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Die Erfindung betrifft ein Verfahren
zur Durchmischung von Flüssigkeiten
in Mikrokavitäten und
eine Vorrichtung zur Durchführung
des Verfahrens.
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Mikrokavitäten, z. B. in der Anordnung
von Mikro-Titerplatten, werden in der pharmazeutischen Forschung
und Diagnostik als 0Reaktionsgefäße eingesetzt.
Auf Basis des Standardformates von Mikro-Titerplatten sind hochautomatisierte
Prozeßabläufe in modernen
Labors möglich.
So sind z. B. Pipettierroboter, Geräte zur optischen Auslesung
biologischer Assays und auch die entsprechenden Transportsysteme
auf das Standardformat abgestimmt. Solche Standard-Mikro-Titerplatten gibt
es heute mit 96, 384 oder 1536 Kavitäten. Typische Volumina liegen
je Kavität
im Bereich von 300 μl
für 96er
Titerplatten, etwa 75 μl
für 384er
Mikro-Titerplatten sowie etwa 12 μl
für 1536er
Titerplatten. Mikro-Titerplatten sind im allgemeinen aus Kunststoff
gefertigt, z. B. aus Polypropylen oder Polystyrol, und häufig beschichtet oder
biologisch funktionalisiert.
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Die Miniaturisierung in Form solcher
Mikro-Titerplatten bzw. Mikrokavitäten im allgemeinen findet seine
Begründung
in den oftmals teuren Reagenzien und in der Tatsache, daß Probenmaterial
oft nicht in gewünschter
Menge zur Verfügung
steht, so daß Reaktionen
bei hoher Probenkonzentration nur durchgeführt werden können, wenn
die Volumina entsprechend verringert werden.
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Um die Reaktionen zu beschleunigen
sowie homogene Reaktionsbedingungen sicherzustellen, ist es wünschenswert,
die Reaktanden während
der Reaktion zu durchmischen. Dies ist insbesondere dann von Bedeutung,
wenn ein Reaktionspartner („Sonde") gebunden ist, d.h.
ein inhomogener Assay vorliegt. Hier kann eine Durchmischung eine
Verarmung der Probe an den gebundenen Sonden verhindern. Ganz allgemein
ist bei fehlender Durchmischung häufig die Diffusion der Reaktanden
der zeitbestimmende Schritt. Es kommt dadurch zu langen Reaktionszeiten
und geringem Probendurchsatz.
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Mikro-Titerplatten bzw. allgemein
Mikrokavitäten
werden bei bekannten Verfahren mittels sogenannter Schüttler durchmischt.
Solche Schüttler
umfassen mechanisch bewegliche Teile und sind zum einen schwer in
hochautomatisierte Linien zu integrieren. Die Durchmischung ist
darüber
hinaus insbesondere in kleinen Kavitäten, also z. B. 384er Mikro-Titerplatten
oder 1536er Mikro-Titerplatten sehr ineffizient. Bei so kleinen
Mikrokavitäten
werden kleine Flüssigkeitsmengen
scheinbar sehr viskos und in kleinen Volumina sind nur laminare
Strömungen möglich, d.h.
es gibt keine Turbulenzen, die eine effektive Durchmischung bewirken
würden.
Um trotz der bei kleinen Flüssigkeitsmengen
scheinbar hoch werdenden Viskosität einen ausreichenden Mischungseffekt
zu erzielen, sind hohe Leistungen des Schüttlers notwendig.
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So beschreibt WO 00/10011 A1 ein
Verfahren, mit dessen Hilfe eine Mikrokavität im Frequenzbereich von 1
bis 300 kHz geschüttelt
wird. Es werden Leistungen von 0,1 bis 10 Watt appliziert.
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In der Literatur sind verschiedene
andere Verfahren zur Durchmischung kleiner Flüssigkeitsmengen beschrieben.
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In
US 2002/0009015 A1 wird zur Mischung die
Ausnutzung von Kavitation beschrieben, also Nukleation, Expansion
und Zerfall oder Kollaps eines lokalen Vakuumraumes in der Flüssigkeit
oder einer Blase, also eines lokalen Gas-/Dampfraumes in der Flüssigkeit,
aufgrund eines akustischen Druckfeldes. Das Mischen der Flüssigkeit
wird durch die Eigendynamik des lokalen Vakuumraumes bzw. der Blase, also
deren Expansion und Zerfall erreicht. Um die akustische Leistungsschwelle
zur Bildung der lokalen Vakuumräume
bzw. der Blasen herabzusetzen, werden Nukleationskeime benötigt. Durch
diese Nukleationskeime ist die Gefahr der Verunreinigung groß. Zudem
ist die Bildung von lokalen Vakuumräumen oder Blasen oftmals unerwünscht.
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Andere bekannte Verfahren (z. B. „Microfluidic
motion generation with acoustic waves", X. Zhu et al. Sensors and Actuators,
A. Physical, Vol. 66/1–3, page
355 to 360 (1998) oder „Novel
acoustic wave micromixer",
V.Vivek et al., IEEE International Microelectro mechanical systems
conference 2002, pages 668 to 673, oder
US 5,674,742 A beschreiben
die Verwendung von membranartigen Elementen, die in sogenannten „flexural
plate wave modes" schwingen. Das
bewegungsvermittelnde Medium ist dabei in direktem Kontakt mit der
Flüssigkeit.
Die Herstellung derartig dünner
Membranen ist sehr kompliziert und die Gefahr der Verunreinigung
durch den Kontakt der Flüssigkeit
mit dem bewegungsvermittelnden Medium ist erhöht.
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US 6,357,907 B1 beschreibt die Verwendung von
magnetischen Kügelchen,
die sich in einem externen, zeitlich oder räumlich variablen Magnetfeld bewegen.
Zur Durchführung
des Mischvorganges müssen
die Kügelchen
in die Flüssigkeit
eingebracht werden, was aufgrund von Verunreinigungsproblemen oftmals
nicht erwünscht
ist.
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US 6,244,738 B1 beschreibt einen Mischvorgang
in einem langgestreckten geschlossenen Kanal. Zwei Flüssigkeitsströme strömen an einem
Ultraschallgeber vorbei und werden im Mikrokanal durchmischt. Zur
Durchführung
des Verfahrens ist ein komplizierter Aufbau mit einem Mikrokanalsystem
notwendig und es sind keine separaten, einzelnen Volumina mischbar.
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US 5,736,100 A beschreibt die Verwendung eines
Drehtellers mit kleinen Gefäßen, in
die Mikrokavitäten,
z. B. Eppendorf caps, eingesetzt werden können. In diesen Töpfchen befindet
sich z. B. Wasser, das von außen
mit Ultraschall bestrahlt wird. Die beschriebene Vorrichtung wirkt
also wie ein konventionelles Ultraschallbad. Das Wasser wird in
Schwingung versetzt und wirkt als bewegungsvermittelndes Element
direkt auf das jeweilige Töpfchen,
das auf diese Weise gerüttelt
wird.
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DE 101 17 772 A1 beschreibt die Durchmischung
von Flüssigkeiten
unter Verwendung von Oberflächenschallwellen,
die mit Hilfe von Interdigitaltransducern erzeugt werden. Die Flüssigkeit
befindet sich hier z. B. direkt auf dem schallvermittelnden Medium
selbst. Zumindest bei Mehrfachverwendung der Vorrichtungen besteht
die Gefahr der Kontamination. Ein Einsatz mit einer Mikro-Titerplatte
ist bei den beschriebenen Anordnungen nicht möglich.
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Aufgabe der vorliegenden Erfindung
ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, die eine effektive
Durchmischung von Flüssigkeiten
in Mikrokavitäten,
insbesondere einer Mikro-Titerplatte, ermöglichen und die Gefahr der
Kontamination gering halten.
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Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren
mit den Merkmalen des Anspruches 1 und einer Vorrichtung mit den
Merkmalen des Anspruches 22 gelöst. Unteransprüche sind
auf vorteilhafte Ausführungen gerichtet.
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Erfindungsgemäß wird mit Hilfe zumindest eines
piezoelektrischen Schallwandlers eine Ultraschallwelle einer Frequenz
größer oder
gleich 10 MHz durch eine Festkörperschicht
hindurch in Richtung der zumindest einen Mikrokavität und der
darin befindlichen Flüssigkeit
geschickt, um dort eine schallinduzierte Strömung zu erzeugen. Das Ausmaß der Festkörperschicht
in Schallausbreitungsrichtung ist größer als ein ¼ der Wellenlänge der
Ultraschallwelle.
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Der Frequenzbereich größer oder
gleich 10 MHz stellt sicher, daß ein
Rütteln
der gesamten Vorrichtung, wie sie z. B. bei Schüttelmechanismen des Standes
der Technik verwendet wird, bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
nicht auftritt. Eine Festkörperschicht,
die größer ist
als ¼ der
Wellenlänge
der Ultraschallwelle, kann wirksam verhindern, daß sich membranartige „flexural
plate wave modes" oder Lamb-modes
ausbilden. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
tritt der Ultraschall durch die Festkörperschicht direkt in die Mikrokavität ein und
erzeugt dort eine schallinduzierte Strömung. Die Verwendung der hohen
Frequenz stellt zudem sicher, daß die Schallabsorption in der
Flüssigkeit
groß ist.
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Die zu durchmischende Flüssigkeit
ist nicht in direktem Kontakt mit dem schallerzeugenden bzw. -vermittelnden
Medium. Eine Kontamination bei Mehrfachverwendung ist also ausgeschlossen.
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Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
kann eine effektive Durchmischung in einigen Minuten mit Leistungen
erreicht werden, die typischerweise kleiner sind als 50 Milliwatt
pro Kavität.
Bei guter akustischer Anpassung kann der Wert auch auf kleiner als 5
Milliwatt pro Kavität
gesenkt werden.
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Als Festkörperschicht kann ein gesondertes Substrat,
z. B. aus Kunststoff, Metall oder Glas eingesetzt werden. Die Dicken
liegen je nach der verwendeten Ultraschallwellenlänge z. B.
im Bereich von 0,1 mm bis zu einigen cm. Typische Ultraschallwellenlängen liegen
im Bereich von 10 μm
bis 100 μm.
Die Festkörperschicht
kann auch z. B. durch den Boden einer Mikrokavität oder den Boden einer Mikro-Titerplatte direkt
gebildet werden, der ggf. auf eine gewünschte Dicke eingestellt bzw.
geschliffen wird, bzw. den Boden umfassen.
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Der piezoelektrische Schallwandler
kann entweder monochromatisch durch Anlegen eines Hochfrequenzsignales
der Resonanzenergie bzw. einer Harmonischen angeregt werden (kontinuierlich oder
gepulst). Durch Wechsel der Frequenz oder Amplitude kann gezielt
Einfluß auf
das sich ergebene Mischmuster genommen werden. Die Einspeisung der
Resonanzfrequenz des Schallwandlers erhöht zudem die Effizienz der
Umwandlung der elektrischen in akustische Energie.
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Vorteilhaft kann aber auch ein Nadelimpuls verwendet
werden, der neben vielen anderen Fourier-Koeffizienten in der Regel
auch solche aufweist, die den Schallwandler resonant anregen können. Dies
senkt die Anforderungen an die benötigte Elektronik, da keine
spezielle Frequenz einstellbar sein muß.
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Besonders effektiv ist die Ultraschallabsorption
in der zu mischenden Flüssigkeit,
wenn die Wellenlänge
der Ultraschallwelle so gewählt
wird, daß sie in
der Flüssigkeit
kleiner oder gleich dem mittleren Füllstand in der Mikrokavität ist.
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Der Schallwandler kann unter der
Festkörperschicht
vollflächig
ausgebildet sein. Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn die
laterale Ausdehnung des Schallwandlers kleiner ist als das laterale Ausmaß der verwendeten
Mikrokavität.
Zum einen ist bei größerem Schallwandler
der kapazitive Anteil seiner Impedanz erhöht, wodurch sich die elektrische Anpassung
verändert,
und zum zweiten ist die Mischeffizienz kleiner, wenn der Schallwandler
größer ist
als das laterale Ausmaß der
Mikrokavität. Wenn
das laterale Ausmaß des
Schallwandlers andererseits kleiner ist als das laterale Ausmaß der Mikrokavität, hat der
Ultraschallstrahl eine kleinere laterale Ausdehnung als das laterale
Ausmaß der
Mikrokavität.
Seitlich des nach oben gerichteten Ultraschallstrahles kann die
Flüssigkeit
wieder nach unten fließen,
so daß dadurch
eine optimale Durchmischung der Flüssigkeit erreicht wird. Zum
Beispiel kann die Ultraschallwelle zentral von unten in die Mikrokavität eingekoppelt
werden, so daß sich
die Flüssigkeit
zentral in der Mikrokavität
nach oben bewegt und am Rande der Mikrokavität wieder nach unten zurückfließen kann.
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Der letztgenannte Effekt kann bei
einer alternativen Verfahrensführung
erreicht werden, indem zwischen den Schallwandler und die Mikrokavität eine Zwischenschicht
eingebracht wird, die ein schallabsorbierendes Material in einer
Anordnung umfaßt,
die es dem Ultraschall nur in einem begrenzten räumlichen Bereich ermöglicht,
in Richtung der Mikrokavität
zu propagieren. Beispiele für
vorteilhaft einsetzbare schallabsorbierende Medien sind Silikon,
Kautschuk, Silikonkautschuk, weiches PVC, Wachs o.ä.
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Zwischen der Mikrokavität und dem
Festkörpermaterial
kann ein flüssiges
oder festes Ausgleichsmedium, z. B. Wasser, Öl, Glyzerin, Silikon, Epoxidharz
oder ein Gelfilm eingebracht werden, um Unebenheiten auszugleichen
und einen sicheren akustischen Kontakt zu gewährleisten.
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Als Mikrokavitäten können z. B. Eppendorf caps oder
Pipettenspitzen oder andere Mikroreaktoren eingesetzt werden. Um
den Prozeß parallelisieren
zu können,
können
mehrere Mikrokavitäten gleichzeitig
eingesetzt werden. Besonders vorteilhaft ist die Verwendung einer
Mikro-Titerplatte, die bereits in einem vorgegebenen Rastermaß eine große Anzahl
von Kavitäten
bereitstellt.
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Ebenso können mehrere Mikrokavitäten z. B. mit
Hilfe einer Klebefolie mit Löchern
auf einem Glasslide definiert werden, vorzugsweise in den Maßen einer
herkömmlichen
Mikro-Titerplatte. Für
die Zwecke des vorliegenden Textes soll der Begriff „Mikro-Titerplatte" eine solche Anordnung
mit umfassen. Bei einer solchen Ausführungsform kann z. B. das Glasslide
direkt als Festkörperschicht
eingesetzt werden, die von der Ultraschallwelle durchstrahlt wird.
Auf diese Weise ist eine besonders kompakte Anordnung realisierbar.
Für die
Realisierung von nur einer Mikrokavität wird in analoger Weise eine
Klebefolie mit nur einem Loch eingesetzt.
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Das erfindungsgemäße Verfahren ist auch mit einem
einer Mikro-Titerplatte analogen Device durchführbar, bei dem auf einem Substrat
ein Feld von Teilbereichen vorgesehen ist, die bevorzugt von der
zu durchmischenden Flüssigkeit
benetzt werden und so als Ankerplatz für die zu durchmischende Flüssigkeit
dienen. Sind diese Felder im Rastermaß einer konventionellen Mikro-Titerplatte
angeordnet, so ergibt sich nach Aufbringen der Flüssigkeit
eine laterale Verteilung der Flüssigkeit
wie bei einer herkömmlichen
Mikro-Titerplatte, wobei einzelne Tropfen durch ihre Oberflächenspannung
zusammengehalten werden. Im vorliegenden Text soll der Begriff „Mikro-Titerplatte" eine solche Ausführung mit
umfassen.
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Eine Mikro-Titerplatte kann auf die
Festkörperschicht
aufgesetzt werden. Ist z. B. nur ein Schallwandler vorhanden, so
kann die Mikro-Titerplatte auf der Festkörper schicht bewegt werden,
um unterschiedliche Kavitäten
mit Ultraschall zu beschallen. Auf diese Weise kann individuell
ausgewählt
werden, welche Mikrokavität
gerade der Durchmischung ausgesetzt werden soll.
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Zur Durchmischung von Flüssigkeiten
in den einzelnen Kavitäten
einer Mikro-Titerplatte
wird bei einer besonderen Ausgestaltung des Verfahrens z. B. ein
Feld von piezoelektrischen Schallwandlern unterhalb der Festkörperschicht
eingesetzt, die die gleiche Anordnung haben wie die Kavitäten einer
Mikro-Titerplatte. Werden diese Schallwandler individuell angesteuert,
können
die Flüssigkeiten
in den einzelnen Kavitäten
unabhängig
durchmischt werden. Ein solches Feld piezoelektrischer Schallwandler
läßt sich
einfach in Automatisierungslösungen
integrieren.
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Bei einer anderen vorteilhaften Verfahrensführung wird
mit Hilfe einer Ultraschallwellenerzeugungseinrichtung Ultraschall
derart in die Festkörperschicht
eingekoppelt, daß Ultraschalleistung
zumindest an zwei Auskoppelpunkten aus der Festkörperschicht in eine entsprechende
Anzahl von Mikrokavitäten
einkoppelbar ist. Dies kann z. B. durch eine Ultraschallwellenerzeugungseinrichtung
erreicht werden, die bidirektional abstrahlt. Bei einer Ausführungsform
der Erfindung wird die Ultraschallwelle mit Hilfe einer Oberflächenwellenerzeugungseinrichtung,
vorzugsweise eines Interdigitaltransducers, auf einem piezoelektrischen
Kristall erzeugt, der auf einem piezoelektrischen Kristall aufgebracht
ist.
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Der den Interdigitaltransducer tragende
piezoelektrische Kristall kann auf die Festkörperschicht geklebt, gepreßt, gebondet
oder über
ein Koppelmedium (z. B. elektrostatisch oder über einen Gelfilm) an die Festkörperschicht
geklebt, gepreßt
oder gebondet sein.
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Derartige Interdigitaltransducer
sind kammartig ausgebildete metallische Elektroden, deren doppelter
Fingerabstand die Wellenlänge
der Oberflächenschallwelle
definiert und die durch optische Fotolithographieverfahren z. B.
im Bereich um die 10 μm
Fingerabstand hergestellt werden können. Solche Interdigitaltransducer werden
z. B. auf piezoelektrischen Kristallen vorgesehen, um darauf Oberflächenschallwellen
in an sich bekannter Weise anzuregen.
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Mit Hilfe eines solchen Interdigitaltransducers
können
auf unterschiedliche Weise Volumenschallwellen in der Festkörperschicht
erzeugt werden, die dieses schräg
durchsetzen. Der Interdigitaltransducer erzeugt eine bidirektional
abstrahlende Grenzflächenwelle
(LSAW) an der Grenzfläche
zwischen dem piezoelektrischen Kristall und der Festkörperschicht,
auf der er aufgebracht ist. Diese Grenzflächen-Leckwelle strahlt Energie als Volumenschallwellen
(BAW) in die Festkörperschicht
ab. Dadurch nimmt die Amplitude der LSAW exponentiell ab, wobei
typische Abklinglängen
etwa 100 μm
sind. Der Abstrahlwinkel α der
Volumenschallwellen in die Festkörperschicht
gemessen gegen die Normale der Festkörperschicht ergibt sich aus
dem Arcussinus des Verhältnisses
der Schallgeschwindigkeit VS der Volumenschallwelle
in der Festkörperschicht
und der Schallwelle VSAW der mit dem Interdigitaltransducer erzeugten
Grenzflächenschallwelle
(α = arcsin (VS/VLSAW). Eine Abstrahlung
in die Festkörperschicht ist
daher nur möglich,
wenn die Schallgeschwindigkeit in der Festkörperschicht kleiner ist als
die Schallgeschwindigkeit der Grenzflächen-Leckwelle. In der Regel
werden daher in der Festkörperschicht
transversale Wellen angeregt, da die longitudinale Schallgeschwindigkeit
in der Festkörperschicht
größer ist als
die Geschwindigkeit der Grenzflächen-Leckwelle. Ein
typischer Wert für
die Grenzflächen-Leckwellengeschwindigkeit
ist z. B. 3900 m/s.
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Die piezoelektrisch hervorgerufenen
Deformationen in dem piezoelektrischen Kristall unterhalb der kammartig
ineinander greifenden Interdigitaltransducerfinger strahlen Volumenschallwellen (BAW)
auch direkt in die Festkörperschicht
ab. In diesem Fall ergibt sich ein Abstrahlwinkel α gemessen gegen
die Normale der Festkörperschicht
als Arcussinus des Verhältnisses
einerseites der Schallgeschwindigkeit in der Festkörperschicht
VS und andererseits dem Produkt aus der
Periode des Interdigitaltransducers IIDT und
der angelegten Hochfrequenz f (α =
arcsin (VS/(IIDT·f)). Für diesen
Schalleinkoppelungsmechanismus kann der Einstrahlwinkel gegenüber der
Normalen der Festkörperschicht,
der Levitationswinkel, also durch die Frequenz vorgegeben werden.
Beide Effekte können
nebeneinander auftreten.
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Beide Mechanismen (LSAW, BAW) ermöglichen
die schräge
Durchstrahlung der Festkörperschicht.
Die gesamte elektrische Kontaktierung des Interdigitaltransducers
kann auf der der Mikrokavität bzw.
der Flüssigkeit
abgewandten Seite der Festkörperschicht
stattfinden.
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Bei einer einfach zu realisierenden
Ausführungsform
befindet sich der Interdigitaltransducer auf dem piezoelektrischen
Element an einer der Mikrokavität
abgewandten Seite der Festkörperschicht.
Aufgrund der beschriebenen schrägen
Einkopplung der Ultraschallwelle in die Festkörperschicht sind auch Geometrien
möglich,
bei denen der Interdigitaltransducer mit dem piezoelektrischen Element
an einer Stirnfläche
der Festkörperschicht
angeordnet ist.
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Besonders vorteilhaft ist es, wenn
das Material der zu durchschallenden Festkörperschicht bezüglich der
akustischen Dämpfung
bei den verwendeten Frequenzen und den Reflexionseigenschaften der
Grenzflächen
derart ausgewählt
wird, daß eine Teilreflexion
einer schräg
eingekoppelten Ultraschallwelle erfolgt. Zum Beispiel kann ein Ausgleichsmedium
zwischen Mikro-Titerplatte und Festkörperschicht vorgesehen sein,
so daß sich
eine Grenzfläche
zwischen Ausgleichsmedium und zu durchschallender Festkörperschicht
einstellt, bei der sich ein Reflexionskoeffizient von z. B. 80%
bis 90% für
eine Ultraschallwelle der verwendeten Frequenz einstellt, so daß 10% bis
20% der in der Festkörperschicht
laufenden Ultraschallwelle ausgekoppelt werden und der Rest reflektiert
wird. Zwischen Festkörperschicht und
Luft an der anderen Begrenzungsfläche der Festkörperschicht
findet in der Regel eine nahezu 100%ige Reflexion statt. Bei einer
anderen Ausgestaltung, bei der der Boden der Mikro-Titerplatte selbst
als zu durchschallende Festkörperschicht
eingesetzt wird, wird aus dem als Festkörperschicht dienenden Boden
der Mikro-Titerplatte
in die Flüssigkeit in
der jeweiligen Mikrokavität
10% bis 20% der Ultraschalleistung ausgekoppelt und der Rest im
Boden der Mikro-Titerplatte reflektiert.
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Durch die Reflexion an den Grenzflächen wird
die Ultraschallwelle wie in einem Wellenleiter durch die Festkörperschicht
geführt.
Dort wo die Ultraschallwelle auf die Grenzfläche zwischen Festkörperschicht
und Ausgleichsmedium bzw. Festkörperschicht
und Flüssigkeit
in einer der Mikrokavitäten trifft,
wird ein Teil der Ultraschalleistung ausgekoppelt. Durch geeignete
Auswahl der Geometrien, z. B. der Dicke der Festkörperschicht
bzw. des Bodens der Mikro-Titerplatte, lassen sich die auf diese
Weise definierten Auskopplungsorte der Ultraschalleistung örtlich genau
festlegen. Bei einer derartigen Verfahrensführung können also z. B. mehrere Mikrokavitäten einer
Mikro-Titerplatte gleichzeitig mit Ultraschalleistung beschallt
werden, ohne daß eine
große
Anzahl von Schallwandlern notwendig wäre. Probleme, die z. B. mit
der Verdrahtung einer Vielzahl von Schallwandlern auftreten könnten, werden
auf diese Weise vermieden.
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Als vorteilhaft hat sich z. B. aufgrund
geringer Dämpfung
die Verwendung von Quarzglas als Festkörperschicht bei einer Frequenz
von 10 MHz bis 250 MHz erwiesen. Während an der Grenzfläche Festkörperschicht/Luft
in einem solchen Fall nahezu 100% reflektiert werden, wird an der
Grenzfläche Festkörperschicht/Flüssigkeit
(also z. B. Ausgleichsmedium bzw. die Flüssigkeit in der Mikrokavität) ein gewisser
Prozentsatz der Schallenergie in die jeweilige Flüssigkeit
ausgekoppelt.
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Verwendung von Interdigitaltransducern
mit nicht konstantem Fingerabstand („getaperte Interdigitaltransducer"), wie sie für eine andere
Anwendung z. B. in WO 01/20781 A1 beschrieben sind, ermöglichen
die Auswahl des Abstrahlungsortes des Interdigitaltransducers mit
Hilfe der angelegten Frequenz. Auf diese Weise kann genau festgelegt
werden, an welcher Stelle die Ultraschallwelle aus der Festkörperschicht
austritt. Bei Verwendung eines getaperten Interdigitaltransducers,
der zusätzlich
nicht gerade ausgebildete Fingerelektroden aufweist, insbesondere
z. B. bogenförmig
ineinander greifende Fingerelektroden, läßt sich der Azimuthalwinkel θ durch Variation
der Betriebsfrequenz steuern. Andererseits läßt sich der Levitationswinkel α mit der
Frequenz durch die direkte BAW-Erzeugung am Interdigitaltransducer
verändern.
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Mit Hilfe der beschriebenen Einstellung
der Abstrahlrichtung durch Auswahl der Frequenz ggf. durch Einsatz
entsprechend ausgeformter Interdigitaltransducer können sehr
präzise
z. B. einzelne Mikrokavitäten
einer Mikro-Titerplatte zur Durchmischung ausgewählt werden. Durch zeitliche
Variation der Betriebsfrequenz kann ein zeitlicher Verlauf des Mischortes
vorgegeben werden.
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Auf dem piezoelektrischen Element
befinden sich z. B. ein oder mehrere Interdigitaltransducer zur Erzeugung
der Ultraschallwellen, die entweder getrennt kontaktiert werden
oder gemeinsam in Reihe oder parallel zueinander kontaktiert sind.
Zum Beispiel bei unterschiedlichem Fingerelektrodenabstand lassen
diese sich über
die Wahl der Frequenz getrennt ansteuern und bieten so ebenfalls
die Möglichkeit
der Auswahl bestimmter Bereiche.
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Um zu verhindern, daß Reflexionen
an unerwünschten
Orten der Festkörperschicht
in unkontrollierter Weise erfolgen (also z. B. an Stirnflächen), kann
durch geeignete Auswahl einer diffus streuenden Fläche der
Festkörperschicht
die Ultraschallwelle diffus gestreut werden. Dazu wird die entsprechende
Fläche
z. B. aufgerauht. Gezielt kann eine solche aufgerauhte Oberfläche auch
eingesetzt werden, um die Ultraschallwelle gezielt aufzuweiten,
um eine größere Fläche beschallen
zu können.
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Geeignet winkelig angeordnete seitliche Stirnflächen der
Festkörperschicht
können
zur gezielten Reflexion eingesetzt werden und den Schallstrahl definiert
lenken.
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Besonders bezüglich Herstellungskosten und
Geometrie bei gleichzeitig wohl definierter Durchstrahlungsrichtung
in der Festkörperschicht kann
sich bei einer anderen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens
auch der Einsatz eines piezoelektrischen Volumenschwingers, z. B.
eines piezoelektrischen Dickenschwingers, als vorteilhaft erweisen.
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Eine erfindungsgemäße Vorrichtung
zur Durchführung
des erfindungsgemäßen Verfahrens weist
ein Substrat auf, auf dessen einer Hauptfläche zumindest ein piezoelektrischer
Schallwander angeordnet ist, der zur Erzeugung einer Ultraschallwelle einer
Frequenz größer oder
gleich 10 MHz elektrisch angeregt werden kann, wobei die Dicke des
Substrates in Schallausbreitungsrichtung größer als ¼ der Ultraschallwellenlänge ist.
Das Substrat kann dabei gesondert ausgebildet sein oder z. B. durch
den Boden einer Mikro-Titerplatte oder einer Mikrokavität gebildet
sein.
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Das Substrat kann z. B. auch ein
Glasslide umfassen, auf dem eine Klebefolie mit vorzugsweise periodisch
angeordneten Löchern
befestigt ist, um auf diese Weise eine Anordnung von Mikrokavitäten zu erhalten.
Ein solches Glasslide mit einer aufgeklebten gelochten Klebefolie
kann eingesetzt werden wie eine Mikro-Titerplatte.
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Besonders vorteilhaft ist es, wenn
eine Vielzahl von piezoelektrischen Schallwandlern im Rastermaß einer
Mikro-Titerplatte verwendet werden, um die Mikrokavitäten einer
Mikro-Titerplatte parallel mit Ultraschall zu beschallen.
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Um einzelne Schallwandler individuell
ansteuern zu können,
ist vorteilhafterweise eine Schalteinrichtung vorgesehen, die elektrische
Hochfrequenzleistung an individuelle Schallwandler anlegt.
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Vorteile anderer Ausführungsformen
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
zur Durchführung
der unterschiedlichen Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens
ergeben sich aus den für
entsprechende Verfahrensausgestaltungen beschriebenen Vorteilen
und Eigenschaften.
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Im folgenden werden besondere Ausführungen
des erfindungsgemäßen Verfahrens
bzw. der erfindungsgemäßen Vorrichtung
anhand der beiliegenden Figuren im Detail erläutert. Die Figuren sind dabei
nur schematischer Natur und nicht notwendigerweise maßstabsgetreu.
Dabei zeigt
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1:
den Ausschnitt eines Querschnittes einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
während
der Durchführung
eines erfindungsgemäßen Verfahrens,
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2:
den Ausschnitt eines Querschnittes einer anderen Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
zur Durchführung
einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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3:
den Querschnitt einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur
Durchführung
einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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4a:
die Draufsicht auf eine Mikro-Titerplatte zur Verwendung mit einer
erfindungsgemäßen Vorrichtung
zur Durchführung
einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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4b:
die Anordnung eines Feldes piezoelektrischer Volumenschwinger gemäß einer
Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
zur Durchführung
einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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5:
die Wirkungsweise einer erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. eines
erfindungsgemäßen Verfahrens
am Beispiel einer einzelnen Mikrokavität,
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6:
eine erläuternde
Skizze zur Wirkungsweise eines piezoelektrischen Dickenschwingers,
wie er mit dem erfindungsgemäßen Verfahren eingesetzt
werden kann,
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7a:
eine Schnittansicht durch eine Einrichtung zur Definition von einer
periodischen Anordnung von Mikrokavitäten,
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7b:
eine Draufsicht auf die Einrichtung der 7a,
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8a:
eine Querschnittsansicht auf eine weitere Anordnung zur Durchführung eines
erfindungsgemäßen Verfahrens,
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8b:
eine Querschnittsansicht auf eine Anordnung zur Durchführung eines
erfindungsgemäßen Verfahrens
zur Erläuterung
einer besonderen Betriebsweise,
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9:
eine Querschnittsansicht auf eine alternative Anordnung zur Durchführung eines
erfindungsgemäßen Verfahrens,
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10a:
eine Draufsicht auf einen Querschnitt einer Anordnung zur Durchführung einer
Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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10b:
eine Draufsicht auf einen Querschnitt einer weiteren Anordnung zur
Durchführung einer
Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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11:
eine seitliche Querschnittsansicht einer Vorrichtung zur Durchführung eines
erfindungsgemäßen Verfahrens,
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12:
eine seitliche Querschnittsansicht einer weiteren Vorrichtung zur
Durchführung
eines erfindungsgemäßen Verfahrens,
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13:
eine Draufsicht auf einen Querschnitt einer weiteren Anordnung zur
Durchführung eines
erfindungsgemäßen Verfahrens,
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14:
eine seitliche Teilschnittansicht durch eine Anordnung zur Durchführung einer
weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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15:
eine seitliche Teilschnittansicht durch eine Anordnung zur Durchführung einer
weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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16:
eine Draufsicht auf einen Querschnitt einer Anordnung zur Durchführung einer
weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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17a–c:
Teilschnittansichten verschiedener Ausgestaltungen der elektrischen
Kontaktierung einer Vorrichtung zur Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens.
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1 zeigt
schematisch eine erfindungsgemäße Anordnung
im Querschnitt. 1 zeigt einen piezoelektrischen Dickenschwinger,
dessen Funktionsweise mit Bezug zu 6 erläutert werden
wird. 9 bezeichnet den schematischen Querschnitt durch
eine Mikro-Titerplatte im Bereich der Kavitäten 3. Gezeigt sind
drei Kavitäten,
Mikro-Titerplatten weisen aber in der Regel 96, 384 oder 1536 Kavitäten in rechteckiger
Anordnung auf. Der Durchmesser D einer einzelnen Kavität 3 ist
größer als
der Durchmesser d des piezoelektrischen Dickenschwingers 1.
Zum Beispiel ist der Durchmesser D einer 96er Mikro-Titerplatte
6 mm und der Dickenschwinger hat einen Durchmesser von 3 mm. In
den Mikrokavitäten 3 der
Mikro-Titerplatte 9 befindet
sich Flüssigkeit 5.
Gezeigt ist die Flüssigkeit
mit aufgrund der Oberflächenspannung nach
oben gewölbter
Oberfläche.
F bezeichnet den mittleren Füllstand
in einer einzelnen Mikrokavität. Zwischen
dem Dickenschwinger und den Mikrokavitäten befindet sich Festkörpermaterial 15,
z. B. gebildet aus Kunststoff, Metall oder Glas zum Schutz des Dickenschwingers
bzw. der Kontakte. 19 bezeichnet eine flächige Elektrode
unterhalb des Substrates 15. Diese Elektrode bildet einen
elektrischen Anschluß für den piezoelektrischen
Dickenschwinger 1.
-
Die andere Elektrode des Dickenschwingers ist
mit 21 bezeichnet. Die Elektroden 19, 21 sind über elektrische
Verbindungen 23, 25 mit dem Hochfrequenzgenerator 17 verbunden.
Auf den Hauptflächen des
Substrates 15 befindet sich ein optional vorhandenes Koppelmedium 11, 13,
z. B. Wasser, Öl,
Glyzerin, Silikon, Epoxidharz oder ein Gelfilm, um Unebenheiten
der einzelnen Schichten auszugleichen und eine optimale Schallankopplung
zu gewährleisten.
-
Gezeigt ist ein Zustand, in dem der
Dickenschwinger 1 eine Ultraschallwelle in Richtung der mittleren
gezeigten Kavität
abstrahlt, wodurch eine Bewegung in der Flüssigkeit 7 erzeugt
wird.
-
2 zeigt
eine andere Ausführungsform. Gleiche
Elemente sind mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet. Individuelle
Dickenschwinger für
die einzelnen Mikrokavitäten
der Mikro-Titerplatte 9 sind vorgesehen. Mit Hilfe einer
Schalteinrichtung 26 kann das Hochfrequenzsignal des Hochfrequenzgenerators 17 an
die unterschiedlichen Dickenschwinger 1 angelegt werden. 31 bezeichnet
schematisch ein optionales schallabsorbierendes Medium, das ein Übersprechen
verhindert. Dieses schallabsorbierende Medium kann eine Strukturierung
sein oder ein entsprechend ausgewählter Kunststoff.
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3 zeigt
eine Ausführungsform,
bei der ein oder mehrere Schallwandler 33 verwendet werden,
die über
Wellenleiter 35 mit den Böden diverser Kavitäten verbunden
sind. Diese Wellenleiter bestehen vorzugsweise aus einem Material
mit ähnlichen akustischen
Eigenschaften wie der Dickenschwinger selbst, um die Einkopplung
zu optimieren, also z. B. Metallstäben.
-
4 zeigt
die Anordnung in einem Raster. 4a zeigt
dabei die Draufsicht auf eine Mikro-Titerplatte mit 96 Kavitäten. 4b zeigt die Draufsicht auf
die Anordnung einzelner piezoelektrischer Dickenschwinger 27 auf
einem Substrat 29. Das Rastermaß der Mikro-Titerplatte R wird
dabei auch für den
Abstand der piezoelektrischen Dickenschwinger 27 eingehalten.
Alternativ kann der Dickenschwinger vollflächig auf dem Substrat 29 aufgebracht
sein und nur die Elektrodenanordnung dem Muster der Mikro-Titerplatte
entsprechen.
-
5 zeigt
im Detail den Querschnitt durch eine einzelne Mikrokavität zur Erläuterung.
Dabei zeigt 2 die Ultraschallwelle, die von dem Dickenschwinger
abgestrahlt wird. 6 bezeichnet den Meniskus ohne eingestrahlte
Ultraschallwelle und 4 den Meniskus während der Einstrahlung. Die
Dicke des Substrates 15 einschließlich der möglichen Koppelmedien 11, 13 ist
größer als ¼ der Wellenlänge der Ultraschall welle
in dem Substrat, die typischerweise im Bereich einiger 100 μm ist. Als
Materialien für
das Substrat kommen z. B. Metall, wie Aluminium, Glas oder Kunststoff
in Frage. Mit „Dicke" ist die Dicke des Substrates 15 in
Schallausbreitungsrichtung gemeint. In einem Substrat aus Aluminium
beträgt
die Wellenlänge
einer 20 MHz-Schallwelle
z. B. 315 μm, in
Glas 275 μm
und in Plastik 125 μm.
-
6 erläutert das
Prinzip des piezoelektrischen Dickenschwingers 1. Bei Anlegen
eines Hochfrequenzfeldes mit Hilfe des Hochfrequenzgenerators 17 an
die Elektroden 19, 21 des Dickenschwingers wird
eine Ultraschallwelle senkrecht zur Flächenausdehnung des Dickenschwingers
erzeugt. Die Schwingungsrichtung ist mit 37 bezeichnet.
Bei einer Dicke des Dickenschwingers von z. B. 200 μm ergibt
sich eine Wellenlänge
von 400 μm,
wenn die Grundschwingung angeregt wird. Als Materialien kommen piezoelektrische
Einkristalle, z. B. Quarz, Lithiumniobat oder Lithiumtantalat in
Frage. Andere Schwinger weisen piezoelektrische Schichten, z. B. Cadmiumsulfid
oder Zinksulfid oder piezoelektrische Keramiken, z. B. Blei-Zirkonat-Titanat,
Bariumtitanat oder jeweils mit Beimengungen zur Optimierung der Schallgeschwindigkeit
an dem Festkörper
auf. Ebenso sind piezoelektrische Polymere (z. B. Polyvinylidendifluorid)
oder komposite Materialien möglich. Besonders
vorteilhaft ist es, wenn das Material des Festkörpers 15 bzw. der
Mikro-Titerplatte 9 akustisch an
den Schallwandler angepaßt
ist, also ähnliche Schallgeschwindigkeit
und Dichte bzw. ein ähnliches Produkt
aus beiden Größen aufweist.
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7 zeigt
eine Einrichtung, die wie eine einstückige Mikro-Titerplatte eingesetzt
werden kann. Auf ein Glasslide (z. B. ein Objektträger) 109 ist eine
gelochte Klebefolie 110 aufgebracht. 7b zeigt eine Draufsicht, in der die
Schnittrichtung A-A' des
in 7a gezeigten Schnittes
angedeutet ist. Das Rastermaß R
der Löcher
entspricht z. B. dem Rastermaß einer
herkömmlichen
Mikro-Titerplatte. Die periodisch angeordneten Löcher 3 definieren
Mikrokavitäten,
wie sie auch in einer Mikro-Titerplatte vorhanden sind. Ein Device
der 7 kann eingesetzt
werden wie eine Mikro-Titerplatte und für die Zwecke des vorliegenden
Textes soll der Begriff „Mikro-Titerplatte" auch eine entsprechende
Anordnung umfassen.
-
Das erfindungsgemäße Verfahren kann mit den oben
beschriebenen erfindungsgemäßen Vorrichtungen
wie folgt durchgeführt
werden.
-
Auf das Substrat 15 wird
die Mikro-Titerplatte 9 aufgesetzt. Zum optimalen Ausgleich
von Unebenheiten kann ein Ausgleichsmedium 11, z. B. Wasser, dazwischen
angeordnet werden. Die Mikro-Titerplatte 9 wird dabei derart
platziert, daß sie
mit einer Kavität 3 oberhalb
des piezoelektrischen Dickenschwingers 1 angeordnet ist
(1). Die Flüssigkeit 5 wird in
die Mikrokavitäten 3 eingebracht,
wobei darauf geachtet wird, daß der
Füllstand
F ausreichend hoch ist, um größer zu sein
als die Wellenlänge
des mit dem Dickenschwinger erzeugbaren Ultraschalles. Anlegen von
Hochfrequenz an die Elektroden 19, 21 des Dickenschwingers 1 mit
Hilfe des Hochfrequenzgenerators 17 erzeugt bei einer bestimmten,
von der Dicke und Geometrie des Dickenschwingers und der Festkörperschicht
abhängigen
Frequenz, der Resonanzfrequenz, eine Ultraschallwelle senkrecht
zum Dickenschwinger 1, die sich in Richtung der mittleren gezeigten
Kavität 3 ausbreitet
und eine Durchmischung der darin befindlichen Flüssigkeit 7 bewirkt.
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Der Ultraschallstrahl, dessen laterale
Ausdehnung von der Größe des Dickenschwingers 1 ist, trifft
von unten auf die Mikrokavität 3 und
erzeugt einen Impuls und eine Strömung in der Flüssigkeit nach
oben, die zu einer Verformung des Meniskus 4 (siehe 5) führen kann. Seitlich zum nach
oben gerichteten Ultraschallstrahl kann die Flüssigkeit wieder nach unten
fließen,
so daß dadurch
eine Durchmischung der Flüssigkeit
erreicht wird.
-
Nach der Durchmischung der Flüssigkeit
in einer Mikrokavität
wird die Mikro-Titerplatte
ggf. versetzt, um eine andere Mikrokavität dem Ultraschall auszusetzen.
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Bei einer Ausführungsform der 2 wird die Mikro-Titerplatte 9 ebenfalls
auf das Substrat 15 gesetzt. Die Mikrokavität, deren
Flüssigkeit
durchmischt werden soll, kann mit Hilfe der Schalteinrichtung 26 ausgewählt werden. 4b zeigt die Draufsicht
auf eine dazu verwendete Anordnung der piezoelektrischen Dickenschwinger 27.
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Bei einer Ausführungsform der 3 wird der Ultraschall mit Hilfe des
Ultraschallgebers 33 erzeugt und über Wellenleiter 25 unter
die Mikrokavitäten
geleitet, die dann gleichzeitig mit Ultraschall beschallt werden.
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Die Hochfrequenzanregung kann bei
allen Ausgestaltungen auch in Form eines intensiven Nadelimpulses
geschehen. Dieser enthält
ein breites Frequenzspektrum, welches auch die Resonanzfrequenz
des Dickenschwingers 1 beinhaltet. Alternativ wird das
Hochfrequenzsignal gleich mit der Resonanzfrequenz des Dickenschwingers
bzw. einer Harmonischen eingespeist. Der durch möglicherweise vorliegende Fertigungstoleranzen
bedingten Exemplarstreuung in der Resonanzfrequenz kann dadurch begegnet
werden, daß die
Anregungsfrequenz um einen mittleren Frequenzwert statistisch oder
periodisch variiert wird. Die Größe der Frequenzmodulation
kann dabei so gewählt
werden, daß sie
der maximalen Abweichung der Resonanzfrequenz entspricht. Typische
Resonanzfrequenzen liegen im Bereich von größer oder gleich 10 MHz, typische
Variationen der Resonanzfrequenzen im Bereich von einigen 10 bis
einigen 100 MHz.
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8a zeigt
eine Ausgestaltung, bei der ein wie in allen entsprechenden Figuren
nur schematisch angedeuteter Interdigitaltransducer
101 zur
Erzeugung der Schallwelle eingesetzt wird.
115 bezeichnet das
Substrat, z. B. aus Quarzglas.
102 ist ein piezoelektrisches
Kristallelement, z. B. aus Lithiumniobat. Auf dem piezoelektrischen
Kristallelement
102 und somit zwischen dem piezoelektrischen
Kristallelement
102 und dem Substrat
115 befindet
sich ein Interdigitaltransducer
101, der z. B. im Vorhinein
auf dem piezoelektrischen Kristall
102 aufgebracht wurde.
Ein Interdigitaltransducer wird im Regelfall aus kammartig ineinander
greifenden metallischen Elektroden gebildet, deren doppelter Fingerabstand
die Wellenlänge
einer Oberflächenschallwelle
definiert, die durch Anlegen eines hochfrequenten Wechselfeldes
(im Bereich von z. B. einigen MHz bis einigen 100 MHz) an den Interdigitaltransducer
in dem piezoelektrischen Kristall angeregt werden. Für die Zwecke
des vorliegenden Textes sollen unter den Begriff „Oberflächenschallwelle" auch Grenzflächenwellen an
der Grenzfläche
zwischen piezoelektrischem Element
102 und Substrat
115 umfaßt sein.
Als Substrat
115 wird ein Material geringer akustischer
Dämpfung bei
den verwendeten Frequenzen eingesetzt. Zum Beispiel eignet sich
Quarzglas für
Frequenzen im Bereich von 10 MHz bis 250 MHz. Interdigitaltransducer sind
in
DE-A-101 17 772 beschrieben
und aus der Oberflächenwellenfiltertechnologie
bekannt. Zum Anschluß der
Elektroden des Interdigitaltransducers
101 dienen metallische
Zuleitungen, die in
8a nicht
gezeigt werden und unter Bezugnahme auf
17 näher
erläutert
werden.
-
Mit Hilfe des bidirektional abstrahlenden
Interdigitaltransducers 101 können Ultraschallwellen 104 in
der angegebenen Richtung erzeugt werden, die wie oben beschrieben
unter einem Winkel α zur Normalen
des Substrates 115 als Volumenschallwellen das Substrat 115 durchsetzen. 111 bezeichnet
ein optional vorhandenes Koppelmedium zwischen Substrat 115 und
der Mikro-Titerplatte 109, wie oben für eine andere Ausführungsform
beschrieben. 108 bezeichnen die Bereiche der Grenzfläche zwischen Substrat 115 und
Koppelmedium 111, die wesentlich von den Volumenschallwellen 104 getroffen
werden. 106 bezeichnet die Reflexionspunkte an der Grenzfläche Substrat
115/Luft. Mit 109 ist eine Mikro-Titerplatte beschrieben,
in deren Kavitäten 103 sich
die Flüssigkeit 105 befindet.
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Mit Hilfe des Interdigitaltransducers 101,
an dem in bekannter Weise die Hochfrequenz über die in 8a nicht gezeigten Zuleitungen angelegt
wird, werden schräg
in das Substrat einlaufende Volumenschallwellen 104 erzeugt.
Diese treffen an den Punkten 108 auf die Grenzfläche zwischen
Substrat 115 und Koppelmedium 111. Geeignete Auswahl
des Substratmaterials 115 bewirkt, daß ein Teil der Ultraschallwelle 104 an
den Punkten 108 reflektiert wird und ein anderer Teil ausgekoppelt
wird. Dabei werden die Materialien derart ausgewählt, daß an der Grenzfläche zwischen
Substrat 115 und Koppelmedium 111 eine teilweise
Reflexion stattfindet, an der Grenzfläche zwischen Substrat 115 und
Luft, also an den Punkten 106, eine fast vollständige Reflexion einsetzt.
Zum Beispiel bei Verwendung von SiO2-Glas
ergibt sich ein Reflexionsfaktor an der Grenzfläche zwischen Koppelmedium und
Glas von ca. 80% bis 90%, also eine Einkopplung in das Koppelmedium
von ca. 10% bis 20%. Unter Annahme eines Reflexionsfaktors von 80%
nimmt die Intensität des
mehrfach in dem Glassubstrat reflektierten Strahles 104 nach
zehn Reflexionen um ca. 10 dB ab. Dabei hat bei einer Substratdicke
von 3 mm der Strahl bereits eine laterale Strecke von 250 mm zurückgelegt.
Durch geeignete Auswahl der Geometrie, z. B. der Dicke des Substrates,
können
auf diese Weise die Punkte 108, an denen ein Teil der Ultraschallwelle
aus dem Substrat 115 in das Koppelmedium eingekoppelt wird, örtlich genau
festgelegt werden und an das Rastermaß der verwendeten Mikro-Titerplatte 109 angepaßt werden.
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In einer nicht gezeigten Alternative
dient der Boden der Mikro-Titerplatte 109 selbst als Substrat, an
dessen Unterseite der piezoelektrische Kristall 102 befestigt
oder angedrückt
wird. Die Ultraschallwelle 104 wird dann direkt in den
Boden der Mikro-Titerplatte
eingekoppelt und an der Grenzfläche,
die durch den Boden der einzelnen Mikrokavitäten gebildet wird, in die Flüssigkeit
ausgekoppelt, wie es für die
gezeigte Ausführungsform
für die
Einkopplung in das Koppelmedium beschrieben ist.
-
8b dient
der Erläuterung,
um zu zeigen, wie mit einer Ausführungsform
der 8a durch Auswahl
unterschiedlicher Frequenzen unterschiedliche Einkoppelungswinkel
eingestellt werden können. Bei
direkter Anregung von Volumenmoden (BAW) kann durch Variation der
Anregungsfrequenz der Abstrahlwinkel α in das Substrat 115 eingestellt
werden. Bei dem Interdigitaltransducer 101 kann es sich
dabei um einen einfachen Normalinterdigitaltransducer handeln, wobei
sich der Levitationswinkel α nach dem
Zusammenhang sinα =
VS/(IIDT·f) einstellt,
wobei VS die Schallgeschwindigkeit der Ultraschallwelle,
f die Frequenz und IIDT die Periodizität der Interdigitaltransducerelektroden
ist. Durch Variation der Frequenz läßt sich also der Abstrahlwinkel
z. B. von α zu α' verändern. Auf
diese Weise können
die Auskoppelpunkte 108 z. B. an das Rastermaß einer
Mikro-Titerplatte 109 optimal angepaßt werden.
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9 zeigt
eine Variation der B. Gezeigt ist
eine seitliche Schnittansicht. Von dem bidirektional abstrahlenden
Interdigitaltransducer 101 geht ein Strahl 104L in
der 9 nach links und
ein Strahl 104R nach rechts schräg in das Substrat 115.
An der Kante 112 des Substrates 115 wird der Schallstrahl 104L reflektiert
und in Richtung der Grenzfläche
zwischen Substrat 115 und Koppelmedium 111 abge lenkt.
Durch geeignete Auswahl der Geometrie, z. B. der Dicke des Substrates 115,
können
so ebenfalls die Auftreffpunkte 108 an das Rastermaß einer
Mikro-Titerplatte
angepaßt
werden.
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Bei einer nicht gezeigten Ausführungsform befindet
sich der Interdigitaltransducer 101 auf dem piezoelektrischen
Element 102 nicht an einer Hauptfläche des Substrates 115,
sondern an einer Stirnfläche,
z. B. an der Kante 112, wie sie in 9 sichtbar ist. Auf diese Weise lassen
sich ebenfalls mit dem bidirektional abstrahlenden Interdigitaltransducer 101 zwei
Volumenschallwellen 104 erzeugen, die schräg durch
das Substrat 115 hindurchtreten und analog zu der Verfahrensführung, die
in 9 gezeigt ist, eingesetzt
werden können.
-
Sowohl bei der Ausführungsform
der 8 als auch bei der
Ausführungsform
der 9 können mehrere
Interdigitaltransducer auf einem oder mehreren piezoelektrischen
Elementen 102 nebeneinander angeordnet sein, um nicht nur
eine Reihe von Mikrokavitäten 103 zu
beschallen, sondern ein Feld aus nebeneinander liegenden Reihen,
wie es einer konventionellen Mikro-Titerplatte entspricht.
-
10a zeigt
eine Draufsicht auf einen Querschnitt einer Anordnung, etwa in Höhe der Oberfläche des
Substrates 115, der eine besondere Lenkung des Schallstrahles
in dem Substrat 115 ermöglicht.
Von dem Interdigitaltransducer 101 gehen in einer Weise,
wie sie mit Bezug zu 8 beschrieben ist,
Schallstrahlen 104 aus, die an Punkten 108 auf die
obere Grenzfläche
des Substrates 115 treffen. In der Darstellung der Figur
nicht erkennbar wird der Strahl also in Form einer Zickzacklinie
analog der Schnittdarstellung in 8a durch
das Substrat 115 geführt.
Der so geleitete Schallstrahl 104 wird an Grenzflächen 110 des
Substrates 115 abgelenkt. Durch geeignete Geometrie der
Flächen 110 kann ein
gewünschtes
Bewegungsmuster des Schallstrahles erzeugt werden.
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In 10b ist
eine Anordnung gezeigt, mit der erreicht werden kann, daß ein flächiges Substrat 115 nahezu
vollständig
mit Hilfe nur eines bidirektional abstrahlenden Interdigitaltransducers 101 auf diese
Weise abgedeckt werden kann, wobei dies mit Hilfe von Mehrfachreflexionen
an den Seitenflächen 110 des
Substrates 115 erreicht wird. In 10b sind die Reflexionspunkte an der
Hauptfläche
des Substrates 115 der Übersichtlichkeit
halber nicht gezeigt, sondern nur die Ausbreitungsrichtung der Ultraschallwellen 104,
die durch Reflexion an den Hauptflächen des Substrates 115,
wie z. B. mit Bezug zu 8a beschrieben,
bewirkt wird.
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11 zeigt
einen seitlichen Schnitt durch eine andere Anordnung zur Durchführung eines
erfindungsgemäßen Verfahrens.
Der Strahlquerschnitt wird hier effektiv verbreitert, indem mehrere
Interdigitaltransducer 101 zur Erzeugung paralleler Strahlenbündel 104 verwendet
werden. Auf diese Weise kann in nahezu homogener Weise die obere
Grenzfläche des
Substrates 115 beschallt werden, um z. B. mehrere Mikrokavitäten 105 einer
Mikro-Titerplatte 109 gleichzeitig zu beschallen.
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Der beschriebene Reflexionseffekt
durch Auswahl eines geeigneten Substratmaterials für das Substrat 115 läßt sich
ebenso mit Hilfe eines Volumenschwingers 130 erzeugen,
wie es in 12 gezeigt
ist. Als piezoelektrischer Volumenschwinger 130 kann z.
B. ein piezoelektrischer Dickenschwinger eingesetzt werden, der
derart angeordnet ist, daß eine
schräge
Einkopplung der Schallwelle stattfindet. Dazu wird ein sogenannter
wedge transducer eingesetzt. Der Einstrahlwinkel α zur Flächennormale
der Fläche,
auf der der wedge transducer aufgebracht wurde, bestimmt sich aus
dem Winkel β,
unter dem er aufgebracht ist, und dem Verhältnis der Schallgeschwindigkeiten
des wedge transducers vw und des Substrates 115 vS gemäß α = arcsin
[(vs/vw)·sinβ].
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13 zeigt
eine Ausführungsform,
bei der eine Kante 1
18 des Substrates 115 aufgerauht
ist, um eine diffuse Reflexion der auftreffenden Schallwelle 104 zu
erreichen. Dies kann nützlich
sein, um einen unerwünschten,
an einer Kante reflektierten Schallstrahl unwirksam zu machen. Der
Schallstrahl 104 wird bei einer solchen Ausführungsform ähnlich wie
mit Bezug zu 8 erläutert durch
das Substrat 115 in Art eines Wellenleiters durch Reflexionen
an der oberen und unteren Hauptfläche des Substrates 115 geleitet.
An der aufgerauhten Oberfläche 118 findet
eine diffuse Reflexion in die einzelnen Strahlen 120 statt.
Auf diese Weise kann der gerichtete Schallstrahl 104 unwirksam
gemacht werden bzw. derart verbreitert werden, daß eine homogene
Beschallung mehrerer Mikrokavitäten
möglich
ist, die sich auf dem Substrat 115 befinden. 13 zeigt dabei wiederum eine
Draufsicht auf einen Querschnitt in etwa entsprechend der oberen
Grenzfläche
des Substrates 115.
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14 zeigt
eine Ausgestaltung, bei der die Rückfläche 114 des Substrates 115 aufgerauht
ist. An dieser Rückfläche befindet
sich der Interdigitaltransducer 101. Bei der beschriebenen
Einkopplung der Ultraschallwelle in das Substrat 115 wird
aufgrund der aufgerauhten Oberfläche
der Strahl 104 durch Beugung aufgeweitet. Dieser Effekt
wird bei den weiteren Reflexionen an der Fläche 114 noch verstärkt. Mit
wachsendem Abstand der Einkoppelpunkte 108 vom Substrat
in das nicht gezeigte Koppelmedium, auf dem sich die Mikro-Titerplatte
befindet, wird der Einkoppelpunkt dementsprechend verbreitert. 14 zeigt dabei eine Teilquerschnittsansicht,
bei der die Mikro-Titerplatte nicht dargestellt wurde.
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Ein ähnlicher Effekt ist mit einer
Ausgestaltung der 15 erreichbar.
Hier wird die Aufweitung des Schallstrahles 104 nach dem
Einkoppeln vom Interdigitaltransducer 101 in das Substrat 115 durch Reflexion
an einer gewölbten
Reflexionskante 116 erreicht. Genau wie hier eine Aufweitung
beschrieben ist, kann eine Fokussierung mit Hilfe einer entsprechend
ausgestalteten Reflexionskante erreicht werden. Auch 15 zeigt nur eine Teilquerschnittsansicht,
in der das Substrat 115 gezeigt ist. Auf dem Substrat 115 befinden
sich in beschriebener und hier nicht gezeigter Weise z. B. das Koppelmedium 111 und
die Mikro-Titerplatte 109.
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16 zeigt
eine weitere Ausgestaltung in schematischer Darstellung. Auch hier
ist der Blick auf die Grenzfläche
zwischen Substrat 115 und Koppelmedium 111 gezeigt.
Wie auch in den anderen Darstellungen sind hier der Übersichtlichkeit
nur wenige ineinander greifende Finger des Interdigitaltransducers 201 gezeigt,
obwohl ein verwirklichter Interdigitaltransducer eine größere Anzahl
von Fingerelektroden aufweist. Der Abstand der einzelnen Fingerelektroden
des Interdigitaltransducers 201 ist nicht konstant. Der
Interdigitaltransducer 201 strahlt daher bei einer einge speisten
Hochfrequenz nur an einem Ort ab, bei dem der Fingerabstand mit
der Frequenz entsprechend korreliert, wie es für eine andere Anwendung z.
B. in WO 01/20781 A1 beschrieben ist.
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Bei der Ausgestaltung der 16 sind die Fingerelektroden
zudem nicht gerade, sondern bogenförmig. Da der Interdigitaltransducer
im wesentlichen senkrecht zur Ausrichtung der Finger abstrahlt, läßt sich
auf diese Weise durch Auswahl der eingespeisten Hochfrequenz die
Richtung der abgestrahlten Oberflächenschallwelle bestimmen.
In 16 sind beispielhaft
die Abstrahlrichtungen 204 für zwei Frequenzen f1 und f2
gezeigt, wobei bei der Frequenz f1 die Abstrahlrichtung durch den
Winkel θ1 und
für die
Frequenz f2 durch den Winkel θ2
angegeben ist. 16 zeigt
dabei schematisch die Draufsicht auf die Grenzfläche zwischen dem piezoelektrischen
Substrat 102, auf dem der Interdigitaltransducer 201 aufgebracht
ist, und dem Substrat 115, das mit dem piezoelektrischen
Substrat 102 in Kontakt ist.
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17a bis 17c zeigen unterschiedliche Möglichkeiten
zur elektrischen Kontaktierung der Interdigitaltransducerelektroden
bei den Ausführungsformen
der 8, 9, 10, 11, 13, 14, 15 oder 16. In der Ausführungsform, wie sie in 17a dargestellt ist, werden
metallische Leiterbahnen auf dem Substrat 115 rückseitig
aufgebracht. Der piezoelektrische Kristall 102 mit dem
Interdigitaltransducer 101 wird so an dem Substrat 115 plaziert,
daß sich
ein Überluapp
der metallischen Elektrode auf dem Substrat 115 mit einer
Elektrode des Interdigitaltransducers 101 auf dem piezoelektrischen
Substrat 102 ergibt. Beim Verkleben des piezoelektrischen
Schallwandlers mit dem Substrat wird im Überlappbereich mit elektrisch leitfähigem Kleber
geklebt, wohingegen die verbleibende Fläche mit herkömmlichem
nicht elektrisch leitfähigem
Kleber verklebt wird. Gegebenenfalls reicht rein mechanischer Kontakt
aus. Die elektrische Kontaktierung 122 der metallischen
Leiterbahnen auf dem Substrat 115 in Richtung der nicht
gezeigten Hochfrequenzgeneratorelektronik geschieht durch eine Lötverbindung,
eine Klebeverbindung oder einen Federkontaktstift.
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In der Ausführungsform der elektrischen Kontaktierung
der 17b wird der piezoelektrische Kristall 102,
auf dem die Interdigitaltransducerelektroden mit Zuleitungen 124 aufgebracht
sind, derart auf das Substrat 115 aufgebracht, daß sich ein Überstand
des ersten zum zweiten ergibt. In diesem Fall setzt die Kontaktierung 122 direkt
auf den auf dem piezoelektrischen Kristall 102 aufgebrachten
elektrischen Zuleitungen 124 an. Der Kontakt kann gelötet, geklebt
oder gebondet werden oder mittels eines Federkontaktstiftes erfolgen.
-
In der Ausführungsform der elektrischen Kontaktierung,
wie sie in 17c dargestellt
ist, wird das Substrat 115 mit einem Loch 123 pro
elektrischem Kontakt versehen und der piezoelektrische Kristall 102 wird
direkt auf das Substrat 115 plaziert, daß die auf
dem piezoelektrischen Schallwandler aufgebrachten elektrischen Zuleitungen
durch die Löcher 123 hindurch
kontaktiert werden können.
Der elektrische Kontakt kann in diesem Fall durch einen Federkontaktstift
direkt auf die elektrischen Zuleitungen auf dem piezoelektrischen
Kristall 102 erfolgen. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, das
Loch mit einem leitfähigen
Kleber 123 zu füllen
oder damit einen metallischen Bolzen einzukleben. Die weitere Kontaktierung 122 in
Richtung Hochfrequenzgeneratorelektronik geschieht dann durch eine
Lötverbindung,
eine weitere Klebeverbindung oder einen Federkontaktstift.
-
Eine weitere Möglichkeit der Zuführung der elektrischen
Leistung an den piezoelektrischen Schallwandler besteht in der induktiven
Kopplung. Dabei werden die elektrischen Zuleitungen zu den Interdigitaltransducerelektroden
derart ausgebildet, daß sie
als Antenne zur kontaktlosen Ansteuerung des Hochfrequenzsignales
dienen. Im einfachsten Fall handelt es sich dabei um eine ringförmige Elektrode
auf dem piezoelektrischen Substrat, das als Sekundärkreis eines
Hochfrequenztransformators dient, dessen Primärkreis mit der Hochfrequenzgeneratorelektronik
verbunden ist. Dieser wird extern gehalten und ist direkt benachbart
zu dem piezoelektrischen Schallwandler angebracht.
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Einzelne Ausgestaltungen der Verfahren bzw.
der Merkmale der beschriebenen Ausführungsformen lassen sich in
geeigneter Form auch kombinieren, um die dadurch erzielten Wirkungen
und Effekte gleichzeitig erreichen zu können.
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Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
ist eine effiziente Durchmischung kleinster Flüssigkeitsmengen möglich. Es
ist nicht notwendig, daß die Flüssigkeit
mit dem bewegungsvermittelnden Medium selbst in Berührung kommt.
Es muß z.
B. kein Mischelement in die Flüssigkeit
eingebracht werden. Das Verfahren bzw. die Vorrichtung lassen sich
einfach und kostengünstig
mit heutigen Laborautomaten, die in der Biologie, Diagnostik, pharmazeutischen
Forschung oder Chemie verwendet werden, anwenden. Die Verwendung
hoher Frequenzen vermeidet auf effektive Weise die Bildung von Kavitation.
Schließlich
läßt sich
eine flache Bauform realisieren und die Vorrichtung kann einfach
in Laborstraßen eingesetzt
werden.