DE2235673A1 - Metallized plastic foil capacitor prodn - with pretreated foil before metalli-zing - Google Patents
Metallized plastic foil capacitor prodn - with pretreated foil before metalli-zingInfo
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims description 19
- 239000004033 plastic Substances 0.000 title claims description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 title abstract 4
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims abstract description 6
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims abstract description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims abstract description 3
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 238000010025 steaming Methods 0.000 claims description 13
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 11
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 11
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract 1
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 40
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- 241001573881 Corolla Species 0.000 description 1
- 241000158147 Sator Species 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000006855 networking Effects 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 210000002700 urine Anatomy 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
- C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
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Abstract
Description
Verfahren zum Herstellen eines elektrischen Kondensators Die Erfindung beschaftigt sich mit einem Verfahren zum Herstellen eines elektrischen Kondensators, bei dem ein aus dielektrischem I.iaterial bestehendes Band durch Bedampfen - vorzugsweise im Durchlaufverfahren - derart mit einer Metallisierung versehen wird, daß die Metallisierung mindestens eine Elektrode des Konden.sators darstellt und stellenweise dicker als an anderen Stellen der Oberfläche des - mindestens einen Teil des Kondensatordielektrikums darstellenden - Bandes aus dielektrischem Material wird.Method of making an electrical capacitor. The invention deals with a process for the production of an electrical capacitor, in which a tape made of dielectric material is vapor-deposited - preferably in a continuous process - is provided with a metallization in such a way that the metallization represents at least one electrode of the Konden.sators and in places thicker than at other locations on the surface of the - at least part of the capacitor dielectric performing - tape made of dielectric material.
Bei der Herstellung von Kondensatoren aus metallisierter gewickelter Isolierstoffolie, insbesondere aus metallisierter Kunststoffolie, empfiehlt es sich mitunter, die die Blektroden des Kondensators darstellenden I'r1etalliierungsbahnen nicht nur wechselseitig an jeweils einem der beiden Bandränder auszusparen, um eine ausreichende elektrische Isolation der Kondensatorelektroden zu erreichen, sondern auch gleichzeitig dafür zu sorgen, daß die Metallisierung an den anderen Bandrand merklich dicker als an den übrigen Stellen der Isolierstoffolie wird. Damit erreicht man einerseits eine Erleichterung und größere Sicherheit der weiteren Kontaktierung, die in üblicher Weise durch eine auf die Stirnflächen des aus den Isolierstoffband gewickelten Kondensators aufgespritzte Metallschicht erfolgt; andererseits erreicht man auch eine erhöhte Sicherheit gegen Überlastung, insbesondere Stoßbelastung beim späteren Betrieb des Kondensators. Da es zur Erreichung dieser Vorteile erfahrungsgemäß genügt, wenn nur ein schmaler Randstreifen der Metallisierung verstärkt wird, wird man zweckmäßig den übrigen Teil der Metallisierung dünn machen, um den Vorteil der Selbstheilung des Kondensators nach einem elektrischen Durchschlag, der bei Venvendung geeigneter Dielektrika gewährleistet werden kann, möglichst wenig zu schmälern.In the manufacture of capacitors from metallized wound It is advisable to use insulating film, in particular made of metallized plastic film sometimes the metallization tracks that represent the lead electrodes of the capacitor not only to cut out alternately on one of the two tape edges to get one to achieve sufficient electrical insulation of the capacitor electrodes, but rather also at the same time to ensure that the metallization on the other edge of the tape becomes noticeably thicker than the rest of the insulating film. Achieved with it one on the one hand a relief and greater security of the further contact, in the usual way by one on the end faces of the insulating tape metal layer sprayed onto the wound capacitor takes place; on the other hand achieved you also have increased security against overload, especially shock loads during later operation of the capacitor. Experience has shown that it is necessary to achieve these advantages is sufficient if only a narrow edge strip of the metallization is reinforced expediently the remaining part of the metallization make thin the advantage of self-healing of the capacitor after an electrical breakdown, which can be guaranteed when using suitable dielectrics, as little as possible to belittle.
Zur Herstellung einer solchen Metallisierung mit einer Verstärkung an dem einen Polienrand stand bisher lediglich ein Verfahren zur Verfügung, bei dem die Metallisierung in mehrerer unterschiedlich bemessenen Schichten nacheinander aufgebracht wird. Man benötigt hierzu verschiedene Blenden für die einzelnen, der Herstellung der verschiedenen Schichten dienenden Bedampfungen. Zur Brzielung von sich längs eines Bandrandes erstreckenden, streifenförmig verstärkten Metallisierungen benötigt man z. B. Blenden mit einer schlitzförmigen Öffnung, die sich parallel zur Transportrichtung des Isolierstoffbandes bei der Bedampfung im Durchlaufverfahren erstrecken. Solche oder auch anders geformte, z. B. kreisrunde Blendenöffnungen verändern jedoch rasch ihre Abmessungen infolge Anhaftens mn kondensiertem Metalldampf. Es wäre deshalb wünschenswert, ein Verfahren zur Verfügung zu haben, welches - wenigstens bis zu einer gewissen maximalen Verstärkung der Metallisierung -ohne die Anwendung solcher Blenden auskäme und in der Lage wäre, in einem einzigen Bedampfungsprozeß eine örtlich unterschiedlich dicke Metallisierung in definierter Weise zu liefern. Außerdem würde sich ein solches Verfahren noch besonders empfehlen, wenn es zusätzlich zu der Lösung dieser Aufgabe noch die mechanische Haftfestigkeit und Beschaffenheit der Metallisierung verbessern könnte, ohne daß dabei die eleB-trischen migenschaften des metailiserten Isolierstoffbandes nachteilig beeinflußt würden.To produce such a metallization with a reinforcement at one edge of the polien only one procedure was available so far the metallization in several differently dimensioned layers one after the other is applied. You need different screens for the individual, the Manufacture of the different layers serving vapor deposition. For targeting strip-shaped reinforced metallizations extending along a tape edge you need z. B. Apertures with a slot-shaped opening that are parallel the direction of transport of the insulating tape during vapor deposition in a continuous process extend. Such or differently shaped, e.g. B. circular aperture openings however, rapidly change their dimensions due to adhesion of condensed metal vapor. It would therefore be desirable to have a method available which - at least up to a certain maximum reinforcement of the metallization -without the application such screens would do and would be able to in a single vapor deposition process to deliver a locally differently thick metallization in a defined manner. In addition, such a procedure would be particularly recommended if it is additional in addition to the solution to this problem, the mechanical adhesive strength and quality the metallization could improve without affecting the electrical properties of the detailed insulating tape would be adversely affected.
Un dies zu erreichen, wird nun gemäß der Erfindung vorgeschlagen, daß das zu metallisierende Band aus dielektrischem Material mindestens stellenweise - vorzugsweise mindestens an einem Längs streifen - mittels einer elektrischen Entladung vorbehandelt und dann in die Bedampfungszone eingebracht wird.In order to achieve this, it is now proposed according to the invention, that the strip to be metallized made of dielectric material at least in places - Preferably at least on a longitudinal strip - by means of an electrical discharge is pretreated and then introduced into the steaming zone.
Dabei wird die elektrische Feldstarke der Entladung an dem zu behandelnden Isolierstoffband vorteilhaft auf mindestens 0,5 KV/mm, vorzugsweise auf einen Wert von 3 KV/mm eingestellt. Ein Maximalwert ist unmittelbar durch die Vurchbruchsfeldstärke gegeben. Es muß aber auch andererseits dafür gesorgt werden, daß während der Behandlung eine zu starke Erwärmung des vielfach empfindlichen Isolierstoffbandes vermieden wird. Die Entladung nuß also als Hochspanniiigsentladung mit relativ geringer Wärme entwicklung stabilisiert werden. und darf nicht etwa in eine Bogenentladung umschlagen.The electric field strength of the discharge on the treated Insulating tape advantageously to at least 0.5 KV / mm, preferably to one value set at 3 KV / mm. A maximum value is directly due to the breakthrough field strength given. On the other hand, it must also be ensured that during the treatment Avoid excessive heating of the often sensitive insulating tape will. The discharge must therefore be a high-voltage discharge with relatively little heat development will be stabilized. and must not turn into an arc discharge.
Am einfachsten ist es, wenn die Vorbehandlung des zu metallisierenden Isolierstoffbandes an Buft meter Normaldruck stattfindet. Bei diesem üblicherweise angewandten Verfahren wird die zu behandelnde Folie von einer Ablaufrolle durch die Entladungszone zwischen einer Hochspannungselektrode und einer geerdeten Metallwalze geführt und auf eine weitere Rolle aufgewickelt. Die Entladung wird dann in der Regel *ine Art Corollaentladung. Eine andere Möglichkeit ist dann gegeben, werni man die Elektroden der Entladungsanordnung in dem gleichen evakuierten Behandlungsgefäß unterbringt, in welchem sich auch die der Metallisierung des Isolierstoffbandes dienende Bedampfungszone befindet. Man wird dann zweckmäßig den Entladungsraum unmittelbar an der Eintrittsstelle zur eigentlichen Bedampfungszone anordnen, derart, daß das zu behandelnde Isolierstoffband im Durchlaufverfahren sofort aus dem Bereich der elektrischen Entladung in die Bedampfungszone gelangt Die Entladung kann in bekannter Weise durch entsprechende Vorschaltwiderstände oder auch durch Anwendung einer eingeprägten Spannungsquelle als Hochspannungsentladung stabilisiert werden.It is easiest when the pretreatment of the to be metallized Insulating tape at Buft meter normal pressure takes place. Usually with this one The applied method is the film to be treated from a roll through the discharge zone between a high-voltage electrode and an earthed metal roller guided and wound onto another roll. The discharge is then in the Rule type of corolla discharge. Another possibility is then given, werni the electrodes of the discharge arrangement in the same evacuated treatment vessel accommodates, in which there is also the metallization of the insulating tape serving steaming zone is located. The discharge space is then expediently immediately Arrange at the entry point to the actual steaming zone, in such a way that the The insulating tape to be treated is removed from the area immediately in a continuous process electrical discharge enters the vapor deposition zone. The discharge can be known in Way by means of appropriate series resistors or by using an impressed one Voltage source can be stabilized as a high voltage discharge.
Gute befolge wurden sowohl mit Gleichspannungsentladungen als auch mit ilechselspanuungsentladungen, insbesondere auch mit Stoßentladungen, erzielt. Binde bevorzugte Entladungsanordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht in einer - gleichzeitig den Transport des zu behandelnden Isolierstoffbandes mitbewirkenden - angetriebenen Walze oder Rolle als die eine Entladungselektrode, die infolgedessen mit dem zu behandelnden Band aus Isoliermaterial unmittelbar in'Berührung gehalten wird. Die Gegenelektrode kann dann das zu behandelnde Band an der der Rolle gegenüberliegenden Bandfläche ebenfalls unmittelbar berühren und dann ebenfalls als Transportrolle ausgebildet sein.Good compliance has been with both DC discharges as well with alternating voltage discharges, especially with surge discharges. Binding preferred discharge arrangement for carrying out the method according to the invention consists in one - at the same time transporting the treated Insulating tape contributing - driven roller or role as the one Discharge electrode, which is consequently connected to the strip of insulating material to be treated is held directly in contact. The counter electrode can then be the one to be treated Also touch the tape directly on the surface of the tape opposite the roll and then also be designed as a transport roller.
Bevorzugt wird sie sich aber in einem gewissen z. B. einige mm betragenden Abstand zu dem zu behandelnden Isolierstoffband befinden. Schließlich ist es auch möglich, daß beide ntladungselektroden mit Abstand zu demozwischen ihnen hin-.However, it is preferred in a certain z. B. a few mm Distance to the insulating tape to be treated. After all, it is too possible that both discharge electrodes are at a distance between them.
durchgeführten Isolierstoffband angeordnet sind oder daß sich sogar das zu behandelnde Isolierstoffband völlig außerhalb der eigentlichen Entladungszone befindet. Bei dem zuletzt genannten Fall wird man eine Entladung mit einer durchbohrten Anode und/oder Kathode betreiben, so daß hinter der durchbohrten Elektrode ein Strahl aus geladenen Partikeln aus dem Entladungsgebiet austritt und unmittelbar auf das zu behandelnde Isolierstoffband zwn Auftreffen gebracht werden kann. Im Falle der Verwendung einer durchbohrten Anorde besteht der Behandlungsstrahl aus Elektronen, im Falle einer durchbohrten Kathode aus positiv geladenen Ionen der Entladung. Beide Fälle haben sich als günstig erwiesen, vor allem, wenn die auftreffenden Teilchen aus geladenem Sauerstoff- oder Metallatomen bestehen.performed insulating tape are arranged or that even the insulating tape to be treated completely outside of the actual discharge zone is located. In the latter case, a discharge will be pierced with a Anode and / or cathode operate so that a beam behind the pierced electrode of charged particles emerges from the discharge area and directly hits the to be treated insulating tape can be brought zwn impingement. In case of Using a pierced anorde, the treatment beam consists of electrons, in the case of a pierced cathode from positively charged ions of the discharge. Both Cases have been found to be beneficial, especially when the hitting particles consist of charged oxygen or metal atoms.
Zur Stabilisierung einer Wechselspannungsentladung kann auch eine stabilisierende Schicht unmittelbar an der Oberfläche einer der Elektroden, insbesondere in Form eines Isolierstoffüber-Zuge, vorgesehen sein.To stabilize an alternating voltage discharge, a stabilizing layer directly on the surface of one of the electrodes, in particular in the form of an insulating material cover train.
Zur Erklärung der Wirkungsweise der gemäß der Erfindung'vorgeschlagenen Vorbehandlung durch eine elektrische Entladung kann man z. B. annehmen, daß an der Oberfläche des Isolierstoffbandes eine remanente elektrische Polarisierung unter Bildung von polaren Molekülgruppen entsteht, die die Haftfestigkeit der aufgebrachten Metallatome auf der Unterlage verbessern. Gleichzeitig bewirkt die auf Grund der Vorbehandlung erzielte Polarisierung der Oberfläche des Isolierstoffbandes eine Verbesserung der Vernetzung zwischen den einzelnen Atomen der aufgedampften Metallschicht, wahrscheinlich auf-Grund einer durch die Vorbehandlung bedingten erhöhten Keimbildngswahrscheinlichkeit. Es resultiert also auch ein dichteres Gefüge der aufgedampften Metallisierung und damit bereits aus diesem Grunde eine Erhöhung des elektrischen Leitwerts. Schließlich hängt auch die Wachstumsgeschwindigkeit der aufgedampften Metallschicht eindeutig von einer solchen Vorbehandlung und zwar derart ab, daß bei intensiverer Vorbehandlung auch die aufgedampfte Metallisierung rascher wächst.To explain the mode of operation of the proposed according to the invention Pretreatment by electrical discharge can be done, for. B. assume that at the Surface of the insulating tape a remanent electrical polarization with the formation of polar molecular groups, which reduce the adhesive strength of the applied Improve metal atoms on the substrate. At the same time, due to the Pretreatment achieved a polarization of the surface of the insulating tape Improvement of the cross-linking between the individual atoms of the vapor-deposited metal layer, probably due to an increased likelihood of nucleation caused by the pretreatment. This also results in a denser structure of the vapor-deposited metallization and for this reason alone, an increase in the electrical conductance. In the end the growth rate of the vapor-deposited metal layer also clearly depends from such a pretreatment in such a way that with more intensive pretreatment the vapor-deposited metallization also grows faster.
Die Zeitspanne zwischen der Vorbehandlung und dem Einführen des Isolierstoffbandes in die Bedampfungszone ist an sich nicht kritisch, da es erfahrungsgemäß längere Zeit, z. B.The time between pretreatment and insertion of the insulating tape in the steaming zone is not critical, since experience has shown that it is longer Time, e.g. B.
mehrere Tage oder gar Monate, dauert, bevor die durch die Behandlung erzielten Eigenschaften des Isolierstoffbandes wieder verlorengehen. In diesem Fall müßte die Vorbehandlung wiederholt werden.It takes several days, or even months, before going through treatment The properties achieved by the insulating tape are lost again. In this case the pretreatment would have to be repeated.
Zu bemerken ist noch, daß die Wirkung- der gemäß der Erfindung vorzunehmenden Vorbehandlung durch eine elektrische Entladung hinsichtlich Beschleunigung des Dickenwachstums der Metallisierung und Verbesserung der Vernetzung innerhalb der Metallisierung sich bis auf Schichtdicken von O,OÇ/um bei vorbehandeltem Isolierstoffband bemerkbar macht. Der Vorteil einer Verbesserung der Haftfestigkeit ist Hingegen allgemein gegeben.It should also be noted that the effect is to be carried out according to the invention Pretreatment by means of an electrical discharge in order to accelerate the growth in thickness the metallization and improvement of the networking within the metallization is noticeable up to a layer thickness of 0. OÇ / um in the case of pretreated insulating tape power. On the other hand, the advantage of improving the adhesive strength is general given.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann z. B. angewendet werden, um eine Fläche des zu behandelnden'Isolierstoffbandes homogen mit einer überall gleich dicken Metallisierung zu versehen.The inventive method can, for. B. be applied to a The surface of the insulating tape to be treated is homogeneous with a to provide metallization of the same thickness everywhere.
Als Vorteil wird dann lediglich eine Verbesserung der Haftfestigkeit sowie der mechanischen Konsistenz der Metallisierung als auch ein schnelleres Wachstum der Metallisierung erzielt. Bevorzugt wird man jedoch das erfindungsgemäße Verfahren dann anwenden, wenn es sich darum handelt, ein mindestens an seiner Oberfläche aus einem Kullststoff wie Polytetrafluoräthylen oder einem Mischpolymerisat mit Polytetrafluoräthylen oder Polypropylen oder Silikon bestehendes Band derart zu metallisieren, daß mindestens die eine Bandfläche mit einem sich unmittelbar an den einen Längsrand des Bandes anschließenden Längsstreifen mit einer dickeren Metallisierung, in einem an den anderen Längsrand sich anschließenden Längsstreifen ohne Metalliserung und im Gebiet zwischen den beiden Streifen mit einer dunneren Metallisierung versehen wird. Dabei wird man vorzugsweise die Breite des eine dickere Metallisierung erhaltenen Randstreifens und/oder des nichtmetallisierten Randstreifens auf vorzugsweise etwa 1 bis 3 mm einstellen.The only advantage then is an improvement in the adhesive strength as well as the mechanical consistency of the metallization as well as faster growth achieved the metallization. However, preference is given to the process according to the invention then apply if it is a question of at least one on its surface a plastic such as polytetrafluoroethylene or a copolymer with polytetrafluoroethylene or to metallize existing polypropylene or silicone tape in such a way that at least the one band surface with a directly on the one longitudinal edge of the band subsequent longitudinal strips with a thicker metallization, in one to the other longitudinal edge adjoining longitudinal strips without metallization and in the area is provided with a thinner metallization between the two strips. Included the width of the edge strip obtained from a thicker metallization is preferably used and / or the non-metallized edge strip to preferably about 1 to 3 mm to adjust.
An Hand der Figuren 1 und 2 werden bevorzugte Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Verfahrens beschrieben. Fig. 1 bezieht sich dabei auf den Fall, bei dem die die Vorbehandlung bewirkende Entladung unter Normaldruck in Luft erfolgt, während bei dem an Hand von Fig. 2 beschriebenen Verfahren die elektrische Entladung in der gleichen hochevakuierten Umgebung erfolgt,'in der auch die Bedampfungszone angeordnet ist.Preferred exemplary embodiments are illustrated with reference to FIGS. 1 and 2 of the method according to the invention described. Fig. 1 refers to the Case in which the discharge causing the pretreatment under normal pressure in air takes place, while in the method described with reference to FIG. 2, the electrical Discharge takes place in the same highly evacuated environment as the vapor deposition zone is arranged.
Bei beiden in den Figuren 1 und 2 dargestellten Fällen wird das zu metallisierende Isolierstoffband 1 von einer Vorratstrommel 2 kontinuierlich abgewickelt und im Durchlaufverfahren durch eine laufend evakuierte Bedampfungszone 3 hindurch zu einer Aufwickeltrommel 4 geführt. Die Abwickel- und Aufnsickeltrommel ist im Fall der in der Figur 1 dargestellten Vorrichtung außerhalb der evakuierten, die Bedampfungszone 3 enthaltenden Behälter angeordnet. Deshalb muß das zu inetallisierende Isolierstoffband an seiner Entrittsstelle 5 in diesen Behälter eingeführt una urin metallisiertem Zustand an einer Austrittsstelle 6 wieder herausgeführt werden. Man muß also durch Anbringen entsprechender Dichtungen oder Schleusen dafür sorgen, daß das Isolierstoffband kontinuierlich durch das evakuierte Bevdampfungsgefäß hindurchgeführt werden kann, ohne daß es zu einem die Leistung der Evakuierungspumpe überfordernden Einbruch der äußeren Atmosphäre in das evakuierte Bedampfungsgefäß kommt.In both cases shown in FIGS. 1 and 2, this becomes true metallizing insulating tape 1 unwound continuously from a supply drum 2 and in the continuous process through a continuously evacuated vapor deposition zone 3 led to a take-up drum 4. The unwinding and winding drum is in Case of the device shown in Figure 1 outside of the evacuated, the Steaming zone 3 arranged containing container. Therefore must the insulating tape to be metallized at its entry point 5 in this container introduced una urine metallized state at an exit point 6 led out again will. So you have to install appropriate seals or locks for it ensure that the insulating tape continuously through the evacuated evaporation vessel can be passed through without affecting the performance of the evacuation pump Overwhelming break-in of the external atmosphere into the evacuated vapor deposition vessel comes.
Die Bedampfungszone 3 ist außerdem mit mindestens einem, den erforderlichen Metalldarnpf, insbesondere Aluminium- oder Zinkdampf, liefernden Bedampfungsquelle 7 und einer das Isolierstoffband an der Bedampfungstelle tragezlden Kühlwalze 8 ausgesteattet. Die Bedampfungsquelle 7 wird zweckmäßig an derjenigen Seite des Isplierstoffbandes 1 angeordnet, die mit dem Metallbelag versehen werden soll. (Gegebenenfalls kann zweiseitig, also im Beispielsfalle von oben und von unten her, bedampft werden. In diesem Fall wird zweckmäßig je eine Bedampfungsquelle an der Oberseite und an der Unterseite des Isolierstoffbandes 1 in der Bedampfungszone 3 angeordnet.) Ein in unmittelbarer Nähe über der Bedampfungsfläche angeordneter Schirm 9 sorgt dafür, daß ein schmaler Randstreifen an einem Rand der zu metalliSierenden Fläche von der Bedampfung ausgespart bleibt. (Soll das Isoliexstaffband 1 an beiden Seiten metallisiert werden, so wird zweckmäßig der jeweils von der Bedampfung auszusparende Randstreifen so angeordnet, daß der ausgesparte Streifen zu dem jeweils mit einer verstärkten Metallisierung zu versehenden Randstreifen auf Deckung angeordnet wird.) Der Erfindung cntspricht es nun, wenn das Isolierstoffband 1 vor dem Eintritt in die Metallisierungszone 3 zwischen zwei Elektroden einer elektrischen Entladung hindurchgeführt wird, derart, daß die Oberfläche der Isolierstoffolie mindestens stellenweise durch das elektrische Entladungsfeld beeinflußt wird. Wie aus den Figuren 1 und 2 ersichtlich, besteht die eine Elektrode 10 aus einer Metallwalze, die zugleich den Transport der Folie im Durchlaufverfahren unterstützt. Die Walze 10 ist beispielsweise über Erde an mehreren KV Gleich-oder Wechselspannung, insbesondere über einen entsprechenden Vorschaitwiederstand. Die andere Elektrode 11 der Entladung befindet sich an der anderen Seite des Isolierstoffbandes 1; sie besteht beispielsweise aus einem geschnittenen Metallblech und kann ohne Schwierigkeiten ausgetauscht werden. Sie ist zweckmäßigerweise so bemessen, daß die von ihr zur Gegenelektrode 8 übergehenden Feldlinien die Folie nur längs eines schmalen Randstreifens berühren, so daß die Wirkung der BXtladung sich nur auf diesen Längsstreifen der zu metallisierenden Polie erstreckt. Dieser Streifen befindet sich an derjenigen der Bedampfungsquelle 7 zugewandten Fläche des zu metallisierenden Bandes, die in der Bedampfungszone nicht gegen die Einwirkung der Bedampfungsquelle abgeschirmt ist.The steaming zone 3 is also with at least one, the required Metal vapor, in particular aluminum or zinc vapor, supplying vaporization source 7 and a cooling roller 8 carrying the insulating material tape at the steaming point equipped. The steaming source 7 is expediently on that side of the insulation tape 1 arranged to be provided with the metal coating. (Possibly can be vaporized on both sides, i.e. in the example from above and from below. In this case, it is expedient to have one vapor source on the top and one on the underside of the insulating tape 1 arranged in the vapor deposition zone 3.) A The screen 9 arranged in the immediate vicinity above the steaming surface ensures that that a narrow edge strip on one edge of the surface to be metallized by the Steaming is left out. (Should the insulating tape 1 be metallized on both sides the edge strip to be spared from the steaming is expedient arranged so that the recessed strip to each with a reinforced Metallization to be provided edge strips is arranged on cover.) The invention It is the same if the insulating strip 1 is in front of the entry into the metallization zone 3 between two Electrodes passed through an electrical discharge is, in such a way that the surface of the insulating film at least in places through the electric discharge field is influenced. As can be seen from Figures 1 and 2, one electrode 10 consists of a metal roller, which at the same time transports the slide supports in a continuous process. The roller 10 is for example over Earth to several KV direct or alternating voltage, in particular via a corresponding one Preview resistance. The other electrode 11 of the discharge is on the other side of the insulating tape 1; it consists, for example, of a cut Sheet metal and can be exchanged without difficulty. It is expedient dimensioned so that the field lines passing from it to the counter electrode 8 the film touch only along a narrow edge strip, so that the effect of the charge extends only on this longitudinal strip of the polie to be metallized. This The strip is located on the surface facing the vapor deposition source 7 of the strip to be metallized, which does not counteract the action in the vapor deposition zone the vapor source is shielded.
Der Querschnitt der elektrischen Entladung und damit die von der elektrischen Entladung beeinflußte Fläche des zu behandelnden Isolierstoffbandes 1 läßt sich also ersichtlich ohne Schwierigkeiten beliebig ausgestalten. Beispielsweise ist es auch möglich, unterbrochene Streifen der Oberfläche des Bandes 1 vorzubehandeln und verstärkt zu metallisieren, indem die Hochspannungsentladung nur von Zeit zu Zeit eingeschaltet wird.The cross section of the electrical discharge and thus that of the electrical one Discharge-influenced area of the insulating tape 1 to be treated can be thus can be designed as desired without difficulty. For example is it is also possible to pretreat interrupted strips of the surface of the strip 1 and reinforced to metallize by the high voltage discharge only from time to time Time is switched on.
Bei der an Hand von Figur 2 dargestellten Anordnung ist eigentlich nur als einziger Unterschied gegenüber der in Fig. 1 dargestellten Anordnung zu verzeichnen, daß sich alle Teile im Innern der evakuierten Bedampfungsanlage 3 befindet. Die Entladung wird dann ein anderes Aussehen als im Falle der Inbetriebnahme unter normalem Druck erhalten. Sie wird dann zur Glimnentladung. Man muß ebenfalls dafür sorgen, daß die Glimmentladung stabilisiert wird und nicht in eine Bogenentladung umschlägt. Gegebenenfalls genügt es, wenn eine Elektrode der Entladung (z. B. die walzenförmige Elektrode 10) mit einem Isolierstoff überzogen ist, nämlich dann, wenn es sich um eine Wechselstromentladung handelt.In the arrangement shown on the basis of FIG. 2, it is actually only as the only difference compared to the arrangement shown in Fig. 1 to record that all parts are inside the evacuated vapor deposition system 3. The discharge will then look different than in the case of commissioning received normal pressure. It then becomes a glow discharge. Man must also ensure that the glow discharge is stabilized and not in an arc discharge turns over. It may be sufficient if one electrode is the Discharge (z. B. the roller-shaped electrode 10) covered with an insulating material is, namely when it is an alternating current discharge.
Ist das das Kondensatordielektrikum bildende Isolierstoffband beidseitig metallisiert, so besteht die Weierverarbeitung zu einem elektrischen Kondensator offensichtlich darin, daß.dieses Band um eine senkrecht zu seiner Längsausdehnung orientierte Achse aufgespult, in dieser Lage fixiert und schließlich an seinen beiden Stirnseiten mit je einer Metallisierung versehen wird, die den weiteren elektrischen Anschluß der durch die - getrennten - Metallisierungen im Inneren des gewickelten Gebildes gegebenen Kondensatorelektroden bewirkt. Vielfach wird man jedoch von einer zweiseitigen Metallisierung Abstand nehmen.Is the insulating tape forming the capacitor dielectric on both sides metallized, then there is the processing of Weier into an electrical capacitor evident in the fact that this band is about a length perpendicular to its length oriented axis wound up, fixed in this position and finally on both of them Front sides are each provided with a metallization, which the other electrical Connection of the - separated - metallizations inside the wound Formed given capacitor electrodes causes. In many cases, however, one becomes of one Refrain from bilateral metallization.
Hier werden jeweils zwei (rechteckige) Isolierstoffbänder miteinander kombiniert. Die beiden Bänder sind lediglich auf einer Fläche und zwar in zueinander spiegelbildlicher Weise in Bezug auf die Symmetrieachse (Längsachse) der beiden einander sonst geometrisch gleichen Bänder metallisiert. Die Bänder werden derart mit zueinander parallelen Symmetrieachsen aufeinandergelegt, daß die nichtmetallisierte Fläche des ersten Bandes der metallisierten Fläche des zweiten Bandes zugekehrt ist. In dieser Lage werden darm die beiden Bänder um eine senkrecht zur Symmetrieachse der beiden Bänder orientierte Achse zu einer Rolle gewickelt und in üblicher Weise fixiert und kontaktiert. Da der zu der Metallisierung des einen Bandes gehörende verstärkte Randstreifen und der metallfreie Streifen des anderen Bandes unter diesen Voraussetzungen sowohl an der einen Stirnfläche als auch - mit vertauschten Rollen - an der anderen Stirnfläche des gewikkelten Gebildes angrenzen, wird man durch eine auf die beiden Stirnflächen beschränkte Metallisierung erreichen, daß die beiden, durch die Metallisierungen der beiden in dem gewickelten Gebilde enthaltenen isolierenden Bänder gegebenen Kondensatorelektroden in einwandfreier Weise kontaktiert sind. Das Kondensatordielektrikum besteht dann aus zwei nebeneinander angeordneten isolierenden Schichten, die durch die beiden kombinierten isolierenden Bänder gegeben sind. Gegebenenfalls können diese Bänder mit einem Klebemittel oder durch Verschweißen miteinander verbunden werden.Here, two (rectangular) strips of insulating material are connected to each other combined. The two bands are only on one surface and that in each other mirror image with respect to the axis of symmetry (longitudinal axis) of the two otherwise geometrically identical bands are metallized. The tapes are like this superimposed with mutually parallel axes of symmetry that the non-metallized Face of the first band facing the metallized surface of the second band is. In this position, the two bands are then rotated around a perpendicular to the axis of symmetry of the two belts oriented axis wound into a roll and in the usual way fixed and contacted. Since the one belonging to the metallization of one band reinforced edge strips and the metal-free strip of the other band below these Requirements both on one end face and - with reversed roles - Adjacent to the other end face of the wound structure, one becomes through one on the two End faces achieve limited metallization, that the two, through the metallizations of the two in the coiled structure contained insulating tapes given capacitor electrodes in perfect condition Way are contacted. The capacitor dielectric then consists of two next to each other arranged insulating layers, which by the two combined insulating Ribbons are given. Optionally, these tapes can be with an adhesive or be connected to one another by welding.
Wenn das Isolierstoffband auf Grund der von der Erfindung vorgeschlagenen Entladungsbehandlung lediglich stellenweise, insbesondere nur längs eines schmalen Streifens entlang einer Längakante des Bandes, vor dem Bedampfen behandelt wird, während die übrige Oberfläche des Isolierstoffbandes von der Entladung nicht beeinflußt wird, wird die Metallisierung, wie bereits mehrmals betont, ohne weiteres Zutun in dem vorbehandelten Streifen merklich dicker als außerhalb dieses Streifens. Der Unterschied wird jedoch umso kleiner, je dicker man insgesamt die Metallisierung wählt. Als obere Grenze ist der Wert von O,060/ua für die Dicke der Metallisierung zu erachten.If the insulating tape based on the proposed by the invention Discharge treatment only in places, in particular only along a narrow one Strip along a longitudinal edge of the tape before steaming is treated, while the remaining surface of the insulating tape is not affected by the discharge is, the metallization, as already emphasized several times, is done without further action noticeably thicker in the pretreated strip than outside of this strip. Of the However, the thicker the overall metallization, the smaller the difference chooses. The upper limit is the value of 0.060 / ia for the thickness of the metallization to consider.
Zu bemerken ist in diesem Zusammenhang noch, daß auf Grund der unterschiedlichen Dicke der Metallisierung und auch auf Grund einer durch das erfindungsgemäße Verfahren bedingten stärkeren Vernetzung innerhalb der Metallisierung eine Erhöhung des elektrischen Leitwertes in der auf die vorbehandelte Folie aufgebrachten Metallisierung zu verzeichnen ist.It should also be noted in this context that due to the different Thickness of the metallization and also due to the method according to the invention due to stronger cross-linking within the metallization an increase of the electrical Conductivity in the metallization applied to the pretreated film is.
So konnte bereits in ersten Versuchen bei Anwendung auf ein Polypropylenband mit 10/um Stärke ein Leitwertunterschied von 2 : 1 zwischen den an den vorbehandaten Stellen und den nicht vorbehandelten Stellen niedergeschlagenen Teilen der Uetallisierung festgestellt werden. Da das erfindungsgemäße Verfahren ohne Anwendung von Blenden zur Erzeugung von lokalen Dickenunterschieden der Metallisierungen herangezogen werden kann, gibt es auch für das zu behandelnde Band keine Längenbegrenzung.It was already possible to use it on a polypropylene tape in the first tests with a thickness of 10 μm, a difference in conductance of 2: 1 between those on the pre-treated materials Places and the parts of the metalization that have not been pre-treated to be established. Since the method according to the invention without the use of diaphragms used to generate local thickness differences in the metallizations there is also no length limit for the band to be treated.
15 Patentansprüche 2 Figuren15 claims 2 figures
Claims (15)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19722235673 DE2235673C3 (en) | 1972-07-20 | 1972-07-20 | Method of making a metallized tape intended for a self-healing electrical capacitor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19722235673 DE2235673C3 (en) | 1972-07-20 | 1972-07-20 | Method of making a metallized tape intended for a self-healing electrical capacitor |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2235673A1 true DE2235673A1 (en) | 1974-01-31 |
| DE2235673B2 DE2235673B2 (en) | 1977-08-04 |
| DE2235673C3 DE2235673C3 (en) | 1978-04-06 |
Family
ID=5851193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19722235673 Expired DE2235673C3 (en) | 1972-07-20 | 1972-07-20 | Method of making a metallized tape intended for a self-healing electrical capacitor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE2235673C3 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0216342A2 (en) * | 1985-09-27 | 1987-04-01 | Hoechst Aktiengesellschaft | Method of making a film for a transfer metallizing process |
| DE102013108411A1 (en) * | 2013-08-05 | 2015-02-05 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Pass substrate treatment plant |
-
1972
- 1972-07-20 DE DE19722235673 patent/DE2235673C3/en not_active Expired
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0216342A2 (en) * | 1985-09-27 | 1987-04-01 | Hoechst Aktiengesellschaft | Method of making a film for a transfer metallizing process |
| EP0216342A3 (en) * | 1985-09-27 | 1989-01-04 | Hoechst Aktiengesellschaft | Method of making a film for a transfer metallizing process |
| DE102013108411A1 (en) * | 2013-08-05 | 2015-02-05 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Pass substrate treatment plant |
| DE102013108411B4 (en) * | 2013-08-05 | 2017-08-24 | Von Ardenne Gmbh | Pass substrate treatment plant |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2235673C3 (en) | 1978-04-06 |
| DE2235673B2 (en) | 1977-08-04 |
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Legal Events
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