DE10321568A1

DE10321568A1 - Component module for microtechnology especially for manufacturing analysis devices, has two components connected by a stretchable connector

Info

Publication number: DE10321568A1
Application number: DE2003121568
Authority: DE
Inventors: Manfred Dr. Wetzko; Antonio Dr. Ruzzu; Peter Dr. Krippner; Albrecht Dr. Vogel; Christian Dr. Schmidt; Ulrich Dr. Gengenbach; Andreas Hofmann; Sebastian König
Original assignee: Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Current assignee: Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Priority date: 2003-05-14
Filing date: 2003-05-14
Publication date: 2004-12-02

Abstract

The component module (1) has two or more components (4) which are capable of stretching linearly and are arranged in parallel by means of connector elements (2). The two components are combined into at least one strand (1S). Preferably the components are hollow tubes, electric leads and/or optical conductors with a diameter in the micrometer range.

Description

Die Erfindung betrifft eine Baueinheit für die Mikrotechnik gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The The invention relates to a structural unit for microtechnology according to the preamble of claim 1.

Solche Baueinheiten kommen bei der Herstellung von sehr kleinen Vorrichtungen zur Anwendung, die beispielsweise für Analyseeinrichtungen im Bereich der Mikrotechnik bestimmt sind. Für die Fertigung solcher Vorrichtungen werden unter anderem Bauelement in Form von Röhrchen benötigt, die innen hohl sind, einen Durchmesser kleiner 200μm aufweisen, und sich für den Transport von strömenden Medien eignen. Solche Röhrchen werden oft in großer Zahl zusammengefasst und verlegt. Die Enden dieser Röhrchen werden beispielsweise in die Mündungen von Kanälen gesteckt, die zu Messzellen führen, welche ebenso wie die Kanäle innerhalb von Trägerelementen ausgebildet sind. Bei der Montage der Röhrchen ist es wünschenswert, wenn diese so verlegt werden können, dass alle ihre Längsachsen parallel zueinander ausgerichtet sind. Hierdurch wird das Verbinden dieser Bauelemente mit den Kanälen von Trägerelementen vereinfacht, da die Kanäle auch sehr oft parallel zueinander ausgerichtet sind. Wegen der geringen Durchmesser der Röhrchen das parallel Ausrichten sowie das Verbinden derselben mit solchen Kanälen sehr aufwendig. Aufgrund der geringen Abmessungen und der Zerbrechlichkeit der Röhrchen erfordert deren Handhabung den Einsatz spezieller Greifer, mit denen jedes der Bauelemente einzeln positioniert werden muss.Such Units come in the manufacture of very small devices to be used, for example, for analysis facilities in the field microtechnology. For the manufacture of such devices Among other things, components in the form of tubes that are hollow on the inside are required, a diameter of less than 200μm have, and stand up for the transport of flowing media suitable. Such tubes are often large Number summarized and relocated. The ends of these tubes will be for example in the mouths of channels inserted that lead to measuring cells, which as well as the channels within support elements are trained. When assembling the tubes, it is desirable to if they can be laid like this that all their longitudinal axes are aligned parallel to each other. This will connect of these components with the channels from support elements simplified because the channels too are very often aligned parallel to each other. Because of the low Diameter of the tubes aligning them in parallel and connecting them to them channels very complex. Because of its small size and fragility the tube their handling requires the use of special grippers with which each of the components must be positioned individually.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Baueinheit aufzuzeigen, durch die das parallele Ausrichten sowie das Verbinden von Bauelementen mit linearer Ausdehnung und sehr geringen Durchmessern vereinfacht wird.The The invention has for its object to show a structural unit, through the parallel alignment and the connection of components with linear expansion and very small diameters is simplified.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.This Object is solved by the features of claim 1.

Mit jeder erfindungsgemäßen Baueinheit können Bauelemente in Form von innen hohlen Röhrchen, elektrischen Leitern oder optischen Leitern, die einen Durchmesser kleiner 200μm aufweisen, mit Hilfe von Verbindungselementen parallel ausgerichtet und auf einfache Weise zu einem Strang zusammengefasst werden. Ein solcher Strang kann über eine einfache Steckverbindung mit einer Einrichtung der Mikrotechnik verbunden werden, innerhalb derer eine eben solche Anzahl von Kanälen, elektrischen und/oder optischen Leitern ausgebildet ist, die über nach außen gerichtete Anschlüsse verfügen. Für die Ausbildung eines solchen Strangs werden die Bauelemente im Bereich ihrer beiden Enden mit jeweils einem Verbindungselement zusammengefasst. Jedes Verbindungselement wird durch vorzugsweise zwei Bauteile gebildet. In jeweils einer Oberfläche eines jeden Bauteils sind parallel zueinander ausgerichtete Nuten ausgebildet. Die beiden Bauteile werden so aufeinander gelegt und miteinander verbunden, dass ihre Nuten einander gegenüber liegen. Die Röhrchen und Leiter sind so in den Verbindungselementen gehaltert, dass ihre Enden bündig mit der Stirnfläche des jeweiligen Verbindungselementes abschließen, oder alle Enden mit der gleichen Länge über die Stirnfläche eines jeden Verbindungselementes nach außen überstehen. Ein so ausgebildeter Strang kann nicht nur mit einem Bauteil der Mikrotechnik, sondern auch mit einem weiter, ebenso ausgebildeten Strang verbunden werden. Hier wird beispielsweise ein Verbindungselement eines ersten Strangs gegen die Stirnfläche eines zweiten Verbindungselements gesetzt. Beide Verbindungselemente werden dann in einer Klemmvorrichtung angeordnet und in dieser Position darin gehalten. Die Verbindung von zwei oder mehreren Strängen über Brückenelemente ist ebenfalls möglich.With Each unit according to the invention can be components in the form of hollow tubes inside electrical conductors or optical conductors that have a diameter less than 200μm have aligned with the help of connecting elements in parallel and can be easily combined into one strand. On such strand can over a simple plug-in connection with a microtechnology device are connected, within which such a number of channels, electrical and / or optical conductors is formed, which have outward-facing connections. For training such a strand, the components in the area of their two Ends combined with a connecting element. each Connecting element is preferably formed by two components. In one surface each of each component are grooves aligned parallel to each other educated. The two components are placed on top of each other and connected so that their grooves face each other. The tubes and conductors are held in the connecting elements in such a way that their Ends flush with the face complete the respective connecting element, or all ends with the same length over the face project each connecting element outwards. Such a trained one Strand can not only with a component of microtechnology, but can also be connected with a further, equally trained strand. Here becomes, for example, a connecting element of a first strand against the face a second connecting element. Both fasteners are then arranged in a clamping device and in this position held in it. The connection of two or more strands via bridge elements is also possible.

Weitere erfinderische Merkmale sind in den abhängigen Ansprüchen gekennzeichnet.Further inventive features are characterized in the dependent claims.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von schematischen Zeichnungen näher erläutert.The Invention is described below with the aid of schematic drawings explained in more detail.

Es zeigen:It demonstrate:

1 eine Baueinheit, die als Strang ausgebildet ist, 1 a structural unit which is designed as a strand,

2 die Fertigung der in 1 dargestellten Baueinheit, 2 the manufacture of the 1 unit shown,

3 und 4 das Verbinden von zwei Baueinheiten gemäß 1, 3 and 4 the connection of two units according to 1 .

5 mehrere miteinander verbundene Baueinheiten gemäß 1, 5 several interconnected units according to 1 .

6, 7, 8 und 9 das Verbinden einer Baueinheit mit einem Brückenelement, 6 . 7 . 8th and 9 connecting a structural unit with a bridge element,

10, 11 und 12 Varianten der in den 6, 7, 8 und 9 dargestellten Ausführungsformen, 10 . 11 and 12 Variants of the in the 6 . 7 . 8th and 9 illustrated embodiments,

13 eine Baueinheit mit zusätzlichen elektrischen und optischen Leitern. 13 a unit with additional electrical and optical conductors.

1 zeigt eine Baueinheit 1 mit zwei Verbindungselementen 2 sowie Bauelementen 4 mit linearer Ausdehnung. Bei den Bauelementen 4 handelt sich um Röhrchen, die innen hohl sind, einen Durchmesser von weniger als 200μm aufweisen, und für den Transport von Flüssigkeiten oder Gasen bestimmt sind. Das Gleiche gilt für alle nachfolgend beschriebenen Bauelemente 4. Diese sind in der gleichen Weise ausgebildet. Die beiden Verbindungselemente 2 sind aus Silizium, Gas oder Kunststoff gefertigt und baugleich. Sie sind aus jeweils zwei flächigen Bauteilen 20 und 21 zusammengefügt, die auf der ersten Oberfläche mit Nuten 20N, 21N versehen, welche sich, wie in 2 dargestellt, über die gesamte Breite der Bauteile 20, 21 erstrecken. Jeweils zwei unmittelbar benachbarte Nuten 20N, 21N haben den gleichen Abstand voneinander und weisen die gleiche Tiefe auf. Um eine große Anzahl dieser sehr dünnen Bauelemente 4 auch über eine längere Strecke parallel führen zu können, wird jeweils ein Röhrchen 4 in einer Nut 20N des Bauteils 20 angeordnet. Nachdem in jeder Nut 20N ein Röhrchen 4 angeordnet ist, werden alle Röhrchen 4 in den Nuten 20N fixiert, was mit einem Kleber (hier nicht dargestellt) erfolgen kann. 1 shows an assembly 1 with two connecting elements 2 and components 4 with linear expansion. With the components 4 are tubes that are hollow inside, have a diameter of less than 200μm, and are intended for the transport of liquids or gases. The same applies to all components described below 4 , These are designed in the same way. The two fasteners 2 are made of silicon, gas or plastic tig and identical. They are each made up of two flat components 20 and 21 joined together on the first surface with grooves 20N . 21N which, as in 2 shown across the entire width of the components 20 . 21 extend. Two immediately adjacent grooves 20N . 21N are the same distance apart and have the same depth. A large number of these very thin components 4 Being able to run parallel over a longer distance also becomes a tube 4 in a groove 20N of the component 20 arranged. After in every groove 20N a tube 4 all tubes are arranged 4 in the grooves 20N fixed what can be done with an adhesive (not shown here).

Um dem Verbindungselement 2 eine zusätzliche Stabilität zu verleihen, kann jeweils ein baugleiches Bauteil 21 auf dem Bauteil 20 so angeordnet werden, dass jeweils eine Nut 20N gegenüber einer Nut 21N angeordnet ist, und die Längsachsen aller Nuten 20N, 21N parallel zueinander verlaufen. Auf das Bauteil 21 kann verzichtet werden, wenn die Bauelemente 4 keinen großen Belastungen ausgesetzt sind.To the connector 2 An identical component can be used to provide additional stability 21 on the component 20 be arranged so that one groove each 20N towards a groove 21N is arranged, and the longitudinal axes of all grooves 20N . 21N run parallel to each other. On the component 21 can be omitted if the components 4 are not exposed to great stress.

Damit die freien Enden 4A, 4B der Röhrchen 4 alle in einer Ebene liegen, und ein Art Stecker bilden, werden sie, bevor die Röhrchen 4 in dem Bauteil 20 fixiert werden, in einem Bauteil 5 angeordnet. Das Bauteil 5 ist im wesentlichen wie das Bauteil 20, 21 ausgebildet, mit dem Unterschied jedoch, dass es an einem Ende geschossen ist, so dass hierdurch ein Anschlag für die Enden 4A, 4B gebildet wird. Die freien Enden 4A, 4B werden für die Montage so in die Nuten 5N eines jeden Bauteils 5 gelegt, dass sie bündig an diesem Anschlag anliegen. Nachdem die Röhrchen 4 dauerhaft in den Verbindungselementen 2 gehaltert sind, werden die Bauteile 5 wieder von den Enden 4A, 4B entfernt. Durch das Verbinden der Röhrchen 4 über die Verbindungselemente 2 wird ein Strang 1S ausgebildet, in dem nicht nur alle Röhrchen 4 parallel ausgerichtet sind, sondern auch deren Enden 4A und 4B alle in einer Ebene liegen.So the free ends 4A . 4B the tube 4 all lie in one plane, and form a kind of connector, they will be before the tubes 4 in the component 20 be fixed in one component 5 arranged. The component 5 is essentially like the component 20 . 21 formed, with the difference, however, that it is shot at one end, thereby making a stop for the ends 4A . 4B is formed. The free ends 4A . 4B are so in the grooves for assembly 5N of every component 5 placed so that they are flush against this stop. After the tubes 4 permanently in the fasteners 2 the components are held 5 again from the ends 4A . 4B away. By connecting the tubes 4 about the fasteners 2 becomes a strand 1S trained in which not only all tubes 4 are aligned in parallel, but also their ends 4A and 4B all lie on one level.

Wie 3 zu entnehmen ist, können die Röhrchen 4 mit Hilfe der Verbindungselemente 2 auch so zusammen gefasst werden, dass ihre Enden 4A, 4B bündig in einer Ebene mit der Stirnfläche 2B des jeweiligen Verbindungselements 2 abschließen. Zwei solche Stränge 1S können so miteinander verbunden werden, dass ihre Stirnflächen 2B in einen direkten Kontakt miteinander gebracht werden, wie das in 3 dargestellt ist. Hierfür werden die Stirnflächen 2B deckungsgleich gegeneinander gesetzt. Zwischen den beiden Stirnflächen 2B kann noch eine Dichtungsscheibe 6 angeordnet werden. Diese ist an den Stellen, an denen sich die Öffnungen (hier nicht dargestellt) der Röhr chen 4 befinden, mit Durchlässen 6D versehen. Mit der Dichtungsscheibe 6 soll das Auslaufen von Flüssigkeiten bzw. das Austreten von Gasen (hier nicht dargestellt) verhindert werden, die durch die Bauelemente 4 transportiert werden. Um eine optimale Verbindung zwischen den beiden Verbindungselementen 2 zu erreichen, werden diese zusätzlich in einer Klemmvorrichtung 7 angeordnet, wie sie in 4 dargestellt ist. Diese ist als zweiteiliges, quaderförmiges Bauteil ausgebildet. Die inneren Abmessungen der Klemmvorrichtung 7 so gewählt sind, dass die beiden Verbindungselemente 2 so darin angeordnet werden können, dass sie fest gegeneinander gepresst werden. Die beiden Hälften der Klemmvorrichtung 7 sind beispielsweise über ein Scharnier (hier nicht dargestellt) miteinander verbunden, so dass der Innenbereich frei zugänglich ist. Zwei seitliche Begrenzungsflächen 7A und 7B der Klemmvorrichtung 7, die einander gegenüberliegen sind mit Durchlässen 7D versehen, durch welche die Röhrchen 4 der Stränge 1S hindurchgeführt sind.How 3 can be seen, the tubes 4 with the help of the connecting elements 2 also be summarized so that their ends 4A . 4B flush with the end face 2 B of the respective connecting element 2 to lock. Two such strands 1S can be joined together so that their end faces 2 B be brought into direct contact with each other, like the one in 3 is shown. For this, the end faces 2 B placed congruently against each other. Between the two faces 2 B can still have a sealing washer 6 to be ordered. This is where the openings (not shown here) of the tubes are 4 with passages 6D Mistake. With the sealing washer 6 The leakage of liquids or the escape of gases (not shown here) is to be prevented by the components 4 be transported. For an optimal connection between the two connecting elements 2 To achieve this, these are additionally in a clamping device 7 arranged as in 4 is shown. This is designed as a two-part, cuboid component. The internal dimensions of the clamping device 7 are chosen so that the two connecting elements 2 can be arranged in such a way that they are pressed firmly against each other. The two halves of the clamp 7 are connected to each other for example via a hinge (not shown here) so that the interior is freely accessible. Two side boundaries 7A and 7B the clamping device 7 that face each other with culverts 7D through which the tubes 4 of strands 1S are passed through.

Wie 5 zu entnehmen ist, können Röhrchen 4, die beispielsweise an den ersten Enden 4A über ein Verbindungselement 2 zusammengefasst sind, mit ihren zweiten Enden 4B und mit den Enden weiterer Röhrchen 4 und weiteren Verbindungselementen 2 zu einem Baum beliebiger Struktur zusammengefasst werden. Damit die Enden 4A und 4B der Röhrchen 4 nicht unmittelbar hinter den Verbindungselementen 2 abknicken, sind zusätzliche Verstärkungen 4V für jedes Röhrchen 4 versehen.How 5 can be seen, tubes 4 that, for example, at the first ends 4A via a connecting element 2 are summarized with their second ends 4B and with the ends of other tubes 4 and other connecting elements 2 can be combined into a tree of any structure. So the ends 4A and 4B the tube 4 not immediately behind the fasteners 2 kink, are additional reinforcements 4V for each tube 4 Mistake.

6 zeigt ein flächiges Brückenelement 8, das beispielsweise aus Silizium oder Kunststoff gefertigt ist. Das gleiche gilt für alle nachfolgend beschriebenen Brückenelemente. In der Oberfläche des hier gezeigten Brückenelements 8 sind Kanäle 9 ausgebildet, die in einem definierten Abstand parallel zueinander verlaufen. Die Kanäle 9 sind nach außen beispielsweise durch eine Platte (hier nicht dargestellt) verschlossen, welche dauerhaft und gasdicht mit der Oberfläche des Brückenelements 8 verbunden ist. Lediglich die ersten und zweiten Enden 9A und 9B der Kanäle 9 sind nach außen zu offen. Um jeden der Kanäle 9 auf einfache Weise mit einem Röhrchen 4 verbinden zu können, wird hierfür ein Strang 1S verwendet, bei dem die Anzahl der Röhrchen 4 mit der Anzahl der Kanäle 9 übereinstimmt. Mit Hilfe des Verbindungselements 2 sind die Röhrchen 4 parallel zueinander und im gleichen Abstand wie die Kanäle 9 geführt. Um das Zusammenfügen des Strangs 1S mit den Kanälen 9 zu vereinfachen, sind die Kanäle 9 an den Enden 9A, die den Röhrchen 4 zugewandt sind, geringfügig aufgeweitet, wie in 7 dargestellt. 6 shows a flat bridge element 8th , which is made of silicon or plastic, for example. The same applies to all bridge elements described below. In the surface of the bridge element shown here 8th are channels 9 trained that run parallel to each other at a defined distance. The canals 9 are closed to the outside, for example, by a plate (not shown here) which is permanently and gas-tight with the surface of the bridge element 8th connected is. Only the first and second ends 9A and 9B of the channels 9 are too open to the outside. To each of the channels 9 in a simple way with a tube 4 being able to connect becomes a strand for this 1S used where the number of tubes 4 with the number of channels 9 matches. With the help of the connecting element 2 are the tubes 4 parallel to each other and at the same distance as the channels 9 guided. To assemble the strand 1S with the channels 9 the channels are to simplify 9 at the ends 9A that the tube 4 are slightly expanded, as in 7 shown.

Wie 7 ebenfalls zeigt, kann jeder der Kanäle 9 an seinem zweiten Ende auch wieder mit einem Röhrchen 4 verbunden werden. Das Brückenelement 8 kann, wie in 6 dargestellt, im Bereich der ersten Enden 9A der Kanäle 9 mit einer Ausnehmung 8A versehen werden, um der Verbindung mit dem Strang 1S den erforderlichen Halt zu geben. Zusätzlich können die Röhrchen 4 an den Enden 9A und 9B der Kanäle 9 festgeklebt werden (hier nicht dargestellt). Die Stabilität kann auch durch eine zusätzliche Justiervorrichtung 11 vergrößert werden, deren Längsachse parallel zur Längsachse des Strangs 1S ausgerichtet ist, und die das Ende des Strangs 1S und das Brückenelement 8 seitlich umschließt, wie in 8 dargestellt.How 7 also shows each of the channels 9 at its second end again with a tube 4 get connected. The bridge element 8th can, as in 6 shown in the area of the first ends 9A of the channels 9 with one exception mung 8A be provided to connect to the strand 1S to give the necessary hold. In addition, the tubes 4 at the ends 9A and 9B of the channels 9 be glued (not shown here). The stability can also be increased by an additional adjustment device 11 be enlarged, the longitudinal axis parallel to the longitudinal axis of the strand 1S is aligned, and that's the end of the strand 1S and the bridge element 8th encloses laterally, as in 8th shown.

Wie 9 zeigt, kann jedes Verbindungselement 2 zum Ausgleich von Toleranzen mit einer Verlängerung 2L versehen werden. Diese erstreckt sich bis zu dem Brückenelement 8 und stützt so die Enden 4A der Röhrchen 4, welche in die Kanäle 9 gesteckt sind.How 9 shows, each connecting element 2 to compensate for tolerances with an extension 2L be provided. This extends to the bridge element 8th and so supports the ends 4A the tube 4 which in the channels 9 are stuck.

10 zeigt ein Brückenelement 8, mit dem zwei Stränge 1S über einen rechten Winkel miteinander verbunden werden können. Das Brückenelement 8 ist hierfür mit Kanälen 9 versehen. Die Anzahl der Kanäle 9 ist an die Anzahl der Röhrchen 4 angepasst, welche die zu verbindenden Stränge 1S aufweisen. Die Kanäle 9 sind zunächst parallel zur Längsachse des Brückenelements 8 geführt. Von der Mitte des Brückenelements an sind die Kanäle 9 im rechten Winkel zu dessen Längsachse geführt, derart, dass die ersten Enden 9A und die zweiten Enden 9B der Kanäle 9 an zwei Seitenkanten des Brückenelements 8 liegen, die unmittelbar aneinander grenzen. Die Enden 9A und 9B der Kanäle 9 können auch hier etwas aufgeweitet werden, damit sie besser mit den Röhrchen 4 der Stränge 1S verbindbar sind. 10 shows a bridge element 8th with which two strands 1S can be connected to each other at a right angle. The bridge element 8th is for this with channels 9 Mistake. The number of channels 9 is the number of tubes 4 customized which strands to connect 1S exhibit. The canals 9 are initially parallel to the longitudinal axis of the bridge element 8th guided. The channels are from the middle of the bridge element 9 guided at right angles to its longitudinal axis, such that the first ends 9A and the second ends 9B of the channels 9 on two side edges of the bridge element 8th lie directly adjacent to each other. The ends 9A and 9B of the channels 9 can be widened a bit here too, so they better fit the tubes 4 of strands 1S are connectable.

11 zeigt ein Brückenelement 8, bei dem die Kanäle 9 T-förmig geführt sind, so dass, ein Mischpunkt 9M gebildet wird. An die Enden der Kanäle 9 kann wiederum jeweils ein Strang 1S angeschlossen werden. Die Anzahl der T-förmig geführten Kanäle 9 ist nicht auf die hier dargestellte Anzahl beschränkt, vielmehr kann sie beliebig groß gewählt werden. Die Anzahl der Röhrchen 4 eines jeden Strangs 1S muss dann entsprechend angepasst werden. 11 shows a bridge element 8th where the channels 9 T-shaped, so that, a mixing point 9M is formed. At the ends of the channels 9 can turn one strand at a time 1S be connected. The number of T-shaped channels 9 is not limited to the number shown here, but can be chosen to be of any size. The number of tubes 4 of each strand 1S must then be adjusted accordingly.

12 zeigt ein Brückenelement 8, bei dem der Kanal 9 von der Mitte des Brückenelements 8 an in zwei Arme 9C und 9D aufgespalten ist. Der Kanal 9 ist an seinem ersten Ende 9A mit einem Strang 1S verbunden, der mit nur einem Röhrchen 4 versehen ist, während an die beiden Arme 9C und 9D ein Strang 1S mit zwei Röhrchen 4 angeschlossen wird. 12 shows a bridge element 8th where the channel 9 from the center of the bridge element 8th on in two arms 9C and 9D is split up. The channel 9 is at its first end 9A with one strand 1S connected with only one tube 4 is provided while on the two arms 9C and 9D a strand 1S with two tubes 4 is connected.

An Stelle einer Baueinheit 1, bei der nur Röhrchen 4 zu einem Strang zusammengefasst sind, kann, wie 13 zeigt, auch eine Baueinheit 1 hergestellt werden, bei der neben parallel ausgerichteten Röhrchen 4 auch ebenso geführte elektrische Leiter 50 und optische Leiter 60 zu einem Strang 1S zusammengefasst sind. Werden elektrische und optische Leiter 50 und 60 für die Fertigung von Vorrichtungen der Mikrotechnik verwendet, so haben sie ebenso wie die Röhrchen 4 Durchmesser, die kleiner als 200μm sind. Um eine Vielzahl dieser Leiter 50 und 60 parallel zu führen, können sie zusammen mit den Röhrchen 4 unter Verwendung von Verbindungselementen 2 zu einer Baueinheit 1 in Form eines Strangs 1R zusammengefasst werden. Die Nuten 20N und 21N in den Bauteilen 20 und 21 sind hierfür an die Durchmesser der Leiter 50 und 60 angepasst, und ebenfalls parallel zueinander ausgerichtet. Die Bauteile 20 und 21 werden auch hier, wie in den 1 und 2 dargestellt und in den zugehörigen Beschreibungen erläutert, zu den Verbindungselementen 2 zusammengefügt. Ebenso werden auch die Röhrchen 4 und Leiter 50 und 60 in der gleichen Weise zu einem Strang 1R zusammengefasst und verbunden wie dort erläutert. Erfindungsgemäß kann dieser Strang 1R auch mit einem Brückenelement 8R verbunden werden. In der Oberfläche des Brückenelements 8R sind parallel geführte Kanäle 9, 9E und 9L vorgesehen. In jedem der Kanäle 9E, 9L ist entweder ein elektrischer oder ein optischer Leiter 40, 50 verlegt, oder der Kanal 9 wird für den Transport eines strömenden Mediums (hier nicht dargestellt) genutzt. Das Brückenelement 8R ist bezüglich der Abstände der Kanäle 9, 9E, 9L und deren Nutzung als Kabelkanäle 9E, 9L bzw. deren Nutzung für strömende Medien an die Struktur des Strangs 1R angepasst. Damit ist ein einfaches Verbinden des Strangs 1R mit dem Brückenelement 8R möglich ist, wie in 13 dargestellt. Vorzugsweise sind die Röhrchen 4 des Strangs 1R auch hierbei geringfügig über das Verbindungselement 2 hinaus verlängert, so dass sie leichter in die zugehörigen Kanäle 9, 9E, 9L des Brückenelements 8R gesteckt werden können.Instead of an assembly 1 , where only tubes 4 can be combined into one strand, like 13 also shows a structural unit 1 be produced in the case of parallel aligned tubes 4 also guided electrical conductors 50 and optical conductors 60 to one strand 1S are summarized. Become electrical and optical conductors 50 and 60 used for the manufacture of microtechnology devices, so they have just like the tubes 4 Diameters that are smaller than 200μm. To a variety of these leaders 50 and 60 To run in parallel, they can be used together with the tubes 4 using fasteners 2 to one unit 1 in the form of a strand 1R be summarized. The grooves 20N and 21N in the components 20 and 21 are for this the diameter of the conductor 50 and 60 adjusted, and also aligned parallel to each other. The components 20 and 21 are also here, as in the 1 and 2 shown and explained in the associated descriptions, to the connecting elements 2 together. Likewise, the tubes 4 and leader 50 and 60 in the same way to one strand 1R summarized and connected as explained there. According to the invention, this strand 1R also with a bridge element 8R get connected. In the surface of the bridge element 8R are parallel channels 9 . 9E and 9L intended. In each of the channels 9E . 9L is either an electrical or an optical conductor 40 . 50 misplaced, or the channel 9 is used for the transport of a flowing medium (not shown here). The bridge element 8R is regarding the spacing of the channels 9 . 9E . 9L and their use as cable channels 9E . 9L or their use for flowing media on the structure of the strand 1R customized. This is a simple connection of the strand 1R with the bridge element 8R is possible, as in 13 shown. The tubes are preferred 4 of the strand 1R also slightly over the connecting element 2 extends beyond, making them easier in the associated channels 9 . 9E . 9L of the bridge element 8R can be inserted.

Die Erfindung beschränkt sich nicht nur auf die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele. Vielmehr umfasst sie alle Variationen der Baueinheit, die dem Kern der Erfindung zugeordnet werden können.The Invention limited not only refer to the exemplary embodiments described here. Rather includes they all variations of the structural unit that are at the core of the invention can be assigned.

Claims

Unit for microtechnology, characterized in that two or more components ( 4 . 50 . 60 ) with linear expansion using connecting elements ( 2 ) aligned in parallel and to at least one strand ( 1S . 1R ) are summarized.

Assembly according to claim 1, characterized in that the components ( 4 . 50 . 60 ) are designed as hollow tubes, electrical conductors and / or optical conductors with a diameter of less than 200 μm.

Assembly according to one of claims 1 or 2, characterized in that that each verb element ( 2 ) one or two identical components ( 20 . 21 ) includes that each component ( 20 . 21 ) in a surface with continuous grooves ( 20N . 21N ) is provided, whose longitudinal axes are aligned parallel to one another, that in each groove ( 20N ) a component ( 4 . 50 . 60 ) can be used and fixed therein, and that the two components ( 20 . 21 ) so to a connecting element ( 2 ) that any groove ( 20N ) a groove ( 21N ) is arranged.

Assembly according to one of claims 1 to 3, characterized in that the components ( 4 . 50 . 60 ) so in a connecting element ( 2 ) that the ends of the components ( 4 . 50 . 60 ) flush with the face ( 2 B ) of the respective connecting element ( 2 ) complete, or all ends of the components ( 4 . 50 . 60 ) with the same length over the face ( 2 B ) of each connecting element ( 2 ) withstand outside.

Unit according to one of claims 1 to 4, characterized in that for the direct connection of two strands ( 1S ) one connection element each ( 2 ) of each strand ( 1S ) with the face ( 2 B ) congruent against the face ( 2 B ) of the second connecting element ( 2 ) and both connecting elements ( 2 ) in a clamping device ( 7 ) are arranged and supported.

Assembly according to one of claims 1 to 5, characterized in that a bridge element ( 8th ) is provided, in the surface of which channels ( 9 ) are designed that are only open at the ends to the outside and there to accommodate components ( 4 ) are expanded.

Assembly according to claim 6, characterized in that the channels ( 9 ) parallel to the longitudinal axis of the bridge element ( 8th ) aligned and from a defined point still parallel to each other but perpendicular to the longitudinal axis of the bridge element ( 8th ) that at least two strands ( 1S ) through the channels ( 9 ) of the bridge element ( 8th ) can be connected to each other, and one end of a component ( 4 ) in the end ( 9A . 9B ) of a channel ( 9 ) is inserted.

Assembly according to claim 6, characterized in that at least two channels ( 9 ), which are each provided with at least one outwardly open end, within the bridge element ( 8th ) to a channel ( 9 ) with one end open to the outside, or multiple channels ( 9 ) with at least one end open to the outside within the bridge element ( 8th ) T-shaped that at least two strands ( 1S ) through the channels ( 9 ) of the bridge element ( 8th ) can be connected to each other, and that one end of a component ( 4 ) in the end ( 9A . 9B ) of a channel ( 9 ) is inserted.

Assembly according to one of claims 1 and 2, characterized in that tubes () 4 ), electrical conductor ( 50 ) and optical conductors ( 60 ) to one strand ( 1R ) are summarized, which and with a to the structure of the strand ( 1R ) adapted bridge element ( 8R ) can be connected, in the channels ( 9 ) electrical or optical conductors ( 50 . 60 ) that are connected to the electrical and optical conductors ( 50 . 60 ) of the strand ( 1R ) can be connected, or its channels ( 9 ) designed for the transport of flowing media and with the tubes ( 4 ) of the strand ( 1R ) are connectable.