DE112006002734A5 - Verfahren zum Herstellen von zylindrischen, endlos-nahtlosen Oberflächen - Google Patents

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Ferat Sarac
Norbert Krandick
Kilian Saueressig
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Saueressig GmbH and Co KG
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Saueressig GmbH and Co KG
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/18—Coating curved surfaces

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