DE10354694C5 - Induktiver Sensor - Google Patents
Induktiver Sensor Download PDFInfo
- Publication number
- DE10354694C5 DE10354694C5 DE2003154694 DE10354694A DE10354694C5 DE 10354694 C5 DE10354694 C5 DE 10354694C5 DE 2003154694 DE2003154694 DE 2003154694 DE 10354694 A DE10354694 A DE 10354694A DE 10354694 C5 DE10354694 C5 DE 10354694C5
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- coil
- carrier
- sensor
- layers
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
- G01D5/202—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils by movable a non-ferromagnetic conductive element
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
- F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
- F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
- F15B15/2861—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using magnetic means
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
- H05K1/165—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed inductors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
- H05K2201/097—Alternating conductors, e.g. alternating different shaped pads, twisted pairs; Alternating components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10007—Types of components
- H05K2201/10151—Sensor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10227—Other objects, e.g. metallic pieces
- H05K2201/10416—Metallic blocks or heatsinks completely inserted in a PCB
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)
Abstract
Induktiver
Sensor zur Detektion der Annäherung
eines metallischen Gegenstands in den Sensorbereich mit einer Spule
(12) und zugeordnetem Spulenkern (20), wobei die Spule (12) gebildet
ist von einem mehrschichtig aufgebauten Träger (16, 18; 116) und Schichten (16,
18) des Trägers
Leiterbahnabschnitte (24, 26) tragen, die über Kontaktierungen (28) verbunden
sind, so dass die Leiterbahnabschnitte (24, 26) der Schichten (16,
18) zu durchgehenden Wicklungen der Spule (12) vervollständigt sind
und wobei zwischen den Schichten (16, 18) der als Zwischenschicht
(36) ausgebildete Spulenkern (20; 22) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet,
dass der Träger
(16, 18; 116) als ebene Leiterplatte ausgebildet ist und dass der Träger (16,
18; 116) elektronische Komponenten (34), z. B. einer Auswerteschaltung
(14) trägt,
wobei ein gewünschter Verlauf
des Magentfelds erreichbar ist, indem der Spulenkern in verschiedenen
Formen ausgebildet sein kann und dass die Wicklungen der Spule einer
Spulenkerngeometrie angepasst sind, um über die Form einen...
Description
- Die Erfindung betrifft einen induktiven Sensor gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
- Sensoren dieser Art werden beispielsweise in der Automatisierungstechnik verwendet zur Positionsbestimmung bei pneumatischen Zylindern um die jeweilige Position eines innerhalb des Zylinders laufenden Kolbens zu erfassen. Dazu wird über den an dem Zylinder befestigten Sensor das magnetische Feld eines an dem Kolben befestigten Magnetrings aufgenommen und durch Auswertung des Ausgangssignals des magnetischen Sensors die jeweilige Position des Kolbens bestimmt. Zu diesem Zweck enthält der Sensor eine Spule mit mehreren Wicklungen, die zur Verstärkung und Führung des Magnetfeldes einen weichmagnetischen Spulenkern umgeben. Wenn der Magnetring durch Verschieben des Kolbens in eine bestimmte Position gebracht wird, wird die Spule durch den Magnetring in Sättigung gebracht, wodurch die Induktivität der Spule verändert wird. In einer mit der Spule verbundenen Auswerteschaltung wird diese Induktivitätsänderung detektiert und ein entsprechendes Positionssignal ausgegeben.
- In einer anderen Anwendung wird mittels des induktiven Sensors die Annäherung eines metallischen Gegenstandes in den Sensorbereich detektiert, wobei die Annäherung des metallischen Gegenstandes wiederum eine Änderung der Induktivität bewirkt, die von der Auswerteschaltung erkannt wird.
- Stand der Technik
- Aus der
DE 200 01 648 U1 ist ein induktiver Sensor bekannt, bei dem die Spule aus einer auf einem dreidimensionalen Schaltungsträger aufgedruckten Leiterbahn besteht und der dreidimensionale Schaltungsträger eine Vertiefung aufweist, in der ein Spulenkern gehalten ist, so dass der Spulenkern definiert positioniert gegenüber der Spule gehalten ist. Der dreidimensionale Schaltungsträger bildet gleichzeitig einen Teil des Sensorgehäuses. - Aus der
DE 37 38 455 C2 ist aus den dort beschriebenen Ausführungsbeispielen gemäß15 und16 eine Anordnung zur Messung kleiner Magnetfelder bekannt, mit der z. B. magnetische Tinte auf Geldscheinen detektiert werden kann. Dabei sind zwei Spulen gebildet, in denen Spulenhälften auf Isolierschichten aufgebracht sind und mittels Durchkontaktierungen zu den kompletten Spulen verbunden sind. Die so schichtartig aufgebauten Spulen sind auf einem Substrat aufgebracht, um direkt auf einem Chip integriert werden zu können. - Aufgabenstellung
- Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der Erfindung, einen Sensor der eingangs genannten Art bereitzustellen, der insbesondere einfacher, in weniger Arbeitsschritten und damit kostengünstiger herzustellen ist, der für viele Einsatzgebiete geeignet ist und der eine kleinere Bauform ermöglicht.
- Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Sensor mit den Merkmalen des Anspruchs 1.
- In dieser neuen Anordnung kann auf eine dreidimensionale Ausbildung des Schaltungsträgers verzichtet werden, wodurch erheblich Bauraum gewonnen wird. Außerdem ist ein ebener Schaltungsträger, also eine Leiterplatte, eine Standard-Handelsware und dementsprechend kostengünstig in der Anschaffung und in der Handhabung.
- Durch den schichtweisen Aufbau ist eine sehr einfache und kostengünstige Zuordnung von Spule zu Spulenkern geschaffen und die bisherige Trennung von Spulenkern und den restlichen, insbesondere elektronischen Komponenten des Sensors aufgehoben, so dass eine automatisierte, kostengünstige Fertigung des kompletten Sensors möglich ist.
- In der erfindungsgemäßen Ausgestaltung kann die Spulenkerngeometrie und die Anordnung der Windungen der Spule sehr präzise und reproduzierbar in der Fertigung hergestellt werden, so dass der erfindungsgemäße Sensor sehr viel geringere Fertigungstoleranzen aufweist und daher eine höhere Messgenauigkeit bei geringeren Herstellkosten haben kann.
- Durch den schichtweisen Aufbau verfügt die Spule und damit der gesamte Sensor über eine sehr kompakte Bauform. Die elektronischen Komponenten der Auswerteelektronik können auf den selben Schaltungsträger aufgebracht sein. Die Herstellkos ten werden dadurch erheblich reduziert. Die kleinere Bauform kann weiter neue Anwendungsmöglichkeiten eröffnen.
- Durch die Ausbildung des Spulenkerns als Zwischenschicht ist ein minimalster Bauraum realisiert. Insbesondere kann der Spulenkern durch eine Folie eines amorphen Metalls gebildet sein.
- Wenn der Träger als mehrschichtige ebene Leiterplatte ausgebildet ist, kann die Herstellung weiter vereinfacht sein.
- Alternativ kann jede äußere Schicht durch eine separate Leiterplatte gebildet sein. Das kann gegebenenfalls vorteilhaft sein, wenn eine größere Variantenvielfalt gewünscht ist. Die separaten Leiterplatten könnten mit verschiedenen Komponenten bestückt sein.
- Je nachdem in welcher Anwendung der Sensor eingesetzt werden soll, kann es wünschenswert sein, mehrere Magnetfelder oder ein speziell geformtes Magnetfeld des Sensors zu erhalten, so dass in einer Weiterbildung der Erfindung weitere Spulen auf dem Träger vorgesehen sind und/oder in einer weiteren Weiterbildung der Spulenkern in einfachster Weise in verschiedenen Formen ausgebildet sein kann, wobei die Spulenwicklungen an die Form angepasst sind, so dass ein gewünschter Verlauf des Magnetfeldes erreichbar ist. Über den Verlauf des Magnetfeldes lässt sich beispielsweise der Schaltabstand des Sensors beeinflussen.
- Zum Schutz von Schaltungsträger und Spulenkern sollte bevorzugt ein Gehäuse vorgesehen sein, in dem diese gehalten sind, wobei das Gehäuse für eine kostengünstige Massenfertigung in Spritzgusstechnik herstellbar ist.
- Ausführungsbeispiel
- Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung im Einzelnen erläutert. In der Zeichnung zeigen:
-
1 eine schematische Explosionsdarstellung einer Spule mit Spulenkern eines erfindungsgemäßen Sensors; -
2 eine schematische Darstellung der wesentlichen Komponenten eines erfindungsgemäßen Sensors im Querschnitt; -
3 andere Ausführungsformen von Spulen eines Sensors. - Ein erfindungsgemäßer induktiver Sensor
10 weist wenigstens eine Spule12 zur Erzeugung eines Magnetfeldes auf. Der Spule12 ist eine Auswerteelektronik14 zugeordnet, die Veränderungen elektromagnetischer Eigenschaften der Spule erkennt und daraus gegebenenfalls ein Signal ableitet und dieses Signal ausgibt. In der Regel wird eine Veränderung der Induktivität der Spule bestimmt und in Abhängigkeit davon ein Schaltsignal ausgegeben. In der2 ist der Sensor10 dargestellt, allerdings ohne elektrische Anschlüsse und ohne ein Gehäuse, um eine bessere Übersichtlichkeit zu erhalten. -
1 zeigt in einer Explosionsdarstellung einen möglichen Aufbau der Spule12 . Hierfür sind in einer parallelen Anordnung eine erste Schicht16 und eine zweite Schicht18 , beispielsweise bestehend aus FR4, vorgesehen. Zwischen den beiden Schichten16 und18 befindet sich ein als Spulenkern20 dienender Streifen22 eines amorphen Metalls. Das Metall kann beispielsweise eine Eisen-Nickel-Legierung sein. - Die Schichten
16 und18 dienen als ebener Träger von Leiterbahnen und enthalten mehrere Leiterbahnenabschnitte24 bzw.26 . Die Leiterbahnabschnitte24 bzw.26 einer Schicht16 bzw.18 sind im Wesentlichen parallel zueinander und hinsichtlich der Längsrichtung30 der zu bildenden Spule12 mit Abstand a voneinander angeordnet. Die Ausrichtung der Leiterbahnabschnitte26 der zweiten Schicht18 ist bezüglich der Ausrichtung der Leiterbahnabschnitte24 der ersten Schicht16 abgewinkelt. - An den beiden Enden jedes Leiterbahnabschnittes
24 ,26 sind an den beiden Schichten16 ,18 Durchkontaktierungen28 vorgesehen (in1 gestrichelt und der besseren Übersichtlichkeit halber lediglich im linken Bereich eingezeichnet). Mit Ausnahme der beiden äußeren Leiterbahnabschnitte24 der ersten Schicht16 verbinden die Durchkontaktierungen28 jeden Leiterbahnabschnitt24 bzw.26 einer Schicht16 bzw.18 mit jeweils zwei zueinander benachbarten Leiterbahnabschnitten26 bzw.24 der anderen Schicht18 bzw.16 . - Die Anordnung der Leiterbahnabschnitte
24 und26 und der Durchkontaktierungen28 ist dergestalt schraubenförmig gewählt, dass die den Spulenkern20 umgebende Spule12 gebildet ist, wobei je ein Leiterbahnabschnitt24 , eine Durchkontaktierung28 und je ein Leiterbahnabschnitt26 eine Windung der Spule12 bilden. - Der Abstand a zwischen den Leiterbahnabschnitten
24 ,26 kann variieren, wie in1 angedeutet, so dass die Wicklungsdichte der somit gebildeten Spule12 entlang der Längsrichtung30 variiert. Die beiden Enden der Spule12 sind gebildet durch Anschlusskontakte32 . - Die Schichten
16 und18 können gemeinsam eine Leiterplatte bilden oder als einzelne Leiterplatten ausgebildet sein. - Eine oder beide der Schichten
16 ,18 tragen die Auswerteschaltung14 , deren elektronische Komponenten, von denen in2 vier beispielhaft dargestellt und mit Bezugsziffern34 versehen sind, in unmittelbarer Nähe der Spule12 angeordnet sein können. Mit der Auswerteschaltung14 ist ein von der Induktivität der Spule12 abhängiges Sensorsignal erzeugbar. Über nicht dargestellte Zuleitungen ist der Sensor10 mit elektrischer Energie versorgbar und/oder sind die Signale der Auswerteschaltung21 ausgebbar. Die elektronischen Komponenten könnten in platzsparender Weise auch in nicht dargestellter Weise auf einer weiteren Schicht der Leiterplatte angeordnet sein. - Die Leiterbahnabschnitte
24 ,26 können in bekannter Weise bei der Herstellung der Schichten durch fotolithographische Prozesse hergestellt werden, wobei die Spule mit einer hohen Genauigkeit und Reproduzierbarkeit erzeugt werden kann. - Die Spule
12 erzeugt bei Stromfluss durch die Leiterbahnabschnitte24 ,26 ein Magnetfeld, das mittels eines Spulenkerns18 derart geführt wird, dass es in einem gewünschten Bereich eine entsprechende Feldstärke erzeugt. - Sämtliche Komponenten des Sensors
10 , insbesondere die Schichten16 ,18 mit dem der Spule12 und dem Spulenkern20 , sind bevorzugt in einem nicht dargestellten Gehäuse gehalten. In der Zeichnung nicht dargestellte Anzeigeelemente, Bedienelemente und/oder Anschlussbauelemente, wie Kabel oder Steckverbinder, können ebenso in dem Gehäuse angeordnet sein. - In einer Ausgestaltung der Erfindung kann der Träger der Leiterbahnenabschnitte
24 und26 auch als mehrschichtige ebene Leiterplatte ausgebildet sein, die von beiden Seiten mit elektronischen Komponenten34 bestückbar ist und die eine Zwischenschicht36 aufweist, die den Spulenkern20 bildet, wie dies in2 dargestellt ist. - Weitere Ausführungsformen mit anderen Anordnungen von Spulenkernen, Leiterbahnen und Spulen sind im Rahmen der Erfindung möglich. So ist in
3 ein Träger116 gezeigt, auf dem zwei Spulen112 und113 vorgesehen sind. In der3 sind jeweils nur die Umrisse der Spulenkerne120 und121 und die Durchkontaktierungen128 zur Spulenbildung dargestellt. - Es sind also in einfachster Weise Sensoren mit mehreren Spulen herstellbar. Ebenso können die Spulen und Spulenkerne verschiedenste Formen aufweisen. Durch die unterschiedlichen Formen lassen sich unterschiedliche Magnetfeldverläufe erzeugen, so dass sich damit Schaltpunkte des Sensors beeinflussen lassen.
Claims (5)
- Induktiver Sensor zur Detektion der Annäherung eines metallischen Gegenstands in den Sensorbereich mit einer Spule (
12 ) und zugeordnetem Spulenkern (20 ), wobei die Spule (12 ) gebildet ist von einem mehrschichtig aufgebauten Träger (16 ,18 ;116 ) und Schichten (16 ,18 ) des Trägers Leiterbahnabschnitte (24 ,26 ) tragen, die über Kontaktierungen (28 ) verbunden sind, so dass die Leiterbahnabschnitte (24 ,26 ) der Schichten (16 ,18 ) zu durchgehenden Wicklungen der Spule (12 ) vervollständigt sind und wobei zwischen den Schichten (16 ,18 ) der als Zwischenschicht (36 ) ausgebildete Spulenkern (20 ;22 ) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (16 ,18 ;116 ) als ebene Leiterplatte ausgebildet ist und dass der Träger (16 ,18 ;116 ) elektronische Komponenten (34 ), z. B. einer Auswerteschaltung (14 ) trägt, wobei ein gewünschter Verlauf des Magentfelds erreichbar ist, indem der Spulenkern in verschiedenen Formen ausgebildet sein kann und dass die Wicklungen der Spule einer Spulenkerngeometrie angepasst sind, um über die Form einen gewünschten Verlauf des Magnetfelds zu erzeugen und somit den Schaltabstand des Sensors zu beeinflussen. - Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (
16 ,18 ;116 ) aus FR4 besteht. - Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spulenkern (
20 ) durch eine Folie (22 ) eines amorphen Metalls gebildet ist. - Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jede äußere Schicht (
16 ,18 ) gebildet ist durch eine separate Leiterplatte (16 ,18 ). - Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine weitere Spule (
112 und113 ) in gleicher Weise auf dem selben Träger (116 ) angeordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2003154694 DE10354694C5 (de) | 2003-11-22 | 2003-11-22 | Induktiver Sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2003154694 DE10354694C5 (de) | 2003-11-22 | 2003-11-22 | Induktiver Sensor |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10354694A1 DE10354694A1 (de) | 2005-06-30 |
DE10354694B4 DE10354694B4 (de) | 2006-10-05 |
DE10354694C5 true DE10354694C5 (de) | 2008-10-09 |
Family
ID=34625197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2003154694 Expired - Fee Related DE10354694C5 (de) | 2003-11-22 | 2003-11-22 | Induktiver Sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10354694C5 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102914252A (zh) * | 2011-08-05 | 2013-02-06 | 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 | 传感器和传感器元件 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2929397A1 (fr) * | 2008-05-21 | 2009-10-02 | Continental Automotive France | Capteur de deplacement magnetique et procede de fabrication associe |
DE102008035326A1 (de) | 2008-07-22 | 2010-01-28 | Balluff Gmbh | Weg-/Positionsmessvorrichtung |
EP2149784B1 (de) * | 2008-07-31 | 2012-04-04 | Kuhnke Automotive GmbH & Co. KG | Magnetisches Wegsensorsystem |
FR2979792B1 (fr) * | 2011-09-07 | 2013-10-11 | Commissariat Energie Atomique | Capteur de courant |
US9484136B2 (en) | 2012-09-04 | 2016-11-01 | Analog Devices Global | Magnetic core for use in an integrated circuit, an integrated circuit including such a magnetic core, a transformer and an inductor fabricated as part of an integrated circuit |
DE102012216101B4 (de) | 2012-09-12 | 2016-03-24 | Festo Ag & Co. Kg | Verfahren zum Herstellen einer in einem Substrat integrierten Spule, Verfahren zur Herstellung einer mehrschichtigen Leiterplatte und elektronisches Gerät |
DE102012220022B4 (de) | 2012-11-02 | 2014-09-25 | Festo Ag & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung einer Spule und elektronisches Gerät |
DE102014210014A1 (de) * | 2014-05-26 | 2015-11-26 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Resolverlager, Resolverstator und Verfahren zu dessen Herstellung |
US20160005530A1 (en) * | 2014-07-02 | 2016-01-07 | Analog Devices Global | Inductive component for use in an integrated circuit, a transformer and an inductor formed as part of an integrated circuit |
CN106793452B (zh) * | 2016-12-02 | 2024-01-26 | 安徽沃巴弗电子科技有限公司 | 一种抗干扰装置 |
US11404197B2 (en) | 2017-06-09 | 2022-08-02 | Analog Devices Global Unlimited Company | Via for magnetic core of inductive component |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2940622A1 (de) * | 1979-10-06 | 1981-04-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
DE3738455C2 (de) * | 1986-11-25 | 1990-02-08 | Lgz Landis & Gyr Zug Ag, Zug, Ch | |
DE4019241C2 (de) * | 1990-06-15 | 1993-08-05 | Temic Telefunken Microelectronic Gmbh, 7100 Heilbronn, De | |
EP0785415A1 (de) * | 1996-01-24 | 1997-07-23 | Hans Ulrich Meyer | Induktiver Weggeber |
DE4311973C2 (de) * | 1993-04-14 | 1997-09-11 | Pepperl & Fuchs | Magneto-induktives Sensorsystem für eine magnetische Positions- und/oder Wegbestimmung |
EP0693673B1 (de) * | 1994-07-21 | 2000-04-26 | Tyco Electronics Logistics AG | Magnetischer Wegsensor |
DE10006422A1 (de) * | 2000-02-14 | 2000-07-20 | Erich Kaifler | Mini-Leistungsinduktivitäten |
FR2800459A1 (fr) * | 1999-10-27 | 2001-05-04 | Siemens Automotive Sa | Capteur analogique de position sans contact a couplage differentiel |
JP2001255108A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Mitsutoyo Corp | 誘導型トランスデューサ及び電子ノギス |
DE10025661A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-12-06 | Balluff Gebhard Feinmech | Wegmeßsystem |
JP2002039796A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Mitsutoyo Corp | 相対変位検出ユニット及び相対変位検出装置 |
JP2002081902A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-03-22 | Toshiba Corp | 位置センサ |
US6388636B1 (en) * | 2000-02-24 | 2002-05-14 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Circuit module |
DE20120658U1 (de) * | 2001-12-20 | 2002-05-23 | Vogt Electronic Ag | Induktive Positionserkennungsvorrichtung |
GB2369440A (en) * | 2000-07-13 | 2002-05-29 | Mitutoyo Corp | Induction-type relative displacement detecting unit |
EP1387179A2 (de) * | 2002-07-30 | 2004-02-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | In einer Leiterplatte integrierte Förstersonde und dessen Herstellungsverfahren |
-
2003
- 2003-11-22 DE DE2003154694 patent/DE10354694C5/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2940622A1 (de) * | 1979-10-06 | 1981-04-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
DE3738455C2 (de) * | 1986-11-25 | 1990-02-08 | Lgz Landis & Gyr Zug Ag, Zug, Ch | |
DE4019241C2 (de) * | 1990-06-15 | 1993-08-05 | Temic Telefunken Microelectronic Gmbh, 7100 Heilbronn, De | |
DE4311973C2 (de) * | 1993-04-14 | 1997-09-11 | Pepperl & Fuchs | Magneto-induktives Sensorsystem für eine magnetische Positions- und/oder Wegbestimmung |
EP0693673B1 (de) * | 1994-07-21 | 2000-04-26 | Tyco Electronics Logistics AG | Magnetischer Wegsensor |
DE69702077T2 (de) * | 1996-01-24 | 2001-02-01 | Hans Ulrich Meyer | Induktiver Weggeber |
EP0785415A1 (de) * | 1996-01-24 | 1997-07-23 | Hans Ulrich Meyer | Induktiver Weggeber |
FR2800459A1 (fr) * | 1999-10-27 | 2001-05-04 | Siemens Automotive Sa | Capteur analogique de position sans contact a couplage differentiel |
DE10006422A1 (de) * | 2000-02-14 | 2000-07-20 | Erich Kaifler | Mini-Leistungsinduktivitäten |
US6388636B1 (en) * | 2000-02-24 | 2002-05-14 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Circuit module |
JP2001255108A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Mitsutoyo Corp | 誘導型トランスデューサ及び電子ノギス |
DE10025661A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-12-06 | Balluff Gebhard Feinmech | Wegmeßsystem |
GB2369440A (en) * | 2000-07-13 | 2002-05-29 | Mitutoyo Corp | Induction-type relative displacement detecting unit |
US6486796B2 (en) * | 2000-07-13 | 2002-11-26 | Mitutoyo Corporation | Relative-displacement detecting unit |
JP2002039796A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Mitsutoyo Corp | 相対変位検出ユニット及び相対変位検出装置 |
GB2370123A (en) * | 2000-07-24 | 2002-06-19 | Mitutoyo Corp | Relative displacement detecting device |
JP2002081902A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-03-22 | Toshiba Corp | 位置センサ |
DE20120658U1 (de) * | 2001-12-20 | 2002-05-23 | Vogt Electronic Ag | Induktive Positionserkennungsvorrichtung |
EP1387179A2 (de) * | 2002-07-30 | 2004-02-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | In einer Leiterplatte integrierte Förstersonde und dessen Herstellungsverfahren |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102914252A (zh) * | 2011-08-05 | 2013-02-06 | 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 | 传感器和传感器元件 |
DE102011109553A1 (de) * | 2011-08-05 | 2013-02-07 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Sensor und Sensorelement |
DE102011109553B4 (de) * | 2011-08-05 | 2013-04-11 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Sensor und Sensorelement |
CN102914252B (zh) * | 2011-08-05 | 2016-02-24 | 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 | 传感器和传感器元件 |
US9347800B2 (en) | 2011-08-05 | 2016-05-24 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Sensor and sensor element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10354694B4 (de) | 2006-10-05 |
DE10354694A1 (de) | 2005-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2956339B1 (de) | Bremsvorrichtung mit einem wegsensor für integrierte kraftfahrzeugbremssysteme | |
DE19680088B4 (de) | Kalibrier- und Herstellungsverfahren für einen Magnetsensor | |
DE10354694C5 (de) | Induktiver Sensor | |
DE10220981B4 (de) | Sensor für schwach magnetische Felder unter Verwendung der Herstellungstechnik für gedruckte Leiterplatten und Verfahren zum Herstellen eines solchen Sensors | |
DE10220982B4 (de) | Sensor für schwach magnetische Felder unter Verwendung der Herstellungstechnik für gedruckte Leiterplatten und Verfahren zum Herstellen eines solchen Sensors | |
EP0557608A1 (de) | Spulenaufbau | |
DE112011101948T5 (de) | Positionssensor | |
EP2149784B1 (de) | Magnetisches Wegsensorsystem | |
WO2010018098A1 (de) | Induktiver leitfähigkeitssensor | |
DE10220983B4 (de) | Sensor für schwach magnetische Felder unter Verwendung der Herstellungstechnik für gedruckte Leiterplatten und Verfahren zum Herstellen eines solchen Sensors | |
WO2015180712A1 (de) | Magnetische platine und verfahren zu deren herstellung | |
EP2100102B1 (de) | Messanordnung | |
WO2019197500A1 (de) | Verfahren zum herstellen einer planarspulenanordnung sowie eines damit versehenen sensorkopfes | |
EP3417245B1 (de) | Sensor | |
DE102016216330A1 (de) | Flexible Spulenordnung für einen magnetoelektrischen Weggeber, Weggeber und Herstellungsverfahren | |
DE10355003B4 (de) | Induktiver Sensor und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE102015200620A1 (de) | Induktive Positionsbestimmung | |
EP3417244B1 (de) | Positionssensor | |
DE102011010682B3 (de) | Spulenanordnung und Sensor | |
DE102018123800A1 (de) | Belastungsmessanordnung mit einem Lastelement und einem Belastungssensor, Herstellungsverfahren und Belastungsmessverfahren | |
DE102020111040B3 (de) | Werkzeugspannvorrichtung | |
DE4125462C1 (de) | ||
DE10062400C2 (de) | Flexible Induktive Bauelemente für Leiterfolien | |
WO2020104656A1 (de) | Magnetisches positionssensorsystem und sensormodul | |
EP4189330A1 (de) | Positionssensor zum bestimmen der position einer ventilstange eines stellventils |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8366 | Restricted maintained after opposition proceedings | ||
8392 | Publication of changed patent specification | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |