DE2235673C3

DE2235673C3 - Method of making a metallized tape intended for a self-healing electrical capacitor

Info

Publication number: DE2235673C3
Application number: DE19722235673
Authority: DE
Inventors: Axel Dipl.-Ing. 8000 Muenchen Schnitzler
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1972-07-20
Filing date: 1972-07-20
Publication date: 1978-04-06
Also published as: DE2235673B2; DE2235673A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines für einen seihstheilenden elektrischen Kondensator bestimmten metallisierten aus einem dielektrischen Material bestehenden Bandes, bei dem auf mindstens eine der beiden Seiten des Bandes im DurchlaufverfahThe invention relates to a method for producing a metallized one intended for a self-healing electrical capacitor from a dielectric one Material of the existing belt, in which on at least one of the two sides of the belt in a continuous process ren eine Metallschicht aufgedampft wird und dabei auf die a.n das bei der Kondensatorherstellung zu kontaktierende Gebiet angrenzenden Flächenabschnitte ein«: gegenüber der übrigen Metallisierung verstärkte Schicht aufgetragen wird.Ren a metal layer is vapor-deposited and thereby on the a.n the area adjoining the area to be contacted during the capacitor manufacture ": reinforced compared to the rest of the metallization Layer is applied.

Bei der Herstellung von Kondensatoren aus metallisierter gewickelter Isolierstoffolie, insbesondere aus metallisierter Kunststoffolie, empfiehlt es sich mituntern, die die Beläge des Kondensators bildenden Metallisierungsbahnen nicht nur wechselseitig anIn the production of capacitors from metallized wound insulating film, in particular from metallized plastic film, it is advisable to participate in the formation of the layers of the capacitor Metallization tracks not only alternately jeweils einem der beiden Bandränder auszusparen, um eine ausreichende elektrische Isolation der Kondensatorbeläge zu erreichen, sondern auch gleichzeitig dafür zu sorgen, daß die Metallisierung an dem anderen Bandrand merklich dicker als an den übrigen Stellen derto leave out one of the two tape edges in order to to achieve sufficient electrical insulation of the capacitor linings, but also at the same time for this to ensure that the metallization at the other edge of the tape is noticeably thicker than at the other points of the Isolierstoffolie wird. Damit erreicht man einerseits eine Erleichterung und größere Sicherheit der weiteren Kontaktierung, die in üblicher Weise durch eine auf die Stirnflächen des aus dem Isolierstoffband gewickelten Kondensators aufgespritzte Metallschicht erfolgt; anIsolierstoffolie is. In this way, on the one hand, one achieves a relief and greater security on the other Contacting, which is done in the usual way by a wound on the end faces of the insulating tape Condenser sprayed-on metal layer takes place; at dererseits erreicht man auch eine erhöhte Sicherheit gegen Überlastung, insbesondere Stoßbelastung beim späteren Betrieb des Kondensators. Da es zur Erreichung dieser Vorteile erfahrungsgemäß genügt, wenn nur ein schmaler Randstreifen der Metallisierungon the other hand, one also achieves increased security against overload, especially shock loads when the capacitor is later operated. Since it is for Experience has shown that achieving these advantages is sufficient if only a narrow edge strip of the metallization verstärkt wird, wird man zweckmäßig den übrigen Teil der Metallisierung dünn machen, um den Vorteil der Selbstheilung des Kondensators nach einem elektrischen Durchschlag, der bei Verwendung geeigneter Dielektrika gewährleistet werden kann, möglichstis strengthened, one will expediently make the remaining part of the metallization thin in order to take advantage of the Self-healing of the capacitor after an electrical breakdown, which occurs when suitable Dielectrics can be guaranteed if possible

1.s wenig zu schmälern.1.s little to diminish.

Verfahren der eingangs angegebenen Art sind bekannt (z.B. DE-PS 8 90 842 und DEAS 12 51 619), wobei die unterschiedliche Stärke der MetallschichtMethods of the type specified at the beginning are known (e.g. DE-PS 8 90 842 and DEAS 12 51 619), being the different thickness of the metal layer

durch Blenden erreicht wird. Zur Erzielung von sich längs eines Bandrandes erstreckenden, streifenförmig verstärkten Metallisierungen benötigt man z. B. Blenden mit einer schlitzförmigen öffnung, die sich parallel zur Transportrichtung des Isolierstoffbandes bei der Bedampfung im Durchlaufverfahren erstrecken. Solche oder auch andere geformte, z. B. kreisrunde Blendenöffnungen verändern jedoch rasch ihre Abmessungen infolge Anhaftens von kondensiertem Metalldampf.is achieved by blending. To achieve strips extending along a tape edge reinforced metallizations are needed z. B. Apertures with a slot-shaped opening that are parallel to the transport direction of the insulating tape during the vapor deposition in the continuous process. Such or other shaped, e.g. B. circular aperture openings, however, quickly change their dimensions due to adhesion of condensed metal vapor.

Aufgabe tier Erfindung ist es, ein Verfahren |_Q anzugeben, welches — wenigstens bis zu einer gewissen maximalen Verstärkung der Metallisierung — ohne die Anwendung solcher Blenden auskommt und in der Lage ist, in einem einzigen Bedampfungsprozeß eine örtlich unterschiedlich dicke Metallisierung in definierter ^ Weise zu liefern. Weiterhin soll das Verfahren die mechanische Haftfestigkeit und Beschaffenheit der Metallisierung verbessern, ohne daß dabei die elektrischen Eigenschaften des metallisierten Isolierstoffbandes nachteilig beeinflußt werden. _M The object of the invention is to provide a method | _Q indicate that - at least up to a certain maximum gain of the metallization - does not require the use of such diaphragm and is able to provide a locally different thickness metallization in a defined manner in a single ^ vapor deposition process. Furthermore, the method is intended to improve the mechanical adhesive strength and quality of the metallization without adversely affecting the electrical properties of the metallized insulating tape. _M.

Diese Aufgabe wird bei dem eingangs angegebenen Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß vor dem Aufdampfen des Metalls in einem evakuiertem Raum die mit einer verstärkten Metallschicht zu versehenden Bereiche der Bandoberfläche mittels einer elektrischen Entladung unter Verwendung eines elektrischen Feldes von einer Feldstärke, die im Bereich von 0,5 kV/mm bis unmittelbar unter der Durchbruchsfeldstärke liegt, vorbehandelt werden.This object is achieved according to the invention in the method specified at the outset in that before the evaporation of the metal in an evacuated room with a reinforced metal layer providing areas of the tape surface by means of an electrical discharge using an electrical Field of a field strength in the range of 0.5 kV / mm to just below the breakdown field strength is pretreated.

Die Feldstärke ist dabei so zu bemessen, da3 während der Behandlung eine zu starke Erwärmung des vielfach empfindlichen Isolierstoffbandes vermieden wird. Die Entladung muß also als Hochspannungsentladung mit relativ geringer Wärmeentwicklung stabilisiert werden und darf nicht etwa in eine Bogenentladung umschlagen. ^The field strength is to be measured in such a way that during the treatment excessive heating of the multiple sensitive insulating tape is avoided. The discharge must therefore be carried out as a high-voltage discharge relatively little heat generation and must not turn into an arc discharge. ^

Es ist zwar aus der DE-PS 7 60 378 und der Zeitschrift »Industrie-Elektrik + Elektronik«, 12. Jahrgang 1967, Nr. B 18, Seiten 366 und 367, bekannt, bei dielektrischen Bändern vor dem Aufbringen von Metall durch Aufdampfen die zu metallisierende Oberfläche einer elektrischen Entladung auszusetzen, jedoch ist diesen Druckschriften nicht zu entnehmen, die Behandlung flächenbegrenzt durchzuführen, um verstärkte Abschnitte der Metallisierung zu erhalten.It is from DE-PS 7 60 378 and the magazine "Industrie-Elektrik + Elektronik", 12th year 1967, No. B 18, pages 366 and 367, known from dielectric Tapes before the application of metal by vapor deposition the surface to be metallized to expose electrical discharge, however, these documents do not reveal the treatment Carry out limited area in order to obtain reinforced sections of the metallization.

Am einfachsten ist es, wenn die Vorbehandlung des zu metallisierenden Isolierstoffbandes an Luft unter Normaldruck stattfindet. Bei diesem üblicherweise angewandtem Verfahren wird die zu behandelnde Folie von einer Ablaufrolle durch die Entladungszone zwischen einer Hochspannungselektrode und einer geerdeten Metallwalze geführt und auf eine weitere Rolle aufgewickelt. Die Entladung wird dann in der Regel eine Art Coronaentladung. Eine andere Möglichkeit ist dann gegeben, wenn man die Elektroden der Entladungsordnung in dem gleichen evakuierten Behandlungsgefäß unterbringt, in welchem sich auch die der Metallisierung des Isolierstoffbandes dienende Bedampfungszone befindet Man wird dann zweckmäßig den Entladungsraum unmittelbar an der Eintrittsstelle zur eigentlichen Bedampfungszone anordnen, derart, daß das zu behandelnde Isolierstoffband im Durchlaufverfahren sofort aus dem Bereich der elektrischen Entladung in die Bedampfungszone gelangt.It is easiest if the pretreatment of the insulating tape to be metallized takes place in air under normal pressure. In this process, which is usually used, the film to be treated is guided from a discharge roller through the discharge zone between a high-voltage electrode and an earthed metal roller and wound onto a further roller. The discharge then usually becomes a type of corona discharge. Another possibility is given if the electrodes of the discharge order are accommodated in the same evacuated treatment vessel in which the vaporization zone serving to metallize the insulating tape is located the insulating tape to be treated immediately passes through the continuous process from the area of the electrical discharge into the vapor deposition zone.

Die Entladung kann in bekannter Weise durch entsprechende Vorschaltwiderstände oder auch durch μ Anwendung einer eingeprägten Spannungsquelle al* Hochspannungsentladung stabilisiert werden. Gute Erfolge wurden sowohl mit Gleichspannungsentladungen als auch mit Wechselspannungsentladungen, insbesondere auch mit Stoßentladungen, erzielt. Eine bevorzugte Entladungsanordnung zur Durchführung des Verfahrens besteht in einer — gleichzeitig den Transport des zu behandelnden Isolierstoffbandes mitbewirkenden — angetriebenen Walze oder Rolle als die eine Entladungselektrode, die infolgedessen mit dem zu behandelnden Band aus Isoliermaterial unmittelbar in Berührung gehalten wird. Die Gegenelektrode kann dann das zu behandelnde Band an der der Rolle gegenüberliegenden Bandfläche ebenfalls unmittelbar berühren und dann ebenfalls als Transportrolle ausgebildet sein. Bevorzugt wird sie sich aber in einem gewissen z. B. einige mm betragenden Abstand zu dem zu behandelnden Isolierstoffband befinden. Schließlich ist es auch möglich, daß beide Entladungselektroden mit Abstand zu dem zwischen ihnen hindurchgeführten Isolierstoffband angeordnet sind oder daß sich sogar das zu behandelnde Isclierstoffband völlig außerhalb der eigentlichen Entladungszone befindet Bei dem zuletzt genannten Fall wird man eine O/tladung mit einer durchbohrten Anode und/oder Käthe je betreiben, so daß hinter der durchbohrten Elektrode ein Strahl aus geladenen Teilchen aus dem Entladungsgebiet austritt und unmittelbar auf das zu behandelnde Isolierstoffband zum Auftreffen gebracht werden kann. Im Falle der Verwendung einer durchbohrten Anode besteht der Behandlungsstrahl aus Elektronen, im Falle einer durchbohrten Kathode aus positiv geladenen Ionen der Entladung. Beide Fälle haben sich als günstig erwiesen, vor allem, wenn die auftreffenden Teilchen aus geladenem Sauerstoff- oder Metallatomen bestehen.The discharge can be carried out in a known manner through appropriate series resistors or through μ Application of an impressed voltage source al * high voltage discharge can be stabilized. Quality Successes were achieved both with direct voltage discharges and with alternating voltage discharges, in particular also with shock discharges. A preferred discharge arrangement for implementation of the process consists of one - at the same time the transport of the insulating tape to be treated contributing - driven roller or roller as the one discharge electrode, which is consequently connected to the to be treated tape of insulating material is held directly in contact. The counter electrode can then the tape to be treated on the tape surface opposite the roll, also directly touch and then also be designed as a transport roller. But it is preferred in one certain z. B. a distance of a few mm from the insulating tape to be treated. In the end it is also possible that both discharge electrodes are at a distance from the one passed between them Isolierstoffband are arranged or that even the Isclierstoffband to be treated is completely outside the actual discharge zone is located pierced anode and / or Kathe ever operate so that behind the pierced electrode a beam of charged particles emerges from the discharge area and can be brought to impinge directly on the insulating tape to be treated. In case of Using a pierced anode, the treatment beam consists of electrons, in the case of one pierced cathode made of positively charged ions of the discharge. Both cases have proven favorable, especially when the impacting particles consist of charged oxygen or metal atoms.

Zur Stabilisierung einer Wechselspannungsentladung kann auch eine stabilisierende Schicht unmittelbar an der Oberfläche einer der Elektroden, insbesondere in Form eines Isolierstoffüberzugs, vorgesehen sein.A stabilizing layer can also be applied directly to stabilize an alternating voltage discharge the surface of one of the electrodes, in particular in the form of an insulating material coating.

Zur Erklärung der Wirkungsweise aer gemäß der Erfindung vorgeschlagenen Vorbehandlung durch eine elektrische Entladung kann man z. B. annehme:.-, daß an der Oberfläche des Isolierstoffbandes eine remanente elektrische Polarisierung unter Bildung von polaren N.olekülgruppen entsteht, die die Haftfestigkeit der aufgebrachten Metallatome auf der Unterlage verbessern. Gleichzeitig bewirkt die aufgrund der Vorbehandlung erzielte Polarisierung der Oberfläche des Isolierstoffbandes eine Verbesserung der Vernetzung zwischen den einzelnen Atomen der aufgedampften Metallschicht, wahrscheinlich aufgrund einer durch die Vorbehandlung bedingten erhöhten Keimbildungswahrscheinlichkeit. Es resultiert also auch ein dichteres Gefüge der aufgedampften Metallisierung und damit bereits aus diesem Grunde eine Erhöhung des elektrischen Leitwertes. Schließlich hängt auch die Wz;hitumsgeschwindigkeit dar aufgedampften Metallschicht eindeutig von einer solchen Vorbehandlung und zwar derart ab, daß bei intensiverer Vorbehandlung auch die aufgedampfte Metallisierung rascher wächst.To explain the mode of action aer according to the invention proposed pretreatment by an electrical discharge you can, for. B. assume: .- that a remanent electrical polarization occurs on the surface of the insulating tape with the formation of polar groups of molecules, which improve the adhesive strength of the applied metal atoms on the substrate. At the same time, the polarization of the surface of the insulating tape achieved as a result of the pretreatment improves the crosslinking between the individual atoms of the vapor-deposited metal layer, probably due to the increased likelihood of nucleation caused by the pretreatment. This also results in a denser structure of the vapor-deposited metallization and thus an increase in the electrical conductivity for this reason alone. Ultimately, the speed at which the vaporized metal layer is applied also clearly depends on such a pretreatment, in fact in such a way that, with more intensive pretreatment, the vapor-deposited metallization also grows more rapidly.

Die Zeitspanne zwischen der Vorbehandlung und dem Einführen des Isolierstoffbandes in die Bedampfungszone ist an sich nicht kritisch, da es erfahrungsgemäß längere Zeit, τ. B₁ mehrere Tage oder gar Monate, dauert, bevor die durch die Behandlung erzielten Eigenschaften des Isolierstoffbandes wieder verlorengehen. In diesem Fall müßte die Vorbehandlung wiederholt werden.The period of time between the pretreatment and the introduction of the insulating tape into the steaming zone is not critical, since experience has shown that it takes a long time, τ. B _{1 takes} several days or even months before the properties of the insulating tape achieved by the treatment are lost again. In this case the pretreatment would have to be repeated.

Zu bemerken ist noch, daß die Wirkung der Vorbehandlung durch eine elektrische Entladung hinsichtlich Beschleunigung des Dickenwachstums derIt should also be noted that the effect of the pretreatment is an electrical discharge in terms of accelerating the growth in thickness of the

Metallisierung und Verbesserung der Vernetzung innerhalb der Metallisierung sich bis auf Schichtdicken von 0,06 μπι bei vorbehandeltem Isolierstoffband bemerkbar macht. Der Vorteil einer Verbesserung der Haftfestigkeit ist hingegen allgemein gegeben.Metallization and improvement of the cross-linking within the metallization down to layer thicknesses of 0.06 μπι with pretreated insulating tape makes noticeable. On the other hand, there is generally the advantage of improving the adhesive strength.

Bevorzugt wird man das Verfahren dann anwenden, wenn es sich darum handelt, ein mindestens an seiner Oberfläche aus einem Kunststoff wie Polytetrafluoräthylen oder einem Mischpolymerisat mit Polytetrafluoräthylen oder Polypropylen oder Silikon bestehendes Band derart zu metallisieren, daß mindestens die eine Bandfläche mit einem sich unmittelbar an den einen Längsrand des Bandes anschließenden Längsstreifen mit einer dickeren Metallisierung, in einem an den anderen Längsrand sich anschließenden Längsstreifen ohne Metallisierung und im Gebiet zwischen den beiden Streifen mit einer dünneren Metallisierung versehen wird. Dabei wird man vorzugsweise die Breite des eine dickere Metallisierung erhaltenen Randstreifens und/ oder des nichtmetallisierten Randstreifens auf etwa I bis 3 mm einstellen.The method will preferably be used when it is a question of at least one of his Surface made of a plastic such as polytetrafluoroethylene or a copolymer with polytetrafluoroethylene or to metallize existing polypropylene or silicone tape in such a way that at least the a belt surface with a longitudinal strip directly adjoining one longitudinal edge of the belt with a thicker metallization, in a longitudinal strip adjoining the other longitudinal edge without metallization and provided with a thinner metallization in the area between the two strips will. The width of the edge strip obtained with a thicker metallization and / or the non-metallized edge strip to about 1 to 3 mm.

An Hand der in den Fig. I und 2 aufgezeigten Ausführungsbeispiele wird das erfindungsgemäße Verfahren erläutert. F i g. 1 bezieht sich dabei auf den Fall, bei dem die die Vorbehandlung bewirkende Entladung unter Normaldruck in Luft erfolgt, während bei dem an Hand von Fig. 2 beschriebenen Verfahren die elektrische Entladung in der gleichen hochevakuierten Umgebung erfolgt, in der auch die Bedampfungszone angeordnet ist.The method according to the invention is illustrated using the exemplary embodiments shown in FIGS explained. F i g. 1 relates to the case in which the discharge causing the pretreatment takes place under normal pressure in air, while at the Hand of Fig. 2 described method the electrical Discharge takes place in the same highly evacuated environment as the vapor deposition zone is arranged.

Bei beiden in den Fig. 1 und 2 dargestellten Fällen wird das zu metallisierende Isolierstoffband 1 von einer Vorratstrommel 2 kontinuierlich abgewickelt und im Durchlaufverfahren durch eine laufend evakuierte Bedampfungszone 3 hindurch zu einer Aufwickeltrommel 4 geführt. Die Abwickel- und Aufwickeltrommel ist im Fall der in der Fig. 1 dargestellten Vorrichtung außerhalb der evakuierten, die Bedampfungszone 3 enthaltenden Behälter angeordnet. Deshalb muß das zu metallisierende Isolierstoffband an seiner Eintrittsstelle 5 in diesen Behälter eingeführt und in metallisiertem Zustand an einer Austrittsstelie 6 wieder herausgeführt werden. Man muß also durch Anbringen entsprechender Dichtungen oder Schleusen dafür sorgen, daß das isolierstoffband kontinuierlich durch das evakuierte Bedampfungsgefäß hindurchgeführt werden kann, ohne daß es zu einem die Leistung der Evakuierungspumpe überfordernden Einbruch der äußeren Atmosphäre in das evakuierte Bedampfungsgefäß kommt.In both cases shown in FIGS the insulating tape 1 to be metallized is continuously unwound from a supply drum 2 and in the Continuous process through a continuously evacuated steaming zone 3 to a winding drum 4 led. The unwinding and winding drum is in the case of the device shown in FIG arranged outside the evacuated, the vapor deposition zone 3 containing container. Therefore it has to metallizing insulating tape inserted at its entry point 5 in this container and in metallized State can be brought out again at an exit point 6. So you have to attach appropriate Seals or locks ensure that the insulating tape continuously through the evacuated Steaming vessel can be passed through without affecting the performance of the evacuation pump overwhelming break-in of the external atmosphere comes into the evacuated steaming vessel.

Die Bedampfungszone 3 ist außerdem mit mindestens einer, den erforderlichen Metalldampf, insbesondere Aluminium- oder Zinicdampf, liefernden Bedampfungsquelle 7 und einer das Isolierstoffband an der Bedampfungsstelle tragenden Kühlwalze 8 ausgestattet Die Bedampfungsquelle 7 wird zweckmäßig an derjenigen Seite des Isolierstoffbandes 1 angeordnet die mit der Metallschicht versehen werden soll. Gegebenenfalls kann zweiseitig, also im Beispielsfalle von oben und von unten her, bedampft werden. In diesem Fall wird zweckmäßig je eine Bedampfungsquelle an der Oberseite und an der Unterseite des Isolierstoffbandes 1 in der Bedampfungszone 3 angeordnet Ein in unmittelbarer Nähe über der Bedampfungsfläche angeordneter Schirm 9 sorgt dafür, daß ein schmaler Randstreifen an einem Rand der zu metallisierenden Räche vor der Bedampfung ausgespart bleibt So!! das Isolierstoffband 1 an beiden Seiten metallisiert werden, so wird zweckmäßig der jeweils von der Bedampfung auszusparende Randstreifen so angeordnet, daß der ausgesparte Streifen zu dem jeweils mit einer verstärkten Metallisierung zu versehenden Randstreifen auf Deckung angeordnet wird.The vaporization zone 3 is also with at least one, the necessary metal vapor, in particular Aluminum or Zinic vapor, supplying vapor source 7 and a cooling roller 8 carrying the insulating tape at the steaming point The vaporization source 7 is expediently arranged on that side of the insulating tape 1 with the the metal layer is to be provided. Possibly can be vaporized on both sides, i.e. in the example from above and from below. In this case it will expediently one vaporization source each on the top and on the underside of the insulating strip 1 arranged in the steaming zone 3 A in the immediate vicinity above the steaming surface arranged screen 9 ensures that a narrow edge strip on one edge of the to be metallized Revenge is spared before the steaming So !! the insulating tape 1 is metallized on both sides, the edge strip to be cut out by the vapor deposition is expediently arranged so that the recessed strips to the edge strips to be provided with reinforced metallization is ordered to cover.

Das Isolerstoffband 1 wird vor dem Eintritt in die Metallisierungszone 3 zwischen zwei Elektroden einer elektrischen Entladung hindurchgeführt, derart, daß die Oberfläche der Isolierstoffolie stellenweise durch das elektrische Entladungsfeld beeinflußt wird. Wie aus den F-'ig. 1 und 2 ersichtlich, besteht die eine Elektrode 10 aus einer Metallwalze, die zugleich den Transport der Folie im Durchlaufverfahren unterstützt. Die Walze 10 isl beispielsweise über Erde an einen Pol einer Quelle von mehreren kV Gleich- oder Wechselspannung, insbesondere über einen entsprechenden Vorschaltwiderstand gelegt. Die andere Elektrode 11 der Entladung befindet sich an der anderen Seite des Isolierstoffbandes 1; sie besteht beispielsweise aus einem geschnittenen Metallblech und kann ohne Schwierigkeiten ausgetauscht werden. Sie ist so bemessen, daß die von ihr zur Gegenelektrode 10 übergehenden Feldlinien die Folie nur längs eines schmalen Randstreifens berühren, so daß die Wirkung der Entladung sich nur auf diesen Längsstreifen der zu metallisifrenden Folie erstreckt. Dieser Streifen befindet sich an derjenigen der Bedampfungsquelle 7 zugewandten Fläche des zu metallisierenden Bandes, die in der Bedampfungszone nicht gegen die Einwirkung der Bedampfungsquelle abgeschirmt ist.The insulating tape 1 is before entering the metallization zone 3 between two electrodes electrical discharge passed through, in such a way that the surface of the insulating film in places through the electric discharge field is affected. As from the F-'ig. 1 and 2, there is one electrode 10 from a metal roller, which at the same time supports the transport of the film in a continuous process. The roller 10 isl, for example, via earth to a pole of a source of several kV direct or alternating voltage, in particular via a corresponding series resistor placed. The other electrode 11 of the discharge is on the other side of the Insulating tape 1; it consists, for example, of a cut sheet of metal and can be used without Difficulties are exchanged. It is dimensioned so that the counter electrode 10 passing field lines touch the film only along a narrow edge strip, so that the effect the discharge extends only to this longitudinal strip of the foil to be metallized. This strip is located on that surface of the strip to be metallized facing the vapor deposition source 7, which is not shielded in the steaming zone against the effects of the steaming source.

Die von der elektrischen Entladung beeinflußte Fläche des zu behandelnden Isolierstoffbandes I laßt sich also ersichtlich ohne Schwierigkeiten beliebig ausgestalten. Beispielsweise ist es auch möglich, unterbrochene Streifen der Oberfläche des Bandes 1 vorzubehandeln und verstärkt zu metallisieren, indem die Hochspannungsentladung nur von Zeit zu Zeit eingeschaltet wird.Let the area of the insulating tape I to be treated influenced by the electrical discharge so evidently can be designed in any way without difficulty. For example, it is also possible to pretreat interrupted strips of the surface of the strip 1 and reinforced to metallize by the high-voltage discharge is only switched on from time to time.

Bei der an Hand von F i g. 2 dargestellten Anordnung ist eigentlich nur als einziger Unterschied gegenüber der in Fig. 1 dargestellten Anordnung zu verzeichnen, daß sich alle Teile im Innern der evakuierten Bedampfungsanlage 3 befindet. Die Entladung wird dann ein anderes Aussehen als im Falle der Inbetriebnahme unter normalem Druck erhalten. Sie wird dann zur Glimmentladung. Man muß ebenfalls dafür sorgen, daß die Glimmentladung stabilisiert wird und nicht in eine Bogenentladung umschlägt. Gegebenenfalls genügt es, wenn eine Elektrode der Entladung (z. B. die walzenförmige Elektrode 10) mit einem Isolierstoff überzogen ^:st, nämlich dann, wenn es sich um eine Wechselstromentladung handelt.In the case of the on the basis of FIG. The arrangement shown in FIG. 2 is actually only to be noted as the only difference compared to the arrangement shown in FIG. 1, that all parts are located inside the evacuated vapor deposition system 3. The discharge will then have a different appearance than in the case of start-up under normal pressure. It then becomes a glow discharge. Care must also be taken to ensure that the glow discharge is stabilized and does not turn into an arc discharge. It may be sufficient if one electrode of the discharge (for example the roller-shaped electrode 10) is coated with an insulating material ^: st, namely when it is an alternating current discharge.

Zu bemerken ist noch, daß aufgrund der unterschiedlichen Dicke der Metallisierung und auch aufgrund einer durch das erfindungsgemäße Verfahren bedingten stärkeren Vernetzung innerhalb der Metallisierung eine Erhöhung des elektrischen Leitwertes in der auf die vorbehandelte Folie aufgebrachten Metallisierung zu verzeichnen ist. So konnte bereits in ersten Versuchen bei Anwendung auf ein Polypropylenband mit ΙΟμπι Stärke ein Leitwertunterschied von 2 :1 zwischen den an den vorbehandelten Stellen und den nicht vorbehandelten Stellen niedergeschlagenen Teilen der Metallisierung festgestellt werden.It should also be noted that due to the different thicknesses of the metallization and also due to a stronger crosslinking within the metallization caused by the method according to the invention Increase in the electrical conductivity in the metallization applied to the pretreated film is recorded. So it was already possible in first attempts when applying to a polypropylene tape with ΙΟμπι There is a difference in conductance of 2: 1 between the areas that have been pretreated and those that have not been pretreated Deposited parts of the metallization can be detected.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims

Patent claims:

1. Verfahren zum Herstellen eines für einen selbstheilenden elektrischen Kondensator bestimmten metallisierten aus einem dielektrischen Material bestehenden Bandes, bei dem auf mindestens eine der beiden Seiten dies Bandes im Durchlaufverfahren eine Metallschicht aufgedampft wird und dabei auf die an das bei der Kondensatorherstellung zu kontaktierende Gebiet angrenzenden Flächenabschnitte eine gegenüber der übrigen Metallisierung verstärkte Schicht aufgetragen wird, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Aufdampfen des Metalls in einem evakuiertem Raum die mit einer verstärkten Metallschicht zu versehenden Bereiche der Bandoberfläche mittels einer elektrischen Entladung unter Verwendung eines elektrischen Feldes von einer Feldstärke, die im Bereich von 0,5 kV/mm bis unmittelbar unter der Durchbruchsfeldstärke liegt, vorbehandelt werden.1. A method of manufacturing a metallized dielectric material intended for a self-healing electrical capacitor existing belt, in which on at least one of the two sides of this belt in a continuous process a metal layer is vapor-deposited and in doing so it is applied to the during the capacitor manufacture contacting area adjoining surface sections a compared to the rest of the metallization reinforced layer is applied, thereby characterized in that before the vapor deposition of the metal in an evacuated room with the a reinforced metal layer to be provided areas of the strip surface by means of an electrical discharge using an electric field of a field strength in the area from 0.5 kV / mm to just below the breakdown field strength.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladung unter Normaldruck, vorzugsweise an Luft, betrieben und als Hochspannungsentladung stabilisiert wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the discharge under normal pressure, is preferably operated in air and stabilized as a high-voltage discharge.

3.Verfahren nach Anspruchl,dadurch gekennzeichnet, daß das Band aus dielektrischem Material unmittelbar vor seinem Eintritt in die Bedampfungszone mit einer in dem gleichen evakuierten Raum erzeugten elektrischen Entladung vorbehandelt wird, in welchem sich auch die Bedampfungszone befindet, und daß die Entladung als Glimmentladung, insbesondere als Hochspannungsglimmentladung, stabilisiert wird.3.Verfahren according to claiml, characterized in that the tape of dielectric material immediately before entering the steaming zone with one in the same evacuated room generated electrical discharge is pretreated, in which there is also the vapor deposition zone and that the discharge is a glow discharge, in particular a high-voltage glow discharge, is stabilized.

4. Verfahren nach eimm der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß 'lie Entladung als Gleichspannungsentladung betrieben wird.4. The method according to eimm of claims 1 to 3, characterized in that 'lie discharge as DC discharge is operated.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladung als Wechselspannungsentladung betrieben wird.5. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the discharge as AC voltage discharge is operated.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladung als Stoßentladung betrieben wird.6. The method according to any one of claims 4 or 5, characterized in that the discharge as Surge discharge is operated.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis ö, dadurch gekennzeichnet, daß die zu behandelnde Folie während der Vorbehandlung an mindestens eine der Entladungselektroden unmittelbar oder über eine eine Entladungselektrode als Überzug bedeckende Isolierschicht angelegt wird.7. The method according to any one of claims 1 to ö, characterized in that the to be treated Foil during the pretreatment to at least one of the discharge electrodes directly or is applied over an insulating layer covering a discharge electrode as a coating.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der der Vorbehandlung des Bandes aus dielektrischem Material dienenden Elektroden gleichzeitig als Transportwalze für das Band aus dielektrischem Material verwendet wird.8. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that at least one of the the pretreatment of the strip of dielectric material serving electrodes at the same time as Transport roller is used for the tape of dielectric material.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das zu behandelnde Isolierstoffband außerhalb des Entladungsraumes, hinter einer als Blende ausgestalteten Entladungselektrode geführt und durch die über die Blende den Entladungsraum verlassenden und das Isolierstoffband auftreffenden Elektroden und/oder Ionen der Entladung vorbehandelt wird.9. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the to be treated Insulating tape outside of the discharge space, guided behind a discharge electrode designed as a cover and through the over the cover The electrodes and / or ions of the discharge space leaving and the insulating strip impinging Discharge is pretreated.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1,2,4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladung in sauerstoffhaltiger und/oder metallhaltiger Atmosphäre vorgenommen wird.10. The method according to any one of claims 1, 2, 4 to 9, characterized in that the discharge is carried out in an oxygen-containing and / or metal-containing atmosphere.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß ein mindestens an11. The method according to any one of claims 1 to 10, characterized in that at least one

seiner Oberfläche aus einem Kunststoff wie Polytetrafluorethylen oder einem Mischpolymerisat mit Polytetrafluorethylen oder Polypropylen oder Silikon bestehendes Band an mindestens einer seiner beiden Flächen derart metallisiert wird, daß eine Bandfläche mit einem sich unmittelbar an dem einen Längsrand des Bandes anschließenden Längsstreifen mit einer dickeren Metallisierung, in einem an den anderen Bandrand sich anschließenden Längsstreifen ohne Metallisierung und im Gebiet zwischen den beiden Streifen mit einer dünneren Metallisierung versehen wird.its surface made of a plastic such as polytetrafluoroethylene or a copolymer with polytetrafluoroethylene or polypropylene or silicone existing tape on at least one of its both surfaces is metallized in such a way that a band surface with one is directly on the one Longitudinal edge of the tape adjoining longitudinal strips with a thicker metallization, in one to the other strip edge adjoining longitudinal strips without metallization and in the area between the both strips are provided with a thinner metallization.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite des eine dickere Metallisierung erhaltenen Randstreifens und/oder des nicht metallisierten Randstreifens auf höchstens 20% vorzugsweise 5 bis 10%, der Gesamtbreite des Bandes aus dielektrischem Material eingestellt wird.12. The method according to claim 11, characterized characterized in that the width of the edge strip obtained a thicker metallization and / or of the non-metallized edge strip to a maximum of 20%, preferably 5 to 10%, of the total width of the Band of dielectric material is set.

13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Band aus dielektrischem Material an beiden Flächen derart metallisiert wird, daß der eine Metallisierung aufweisende Randstreifen der einen Bandfläche zu dem metallfreien Streifen der anderen Bandfläche mindestens teilweise siuf Deckung angeordnet wird.13. The method according to claim 11 or 12, characterized characterized in that the band of dielectric material is metallized on both surfaces in such a way that that the edge strip having a metallization of the one strip surface to the metal-free Strip of the other tape surface is at least partially arranged to coincide.