DE10337040A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht - Google Patents

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Abstract

Bei einem Verfahren zur Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht wird polarisierte optische Strahlung als Bleuchtungsstrahlung auf die Oberfläche bzw. Schicht gestrahlt und es werden in Abhängigkeit von dem Ort auf der Oberfläche bzw. in der Schicht im Wesentlichen gleichzeitig wenigstens eine Polarisationseigenschaft der von der Oberfläche als Messstrahlung zurückgeworfen bzw. von der Schicht als Messstrahlung abgegebenen optischen Strahlung erfasst. Eine Vorrichtung zur Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht umfasst eine Quelle für polarisierte optische Strahlung zur Abgabe von Beleuchtungsstrahlung auf die Oberfläche oder Schicht und eine Detektionseinrichtung zur ortsaufgelösten Erfassung wenigstens einer Polarisationseigenschaft der von der Oberfläche als Messstrahlung zurückgeworfenen bzw. von der Schicht als Messstrahlung abgegebenen optischen Strahlung.
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