Optischer Feintaster Es sind optische Feintaster bekannt, bei denen
die Verschiebung des Taststiftes durch die Zahl der in einem Michelson-Interferometer
durch dessen Okular hindurchgewanderten Interferenzstreifen gemessen wird. Es ist
ferner ein Feintaster bekanntgeworden, bei dem die Verschiebung des Tasters durch
Verstellung des Referenzspiegels eines Michelson-Interferometers kompensiert wird.
Hierbei dienen die Interferenzstreifen geringer Ordnung zur Nullanzeige.Optical precision feeler There are known optical precision feelers in which
the displacement of the stylus by the number of in a Michelson interferometer
interference fringes that have migrated through its eyepiece are measured. It is
Furthermore, a fine button became known in which the displacement of the button by
Adjustment of the reference mirror of a Michelson interferometer is compensated.
The low-order interference fringes serve to indicate zero.
Die Erfindung betrifft eine besonderes einfache Konstruktion eines
Interferenztasters. Sie besteht darin, daß das Interferometer gegenüber dem Taster
mit seinem Spiegel mittels einer Feineinstellvorrichtung derart verschiebbar ist,
daß die Interferenzstreifen auf ihre Null-Lage zurückgeführt werden können. Die
vom Mikroskopbau bekannten Feineinstellvorrichtungen gestatten, Tausendstelmillimeter
abzulesen, was für die meisten technischen Zwecke genügt. Die Interferenzen werden
mit Weißlicht erzeugt, so daß der weiße Streifen nullter Ordnung sich von den benachbarten
zwei schwarzen Streifen abhebt, während alle Streifen höherer Ordnung farbig sind. The invention relates to a particularly simple construction of a
Interference button. It consists in that the interferometer opposite the button
is displaceable with its mirror by means of a fine adjustment device in such a way that
that the interference fringes can be returned to their zero position. the
Allow fine adjustment devices known from microscope construction, thousandths of a millimeter
read what is sufficient for most technical purposes. The interference will
generated with white light, so that the white stripe of the zeroth order differs from the neighboring ones
two black stripes stand out, while all higher order stripes are colored.
Daher kann man den Streifen nullter Ordnung als Zeiger gut benutzen.Therefore the zero order strip can be used well as a pointer.
In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele des Interferenztasters
nach der Erfindung dargestellt. In Fig. 1 ist mit 1 eine Feineinstellvorrichtung
bezeichnet, die von Mikroskopen bekannt ist. Unterhalb einer Linse 2 sind ein Strahlenteilerspiegel
3, ein Referenzspiegel 4 und eine Glühlampe 5 fest angebracht. In the drawing are exemplary embodiments of the interference sensor
shown according to the invention. In Fig. 1, 1 is a fine adjustment device
known from microscopes. Below a lens 2 are a beam splitter mirror
3, a reference mirror 4 and an incandescent lamp 5 are fixedly attached.
Der Taststift 6 ist mit dem beweglichen Spiegel 7 fest verbunden.
Zeigt das Objekt 8 eine Erhöhung, so ändert sich der Abstand zwischen dem Spiegel
7 und der Strahlenteilerfläche, so daß die von der Linse 2 abgebildeten Interferenzstreifen
sich verschieben. Durch die Feineinstellung 1. wird die Verschiebung der Streifen
kompensiert und die hierzu erforderliche Bewegung an einer Teilung der Feineinstellvorrichtung
abgelesen. The stylus 6 is firmly connected to the movable mirror 7.
If the object 8 shows an elevation, the distance between the mirror changes
7 and the beam splitter surface, so that the interference fringes imaged by the lens 2
to move. Fine-tuning 1. the movement of the stripes
compensated and the movement required for this at a division of the fine adjustment device
read.
In Fig. 2 ist ein Gerät zur Abtastung von Innenflächen dargestellt.
Hier ist der Taster 10 an dem seitlich beweglichen Referenzspiegel 11 angebracht,
während der Referenzspiegel 12 feststeht. Mit 13 ist die Lampe, mit 14 der Strahlenteiler
des Interferometers bezeichnet. Die Linse 15 bildet die Interferenzstreifen auf
die Mattscheibe 16 ab. Dieses System läßt sich mit der Feineinstellschraube 17 in
Richtung des Doppelpfeiles 18 seitlich und mit der Einstellschraube 19 der Höhe
nach in Richtung des Doppelpfeiles 20 bewegen. In Fig. 2, a device for scanning inner surfaces is shown.
Here the button 10 is attached to the laterally movable reference mirror 11,
while the reference mirror 12 is fixed. At 13 is the lamp, at 14 the beam splitter
of the interferometer. The lens 15 forms the interference fringes
the ground glass 16 off. This system can be adjusted with the fine adjustment screw 17 in
Direction of the double arrow 18 laterally and with the adjusting screw 19 of the height
to move in the direction of the double arrow 20.
Mit 21 ist ein Priifling, beispielsweise eine Kugellagerfläche, bezeichnet.A test specimen, for example a ball bearing surface, is denoted by 21.