DE1046781B

DE1046781B - Device for the manufacture of electrical wound capacitors

Info

Publication number: DE1046781B
Application number: DES45872A
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Karl-Georg Guenther; Dr Walter Haenlein; Heinz Kehbel
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1955-09-30
Filing date: 1955-09-30
Publication date: 1958-12-18

Description

DEUTSCHESGERMAN

Es sind elektrische Kondensatoren bekannt, die dadurch hergestellt werden, daß zwei als Dielektrikum dienende Isolierstoffolien mit zwei Metallbahnen, die die Belegung bilden, aufgewickelt werden. Es ist auch bereits bekannt, die jeweilige Isolierstoffolie auf der einen Seite mit einem ihr anhaftenden Metallüberzug zu versehen und diesen als Belegung zu benutzen, so daß es alsdann genügt, zur Herstellung eines Kondensators zwei derartige Isolierstoffolien mit Metallüberzug aufzuwickeln. Man pflegt Kondensatoren der vorgenannten Art als Wickelkondensatoren zu bezeichnen.There are electrical capacitors known, which are produced in that two as a dielectric Serving Isolierstoffolien with two metal tracks, which form the occupancy, are wound up. It is also already known, the respective insulating film on one side with a metal coating adhering to it to provide and to use this as an assignment, so that it is then sufficient for the production a capacitor to wind up two such insulating films with a metal coating. We take care of capacitors of the aforementioned type to be referred to as wound capacitors.

Wie bekannt ist, kann man das »Aufwickeln« gleichzeitig mit der Herstellung der Elektrodenbahnen und der Dielektrikumsschichten durchführen, indem im Vakuum auf einen sich drehenden zylindrischen Träger gleichzeitig oder nacheinander Metall und ein als Dielektrikum geeigneter Isolierstoff aufgedampft oder aufgespritzt werden. Das Verfahren läßt sich in verschiedener Weise durchführen, z. B. so, daß auf dem sich drehenden Träger zwei spiralförmige metallische Bahnen (»Belegungen«) mit zwei ebenfalls spiralförmigen Bahnen des Dielektrikums entstehen. Man kann auf dem sich drehenden Träger auch zylindrische Schichten bilden, die wechselweise aus dem als Belegung dienenden Metall und aus dem Dielektrikum bestehen. Nach der Art ihrer Herstellung lassen sich auch diese Kondensatoren als »Wickelkondensatoren« (im weiteren Sinne) bezeichnen, zumal in der Regel die einzelne Schicht im Verlaufe mehrerer Umdrehungen des Trägers entsteht und so spiralförmig »aufwächst«, also für sich einen Wickel bildet.As is known, the "winding up" can be carried out simultaneously with the production of the electrode tracks and the dielectric layers by simultaneously or successively evaporating or spraying metal and an insulating material suitable as a dielectric in a vacuum onto a rotating cylindrical carrier. The method can be carried out in various ways, e.g. B. so that two spiral-shaped metallic tracks ("assignments") with two spiral-shaped tracks of the dielectric arise on the rotating carrier. You can also form cylindrical layers on the rotating carrier, which alternately consist of the metal serving as the coating and the dielectric. Depending on the way they are manufactured, these capacitors can also be referred to as "wound capacitors" (in a broader sense), especially since the individual layer usually arises over the course of several revolutions of the carrier and thus "grows up" in a spiral, i.e. forms a winding on its own.

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, mit der das vorerwähnte Verfahren besonders wirtschaftlich und ergiebig angewandt werden kann. Ihr Wesen besteht darin, daß die Vakuumkammer mit einer Vielfachhaltevorrichtung ausgerüstet ist, an der eine Vielzahl von zylindrischen Trägern drehbar gelagert ist, in Verbindung mit Antriebsmitteln, die die Vielfachhaltevorriehtung mit geringer Geschwindigkeit an den Verdampfungsschiffchen vorbeidrehen und die gleichzeitig die einzelnen Träger mit einer wesentlich höheren Geschwindigkeit relativ zur Haltevorrichtung drehen, und daß vier (oder acht oder zwölf usw.) durch Schirmwände getrennte und mit Blenden abgedeckte Verdampfungsschiffchen vorgesehen sind, die abwechselnd zum Verdampfen von Metall und zum Verdampfen von Isolierstoff dienen.The invention relates to a device with which the aforementioned method is particularly economical and can be used abundantly. Its essence is that the vacuum chamber has a multiple holding device is equipped, on which a plurality of cylindrical supports rotatably mounted is, in connection with drive means, the multiple holding device rotate past the evaporation boats at low speed and at the same time the individual carriers with a substantial rotate at a higher speed relative to the holding device, and that four (or eight or twelve, etc.) Evaporation boats separated by screen walls and covered with screens are provided which serve alternately to evaporate metal and to evaporate insulating material.

Zur weiteren Erläuterung wird auf die Zeichnung Bezug genommen, es zeigtFor further explanation, reference is made to the drawing, it shows

Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen Kondensator der hier in Betracht kommenden Art,1 shows a longitudinal section through a capacitor of the type under consideration here,

Fig. 2 einen Querschnitt durch den Kondensator nach Fig. 1,FIG. 2 shows a cross section through the capacitor according to FIG. 1,

Vorrichtung zur Herstellung
von elektrischen WickelkondensatorenDevice for manufacturing
of electrical wound capacitors

Anmelder:Applicant:

Siemens-SchuckertwerkeSiemens-Schuckertwerke

Aktiengesellschaft,Corporation,

Berlin und Erlangen,Berlin and Erlangen,

Erlangen, Werner-von-Siemens-Str. 50Erlangen, Werner-von-Siemens-Str. 50

Heinz Kehbel, Redwitz, Dr. Walter Hänlein, Erlangen, und Dipl.-Phys. Karl-Georg Günther, Nürnberg,Heinz Kehbel, Redwitz, Dr. Walter Hänlein, Erlangen, and Dipl.-Phys. Karl-Georg Günther, Nuremberg,

sind als Erfinder genannt wordenhave been named as inventors

Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel der neuen Bedampfungsvorrichtung, 3 shows an exemplary embodiment of the new vapor deposition device,

Fig. 4 ein Ausführungsbeispiel für die Kühlung des Trägers während des Bedampfungsvorganges.4 shows an exemplary embodiment for cooling the carrier during the vapor deposition process.

Zur Herstellung des Wickelkondensators wird, wie aus Fig. 1 und 2 ersichtlich, ausgegangen von einem zylindrischen Träger 2, der aus Metall, aber auch aus einem Keramikkörper, z. B. einem Porzellankörper od. dgl., oder — vorzugsweise — aus einem Glaskörper bestehen kann. Es ist vorteilhaft, für den Träger 2 einen Stoff zu benutzen, der in seinem Ausdehnungskoeffizienten übereinstimmt mit dem Ausdehnungskoeffizienten des zur Aufdampfung gelangenden Dielektrikums, für das insbesondere Glas gewählt wird. An sich wären der Stoff für den Träger 2 und für das zur Aufdampfung gelangende Dielektrikum auch anzupassen an den Ausdehnungskoeffizienten der zur Aufdampfung gelangenden Metallbahnen. Da diese Metallbahnen jedoch außerordentlich dünn sind, z. B. nur eine Dicke von etwa 0,1 μ, haben, so können diese Metallbahnen den Spannungen, die bei Temperaturänderungen auf sie durch den Träger 2 und das Dielektrikum ausgeübt werden, nachgeben.To produce the wound capacitor, as can be seen from FIGS. 1 and 2, a cylindrical carrier 2, which is made of metal, but also of a ceramic body, e.g. B. a porcelain body. The like. Or - preferably - can consist of a glass body. It is advantageous to use a substance for the carrier 2 whose coefficient of expansion corresponds to the coefficient of expansion of the dielectric material used for vapor deposition, for which glass in particular is selected. As such, the substance for the carrier 2 and for the dielectric that is used for vapor deposition would also have to be adapted to the expansion coefficients of the metal tracks that are used for vapor deposition. However, since these metal sheets are extremely thin, e.g. B. only have a thickness of about 0.1 μ, these metal tracks can yield to the stresses that are exerted on them by the carrier 2 and the dielectric in the event of temperature changes.

Auf den hohl ausgeführten zylindrischen Träger 2 werden wechselweise zylindrische Schichten aus Metall und aus Dielektrikum aufgedampft. Die zuerst aufgedampfte Metallschicht ist mit 20, die nachfolgende Dielektrikumsschicht mit 21., die darauffolgende Metallschicht mit 22, die auf diese aufgebrachte Dielektrikumsschicht mit 23 und die folgende Metallschicht wieder mit 20 bezeichnet. Fig. 1 und 2 zeigen den Träger 2 in dem Zustande, in dem auf ihn erstAlternating cylindrical layers are made on the hollow cylindrical carrier 2 Metal and vapor-deposited dielectric. The first vapor-deposited metal layer is 20, the next Dielectric layer with 21st, the subsequent metal layer with 22, which is applied to this Dielectric layer with 23 and the following metal layer again with 20. Figures 1 and 2 show the carrier 2 in the state in which only on him

809 699/446809 699/446

einige Schichten aufgedampft sind. Es folgen also noch — miteinander abwechselnd — weitere Schichten aus dem verwendeten Dielektrikum und aus dem als Belegung dienenden Metall.some layers are vapor-deposited. So there follow - alternating with each other - further layers from the dielectric used and from the metal used as the covering.

Bei der bevorzugten Ausführung wird die einzelne Metallschicht in einer Dicke von etwa 0,1 μ und die einzelne Isolierstoffschicht, ζ. B. Glasschicht, in einer Dicke von einigen μ, ζ. B. etwa 3 bis 5 μ, aufgedampft. Diese Dickenverhältnisse kommen in der Zeichnung nicht zum Ausdruck, da sonst die Darstellung undeutlich würde. Die Zeichnung gibt somit die Größenverhältnisse nicht richtig wieder.In the preferred embodiment, the single metal layer is about 0.1 μ thick and the single layer of insulating material, ζ. B. glass layer, with a thickness of a few μ, ζ. B. about 3 to 5 μ, vapor-deposited. These thickness ratios are not expressed in the drawing, otherwise the representation is unclear would. The drawing therefore does not correctly reflect the proportions.

Es muß dafür gesorgt werden, daß die aufeinanderfolgenden Metallbelegungen nicht an den Rändern miteinander in Berührung kommen, also nicht infolge einer ungeeigneten Durchführung des Bedampfungsvorganges ineinander übergehen. Wie man aus Fig. 1 ersieht, wird die einzelne Metallbelegung gegenüber der vorhergehenden Metallbelegung in der Längsrichtung des Trägers 2 versetzt, so daß sich auf jeder Seite eine Zone ergibt, innerhalb der nur die Metallbelegungen 20 bzw. die Metallbelegungen 22 bis an den rechten bzw. bis an den linken Rand des »Wickels« herantreten, während die andere Gruppe um die Strecke« zurückbleibt. In den beiden Randbereichen α müßte theoretisch, damit man einen gleichmäßigen Wickel erhält, die Glasschicht 21, 23 usw. um die Dicke der hier nicht hineinreichenden Metallbelegung stärker aufgetragen werden. Das läßt sich dadurch erreichen, daß man in dem einzelnen Bereich α den Austrittsschlitz des Verdampfungsschiffchens etwas weiter hält als auf seiner übrigen Länge. Zu diesem Punkt ist andererseits zu berücksichtigen, daß, wie schon angegeben ist, die einzelne Metallbelegung wesentlich dünner ist als die zugehörige Dielektrikumsschicht. Wenn nur ein »Wickel« mit einer Gesamtstärke von 1 mm oder einigen mm aufgedampft wird, kann im allgemeinen in den Zonen α die Dielektrikumsschicht in der gleichen Dicke aufgetragen werden wie im übrigen Bereich, ohne daß sich Schwierigkeiten ergeben. Infolgedessen sind in der Regel besondere Maßnahmen für die Randbereiche α nicht notwendig.It must be ensured that the successive metal deposits do not come into contact with one another at the edges, that is, do not merge into one another as a result of an unsuitable implementation of the vapor deposition process. As can be seen from Fig. 1, the individual metal coating is offset from the previous metal coating in the longitudinal direction of the carrier 2, so that there is a zone on each side within which only the metal coatings 20 or the metal coatings 22 to the right or . Step up to the left edge of the "wrap" while the other group lags behind. In the two edge regions α, in order to obtain a uniform roll, the glass layer 21, 23 etc. would theoretically have to be applied more thickly by the thickness of the metal coating which does not reach into here. This can be achieved by holding the exit slot of the evaporation boat somewhat further in the individual area α than along its remaining length. At this point, on the other hand, it must be taken into account that, as already stated, the individual metal coating is considerably thinner than the associated dielectric layer. If only a "winding" with a total thickness of 1 mm or a few mm is vapor-deposited, the dielectric layer can generally be applied in the zones α in the same thickness as in the rest of the area, without any difficulties. As a result, special measures for the edge areas α are usually not necessary.

Soweit erforderlich, kann man durch späteres Abschleifen der Stirnseiten des »Wickels« den Rand der Metallbelegungen 20 und den Rand der Metallbelegungen 22 gut freilegen. Anschließend werden durch »Anschoopen« oder durch ein sonstiges geeignetes Verf anfahren Kontaktflächen 10 bzw. 11 auf den Stirnseiten angebracht, deren eine also nur mit den Metallbelegungen 20 und deren andere nur mit den Metallbelegungen 22 elektrisch verbunden ist und an die wiederum Anschlußklemmen, Anschlußfahnen od. dgl. angeschlossen werden. Statt Glas kann auch ein anderer Stoff zur Bildung des Dielektrikums benutzt werden. Es kommen hierfür an sich beliebige Isolierstoffe in Betracht, naturgemäß vor allem solche, die eine hohe Dielektrizitätskonstante besitzen, wie insbesondere Titanate, Niobate, Fluoride oder Mischungen dieser Stoffe untereinander oder mit anderen Stoffen. Man kann auch bei Verwendung von Glas für das Dielektrikum durch Wahl der Glassorte eine hohe Dielektrizitätskonstante erreichen. Als vorteilhaft haben sich unter diesem Gesichtspunkt besonders Blei-Borsäure-Gläser erwiesen.If necessary, the edge of the Expose metal deposits 20 and the edge of the metal deposits 22 well. Then by »Anschoopen« or use some other suitable method to approach contact surfaces 10 or 11 on the end faces attached, one of which only with the metal assignments 20 and the other only with the metal assignments 22 is electrically connected and to which in turn terminals, connecting lugs or the like. Connected will. Instead of glass, another material can also be used to form the dielectric. Any desired insulating materials can be used for this purpose, naturally especially those that have a high Have dielectric constant, such as in particular titanates, niobates, fluorides or mixtures of these Substances with each other or with other substances. One can also use glass for the dielectric Achieve a high dielectric constant by choosing the type of glass. Have proven to be beneficial From this point of view, lead-boric acid glasses have proven particularly useful.

Für die als Belegung dienenden Metallbahnen 21, 22 wird vorzugsweise ein leicht verdampfbares Metall oder eine Metallegierung oder Metallverbindung benutzt, insbesondere kommt Blei (Pb), Zink (Zn) oder Kadmium (Cd) und vor allem Aluminium (Al) in Betracht.An easily vaporizable metal is preferably used for the metal tracks 21, 22 used as covering or a metal alloy or metal compound is used, in particular lead (Pb), zinc (Zn) or Cadmium (Cd) and especially aluminum (Al) can be considered.

Zur Erzeugung der erforderlichen Verdampfungstemperatur in den Verdampfungsschiffchen wird insbesondere eine elektrische Widerstandsheizung mit Heizwiderständen verwendet, vor allem in der Weise, daß die Schiffchenwandung selbst zugleich den Heizwiderstand bildet. Zusätzlich oder an ihrer Stelle kann auch eine Heizung treten, bei der der elektrische Strom durch die Schmelze selbst geleitet wird.To generate the required evaporation temperature in the evaporation boat, in particular an electrical resistance heater with heating resistors is used, especially in the way that the Schiffchenwandung itself forms the heating resistor at the same time. Additionally or instead of them There is also a heater in which the electrical current is passed through the melt itself.

Die Bestandteile des »Wickels«, nämlich die metallischen Belegungen und die Dielektrikumsschichten können außerordentlich dünn sein. Eine eigentliche Wickelarbeit mit den zugehörigen Imprägnierungsund Trockenvorgängen entfällt. Zudem erhält man einen Kondensator, der bei hoher Kapazitätsdichte nur wenig Raum einnimmt und in seinen elektrischen Eigenschaften in einem sehr weiten Temperaturbereich unverändert bleibt, insbesondere wenn man für das Dielektrikum Glas oder einen entsprechenden Stoff verwendet.The components of the "coil", namely the metallic ones Allocations and the dielectric layers can be extremely thin. A real one There is no need for wrapping with the associated impregnation and drying processes. You also get a capacitor that takes up little space with high capacitance density and in its electrical Properties remains unchanged over a very wide temperature range, especially if you are looking for the Dielectric glass or an equivalent material used.

Fig. 3 zeigt, die Bedampfungsvorrichtung. Bei 1 ist die Vakuumkammer angedeutet, sie ist über den Saugstutzen Ic an die Vakuumpumpe oder das Pumpenaggregat angeschlossen, durch das in der Kammer 1 ein Hochvakuum von vorzugsweise unter 10—* mm Hg erzeugt wird. Innerhalb der Vakuumkammer 1 ist eine VielfacMialtevorrichtung 40 drehbar angebracht. Sie ist nach Art eines Karussells ausgebildet, d. h., sie besitzt zwei in axialer Richtung hintereinander angebrachte Drehkränze mit einer gemeinsamen Achse, die über eine vakuumdichte Durchführung mit einem außerhalb der Vakuumkammer befindlichen Antrieb gekuppelt ist. Die Vielfachhaltevorrichtung 40 ist so ausgebildet, daß an ihr drehbar eine Mehrzahl von Trägern 2 eingespannt werden können. Die Zapfen dieser einzelnen Einspannvorrichtungen ragen über den einen Drehkranz der Haltevorrichtung 40 hinaus und tragen hier je ein nicht dargestelltes Zahnrad. Diese einzelnen Zahnräder stehen im Eingriff mit einem gemeinsamen größeren Zahnrad (nicht dargestellt), das gleichachsig mit dem Drehkranz 40 gelagert und so angetrieben wird, daß die in der Vielfachhaltevorriditung gelagerten Träger 2 sich relativ zu den Drehkränzen 40 drehen, und zwar mit einer Geschwindigkeit, die wesentlich höher ist als die der Drehkränze 40. Im übrigen wird die Vielfachhaltevorrichtung so betrieben, daß sie sich ihrerseits langsam vor den vier Verdampfungsschiffchen 50 bis 53 dreht und daß hierbei der einzelne Träger wiederum eine verhältnismäßig schnelle Umdrehung um seine Längsachse vollführt.Fig. 3 shows the vapor deposition device. At 1, the vacuum chamber is indicated, it is about the Suction nozzle Ic on the vacuum pump or the pump unit connected, through which a high vacuum of preferably below 10- * mm Hg in the chamber 1 is produced. A multifaceted device 40 is rotatably mounted inside the vacuum chamber 1. she is designed in the manner of a carousel, d. that is, it has two axially attached one behind the other Slewing rings with a common axis that is connected to a vacuum-tight bushing drive located outside the vacuum chamber is coupled. The multiple holding device 40 is like this designed that a plurality of carriers 2 can be clamped rotatably on it. The cones of these individual clamping devices protrude beyond the one turntable of the holding device 40 and each carry a gear (not shown) here. These individual gears are in mesh with a common larger gear (not shown), which is mounted coaxially with the slewing ring 40 and is driven so that the in the multiple holding provision mounted carrier 2 rotate relative to the turntables 40, at a speed which is significantly higher than that of the slewing rings 40. In addition, the multiple holding device operated so that they in turn slowly move in front of the four evaporation boats 50 to 53 rotates and that in this case the individual carrier again rotates relatively quickly carries out its longitudinal axis.

Das Schiffchen 50 verdampft Metall, das Schiffchen 51 ein geeignetes Dielektrikum, vorzugsweise Glas, das Schiffchen 52 wieder Metall und das Schiffchen 53 wieder ein Dielektrikum, insbesondere Glas. Durch die Schirmwände 54 bis 58 und die zugehörigen Blenden sind für die einzelnen Schiffchen Kammern gebildet, durch die erreicht wird, daß der aus dem einzelnen Schiffchen verdampfte Stoff nur den vor der Blendenöffnung befindlichen Träger trifft.The boat 50 vaporizes metal, the boat 51 a suitable dielectric, preferably glass, the boat 52 is again metal and the boat 53 is again a dielectric, in particular glass. By the screen walls 54 to 58 and the associated screens are chambers for the individual boats formed, through which it is achieved that the substance evaporated from the individual boat only the before Aperture located carrier meets.

Es ist leicht zu ersehen, daß auf die beschriebene Weise, indem sämtliche vier Schiffchen gleichzeitig aufdampfen und indem, wie aus Fig¹. 3 zu entnehmen ist, der gegenseitige Abstand der Träger 2 groß genug bemessen ist, der einzelne Träger zunächst aus dem Schiffchen 50 eine Metallschicht in Gestalt eines spiralförmigen Wickels aufgedampft erhält, aus dem Schiffchen 51 eine entsprechende Dielektrikumsschicht, aus dem Schiffchen 52 wieder eine Metallschicht und aus dem Schiffchen 53 wieder eine Dielektrikumsschicht. Werden die Träger häufig genug vorIt is easy to see that, by vapor deposition all four shuttles simultaneously in the manner described and by, as shown in Fig. ¹ 3 it can be seen that the mutual spacing of the carrier 2 is large enough, the individual carrier first receives a metal layer in the form of a spiral winding vapor-deposited from the shuttle 50, a corresponding dielectric layer from the shuttle 51, a metal layer from the shuttle 52 and again from the boat 53 again a dielectric layer. Be the porters present often enough

den Schiffchen vorbeibewegt, so erhält man die gewünschte Zahl der Schichten auf dem einzelnen Träger.Moving the boat past, you get the desired number of layers on each one Carrier.

Es ist noch anzufügen, daß die Blenden, die den Schiffchen 50 und 52, aus denen Metall verdampft wird, zugeordnet sind, gegeneinander versetzt sind, so daß die aufgedampften Metallschichten eine gegenseitige Versetzung erhalten, wie sie aus Fig. 1 zu entnehmen ist und wie das oben im einzelnen beschrieben ist. Je nach der Größe der Vakuumkammer und der sonstigen Anordnung kann die Zahl der Schiffchen vermehrt werden, z. B. auf acht, zwölf oder sechzehn usw.It should also be added that the diaphragms, which the boats 50 and 52, from which metal evaporates is, are assigned, are offset from one another, so that the vapor-deposited metal layers are mutual Obtained displacement, as can be seen from Fig. 1 and as described in detail above is. Depending on the size of the vacuum chamber and the other arrangement, the number of boats be increased, e.g. B. on eight, twelve or sixteen etc.

Hinsichtlich der übrigen Ausführung des Verfahrens gilt das oben Gesagte.With regard to the rest of the execution of the procedure, what has been said above applies.

Fig. 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Haltevorrichtung. Sie besteht aus einem Dorn 60, auf den der Träger 2 aufgeschoben wird. Er kann durch eine federnde Ausbildung der Haltevorrichtung 60 oder durch zusätzliche Federn gehalten werden oder auch dadurch, daß er mit Madenschrauben 61 versehen und mit diesen vorübergehend am Dorn 60 befestigt wird. Der zur Aufdampfung gelangende Belag aus aufeinanderfolgenden Schichten von Metall und Dielektrikum ist in Fig. 4 bei 62 angedeutet. Er ist in seiner axialen Länge so bemessen, daß er die Madenschrauben 61 nicht verdeckt, so daß nach Beendigung des Bedampfungsvorganges die Schrauben 61 gelöst und danach der Träger 2 von dem Dorn 60 abgenommen werden kann.Fig. 4 shows an embodiment of the holding device. It consists of a mandrel 60 on which the Carrier 2 is pushed. He can by a resilient design of the holding device 60 or be held by additional springs or by the fact that it is provided with grub screws 61 and is temporarily attached to the mandrel 60 with these. The coating which is vaporized from successive Layers of metal and dielectric is indicated in FIG. 4 at 62. He is in his axial length dimensioned so that it does not cover the grub screws 61, so that after completion of the The vapor deposition process loosened the screws 61 and then removed the carrier 2 from the mandrel 60 can be.

Es ist im allgemeinen notwendig, die dem Träger 2 zugeführte Wärmeenergie durch künstliche Kühlung abzuführen. Wie sich gezeigt hat, empfiehlt es sich, zur Vermeidung von Rißbildungen in den zur Aufdampfung gelangenden Schichten die Wärmeabfuhr so zu steuern, daß während des Aufdampfvorganges die Obernächenitemperatur des Trägers 2 im Bereich von etwa 100 bis 200° C liegt. Zu diesem Zweck ist bei der Ausführung nach Fig. 4 der Dorn 60 hohl ausgebildet. In den Dorn 60 ist ein Rohr 63 eingeführt, über das entsprechend der eingezeichneten Pfeilrichtung an das eine Stirnende des Dorns 60 eine Kühlflüssigkeit, z. B. Kühlwasser, hingeführt wird. Die Kühlflüssigkeit fließt durch den Zwischenraum zwischen dem Rohr 63 und dem Dorn 60 ab. Durch eine intensive Kühlung des Dorns 60 wird die Wärme, die dem Träger 2 in der Vakuumkammer 1 zugeführt wird, abgeleitet, und zwar in solchem Maße, daß sich an der Außenfläche des Trägers 2 eine Temperatur in dem oben angegebenen Temperaturbereich ergibt.It is generally necessary to use the heat energy supplied to the carrier 2 by artificial cooling to dissipate. As has been shown, it is advisable to use vapor deposition to avoid cracking in the arriving layers to control the heat dissipation so that during the vapor deposition process the surface temperature of the carrier 2 is in the range of about 100 to 200 ° C. To that end is in the embodiment according to FIG. 4, the mandrel 60 is hollow. A tube 63 is inserted into the mandrel 60, via which a cooling liquid is applied to one end of the mandrel 60 in accordance with the direction of the arrow, z. B. cooling water is supplied. The coolant flows through the space between the tube 63 and the mandrel 60. By intensive cooling of the mandrel 60, the heat that is fed to the carrier 2 in the vacuum chamber 1, derived, to such an extent that on the outer surface of the carrier 2 results in a temperature in the temperature range given above.

Statt der Kühlvorrichtung nach Fig. 4 sind auch andere Kühlvorrichtungen verwendbar. So können die Speichen der Drehkränze 40 (Fig. 3) zugleich zur Durchleitung von Kühlflüssigkeit dienen. Es wird hierbei die Wärme der Träger 2 dadurch abgeführt, daß die Drehkränze 40 hinreichend gekühlt werden.Instead of the cooling device according to FIG. 4, other cooling devices can also be used. So they can The spokes of the turntables 40 (FIG. 3) also serve to convey coolant through. It will in this case, the heat of the carrier 2 is dissipated in that the slewing rings 40 are adequately cooled.

Claims

Patent claims:

1. Apparatus for the production of electrical wound capacitors, in which in a vacuum chamber on a rotating cylindrical support simultaneously or successively metal and an insulating material suitable as a dielectric can be vapor-deposited from evaporation boats, thereby characterized in that the vacuum chamber (1) is equipped with a multiple holding device (40) is, on which a plurality of cylindrical supports (2) is rotatably mounted, in connection with drive means that the multiple holding device (40) at low speed to the Turn the evaporation boat (50 to 53) past and at the same time move the individual carriers (2) with it rotate at a much higher speed relative to the holding device, and that four (or eight or twelve, etc.) separated by screen walls (54 to 58) and covered with screens (50 to 53) are provided, which serve alternately to evaporate metal and to evaporate insulating material.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the diaphragms for covering the Metal vaporizing boats (50, 52) are alternately offset so that the vapor deposition reaching metal layers alternately have free edge zones.

3. Device according to claims 1 and 2, characterized in that for the carrier (2) in Artificial cooling is provided in a manner known per se.

4. Apparatus according to claim 3, characterized by such an interpretation of the artificial Cooling that the carrier (2) at an upper sewing temperature be kept from about 100 to 200 ° C.

5. Apparatus according to claim 3 or 4, characterized in that the spokes of the slewing rings (40) serve at the same time for the passage of cooling liquid, in such a way that the carrier (2) through Heat dissipation on the slewing rings are cooled.

6. Device according to one of claims 3 to 5, characterized in that the carrier (2) are held by hollow mandrels or hollow axles through which the cooling liquid is passed.

Considered publications:
German Patent No. 501 Ö14;
French patent specification No. 1 028 983.

1 sheet of drawings