DE1052903B

DE1052903B - Device for automatic picking up and dispensing smaller, more sensitive, z. B. fragile objects such as semiconductor cubes

Info

Publication number: DE1052903B
Application number: DES53712A
Authority: DE
Inventors: Robert Everett Hunt
Original assignee: Sylvania Electric Products Inc
Current assignee: GTE Sylvania Inc
Priority date: 1956-05-31
Filing date: 1957-05-27
Publication date: 1959-03-12

Description

Gerät zum selbsttätigen Aufnehmen und Abgeben kleiner, empfindlicher, z. B. zerbrechlicher Gegenstände, wie Halbleiterwürfel Die Erfindung betrifft ein Gerät zum selbsttätigen Aufnehmen und Abgeben kleiner, zerbrechlicher Gegenstände, wie Halbleiterwürfel.Device for automatically picking up and dispensing small, sensitive, z. B. Fragile objects such as semiconductor cubes. The invention relates to a Device for automatically picking up and dispensing small, fragile objects, like semiconductor cubes.

Eines der immer wiederkehrenden Probleme, die sich in der modernen Schnellfabrikation ergeben, ist die Handhabung kleiner, zerbrechlicher Gegenstände ohne schwerwiegenden Verlust durch Schaden oder Bruch. Wie zu erwarten, ist die elektronische Industrie wegen der vielen Einzelteile von beinahe verschwindend geringer Größe, die verwendet werden, durch solche Probleme besonders getroffen. Die technologischen Fortschritte der letzten Zeit haben weitere Schwierigkeiten hinzugefügt. So ist es in der Fabrikation von Halbleiterprodukten üblich, Einzelteile von fast mikroskopischer Größe zu verwenden. One of the recurring problems that arise in the modern day Quick fabrication is the handling of small, fragile items without serious loss from damage or breakage. As you would expect, that is electronic industry because of the many individual parts of almost vanishingly less Size that are used are particularly hit by such problems. The technological Recent advances have added further difficulties. So is it is common in the manufacture of semiconductor products, parts of almost microscopic Size to use.

Beispielsweise hängen heutige Halbleiter-Transistoren und Dioden für ihren Betrieb von den sogenannten »Würfeln« aus Germanium, Silizium oder sonstigem Halbleitermaterial ab. Die Beschaffenheit der Geräte wie die Höhe der Kosten, die damit verbunden sind, um den notwendigen Reinheitsgrad der Würfel zu erreichen, erfordern für gewöhnlich, daß jedes Gerät einen Würfel äußerst kleinen Ausmaßes besitzt. Z. B. werden in mehreren der augenblicklich hergestellten Geräte gewöhnlich Würfel verwendet, von 0,205 mal 205 mm2 und von 0,0256 mm Dicke. For example, today's semiconductor transistors and diodes hang for their operation of the so-called "cubes" made of germanium, silicon or other Semiconductor material from. The nature of the equipment such as the amount of cost that associated with achieving the necessary degree of purity of the cubes, usually require each device to be an extremely small cube owns. For example, several of the devices currently manufactured are common Cubes used, 0.205 by 205 mm2 and 0.0256 mm thick.

Wegen des direkten und steuernden Effekts, den sie auf das elektrische Verhalten kompletter Geräte ausüben, ist es notwendig, daß die Dimensionen jedes Würfels sorgfältig überprüft werden; dabei ist die Dicke die wichtigste Dimension. Because of the direct and controlling effect they have on the electrical To exercise the behavior of complete devices, it is necessary that the dimensions of each Dice are carefully checked; the thickness is the most important dimension.

Ursprünglich war es üblich, daß der Arbeiter jeden Würfel mit einer Federzange aufnahm und ihn auf eine flache Oberfläche niederlegte. Der Taster eines Teilungsanzeigers wurde dann gegen den Würfel abgesenkt und dieDimension mit ungefährer Genauigkeit bestimmt. Offenbar wäre es möglich, den Preis von Halbleitergeräten allgemein annehmbar festzulegen, wenn man bei solchen Methoden bleiben würde. Nicht nur die Arbeitsunkosten waren beträchtlich, sondern auch der Schaden, der durch die Handhabung sehr zerbrechl icher Würfd mit einer Federzange entstand, war übermäßig groß. Eine Verbesserung wurde vorgeschlagen und zur weitverbreiteten Annahme gebracht. Originally it was customary for the worker to put a Picked up spring pliers and set it down on a flat surface. The button one The division indicator was then lowered against the cube and the dimension with approx Accuracy determined. Apparently it would be possible to lower the price of semiconductor devices generally acceptable to stick to such methods. not only the labor costs were considerable, but also the damage caused by The handling of very fragile lumps with spring pliers was excessive great. An improvement has been proposed and has been widely adopted.

Diese Verbesserung bestand darin, daß zwei sich gegenläufig drehende Mikrometerwalzen vorgesehen waren, die in einem Winkel zueinander standen. Die Oberflächen der Walze sind sorgfältig abgeschliffen und der Winkel zwischen ihren Achsen ist so eingestellt, daß sich ein Zwischenraum zwischen der Walze ergibt, welcher allmählich von einem oder mehreren Tausendstel Zoll auf ein Mehrfaches dieses Wertes anwächst. Die gesamte Anordnung ist unter einem Winkel schräg geneigt, während die Würfel auf die Walzen aufgebracht werden und bis zu dem Punkt hingleiten, an dem sie zwischen den Walzen passen und in den eigentlichen Behälter fallen können.This improvement was that two counter-rotating Micrometer rollers were provided, which were at an angle to each other. The surfaces the roller are carefully sanded down and the angle between its axes is adjusted so that there is a gap between the roller, which gradually increases from one or several thousandths of an inch to a multiple of this value. The entire arrangement is inclined at an angle, while the cube on the Rollers are applied and slide to the point where they are between fit the rollers and fall into the actual container.

Milrrometerwalzen dieser Art stellen zwar eine teilweise Lösung des Problems der Messung der Dicke der Würfel für Halbleitergeräte dar. Es bleibt aber das Problem die Anordnung der Würfel auf der Walze für den Meßvorgang durchzuführen. Es ist immer noch notwendig, daß die Würfel, einer nach dem anderen, auf den Walzen angeordnet werden. Wenn sie lediglich auf den Walzen abgeladen werden würden, könnten zwei oder mehrere eine Gruppe bilden, und so den Zweck, die Würfel nach ihrer Dicke auszusondern, vereiteln. Im Ergebnis ist entweder die Technik, jeden Würfel mit einer Federzange zu handhaben und ihn auf den Walzen anzuordnen, beibehalten worden, oder der Arbeiter streicht die Würfel sanft, einen nach dem anderen, auf die Walzen. Schaden und Bruch der Würfel wurde wohl herabgesetzt, aber man sieht sich immer noch einem beträchtlichen Anteil solchen Verlustes gegenüber, und die Notwendigkeit der Handarbeit ist nur teilweise ausgeschaltet worden. Micrometer rollers of this type represent a partial solution to the Problem of measuring the thickness of the cubes for semiconductor devices. But it remains the problem to carry out the arrangement of the cubes on the roller for the measuring process. It is still necessary to put the dice, one at a time, on the reels to be ordered. If only they were dumped on the rollers, they could two or more form a group, and so the purpose of the cubes according to their thickness weed out, thwarted. The result is either the technique of using each cube to handle spring pliers and to arrange it on the rollers has been retained, or the worker gently brushes the dice, one at a time, onto the reels. Damage and breakage of the cubes has been reduced, but you always see each other nor a considerable proportion of such loss, and the necessity the manual labor has only been partially eliminated.

Nach der Erfindung ist ein Gerät zum selbsttätigen Aufnehmen und Abgeben kleiner zerbrechlicher Gegenstände, wie Halbleiterwürfel, geschaffen, bei welchem ein elektrischer Nichtleiter vorgesehen ist, dem eine elektrostatische Ladung aufgegeben wird, und der danach den kleinen Gegenständen angenähert wird, um durch elektrostatische Anziehungskraft einen Gegenstand aus der Gruppe auszuwählen. According to the invention is a device for automatic recording and Dispensing of small fragile items such as semiconductor cubes which an electrical non-conductor is provided, which an electrostatic charge is abandoned, and then the small objects are approached in order to get through electrostatic attraction to select an object from the group.

Zwar ist es schon bekannt, zum selbsttätigen Aufnehmen und Abgeben kleiner Gegenstände eine Vorrichtung zu verwenden, bei welcher ein abgewinkeltes Saugrohr unter einen Stapel aufeinanderliegender Gegenstände gebracht wird, welches den untersten Gegenstand durch Saugwirkung anzieht und ihn nach Drehung des Saugrohrs und Belüftung gegebenenfalls unter Mitwirkung eines Abstreifers abgibt. Hierbei können auch Mittel vorgesehen sein, die verhindern sollen, daß bei jedem Arbeitsgang mehr als ein Gegenstand aufgenommen und abgegeben wird. Eine derartige Vorrichtung ist jedoch, da sie über Vakuumpumpen, Ventilsteuerungen usw. verfügen muß, in jedem Falle verhältnismäßig kompliziert, wohingegen sich die Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung auf einfachste Weise verwirklichen läßt. It is already known for automatic picking up and releasing small objects to use a device in which an angled Suction tube is brought under a stack of objects lying on top of one another, which attracts the lowest object by suction and it after turning the suction tube and ventilation, if necessary with the help of a scraper. Here Means can also be provided to prevent each work step more than one item is picked up and handed over. Such a device however, since it must have vacuum pumps, valve controls, etc., it is in everyone Case relatively complicated, whereas the device according to the present Invention can be realized in the simplest way.

Ferner ist eine Bandfördereinrichtung für lose Papierblätter bekannt, bei welcher das Förderband mit dem daraufliegenden Papierblatt zwischen zwei Walzen od. dgl. hindurchgeführt wird, die eine elektrostatische Ladung aufbringen und hierdurch das Papierblatt auf dem Förderband anhaften lassen, bis es an anderer Stelle wiederum zwischen zwei an Wechselspannung angeschlossene Walzen od. dgl. durchgeleitet wird, wodurch die elektrostatische Anziehungskraft aufgehoben wird. Als Aufnahmegerät für kleine zerbrechliche Gegenstände ist eine solche bekannte Vorrichtung aber nicht gedacht und auch nicht geeignet, da z. B. beim Hindurchführen durch die verschiedenen Walzenpaare die Gegenstände leicht abgestreift, beschädigt oder durcheinandergebracht würden und sich insbesondere Schwierigkeiten ergeben würden, wenn die Gegenstände unterschiedliche Dicke besitzen, was bei dem Gerät nach der Erfindung nicht der Fall ist. Furthermore, a belt conveyor for loose paper sheets is known, in which the conveyor belt with the sheet of paper lying on it between two rollers Od. The like. Is passed, which apply an electrostatic charge and thereby Let the paper sheet adhere to the conveyor belt until it turns elsewhere is passed through between two rollers or the like connected to AC voltage, whereby the electrostatic attraction is canceled. As a recording device however, such a known device is not suitable for small, fragile objects thought and not suitable, as z. B. when passing through the various Pairs of rollers make the items easily stripped, damaged or messed up would and in particular difficulties would arise if the objects Have different thickness, which is not the case with the device according to the invention Case is.

Weitere Merkmale, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung im Zusammenhang mit den Zeichnungen. Further features, advantages and possible uses of the invention result from the following description in conjunction with the drawings.

Es zeigt Fig. 1 ein Schaubild, teilweise weggeschnitten, eines einen Gegenstand behandelnden Geräts, dargestellt gemäß der Erfindung, Fig. 2 einen teilweisen Aufriß der Oberseite, der eine Abwandlung eines Teils des Geräts nach Fig. 1 veranschaulicht, Fig. 3 einen Seitenaufriß, der eine weitere Abänderung des Geräts wiedergibt, Fig. 4 einen Oberteilaufriß der in Fig. 3 veranschaulichten Einzelheiten und Fig. 5 eine teilweise Schnittansicht entlang der Linie 5-5 nach Fig. 4. It shows Fig. 1 a diagram, partially cut away, of one one Object treating apparatus shown according to the invention, Fig. 2 is a partial Top elevation view illustrating a modification of part of the apparatus of FIG. 1, Fig. 3 is a side elevation showing a further modification of the apparatus, Fig. 4 is a top elevational view of the details illustrated in FIG. 3; and FIG. 5 is a partial sectional view along the line 5-5 of FIG. 4.

In Fig. 1 wird ein Schwingungsförderer 11 einer bekannten und in der elektronischen Industrie weithin verbreiteten Art veranschaulicht. Deswegen wird hier keine ausführliche Beschreibung der Arbeitsweise derartiger Geräte gegeben. Es genügt, festzustellen, daß das Arbeiten des Schwingungsförderers von der Schwingung eines Behälters in einem vorbestimmten mechanischen Rhythmus abhängig ist. Ein solcher Behälter ist gewöhnlich schalenförmig, wobei die innere Wand der Schale eine aufwärtsführende schraubenförmige Bahn besitzt, längs deren kleine Teile durch die Schwingungen des Förderers bewegt werden. Für gewöhnlich ist eine Anzahl der Gegenstände in dem Behälter eingebracht und die Schwingungswirkung bewegt sie zum Umfang des Behälters hin. Fortgesetzte Schwingung bewirkt, daß die Gegenstände die schraubenförmige Bahn hinaufwandern. In Fig. 1, a vibratory conveyor 11 is a known and in the type widely used in the electronics industry. Because of this no detailed description of the operation of such devices is given here. Suffice it to say that the operation of the vibratory feeder depends on the vibration a container is dependent in a predetermined mechanical rhythm. Such a The container is usually bowl-shaped with the inner wall of the bowl extending upward has a helical path, along the small parts of which the vibrations of the Conveyor are moved. Usually there are a number of items in the container introduced and the vibratory action moves them towards the periphery of the container. Continued vibration causes the objects to travel up the helical path.

Bei den Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wird eine Menge Würfel 12 eines Halbleitermaterials wie Germanium oder Silizium in den Behälter des Schwingungsförderers 11 eingebracht. Wenn die Schwingungswirkung des Förderers 11 beginnt, werden die Würfel allmählich radial nach außen bewegt und werden in einer willkürlichen Anordnung entlang dem unteren Teil der Schraubenbahn 13 verteilt. Wenn die Schwingung des Geräts anhält, rücken die Würfel auf einer Bahn 13 vor, bis sie einen Sortierabschnitt erreichen, der eine Auslaßbahn 14, eine Wandung 15 und einen Zwischenabschnitt 16 besitzt. In the embodiments of the present invention, a lot becomes Cube 12 of a semiconductor material such as germanium or silicon in the container of the vibratory conveyor 11 introduced. When the vibratory action of the conveyor 11 begins, the cubes are gradually moved radially outward and are in distributed along the lower part of the screw path 13 in an arbitrary arrangement. If the vibration of the device continues, the dice advance on a path 13, until they reach a sorting section which has an outlet path 14, a wall 15 and an intermediate portion 16 has.

Die Wandung 15 stößt an die nach außen liegende Seite der Bahn 14 an und erstreckt sich oberhalb dieser Seite der Bahn 14 bis zur Höhe der Wandung des Behälters. Der Zwischenabschnitt 16 besitzt eine Fläche, die an die andere Seite der Bahn 14 stößt und ist zum Behälterinnern hin abwärts geneigt. Die Auslaßbahn 14 ist auf diese Weise nutartig ausgebildet und wie der Zwischenabschnitt quer geneigt, obwohl weniger Neigung in dieser Bahn erfordert wird. The wall 15 abuts the outwardly lying side of the web 14 and extends above this side of the web 14 to the level of the wall of the container. The intermediate section 16 has a surface that faces the other side the web 14 abuts and is inclined downwards towards the interior of the container. The outlet path 14 is formed like a groove in this way and, like the intermediate section, is inclined transversely, although less incline is required in this orbit.

Die Oberfläche des Zwischenabschnitts 16, die an die nach innen liegende Seite der Bahn 14 anstößt, liegt über dieser Seite, um eine Kante oder Grat zu schaffen, gegen die die Würfel entlang der Bahn 14 gleiten. Die so gebildete Stufe oder Absenkung kann der Dicke der sortierten Würfel etwa gleich sein. Es ist jedoch nicht notwendig, daß die Tiefe der Stufe entlang der gesamten Länge der Auslaßbahn 14 einheitlich ist. In einigen Fällen ist es vorgezogen worden, eine Stufe zu schaffen, die am uebergang von der schraubenförmigen Bahn 13 zu der Auslaßbahn 14 etwas tiefer ist als die Dicke der Würfel, aber dann allmählich an Tiefe abnimmt, so daß die Stufe an einigen Punkten entlang der Bahn kleiner wird als die Dicke der Würfel. Wie auch aus der Zeichnung ersichtlich, ist die Ausgangsbahn 14 vorzugsweise von ihrer Verbindung mit der schraubenförmigen Bahn 13 aus zu ihrem entgegengesetzen Ende hin leicht abwärts geneigt. The surface of the intermediate portion 16 that adjoins the inward Side of the web 14, lies over this side to create an edge or ridge, against which the dice slide along the path 14. The step or depression thus formed can be roughly the same as the thickness of the sorted cubes. However, it is not necessary that the depth of the step along the entire length of the outlet path 14 is uniform is. In some cases it has been preferred to create a stage that is on transition from the helical path 13 to the outlet path 14 is somewhat deeper as the thickness of the cube, but then gradually decreases in depth, so that the step becomes smaller than the thickness of the cubes at some points along the path. As well as As can be seen from the drawing, the starting web 14 is preferably of its connection with the helical path 13 out towards its opposite end easily downward sloping.

Am entgegengesetzten Ende der Auslaßbahn 14 befindet sich eine elektrostatische Aufnahmevorrichtung, die eine zylindrische Walze 17 aufweist. Am Umfang der als Aufnehmer dienenden zylindrischen Walze 17 ist eine Einlage angebracht, die aus jedem Material hergestellt sein kann, das leicht eine elektrostatische Ladung annehmen und diese Ladung wenigstens für eine kurze Zeit behalten kann. Ein als Einlage erfolgreich verwendetes Material ist eine aus polymerisierten, fluorinierten Äthylen bestehende plastische Masse, obgleich andere Materialien, z. B. solche, wie sie unter dem Handelsnamen Nylon bekannt sind, sowie viele Glasarten, Hartgummi oder faserige Materialien, ebenfalls zufriedenstellend arbeiten. Allgemein wird angenommen, daß sich alle Materialien mit einer verhältnismäßig hohen Dielektrizitätskonstante gut bewähren. At the opposite end of the outlet path 14 is an electrostatic one Pick-up device which has a cylindrical roller 17. At the scope of the as Serving cylindrical roller 17, an insert is attached, which consists of can be made of any material that can easily accept an electrostatic charge and can hold this charge at least for a short time. A successful as a deposit The material used is a polymerized, fluorinated ethylene plastic mass, although other materials, e.g. B. such as those available under the trade name Nylon are known, as well as many types of glass, hard rubber or fibrous materials, also work satisfactorily. It is generally believed that all materials with a relatively high dielectric constant prove to be good.

In der Tat zeigen die vorliegenden Angaben, daß, je höher die Dielektrizitätskonstante des Materials ist, um so leistungsfähiger die Arbeitsweise gemäß dieser Erfindung ist.Indeed, the data available show that the higher the dielectric constant of the material, the more efficient the operation of this invention is.

Die Größe der Einlage 18 ist auch, innerhalb annehmbarer Grenzen, verhältnismäßig unwichtig. Es ist nur notwendig, daß die Dimensionen der Einlage 18 entlang der Peripherie der zylindrischen Walze 17 groß genug ist, um eine elektrostatische Ladung darauf zu ermöglichen, die durch ihre Anziehungskraft Gegenstände des in Frage kommenden Gewichts und Größe halten können. Die Länge der Einlage 18 entlang der Achse der zylindrischen Walze 17 ist vorzugsweise etwas größer als die von ihr zu übergebenden Gegenstände. Die Tiefe der Einlage radial zur zylindreschen Walze 17 ist insofern von geringerer Bedeutung, als die elektrostatische Ladung vorwiegend ein Oberflächenphänomen ist. The size of the insert 18 is also, within acceptable limits, relatively unimportant. It is only necessary that the dimensions of the insert 18 along the periphery of the cylindrical roller 17 is large enough to generate an electrostatic Charge on it to enable the objects by their attraction of the weight and size in question. The length of the insert 18 along the axis of the cylindrical roller 17 is preferably slightly larger than that objects to be handed over by her. The depth of the insert is radial to the cylindrical Roller 17 is of less importance than the electrostatic charge is predominantly a surface phenomenon.

Unterhalb der zylindrischen Walze 17 ist als Ladungsinduziervorrichtung ein Reibungsschleifkissen 19 angebracht, das aus Filz oder sonstigem geeigneten Material bestehen kann. Es ist festgestellt worden, daß Filz sehr geeignet ist, wenn die Einlage aus Polytetrafluoräthylen besteht. Eine Feder 21 hält das Reibungskissen 19 gegen die zylindrische Walze 17, während eine (nicht veranschaulichte) Druckeinstellung vo rgesehen ist, um Verschleiß, atmosphärische Bedingungen und weitere Faktoren, welche die elektrostatische Ladung beeinflussen, auszugleichen, welche durch das Reibungskissen 19 auf der Einlage 18 der zylindrischen Walze 17 hervorgerufen wird. Ein tangentialer Auslegerkratzer 23 aus dünnem Material stützt sich gegen die zylindrische Walze 17, und zwar an dem Ende, an dem die Einlage 18 angebracht ist. Der Kontakt des Kratzers 23 mit der Walze 17 wird durch eine Zugfeder 24 hergestellt. Ein Antriebsmotor 25 treibt die zylindrische Walze 17 über einen entsprechenden Antriebsmechanismus 26 an. Ein Rohr 27 ist dem Auslegerkratzer 23 benachbart, während dem Rohr durch einen Trichter oder eine Tülle 28 hindurch die von der Ausgangsbahn aufgenommenen Gegenstände, z. B. die Germanliumwürfel, zugeleitet werden. Das Rohr 27 führt zu einer Mikrometerwalzenvorrichtung 31 oder einem anderen passenden Sortier- oder Behandlungsmechanismus. Below the cylindrical roller 17 is a charge inducing device attached a friction pad 19 made of felt or other suitable Material can exist. It has been found that felt is very suitable if the insert is made of polytetrafluoroethylene. A spring 21 holds the friction pad 19 against the cylindrical roller 17 during pressure adjustment (not illustrated) is intended to reduce wear, atmospheric conditions and other factors which affect the electrostatic charge, to compensate for that caused by the Friction pad 19 on the insert 18 of the cylindrical roller 17 is caused. A tangential cantilever scraper 23 made of thin material is supported against the cylindrical one Roller 17, namely at the end to which the insert 18 is attached. The contact of the scraper 23 with the roller 17 is produced by a tension spring 24. A drive motor 25 drives the cylindrical roller 17 via a corresponding drive mechanism 26 at. A pipe 27 is adjacent the boom scraper 23 while the pipe is through a funnel or spout 28 through the received from the original web Objects, e.g. B. the germanlium cubes are supplied. The pipe 27 leads to a micrometer roller device 31 or other suitable sorting or Treatment mechanism.

In Fig. 2 ist ein anderes Ausführungsbeispiel der Aufnahmevorrichtung mehr im einzelnen dargestellt. In Fig. 2 is another embodiment of the receiving device shown in more detail.

Die als Aufnehmer dienende zylindrische Walze 37 ist durch einen im Block 39 gelenkig gelagerten Zapfen abgestützt. Die auf ihrem Umfang angebrachte Einlage 38 hat eine der zylindrischen Walzen 37 in Form entsprechende äußere Oberfläche. Zahlreiche nichtleitende Materialien können auch hier für die Einlage benutzt werden, wobei plastische Stoffe, wie Nylon oder Polytetrafluoräthylen, bevorzugt werden. Die Dimensionen der Einlage 38 sind in Achsenrichtung weniger wichtig. Allerdings ist ihre Breite in Umlaufrichtung der Walze 37 vorzugsweise etwas geringer als diejenige der Würfel 32, die aufgenommen werden, um die Möglichkeit zu vermeiden, zugleich mehr als einen Würfel aufzunehmen. Das Ende der Auslaßbahn 34 ist vorzugsweise um ein kleines Maß von der zylindrischen Walze 37 entfernt. Dies ist erwünscht, damit die Ladung, die auf der Plastikeinlage 38 gebildet ist, nicht an der Auslaßbahn entladen wird.Serving as a transducer cylindrical roller 37 is by an im Block 39 articulated journals supported. The one affixed to its perimeter Insert 38 has an outer surface corresponding to the cylindrical rollers 37 in shape. Numerous non-conductive materials can also be used here for the insert, plastic materials such as nylon or polytetrafluoroethylene are preferred. The dimensions of the insert 38 are less important in the axial direction. However its width in the direction of rotation of the roller 37 is preferably somewhat smaller than that the dice 32, which are included to avoid the possibility of at the same time to accommodate more than one cube. The end of the outlet path 34 is preferably around removed a small amount from the cylindrical roller 37. This is desirable so the charge formed on the plastic liner 38 is not on the outlet path is discharged.

In die zylindrische Walze 37 ist eine Ringnut eingeschnitten. Die Nut geht durch die Plastikeinlage 38 hindurch; mit der Nut wirkt ein Ansatz 33a des Auslegekratzers 33 zusammen. Vorzugsweise ist der Ansatz 33 a als Vorsprung am Ende des Kratzers 33 geformt. Der Vorsprung 33 a greift in die Ringnut ein und wird in Kontakt gehalten mit der Ringnut durch ein (nicht veranschaulichtes) Gegengewicht oder durch eine Federlast. Im übrigen ist auch das Gerät in dieser anderen Ausführungsform im wesentlichen identisch mit demjenigen gemäß Fig. 1. An annular groove is cut into the cylindrical roller 37. the Groove goes through plastic insert 38; a shoulder 33a acts with the groove of the lay-out scraper 33 together. Preferably, the approach 33 a is as a projection formed at the end of the scratch 33. The projection 33 a engages in the annular groove and is kept in contact with the annular groove by a counterweight (not illustrated) or by a spring load. Incidentally, the device is also in this other embodiment essentially identical to that according to FIG. 1.

Sowohl Federlast als auch Sperrschrauben sind mit Erfolg bei Anwendung der vorliegenden Erfindung benutzt worden, insoweit wie die Beibehaltung des Ladekissens und des Würfelentfernungsgerätes an Ort und Stelle gegenüber der zylindrischen Walze betroffen ist. Allerdings hat die von dem Schwingungsförderer übertragene Schwingung nach langem Gebrauch keine Ermüdung der Federn und ein Lockern der Sperrschrauben zur Folge. In den Fig. 3 und 4 wird eine Konstruktion veranschaulicht, die nicht zu den Schwierigkeiten neigt, welche aus den Schwingungen entstehen. Darüber hinaus weist diese veranschaulichte andere Konstruktion einfache Mittel zur Einstellung des Drucks des Ladekissens oder Entfernungsgeräts an der zylindrischen Walze auf, wie sich aus dem Folgenden im einzelnen ergibt. Both spring load and locking screws are successfully in use of the present invention has been used insofar as the retention of the Charging pad and the dice removing device in place opposite the cylindrical roller is affected. However, the vibration transmitted from the vibratory feeder has No spring fatigue or loosening of the locking screws after long use result. In Figs. 3 and 4 a construction is illustrated which is not tends to the difficulties arising from the vibrations. Furthermore this illustrated other construction has simple means of adjustment the pressure of the charging pad or removal device on the cylindrical roller, as can be seen from the following in detail.

Der Schwingungsförderer 41 besitzt eine ansteigende, schraubenförmige Bahn 43, die auf seiner inneren Wand gebildet ist und an der Auslaßbahn 44 endet. The vibratory conveyor 41 has an ascending, helical shape Path 43 formed on its inner wall and terminating at outlet path 44.

Die Weite der Auslaßbahn 44 ist etwas größer als die in der Behandlung befindlichen Würfel, aber schmaler als die schraubenförmige Bahn 43. Die Wandung 45 ist diagonal in ihrer Kante, die an der schraubenförmigen Bahn 43 liegt, weggeschnitten, um bequem den Zutritt der Würfel aus der schraubenförmigen Bahn 43 zur Auslaßbahn 44 zu ermöglichen. Diese Konstruktion gewährleistet einen reichlichen und steten Zufluß von Würfeln zur Auslaßbahn 44.The width of the outlet path 44 is slightly larger than that in the treatment located cube, but narrower than the helical path 43. The wall 45 is cut away diagonally in its edge, which lies on the helical path 43, for convenient access of the cubes from the helical path 43 to the outlet path 44 to enable. This construction ensures an abundant and steady Inflow of cubes to outlet path 44.

Wie am besten aus Fig. 3 ersichtlich, hat die nutartige Auslaßbahn 44 eine Stufe allmählich abnehmender Tiefe, die von der schraubenförmigen Bahn 43 gebildet wird, bis zu einem Punkt, welcher nahe an der zylindrischen Walze 47 liegt. Diese Stufe schafft, in Verbindung mit dem geneigten Mittelabschnitt 46, eine Möglichkeit, überflüssige Würfel, die gewissermaßen aufeinander reiten, wie es in der Konstruktion nach Fig. 1 der Fall ist, aus der Auslaßbahn 44 zu entfernen. Die ganze Anlage der Auslaßbahn 44, der Wandung 45 und des Zwischenabschnitts 46 können zu einer Einheit geformt werden, oder, wie veranschaulicht, gesonderte Teile bleiben. Wie auch veranschaulicht, können diese Abschnitte miteinander verriegelt werden und am Förderer 41 durch Schrauben 50 starr befestigt werden. Ferner ist bei der letztgenannten Ausführungsform der Erfindung der Zwischenabschnitt 46 nach auswärts über die zylindrische Walze 47 hinaus erweitert, um eine Lagerstütze 51 zu bilden, in welcher ein Zapfen 52 der zylindrischen Walze 47 drehbar gelagert ist. Eine Gummikupplung 53 kann bei der Übertragung von Antriebsleistung auf die zylindrische Walze 47 zur Verminderung einer Übertragung der Schwingung Anwendung finden. As best seen in Fig. 3, the groove-like outlet path 44 a step of gradually decreasing depth which is provided by the helical path 43 is formed to a point which is close to the cylindrical roller 47. This step, in conjunction with the inclined central section 46, creates the possibility of superfluous cubes, which to a certain extent ride on top of each other, as in the construction 1 is the case to be removed from the outlet path 44. The whole complex of the Outlet path 44, the wall 45 and the intermediate section 46 can form a unit be molded or, as illustrated, remain separate parts. As also illustrated these sections can be locked together and on the conveyor 41 by screws 50 can be rigidly attached. Furthermore, in the last-mentioned embodiment, the Invention of the intermediate section 46 outwards over the cylindrical roller 47 also expanded to form a bearing support 51 in which a pin 52 of the cylindrical roller 47 is rotatably mounted. A rubber coupling 53 can be used in the Transmission of drive power to the cylindrical roller 47 for reduction a transmission of the vibration find application.

Ein Gegengewicht 55 für ein Reibkissen 49 ist lösbar an einer Gelenkstange 56 mittels einer Schraube 57 befestigt. Ein ähnliches Gegengewicht 59 ist für einen Kratzer 73 lösbar an einer zweiten Gelenkstange60 mittels einer Schraube 61 befestigt. Das Reib- oder Ladekissen 49 mit einer Filzoberfläche, die gegen die zylindrische Walze 47 gedrückt wird, ist an einen flachen Stahlkörper 62 angeklebt. Ein Teil des Körpers 62 liegt unter einem Winkel von 90 Grad zu dem Teil, mit dem das Kissen 49 verklebt ist, und erstreckt sich rückwärts vom Kissen. Stange 56 ist verschweißt oder in anderer Weise fest mit dem Fortsatz des Körpers 62 verbunden. Die Stange 56 dreht sich in einem Klammerorgan 64, welches an einem flachen Metallstreifen 65 befestigt ist, der seinerseits mit dem Lagerblock 51 mittels Schrauben verbunden ist (nicht veranschaulicht) und einen unteren Teil aufweist, an dem sich eine Öffnung befindet, die zur Abstützung einer Abförderrinne 67 ausgebildet ist. A counterweight 55 for a friction pad 49 is releasable on a pivot rod 56 fastened by means of a screw 57. A similar counterweight 59 is for one Scratch 73 releasably attached to a second articulated rod 60 by means of a screw 61. The friction or charging pad 49 with a felt surface against the cylindrical Roller 47 is pressed, is glued to a flat steel body 62. A part of the body 62 is at an angle of 90 degrees to the part with which the pillow 49 is glued and extends backward from the pillow. Rod 56 is welded or fixedly connected to the extension of the body 62 in some other way. The pole 56 rotates in a clamp member 64 which is attached to a flat metal strip 65 is attached, which in turn is connected to the bearing block 51 by means of screws is (not illustrated) and has a lower part at which there is an opening is located, which is designed to support a discharge chute 67.

Das Klammerglied 64 schafft an zwei Punkten Lagerflächen für die Stange 56 an entgegengesetzten Seiten des Fortsatzes des Gliedes 62. Auf diese Weise soll das Gegengewicht das Filzkissen 49 gegen die zylindrische Walze 47 drücken, wobei der Druck verstellbar ist als Funktion der Stellung des Gegengewichts 55 auf die Stange 56. The bracket member 64 creates bearing surfaces for the at two points Rod 56 on opposite sides of the process of the limb 62. In this way, the counterweight is supposed to put the felt pad 49 against the cylindrical one Press roller 47, the pressure being adjustable as a function of the position of the Counterweight 55 on rod 56.

In ähnlicher Weise kann der Kratzer 73 in seinem Druck gegen die zylindrische Walze 47 verstellt werden. Wie am besten in Fig. 3 veranschaulicht, hat der Kratzer 73 einen gekröpften Gelenkteil 74, durch den hindurch ein Paar voneinander entfernter Löcher gebohrt sind. Die Gelenkstange 56 greift durch eine dieser Öffnungen hindurch, während der Kratzer 73 sich um diese Stange dreht. Die Gelenkstange 60 greift durch die anderen Öffnungen in Teil 74 hindurch und ist ortsfest an ihn angeschweißt. Similarly, the scratch 73 in its pressure against the cylindrical roller 47 can be adjusted. As best illustrated in Figure 3, the scraper 73 has a cranked hinge part 74 through which a pair of each other more distant holes are drilled. The toggle rod 56 engages through one of these openings while the scraper 73 rotates around this rod. The toggle rod 60 reaches through the other openings in part 74 and is fixedly welded to it.

Auf diese Weise soll das Gegengewicht 59 den Kratzer 73 gegen die zylindrische Walze 47 drücken, wobei der Druck auch eine Funktion der Stellung des Gegengewichts ist, in diesem Falle des Gegengewichts 59. In this way, the counterweight 59 is the scratch 73 against the cylindrical roller 47 press, the pressure also being a function of the position of the Counterweight is, in this case, the counterweight 59.

Der Kratzer 73 ist aus einer Stahlfederunterlage gebildet, welche vorn an ihrer Berührstelle mit der zylindrischen Walze 47 verjüngt ist. Seitenwände sind vorgesehen, von denen sich eine unterhalb der Unterlage erstreckt und über einem Ende der zylindrischen Walze 47 liegt, um zu gewährleisten, daß die von der Einlage abgekratzten Würfel der Kratzunterlage eher folgen, als daß sie in den Bereich zwischen der zylindrischen Walze 47 und dem Lagerblock 51 fallen. Die näher gelegene Wandung, wie in Fig. 3 veranschaulicht, erstreckt sich nur zur Kratzunterlage und verläuft weiter nach außen, wie am besten in Fig. 4 veranschaulicht, um Würfel aufzunehmen, die nicht genau auf die Einlage der zylindrischen Walze 47 zentriert sind. Der Kratzer 73 hört an seinem unteren Ende innerhalb eines Trichters 68 auf, der seinerseits in den Trog 67 einspeist und von ihm gestützt wird. The scratch 73 is formed from a steel spring pad, which is tapered at the front at its point of contact with the cylindrical roller 47. side walls are provided, one of which extends below and above the pad one end of the cylindrical roller 47 is to ensure that from the Insert scraped-off cubes of the scratching pad rather than inserting them into the area fall between the cylindrical roller 47 and the bearing block 51. The closer one Wall, as illustrated in Fig. 3, extends only to the scratch pad and continues outward, as best illustrated in Figure 4, to accommodate dice, which are not exactly centered on the insert of the cylindrical roller 47. The scratch 73 stops at its lower end within a funnel 68, which in turn feeds into the trough 67 and is supported by him.

Die teilweise Schnittansicht Fig. 5 zeigt einen Querschnitt durch die Auslaßbahn und den geneigten Zwischenabschnitt 46. Die Auslaßbahn 44 verläuft in Förderrichtung abwärts zu der zylindrischen Walze 47 hin. Dasselbe gilt auch für den Zwischenabschnitt 46, der in einer Ebene liegt, parallel zu jener der Bahn 44, wenn eine Stufe konstanter Tiefe verwendet wird, oder der Zwischenabschnitt, wie veranschaulicht, steiler abfallen kann als die Bahn 44, wenn eine Stufe allmählich abnehmender Tiefe erwünscht ist. In Fig. 5 wird klar gezeigt, daß sowohl die Auslaßbahn 44 als auch der Zwischenabschuitt 46 in einem Neigungswinkel zur Horizontalen abgeschnitten sind, um zu gewährleisten, daß überschüssige Würfel ihren Weg zurück in den Schwingungsförderer 41 finden. Ein Winkel von 15 Grad ist als sehr zufriedenstellend für die Zwecke dieser Erfindung befunden worden. The partial sectional view of FIG. 5 shows a cross section through the outlet path and the inclined intermediate section 46. The outlet path 44 extends in the conveying direction downwards to the cylindrical roller 47. The same is also true for the intermediate section 46 which lies in a plane parallel to that of the track 44, if a constant depth step is used, or the intermediate section, as illustrated, may drop more steeply than path 44 when one step is gradual decreasing depth is desired. In Fig. 5 it is clearly shown that both the outlet path 44 and the intermediate section 46 cut off at an inclination angle to the horizontal to ensure that excess cubes find their way back into the vibratory feeder 41 find. An angle of 15 degrees is considered very satisfactory for the purpose of this invention.

Die andere Konstruktion der zylindrischen Walze wie in Fig. 2 veranschaulicht, kann in der in Fig. 3 und 4 veranschaulichten Ausführungsform verwendet werden. Man muß nur den Kratzer abändern,um einen Vorsprung an seinem Ende zu schaffen, der mit der Nut der zylindrischen Walze zusammenwirkt. The other construction of the cylindrical roller as illustrated in Fig. 2, can be used in the embodiment illustrated in Figs. You just have to modify the scratch to create a protrusion at its end, which cooperates with the groove of the cylindrical roller.

Im Folgenden wird die Arbeitsweise gemäß der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf Fig. 1 beschrieben, doch läßt sich die Beschreibung mit kleineren Abweichungen auch auf das oben erörterte Ausführungsbeispiel anwenden. Die Arbeitsweise beginnt mit der Einlagerung eines Ouantums von Würfeln in den Schwingungsförderer. Die Würfel schwingen nach außen zur Wand des Behälters und folgen dann der schraubenförmigen Bahn 13, bis sie an die Auslaßbahn 14 gelangen, wo einige der Würfel doppelt oder dreifach über- einander gehäuft ankommen können. An diesem Punkt treffen sie auf die nach dem Behälterinnern hin abwärts geneigte Auslaßbahn. Die kontinuierliche B ewegung des Schwingungsförderers verursacht, daß überschüssige Würfel aus der Auslaßbahn 14 herausgeschüttelt werden über den Kamm, der durch die angrenzende Fläche des Zwischenabschnitts 16 gebildet wird. Die nach dem Behälterinnern hin abwärts geneigte Oberfläche des Zwischenabschnitts 16 leitet die überschüssigen Würfel zurück in den Behälter. Sobald die Würfel das Ende der Auslaßbahn 14 erreichen, das an der zylindrischen Walze 17 liegt und wo die Tiefe der nutartigen Bahn 14 der Dicke der Würfel entweder gleich ist oder geringer, liegen sie nicht mehr einer über einem anderen, sondern bewegen sich gewissermaßen im »Gänsemarsch«, so daß nur jeweils ein Würfel von der Einlage 18 der zylindrischen Walze 17 angezogen wird. The following is the operation according to the present invention described with reference to Fig. 1, but the description can be with smaller Apply deviations also to the exemplary embodiment discussed above. The way of working begins with the storage of an ouantum of cubes in the vibratory conveyor. The cubes swing outward towards the wall of the container and then follow the helical one Lane 13 until they get to the outlet lane 14 where some of the cubes double or triple can arrive at each other in bulk. At this point they hit the outlet path inclined downwards towards the inside of the container. The continuous Movement of the vibratory conveyor causes excess cubes to come out of the Outlet track 14 are shaken out over the comb, which is through the adjacent Surface of the intermediate portion 16 is formed. The one towards the inside of the container downward sloping surface of the intermediate portion 16 directs the excess Put the cubes back in the container. As soon as the cubes reach the end of the outlet path 14, which lies on the cylindrical roller 17 and where the depth of the groove-like path 14 the thickness of the cubes is either the same or less, they are no longer one over another, but rather move in "single file" so that only one cube at a time is attracted to the insert 18 of the cylindrical roller 17.

Wenn sich die zylindrische Walze 17 an dem Reibungskissen 19 vorbei dreht, verursacht die Reibwirkung der Einlage 18 über dem Kissen 19 eine elektrostatische Ladung, die an der Oberfläche der Einlage 18 entsteht. Die Einlage 18 setzt ihre Drehbewegung fort über die Kante der Auslaßbahn 14. Der erste Würfel in der Reihe wird dabei von der Einlage 18 aufgenommen und aufwärts über den Kratzer 23 getragen. An diesem Punkt schabt der Kratzer 23 oder hebt den Würfel von der Einlage 18 an und kann außerdem einen Teilbetrag oder die gesamte statische Ladung von der Einlage 18 entfernen. Dann fällt der Würfel in eine Röhre oder auf einen Trog 28 und schließlich in eine Mikrometerwalzenvorrichtung 31 oder andere Wanderungsstationen. When the cylindrical roller 17 passes the friction pad 19 rotates, causes the rubbing effect of the insert 18 over the pad 19 an electrostatic Charge generated on the surface of the insert 18. The insert 18 sets yours Rotation continues over the edge of the outlet track 14. The first cube in the row is taken up by the insert 18 and carried upwards over the scraper 23. At this point the scraper 23 scrapes or lifts the cube from the insert 18 and can also remove some or all of the static charge from the liner 18 remove. Then the cube falls into a tube or trough 28 and finally into a micrometer roller device 31 or other migration stations.

Bei weiterer Drehbewegung der zylindrischen Walze 17 geht die Einlage 18 an dem Reibungskissen 19 noch einmal vorbei, und die Einlage 18 erhält eine neue Aufladung, wodurch das Aufnehmen und Entladen eines weiteren Würfels in der oben beschriebenen Weise bewirkt wird. If the cylindrical roller 17 continues to rotate, the insert goes 18 past the friction pad 19 once more, and the insert 18 receives a new one Charging, which means picking up and unloading another cube in the above described manner is effected.

Das Heranführen von Würfeln entlang der Ausgangsbahn braucht nicht notwendigerweise mit der Drehbewegung der zylindrischen Walze 17 synchronisiert zu werden. In der Tat soll die Wirkung des Schwingungsförderers 11 normalerweise für mehr Würfel sorgen als erforderlich sind, um mit der Drehbewegung der zylindrischen Walze 17 Schritt zu halten. Würfel, welche am Ende der Bahn 14 nicht von der Einlage 18 aufgenommen sind, fallen in derselben Art in den Behälter zurück wie iiberschüssige Würfel an den anderen Teilen der Bahn 14. Auch dieses wird wiederum bewirkt durch den Zwischenabschnitt 16. There is no need to bring cubes along the exit path necessarily synchronized with the rotation of the cylindrical roller 17 to become. Indeed, the action of the vibratory conveyor 11 should normally provide for more cubes than are required to cope with the rotary motion of the cylindrical Roller 17 to keep up. Dice, which at the end of the track 14 are not from the insert 18, fall back into the container in the same way as excess Dice on the other parts of the path 14. This is again effected by the intermediate section 16.

Die Geschwindigkeit des Vorgangs läßt sich über einen weiten Bereich lediglich durch eine Steigerung der Drehgeschwindigkeit der zylindrischen Walze 17 ändern.The speed of the process can be over a wide range simply by increasing the rotational speed of the cylindrical roller 17 change.

Nebenbei sei bemerkt, daß der Zwischenabschnitt nicht die hier offenbarte massiveKonstruktionzu haben braucht. Wo es z. B. nicht erwünscht ist, eine Fortsetzung des Zwischenabschnitts als Tragstütze zu verwenden, kann ein Stück Blechmaterial an die innere Seite der Auslaßbahn in einer solchen Stellung befestigt werden, daß die obere Kante sich über die innere Seite der Bahn um einen gleichbleibenden oder allmählich abnehmenden Betrag erstreckt. Die Höhe der auf diese Weise gebildeten Kante oder Grates sollte, wie oben in anderen Ausführungsbeispielen ausführlich offenbart, vorzugsweise etwas geringer sein als die Dicke des Würfels an einem Punkt entlang der Bahn. As an aside, it should be noted that the intermediate section does not disclose that here need to have massive construction. Where there B. is not desired, a continuation To use the intermediate section as a support, a piece of sheet metal can be used be attached to the inner side of the outlet path in such a position that the top edge extends over the inner side of the web by a constant or gradually decreasing amount stretches. The amount of educated in this way Edge or ridges should, as detailed above in other embodiments disclosed, preferably be slightly less than the thickness of the cube at one point along the track.

Es besteht keine Notwendigkeit, die verschiedenen Teile, wie z. B. den Schwingungsförderer, die umlaufende Walze 17, den Kratzer 23 oder den Motorantrieb 25, elektrisch zu isolieren. Die Erfindung bewährt sich im Betrieb auch, wenn alle diese Elemente auf demselben Potential liegen. Die einzige, im Augenblick bekannte Beschränkung als mögliche Quelle von Schwierigkeiten ist die Anordnung des Endes der Auslaßbahn 14 mit Bezug auf die zylindrische Walze 17. Wenn der Abstand zu kurz ist, kann die Einlage 18 zweifellos entladen werden, wenn sie an der Kante der Auslaßbahn 14 entlangläuft. Es gibt keine ersichtliche Beschränkung auf die Zahl der verschiedenen Materialien, die erfolgreich als Einlage 18 benutzt werden können. Viele der plastischen Stoffe, Gläser und Faserstoffe bewähren sich im Betrieb gut. Die Einlage braucht auch nicht eine »Einlage« als solche zu sein, sondern kann an oder auf der äußeren Fläche des Körpers, der sie abstützt, angebracht sein. Es ist auch möglich, daß die zylindrische Walze 17 oder ein andersartiger Aufnehmer aus einem Nichtleiter bestehen. There is no need to change the various parts such as B. the vibratory conveyor, the rotating one Roller 17, the scraper 23 or to electrically isolate the motor drive 25. The invention has proven itself in Operation also when all these elements are at the same potential. The only, currently known limitation is a potential source of trouble the arrangement of the end of the outlet path 14 with respect to the cylindrical roller 17. If the distance is too short, the insert 18 can undoubtedly be discharged when it runs along the edge of the outlet path 14. There is no apparent limit on the number of different materials successfully used as an insert 18 can be. Many of the plastic fabrics, glasses and fibers prove themselves good in operation. The deposit also does not need to be an "deposit" as such, but can be attached to or on the outer surface of the body that supports it be. It is also possible that the cylindrical roller 17 or some other type Transducers consist of a non-conductor.

Die veranschaulichte Konstruktion ist jedoch nach den Gegebenheiten zu bevorzugen, um eine Aufladung an anderen Stellen als der Einlage zu verhüten.The illustrated construction is, however, according to the circumstances preferable to avoid charging anywhere other than the insert.

Gegenstände aller Werkstoffsorten lassen sich mit dem Gerät behandeln. Halbleiter, Leiter und Isolatoren sind sämtlich erfolgreich mit der erfindungsgemä-Ben Entnahmevorrichtung behandelt worden. Von der elektrischen Ladung wird angenommen, daß sie ein Oberflächenphänomen ist und nicht durch die ganze Einlage auftritt. Wegen dieser lokalisierten Ladung ist kein Bestreben der Ableitung durch das umgebende Material wahrgenommen worden. Objects of all types of material can be treated with the device. Semiconductors, conductors and insulators are all successful with the invention Removal device has been treated. From the electric charge it is assumed that it is a surface phenomenon and does not appear through the entire insert. Because of this localized charge, there is no tendency to dissipate it through the surrounding area Material has been perceived.

Außer den oben beschriebenen Kratzgeräten können andere Mittel und Verfahren Anwendung finden, um die kleinen Teile von der Einlage wegzubringen. Beispielsweise kann zur Abgabe des Gegenstandes jeweils eine elektrische Entladung der Einlage bewirkt werden, indem die Einlage durch einen an radioaktive Ausströmung angrenzenden Bereich geführt wird. Auf diese Weise können eine oder mehrere Elektroden mit radioaktiviertem Material an ihren äußersten Enden, nahe der Umlaufbahn der Walzel7, die Einlage 18 entladen und kontaktfreies Entfernen der Gegenstände bewirken, die an der Einlage durch ihre elektrostatische Ladung haften. In addition to the scratching devices described above, other means and Methods are used to move the small parts away from the liner. For example an electrical discharge of the insert can be used to deliver the object be effected by the insert through an adjacent to radioactive leakage Area is guided. In this way you can have one or more electrodes with radioactivated Material at its extreme ends, close to the orbit of the roller7, the insert 18 discharged and cause non-contact removal of the objects attached to the insert stick by their electrostatic charge.

Obgleich die Erfindung mit Bezug auf besondere Ausführungsformen beschrieben wurde, die bei der Behandlung von Halbleiterwürfeln nützlich sind, läßt sich die Erfindung ohne weiteres auch auf die Behandlung kleiner Teile verschiedener Arten oder Eigenschaften anwenden. Die Erfindung ist auch nicht auf Geräte wie zylindrische Walzen beschränkt. So würde es durchaus praktisch durchführbar sein, die MaBnahmen der Erfindung bei einem Förderband anzuwenden, das aufladbare Teile über seiner Länge aufweist. Die Bewegung zwischen den zu behandelnden Teilen, dem Ladungs- und Entfernungsgerät relativ zu dem in Ladung befindlichen Körper ist jeder Abwandlung fähig. Although the invention with reference to particular embodiments which are useful in the processing of semiconductor dies the invention also readily applies to the treatment of small parts of various types Apply styles or properties. The invention also does not apply to devices such as cylindrical Rolling limited. So it would be perfectly feasible to take the measures of the invention to apply to a conveyor belt carrying chargeable parts over its Having length. The movement between the parts to be treated, the cargo and Removal device relative to the body being charged is any variation able to.

PATENTANSPRtJCHE; 1. Gerät zum selbsttätigen Aufnehmen und Zuführen kleiner, empfindlicher, z. B. zerbrechlicher Gegenstände wie Halbleiterwürfel, dadurch gekennzeichnet, daß ein elektrischer Nichtleiter vorgesehen ist, dem eine elektrostatische Ladung aufgegeben wird und der danach den kleinen Gegenständen angenähert wird, um durch elektrostatische Anziehungskraft einen Gegenstand aus der Gruppe aufzunehmen. PATENT CLAIMS; 1. Device for automatic picking up and feeding smaller, more sensitive, e.g. B. fragile objects such as semiconductor cubes, thereby characterized in that an electrical non-conductor is provided to which an electrostatic Charge is released and then approached to the small objects, to pick up an object from the group by electrostatic attraction.

Claims

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the dielectric (18) is located on the outer surface of a transducer (17).

3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the objects (12) are brought up to the sensor (17) by means of conveying means (11), while the pickup is moved so that it is close to the objects with the dielectric (18) passes by.

4. Apparatus according to claim 3, characterized in that the conveying means (11) bring the objects (12) in a groove-like outlet path (14) which is laterally bounded by a wall (15) and an intermediate section (16), at least a part of which extends above the bearing surface of the outlet path by an amount which is not greater than the thickness of the objects (12), where dile Ausiaßbahn the objects in a known manner from a container over a Very lobe-shaped, sloping track (13) with the help of a vibration conveyor (11 or 41) receives.

5. Apparatus according to claim 4, characterized in that the depth of the groove-like outlet path (14) opposite the surface of the intermediate section (16) gradually decreases in the conveying direction.

6. Apparatus according to claim 4 or 5, characterized in that the Outlet track (14) via a downward connecting piece to the upper end of the helical path (13) is connected.

7. Apparatus according to claims 4 to 6, characterized in that the Outlet track (14) is inclined downward in the conveying direction.

8. Apparatus according to one or more of claims 2 to 7, characterized characterized in that between the pickup (17) and a group of the small objects a relative movement by means of a drive (25) is exercised in such a way that the distance between the dielectric (18) and the objects approaches a minimum, until an object from the group is picked up and when the pickup moves on is taken.

9. Device according to one or more of claims 2 to 8, characterized characterized in that the pick-up comprises a rotatably driven cylindrical roller (17 or 37), on the circumference of which the dielectric (18) is embedded, the electrostatic Charge is periodically supplied to the dielectric by a charge inducer (19) will.

10. Device according to one or more of claims 3 to 9, characterized characterized in that every object that is picked up by the dielectric (18), is dropped by it when it wanders past a pick-up device (23 or 33), which is adjacent to the transducer.

11. Apparatus according to claims 9 and 10, characterized in that the Charge inducing device a friction pad (19) and the pick-up device Scratches (23 or 33), each of which is pressed resiliently on the circumference of the roller (17) will.

12. Apparatus according to claim 11, characterized in that the scratch (33) has a projection (33a) which engages in an annular groove of the roller.

13. Apparatus according to one or more of claims 10 to 12, characterized characterized in that the Abnehrnervorriahtung (23 or 33) at least one causes partial discharge of the non-conductor (18).

14. Apparatus according to one or more of claims 10 to 13, characterized characterized in that a funnel (28) is provided for receiving the objects, falling from the dielectric (18), the outlet of the funnel by means of one Trough (27) is connected to a device (31), which the objects after sorted by their thickness.

Considered publications: German Patent Specifications No. 844 574, 892 128; Swiss patent specification No. 261 758.