DE1095701B

DE1095701B - Workpiece holder for lapping flat workpieces

Info

Publication number: DE1095701B
Application number: DEC13538A
Authority: DE
Inventors: Stephen A Boettcher; Harold W Gould
Original assignee: Crane Packing Co
Current assignee: Crane Packing Co
Priority date: 1956-08-14
Filing date: 1956-08-14
Publication date: 1960-12-22

Description

Werkstückhalter zum Läppen flacher Werkstücke Die Erfindung betrifft einen auf eine Läppscheibe aufsetzbaren Werkstückhalter zum Läppen der ebenen Flächen flacher Werkstücke.Workpiece holder for lapping flat workpieces The invention relates to a workpiece holder that can be placed on a lapping disc for lapping the flat surfaces flat workpieces.

Es sind bereits Werkstückhalter der erwähnten Art bekannt, die aus einem mit einer ebenen Fläche als Auflager für die Werkstücke versehenen Körper bestehen, in dem, über die ebene Fläche hervorstehend, drei verstellbare Begrenzungsanschläge angeordnet sind.There are already workpiece holders of the type mentioned known from a body provided with a flat surface as a support for the workpieces consist, in which, protruding from the flat surface, three adjustable limit stops are arranged.

Die Erfindung unterscheidet sich demgegenüber dadurch, daß im Körper tiefe Einschnitte vorgesehen sind, die den Körper in einen Hauptkörper und drei Schenkelteile unterteilen, derart, daß die Schenkelteile die Begrenzungsanschläge enthalten und gegenüber dem Hauptkörper um zur ebenen Fläche parallele Achsen mittels Schrauben, die in den Schenkelteilen schraubbar sind und gegen den Hauptkörper anliegen, bogenschwenkverstellbar sind. Hierdurch wird der Vorteil erzielt, daß eine mit den bisher bekannten Mitteln nicht erreichbare Feinsteinstellung möglich ist.In contrast, the invention differs in that in the body Deep incisions are provided dividing the body into one main body and three Subdivide leg parts in such a way that the leg parts the limit stops and with respect to the main body by means of axes parallel to the flat surface Screws that can be screwed into the leg parts and rest against the main body, are adjustable arc pivot. This has the advantage that one with the previously known means not achievable fine adjustment is possible.

Die Erfindung wird in Verbindung mit den Zeichnungen näher beschrieben, und zwar zeigt Fig.1 eine Draufsicht auf einen Werkstückhalter nach der Erfindung in Verbindung mit einer sich drehenden Läppfläche und einem Abrichtring, Fig.2 einen Schnitt, im wesentlichen nach der Linie 2-2 in Fig. 1, Fig. 3 eine perspektivische Ansicht des in Fig. 1 dargestellten Werkstückhalters, Fig. 4 eine perspektivische Ansicht ähnlich der Fig. 1; sie zeigt eine andere Ausführungsform des Werkstückhalters zum Läppen von Gegenständen mit einem Winkel mit einander ebenen Flächen, wie z. B. bei optischen Prismen od. dgl., Fig. 5 einen Schnitt, im wesentlichen in der Ebene nach der Linie 5-5 in Fig. 4, Fig. ö einen Schnitt ähnlich der Fig. 5; sie zeigt eine abgeänderte Form der Einstellvorrichtung für die Begrenzungsanschläge, Fig. 7 eine schematische Darstellung zur Erläuterung der Einstellvorrichtung der Begrenzungsanschläge nach den Fig. 1 bis 5, Fig. 8 eine schematische Darstellung ähnlich der Fig. 7 zur Erläuterung der Einstellvorrichtung der Begrenzungsanschläge nach Fig. 6, Fig. 9 eine Teilansicht einer abgeänderten Ausführungsform einer Einstellvorrichtung für die Begrenzungsanschläge.The invention is described in more detail in connection with the drawings, 1 shows a plan view of a workpiece holder according to the invention in connection with a rotating lapping surface and a dressing ring, Fig. 2 a Section, essentially along the line 2-2 in Fig. 1, Fig. 3 is a perspective View of the workpiece holder shown in FIG. 1, FIG. 4 a perspective View similar to FIG. 1; it shows another embodiment of the workpiece holder for lapping objects at an angle with flat surfaces such. B. od with optical prisms. Like., Fig. 5 is a section, essentially in the Plane along the line 5-5 in FIG. 4, FIG. 6 shows a section similar to FIG. 5; she shows a modified form of the adjustment device for the limit stops, FIG. 7 is a schematic illustration to explain the setting device of FIG Limiting stops according to FIGS. 1 to 5, FIG. 8 a schematic representation similar to FIG. 7 to explain the setting device of the limit stops 6 and 9 show a partial view of a modified embodiment of an adjusting device for the limit stops.

Der Werkstückhalter (Fig. 1) besteht aus einem dreieckigen Block 22 mit drei nach innen gekrümmten Seiten 23, so daß drei radial auseinandergehende Arme 24 gebildet sind. Die Scheitelflächen des dreieckförmigen Blocks 22 sind konvex geformt. Die Krümmung derselben ist im wesentlichen gleich der Krümmung des Innenumfanges des Abrichtringes 18. Der Block 22 besitzt an seiner Unterseite eine ebene Oberfläche 26 (Fig. 2), an welcher die zum Läppen bestimmten Gegenstände A z. B. mittels einer geringen Menge an Feuchtigkeit, die vor dem Anlegen der Gegenstände an die Oberfläche 26 auf die sich berührenden Oberflächen aufgebracht wird, befestigt werden können.The workpiece holder (Fig. 1) consists of a triangular block 22 with three inwardly curved sides 23, so that three radially diverging arms 24 are formed. The vertex surfaces of the triangular block 22 are convexly shaped. The curvature of the same is essentially the same as the curvature of the inner circumference of the dressing ring 18. The block 22 has on its underside a flat surface 26 (FIG. 2) on which the objects A intended for lapping, for. B. by means of a small amount of moisture which is applied to the contacting surfaces prior to the application of the objects to the surface 26.

Jeder der Arme 24 ist mit einer vertikalen Bohrung 28 versehen. Die Bohrungen 28 haben die Form von gespaltenen Klemmbohrungen. An jedem Spalt 30 befindet sich daher ein Paar sich gegenüberstehender Klemmarme 32, die zusammengezogen werden können, um die Größe der Bohrung 28 zu ändern. Das Zusammenziehen erfolgt mittels eines Paares Klemmschrauben 34 mit erweiterten Köpfen 36, die in Aussparungen 38 in dem einen Klemmarm 32 sitzen, sowie mit mit Gewinde versehenen Schäften, die in den anderen Klemmarin eingeschraubt werden.Each of the arms 24 is provided with a vertical bore 28. the Bores 28 are in the form of split clamping bores. Located at each gap 30 therefore a pair of opposing clamping arms 32 which are drawn together can to change the size of the hole 28. The contraction takes place by means of of a pair of clamping screws 34 with enlarged heads 36 which are inserted into recesses 38 seated in the one clamp arm 32, as well as threaded shafts that be screwed into the other terminal block.

In jeder Bohrung 28 befindet sich eine zylindrische Stange 40, deren Stellung in der Vertikalen innerhalb der Bohrung von Hand nach Lösen der Klemmschrauben 34 eingestellt werden kann. Das untere Ende jeder Stützstange 40 ist mit einer Pfanne 42 versehen zur Erleichterung der Montage eines Anschlagelementes in Form eines in einen Halter gefaßten Diamanten 44 mit einer Oberfläche 46 in der Form eines Kugelabschnittes.In each bore 28 there is a cylindrical rod 40 whose Position in the vertical within the bore by hand after loosening the clamping screws 34 can be set. The lower end of each support rod 40 is provided with a pan 42 provided to facilitate the assembly of a stop element in the form of a A diamond 44 set in a holder and having a surface 46 in the shape of a Spherical section.

Die Diamanten 44 besitzen eine Härte, die größer ist als die der Oberfläche der Läppscheibe 14 oder als die Härte der Schleifstaubteilchen auf der Läppscheibe, so daß, wenn diese Diamanten in Berührung mit der Oberfläche der Läppscheibe kommen, der Verschleiß an den Diamanten selbst vernachlässigbar ist.The diamonds 44 have a hardness that is greater than that of the surface the lapping wheel 14 or as the hardness of the grinding dust particles on the lapping wheel, so that when these diamonds come into contact with the surface of the lapping disc, the wear on the diamond itself is negligible.

Jeder Arm 24 ist mit einem schrägen Schlitz 50 versehen, der sich von der Unterseite des Blocks aufwärts bis zu einer Stelle erstreckt, die nicht weit von der Oberseite des Blocks entfernt ist, wo der Schlitz in Verbindung steht mit einer horizontalen Bohrung 52, die quer durch jeden Arm 24 hindurchgeht. Die horizontalen Bohrungen 52 schneiden die vertikalen Bohrungen 28. Durch die Bohrungen 52 und die Schlitze 50 ist ein einstellbarer Schenkelteil 54 am äußeren Ende jedes Armes 24 geschaffen. Je nach der Einwärts- oder Auswärtsschwenkung des Schenkels ergibt sich eine Kippbewegung der Stange 40 um die Achse x-x. Infolgedessen verschiebt sich der Diamant 44 längs einer kreisbogenförmigen Bahn y -y (Fig. 2). Um nun die Winkelstellung des Schenkels 54 einregulieren zu können, geht eine Stellschraube 56 durch eine Öffnung 58 in dem einen Klemmarm 32 hindurch, wobei der Kopf in der Öffnung versenkt ist und der mit Gewinde versehene Schaft sich in eine Bohrung 59 in dem Hauptkörper des Blocks 22 einschraubt. In der schematischen Darstellung (Fig.7) ist der Abstand h die Distanz von der Achse x-x zu dem Berührungspunkt 46 des Diamanten mit der Oberfläche der Läppscheibe 14 oder, mit anderen Worten, die Länge des Schenkels 54. Dieser Abstand betrage 127 mm. Wenn man nun annimmt, daß die Steigung der Stellschraube 56 so ist, daß fünfzig Gewindegänge auf 25,4 mm entfallen, dann verursacht eine einzelne volle Drehung der Stellschraube in einer Richtung eine entsprechende Verschiebung des Schenkels 54, so daß derselbe die durch die Seite c des Dreiecks in Fig. 7 dargestellte Lage einnimmt, wobei der Diamant seitlich um den Abstand a oder etwa 0,508 mm verschoben wird. Die in der Fig. 7 dargestellten Abstände sind nur angenähert, da die Höhe der Stellschraube 56 über dem tatsächlichen Berührungspunkt 46 des Diamanten 44 nicht berücksichtigt wurde und da auch eine geringe Verschiebung der effektiven Achse der Schwenkbewegungen des Schenkels 54 eintreten kann. Die verwendeten Annäherungen sind jedoch ausreichend, um die dabei in Frage kommenden Prinzipien zu erläutern.Each arm 24 is provided with an inclined slot 50 which extends upward from the bottom of the block to a point not far from the top of the block where the slot communicates with a horizontal bore 52 which transversely passes through each arm 24. The horizontal bores 52 intersect the vertical bores 28. Through the bores 52 and the slots 50, an adjustable leg portion 54 is created at the outer end of each arm 24. Depending on the inward or outward pivoting of the leg, there is a tilting movement of the rod 40 about the axis xx. As a result, the diamond 44 shifts along a circular arc-shaped path y -y (FIG. 2). In order to adjust the angular position of the leg 54, a set screw 56 passes through an opening 58 in the one clamping arm 32, the head being countersunk in the opening and the threaded shaft fitting into a bore 59 in the main body of the block 22 screwed in. In the schematic representation (FIG. 7), the distance h is the distance from the axis xx to the point of contact 46 of the diamond with the surface of the lapping disk 14 or, in other words, the length of the leg 54. This distance is 127 mm. Assuming now that the pitch of the set screw 56 is such that fifty threads are accounted for 25.4 mm, then a single full turn of the set screw in one direction causes a corresponding displacement of the leg 54, so that the same through the side c of the triangle in Fig. 7 assumes the position shown, wherein the diamond is laterally displaced by the distance a or about 0.508 mm. The distances shown in FIG. 7 are only approximate, since the height of the adjusting screw 56 above the actual contact point 46 of the diamond 44 has not been taken into account and since a slight shift in the effective axis of the pivoting movements of the leg 54 can also occur. However, the approximations used are sufficient to explain the principles in question.

Die durch eine einzige Umdrehung der Stellschraube 56 veranlaßte Verschiebung des Diamanten 44 wird durch den gestrichelten Bogen y -y dargestellt (s. auch Fig. 3), und der Diamant bewegt sich dabei von seiner Anfangslage bei 46 in eine neue, mit 46' bezeichnete Lage. Der Winkel a (Fig. 7) ist stark übertrieben dargestellt, damit der Abstand v in dem Schema deutlich sichtbar wird. In der Tat ist der Winkel a in der Größenordnung von weniger als 1 Sekunde im Winkelmaß.The displacement of the diamond 44 caused by a single turn of the adjusting screw 56 is represented by the dashed arc y -y (see also FIG. 3), and the diamond moves from its starting position at 46 to a new one, denoted by 46 ' Location. The angle a (FIG. 7) is shown greatly exaggerated so that the distance v is clearly visible in the diagram. Indeed, the angle α is on the order of less than 1 second in angular measure.

In Schema (Fig. 7) ist Man ersieht also aus der obigen Lösung, daß, wenn eine volle Umdrehung der Stellschraube 56 eine Vertikalverschiebung des Diamantlagers 44 um 0,01016 mm bewirkt, eine geringe Verstellung der Stellschraube um 1 oder 2° nur eine Vertikalverstellung des Lagers herbeiführt, die sich nach Hundertsteln eines Millimeters bemißt und sich damit der Wellenlänge des Lichtes annähert.In scheme (Fig. 7) is It can be seen from the above solution that if a full turn of the adjusting screw 56 causes a vertical displacement of the diamond bearing 44 by 0.01016 mm, a slight adjustment of the adjusting screw by 1 or 2 ° only brings about a vertical adjustment of the bearing, which is in hundredths of a millimeter and thus approximates the wavelength of light.

Im Betriebe wird jeder Diamant 44 auf seinen eigenen, bestimmten Abstand eingestellt, gemessen von der Unterseitenfläche 26 des Blocks 22 mittels eines normalen Meßinstrumentes. Werden die drei Anschlagelemente also auf genau die gleiche Höhe eingestellt, dann ist damit eine Ebene parallel zu der Ebene der Oberfläche 26 bestimmt. Man kann dann an der Oberfläche 26 in der vorher beschriebenen Weise einen oder mehrere Gegenstände befestigen. Die Aufspannvorrichtung wird dann in den Abrichtring 18 hineingesetzt, und die Gegenstände legen sich dann an die Läppfläche an, wobei das Gewicht des Werkstückhalters auf die Gegenstände drückt. Die Werkstücke halten den Werkstückhalter zunächst in erhöhter Lage, so daß die Diamanten 44 von der Läppfläche abgehoben sind. Es beginnt dann das Läppen, dabei nimmt die Dicke der Gegenstände allmählich ab, bis die Diamanten 44 in Berührung mit der Läppfläche 16 kommen und den Läppvorgang beenden.In operation, each diamond is 44 at its own specific distance set, measured from the bottom surface 26 of the block 22 by means of a normal Measuring instrument. So the three stop elements are at exactly the same height is set, then a plane parallel to the plane of the surface 26 is determined. You can then on the surface 26 in the manner previously described one or attach several objects. The jig is then inserted into the dressing ring 18 put in, and the objects then lie against the lapping surface, whereby the weight of the workpiece holder presses on the objects. Hold the workpieces the workpiece holder initially in an elevated position so that the diamonds 44 from the lapping surface are lifted. Lapping then begins, increasing the thickness of the objects gradually until the diamonds 44 come into contact with the lapping surface 16 and end the lapping process.

Wenn sich die Diamanten 44 der Oberfläche 16 nähern, kommen sie allmählich in die Bahn der Läppmittelteilchen auf der rotierenden Oberfläche und verschieben die letzteren, wobei auf der Läppfläche sichtbare Spuren verbleiben, welche dem Bedienungsmann anzeigen, daß sich der Läppvorgang der Vollendung nähert. Der Fortschritt des Läppens kann also von dem Zeitpunkt an beobachtet werden, wo der erste Diamant sich dicht der Ebene der Läppfläche nähert, bis zu dem Zeitpunkt; wo der zweite Diamant und schließlich der dritte Diamant in die unmittelbare Nähe der Läppfläche kommt.As the diamonds 44 approach the surface 16, they gradually come into the path of the lapping agent particles on the rotating surface and move the latter, with visible traces remaining on the lapping surface, which the Indicate operator that lapping is nearing completion. The progress The lapping can thus be observed from the point in time where the first diamond closely approaches the level of the lapping surface by the time; where the second Diamond and finally the third diamond in the immediate vicinity of the lapping surface comes.

Bei sorgfältiger Anordnung der Gegenstände um das Zentrum der Dreieckfläche 16 kann der Niedergang der drei Diamanten fast gleichzeitig gestaltet werden, so daß der Zeitraum zwischen der Berührung des ersten Lagers und der des letzten Lagers mit der Läppfläche von äußerst kurzer oder zu vernachlässigender Dauer ist. Wichtiger jedoch ist die Tatsache, daß die Härte der Diamanten im Verhältnis zu der Härte der Läppfläche so groß ist, daß selbst bei dem vollen Gewicht der Aufspannvorrichtung, auf die drei Diamanten verteilt, kein merklicher Verschleiß der Läppfläche festzustellen ist.With careful arrangement of the objects around the center of the triangular surface 16, the decline of the three diamonds can be designed almost simultaneously, so that the period between the contact of the first bearing and that of the last bearing with the lapping surface is of extremely short or negligible duration. More important however, the fact is that the hardness of the diamond is relative to the hardness the lapping surface is so large that even with the full weight of the jig, Distributed over the three diamonds, no noticeable wear of the lapping surface is.

Beim Läppen von Kristallen werden dieselben zuerst auf der einen Seite geläppt, um eine vollkommen ebene Oberfläche zu erhalten, die parallel oder nicht parallel zu der entgegengesetzten Oberfläche sein kann. Die geläppte Oberfläche wird dann an der Oberfläche 26 des Blocks 22, wie oben beschrieben, angeheftet, und die ungeläppte Oberfläche wird dann nach dem obigen Verfahren bearbeitet, um sie vollkommen eben und parallel zu der ersten Oberfläche zu läppen. Im allgemeinen findet ein gutes Läppen statt, wenn die Kristalle auf der Oberfläche 26 so angebracht werden, daß sie völlig innerhalb der Dreieckfläche liegen, die durch die geraden Verbindungslinien der Diamanten 44 gebildet ist.When lapping crystals, they are first on one side lapped to have a perfectly flat surface that may or may not be parallel can be parallel to the opposite surface. The lapped surface is then adhered to surface 26 of block 22 as described above, and the unlapped surface is then machined by the above method to lapping them perfectly even and parallel to the first surface. In general there is good lapping with the crystals on surface 26 so attached be that they lie entirely within the triangular surface that is defined by the straight lines Connecting lines of diamonds 44 is formed.

In den Fig. 4 und 5 ist eine abgeänderte Ausführungsform des Werkstückhalters zum Läppen von optischen Prismen, wie z. B. Binokularprismen, oder von Endmaßen od. dgl. dargestellt. Bei dieser Ausführungsform ist nur die Gestalt des Körpers geändert zwecks Unterbringen der daran zu befestigenden Gegenstände, während die Diamanten und deren Einstellmittel die gleichen sind wie bei der Ausführungsform nach den Fig. 1 bis 3. Um unnötige Wiederholungen zu vermeiden, erhielten die entsprechenden Teile für die Erläuterung der beiden Ausführungsformen die gleichen Bezugsnummern, und nur dort, wo sichtliche Abweichungen vorliegen, wurden neue Bezugszeichen gewählt. Wie nun aus den Fig. 4 und 5 ersichtlich ist, hat der Werkstückhalter 12 einen Hauptkörperteil 62 und Schenkel 64, 66 und 68. Die drei Schenkel 64, 66 und 68 sind mit den Spaltbohrungen 28 versehen und nehmen darin die Stangen 40 auf. Jede Stange trägt einen Diamanten 44 (Fig. 5), der in gleicher Weise wie bei dem Werkstückhalter 10 eingestellt werden kann.4 and 5 is a modified embodiment of the workpiece holder for lapping optical prisms, such as B. binocular prisms, or gauge blocks or the like. Shown. In this embodiment, there is only the shape of the body modified to accommodate the items to be attached while the Diamonds and their adjusting means are the same as in the embodiment according to FIGS. 1 to 3. In order to avoid unnecessary repetitions, the corresponding Parts for the explanation of the two embodiments have the same reference numbers, and only where there are visible deviations have new reference numerals been chosen. As 4 and 5, the workpiece holder 12 has a main body portion 62 and legs 64, 66 and 68. The three legs 64, 66 and 68 are with the gap bores 28 and receive the rods 40 therein. Each rod carries a diamond 44 (FIG. 5), which can be set in the same way as for the workpiece holder 10 can.

Der Block hfl ist mit einer schrägen Tragfläche 70 versehen, die sich zwischen den Schenkeln 64 und 66 erstreckt und so ausgebildet ist, daß sich daran eine Fläche 72 eines Gegenstandes A', wie z. B. eines optischen Prismas, in Fig.5 in gestrichelten Linien dargestellt, anlegen kann. Das Prisma A' habe beispielsweise eine Oberfläche 74, die in hohem Grade eben geläppt werden soll, so daß dieselbe mit einer Ebene zusammenfällt, die mit der Fläche 72 des Prismas einen bestimmten, vorher festgelegten Winkel, z. B. einen solchen von 60°, bildet.The block hfl is provided with an inclined support surface 70, which extends extends between the legs 64 and 66 and is formed so that thereon a surface 72 of an object A ', such as. B. an optical prism, in Fig.5 shown in dashed lines, can create. For example, have the prism A ' a surface 74 which is to be lapped to a high degree so that the same coincides with a plane which, with the surface 72 of the prism, has a certain, predetermined angle, e.g. B. one of 60 ° forms.

Die Betriebsweise des Werkstückhalters 12 ist die gleiche wie die des Werkstückhalters 10.The operation of the workpiece holder 12 is the same as that of the workpiece holder 10.

In der Fig.6 ist eine abgeänderte Ausführungsform der Einstellmittel dargestellt. Diese Einstellvorrichtung gestattet eine sehr viel feinere Einstellung als die vorher beschriebenen Vorrichtungen dieser Art, und zwar dadurch, daß sich die gekrümmten Schlitze 50' von der Oberseite des Blocks nach unten bis zu einer Stelle erstrecken, die von der Unterseite des Blocks nicht weit entfernt ist, wo sie dann mit den horizontalen Bohrungen 52' in Verbindung stehen. Die Stellschrauben 56' befinden sich demzufolge nahe der Oberseite des Blocks 100, während die Kippachsen x'-x', um welche die Schenkelteile 54' sich bewegen können, nahe der Unterseite des Blocks liegen. Die Bewegung jedes Diamanten 44' bei Einstellung der Stellschraube 56' ist schematisch in der Fig. 8 erläutert. Aus dem Schema ist deutlich ersichtlich, daß die verhältnismäßig große Verschiebung, die durch die Seite a' dargestellt wird, wenn die Stellschraube 56' eine volle Umdrehung macht, eine sehr viel kleinere Verschiebung a" des Diamanten zur Folge hat. Diese letztere Verschiebung a" ergibt eine äußerst geringe Vertikalverschiebung v'. Wenn man nun annimmt, daß der Abstand zwischen den Achsen x'-x' und der Ebene der Stellschraube 56' gleich 50,8 mm ist und daß der Abstand zwischen der Achse x'-x' und dem Berührungspunkt 46' des Diamantlagers 44' mit der Oberfläche der Läppscheibe sich auf 6,35 mm beläuft, dann beträgt die entsprechende Verminderung des Wertes der Vertikalverschiebung v' gegenüber dem Wert der Vertikalverschiebung v (Fig. 7) ein Achtel des früheren Wertes. Die Verschiebung v' kann daher sogar noch kleiner sein als die Wellenlänge des Lichtes.6 shows a modified embodiment of the setting means shown. This adjustment device allows a much finer adjustment than the previously described devices of this type, namely in that the curved slots 50 'from the top of the block down to one Extend point that is not far from the bottom of the block where they then communicate with the horizontal bores 52 '. The adjusting screws 56 'are therefore near the top of the block 100, while the tilt axes x'-x 'around which the leg portions 54' can move, near the bottom of the block. The movement of each diamond 44 'as the set screw is adjusted 56 'is explained schematically in FIG. The scheme clearly shows that the relatively large displacement represented by the side a ', if the set screw 56 'makes a full turn, a much smaller displacement a "of the diamond. This latter displacement a" results in an extreme slight vertical displacement v '. Assuming now that the distance between the axes x'-x 'and the plane of the set screw 56' is equal to 50.8 mm and that the distance between the axis x'-x 'and the contact point 46' of the diamond bearing 44 'with the surface of the lapping disk is 6.35 mm, then the corresponding reduction in the value of the vertical displacement v 'compared to the The value of the vertical displacement v (Fig. 7) is one eighth of the previous value. The postponement v 'can therefore be even smaller than the wavelength of light.

In den vorher beschriebenen Ausführungsformen sind die Stellschrauben 56 und 56' so dargestellt, als ob ihre mit Gewinde versehenen Enden in den Hauptkörperteil des Werkstückhalters eingeschraubt werden, wobei die Schäfte lose durch den Schenkelteil hindurchgehen. Bei Drehen der Stellschraube in der einen Richtung wird also der Schenkelteil an der Aufspannvorrichtung einwärts gezogen, so daß während der Bewegung des Diamanten in seiner kreisbogenförmigen Bahn die Breite des Schlitzes vermindert wird. In der Fig.9 ist nun die Stellschraube 56a dargestellt als eingeschraubt in den Schenkelteil 54a, während sie sich mit ihrem Ende an die gegenüberliegende Seite des kreisbogenförmigen Schlitzes 50a anlegt. Es ist klar, daß bei der Drehbewegung der Stellschraube 56a in der einen Richtung der Schenkelteil 54a von dem Hauptkörperteil des Blocks abgedrückt wird, so daß das Diamantlager 44a von dem Block fort nach auswärts in einer kreisbogenförmigen Bahn geschwenkt wird.In the embodiments described above, the set screws are 56 and 56 'shown as having their threaded ends into the main body portion of the workpiece holder are screwed in, with the shafts loosely through the leg part go through. If you turn the adjusting screw in one direction, the Leg portion pulled inward on the jig so that during movement of the diamond in its circular arc-shaped path reduces the width of the slot will. In FIG. 9, the adjusting screw 56a is now shown as being screwed into the leg part 54a, while its end to the opposite side of the circular arc-shaped slot 50a applies. It is clear that when rotating of the set screw 56a in one direction of the leg portion 54a from the main body portion of the block is pushed off, so that the diamond bearing 44a away from the block after is pivoted outwards in a circular arc-shaped path.

Die Werkstückhalter sind nicht an einen Abrichtring 18 gebunden. Es kann sich eine vertikale Bohrung 20 (Fig. 1 bis 5) oder 20' (Fig. 6) zentral durch Werkstückhalter hindurcherstrecken zur Aufnahme eines (nicht dargestellten) Zentrierstiftes, der zu dem Rahmenwerk der Läppmaschine gehört und mit dessen Hilfe der Werkstückhalter an einer Drehbewegung um die Achse der Läppfläche herum gehindert wird, während sie sich doch gleichzeitig auf der Läppfläche drehen kann.The workpiece holders are not bound to a dressing ring 18. It A vertical hole 20 (Fig. 1 to 5) or 20 '(Fig. 6) can run through centrally Extend through the workpiece holder to receive a (not shown) centering pin, which belongs to the framework of the lapping machine and with its help the workpiece holder is prevented from rotating about the axis of the lapping surface, while it can rotate on the lapping surface at the same time.

Claims

PATENT CLAIMS: 1. Workpiece holder that can be placed on a lapping disc for lapping the flat surfaces of flat workpieces, consisting of a body provided with a flat surface as a support for the workpieces, in which three adjustable limit stops are arranged, protruding from the flat surface, characterized in that that deep notches (50) are provided in the body (10), which divide the body into a main body (22) and three leg parts (54) in such a way that the leg parts (54) contain the limit stops and opposite the main body to the flat surface parallel axes by means of screws (56), which can be screwed into the leg parts and bear against the main body (22), can be pivoted in an arc.

2. Workpiece holder according to claim 1, characterized in that the limit stops consist of cylindrical rods (40), which in approximately perpendicular to the flat surface (26) standing, located in the leg parts (54) and crossing the axes (52) Bores are adjustable by clamping screws (34) and attached to their have lower ends of pans (42) which are provided with stop elements (44), which have a spherical segment-shaped surface (46).

3. Workpiece holder according to claim 1, characterized in that the body (10) is essentially three-armed, wherein the incisions (50) are provided in the arms to form the three leg parts are. References considered: U.S. Patents No. 2,565,590, 2nd ed 577 312, 2 722 089.