der Anordnungsdaten 218 für jeden LED-Wafer 210 aus, mit denen die im Speicherteil 271 gespeicherten Elementpositionsinformationen 271a mit den Element-Kenngrößeninformationen 212 über das LED-Element 205 verbunden werden. Die so erstellten Anordnungsdaten 218 werden über das LAN-System 202 als Vorschubdaten zur Kunstharzzufuhr-Vorrichtung M203 gesendet. Die Anordnungsdaten 218 können von der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 über den Verwaltungscomputer 203 an die Kunstharzzufuhr-Vorrichtung M203 gesendet werden. Wie in 33 gezeigt, werden in diesem Fall die Anordnungsdaten 218 im Speicherteil 261 des Verwaltungscomputers 203 gespeichert.
  • Die Kunstharzzufuhr-Vorrichtung M203 enthält den Zufuhrsteuerungsteil 236, einen Speicherteil 281, einen Kommunikationsteil 282, den Prozessor 237 zur Produktionsdurchführung, den Prozessor 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge und den Prozessor 239 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen. Durch Steuerung des Druckkopf-Antriebsteils 235, der den Kunstharzzufuhrteil 200A bildet, führen der Zufuhrsteuerungsteil 236, der Positionserkennungsteil 234, der Höhenmessungsteil 233 und die probeweise zuführende und messende Einheit 240 Prozesse aus, die den Zufuhrprozess für die Messung bilden, bei dem das Kunstharz 208 probeweise auf das zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen benutzte lichtdurchlässige Element 243 zugeführt wird, und den Zufuhrprozess für die Produktion, bei dem das Kunstharz 208 auf das LED-Element 205 für die Durchführung der praktischen Produktion zugeführt wird.
  • Neben Programmen und Daten, die für Steuerungsprozesse des Zufuhrsteuerungsteils 236 erforderlich sind, werden die Kunstharzzufuhr-Informationen 219, die Anordnungsdaten 218, die Schwellenwertdaten 281a und Zufuhrmengen für die praktische Produktion 281b im Speicherteil 281 gespeichert. Die Kunstharzzufuhr-Informationen 219 werden vom Verwaltungscomputer 203 über das LAN-System 202 übertragen, und die Anordnungsdaten 218 werden auf ähnliche Weise von der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 über das LAN-System 202 übertragen. Der Kommunikationsteil 282 ist über das LAN-System 202 mit anderen Vorrichtungen verbunden und liefert Steuersignale und Daten.
  • Der Prozessor 239 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen führt Prozesse aus, um die Lichtemissions-Kenngrößen des Lichtes zu messen, das das Kunstharz 208 abstrahlt, wenn das vom Lichtquellen-Teil 245 abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz 8, das auf das lichtdurchlässige Element 243 zugeführt wird, eingestrahlt wird. Der Prozessor 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge führt Berechnungsprozesse aus, um die geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes 208 abzuleiten, die auf das LED-Element 205 für die praktische Produktion zugeführt werden muss, indem es die geeignete Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Prozessors 239 zur Messung der Lichtemissions-Kenngrößen und der zuvor vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen korrigiert. Der Prozessor 237 zur Produktionsdurchführung sorgt dafür, dass der Zufuhrprozess für die Produktion, in dem das Kunstharz der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf das LED-Element 205 zugeführt wird, ausgeführt wird, indem er den Zufuhrsteuerungsteil 236 mit der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, die vom Prozessor 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge abgeleitet wurde, steuert.
  • In dem in 33 gezeigten Aufbau sind Verarbeitungsfunktionen mit Ausnahme der Funktionen zur Durchführung der für die Vorrichtung spezifischen Operationen, zum Beispiel die Funktion des Prozessors 274 zum Erstellen der Anordnungsdaten, die in der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 vorgesehen ist, und die Funktion des Prozessors 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge, die in der Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 vorgesehen ist, nicht notwendigerweise in den Vorrichtungen enthalten. Zum Beispiel ist es auch möglich, dass die Funktionen des Prozessors 274 zum Erstellen der Anordnungsdaten und des Prozessors 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge von der Berechnungs-Verarbeitungsfunktion abgedeckt werden, die der Systemsteuerungsteil 260 des Verwaltungscomputers 203 aufweist, und dass die erforderliche Übertragung und der Empfang von Signalen durch das LAN-System 202 ausgeführt werden.
  • In dem Aufbau des oben erwähnten Systems 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente sind jede der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 und der Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 mit dem LAN-System 202 verbunden. Somit werden der Verwaltungscomputer 203, in dem die Kunstharzzufuhr-Informationen 219 im Speicherteil 261 gespeichert sind, und das LAN-System 202 eine Kunstharzzufuhr-Informationen vorsehenden Einheit, die die Informationen als Kunstharzzufuhr-Informationen 219 für die Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 vorsehen, die dafür sorgen, dass die geeignete Kunstharzzufuhrmenge des Kunstharzes 208 mit den Element-Kenngrößeninformationen übereinstimmt, um ein lichtemittierendes Element zu erhalten, das die vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen besitzt.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf 34 der Aufbau eines Systems 301 zur Herstellung von LED-Packages beschrieben, das LED-Packages unter Verwendung der lichtemittierenden Elemente, die vom System 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente hergestellt wurden, fertigt. Das System 301 zur Herstellung von LED-Packages ist aufgebaut, indem eine Bauelemente-Montagevorrichtung M207, eine Aushärtevorrichtung M208, eine Drahtbondvorrichtung M209, eine Kunstharz-Beschichtungs-Vorrichtung M210, eine Aushärtevorrichtung M211 und eine Schneidvorrichtung M212 in dem System 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente des in 23 gezeigten Aufbaus kombiniert werden.
  • Die Bauelemente-Montagevorrichtung M207 montiert Elemente 205* lichtemittierender Elemente, die vom System 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente hergestellt wurden, indem sie die lichtemittierenen Elemente 5* mit Kunstharzklebstoff auf eine Trägerplatte 214 montiert (siehe 35(a) und 35(b)), die zu einer Grundplatte von LED-Packages wird. Die Aushärtevorrichtung M208 härtet den Kunstharzklebstoff, der zum Kleben benutzt wird, zum Zeitpunkt der Montage aus, indem die Trägerplatte 214 erwärmt wird, nachdem die lichtemittierenden Elemente 205* montiert sind. Die Drahtbondvorrichtung M209 verbindet Elektroden der lichtemittierenden Elemente 205* mit Elektroden der Trägerplatte 214 mit Bonddrähten. Die Kunstharz-Beschichtungs-Vorrichtung M210 beschichtet jedes der lichtemittierenden Elemente 205* auf der Trägerplatte 214 nach dem Drahtbonden mit einem transparenten Kunstharz zur Versiegelung. Die Aushärtevorrichtung M211 härtet das transparente Kunstharz aus, das beschichtet ist, um das lichtemittierende Element 205* zu bedecken, indem die Trägerplatte 214 nach der Beschichtung mit Kunstharz erwärmt wird. Die Schneidevorrichtung M212 schneidet die Trägerplatte 214 nachdem das Kunstharz für jedes der lichtemittierenden Elemente 205* gehärtet ist, um sie in einzelne LED-Packages aufzutrennen. Dadurch werden die LED-Packages, die in einzelne Stücke getrennt sind, fertiggestellt.
  • In 34 ist ein Beispiel gezeigt, bei dem die Vorrichtungen von der Bauelemente-Montage-Vorrichtung M207 zur Schneidvorrichtung M212 in einer Linie angeordnet sind, um eine Fertigungslinie aufzubauen. Bei dem System 301 zur Herstellung von LED-Packages wird jedoch nicht notwendigerweise ein solcher Linienaufbau eingesetzt, sondern es kann so konstruiert sein, dass die Prozedurschritte von den Vorrichtungen, die zerstreut angeordnet sind, jeweils sequentiell ausgeführt werden. Es ist auch möglich, eine Plasmabearbeitungsvorrichtung, die eine Plasmabearbeitung zum Zweck des Reinigens von Elektroden vor dem Drahtbonden durchführt, und eine Plasmabearbeitungsvorrichtung, die eine Plasmabearbeitung zum Zweck der Oberflächenumbildung zur Verbesserung der Haftung des Kunstharzes nach dem Drahtbonden und vor dem Beschichten mit Kunstharz durchführt, vor und hinter der Drahtbond-Vorrichtung M209 anzuordnen.
  • Mit Bezug auf 35(a) und 35(b) werden die Trägerplatte 214, auf der Operationen durchgeführt werden, die lichtemittierenden Elemente 205* und ein LED-Package 250 als fertiges Produkt im System 301 zur Herstellung von LED-Packages beschrieben. Wie in 35(a) gezeigt, ist die Trägerplatte 214 eine Trägerplatte, mit der mehrere Teile verbunden sind, in der eine Vielzahl einzelner Trägerplatten 214a, von denen jede die Grundplatte eines LED-Package 250 in einem fertigen Produkt wird, ausgearbeitet sind, und ein LED-Montageteil 214b, an dem das lichtemittierende Element 205* montiert ist, wird auf jeder der einzelnen Trägerplatten 214a ausgebildet. Das in 35(b) gezeigte LED-Package 250 wird fertiggestellt, indem das lichtemittierende Element 205* im Montageteil für lichtemittierende Elemente 214b für jede der einzelnen Trägerplatten 214a montiert wird, dann das transparente Kunstharz 228 zur Versiegelung im LED-Montageteil 214b beschichtet wird, um das lichtemittierende Element 205* zu bedecken, und nachdem das Kunstharz 228 gehärtet ist, die Trägerplatte 214, deren Schritte für jede der einzelnen Trägerplatten 214a beendet sind, geschnitten wird.
  • Wie in 35(b) gezeigt, ist an der einzelnen Trägerplatte 214a ein reflektierender Teil 214c in Form eines Hohlraums vorgesehen, der zum Beispiel einen kreisförmigen oder elliptischen ringförmigen Wall aufweist, um den LED-Montage-Teil 214b auszubilden. Eine Elektrode 206a des n-Typ-Teils und eine Elektrode 206b des p-Typ-Teils des lichtemittierenden Elementes 205*, das in dem reflektierenden Teil 214c untergebracht wurde, sind jeweils mit Bonddrähten 227 mit Verdrahtungsschichten 214e und 214d verbunden, die auf der Oberseite der einzelnen Trägerplatte 214a ausgebildet sind. Das Kunstharz 228 wird in einer vorgegebenen Dicke in den reflektierenden Teil 214c beschichtet, um das lichtemittierende Element 205* in diesem Zustand zu bedecken, und weißes Licht, das vom lichtemittierenden Element 205* emittiert wird, wird abgestrahlt, um das transparente Kunstharz 228 zu durchlaufen.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf die 36(a) bis 14(c) ein Aufbau und Funktionen der Bauelemente-Montage-Vorrichtung M207 beschrieben. Wie in der Draufsicht in 36(a) gezeigt, enthält die Bauelemente-Montagevorrichtung M207 einen Trägerplatten-Transportmechanismus 221, der eine Trägerplatte 214 transportiert, die ein Bearbeitungsobjekt ist, die von der vorgelagerten Seite in Richtung der Trägerplatten-Transportrichtung (Pfeil a) zugeführt wird. Im Trägerplatten-Transportmechanismus 221 sind sequentiell von der vorgelagerten Seite ein Klebstoff-Zufuhrteil 200B, der in 36(b) mit einem Querschnitt entlang B-B gezeigt ist, und ein Bauelemente-Montageteil 200C, der in 36(c) mit einem Querschnitt entlang C-C gezeigt ist, angeordnet. Der Klebstoff-Zufuhrteil 200B enthält einen Klebstoff-Zufuhrteil 222, der neben dem Trägerplatten-Transportmechanismus 221 angeordnet ist, und der Kunstharzklebstoff 223 in Form einer Beschichtung einer vorgegebenen Schichtdicke zuführt, und einen Klebstoff-Übertragungsmechanismus 224, der in horizontaler Richtung (Pfeil b) über dem Trägerplatten-Transportmechanismus 221 und dem Klebstoff-Zufuhrteil 222 beweglich ist. Der Bauelemente-Montageteil 200C enthält einen Bauelemente-Zufuhr-Mechanismus 225, der neben dem Trägerplatten-Transportmechanismus 221 angeordnet ist und der die Element-Halteplättchen 213A, 213B, 213C und dergleichen hält, wie in 32(b) gezeigt, und einen Bauelemente-Montagemechanismus 226, der in horizontaler Richtung (Pfeil c) beweglich ist, über dem Trägerplatten-Transportmechanismus 221 und dem Bauelementezuführungsmechanismus 225.
  • Wie in 36(b) gezeigt, wird die Trägerplatte 214, die in den Trägerplatten-Transportmechanismus 221 eingebracht ist, im Klebstoff-Zufuhrteil 200B positioniert, und der Kunstharz-Kleber 223 wird auf den LED-Trägerteil 214b zugeführt, der auf jeder der einzelnen Trägerplatten 214a ausgebildet ist. Das heißt, zuerst wird durch Bewegen des Klebstoff-Übertragungsmechanismus 224 über den Klebstoff-Zufuhrteil 222 dafür gesorgt, dass ein Übertragungsstift 224a eine Beschichtung des Kunstharzklebstoffs 223 berührt, die auf einer Übertragungsfläche 222a ausgebildet ist, und der Kunstharzklebstoff 223 wird angelagert. Dann wird durch Bewegen des Klebstoff-Übertragungsmechanismus 224 über die Trägerplatte 214 und Absenken des Übertragungsstiftes 224a auf den LED-Trägerteil 214b (Pfeil d) der Kunstharzklebstoff 223, der am Übertragungsstift 224a angelagert ist, mit der Übertragung einer Element-Montage-Position im LED-Trägerteil 214b zugeführt.
  • Dann wird die Trägerplatte 214, nachdem der Klebstoff zugeführt wurde, in Laufrichtung transportiert und wird im Bauelemente-Montageteil 200C positioniert, wie in 36(c) gezeigt, und ein lichtemittierendes Element 205* ist auf jedem der LED-Trägerteile 214b montiert, nachdem der Klebstoff zugeführt wurde. Das heißt, zuerst wird durch Bewegen des Bauelemente-Montagemechanismus 226 über den Bauelementezuführungsmechanismus 225 und Absenken einer Montagedüse 226a relativ zu jedem der Element-Halteplättchen 213A, 213B, 213C und dergleichen, die vom Bauelementezuführungsmechanismus 225 gehalten werden, wird ein lichtemittierendes Element 205* gehalten und von der Montagedüse 226a herausgenommen. Dann wird durch Bewegen des Bauelemente-Montagemechanismus 226 über den LED-Trägerteil 214b der Trägerplatte 214 und Absenken der Montagedüse 226a (Pfeil e) das lichtemittierende Element 205*, das in der Montagedüse 226a gehalten wird, in der Element-Montageposition montiert, an der der Klebstoff im LED-Trägerteil 214b zugeführt wird.
  • Als Nächstes werden Prozesse zur Herstellung von LED-Packages, die von dem System 301 zur Herstellung von LED-Packages ausgeführt werden, mit Bezug auf die Figuren entlang eines Ablaufdiagramms von 37 beschrieben. Hierin werden die LED-Packages 250 hergestellt, die konstruiert werden, indem lichtemittierende Elemente 205*, bei denen die Oberseiten der LED-Elemente 205 mit dem Kunstharz 208 beschichtet werden, das den fluoreszierenden Stoff enthält, zuvor auf die Trägerplatte 214 montiert werden.
  • Zuerst wird ein LED-Wafer 210, der ein Arbeitsobjekt ist, in die Trennschneidevorrichtung M201 eingebracht, und wie in 25(a) gezeigt, wird der LED-Wafer 210 in einem Zustand, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen 205 ausgearbeitet und auf einer Chip-Schneidplatte 210a befestigt ist, für jedes der LED-Elemente 205 halb getrennt (ST201) (Trennschneideschritt). Das heißt, nur die Halbleiterschichten, die die LED-Elemente 205 aufbauen, werden für jedes der einzelnen Stücke getrennt. Dann wird der LED-Wafer 210 im halb getrennten Zustand in die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 eingebracht, und wie in 25(b) gezeigt, wird eine Messung der Elementkenngrößen durchgeführt. Das heißt, die Lichtemissions-Kenngrößen der LED-Elemente 205 in einem halb getrennten Zustand, in dem nur die Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, werden in einem Zustand einzeln gemessen, in dem sie an der Chip-Schneidplatte 210a angebracht sind und gehalten werden, um die Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente 205 angeben (ST202) (Schritt der Messung von Elementkenngrößen).
  • Dann werden Anordnungsdaten 218 von dem Prozessor 274 zum Erstellen von Anordnungsdaten der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M202 erstellt. Das heißt die Anordnungsdaten 218 (siehe 26), mit denen die Elementpositionsinformationen, die die Position des halb getrennten LED-Elements 205 im LED-Wafer 210 mit den Element-Kenngrößen-Informationen über das LED-Element 205 verbunden werden, werden für jeden LED-Wafer 210 erstellt (ST203) (Schritt zum Erstellen von Anordnungsdaten). Die Information, mit der dafür gesorgt wird, dass geeignete Kunstharzzufuhrmengen des Kunstharzes 208 den Element-Kenngrößen-Informationen entsprechen, um lichtemittierende Elemente 205* zu erhalten, die die vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen besitzen, wird vom Verwaltungscomputer 203 über das LAN-System 202 als Kunstharz-Zufuhr-Information 219 erlangt (siehe 27) (ST204) (Schritt des Erlangens von Kunstharz-Informationen).
  • Dann wird der Prozess des Erstellens der Schwellenwertdaten zur Bestimmung von Qualitätsgrößen durchgeführt (ST205). Dieser Prozess wird durchgeführt, um den Schwellenwert festzusetzen (siehe die in 33 gezeigten Schwellenwertdaten 281a), um zu bestimmen, ob Qualitätsgrößen in der Zufuhr für die Produktion erhalten werden, und wird wiederholt für die Zufuhr für die Produktion entsprechend jedem der Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] durchgeführt. Der Prozess zum Erstellen von Schwellenwertdaten wird detailliert mit Bezug auf die 38 und 39(a) bis 39(c) und die oben angegebene 18 beschrieben. In 38 wird zuerst das Kunstharz 208, das den fluoreszierenden Stoff mit Standard-Dichten enthält, die in der Kunstharz-Zufuhrinformation 219 vorgeschrieben sind, bereitgestellt (ST221).
  • Nachdem das Kunstharz 208 im Druckkopf 232 bereitgestellt wurde, wird die Druckerdüseneinheit 232a zum Tisch zur probeweisen Zuführung 240a der probeweise zuführenden und messenden Einheit 240 bewegt, und das Kunstharz 208 wird auf das lichtdurchlässige Element 243 in der vorgeschriebenen Zufuhrmenge (geeignete Kunstharzzufuhrmenge) zugeführt, die in der Kunstharz-Zufuhr-Information 219 angezeigt ist (ST222). Dann wird das auf das lichtdurchlässige Element 243 zugeführte Kunstharz 208 auf den das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 241 bewegt, das LED-Element 205 wird veranlasst, Licht abzustrahlen, und die Lichtemissions-Kenngrößen, wenn das Kunstharz 208 sich in einem ungehärteten Zustand befindet, werden durch den Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil des oben erwähnten Aufbaus gemessen (ST223). Auf der Grundlage der Messwerte 239a der Lichtemissions-Kenngrößen-Messung, die die Messergebnisse der durch den Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil gemessenen Lichtemissions-Kenngrößen sind, werden Qualitätsgrößen bestimmende Bereiche der Messwerte festgesetzt, in den bestimmt wird, dass die Lichtemissions-Kenngrößen die einer Qualitätsgröße sind (ST224). Die festgesetzten die Qualitätsgrößen bestimmenden Bereiche werden als Schwellenwertdaten 281a im Speicherteil 281 gespeichert und werden zum Verwaltungscomputer 203 übertragen und im Speicherteil 261 gespeichert (ST225).
  • Die 39(a) bis 39(c) zeigen die auf diese Weise erstellen Schwellenwertdaten, nämlich Lichtemissions-Kenngrößen-Messwerte, die erhalten werden, wenn das Kunstharz sich in einem ungehärteten Zustand befindet, nachdem das Kunstharz 208 zugeführt wurde, das den fluoreszierenden Stoff mit Standard-Dichten enthält, und die die Qualitätsgrößen bestimmenden Bereiche (die Schwellenwerte) der Messwerte, um festzustellen, ob die Lichtemissions-Kenngröße die einer Qualitätsgröße ist. Die 39(a), 39(b) und 39(c) zeigen Schwellenwerte, die den Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] entsprechen, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs im Kunstharz 208 5%, 10%, bzw. 15% betragen.
  • Wie in 39(a) gezeigt, entspricht zum Beispiel, wenn die Dichte des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 208 5% beträgt, die Zufuhrmenge, die in jeder der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 215(1) gezeigt ist, jedem der Bin-Codes 212b, und die Messergebnisse, nachdem die Lichtemissions-Kenngrößen des Lichtes, das das Kunstharz 208 abstrahlt, indem blaues Licht des LED-Elementes 205 auf das Kunstharz 208 eingestrahlt wurde, das mit jeder der Zufuhrmengen beschichtet wurde, von dem Lichtemissions-Kenngrößen-Messteil gemessen wurden, sind in den Lichtemissions-Kenngrößen-Messwerten 239a(1) gezeigt. Auf der Grundlage jedes der Lichtemissions-Kenngrößen-Messwerte 239a(1) werden die Schwellenwertdaten 281a(1) festgesetzt.
  • Beispielsweise wird das Messergebnis, nachdem die Lichtemissionskenngrößen des Kunstharzes 208, das in der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge VA0 zugeführt wurde, die dem Bin-Code [1] entspricht, gemessen worden sind, in der Farbtafel, die in der obigen 18 gezeigt ist, durch einen Farbwertkoordinaten-Punkt ZA0 (XA0, YA0) dargestellt. Um den Farbwertkoordinaten-Punkt ZA0 wird ein vorgegebener Bereich der X-Koordinate und der Y-Koordinate in der Farbtafel (zum Beispiel +–10%) als der die Qualitätsgröße bestimmende Bereich (Schwellenwert) festgesetzt. Für die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen, die den übrigen Bin-Codes [2] bis [5] entsprechen, werden die Bestimmungsbereiche der Qualitätsgröße (Schwellenwerte) auf der Grundlage der Ergebnisse der Messung der Lichtemissionskenngröße festgesetzt (siehe Farbwertkoordinatenpunkte ZB0 bis ZE0 in der in 18 gezeigten Farbtafel). Hierbei wird der festgelegte Bereich, der als Schwellenwert festgesetzt wird, in Abhängigkeit von der geforderten Genauigkeit der Lichtemissionskenngrößen des LED-Packages 250 als Produkt in geeigneter Weise festgesetzt.
  • Auf ähnliche Weise zeigen die 39(b) und 39(c) die Messwerte der Lichtemissions-Kenngrößen und die die Qualitätsgröße bestimmenden Bereiche (Schwellenwerte), wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 208 10%, bzw. 15% betragen. In 36(b) und 36(c) stellen die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 215(2) und die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 215(3) jeweils die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen dar, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs 10% bzw. 15% betragen. Die Lichtemissionskenngrößen-Messwerte 239a(2) und 239a(3) stellen jeweils die Messwerte der Lichtemissionskenngrößen dar, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs 10% bzw. 15% betragen, und die Schwellenwerte 281a(2) bzw. 281a(3) stellen jeweils die die Qualitätsgröße bestimmenden Bereiche (Schwellen) dar, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs 10% bzw. 15% betragen.
  • Die auf diese Weise generierten Schwellenwerte können bei der Zufuhr für die Produktion auf der Grundlage des Bin-Codes 212b verwendet werden, unter den ein LED-Element 205 fällt, an dem der Beschichtungsvorgang ausgeführt wird. Der in (ST205) gezeigte Prozess der Generierung von Schwellenwerten kann als nicht-prozessgekoppelte Operation durch eine unabhängige Erfassungsvorrichtung ausgeführt werden, die getrennt vom System 301 zur Herstellung von LED-Packages vorgesehen ist, und die Schwellenwerte 281a, die zuvor im Verwaltungscomputer 203 gespeichert worden sind, können über das LAN-System 202 an die Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 übermittelt und verwendet werden.
  • Sobald die Kunstharz-Zufuhrvorgänge in dieser Weise möglich werden, wird der Wafer-Halteteil 204, der den LED-Wafer 210 hält, zur Kunstharzzufuhrvorrichtung M203 transportiert (ST206). Auf der Grundlage der Kunstharzzufuhr-Information 219 und der Anordnungsdaten 218 wird das Kunstharz 208 der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, um die vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen zu erhalten, jedem der LED-Elemente 205 in einem Wafer-Zustand, in dem es an der Chip-Schneidplatte 210a befestigt ist, zugeführt (ST207) (Kunstharzzufuhr-Schritt). Der Kunstharz-Zufuhrvorgang wird mit Bezug auf 40 und die obigen 20(a) bis 20(d) ausführlich beschrieben.
  • Zu Beginn des Kunstharz-Zufuhrvorgangs wird zunächst, bei Bedarf, ein Austausch der Kunstharz-Aufbewahrungsbehälter vorgenommen (ST231). Das heißt, die in den Druckkopf 232 eingebaute Kunstharz-Kartusche wird gegen eine Kunstharz-Kartusche ausgetauscht, die das Kunstharz 208 mit der Dichte des fluoreszierenden Stoffs enthält, die als Reaktion auf die Kenngrößen des LED-Elements 205 ausgewählt wurde. Dann wird das Kunstharz 208 für die Messung der Lichtemissionskenngröße dem lichtdurchlässigen Element 243 durch den Kunstharz zuführenden Teil 200A probeweise zugeführt, der eine variable Zufuhrmenge des Kunstharzes 208 abgibt (Zufuhrschritt für Messungen) (ST232). Das heißt, das Kunstharz 208 der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge (VA0 bis VE0) für einen der Bin-Codes 212b, der in den in 27 gezeigten Kunstharz-Zufuhrinformationen 219 vorgegeben ist, wird dem lichtdurchlässigen Element 243 zugeführt, das zum Tisch 240a zur probeweisen Zuführung in der probeweise zuführenden und messenden Einheit 240 hinausgeführt worden ist. Dabei ist selbst dann, wenn der Druckkopf 232 mit den Abgabeparametern gesteuert wird, die der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge entsprechen (VA0 bis VE0), die tatsächliche Kunstharzzufuhrmenge, die von der Druckerdüseneinheit 232a abgegeben und dem lichtdurchlässigen Element 243 zugeführt wird, nicht unbedingt die obige geeignete Kunstharzzufuhrmenge, da sich zum Beispiel die Eigenschaften des Kunstharzes 208 im Laufe der Zeit verändern. Wie in 20(a) gezeigt, wird die tatsächliche Kunstharzzufuhrmenge VA1 bis VE1 und ist damit etwas verschieden von VA0 bis VE0.
  • Dann wird durch Transportieren des lichtdurchlässigen Elements 243 in die probeweise zuführende und messende Einheit 240 das lichtdurchlässige Element 243, dem das Kunstharz 208 probeweise zugeführt wird, auf den das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 241 geschickt und transportiert (Schritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements). Das Anregungslicht zum Anregen des fluoreszierenden Stoffs wird vom Lichtquellenteil 245 abgestrahlt, der über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 241 platziert ist. Das Licht, das das Kunstharz 208 abstrahlt, wenn das Anregungslicht von oben auf das Kunstharz 208 fällt, das dem lichtdurchlässigen Element 243 zugeführt wird, wird von unterhalb des lichtdurchlässigen Element 242 vom Spektroskop 244 vermittels der Ulbrichtkugel 243 empfangen, und die Lichtemissionskenngrößen des Lichts werden mittels des Prozessors 239 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen gemessen (Lichtemissionskenngrößen-Messschritt) (ST233).
  • Dadurch werden, wie in der obigen 20(b) gezeigt, die Messwerte der Lichtemissionskenngrößen, dargestellt als Farbwertkoordinatenpunkte Z (siehe die obige 18) bereitgestellt. Das Messergebnis entspricht nicht unbedingt der zuvor vorgegebenen Lichtemissionskenngröße, nämlich den vorschriftsmäßigen Farbwertkoordinatenpunkten ZA0 bis ZE0 zum Zeitpunkt der Zufuhr des in 39(a) gezeigten geeigneten Kunstharzes, beispielsweise wegen der Abweichung der oben erwähnten Zufuhrmenge und der Dichteänderung der Partikel des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 208. Deshalb werden die Abweichungen (ΔXA, ΔYA) bis (ΔXE, ΔYE) erhalten, die bezüglich der x- und y-Koordinaten die Abweichungen zwischen den erhaltenen Farbwertkoordinatenpunkten ZA1 bis ZE1 und den vorschriftsmäßigen Farbwertkoordinatenpunkten ZA0 bis ZE0 zum Zeitpunkt der Zufuhr des in 39(a) gezeigten geeigneten Kunstharzes angeben, und es wird bestimmt, ob eine Korrektur erforderlich ist, um eine gewünschte Lichtemissionskenngröße zu erhalten.
  • Es wird bestimmt, ob das Messergebnis innerhalb des Schwellenwerts liegt oder nicht (ST234). Wie in 20(c) gezeigt, wird durch Vergleich der in (ST233) erhaltenen Abweichungen und der Schwellenwerte festgestellt, ob die Abweichungen (ΔXA, ΔYA) bis (ΔXE, ΔYE) innerhalb von +–10% von ZA0 bis ZE0 liegen. Wenn die Abweichung innerhalb der Schwelle liegt, werden die Abgabeparameter, die den festgesetzten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen VA0 bis VE0 entsprechen, einfach beibehalten. Hingegen wird dann, wenn die Abweichung die Schwelle überschreitet, die Zufuhrmenge korrigiert (ST235).
  • Das heißt, es wird die Abweichung zwischen dem Messergebnis des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der zuvor vorgegebenen Lichtemissionskenngröße erhalten, und wie in 20(d) gezeigt wird auf der Grundlage der erhaltenen Abweichung ein Prozess zum Ableiten neuer geeigneter Kunstharzzufuhrmengen (VA2 bis VE2) für die praktische Produktion, in denen das Kunstharz 8 dem LED-Element 205 zugeführt werden soll, durch den Prozessor 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge ausgeführt (Zufuhrmenge ableitender Schritt). Mit anderen Worten: Durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen auf der Grundlage des Messergebnisses während des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der zuvor vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen werden neue geeignete Lichtemissionskenngrößen für die praktische Produktion abgeleitet.
  • Die korrigierten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen (VA2 bis VE2) sind Werte, die aktualisiert wurden, indem Korrekturmengen hinzugefügt wurden, die jeweils den Abweichungen von den festgesetzten Kunstharzzufuhrmengen VA0 bis VE0 entsprechen. Die Beziehung zwischen den Abweichungen und den Korrekturbeträgen ist in den Kunstharz-Zufuhrinformationen 219 gespeichert, und zwar als zuvor bekannte Zusatzinformationen. Auf der Grundlage der korrigierten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen (VA2 bis VE2) werden die Prozesse von (ST232), (ST233), (ST234) und (ST235) wiederholt ausgeführt. Indem erkannt wird, dass die Abweichung zwischen dem Messergebnis in (ST34) und der vorher vorgeschriebenen Lichtemissions-Kenngrößen innerhalb des Schwellenwerts liegt, werden die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen für die praktische Produktion bestimmt. Das heißt, bei dem oben erwähnten Kunstharzzufuhrverfahren werden die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen durch wiederholtes Ausführen des Zufuhrschritts für Messungen, des Transportschritts zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, des Schritts zum Abstrahlen von Anregungslicht, des Schritts zum Messen der Lichtemissionskenngröße und des Schritts zur Ableitung der Zufuhrmenge sicher abgeleitet. Die bestimmten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen werden als Zufuhrmengen 281b für die praktische Produktion im Speicherteil 281 gespeichert.
  • Danach schaltet der Steuerfluss zum nächsten Schritt, um die Abgabe durchzuführen (ST236). Durch ein Veranlassen der Abgabe des Kunstharzes 208 in der festgelegten Menge durch die Druckerdüseneinheit 232a wird der Strömungszustand des Kunstharzes bei der Abgabe verbessert und die Bewegung des Druckkopfes 232 wird stabilisiert. Die in 40 mit einem Rahmen aus einer unterbrochenen Linie gezeigten Prozesse von (ST237), (ST238), (ST239) und (ST240) werden ähnlich wie die in (ST232), (ST233), (ST234) und (ST235) gezeigten Prozesse ausgeführt. Die Prozesse von (ST237), (ST238), (ST239) und (ST240) werden ausgeführt, wenn es erforderlich ist, sorgfältig zu erkennen, dass eine gewünschte Lichtemissionskenngröße vollständig sichergestellt ist, und sind nicht notwendigerweise Objekte, die ausgeführt werden müssen.
  • Auf diese Weise wird, wenn die geeignete Kunstharzzufuhrmenge bestimmt wird, die die gewünschte Lichtemissions-Kenngröße ergibt, der Zufuhrvorgang für die Produktion durchgeführt (ST241). Das heißt, wenn der Prozessor 237 zur Produktionsdurchführung den Zufuhrsteuerungsteil 236, der den Druckkopf 232 steuert, mit der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge steuert, die von dem Prozessor 238 zum Ableiten der Zufuhrmenge abgeleitet wird, und als Zufuhrmenge 281b für die praktische Produktion speichert, wird der Zufuhrprozess für die Produktion, der das Kunstharz 208 dieser geeigneten Zufuhrmenge individuell auf das LED-Element 205 zuführt, in einem Wafer-Zustand durchgeführt (Schritt der Produktionsdurchführung).
  • Bei dem Prozess der wiederholten Ausführung des Zufuhrprozesses für die Produktion wird gezählt, wie oft der Druckkopf 232 zuführt, und es wird überwacht, ob die Anzahl der Zufuhren eine bestimmte Zahl überschreitet, die vorher festgesetzt worden ist (ST242). Das heißt, es wird eingeschätzt, dass bis zum Erreichen dieser festgelegten Zahl die Änderungen der Eigenschaften des Kunstharzes 208 und der Dichte des fluoreszierenden Stoffs gering sind, und der Zufuhrprozess für die Produktion (ST241) wird unter Beibehaltung der gleichen Zufuhrmenge 281b für die praktische Produktion wiederholt. Wenn in (ST242) erkannt wird, dass die festgelegte Anzahl überschritten ist, wird eingeschätzt, dass sich die Eigenschaften des Kunstharzes 208 oder die Dichte des fluoreszierenden Stoffs möglicherweise ändern und der Steuerungsfluss kehrt zu (ST232) zurück. Dann werden wiederholt die gleiche Messung der Lichtemissionskenngrößen und, basierend auf dem Messergebnis, der Prozess zur Korrektur der Zufuhrmenge ausgeführt.
  • Als Nächstes, wobei zum Ablaufdiagramm von 37 zurückgekehrt wird, wird der LED-Wafer 210 in die Aushärtevorrichtung M204 transportiert, wie in 32(a) gezeigt ist, das Kunstharz 208 wird durch Erwärmen der LED-Elemente 205, denen das Kunstharz 208 zugeführt wurde, ausgehärtet (ST208) (Aushärteschritt). Dadurch werden die Oberseiten der LED-Elemente 205 mit einer Kunstharz-Schicht 208* bedeckt, die sich bildet, wenn das Kunstharz 208 aushärtet. Bei dem Aushärteschritt kann, statt das Kunstharz 208 durch Erwärmen zu härten, ein Verfahren zur Förderung des Aushärtens durch Bestrahlen mit UV (Ultraviolettstrahlung) oder ein Verfahren, bei dem einfach das Kunstharz wie es ist, platziert wird, um auf natürliche Weise auszuhärten, angewendet werden. Dann wird der LED-Wafer 210 zur Chip-Schneidevorrichtung M205 transportiert, wo der LED-Wafer 210 in einem halb geschnittenen Zustand, in dem das Kunstharz 208 gehärtet ist, in einzelne lichtemittierende Elemente 205* unterteilt, wie in 32(b) gezeigt (ST209) (Chip-Schneide-Schritt). Dann wird der LED-Wafer 210, der sich in einem Zustand befindet, in dem die lichtemittierenden Elemente 205* auf der Chip-Schneidplatte 210a befestigt sind, in die Sortiervorrichtung M206 transportiert, wo die Lichtemissions-Kenngrößen der lichtemittierenden Elemente 205* gemessen werden, und wie in 32(b) gezeigt, wird ein Sortiervorgang des Trennens der lichtemittierenden Elemente 205* auf der Grundlage des Messergebnisses durchgeführt (ST210).
  • Dann werden die auf diese Weise hergestellten lichtemittierenden Elemente 205* auf die Trägerplatte 214 montiert (ST211) (Bauelement-Montageschritt). Das heißt, die in Abhängigkeit von den Lichtemissionskenngrößen separierten lichtemittierenden Elemente 205* werden in einem Zustand, in dem sie an den Element-Halteplättchen 213A, 213B und dergleichen angebracht sind, zur Bauelement-Montagevorrichtung M207 geschickt. Nachdem der Kunstharzklebstoff 223 der Element-Montageposition im LED-Trägerteil 214b durch Anheben des Übertragungsstifts 224a des Klebstoff-Übertragungsmechanismus 224a (Pfeil n) wie in 41(a) gezeigt zugeführt worden ist, wird das lichtemittierende Element 205*, das in der Montagedüse 226a des Bauelement-Montagemechanismus 226 gehalten wird, fallengelassen (Pfeil o) und mittels des Kunstharzklebstoffs 223 in den LED-Trägerteil 214b der Trägerplatte 214 montiert, wie in 41(b) gezeigt ist.
  • Im Anschluss an die Bauelementmontage wird die Trägerplatte 214 in die Aushärtevorrichtung M208 geschickt, wo die Trägerplatte 14 erwärmt wird, sodass, wie in 41(c) gezeigt, der Kunstharzklebstoff 223 thermisch gehärtet und zum Kunstharzklebstoff 223* wird und das lichtemittierende Element 205* an der einzelnen Trägerplatte 214a haftet. Nach dem Aushärten des Kunstharzes wird dann die Trägerplatte 214 zur Drahtbondvorrichtung M209 geschickt, und die Verdrahtungsschichten 214e und 214d der einzelnen Trägerplatte 214a werden mit Bonddrähten 227 an die Elektrode 206a des n-Typ-Teils bzw. die Elektrode 206b des p-Typ-Teils des lichtemittierenden Elements 205* angeschlossen, wie in 41(d) gezeigt ist.
  • Nach dem Drahtbonden wird dann die Trägerplatte 214 zur Kunstharz-Beschichtungsvorrichtung M210 transportiert, und es wird der Arbeitsvorgang des Versiegelns mit Kunstharz ausgeführt (ST211). Das heißt, wie in 42(a) gezeigt, im Innern des LED-Trägerteils 214b, der von dem reflektierenden Teil 214c umgeben ist, wird das transparente Kunstharz 228 zur Versiegelung von einer Abgabedüse 290 abgegeben, um das lichtemittierende Element 205* zu bedecken. Wenn der Kunstharz-Zufuhrvorgang bei einer Trägerplatte 214 auf diese Weise abgeschlossen ist, wird die Trägerplatte 214 zur Aushärtevorrichtung M211 geschickt, und das Kunstharz 228 wird durch Erwärmen der Trägerplatte 214 ausgehärtet (ST209).
  • Dadurch wird, wie in 42(c) gezeigt, das Kunstharz 228, das zugeführt worden ist, um das lichtemittierende Element 205* zu bedecken, thermisch gehärtet, um zu dem festen Kunstharz 228* zu werden und das lichtemittierende Element 205* zu bedecken, das sich in einem in den LED-Trägerteil 214b geklebten Zustand befindet. Nach dem Aushärten des Kunstharzes wird dann die Trägerplatte 214 zur Chip-Schneidevorrichtung M212 geschickt, und durch Schneiden der Trägerplatte 214, um jeweils einzelne Trägerplatten 214a zu erhalten, wie in 42(d) gezeigt, werden die Trägerplatte 4 und dergleichen in einzelne LED-Packages 250 unterteilt (ST210). Dadurch wird das LED-Package 250, in dem das lichtemittierende Element 205*, das durch Bedecken des LED-Elements 205 mit dem Kunstharz 208 hergestellt ist, auf die einzelne Trägerplatte 214a montiert ist, fertiggestellt.
  • Wie oben beschrieben werden mit dem System 201 zur Herstellung lichtemittierender Elemente und dem System 301 zur Herstellung von LED-Packages, in der vorliegenden Ausführungsform dargestellt, bei der Herstellung von lichtemittierenden Elementen 205* durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen 205 mit dem Kunstharz 208, das den fluoreszierenden Stoff enthält, bei dem Kunstharz-Abgabevorgang zum Zuführen des Kunstharzes 208 zu den LED-Elementen 205 in einem Wafer-Zustand, die Lichtemissionskenngrößen des Lichts gemessen, das das Kunstharz 208 abstrahlt, wenn vom Lichtquellenteil 245 das Anregungslicht auf das lichtdurchlässige Element 243 abgestrahlt wird, dem das Kunstharz 208 für die Messung der Lichtemissionskenngröße probeweise zugeführt wird, und die geeignete Kunstharzzufuhrmenge wird auf der Grundlage des Ergebnisses der Messung und der zuvor vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen korrigiert, um eine geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes 208 abzuleiten, die bei der praktischen Produktion den LED-Elementen zugeführt werden sollte. Deshalb kann sogar dann, wenn die Lichtemissionswellenlänge des einzelnen LED-Elements 205 variiert, durch Egalisieren der Lichtemissionskenngrößen des lichtemittierenden Elements 205* die Produktionsausbeute verbessert werden.
  • Weil das Kunstharz 208 auf die LED-Elemente 205 in einem halb geschnittenen Wafer-Zustand zugeführt wird, kann die Fläche der Kunstharzzufuhr-Objekte begrenzt sein. Dadurch kann im Vergleich zu einem verwandten Verfahren zur Zufuhr von Kunstharz nach einer Montage an eine Trägerplatte, die eine Vielzahl von einzelnen Trägerplatten enthält, der den Kunstharz zufuhrvorrichtungen vorbehaltene Bereich verkleinert werden und die Flächenproduktivität der Fertigungstechnik kann verbessert werden.
  • (Ausführungsform 3)
  • Als Nächstes wird eine Ausführungsform 3 der Erfindung mit Bezug auf die Figuren beschrieben. Zunächst wird mit Bezug auf 43 der Aufbau eines Systems zur Herstellung lichtemittierender Elemente 401 beschrieben. Das System zur Herstellung lichtemittierender Elemente 401 hat die Herstellung lichtemittierender Elemente für Weißlicht zur Aufgabe, die durch Beschichten der Oberseite eines blaues Licht abstrahlenden LED-Elements mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, der gelbes angeregtes Licht abstrahlt, dessen Farbe zu dem Blau komplementär ist, hergestellt werden. In dieser Ausführungsform, wie in 43 gezeigt, ist das System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente so aufgebaut, dass eine Chip-Schneidevorrichtung M401, eine Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402, eine Element-Umordnungsvorrichtung M403, eine Kunstharzzufuhrvorrichtung M404, eine Aushärtevorrichtung M405 und eine Sortiervorrichtung M406 an ein LAN-System 402 angeschlossen sind, und diese Vorrichtungen werden insgesamt von einem Verwaltungscomputer 403 gesteuert.
  • Die Chip-Schneidevorrichtung M401 zerteilt einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, in einzelne LED-Elemente. Die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 ist ein Elementkenngrößen messender Teil und führt Arbeitsvorgänge aus, um einzeln die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem unvollständig getrennten Zustand zu messen, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden und nur die Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben, wobei sie Anordnungsdaten generiert, die für jeden LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für ein einzelnes LED-Element die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element zuordnen.
  • Die Element-Umordnungsvorrichtung M403 ist ein Element-Umordnungsteil, der einen Element-Umordnungsprozess ausführt, indem er die LED-Elemente vom LED-Wafer entnimmt und sie auf der Grundlage von Anordnungsdaten auf einer Element-Haltefläche in eine vorgegebene Anordnung umordnet. Die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 führt auf der Grundlage von Element-Anordnungsinformationen, die die Anordnung der LED-Elemente angeben, die durch die Element-Umordnungsvorrichtung M403 umgeordnet worden sind, und Kunstharz-Zufuhrinformationen, die vom Verwaltungscomputer über das LAN-System 402 übermittelt worden sind, nämlich die Informationen, die dafür sorgen, dass das LED-Element, das die regulierten Lichtemissionskenngrößen aufweisen soll, die den Element-Kenngrößeninformationen entsprechen, eine geeignete Zufuhrmenge des den fluoreszierenden Stoffs enthaltenden Kunstharzes erhält, Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zu, um bei den LED-Elementen in einem Zustand, in dem sie auf der Element-Haltefläche gehalten werden, die regulierten Lichtemissionskenngrößen zu erhalten.
  • Die Aushärtevorrichtung M405 härtet das Kunstharz durch Erwärmen der LED-Elemente, denen das Kunstharz zugeführt worden ist, aus. Dadurch wird ein lichtemittierendes Element der Bauart ausgebildet, bei der das LED-Element mit einer dünnen Schicht des den Fluoreszenzstoff enthaltenden Kunstharzes bedeckt ist. Die Aushärtevorrichtung M405 kann so konstruiert sein, dass sie, statt das Kunstharz durch Erwärmen zu härten, das Härten durch Bestrahlen mit UV (Ultraviolettstrahlung) fördert, oder kann so konstruiert sein, dass einfach das Kunstharz, wie es ist, platziert wird, um auf natürliche Weise auszuhärten. Die Sortiervorrichtung M406 misst die Lichtemissionskenngrößen der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen, die auf der Element-Haltefläche gehalten werden, erneut, ordnet auf der Grundlage der Ergebnisse der Messung die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen in einzelne, vorgegebene Kenngrößenbereiche ein und überträgt die Elemente einzeln auf Element-Halteplättchen.
  • In 43 ist ein Beispiel gezeigt, in dem die Vorrichtungen von der Chip-Schneidevorrichtung M401 bis zur Sortiervorrichtung M406 in einer Linie angeordnet sind, um eine Fertigungslinie aufzubauen. Das System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente nimmt jedoch nicht zwangsläufig solch einen linienförmigen Aufbau an, sondern kann so gestaltet sein, dass die Verfahrensschritte jeweils von den Vorrichtungen, die zerstreut angeordnet sind, der Reihe nach ausgeführt werden, sofern der in der folgenden Erörterung beschriebene Informationsaustausch in geeigneter Weise erfolgt.
  • Hier werden mit Bezug auf 44(a) und 44(b) ein LED-Wafer 410 und LED-Elemente 405 beschrieben, an denen Operationen in dem System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente ausgeführt werden. Wie in 44(a) gezeigt, ist in dem LED-Wafer 410 eine Vielzahl von LED-Elementen 405 in einer Gitteranordnung, und an die Unterseite des LED-Wafers 410 ist eine Chip-Schneidplatte 410a angebracht. In dem LED-Wafer 410 sind Ritzlinien 410b ausgebildet, die die LED-Elemente 405 abteilen, und durch Schneiden des LED-Wafers 410 entlang der Ritzlinien 410b wird eine Ansammlung von LED-Elementen 405 in einem Wafer-Zustand gebildet, in dem die einzelnen LED-Elemente 405 durch die Chip-Schneidplatte 410a gehalten werden. Vom Schritt des Auseinanderschneidens bis zum Element-Umordnungsschritt des Systems 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente werden die Arbeitsvorgänge und die Beförderung in einem Zustand ausgeführt, in dem der LED-Wafer 410 in einem Wafer-Halter 404 (siehe 48(a)) gefasst ist.
  • Wie in 44(a) gezeigt, wird das LED-Element 405 durch Aufschichten eines n-Typ-Halbleiters 405b und eines p-Typ-Halbleiters 405c auf eine Saphir-Trägerplatte 405a und Bedecken der Oberfläche des p-Typ-Halbleiters 405c mit einer transparenten Elektrode 405 hergestellt, wobei für externe Verbindungen auf dem n-Typ-Halbleiter 405b eine Elektrode 406a des n-Typ-Teils bzw. dem p-Typ-Halbleiter 405c eine Elektrode 406b des p-Typ-Teils ausgebildet sind. Das LED-Element 405 ist eine blaue LED und ist geeignet, Quasi-Weißlicht zu erzielen, indem es mit Kunstharz 408 kombiniert wird (siehe 49b), das den fluoreszierenden Stoff enthält, der gelbe Fluoreszenz abstrahlt, deren Farbe zu dem Blau komplementär ist. In dieser Ausführungsform wird das Kunstharz 408 von der Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 den LED-Elementen 405 im Wafer-Zustand, wie zuvor beschrieben, zugeführt.
  • Aufgrund verschiedenartiger Abweichungsfaktoren bei dem Herstellungsprozess, beispielsweise der Schwankung der Zusammensetzung zum Zeitpunkt der Schichtbildung in dem Wafer, lässt sich nicht vermeiden, dass die Lichtemissionskenngrößen, wie etwa die Lichtemissionswellenlänge, der LED-Elemente 405, die durch Trennen des Wafers in einzelne Stücke erhalten werden, differieren. Wenn solch ein LED-Element 405, wie es ist, als lichtemittierendes Element zur Beleuchtung verwendet wird, schwanken die Lichtemissionskenngrößen des Endprodukts. Um eine mindere Qualität durch das Schwanken der Lichtemissionskenngrößen zu vermeiden, werden in der vorliegenden Ausführungsform die Lichtemissionskenngrößen der Vielzahl von LED-Elementen 405 mittels der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 in einem Wafer-Zustand gemessen, es werden Element-Kenngrößeninformationen, die dafür sorgen, dass jedes der LED-Elemente 405 den Daten entspricht, die die Lichtemissionskenngrößen des LED-Elements 405 angeben, bereitgestellt, und bei der Zufuhr des Kunstharzes wird eine geeignete Menge Kunstharz 408 zugeführt, die den Lichtemissionskenngrößen des LED-Elements 405 entspricht. Im Vorfeld der Zufuhr der geeigneten Menge Kunstharz 408 werden die nachstehend beschriebenen Kunstharz-Zufuhrinformationen bereitgestellt.
  • Als Nächstes werden Aufbau und Funktionen der Vorrichtungen, die das System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente bilden, in der Reihenfolge der Schritte beschrieben. Zuerst wird der LED-Wafer 410 zur Chip-Schneidevorrichtung M401 geschickt, wie in 45(a) gezeigt ist. Wenn in dem LED-Wafer 410 mittels einer Laserschneidemaschine 407 Schnittgräben 410c entlang der Ritzlinien 410b ausgebildet werden, die bis zur Chip-Schneidplatte reichen, wird der LED-Wafer 410 in einzelne LED-Elemente 405 unterteilt, in denen jeweils die transparente Elektrode 405d, der p-Typ-Halbleiter 405c, der n-Typ-Halbleiter 405b und das Saphirsubstrat 405a geschichtet sind. Es können verschiedenen Verfahren angewendet werden, wie zum Beispiel die Einheit zum Chip-Schneiden. Beispielsweise können einzelne LED-Elemente 405 mit einem Verfahren zum mechanischen Schneiden mit einer Trennsäge oder durch Entfernen nur der transparenten Elektrode 405d, des p-Typ-Halbleiters 405c und des n-Typ-Halbleiters 405b in der Dickenrichtung mit einem Laserstrahl, wobei das Saphirsubstrat 405a durch Abplatzen gespalten wird, um in jene versprödeten Bereiche zu zerbrechen, die durch den Laserstrahl gebildet wurden, erhalten werden.
  • Als Nächstes wird, wie in 45(b) gezeigt, der LED-Wafer 410 nach dem Chip-Schneiden zur Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 geschickt, wo Elementkenngrößen gemessen werden, die auf die Lichtemissionskenngrößen des LED-Elements 405 schließen lassen. Das heißt, während ein Spektroskop 411a direkt über einem zu messenden LED-Element 405 inmitten der Vielzahl von LED-Elementen 405 in einem Wafer-Zustand, in dem sie an der Chip-Schneidplatte 410a angebracht sind und gehalten werden, angeordnet ist, werden dadurch, dass Tastspitzen einer Stromversorgungsvorrichtung 409 zum Berühren der Elektrode 406a des n-Typ-Teils und der Elektrode 406b des p-Typ-Teils des LED-Elements 405 veranlasst werden, der n-Typ-Halbleiter 405b und der p-Typ-Halbleiter 405c mit Strom versorgt, damit sie Licht emittieren. Dann wird eine Spektralanalyse des Lichts durchgeführt, um vorgegebene Größen zu messen, wie etwa die Lichtemissionswellenlänge oder die Lichtemissionsintensität, und das Ergebnis der Messung wird von einem Prozessor 411 zur Messung der Kenngrößen so verarbeitet, dass Element-Kenngrößeninformationen erhalten werden, die auf die Lichtemissionskenngrößen des LED-Elements 405 schließen lassen. Diese Messung der Element-Kenngrößen erfolgt der Reihe nach für sämtliche LED-Elemente 405, die den LED-Wafer 410 bilden.
  • Als Nächstes werden die Element-Kenngrößeninformationen mit Bezug auf 46(a) und 46(b) beschrieben. 46(a) zeigt eine Normalverteilung der Lichtemissionswellenlänge, die vorab als Referenzdaten für die zu messenden LED-Elemente 405 bereitgestellt worden ist. Durch Unterteilen eines Wellenlängenbereiches, der dem bei der Verteilung üblichen Bereich entspricht, in eine Vielzahl von Wellenlängengebieten, wird die Vielzahl der gemessenen LED-Elemente 405 nach der Lichtemissionswellenlänge klassifiziert. Hierbei werden als Reaktion auf jede der Klassen, die durch Unterteilen des Wellenlängenbereiches in fünf Teile festgesetzt werden, von der Seite der kurzen Wellenlänge aus der Reihe nach die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] vergeben. Auf der Grundlage des Messergebnisses der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 werden den einzelnen LED-Elementen 405 Bin-Codes gegeben, und diese werden als Element-Kenngrößeninformationen 412 im Speicherteil 471 gespeichert (54).
  • 46(b) zeigt Anordnungsdaten 418, die den Elementpositionsinformationen, die die Position eines einzelnen LED-Elements 405 in dem LED-Wafer 410 angeben, die Element-Kenngrößeninformationen 412 über das LED-Element 405 zuordnen. Hierbei werden eine x-Zellkoordinate 418X und eine y-Zellkoordinate 418Y in einer Matrixanordnung der LED-Elemente 405 in dem LED-Wafer 410 als Elementpositionsinformationen verwendet. Das heißt, die Anordnungsdaten 418 sind so aufgebaut, dass sie einen der Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5], der einem einzelnen LED-Element 405 auf der Grundlage des Messergebnisses der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 gegeben ist, mit dem einzelnen LED-Element 405 in Entsprechung bringen, das durch die Elementpositionsinformationen identifiziert wird, und durch Festlegen einer Wafer-ID 418a können die Anordnungsdaten 418 jedes einzelnen LED-Wafers 410 ausgelesen werden.
  • Im Folgenden werden die Kunstharz-Zufuhrinformationen, die als Reaktion auf die oben erwähnten Element-Kenngrößeninformationen 412 vorab bereitgestellt werden, mit Bezug auf 47 beschrieben. Bei dem lichtemittierendes Element der Bauart wird zum Erhalt von Weißlicht durch Kombinieren eines YAG-ähnlichen fluoreszierenden Stoffs mit einer blauen LED, weil das blaue Licht, das das LED-Element 405 abstrahlt, mit dem gelben Licht, das der fluoreszierende Stoff abstrahlt, wenn er durch das blaue Licht angeregt wird, addiert und gemischt wird, die Menge der Partikel des fluoreszierenden Stoffs in der dünnen Kunstharzschicht, die die Oberseite des LED-Elements 405 bedeckt, zu einem wichtigen Faktor bei der Sicherstellung der normalen Lichtemissionskenngrößen eines fertiggestellten lichtemittierenden Elements.
  • Wie weiter oben erwähnt worden ist, unterscheiden sich wegen der Variationen, klassifiziert durch die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5], bei den Lichtemissionswellenlängen einer Vielzahl von LED-Elementen 405, die gleichzeitig Gegenstand von Arbeitsvorgängen werden, die geeigneten Mengen der Partikel des fluoreszierenden Stoffs in dem Kunstharz 408, das zugeführt wird, um die LED-Elemente 405 zu bedecken, auf der Grundlage der Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5]. In dieser Ausführungsform, die in 47 gezeigt ist, sind vorab in den bereitgestellten Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 geeignete Zufuhrmengen, klassifiziert auf der Grundlage der Bin-Codes, des Kunstharzes 408, wobei Partikel eines YAG-ähnlichen fluoreszierenden Stoffs in beispielsweise Silikon-Kunstharz oder Epoxid-Kunstharz enthalten sind, in nl (Nanoliter) vorgegeben worden und zwar auf der Grundlage der Bin-Code-Einteilungen 417. Das heißt, wenn eine geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes 408, dargestellt in den Kunstharz-Zufuhrinformationen 419, präzise zugeführt wird, so dass sie das LED-Element 405 bedeckt, wird die Menge der Partikel des fluoreszierenden Stoffs in dem das LED-Element 405 bedeckenden Kunstharz eine geeignete Zufuhrmenge der Partikel des fluoreszierenden Stoffs, und dadurch wird eine normale Lichtwellenlänge, die gefordert ist, bei einem Fertigprodukt, nach dem Wärmehärten sichergestellt.
  • Hierbei sind, wie in einer die Dichte des fluoreszierenden Stoffs angebenden Spalte 416 gezeigt ist, eine Vielzahl von Dichten des fluoreszierenden Stoffs (hier drei Dichten oder D1 (5%), D2 (10%) und D3 (15%)), die auf die Dichte der Partikel des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 408 schließen lassen, festgesetzt, und die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen sind auf unterschiedliche Zahlenwerte festgesetzt, die auf der Grundlage der Dichte des fluoreszierenden Stoffs des verwendeten Kunstharzes 408 verwendet werden. Wenn das Kunstharz 408 mit der Dichte D1 des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, heißt das für die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5], dass das Kunstharz 408 jeweils in geeigneten Zufuhrmengen VA0, VB0, VC0, VD0 und VE0 (geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 415(1)) zugeführt wird. Ebenso wird dann, wenn das Kunstharz 408 mit der Dichte D2 des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, für die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] das Kunstharz 408 jeweils in geeigneten Zufuhrmengen VF0, VG0, VH0, VJ0 und VK0 (geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 415(2)) zugeführt. Ferner wird dann, wenn das Kunstharz 408 mit der Dichte D3 des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, für die Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] das Kunstharz 408 jeweils in geeigneten Zufuhrmengen VL0, VM0, VN0, VP0 und VR0 (geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 415(3)) zugeführt. Auf diese Weise werden die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen für die Vielzahl von Dichten des fluoreszierenden Stoffs, die unterschiedlich sind, festgesetzt, und zwar deshalb, weil zwecks Qualitätssicherung ein Zuführen des Kunstharzes 408 mit der am besten geeigneten Dichte des fluoreszierenden Stoffs auf der Grundlage des Variationsgrades der Lichtemissionswellenlänge zu bevorzugen ist.
  • Als Nächstes werden die Funktionen der Element-Umordnungsvorrichtung M403 und die Elementanordnungsinformationen, die von der Element-Umordnungsvorrichtung 403 generiert werden, mit Bezug auf 48(a) und (48b) beschrieben. Wie in 48(a) gezeigt, dient die Element-Umordnungsvorrichtung M403 dazu, die LED-Elemente 405 nach der Lichtemissionskenngrößen-Messung mit einem Element-Übertragungsmechanismus 494 (siehe 54) aus dem LED-Wafer 410 herauszunehmen, der im Wafer-Halter 404 gefasst ist, und die LED-Elemente mit einer vorgegebenen Anordnung auf einer Element-Haltefläche 420a umzuordnen, die an der Oberseite eines Element-Halteteils 420 ausgebildet ist, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten 418 und der Anordnungsmusterdaten 491a (siehe 54), die vorab festgesetzt worden sind.
  • In dieser Ausführungsform kann das Kunstharz 408 dem LED-Element 405 in einem Zustand zugeführt werden, in dem das LED-Element 405 aus dem LED-Wafer 410 herausgenommen ist und auf der Element-Haltefläche 420a des Element-Halteteils 420 gehalten wird. Dadurch können die LED-Elemente 405, deren Positionen im Wafer-Zustand fest sind, auf dem Element-Halteteil 420 umgeordnet in einer erwünschter Anordnung gehalten werden, sodass die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 die Kunstharz-Zufuhrvorgänge effizienter bewerkstelligen kann. In 48(a) ist ein Beispiel gezeigt, bei dem nur ein Element-Halteteil 420 einem LED-Wafer 410 entspricht, bei Bedarf ist es jedoch auch möglich, mehrere Element-Halteteile 420 einem LED-Wafer 410 entsprechen zu lassen.
  • Die in 48(b) dargestellten Element-Anordnungsinformationen 518 zeigen eine umgeordnete Elementanordnung mit einem Musterbeispiel für die Anordnungsmusterdaten 491a. In den Element-Anordnungsinformationen 518, die den x-Zellkoordinaten 518X und den y-Zellkoordinaten 518Y entsprechen, die Anordnungspositionen der in das Element-Halteteil 420 gesetzten LED-Elemente 405 entsprechen, sind die Bin-Code-Typen der zu den jeweiligen Anordnungspositionen übertragenen LED-Elemente 405 vorgegeben. Das heißt, dass bei dem hier gezeigten Musterbeispiel nur LED-Elemente 405, die dem gleichen Bin-Code entsprechen (hier [1]), auf einem Element-Halteteil 420 angeordnet werden. Die Festlegung des Anordnungsmusters erfolgt willkürlich. Auf demselben Element-Halteteil 420 kann eine Vielzahl von Bin-Code-Typen kombiniert werden, und von der Kombination der Bin-Codes verschiedene Parameter, wie die Anordnungsrichtung, der Anordnungsabstand oder dergleichen, können in Abhängigkeit von den Eigenschaften der Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 willkürlich festgesetzt werden.
  • Als Nächstes werden ein Aufbau und Funktionen der Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 mit Bezug auf 49(a) bis 50(b) beschrieben. Die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 hat ein Zuführen einer geeigneten Zufuhrmenge des Kunstharzes 408 zur Aufgabe, um die vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen bei jedem der auf der Element-Haltefläche 420a des Element-Halteteils 420 gehaltenen LED-Elemente 405 zu erhalten, und zwar auf der Grundlage der Elementanordnungsinformationen 518, die die Anordnung der von der Element-Umordnungsvorrichtung M403 umgeordneten LED-Elemente 405 angeben, und der Kunstharz-Zufuhrinformationen 419. Wie in der Draufsicht von 49(a) gezeigt, wird die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 durch Anordnen eines Kunstharz zuführenden Teils 400A, der in 49(b) im Schnitt A-A dargestellt ist, auf einem Transportmechanismus 431, der das Element-Halteteil 420, das die LED-Elemente 405 hält, die Gegenstand von Operationen sind, transportiert.
  • In dieser Ausführungsform wird eine Kunstharzabgabevorrichtung, die das Kunstharz 408 in Tintenstrahldrucker-Manier abgibt, als Kunstharz zuführender Teil 400A verwendet. Das heißt, der Kunstharz zuführende Teil 400A ist mit einem Druckkopf 432 versehen, dessen Längsrichtung in x-Richtung (Transportrichtung im Transportmechanismus 431) verläuft. Wie in 50(a) gezeigt, ist der Druckkopf 432 mit einer eingebauten Druckerdüseneinheit 432 versehen, die zwecks Zufuhr ein kleines Tröpfchens 408a des Kunstharzes 408 derart nach unten abgibt, dass die Abgabemenge steuerbar ist, und wenn der Druckkopf 432 von einem Druckkopf-Antriebsteil 435 angetrieben wird, bewegt er sich in y-Richtung (Pfeil a) über das Element-Halteteil 420, an dem die LED-Elemente 405 angeordnet sind, und die Druckerdüseneinheit 432a wird in x-Richtung (Pfeil b) im Druckkopf 432 bewegt. Bei Steuerung des Druckkopf-Antriebsteils 435 durch einen Zufuhrsteuerungsteil 436 bewegt sich die Druckerdüseneinheit 432a in eine willkürliche Position in x- und in y-Richtung, wobei die Abgabemenge des kleinen Tröpfchens 408a von der Druckerdüseneinheit 432a gesteuert werden kann.
  • Neben dem Druckkopf 432 ist ein Messkopf 430, der eine Kamera 434a und eine Höhenmesseinheit 433a umfasst, in x- und y-Richtung beweglich angeordnet (Pfeil c). Wenn der Messkopf 430 über das Element-Halteteil 420 bewegt wird, auf dem die LED-Elemente 405 angeordnet sind, und ein Bild, das durch Abbilden des Element-Halteteils 420 mit der Kamera 434a erlangt wird, mittels eines Positionserkennungsteils 434 erkannt wird, lässt sich die Position eines einzelnen LED-Elements 405 in dem Element-Halteteil 420 erkennen. Das Ergebnis der Positionserkennung wird an den Zufuhrsteuerungsteil 436 übermittelt.
  • Die Höhe der zu messenden Oberfläche wird durch Ausrichten der Höhenmesseinheit 433a zu einer zu messenden Oberfläche, um eine Entfernungsmessung mit einem Laserstrahl vorzunehmen, gemessen. Hierbei wird die Oberseite des LED-Elements 405 vor der Abgabe des kleinen Tröpfchens 408a durch die Druckerdüseneinheit 432a zur zu messenden Oberfläche, und das Ergebnis der Höhenmessung durch den Höhenmessteil 433 wird an den Zufuhrsteuerungsteil 436 übermittelt. Wenn das kleine Tröpfchen 408a mittels der Druckerdüseneinheit 432a zugeführt wird, führt der Zufuhrsteuerungsteil 436 mittels des Höhenmessteils 433 eine Höhenmessung an der Oberseite des LED-Elements 405 durch. Wenn der Druckkopf 432 durch den Zufuhrsteuerungsteil 436 so gesteuert wird, wie in 50b gezeigt ist, wird das kleine Tröpfchen 408a von der Druckerdüseneinheit 432a abgegeben, und das Kunstharz 408 wird in einer geeigneten Zufuhrmenge, die in den Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 vorgegeben ist, der Oberseite jedes der LED-Elemente 405, die auf dem Element-Halteteil 420 angeordnet sind, zugeführt. Das heißt, der Kunstharz zuführende Teil 400A dient zum Abgeben einer variablen Zufuhrmenge Kunstharz 408 und Zuführen des Kunstharzes 408 zu sämtlichen Zufuhrpositionen.
  • Neben dem Transportmechanismus 431 ist eine probeweise zuführende und messende Einheit 440 im Bewegungsbereich des Druckkopfes 432 platziert. Die probeweise zuführende und messende Einheit 440 dient zur Bestimmung, ob die Zufuhrmenge des Kunstharzes 408 geeignet ist, bevor ein Zufuhrvorgang für die praktische Produktion erfolgt, indem das Kunstharz 408 den LED-Elementen 405, die auf dem Element-Halteteil 420 angeordnet sind, zugeführt wird, und zwar durch Messen der Lichtemissionskenngrößen des probeweise zugeführten Kunstharzes 408. Das heißt, die Lichtemissionskenngrößen, wenn Licht, das ein Lichtquellenteil 445 für Messzwecke abstrahlt, auf ein lichtdurchlässiges Element 443 fällt, dem durch den Kunstharz zuführenden Teil 400A probeweise das Kunstharz 408 zugeführt wird, werden mittels eines Lichtemissionskenngrößen-Messteils gemessen, der ein Spektroskop 442 und einen Prozessor 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen enthält, und durch Vergleichen des Messergebnisses mit einem zuvor festgesetzten Schwellenwert wird bestimmt, ob die festgesetzte Kunstharzzufuhrmenge, die in den in 47 gezeigten Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 vorgegeben ist, geeignet ist.
  • Die Zusammensetzung und die Eigenschaften des Partikel eines fluoreszierenden Stoffs enthaltenden Kunstharzes 408 sind nicht unbedingt stabil, und selbst wenn die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen vorher in den Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 festgesetzt worden sind, kann nicht vermieden werden, dass die Dichte und die Kunstharzviskosität des fluoreszierenden Stoffs im Laufe der Zeit schwanken. Deshalb ist es möglich, dass selbst dann, wenn das Kunstharz 408 entsprechend den Abgabeparametern abgegeben wird, die den zuvor festgesetzten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen entsprechen, die Kunstharzzufuhrmenge selbst von dem festgesetzten geeigneten Wert abweicht oder die Kunstharzzufuhrmenge an sich geeignet ist, aber aufgrund einer Dichteänderung die zugeführte Menge der Partikel des fluoreszierenden Stoffs von jener abweicht, die ursprünglich zugeführt werden sollte.
  • Zur Lösung dieser Probleme erfolgt in der Ausführungsform eine probeweise Zuführung zwecks Ermittlung, ob eine geeignete Zufuhrmenge der Partikel des fluoreszierenden Stoffs zugeführt wird, durch die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 in einem festgelegten Intervall, und durch Durchführen der Messung der Lichtemissionskenngröße des Kunstharzes, das probeweise zugeführt wird, wird die Zufuhrmenge der Partikel des fluoreszierenden Stoffs, welche die Anforderungen der ursprünglichen Lichtemissionskenngröße erfüllt, stabilisiert. Folglich hat der Kunstharz zuführende Teil 400A, der in der Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 enthalten ist, die in der vorliegenden Ausführungsform dargestellt ist, zur Aufgabe, einen Zufuhrprozess für eine Messung auszuführen, wobei das Kunstharz 408 probeweise dem lichtdurchlässigen Element 443 für die oben erwähnte Messung der Lichtemissionskenngröße zugeführt wird, und gleichzeitig einen Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei das Kunstharz 408 einer Vielzahl von LED-Elementen 405 zugeführt wird, die für die praktische Produktion auf der Element-Haltefläche 420a der Element-Haltefläche 420 umgeordnet sind. Der Zufuhrprozess für die Messung und der Zufuhrprozess für die Produktion, beide werden ausgeführt, wenn der Kunstharz zuführende Teil 400A durch den Zufuhrsteuerungsteil 436 gesteuert wird.
  • Der detaillierte Aufbau der probeweise zuführenden und messenden Einheit 440 wird mit Bezug auf 51(a) bis 51(c) beschrieben. Wie in 51(a) gezeigt, wird das lichtdurchlässige Element 443 zugeführt, in dem es von einer Vorratsspule 447, wo es untergebracht ist, abgewickelt wird, und nachdem das lichtdurchlässige Element 443 zur Oberseite eines Tisches 440a zur probeweisen Zuführung hingeschickt worden ist, läuft das lichtdurchlässige Element 443 zwischen einem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 441 und einem bestrahlenden Teil 446 hindurch und wird von einer von einem Wickelmotor 449 angetriebenen Aufwickelspule 448 aufgewickelt. Neben dem Sammelverfahren des Aufwickelns auf die Aufwickelspule 448 können verschiedene Verfahren, einschließlich eines Sendeverfahrens, bei dem das lichtdurchlässige Element 443 von einem Sendemechanismus in einen Sammelbehälter gesendet wird, als Mechanismus zum Sammeln des lichtdurchlässigen Elements 443 angewendet werden.
  • Der bestrahlende Teil 446 hat zur Aufgabe, vom Lichtquellenteil 445 ausgesendetes Messlicht auf das lichtdurchlässige Element 443 zu werfen, und ist so aufgebaut, dass ein Licht konvergierendes Hilfsmittel 446b angeordnet ist, wobei das Messlicht, das der Lichtquellenteil 45 aussendet, durch Lichtwellenleiter-Kabel in einen abgeschatteten Behälter 446a geleitet wird, der die Funktion eines einfachen dunklen Behältnisses hat. Der Lichtquellenteil 445 hat zur Aufgabe, Anregungslicht abzustrahlen, um den im Kunstharz 408 enthaltenen fluoreszierenden Stoff anzuregen. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Lichtquellenteil 445 über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 441 platziert und strahlt von oben, durch das Licht konvergierende Hilfsmittel 446b auf das lichtdurchlässige Element 443.
  • Hier wird Bandmaterial mit einer festgelegten Breite, das aus einem ebenen Folienelement aus transparentem Kunstharz gebildet ist, oder das obige Bandmaterial, in dem geprägte Teile 443a von der Unterseite nach unten hervorstehen (Prägetyp), oder dergleichen als lichtdurchlässiges Element 443 verwendet (siehe 51b). Bei dem Verfahren des Schickens des lichtdurchlässigen Elements 443 auf die probeweise zuführende und messende Einheit 440 wird das Kunstharz 8 durch den Druckkopf 432 probeweise dem lichtdurchlässigen Element zugeführt. Diese probeweise Zuführung erfolgt wie in 51(b) gezeigt, wobei eine vorgegebene Zufuhrmenge des Kunstharzes 408 in Form des kleinen Tröpfchens 408a von der Druckerdüseneinheit 432a auf das lichtdurchlässige Element 443 abgegeben (gedruckt) wird, das durch den Tisch 440a zur probeweisen Zuführung von unten gestützt wird.
  • (1) von 51(b) zeigt, dass das Kunstharz 408 in der festgesetzten geeigneten Abgabemenge, die in den Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 vorgegeben ist, auf das lichtdurchlässige Element 443 zugeführt wird, das aus dem oben erwähnten Bandmaterial gebildet ist. (II) von 51(b) zeigt, dass das Kunstharz 408 in der festgesetzten geeigneten Abgabemenge in ähnlicher Weise in die geprägten Teile 443a des lichtdurchlässigen Elements 443 zugeführt wird, das von dem oben erwähnten Bandmaterial vom Prägetyp gebildet wird. Wie später beschrieben wird, gilt Folgendes: Da das Kunstharz 408, das auf den Tisch 440a zur probeweisen Zuführung zugeführt wird, probeweise zugeführt wird, um empirisch zu bestimmen, ob die Zufuhrmenge des fluoreszierenden Stoffs zu dem LED-Element 405 geeignet ist, wenn das Kunstharz 408 dem lichtdurchlässigen Element 443 an einer Vielzahl von Punkten durch den Druckkopf 432 bei derselben probeweisen Zuführungsbewegung kontinuierlich zugeführt wird, erfolgt die Zufuhr so, dass sich die Zufuhrmengen auf der Grundlage der bekannten Daten, die die Korrelation der Lichtemissionskenngrößenmessung mit der Zufuhrmenge angeben, schrittweise unterscheiden.
  • Nachdem das Kunstharz 408 auf diese Art probeweise zugeführt worden ist, wird vom Lichtquellenteil 445 abgestrahltes Weißlicht von oben, durch das Licht konvergierende Hilfsmittel 446b auf das lichtdurchlässige Element 443 geworfen, das in das abgeschattete Behältnis 446a geführt ist. Das Licht, das das Kunstharz 408 durchdringt, das auf das lichtdurchlässige Element 443 zugeführt wurde, wird von einer Ulbrichtkugel 444 empfangen, die unter dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 441 angeordnet ist, und zwar durch eine Lichtdurchlassöffnung 441a, mit welcher der das lichtdurchlässige Element transportierende Teil versehen ist. 51(c) zeigt Anordnungen des das lichtdurchlässige Element transportierenden Teils 441 und der Ulbrichtkugel 444. Der das lichtdurchlässige Element transportierende Teil 441 ist so aufgebaut, dass ein oberes Führungselement 441c, das zur Führung zweier Endflächen des lichtdurchlässigen Elements 443 dient, an der Oberseite eines unteren Trägerelements 441b angebracht ist, das die Unterseite des lichtdurchlässigen Elements 443 stützt.
  • Der das lichtdurchlässige Element transportierende Teil 441 dient zum Führen des lichtdurchlässigen Elements 443 bei der Beförderung in die probeweise zuführende und messende Einheit 440 und zum Transportieren und Halten der Position des lichtdurchlässigen Elements 443, auf das bei dem Zufuhrprozess für Messungen das Kunstharz 408 probeweise zugeführt wird. Die Ulbrichtkugel 444 dient zum Integrieren des Durchlichts, das vom Licht konvergierenden Hilfsmittel 446b (Pfeil h) einstrahlt und das Kunstharz 408 durchdringt, und dazu, es zum Spektroskop 442 zu leiten. Das heißt, die Ulbrichtkugel 444 weist im Inneren eine sphärische, reflektierende Oberfläche 444c auf, und das Durchlicht (Pfeile i), das von einer Öffnung 444a aus einfällt, die sich direkt unter der Lichtdurchlassöffnung 441a befindet, ist von der oben in der Ulbrichtkugel 444 vorgesehenen Öffnung 444a aus in einen Reflexionsraum 444b einfallend, verlässt diesen nach wiederholten Totalreflexionen (Pfeile j) an der sphärischen, reflektierenden Oberfläche 444c durch einen Austrittsteil 444d als Messlicht (Pfeil k) und wird durch das Spektroskop 442 empfangen.
  • Bei dem oben erwähnten Aufbau fällt das Weißlicht, das von einem für den Lichtquellenteil 445 verwendeten LED-Package abgestrahlt wird, auf das Kunstharz 408, das probeweise auf das lichtdurchlässige Element 443 zugeführt worden ist. Dabei regt der blaue Lichtanteil, der in dem Weißlicht enthalten ist, den fluoreszierenden Stoff in dem Kunstharz 408 zur Abstrahlung von gelbem Licht an. Das Weißlicht, zu dem dieses gelbe Licht und das blaue Licht addiert und gemischt werden, wird vom Kunstharz 408 nach oben ausgestrahlt und wird vom Spektroskop 442 durch die oben erwähnte Ulbrichtkugel 444 empfangen.
  • Das empfangene Weißlicht wird mittels des Prozessors 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen analysiert (49(b)), um die Lichtemissionskenngrößen zu messen. Lichtemissionskenngrößen wie Farbtonrang oder Strahlungskeule des Weißlichts werden erfasst, und als Erfassungsergebnis werden Abweichungen von vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen ermittelt. Die Ulbrichtkugel 444, das Spektroskop 442 und der Prozessor 439 zur Messung von Lichtemissions-Kenngrößen konstruieren einen Lichtemissions-Kenngrößen-Messungsteil, der Lichtemissions-Kenngrößen des Lichtes misst, das das Kunstharz 408 abstrahlt, wenn das Anregungslicht (hier von einer weißen LED abgestrahltes weißes Licht), das durch den Lichtquellenteil 445 abgestrahlt wird, von oben auf das Kunstharz 408 eingestrahlt wird, das auf das lichtdurchlässige Element 443 zugeführt wird, indem er das Licht empfängt, das das Kunstharz 408 von unterhalb des lichtdurchlässigen Elementes 443 abstrahlt. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Lichtemissionskenngrößen-Messteil durch Anordnen der Ulbrichtkugel 444 unter dem lichtdurchlässigen Element 443 gebildet, sodass das Licht, das vom Kunstharz 408 abgestrahlt wird, durch die Öffnung 444a der Ulbrichtkugel hindurch empfangen wird.
  • Die beschriebenen Wirkungen werden erhalten, indem der Lichtemissions-Messteil wie oben angegeben aufgebaut wird. Das heißt für die Zufuhr-Form des Kunstharzes 408, das probeweise auf das in 51(b) gezeigte lichtdurchlässige Element 443 zugeführt wird, dass die Unterseite des Kunstharzes 408 immer eine Standardhöhe aufweist, die durch das lichtdurchlässige Element fest vorgegeben ist, weil nämlich die Unterseite immer mit der Oberseite des lichtdurchlässigen Elements 443 oder den Unterseiten der geprägten Teile 443 Kontakt hat. Folglich wird der Höhenunterschied zwischen der Unterseite des Kunstharzes 408 und der Öffnung 444a der Ulbrichtkugel 444 immer konstant gehalten. Andererseits kann für die Oberseite des Kunstharzes 408 wegen Störungen, wie etwa Zufuhrbedingungen der Druckerdüseneinheit 432a, nicht unbedingt die gleiche Gestalt der Flüssigkeitsoberfläche und die gleiche Höhe realisiert werden, und der Abstand zwischen der Oberseite des Kunstharzes 408 und dem Licht konvergierenden Hilfsmittel 446b wird schwanken.
  • Was die Stabilität anbelangt, so ist dann, wenn das Bestrahlungslicht, das auf die Oberseiten des Kunstharzes 408 geworfen wird, mit dem Durchlicht von den Unterseiten des Kunstharzes 408 verglichen wird, aufgrund der Tatsache, dass das Bestrahlungslicht, das auf das Kunstharz 408 geworfen wird, durch das Licht konvergierende Hilfsmittel 446b fällt, der Grad der Konvergenz hoch und der Einfluss, den die Schwankung der Abstände zwischen den Oberseiten des Kunstharzes 408 und dem Licht konvergierenden Hilfsmittel 446b auf die Lichtdurchlässigkeit hat, kann unbeachtet gelassen werden. Andererseits ist aufgrund der Tatsache, dass das durch das Kunstharz 408 dringende Durchlicht das angeregte Licht ist, da der fluoreszierende Stoff in dem Kunstharz 408 angeregt wird, der Grad der Divergenz hoch und der Einfluss, den die Schwankung der Abstände zwischen den Unterseiten des Kunstharzes 408 und der Öffnung 444a darauf hat, bis zu welchem Grad Licht von der Ulbrichtkugel 444 aufgenommen wird, kann nicht unbeachtet gelassen werden.
  • Weil bei der in der vorliegenden Ausführungsform dargestellten probeweise zuführenden und messenden Einheit 440 eine solche Bauart gewählt wurde, bei der das Licht, das vom Kunstharz 408 abgestrahlt wird, wenn das vom wie oben angegeben aufgebauten Lichtquellenteil 445 abgestrahlte Anregungslicht von oben auf das Kunstharz 408 geworfen wird, unter dem lichtdurchlässigen Element 443 von der Ulbrichtkugel 444 empfangen wird, ist es möglich, stabile Lichtemissionskenngrößen zu bestimmen. Durch die Verwendung der Ulbrichtkugel 444 ist es nicht erforderlich, eine gesonderte Dunkelkammerkonstruktion im Lichtempfangsteil vorzusehen, und es ist möglich, die Vorrichtung kompakt auszuführen und ihre Kosten zu verringern.
  • Wie in 49(b) gezeigt ist, wird das Messergebnis des Prozessors 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen an einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor 438 gesendet, und der Prozessor 438 zur Ableitung der Zufuhrmenge korrigiert die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes 408 auf der Grundlage des Messergebnisses des Prozessors 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen und leitet die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes 408 ab, die dem LED-Element 405 in der praktischen Produktion zugeführt werden sollte. Die neue geeignete Abgabemenge, die mittels des Prozessors 438 zur Ableitung der Zufuhrmenge abgeleitet wurde, wird an einen Produktionsdurchführungsprozessor 437 gesendet, und der Produktionsdurchführungsprozessor 437 weist den Zufuhrsteuerungsteil 436 mit den neu abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen an. Dadurch steuert der Zufuhrsteuerungsteil 436 den Druckkopf 432 so, dass dieser einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, um das Kunstharz 408 in der geeigneten Zufuhrmenge dem LED-Element 405 zuzuführen, das auf die Trägerplatte 414 montiert ist.
  • Bei dem Zufuhrprozess für die Produktion wird zunächst das Kunstharz 408 in der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, die in den Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 vorgegeben ist, tatsächlich zugeführt, und die Lichtemissionskenngrößen werden gemessen, wenn sich das Kunstharz 408 im ungehärteten Zustand befindet. Auf der Grundlage des erhaltenen Messergebnisses wird ein Qualitätsgrößenbereich für den Messwert der Lichtemissionskenngröße, wenn die Lichtemissionskenngrößen des Kunstharzes 408, das in dem Zufuhrprozess für die Produktion zugeführt wird, gemessen werden, festgesetzt, und dieser Qualitätsgrößenbereich wird als Schwelle verwendet (siehe die in 54 gezeigten Schwellenwerte 481a), mit deren Hilfe bestimmt wird, ob bei dem Zufuhrprozess für die Produktion eine Qualitätsgröße erreicht wird.
  • Das heißt, bei dem Kunstharzzufuhrverfahren in dem in der vorliegenden Ausführungsform dargestellten System zur Herstellung lichtemittierender Elemente, wobei eine weiße LED als Lichtquellenteil 445 für die Lichtemissionskenngrößenmessung verwendet wird, wird eine Lichtemissionskenngröße, die von den normalen Lichtemissionskenngrößen, die von einem Fertigprodukt erhalten werden, wenn das dem LED-Element 405 zugeführte Kunstharz im ausgehärteten Zustand ist, abweicht, bei einem Lichtemissionskenngrößen-Unterschied, weil das Kunstharz 408 im ungehärteten Zustand ist, als vorgegebene Lichtemissionskenngröße verwendet, die die Grundlage für die Festlegung der Schwelle ist, mit der bestimmt wird, ob bei dem Zufuhrprozess für die Produktion eine Qualitätsgröße erreicht wird. Dadurch kann die Steuerung der Kunstharzzufuhrmenge in dem Prozess der Kunstharzzufuhr auf das LED-Element 405 auf der Grundlage der normalen Lichtemissionskenngrößen des Fertigprodukts erfolgen.
  • In der vorliegenden Ausführungsform wird als Lichtquellenteil 445 ein LED-Package 450 (siehe 56(b), das Weißlicht abstrahlt, verwendet. Dadurch kann die Messung der Lichtemissionskenngröße des probeweise zugeführten Kunstharzes 408 mit Licht durchgeführt werden, das die gleiche Kenngröße wie das Anregungslicht aufweist, das in dem LED-Package 450 des Fertigprodukts emittiert wird, und es kann ein zuverlässigeres Erfassungsergebnis erhalten werden. Es ist nicht erforderlich, die Verwendung des gleichen LED-Packages 450 zu fordern, das bei einem Fertigprodukt zum Einsatz kommt wird. Bei der Messung der Lichtemissionskenngröße kann als Lichtquellenteil für eine Erfassung eine Lichtquellenvorrichtung verwendet werden, die stabil blaues Licht konstanter Wellenlänge aussendet (beispielsweise eine blaue LED oder eine blaue Laserlichtquelle, die blaues Licht aussendet). Bei Verwendung des LED-Packages 450, das unter Verwendung der blauen LED Weißlicht aussendet, besteht jedoch ein Vorteil darin, dass eine preiswerte Lichtquellenvorrichtung stabiler Qualität gewählt werden kann. Es ist auch möglich, blaues Licht einer festgelegten Wellenlänge unter Verwendung eines Bandpassfilters herauszufiltern.
  • Statt der probeweise zuführenden und messenden Einheit 440 der oben erwähnten Bauart kann eine probeweise zuführende und messende Einheit 540 der in 52(a) gezeigten Bauart verwendet werden. Das heißt, wie in 52(a) gezeigt, die probeweise zuführende und messende Einheit 540 weist einen solchen äußeren Aufbau auf, bei dem ein Deckelteil 540b über einem horizontalen Unterteil 540a schlanker Form angeordnet ist. Der Deckelteil 540b ist mit einer Öffnung 540c versehen, und die Öffnung 540c kann mit einem Schiebefenster 540d geöffnet werden, das beim Zuführen betätigt wird und verschiebbar ist (Pfeil l). In der probeweise zuführenden und messenden Einheit 540 sind ein Tisch 545a zur probeweisen Zuführung 545a, der das lichtdurchlässige Element 443 von unten unterstützt, ein das lichtdurchlässige Element transportierender Teil 541, der das lichtdurchlässige Element 443 transportiert, und ein Spektroskop 442 vorgesehen, das über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 541 angeordnet ist.
  • Der das lichtdurchlässige Element transportierende Teil 541 enthält eine Lichtquellenvorrichtung, die Anregungslicht ausstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, ähnlich dem in 49(b) gezeigten Lichtquellenteil 445. Das Anregungslicht wird von der Lichtquellenvorrichtung von unten auf das lichtdurchlässige Element 443 geworfen, dem das Kunstharz 408 bei einem Zufuhrprozess für eine Messung probeweise zugeführt wird. Wie bei dem in 51(a) bis 51(c) gezeigten Beispiel wird das lichtdurchlässige Element 443 dadurch zugeführt, dass es von der Vorratsspule 447, wo es untergebracht ist, abgewickelt wird. Nachdem das lichtdurchlässige Element 443 entlang der Oberseite des Tisches 545a zur probeweisen Zuführung (Pfeil m) befördert wurde, läuft es zwischen dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 541 und dem Spektroskop 442 hindurch und wird von einer von einem Wickelmotor 449 angetriebenen Aufwickelspule 448 aufgewickelt.
  • Wenn das Schiebefenster 540d, das bei der Zufuhr betätigt wird, aufgeschoben wird, ist die Oberseite des Tisches 545a zur probeweisen Zuführung nach oben freiliegend, und es ist für den Druckkopf 432 möglich, das Kunstharz 408 dem an der Oberseite transportierten lichtdurchlässigen Element 443 probeweise zuzuführen. Diese probeweise Zuführung erfolgt, wobei eine vorgegebene Zufuhrmenge als kleines Tröpfchen 408a von der Druckerdüseneinheit 432a auf das lichtdurchlässige Element 443 abgegeben wird, das durch den Tisch 545a zur probeweisen Zuführung von unten gestützt wird.
  • 52(b) zeigt, dass durch Bewegen des lichtdurchlässigen Elements 443, auf das das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf dem Tisch 545a zur probeweisen Zuführung, um das Kunstharz 408 über den das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 541 zu bringen, und Absenken des Deckelteils 540b zwischen dem Deckelteil 540b und dem Unterteil 540a eine Dunkelkammer für die Messung der Lichtemissionskenngröße gebildet wird. Das LED-Package 450, das Weißlicht abstrahlt, wird als Lichtquellenvorrichtung im das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 541 verwendet. In dem LED-Package 450 sind Verdrahtungsschichten 414e und 414d, die an das LED-Element 405 angeschlossen sind, an eine Stromversorgungsvorrichtung 542 angeschlossen. Durch Einschalten der Stromversorgungsvorrichtung 542 wird dem LED-Element 405 elektrischer Strom für die Lichtemission zugeführt, und dadurch strahlt das LED-Package 450 Weißlicht ab.
  • Bei dem Prozess, bei dem das Weißlicht auf das Kunstharz 408 eingestrahlt wird, das probeweise auf das lichtdurchlässige Element 443 zugeführt wurde, wird, nachdem das Weißlicht das Kunstharz 408 durchlaufen hat, Weißlicht, wobei gelbes Licht, das der fluoreszierende Stoff in dem Kunstharz, der durch das in dem Weißlicht enthaltene blaue Licht angeregt wird, abstrahlt und das blaue Licht addiert und gemischt werden, vom Kunstharz 408 nach oben abgestrahlt. Das Spektroskop 442 ist über der probeweise zuführenden und messenden Einheit 540 platziert. Das vom Kunstharz 408 abgestrahlte Weißlicht wird vom Spektroskop 442 empfangen. Das empfangene Weißlicht wird mittels des Prozessors 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen analysiert, um die Lichtemissionskenngröße zu messen. Lichtemissionskenngrößen wie Farbtonrang oder Strahlungskeule des Weißlichts werden erfasst, und als Erfassungsergebnis werden Abweichungen von vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen ermittelt. Das heißt, der Prozessor 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen misst die Lichtemissionskenngröße des Lichts, das das Kunstharz 408, welches dem lichtdurchlässigen Element 443 zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom LED-Element 405, das der Lichtquellenteil ist, abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz 408 fällt. Das Messergebnis des Prozessors 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen wird an den Prozessor 438 zur Ableitung der Zufuhrmenge gesendet, und es werden die Prozesse wie in dem in 49(a) und 49(b) gezeigten Beispiel ausgeführt.
  • Die LED-Elemente 405, denen das Kunstharz auf diese Weise zugeführt worden ist, werden in einem Zustand, in dem sie auf dem Element-Halteteil 420 gehalten werden, zur Aushärtevorrichtung M405 geschickt. Wie in 53(a) gezeigt, wird das Kunstharz 408 durch Erwärmen der LED-Elemente 405 ausgehärtet. Dadurch werden die Oberseiten der LED-Elemente 405 mit einer Kunstharzschicht 408* bedeckt, die sich bildet, wenn das den fluoreszierenden Stoff enthaltende Kunstharz 408 aushärtet, und es werden lichtemittierende Elemente 405* gebildet. Dann wird das Element-Halteteil 420, auf dem die lichtemittierenden Elemente 405* gehalten werden, zur Sortiervorrichtung M406 geschickt, wo die Lichtemissionskenngrößen der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen 405* nochmals gemessen werden. Auf der Grundlage eines Ergebnisses der Messung wird, wie in 53(b) gezeigt, die Vielzahl von lichtemittierenden Elementen 405*, die auf dem Element-Halteteil 420 gehalten werden, in einzelne festgelegte Kenngrößenbereiche eingestuft und dementsprechend auf eine Vielzahl von Element-Halteplättchen 413A, 413B, 413C und dergleichen übertragen. Ob die Sortiervorrichtung M406 in dem System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente erforderlich ist, wird unter Berücksichtigung der von einem Fertigprodukt geforderten Genauigkeit der Lichtemissionskenngrößen und/oder der Genauigkeit der Kunstharz zufuhrmengenberichtigung der Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 entschieden, und der Prozess der Sortiervorrichtung M406 ist nicht unbedingt erforderlich.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf 54 der Aufbau eines Steuerungssystems des Systems 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente beschrieben. Von den Bestandteilelementen der Vorrichtungen, die das System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente bilden, sind jene Bestandteilelemente, die mit dem Senden/Empfangen und der Aktualisierungsverarbeitung der Element-Kenngrößeninformationen 412, der Kunstharz-Zufuhrinformationen 419, der Anordnungsdaten 418, der Element-Anordnungsinformationen 518 und der Schwellenwerte 481a im Zusammenhang stehen, im Verwaltungscomputer 403, in der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402, der Element-Umordnungsvorrichtung M403 und der Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 gezeigt.
  • In 54 enthält der Verwaltungscomputer 403 einen Systemsteuerungsteil 460, einen Speicherteil 461 und einen Kommunikationsteil 462. Der Systemsteuerungsteil 460 steuert insgesamt Arbeitsvorgänge zur Herstellung von LED-Packages in dem System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente. Neben Programmen und Daten, die für Steuerungsprozesse des Systemsteuerungsteils 460 benötigt werden, sind im Speicherteil 461 auch die Element-Kenngrößeninformationen 412, die Kunstharz-Zufuhrinformationen 419, und, bei Bedarf, die Anordnungsdaten 418, Schwellenwerte 481a und die Element-Anordnungsinformationen 518 gespeichert. Der Kommunikationsteil 462 ist über das LAN-System 402 mit anderen Vorrichtungen verbunden und liefert Steuersignale und -daten. Die Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 werden von außen über das LAN-System 402 und den Kommunikationsteil 462 oder über ein unabhängiges Speichermedium wie etwa eine CD-ROM, einen USB-Speicher oder eine SD-Karte übertragen und im Speicherteil 461 gespeichert.
  • Die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 enthält einen Messungssteuerungsteil 470, einen Speicherteil 471 und einen Kommunikationsteil 472, den Prozessor 411 zur Messung der Kenngrößen und einen Anordnungspläne erstellenden Prozessor 474. Der Messungssteuerungsteil 470 steuert sämtliche nachstehend beschriebenen Teile auf der Grundlage verschiedener Programme und Daten, die im Speicherteil 471 gespeichert sind, um mittels der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 Arbeitsvorgänge zur Element-Kenngrößenmessungen auszuführen. Neben Programmen und Daten, die für die Steuerungsprozesse des Messungssteuerungsteils 470 benötigt werden, sind im Speicherteil 471 auch die Elementpositionsinformationen 471a und die Element-Kenngrößeninformationen 412 gespeichert. Die Elementpositionsinformationen 471a sind Daten, die auf die Anordnungspositionen der LED-Elemente 405 im LED-Wafer 410 schließen lassen. Die Element-Kenngrößeninformationen 412 sind Ergebnisdaten einer Messung durch den Kenngrößenmessungsprozessor 411.
  • Der Kommunikationsteil 472 ist über das LAN-System 402 mit anderen Vorrichtungen verbunden und liefert Steuersignale und -daten. Der Anordnungspläne erstellende Prozessor 474 (Anordnungsdaten generierender Teil) führt den Prozess der Generierung der Anordnungsdaten 418 für jeden LED-Wafer 410 aus, die den Elementpositionsinformationen 471a, die im Speicherteil 471 gespeichert sind, die Element-Kenngrößeninformationen 412 über das LED-Element 405 zuordnen. Die so generierten Anordnungsdaten 418 werden als Vorschubdaten über das LAN-System 402 zur Element-Umordnungsvorrichtung M403 übermittelt. Die Anordnungsdaten 418 können von der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 über den Verwaltungscomputer 403 zur Element-Umordnungsvorrichtung M403 übermittelt werden. In diesem Fall sind, wie in 54 gezeigt, die Anordnungsdaten 418 im Speicherteil 461 des Verwaltungscomputers 403 gespeichert.
  • Die Element-Umordnungsvorrichtung M403 enthält einen Umordnungssteuerungsteil 493, einen Speicherteil 491, den Element-Übertragungsmechanismus 494 und einen Kommunikationsteil 492. Der Umordnungssteuerungsteil 493 steuert den Element-Übertragungsmechanismus 494, damit dieser einen Element-Umordnungsprozess ausführt und die LED-Elemente 405 aus einem LED-Wafer 410 herausnimmt und auf dem Element-Halteteil 420 neu anordnet. Dabei wird sich auf die Anordnungsmusterdaten 491a und die Anordnungsdaten 418, die im Speicherteil 491 gespeichert sind, bezogen. Bei dem Element-Umordnungsprozess werden die in 48(b) gezeigten Element-Anordnungsinformationen 518 durch den Umordnungssteuerungsteil 493 generiert und in den Speicherteil 491 gespeichert.
  • Die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 enthält den Zufuhrsteuerungsteil 436, einen Speicherteil 481, einen Kommunikationsteil 482, den Produktionsdurchführungsprozessor 437, den Prozessor 438 zur Ableitung der Zufuhrmenge und den Prozessor 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen. Der Zufuhrsteuerungsteil 436 führt durch Steuern des Druckkopf-Antriebsteils 435, der den Kunstharz zuführenden Teil 400A bildet, des Positionserkennungsteils 434, des Höhenmessteils 433 und der probeweise zuführenden und messenden Einheit 440 Prozesse aus, um die Ausführung des Zufuhrprozesses für eine Messung, wobei das Kunstharz 408 probeweise dem lichtdurchlässigen Element 443 zugeführt wird, das für die Lichtemissionskenngrößenmessung verwendet wird, und des Zufuhrprozesses für die Produktion, wobei das Kunstharz 408 dem LED-Element 405 zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, zu veranlassen.
  • Neben Programmen und Daten, die für Steuerungsprozesse des Zufuhrsteuerungsteils 436 benötigt werden, sind im Speicherteil 481 auch die Kunstharz-Zufuhrinformationen 419, die Element-Anordnungsinformationen 518, die Schwellenwerte 481a und Zufuhrmengen 481b für die praktische Produktion gespeichert. Die Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 werden vom Verwaltungscomputer 403 über das LAN-System 402 übertragen, und die Element-Anordnungsinformationen 518 werden in ähnlicher Weise von der Element-Umordnungsvorrichtung M403 über das LAN-System 402 übertragen. Der Kommunikationsteil 482 ist über das LAN-System 402 mit anderen Vorrichtungen verbunden und liefert Steuersignale und -daten.
  • Der Prozessor 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen führt Verarbeitungen aus, um die Lichtemissionskenngrößen des Lichts zu messen, das das Kunstharz 408 abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil 445 abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz 8 fällt, das dem lichtdurchlässigen Element 443 zugeführt wurde. Der Prozessor 438 zur Ableitung der Zufuhrmenge führt Rechenprozesse aus, um die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes 408 abzuleiten, die bei der praktischen Produktion den LED-Elementen 405 zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Prozessors 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen und der vorgegebenen Lichtemissionskenngröße. Der Produktionsdurchführungsprozessor 437 sorgt dafür, dass der Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz in der geeigneten Zufuhrmenge dem fertigzustellenden LED-Element 405 zugeführt wird, indem er den Zufuhrsteuerungsteil 436 mit der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, die vom Prozessor 438 zur Ableitung der Zufuhrmenge abgeleitet wurde, steuert.
  • Bei der in 54 gezeigten Bauart sind die Verarbeitungsfunktionen mit Ausnahme der Funktionen zur Ausführung der Operationen, die für die Vorrichtungen spezifisch sind, beispielsweise die Funktion des Anordnungspläne erstellenden Prozessors 474, mit der die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 ausgestattet ist, und die Funktion des Prozessors 438 zur Ableitung der Zufuhrmenge, mit dem die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 ausgestattet ist, nicht unbedingt in den Vorrichtungen enthalten. Beispielsweise ist es auch möglich, dass die Funktionen des Anordnungspläne erstellenden Prozessors 474 und des Prozessors 438 zur Ableitung der Zufuhrmenge durch die Rechenverarbeitungsfunktion abgedeckt sind, die der Systemsteuerungsteil 460 des Verwaltungscomputers 403 aufweist, und dass das erforderliche Senden und Empfangen von Signalen über das LAN-System 402 ausgeführt wird.
  • Bei der Bauart des oben erwähnten Systems 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente sind die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402, die Element-Umordnungsvorrichtung M403 und die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 jeweils an das LAN-System 402 angeschlossen. Folglich werden der Verwaltungscomputer 403, wobei die Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 im Speicherteil 461 gespeichert sind, und das LAN-System 402 eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die Informationen, die die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes 408 mit den Element-Kenngrößeninformationen in Entsprechung bringen, um ein lichtemittierendes Element zu erzielen, das die vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen besitzt, und zwar als Kunstharz-Zufuhrinformationen 419, an die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 liefert.
  • Als Nächstes wird mit Bezug auf 55 der Aufbau eines Systems 501 zur Herstellung von LED-Packages beschrieben, das LED-Packages unter Verwendung der lichtemittierenden Elemente herstellt, die vom System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente hergestellt wurden. Das System 501 zur Herstellung von LED-Packages wird durch Kombinieren einer Bauelement-Montagevorrichtung M407, einer Aushärtevorrichtung M408, einer Drahtbondvorrichtung M409, einer Kunstharz-Beschichtungsvorrichtung M410, einer Aushärtevorrichtung M411 und einer Chip-Schneidevorrichtung M412 mit dem System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente der in 43 gezeigten Bauart gebildet.
  • Die Bauelement-Montagevorrichtung M407 montiert vom System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente hergestellte Elemente 405* lichtemittierender Elemente durch Bonden der lichtemittierenden Elemente 5* an eine Trägerplatte 414 (siehe 56(a) und 56(b)), die zum Träger der LED-Packages wird, mit einem Kunstharzklebstoff. Die Aushärtevorrichtung M408 härtet den Kunstharzklebstoff, der zum Bonden während der Montage verwendet wird, durch Erwärmen der Trägerplatte 414 aus, nachdem die lichtemittierenden Elemente 405* montiert worden sind. Die Drahtbondvorrichtung M409 verbindet die Elektroden des lichtemittierenden Elements 405* mit Hilfe von Bonddrähten mit Elektroden der Trägerplatte 414. Nach dem Drahtbonden trägt die Kunstharz-Beschichtungsvorrichtung M410 transparentes Kunstharz zur Versiegelung jedes der lichtemittierenden Elemente 405* auf der Trägerplatte 414 auf. Die Aushärtevorrichtung M411 härtet das transparente Kunstharz, das zum Bedecken der lichtemittierenden Elemente 405* aufgetragen wurde, durch Erwärmen der Trägerplatte 414 nach dem Beschichten mit Kunstharz aus. Nach dem Aushärten des Kunstharzes bei jedem der lichtemittierenden Elemente 405* schneidet die Chip-Schneidevorrichtung M412 die Trägerplatte 414 in einzelne LED-Packages. Damit sind die in einzelne Einheiten getrennten LED-Packages fertiggestellt.
  • In 55 ist ein Beispiel gezeigt, in dem die Vorrichtungen von der Bauelement-Montagevorrichtung M407 bis zur Chip-Schneidevorrichtung M412 in einer Linie angeordnet sind, um eine Fertigungslinie aufzubauen. Das System 501 zur Herstellung von LED-Packages nimmt jedoch nicht zwangsläufig solch einen linienförmigen Aufbau an, sondern kann so gestaltet sein, dass die Verfahrensschritte jeweils von den Vorrichtungen, die zerstreut angeordnet sind, der Reihe nach ausgeführt werden. Es ist also möglich, eine Plasmabearbeitungsvorrichtung, die eine Plasmabearbeitung zwecks Reinigung der Elektroden vor dem Drahtbonden durchführt, und eine Plasmabearbeitungsvorrichtung, die nach dem Drahtbonden und vor dem Beschichten mit Kunstharz eine Plasmabearbeitung zwecks Oberflächenumbildung durchführt, um die Kohärenz des Kunstharzes zu verbessern, also vor und hinter der Drahtbondvorrichtung M409, anzuordnen.
  • Mit Bezug auf 56(a) und 56(b) werden die Trägerplatte 414, an der Arbeitsvorgänge ausgeführt werden, die lichtemittierenden Elemente 405* und ein LED-Package 450 als Fertigprodukte im System 501 zur Herstellung von LED-Packages beschrieben. Wie in 56(a) gezeigt, ist die Trägerplatte 414 eine Trägerplatte, mit der mehrere Teile verbunden sind, wobei eine Vielzahl einzelner Trägerplatten 414a, wovon jede zum Träger eines LED-Packages 450 wird, ausgearbeitet ist, und auf jeder der einzelnen Trägerplatten 414a ist ein LED-Trägerteil 414b ausgebildet, auf den das lichtemittierende Element 405* montiert wird. Das in 56(b) gezeigte LED-Package 450 wird durch Montieren des lichtemittierenden Elements 405* in das LED-Trägerteil 414b jeder der einzelnen Trägerplatten 414a, dann Aufbringen des transparenten Kunstharzes 428 zur Versiegelung im LED-Trägerteil 414b, um das lichtemittierende Element 405* zu bedecken, und, nachdem das Kunstharz 428 ausgehärtet ist, Schneiden der Trägerplatte 414, deren Schritte für jede der einzelnen Trägerplatten 414a abgeschlossen sind, fertiggestellt.
  • Wie in 56(b) gezeigt, ist die einzelne Trägerplatte 414a mit einem als Hohlraum ausgebildeten reflektierenden Teil 414c versehen, der beispielsweise einen kreisförmigen oder elliptischen ringförmigen Wall aufweist, um den LED-Trägerteil 414b zu bilden. Eine Elektrode 406a des n-Typ-Teils und eine Elektrode 406b des p-Typ-Teils des lichtemittierenden Elements 405*, das in dem reflektierenden Teil 414c untergebracht wurde, werden jeweils mit Bonddrähten 427 an Verdrahtungsschichten 414e und 414d angeschlossen, die an der Oberseite der einzelnen Trägerplatte 414a ausgebildet sind. Das Kunstharz 428 wird mit einer festgelegten Dicke im Innern des reflektierenden Teils 414c aufgebracht, um das lichtemittierende Element 405* in diesem Zustand zu bedecken, und Weißlicht, das vom lichtemittierenden Element 405* abgegeben wird, muss bei seiner Abstrahlung das transparente Kunstharz 428 durchqueren.
  • Als Nächstes werden ein Aufbau und Funktionen der Bauelement-Montagevorrichtung M407 mit Bezug auf 57(a) bis 57(b) beschrieben. Wie in der Draufsicht von 57(a) gezeigt, enthält die Bauelement-Montagevorrichtung M407 einen Trägerplatten-Transportmechanismus 421, der eine Trägerplatte 414, die Gegenstand von Arbeitsvorgängen ist und aus vorgelagerten Produktionsstufen zugeführt wird, in der Trägerplatten-Transportrichtung (Pfeil a) transportiert. An dem Trägerplatten-Transportmechanismus 421 sind ein Klebstoff-Zuführungsteil 400B, in 57(b) im Schnitt B-B gezeigt, und ein Bauelement-Montageteil 400C, in 57(c) im Schnitt C-C gezeigt, in der Transportrichtung nacheinander angeordnet. Der Klebstoff-Zuführungsteil 400B enthält einen Klebstoff-Zuführungsteil 422, der neben dem Trägerplatten-Transportmechanismus 421 angeordnet ist und Kunstharzklebstoff 423 in Form einer Beschichtung mit einer festgelegten Schichtdicke zuführt, und einen Klebstoff-Übertragungsmechanismus 424, der über dem Trägerplatten-Transportmechanismus 421 und dem Klebstoff-Zuführungsteil 422 in horizontaler Richtung (Pfeil b) beweglich ist. Der Bauelement-Montageteil 400C enthält einen Bauelement-Zuführungsmechanismus 425, der neben dem Trägerplatten-Transportmechanismus 421 angeordnet ist und der die Element-Halteplättchen 413A, 413B, 413C und Ähnliches wie in 53(b) gezeigt hält, und einen Bauelement-Montagemechanismus 426, der über dem Trägerplatten-Transportmechanismus 421 und dem Bauelement-Montagemechanismus 425 in horizontaler Richtung (Pfeil c) beweglich ist.
  • Wie in 57(b) gezeigt, wird die in den Trägerplatten-Transportmechanismus 421 eingebrachte Trägerplatte 414 im Klebstoff-Zuführungsteil 400B positioniert, und der Kunstharzklebstoff 423 wird dem auf jeder der einzelnen Trägerplatten 414a ausgebildeten LED-Trägerteil 414b zugeführt. Das heißt, zuerst wird durch Bewegen des Klebstoff-Übertragungsmechanismus 424 über den Klebstoff-Zuführungsteil 422 ein Übertragungsstift 424a mit einer Schicht aus Kunstharzklebstoff 423, die an einer Übertragungsfläche 422a ausgebildet ist, in Kontakt gebracht, und es bleibt Kunstharzklebstoff 423 kleben. Danach wird durch Bewegen des Klebstoff-Übertragungsmechanismus 424 über die Trägerplatte 414 und Absenken des Übertragungsstifts 424a zum LED-Trägerteil 414b (Pfeil d) der Kunstharzklebstoff 423, der am Übertragungsstift 424a klebt, einer Element-Montageposition im LED-Trägerteil 414b zugeführt, und zwar mit der Übertragung.
  • Dann wird die Trägerplatte 414, nachdem der Klebstoff zugeführt worden ist, weitertransportiert und im Bauelement-Montageteil 400C positioniert, wie in 57(c) gezeigt, und auf jeden der LED-Trägerteile 414b wird nach der Klebstoffzuführung ein lichtemittierendes Element 405* montiert. Das heißt, zunächst wird durch Bewegen des Bauelement-Montagemechanismus 426 über den Bauelement-Zuführungsmechanismus 425 und Absenken einer Montagedüse 426a bezüglich eines der Element-Halteplättchen 413A, 413B, 413C und dergleichen, die am Bauelement-Zuführungsmechanismus 425 gehalten werden, ein lichtemittierendes Element 405* von der Montagedüse 426a festgehalten und entnommen. Danach wird durch Bewegen des Bauelement-Montagemechanismus 426 über den LED-Trägerteil 414b der Trägerplatte 414 und Absenken der Montagedüse 426a (Pfeil e) das lichtemittierende Element 405*, das in der Montagedüse 426a gehalten wird, an der Element-Montageposition montiert, wo der Klebstoff im LED-Trägerteil 414b zugeführt worden ist.
  • Als Nächstes werden mit Bezug auf die Figuren entlang dem Ablaufdiagramm von 58 Prozesse zur Herstellung von LED-Packages beschrieben, die von dem System 501 zur Herstellung von LED-Packages ausgeführt werden. Hierin werden die LED-Packages 450 hergestellt, die durch Montieren von lichtemittierenden Elementen 405*, wobei die Oberseiten der LED-Elemente 405 zuvor mit dem den fluoreszierenden Stoff enthaltenden Kunstharz 408 beschichtet worden sind, auf die Trägerplatte 414 gebildet werden.
  • Zuerst wird ein LED-Wafer 410, der Gegenstand von Arbeitsvorgängen ist, in die Chip-Schneidevorrichtung M401 eingebracht, und wie in 45(a) gezeigt wird der LED-Wafer 410 in einem Zustand, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen 405 ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte 410a befestigt ist, in einzelne LED-Elemente 405 zerteilt (ST401) (Chip-Schneide-Schritt). Dann wird der LED-Wafer 410 in die Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 eingebracht, und wie in 45(b) gezeigt wird eine Elementkenngrößenmessung durchgeführt. Das heißt, die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente 405 in einem Zustand, in dem sie an der Chip-Schneidplatte 410a angebracht sind und gehalten werden, werden einzeln gemessen, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente 405 angeben (ST402) (Elementkenngrößen-Messschritt).
  • Anschließend werden von dem Anordnungspläne erstellende Prozessor 474 der Elementkenngrößen-Messvorrichtung M402 Anordnungsdaten 418 generiert. Das heißt, es werden für jeden LED-Wafer 410 die Anordnungsdaten 418 generiert (siehe 46(b)), die den Elementpositionsinformationen, die die Position eines einzelnen LED-Elements 405 in dem LED-Wafer 410 angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element 405 zuordnen (ST403) (Anordnungsdaten-Generierungsschritt). Dann wird der LED-Wafer 410 zur Element-Umordnungsvorrichtung M403 transportiert, wo die LED-Elemente 405 aus dem LED-Wafer 410 herausgenommen und auf der Grundlage der Anordnungsmusterdaten 491a und der Anordnungsdaten 418 (ST404) in einer festgelegten Anordnung auf der Element-Haltefläche 420a angeordnet werden (Element-Umordnungsschritt). Die Informationen, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes 408 mit den Element-Kenngrößeninformationen in Entsprechung bringen, um lichtemittierende Elemente 405* zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, werden vom Verwaltungscomputer 403 über das LAN-System 402 als Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 erlangt (siehe 47) (ST405) (Kunstharzinformationen-Erlangungsschritt).
  • Danach wird der Prozess der Generierung der Schwellenwerte für die Bestimmung der Qualitätsgrößen ausgeführt (ST406). Dieser Prozess wird ausgeführt, um die Schwelle (siehe in 54 gezeigte Schwellenwerte 481a) für die Bestimmung, ob die Qualitätsgrößen bei der Zufuhr für die Produktion erreicht werden, festzulegen, und wird wiederholt für die Zufuhr für die Produktion entsprechend jedem der Bin-Codes [1],[2], [3], [4] und [5] ausgeführt. Der Prozess der Generierung der Schwellenwerte wird mit Bezug auf 59 und 60(a) bis 60(c) und die obige 18 ausführlich beschrieben. In 59 wird zunächst das Kunstharz 408, das den fluoreszierenden Stoff in Standarddichten, vorgegeben in den Kunstharz-Zufuhrinformationen 419, enthält, vorbereitet (ST421).
  • Nachdem das Kunstharz 408 in den Druckkopf 432 eingesetzt worden ist, wird die Druckerdüseneinheit 432a zum Tisch 440a zur probeweisen Zuführung der probeweise zuführenden und messenden Einheit 440 bewegt und das Kunstharz 408 wird in der vorgegebenen Zufuhrmenge (geeigneten Kunstharzzufuhrmenge), die in den Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 dargestellt ist, dem lichtdurchlässigen Element 443 zugeführt (ST422). Dann wird das dem lichtdurchlässigen Element 443 zugeführte Kunstharz 408 auf den das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 441 bewegt, das LED-Element 405 wird zur Abstrahlung von Licht veranlasst, und die Lichtemissionskenngrößen, wenn das Kunstharz 408 in einem ungehärteten Zustand ist, werden durch den Lichtemissionskenngrößen-Messteil des oben erwähnten Aufbaus gemessen (ST423). Auf der Grundlage der Messwerte 439a der Lichtemissionskenngröße, die das Messergebnis der mittels des Lichtemissionskenngrößen-Messteils gemessenen Lichtemissionskenngrößen sind, werden für die Messwerte Bestimmungsbereiche einer Qualitätsgröße festgesetzt, wobei die Lichtemissionskenngröße als eine Qualitätsgröße bestimmt wird (ST424). Die festgesetzten Bestimmungsbereiche der Qualitätsgröße werden als Schwellenwerte 481a in den Speicherteil 481 gespeichert und werden an den Verwaltungscomputer 403 übermittelt und im Speicherteil 461 gespeichert (ST425).
  • 60(a) bis 60(c) zeigen die auf diese Weise generierten Schwellenwerte, nämlich die Messwerte der Lichtemissionskenngrößen, die erhalten werden, wenn das Kunstharz in einem ungehärteten Zustand ist, nachdem das Kunstharz 408 zugeführt worden ist, das den fluoreszierenden Stoff in Standarddichten enthält, und die Bestimmungsbereiche der Qualitätsgröße (die Schwellenwerte) der Messwerte, um zu bestimmen, ob die Lichtemissionskenngröße jene einer Qualitätsgröße ist. 60(a), 60(b) und 60(c) zeigen Schwellenwerte, die den Bin-Codes [1], [2], [3], [4] und [5] entsprechen, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs im Kunstharz 408 5%, 10% bzw. 15% betragen.
  • Zum Beispiel, wie in 60(a) gezeigt, entspricht dann, wenn die Dichte des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 408 5% beträgt, die Zufuhrmenge, die bei jeder der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 415(1) dargestellt ist, jeweils einem der Bin-Codes 412b, und die Messergebnisse gemäß den Lichtemissionskenngrößen des Lichts, das das Kunstharz 408 abstrahlt, wenn blaues Licht vom LED-Element 405 auf das mit einer der Zufuhrmengen aufgetragene Kunstharz 408 einstrahlt, die mittels des Lichtemissionskenngrößen-Messteils ermittelt wurden, sind als Messwerte 439a(1) der Lichtemissionskenngröße dargestellt. Auf der Grundlage der Messwerte 439a(1) der Lichtemissionskenngröße werden die Schwellenwerte 481a(1) festgesetzt.
  • Beispielsweise wird das Messergebnis, nachdem die Lichtemissionskenngrößen des Kunstharzes 408, das in der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge VA0 zugeführt wurde, die dem Bin-Code [1] entspricht, gemessen wurden sind, in der Farbtafel, die in der obigen 18 gezeigt ist, durch einen Farbwertkoordinaten-Punkt ZA0 (XA0, YA0) dargestellt. Um den Farbwertkoordinaten-Punkt ZA0 wird ein vorgegebener Bereich der X-Koordinate und der Y-Koordinate in der Farbtafel (zum Beispiel +–10%) als der die Qualitätsgröße bestimmende Bereich (Schwellenwert) festgesetzt. Für die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen, die den übrigen Bin-Codes [2] bis [5] entsprechen, werden die Bestimmungsbereiche der Qualitätsgröße (Schwellenwerte) auf der Grundlage der Ergebnisse der Messung der Lichtemissionskenngröße festgesetzt (siehe Farbwertkoordinatenpunkte ZB0 bis ZE0 in der in 18 gezeigten Farbtafel). Hierbei wird der festgelegte Bereich, der als Schwelle festgesetzt wird, in Abhängigkeit von der geforderten Genauigkeit der Lichtemissionskenngrößen des LED-Packages 450 als Produkt in geeigneter Weise festgesetzt.
  • In ähnlicher Weise zeigen 60(b) und 60(c) die Messwerte der Lichtemissionskenngrößen und die Bestimmungsbereiche der Qualitätsgröße (Schwellenwerte), wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 408 10% bzw. 15% betragen. In 60(b) und 60(c) stellen die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 415(2) und die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen 415(3) jeweils die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen dar, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs 10% bzw. 15% betragen. Die Lichtemissionskenngrößen-Messwerte 439a(2) und 439a(3) stellen jeweils die Messwerte der Lichtemissionskenngrößen dar, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs 10% bzw. 15% betragen, und die Schwellenwerte 481a(2) bzw. 481a(3) stellen jeweils die die Qualitätsgröße bestimmenden Bereiche (Schwellenwerte) dar, wenn die Dichten des fluoreszierenden Stoffs 10% bzw. 15% betragen.
  • Die auf diese Weise generierten Schwellenwerte können bei der Zufuhr für die Produktion auf der Grundlage des Bin-Codes 412b verwendet werden, unter den ein LED-Element 405 fällt, an dem der Beschichtungsvorgang ausgeführt wird. Der in (ST406) gezeigte Prozess der Generierung von Schwellenwerten kann als nicht-prozessgekoppelte Operation durch eine unabhängige Erfassungsvorrichtung ausgeführt werden, die getrennt vom System 501 zur Herstellung von LED-Packages vorgesehen ist, und die Schwellenwerte 481a, die zuvor im Verwaltungscomputer 403 gespeichert worden sind, können über das LAN-System 402 an die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 übermittelt und verwendet werden.
  • Sobald die Kunstharz-Zufuhrvorgänge in dieser Weise möglich werden, wird der Element-Halteteil 420, der das LED-Element 405 hält, zur Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 transportiert (ST407). Auf der Grundlage der Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 und der Informationen 518 über die umgeordnete Elementanordnung wird das Kunstharz 408 in der geeigneten Zufuhrmenge, um die vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen zu erhalten, jedem der LED-Elemente 405 zugeführt, die an der Element-Haltefläche 420a des Element-Halteteils 420 (ST408) gehalten werden (Kunstharzzufuhrschritt). Der Kunstharz-Zufuhrvorgang wird mit Bezug auf 61 und die obige 20 ausführlich beschrieben.
  • Zu Beginn des Kunstharz-Zufuhrvorgangs wird zunächst, bei Bedarf, ein Austausch der Kunstharz-Aufbewahrungsbehälter vorgenommen (ST431). Das heißt, die in den Druckkopf 432 eingebaute Kunstharz-Kartusche wird gegen eine Kunstharz-Kartusche ausgetauscht, die das Kunstharz 408 mit der Dichte des fluoreszierenden Stoffs enthält, die als Reaktion auf die Kenngrößen des LED-Elements 405 ausgewählt wurde. Dann wird das Kunstharz 408 für die Messung der Lichtemissionskenngröße dem lichtdurchlässigen Element 443 durch den Kunstharz zuführenden Teil 400A probeweise zugeführt, der eine variable Zufuhrmenge des Kunstharzes 408 abgibt (Zufuhrschritt für Messungen) (ST432). Das heißt, das Kunstharz 408 der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge (VA0 bis VE0) für einen der Bin-Codes 412b, der in den in 47 gezeigten Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 vorgegeben ist, wird dem lichtdurchlässigen Element 443 zugeführt, das zum Tisch 440a zur probeweisen Zuführung in der probeweise zuführenden und messenden Einheit 440 hinausgeführt worden ist. Dabei ist selbst dann, wenn der Druckkopf 432 mit den Abgabeparametern gesteuert wird, die der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge entsprechen (VA0 bis VE0), die tatsächliche Kunstharzzufuhrmenge, die von der Druckerdüseneinheit 432a abgegeben und dem lichtdurchlässigen Element 443 zugeführt wird, nicht unbedingt die obige geeignete Kunstharzzufuhrmenge, da sich zum Beispiel die Eigenschaften des Kunstharzes 408 im Laufe der Zeit verändern. Wie in 61(a) gezeigt, wird die tatsächliche Kunstharzzufuhrmenge VA1 bis VE1 und ist damit etwas verschieden von VA0 bis VE0.
  • Dann wird durch Transportieren des lichtdurchlässigen Elements 443 in die probeweise zuführende und messende Einheit 440 das lichtdurchlässige Element 443, dem das Kunstharz 408 probeweise zugeführt wird, auf den das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 441 geschickt und transportiert (Schritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements). Das Anregungslicht zum Anregen des fluoreszierenden Stoffs wird vom Lichtquellenteil 445 abgestrahlt, der über dem das lichtdurchlässige Element transportierenden Teil 441 platziert ist. Das Licht, das das Kunstharz 408 abstrahlt, wenn das Anregungslicht von oben auf das Kunstharz 408 fällt, das dem lichtdurchlässigen Element 443 zugeführt wird, wird von unterhalb des lichtdurchlässigen Element 443 vom Spektroskop 442 vermittels der Ulbrichtkugel 444 empfangen, und die Lichtemissionskenngrößen des Lichts werden mittels des Prozessors 439 zur Messung der Lichtemissionskenngrößen gemessen (Lichtemissionskenngrößen-Messschritt) (ST433).
  • Dadurch werden, wie in der obigen 20(b) gezeigt, die Messwerte der Lichtemissionskenngrößen, dargestellt als Farbwertkoordinatenpunkte Z (siehe die obige 18) bereitgestellt. Das Messergebnis entspricht nicht unbedingt der zuvor vorgegebenen Lichtemissionskenngröße, nämlich den vorschriftsmäßigen Farbwertkoordinatenpunkten ZA0 bis ZE0 zum Zeitpunkt der Zufuhr des in 60(a) gezeigten geeigneten Kunstharzes, beispielsweise wegen der Abweichung der oben erwähnten Zufuhrmenge und der Dichteänderung der Partikel des fluoreszierenden Stoffs des Kunstharzes 408. Deshalb werden die Abweichungen (ΔXA, ΔYA) bis (ΔXE, ΔYE) erhalten, die bezüglich der x- und y-Koordinaten die Abweichungen zwischen den erhaltenen Farbwertkoordinatenpunkten ZA1 bis ZE1 und den vorschriftsmäßigen Farbwertkoordinatenpunkten ZA0 bis ZE0 zum Zeitpunkt der Zufuhr des in 60(a) gezeigten geeigneten Kunstharzes angeben, und es wird bestimmt, ob eine Korrektur erforderlich ist, um eine gewünschte Lichtemissionskenngröße zu erhalten.
  • Es wird bestimmt, ob das Messergebnis innerhalb der Schwelle liegt (ST434). Wie in der obigen 20(c) gezeigt, wird durch Vergleichen der im Schritt (ST433) erhaltenen Abweichungen und der Schwellenwerte bestimmt, ob die Abweichungen (ΔXA, ΔYA) bis (ΔXE, ΔYE) innerhalb von +–10% von ZA0 bis ZE0 liegen. Wenn die Abweichung innerhalb der Schwelle liegt, werden die Abgabeparameter, die den festgesetzten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen VA0 bis VE0 entsprechen, einfach beibehalten. Hingegen wird dann, wenn die Abweichung die Schwelle überschreitet, die Zufuhrmenge korrigiert (ST435).
  • Das heißt, es wird die Abweichung zwischen dem Messergebnis des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der zuvor vorgegebenen Lichtemissionskenngröße erhalten, und wie in 20(d) gezeigt wird auf der Grundlage der erhaltenen Abweichung ein Prozess zum Ableiten neuer geeigneter Kunstharzzufuhrmengen (VA2 bis VE2) für die praktische Produktion, in denen das Kunstharz 8 dem LED-Element 405 zugeführt werden soll, durch den Prozessor 438 zum Ableiten der Zufuhrmenge ausgeführt (Zufuhrmenge ableitender Schritt). Mit anderen Worten: Durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmengen auf der Grundlage des Messergebnisses während des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der zuvor vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen werden neue geeignete Lichtemissionskenngrößen für die praktische Produktion abgeleitet.
  • Die korrigierten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen (VA2 bis VE2) sind Werte, die aktualisiert wurden, indem Korrekturmengen hinzugefügt wurden, die jeweils den Abweichungen von den festgesetzten Kunstharzzufuhrmengen VA0 bis VE0 entsprechen. Die Beziehung zwischen den Abweichungen und den Korrekturbeträgen ist in den Kunstharz-Zufuhrinformationen 419 gespeichert, und zwar als zuvor bekannte Zusatzinformationen. Auf der Grundlage der korrigierten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen (VA2 bis VE2) werden die Prozesse von (ST432), (ST433), (ST434) und (ST435) wiederholt ausgeführt. Bei einem Erkennen, dass die Abweichung zwischen dem Messergebnis in (ST434) und den zuvor vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen innerhalb der Schwelle liegt, werden die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen für die praktische Produktion bestimmt. Das heißt, bei dem oben erwähnten Kunstharzzufuhrverfahren werden die geeigneten Kunstharzzufuhrmengen durch wiederholtes Ausführen des Zufuhrschritts für Messungen, des Transportschritts zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, des Schritts zum Abstrahlen von Anregungslicht, des Schritts zum Messen der Lichtemissionskenngröße und des Schritts zur Ableitung der Zufuhrmenge sicher abgeleitet. Die bestimmten geeigneten Kunstharzzufuhrmengen werden als Zufuhrmengen 481b für die praktische Produktion im Speicherteil 481 gespeichert.
  • Danach geht der Ablauf mit dem nächsten Schritt weiter, um das Abgeben auszuführen (ST436). Durch ein Veranlassen der Abgabe des Kunstharzes 408 in der festgelegten Menge durch die Druckerdüseneinheit 432a wird der Strömungszustand des Kunstharzes bei der Abgabe verbessert und die Bewegung des Druckkopfes 432 wird stabilisiert. Die Prozesse von (S437), (ST438), (ST439) und (ST440), die in 61 in einem Strichlinienrahmen gezeigt sind, werden auf eine ähnliche Weise wie die in (ST432), (ST433), (ST434) und (ST435) dargestellten Prozesse ausgeführt. Die Prozesse von (ST437), (ST438), (ST439) und (ST440) werden ausgeführt, wenn es erforderlich ist, genau zu erkennen, dass eine gewünschte Lichtemissionskenngröße ohne Einschränkungen gewährleistet ist; es handelt sich dabei um Schritte, die nicht unbedingt ausgeführt werden müssen.
  • Somit wird, wenn die geeignete Kunstharzzufuhrmenge, die die gewünschte Lichtemissionskenngröße ergeben soll, bestimmt ist, der Zufuhrvorgang für die Produktion ausgeführt (ST441). Das heißt, wenn der Prozessor 437 zur Produktionsdurchführung den Zufuhrsteuerungsteil 436, der den Druckkopf 432 steuert, mit der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge, die vom die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor 438 abgeleitet und als Zufuhrmenge 481b für die praktische Produktion gespeichert worden ist, entsprechend anweist, wird der Zufuhrprozess für die Produktion, der das Kunstharz 408 in dieser geeigneten Kunstharzmenge dem LED-Element 405 in einem Wafer-Zustand zuführt, ausgeführt. (Produktionsdurchführungsschritt).
  • Bei dem Prozess der wiederholten Ausführung des Zufuhrprozesses für die Produktion wird gezählt, wie oft der Druckkopf 432 zuführt, und es wird überwacht, ob die Anzahl der Zufuhren eine bestimmte Zahl überschreitet, die vorher festgesetzt worden ist (ST442). Das heißt, es wird eingeschätzt, dass bis zum Erreichen dieser festgelegten Zahl die Änderungen der Eigenschaften des Kunstharzes 408 und der Dichte des fluoreszierenden Stoffs gering sind, und der Zufuhrprozess für die Produktion (ST441) wird unter Beibehaltung der gleichen Zufuhrmenge 481b für die praktische Produktion wiederholt. Wenn in (ST442) erkannt wird, dass die festgelegte Anzahl überschritten ist, wird eingeschätzt, dass sich die Eigenschaften des Kunstharzes 408 oder die Dichte des fluoreszierenden Stoffs möglicherweise ändern und der Steuerungsfluss kehrt zu (ST432) zurück. Dann werden wiederholt die gleiche Messung der Lichtemissionskenngrößen und, basierend auf dem Messergebnis, der Prozess zur Korrektur der Zufuhrmenge ausgeführt.
  • Als Nächstes, wobei zum Ablaufdiagramm von 58 zurückgekehrt wird, wird das Element-Halteteil 420, an dem die LED-Elemente 405 gehalten werden, in die Aushärtevorrichtung M405 transportiert, wie in 53(a) gezeigt ist; das Kunstharz 408 wird durch Erwärmen der LED-Elemente 405, denen das Kunstharz 408 zugeführt wurde, ausgehärtet (ST408) (Aushärteschritt). Dadurch werden die Oberseiten der LED-Elemente 405 mit einer Kunstharz-Schicht 408* bedeckt, die sich bildet, wenn das Kunstharz 408 aushärtet. Bei dem Aushärteschritt kann, statt das Kunstharz 408 durch Erwärmen zu härten, ein Verfahren zur Förderung des Aushärtens durch Bestrahlen mit UV (Ultraviolettstrahlung) oder ein Verfahren, bei dem einfach das Kunstharz wie es ist, platziert wird, um auf natürliche Weise auszuhärten, angewendet werden. Dann wird das Element-Halteteil 420, auf dem die lichtemittierenden Elemente 405* gehalten werden, zur Sortiervorrichtung M406 transportiert, wo die Lichtemissionskenngrößen der Vielzahl von lichtemittierenden Elementen 405* erfasst werden, und wie in 53(b) gezeigt wird ein Sortiervorgang zum Separieren der lichtemittierenden Elemente 405* auf die Element-Halteplättchen 413A, 413B und dergleichen auf der Grundlage des Erfassungsergebnisses ausgeführt (ST410).
  • Dann werden die auf diese Weise hergestellten lichtemittierenden Elemente 405* auf die Trägerplatte 414 montiert (ST411) (Bauelement-Montageschritt). Das heißt, die in Abhängigkeit von den Lichtemissionskenngrößen separierten lichtemittierenden Elemente 405* werden in einem Zustand, in dem sie an den Element-Halteplättchen 413A, 413B und dergleichen angebracht sind, zur Bauelement-Montagevorrichtung M407 geschickt. Nachdem der Kunstharzklebstoff 423 der Element-Montageposition im LED-Trägerteil 414b durch Anheben des Übertragungsstifts 424a des Klebstoff-Übertragungsmechanismus 424 (Pfeil n) wie in 62(a) gezeigt zugeführt worden ist, wird das lichtemittierende Element 405*, das in der Montagedüse 426a des Bauelement-Montagemechanismus 426 gehalten wird, fallengelassen (Pfeil o) und mittels des Kunstharzklebstoffs 423 in den LED-Trägerteil 414b der Trägerplatte 414 montiert, wie in 62(b) gezeigt ist.
  • Im Anschluss an die Bauelementmontage wird die Trägerplatte 414 in die Aushärtevorrichtung M408 geschickt, wo die Trägerplatte 14 erwärmt wird, sodass, wie in 62(c) gezeigt, der Kunstharzklebstoff 423 thermisch gehärtet und zum Kunstharzklebstoff 423* wird und das lichtemittierende Element 405* an der einzelnen Trägerplatte 414a haftet. Nach dem Aushärten des Kunstharzes wird dann die Trägerplatte 414 zur Drahtbondvorrichtung M409 geschickt, und die Verdrahtungsschichten 414e und 414d der einzelnen Trägerplatte 414a werden mit Bonddrähten 427 an die Elektrode 406a des n-Typ-Teils bzw. die Elektrode 406b des p-Typ-Teils des lichtemittierenden Elements 405* angeschlossen, wie in 62(d) gezeigt ist.
  • Nach dem Drahtbonden wird dann die Trägerplatte 414 zur Kunstharz-Beschichtungsvorrichtung M410 transportiert, und es wird der Arbeitsvorgang des Versiegelns mit Kunstharz ausgeführt (ST412). Das heißt, wie in 63(a) gezeigt, im Innern des LED-Trägerteils 414b, der von dem reflektierenden Teil 414c umgeben ist, wird das transparente Kunstharz 428 zur Versiegelung von einer Abgabedüse 490 abgegeben, um das lichtemittierende Element 405* zu bedecken. Wenn der Kunstharz-Zufuhrvorgang bei einer Trägerplatte 414 abgeschlossen ist, wird die Trägerplatte 414 zur Aushärtevorrichtung M411 geschickt, und das Kunstharz 428 wird durch Erwärmen der Trägerplatte 414 ausgehärtet. Dadurch wird, wie in 63(c) gezeigt, das Kunstharz 428, das zugeführt worden ist, um das lichtemittierende Element 405* zu bedecken, thermisch gehärtet, um zu dem festen Kunstharz 428* zu werden und das lichtemittierende Element 405* zu bedecken, das sich in einem in den LED-Trägerteil 414b geklebten Zustand befindet.
  • Nach dem Aushärten des Kunstharzes wird dann die Trägerplatte 414 zur Chip-Schneidevorrichtung M412 geschickt, und durch Schneiden der Trägerplatte 414, um jeweils einzelne Trägerplatten 414a zu erhalten, wie in 63(d) gezeigt, werden die Trägerplatte 4 und dergleichen in einzelne LED-Packages 450 unterteilt (ST413). Dadurch wird das LED-Package 450, in dem das lichtemittierende Element 405*, das durch Bedecken des LED-Elements 405 mit dem Kunstharz 408 hergestellt ist, auf die einzelne Trägerplatte 414a montiert ist, fertiggestellt.
  • Wie oben beschrieben werden mit dem System 401 zur Herstellung lichtemittierender Elemente und dem System 501 zur Herstellung von LED-Packages, in der vorliegenden Ausführungsform dargestellt, bei der Herstellung von lichtemittierenden Elementen 405* durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen 405 mit dem Kunstharz 408, das den fluoreszierenden Stoff enthält, bei dem Kunstharz-Abgabevorgang zum Zuführen des Kunstharzes 408 zu den LED-Elementen 405, die aus dem LED-Wafer 410 herausgenommen und in einer festgelegten Anordnung auf der Element-Haltefläche 420a des Element-Halteteils angeordnet sind, die Lichtemissionskenngrößen des Lichts gemessen, das das Kunstharz 408 abstrahlt, wenn vom Lichtquellenteil 445 das Anregungslicht auf das lichtdurchlässige Element 443 abgestrahlt wird, dem das Kunstharz 408 für die Messung der Lichtemissionskenngröße probeweise zugeführt wird, und die geeignete Kunstharzzufuhrmenge wird auf der Grundlage des Ergebnisses der Messung und der zuvor vorgeschriebenen Lichtemissionskenngrößen korrigiert, um eine geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes 408 abzuleiten, die bei der praktischen Produktion den LED-Elementen zugeführt werden sollte. Deshalb kann sogar dann, wenn die Lichtemissionswellenlänge des einzelnen LED-Elements 405 variiert, durch Egalisieren der Lichtemissionskenngrößen des lichtemittierenden Elements 405* die Produktionsausbeute verbessert werden.
  • Da das Kunstharz 408 den LED-Elementen 405 zugeführt wird, die aus dem LED-Wafer 410 herausgenommen und mit einer festgelegten Anordnung auf der Element-Haltefläche 420a des Element-Halteteils 420 angeordnet worden sind, kann der Bereich Kunstharz zuführender Objekte begrenzt sein. Dadurch kann im Vergleich zu einem verwandten Verfahren zur Zufuhr von Kunstharz nach einer Montage an eine Trägerplatte, die eine Vielzahl von einzelnen Trägerplatten enthält, der den Kunstharzzufuhrvorrichtungen vorbehaltene Bereich verkleinert werden und die Flächenproduktivität der Fertigungstechnik kann verbessert werden. Außerdem können die LED-Elemente 405, deren Positionen im Wafer-Zustand fest sind, für die Kunstharz-Zufuhr in eine erwünschte Anordnung umgeordnet werden, und die Kunstharzzufuhrvorrichtung M404 kann die Kunstharz-Zufuhrvorgänge effizienter bewerkstelligen.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung mit Bezug auf die Ausführungsformen ausführlich beschrieben wurde, ist offensichtlich, dass vom Fachmann verschiedene Abwandlungen und Änderungen vorgenommen werden können, ohne vom Erfindungsgedanken und Schutzbereich der Erfindung abzukommen.
  • Die vorliegende Anmeldung beruht auf den japanischen Patentanmeldungen (Patentanmeldung Nr. 2011-202 642 , Patentanmeldung Nr. 2011-202 643 und Patentanmeldung Nr. 2011-202 644 ), eingereicht am 16. September 2011, deren Inhalte hier durch Verweis mit aufgenommen sind.
  • <Industrielle Anwendbarkeit>
  • Die erfindungsgemäßen Systeme und Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente und die erfindungsgemäßen Systeme und Verfahren zur Herstellung von LED-Packages, die LED-Packages fertigen, die hergestellt werden, indem lichtemittierende Elemente auf Trägerplatten montiert werden, bewirken, dass sogar dann, wenn die Lichtemissionswellenlänge des einzelnen LED-Elements variiert, durch Egalisieren der Lichtemissions-Kenngrößen des LED-Packages die Produktionsausbeute verbessert und die Flächenpoduktivität der Fertigungstechnik erhöht werden kann, und sind bei der Herstellung von LED-Packages der Bauart anwendbar, bei der ein LED-Element mit Kunstharz bedeckt ist, das einen fluoreszierenden Stoff enthält.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    System zur Herstellung lichtemittierender Elemente
    2
    LAN-System
    5
    LED-Element
    5*
    lichtemittierendes Element
    8
    Kunstharz
    10
    LED-Wafer
    10a
    Chip-Schneidplatte
    12
    Element-Kenngrößeninformationen
    13A, 13B und 13C
    Element-Halteplättchen 14 Trägerplatte
    14a
    einzelne Trägerplatte
    14b
    LED-Trägerteil
    14c
    reflektierender Teil
    18
    Anordnungsdaten
    19
    Kunstharz-Zufuhrinformationen
    23
    Kunstharzklebstoff
    24
    Klebstoff-Übertragungsmechanismus
    25
    Bauelement-Zuführungsmechanismus
    26
    Bauelement-Montagemechanismus
    28
    Kunstharz
    32
    Druckkopf
    32a
    Druckerdüseneinheit
    40 und 140
    probeweise zuführende und messende Einheit
    40a
    Tisch zur probeweisen Zuführung
    41 und 141
    das lichtdurchlässige Element transportierender Teil
    42
    Spektroskop
    43
    lichtdurchlässiges Element
    44
    Ulbrichtkugel
    46
    bestrahlender Teil
    50
    LED-Package
    101
    System zur Herstellung von LED-Packages
    201
    System zur Herstellung lichtemittierender Elemente
    202
    LAN-System
    205
    LED-Element
    205*
    lichtemittierendes Element
    208
    Kunstharz
    210
    LED-Wafer
    210a
    Chip-Schneidplatte
    212
    Element-Kenngrößeninformationen
    213A, 213B und 213C
    Element-Halteplättchen
    214
    Trägerplatte
    214a
    einzelne Trägerplatte
    214b
    LED-Trägerteil
    214c
    reflektierender Teil
    218
    Anordnungsdaten
    219
    Kunstharz-Zufuhrinformationen
    223
    Kunstharzklebstoff
    224
    Klebstoff-Übertragungsmechanismus
    225
    Bauelement-Zuführungsmechanismus
    226
    Bauelement-Montagemechanismus
    228
    Kunstharz
    232
    Druckkopf
    232a
    Druckerdüseneinheit
    240 und 340
    probeweise zuführende und messende Einheit
    240a
    Tisch zur probeweisen Zuführung
    241 und 341
    das lichtdurchlässige Element transportierender Teil
    242
    Spektroskop
    243
    lichtdurchlässiges Element
    244
    Ulbrichtkugel
    246
    bestrahlender Teil
    250
    LED-Package
    301
    System zur Herstellung von LED-Packages
    401
    System zur Herstellung lichtemittierender Elemente
    402
    LAN-System
    405
    LED-Element
    405*
    lichtemittierendes Element
    408
    Kunstharz
    410
    LED-Wafer
    410a
    Chip-Schneidplatte
    412
    Element-Kenngrößeninformationen
    414
    Trägerplatte
    414a
    einzelne Trägerplatte
    414b
    LED-Trägerteil
    414c
    reflektierender Teil
    418
    Anordnungsdaten
    419
    Kunstharz-Zufuhrinformationen
    420
    Element-Halteteil
    420a
    Element-Haltefläche
    423
    Kunstharzklebstoff
    424
    Klebstoff-Übertragungsmechanismus
    425
    Bauelement-Zuführungsmechanismus
    426
    Bauelement-Montagemechanismus
    428
    Kunstharz
    432
    Druckkopf
    432a
    Druckerdüseneinheit
    440 und 540
    probeweise zuführende und messende Einheit
    440a
    Tisch zur probeweisen Zuführung
    441 und 541
    das lichtdurchlässige Element transportierender Teil
    442
    Spektroskop
    443
    lichtdurchlässiges Element
    444
    Ulbrichtkugel
    446
    bestrahlender Teil
    450
    LED-Package
    501
    System zur Herstellung von LED-Packages
    518
    Elementanordnungsinformationen

Claims (18)

  1. System zur Herstellung lichtemittierender Elemente, das durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit einem Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt und Folgendes umfasst: eine Chip-Schneidevorrichtung, die einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, in einzelne LED-Elemente zerteilt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand misst, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die Informationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem Wafer-Zustand zu erhalten, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und eine Aushärtevorrichtung, die das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen; einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngröße, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion; einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird; einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz bei der praktischen Produktion den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen; und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  2. System zur Herstellung lichtemittierender Elemente gemäß Anspruch 1, wobei der Kunstharz zuführende Teil eine Kunstharzabgabevorrichtung ist, die das Kunstharz in Tintenstrahldrucker-Manier abgibt.
  3. Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente, das durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt und Folgendes umfasst: einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den ein LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand gemessen werden, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um lichtemittierende Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, einen Kunstharzzufuhrschritt, der das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem Wafer-Zustand zu erhalten, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet, wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngröße; einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil; einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz bei der praktischen Produktion den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen; und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  4. Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente gemäß Anspruch 3, wobei im Kunstharzzufuhrschritt das Kunstharz in Tintenstrahldrucker-Manier abgegeben wird.
  5. System zur Herstellung von LED-Packages, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, und Folgendes umfasst: eine Chip-Schneidevorrichtung, die einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, in einzelne LED-Elemente zerteilt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand misst, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die als Kunstharz-Zufuhrinformationen Informationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem Wafer-Zustand zu erhalten, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; eine Aushärtevorrichtung, die lichtemittierende Elemente durch Aushärten des den LED-Elementen zugeführten Kunstharzes fertigstellt; und eine Bauelement-Montagevorrichtung, die die lichtemittierenden Elemente auf Trägerplatten montiert, wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen, einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngröße, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  6. Verfahren zur Herstellung von LED-Packages, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, und Folgendes umfasst: einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den ein LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand gemessen werden, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um lichtemittierende Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, einen Kunstharzzufuhrschritt, der das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem Wafer-Zustand zu erhalten, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind, und zwar auf der Grundlage der Kunstharz-Zufuhrinformationen und der Anordnungsdaten; und einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz gehärtet wird, und einen Bauelement-Montageschritt, durch den die lichtemittierende Elemente auf Trägerplatten montiert werden; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngröße, einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil, einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  7. System zur Herstellung lichtemittierender Elemente, die durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt und Folgendes umfasst: eine Trennschneidevorrichtung, die nur die Halbleiterschichten, aus denen die LED-Elemente in einem LED-Wafer bestehen, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, unvollständig in einzelne LED-Element-Stücke trennt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem unvollständig getrennten Zustand misst, in dem nur die Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die den Elementpositionsinformationen, die für das unvollständig getrennte LED-Element die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element jedes LED-Wafers zuordnen; eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die als Kunstharz-Zufuhrinformationen Informationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem unvollständig getrennten Zustand zu erhalten, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und eine Aushärtevorrichtung, die das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; und eine Chip-Schneidevorrichtung, die den LED-Wafer nach dem Aushärten des Kunstharzes in einzelne LED-Elemente zerteilt; wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen, einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngröße, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  8. System zur Herstellung lichtemittierender Elemente gemäß Anspruch 7, wobei der Kunstharz zuführende Teil eine Kunstharzabgabevorrichtung ist, die das Kunstharz in Tintenstrahldrucker-Manier abgibt.
  9. Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente, das durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt und Folgendes umfasst: einen Trennschritt, durch den nur die Halbleiterschichten, aus denen die LED-Elemente in einem LED-Wafer bestehen, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, unvollständig in einzelne LED-Element-Stücke getrennt werden; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem unvollständig getrennten Zustand gemessen werden, in dem nur die Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für das unvollständig getrennte LED-Element die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element zuordnen; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um lichtemittierende Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem unvollständig getrennten Zustand zu erhalten, und zwar auf der Grundlage der Kunstharz-Zufuhrinformationen und der Anordnungsdaten; einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; und einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den der LED-Wafer nach dem Aushärten des Kunstharzes in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz, durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngröße, einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil, einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  10. Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente gemäß Anspruch 9, wobei im Kunstharzzufuhrschritt das Kunstharz in Tintenstrahldrucker-Manier abgegeben wird.
  11. System zur Herstellung von LED-Packages, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, und Folgendes umfasst: eine Trennschneidevorrichtung, die nur die Halbleiterschichten, aus denen die LED-Elemente in einem LED-Wafer bestehen, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, unvollständig in einzelne LED-Element-Stücke trennt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem unvollständig getrennten Zustand misst, in dem nur Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die den Elementpositionsinformationen, die für das unvollständig getrennte LED-Element die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element jedes LED-Wafers zuordnen; eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die als Kunstharz-Zufuhrinformationen Informationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem unvollständig getrennten Zustand zu erhalten, und zwar auf der Grundlage der Anordnungsdaten und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; eine Aushärtevorrichtung, die das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; eine Chip-Schneidevorrichtung, die den LED-Wafer nach dem Aushärten des Kunstharzes in einzelne lichtemittierende Elemente zerteilt; und eine Bauelement-Montagevorrichtung, die die einzelnen lichtemittierenden Elemente auf Trägerplatten montiert; wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen, einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngröße, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  12. Verfahren zur Herstellung von LED-Packages, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, und Folgendes umfasst: einen Trennschritt, durch den nur die Halbleiterschichten, aus denen die LED-Elemente in einem LED-Wafer bestehen, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, unvollständig in einzelne LED-Element-Stücke getrennt werden; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem unvollständig getrennten Zustand gemessen werden, in dem nur die Halbleiterschichten in einzelne Stücke getrennt sind, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben, einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für das unvollständig getrennte LED-Element die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über das LED-Element zuordnen; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um lichtemittierende Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen, einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente in einem unvollständig getrennten Zustand zu erhalten, und zwar auf der Grundlage der Kunstharz-Zufuhrinformationen und der Anordnungsdaten; einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet, einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den der LED-Wafer nach dem Aushärten des Kunstharzes in einzelne lichtemittierende Elemente zerteilt wird; und einen Bauelement-Montageschritt, durch den die einzelnen lichtemittierenden Elemente auf Trägerplatten montiert werden; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngröße, einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil, einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  13. System zur Herstellung lichtemittierender Elemente, die durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt und Folgendes umfasst: eine Chip-Schneidevorrichtung, die einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, in einzelne LED-Elemente zerteilt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand misst, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Element-Umordnungsteil, der die LED-Elemente auf einer Element-Haltefläche auf der Grundlage der Anordnungsdaten in eine vorgegebene Anordnung umordnet, eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die als Kunstharz-Zufuhrinformationen Informationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der auf der Element-Haltefläche gehaltenen LED-Elemente zu erhalten, und zwar auf der Grundlage von Elementanordnungsinformationen, die die Anordnung der vom Element-Umordnungsteil umgeordneten LED-Elemente angeben, und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und eine Aushärtevorrichtung, die das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen; einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngröße, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Harz während des Zufuhrprozesses versuchsweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  14. System zur Herstellung lichtemittierender Elemente gemäß Anspruch 13, wobei der Kunstharz zuführende Teil eine Kunstharzabgabevorrichtung ist, die das Kunstharz in Tintenstrahldrucker-Manier abgibt.
  15. Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente, das durch Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, lichtemittierende Elemente fertigt und Folgendes umfasst: einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den ein LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand gemessen werden, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Element-Umordnungsschritt, durch den die LED-Elemente mit einer vorgegebenen Anordnung auf der Grundlage der Anordnungsdaten auf einer Element-Haltefläche umgeordnet werden; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der auf der Element-Haltefläche gehaltenen LED-Elemente zu erhalten, und zwar auf der Grundlage von Elementanordnungsinformationen, die die Anordnung der durch den Element-Umordnungsschritt umgeordneten LED-Elemente angeben, und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; und einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz gehärtet wird; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngrößen, einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil, einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  16. Verfahren zur Herstellung lichtemittierender Elemente gemäß Anspruch 15, wobei im Kunstharzzufuhrschritt das Kunstharz in Tintenstrahldrucker-Manier abgegeben wird.
  17. System zur Herstellung von LED-Packages, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, und Folgendes umfasst: eine Chip-Schneidevorrichtung, die einen LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt ist, in einzelne LED-Elemente zerteilt; einen Elementkenngrößen messenden Teil, der einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand misst, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Anordnungsdaten generierenden Teil, der Anordnungsdaten generiert, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Element-Umordnungsteil, der die LED-Elemente auf einer Element-Haltefläche auf der Grundlage der Anordnungsdaten in eine vorgegebene Anordnung umordnet, eine Kunstharzinformationen liefernde Einheit, die als Kunstharz-Zufuhrinformationen Informationen liefert, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringt, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; eine Kunstharzzufuhrvorrichtung, die das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zuführt, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der auf der Element-Haltefläche gehaltenen LED-Elemente zu erhalten, und zwar auf der Grundlage von Elementanordnungsinformationen, die die Anordnung der vom Element-Umordnungsteil umgeordneten LED-Elemente angeben, und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; eine Aushärtevorrichtung, die lichtemittierende Elemente durch Aushärten des den LED-Elementen zugeführten Kunstharzes fertigstellt; und eine Bauelement-Montagevorrichtung, die die lichtemittierenden Elemente auf Trägerplatten montiert, wobei die Kunstharzzufuhrvorrichtung einen Kunstharz zuführenden Teil umfasst, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, zwecks Zufuhr an jede der dafür vorgesehenen Objektpositionen, einen Zufuhrsteuerungsteil, der den Kunstharz zuführenden Teil so steuert, dass er einen Zufuhrprozess für eine Messung ausführt, wobei das Kunstharz probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, zwecks Messung der Lichtemissionskenngröße, und einen Zufuhrprozess für die Produktion, wobei das Kunstharz LED-Elementen zugeführt wird, zwecks Durchführung der praktischen Produktion, einen Lichtquellenteil, der Anregungslicht aussendet, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, einen ein lichtdurchlässiges Element transportierenden Teil, auf dem ein lichtdurchlässiges Element transportiert wird, dem das Kunstharz während des Zufuhrprozesses probeweise zugeführt wird, einen Lichtemissionskenngrößen-Messteil, der die Lichtemissionskenngrößen des Lichts misst, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn das vom Lichtquellenteil abgestrahlte Anregungslicht auf das Kunstharz fällt; einen die Zufuhrmenge ableitenden Prozessor, der für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge ableitet, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messteils und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsprozessor, der dem Zufuhrsteuerungsteil die abgeleitete geeignete Kunstharzzufuhrmenge anweist, um den Zufuhrprozess für die Produktion auszuführen, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
  18. Verfahren zur Herstellung von LED-Packages, das LED-Packages fertigt, die durch Montieren von lichtemittierende Elementen, die durch vorheriges Beschichten der Oberseiten von LED-Elementen mit Kunstharz, das einen fluoreszierenden Stoff enthält, hergestellt sind, auf Trägerplatten ausgeführt werden, und Folgendes umfasst: einen Schritt zum Auseinanderschneiden, durch den ein LED-Wafer, in dem eine Vielzahl von LED-Elementen ausgearbeitet und an einer Chip-Schneidplatte befestigt sind, in einzelne LED-Elemente zerteilt wird; einen Schritt zum Messen von Elementkenngrößen, durch den einzeln die Lichtemissionskenngrößen der einzelnen LED-Elemente in einem Zustand gemessen werden, in dem sie an der Chip-Schneidplatte angebracht sind und gehalten werden, um Element-Kenngrößeninformationen zu erhalten, die die Lichtemissionskenngrößen der LED-Elemente angeben; einen Schritt zum Generieren von Anordnungsdaten, durch den Anordnungsdaten generiert werden, die für jeden der LED-Wafer den Elementpositionsinformationen, die für die einzelnen LED-Elemente die Position in dem LED-Wafer angeben, die Element-Kenngrößeninformationen über die LED-Elemente zuordnen; einen Element-Umordnungsschritt, durch den die LED-Elemente auf einer Element-Haltefläche auf der Grundlage der Anordnungsdaten in eine vorgegebene Anordnung umgeordnet werden; einen Schritt zum Erlangen von Kunstharzinformationen als Kunstharz-Zufuhrinformationen, durch den Informationen erlangt werden, die geeignete Zufuhrmengen des Kunstharzes mit den Element-Kenngrößeninformationen in Übereinstimmung bringen, um LED-Elemente zu erhalten, die vorgegebene Lichtemissionskenngrößen besitzen; einen Kunstharzzufuhrschritt, durch den das Kunstharz in geeigneten Zufuhrmengen zugeführt wird, um vorgegebene Lichtemissionskenngrößen der auf der Element-Haltefläche gehaltenen LED-Elemente zu erhalten, und zwar auf der Grundlage von Elementanordnungsinformationen, die die Anordnung der durch den Element-Umordnungsschritt umgeordneten LED-Elemente angeben, und der Kunstharz-Zufuhrinformationen; einen Aushärteschritt, durch den das den LED-Elementen zugeführte Kunstharz aushärtet; und einen Bauelement-Montageschritt, durch den lichtemittierende Elemente auf Trägerplatten montiert werden; wobei der Kunstharzzufuhrschritt einen Zufuhrschritt für Messungen umfasst, bei dem das Kunstharz durch einen Kunstharz zuführenden Teil, der das Kunstharz in einer variablen Zufuhrmenge abgibt, probeweise einem lichtdurchlässigen Element zugeführt wird, und zwar für Messungen der Lichtemissionskenngröße; einen Transportschritt zum Transportieren des lichtdurchlässigen Elements, dem das Kunstharz probeweise zugeführt wird, auf einem das lichtdurchlässige Element transportierender Teil; einen Lichtemissionskenngrößen-Messschritt, durch den die Lichtemissionskenngröße des Lichts gemessen wird, das das Kunstharz, welches dem lichtdurchlässigen Element zugeführt wurde, abstrahlt, wenn von einem Lichtquellenteil, der das Anregungslicht abstrahlt, um den fluoreszierenden Stoff anzuregen, abgestrahltes Anregungslicht auf das Kunstharz fällt, einen die Zufuhrmenge ableitenden Schritt, durch den für die praktische Produktion eine geeignete Kunstharzzufuhrmenge abgeleitet wird, in der das Kunstharz den LED-Elementen zugeführt werden sollte, durch Korrigieren der geeigneten Kunstharzzufuhrmenge auf der Grundlage des Messergebnisses des Lichtemissionskenngrößen-Messschritts und der vorgegebenen Lichtemissionskenngrößen, und einen Produktionsdurchführungsschritt, durch den der Zufuhrsteuerungsteil so gesteuert wird, dass er mit der abgeleiteten geeigneten Kunstharzzufuhrmenge einen Zufuhrprozess für die Produktion ausführt, wobei die geeignete Zufuhrmenge des Kunstharzes den fertigzustellenden LED-Elementen zugeführt wird.
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