DE10305674A1

DE10305674A1 - Leuchte

Info

Publication number: DE10305674A1
Application number: DE10305674A
Authority: DE
Inventors: Gerhard Jergentz; Frank Mathieu
Original assignee: M+W Zander Facility Engineering GmbH and Co KG; M+W Zander Facility Engineering GmbH
Current assignee: M+W Zander Facility Engineering GmbH and Co KG; M+W Zander Facility Engineering GmbH
Priority date: 2003-02-12
Filing date: 2003-02-12
Publication date: 2004-08-26

Abstract

Bei der Herstellung integrierter Schaltungen kommen in der Photolithographie Prozesse zum Einsatz, bei denen UV-Strahlungen aus der Beleuchtung vermieden werden müssen. Dies wird durch Einsatz von Gelblicht erreicht, wofür jedoch teure Leuchtstoffröhren erforderlich sind. DOLLAR A Damit auf konstruktiv günstige Weise die Abstrahlung von Licht bestimmter Wellenlänge unterdrückt werden kann, ist das Leuchtmittel von einer als Lichtfilter dienenden Ummantelung umgeben. Sie filtert das Licht unerwünschter Wellenlänge aus. Für das Leuchtmittel selbst können herkömmliche, preisgünstige Lampen eingesetzt werden. DOLLAR A Die Leuchte wird insbesondere in der Photolithographie zur Herstellung integrierter Schaltungen eingesetzt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Leuchte nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Bei der Herstellung integrierter Schaltungen kommen in der Photolithographie häufig Prozesse zum Einsatz, bei denen UV-Strahlungen aus der Beleuchtung vermieden werden müssen. Wellenlängen des austretenden Lichtes kleiner als 500 nm müssen unterdrückt werden. Um dies zu erreichen, wird gelbes Licht eingesetzt. Dieses Gelblicht wird mittels spezieller Leuchtstoffröhren für sogenannte Aufbauleuchten erzeugt. Der Preis für diese gelben Leuchtstoffröhren ist relativ hoch.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Leuchten dieser Art so auszubilden, daß auf konstruktiv günstige Weise die Abstrahlung von Licht bestimmter Wellenlänge unterdrückt werden kann.

Diese Aufgabe wird bei einer Leuchte der gattungsbildenden Art erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.

Bei der erfindungsgemäßen Leuchte wird als Leuchtmittel eine Weißlicht-Leuchtstofflampe, vorzugsweise eine Kompakt-Leuchtstofflampe, verwendet, die in der als Lichtfilter wirkenden Ummantelung untergebracht ist. Sie sorgt dafür, daß Licht unerwünschter Wellenlänge ausgefiltert und nur Licht hindurchgelassen wird, das für den jeweiligen Einsatzfall unschädlich ist. Durch Veränderung der Ummantelung kann somit ein preisgünstiges Weißlicht-Leuchtmittel verwendet werden, so daß die Leuchte auf einfache und kostengünstige Weise hergestellt werden kann. Die Ummantelung hat ferner den Vorteil, daß sie als Splitterschutz für das Leuchtmittel dienen kann. Die Ummantelung kann besonders einfach und kostengünstig durch ein transparentes, eingefärbtes Kunststoffrohr gebildet sein.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispieles näher beschrieben. Es zeigt:
1 und 2 eine erfindungsgemäße Leuchte in perspektivischer Darstellung,
3 und 4 eine Draufsicht auf die Leuchte in Richtung des Pfeils III bzw. IV in 1 bzw. 2,
5 und 6 jeweils eine Stirnansicht der Leuchte gemäß Pfeil V bzw. V1 in 3,
7 einen Schnitt längs der Linie VII-VII in 4,
8 einen Schnitt längs der Linie VIII-VIII in 3.
Die in den 1 bis 8 dargestellte Leuchte 1 ist vorzugsweise eine Kompakt-Leuchtstofflampe des Typs TC-L, die ein U-förmiges Leuchtstoffrohr 3 aufweist, dessen beide Enden 6, 7 an einen Sockel 8 angeschlossen sind.
Bei der Herstellung von integrierten Schaltungen kommen in der Photolithographie häufig Prozesse zum Einsatz, bei denen UV-Strahlung aus der Beleuchtung vermieden werden müssen. Um dies zu erreichen, wird die Leuchtstoffröhre 3 in eine Ummantelung 2 eingesetzt, die das von der Leuchtstoffröhre 3 abgegebene Weißlicht so filtert, daß es den Photolithographie-Prozeß nicht stört.
Die Ummantelung 2 ist ein Kunststoffrohr, das beispielsweise ovalen Querschnitt aufweist und aus lichtdurchlässigem Material besteht. Die Ummantelung 2 ist gelb eingefärbt und dient als Lichtfilter, mit dem Wellenlängen des Lichtes unterhalb von 500 nm unterdrückt werden. Die für den Prozeß erforderliche Transmission der Ummantelung 2 kann durch Messung der spektralen Lichtverteilung einfach ermittelt werden.
Im Ausführungsbeispiel wird mit der Ummantelung 2 eine Lichtwellenlänge unterhalb von 500 nm unterdrückt. Selbstverständlich können je nach Einsatzfall der Leuchte auch andere Wellenlängen des Lichtes unterdrückt werden. Die Ummantelung 2 ist in solchen Fällen aus entsprechend anderem Material hergestellt.
Um den Austritt von weißem Licht aus der Ummantelung 2 zu vermeiden, sind an den Enden 11, 12 ausgasungsfreie, lichtundurchlässige Verschlußteile 9, 10 vorgesehen. Das Verschlußteil 9 ist ein Dichtring, der auf das eine Ummantelungsende 11 gesteckt ist und den Sockel 8 dichtend umgibt. Das andere Verschlußteil 10 ist eine auf das andere Ummantelungsende 12 aufgesetzte Kappe.
Die Dichtung 9 hat U-förmigen Querschnitt. Das Ummantelungsende 11 ragt in die Dichtung, die dichtend an der Innenseite der Ummantelung 2 und an der Außenseite des Sockels 8 anliegt. Das kappenförmige Verschlußteil 10 übergreift die Ummantelung 2. Die Dichtung 9 und die Kappe 10 schließen die Enden der Ummantelung 2 vollständig ab, so daß kein Licht nach außen dringen kann.
Zur Befestigung der Leuchte 1 in einem (nicht dargestellten) Leuchtengehäuse oder dergleichen sind zwei mit Abstand voneinander liegende Leuchtenhalter 14 und 15 vorgesehen. Sie sind vorzugsweise durch Federstahlhügel gebildet, die gleich ausgebildet sind. Die Leuchtenhalter 14, 15 umgreifen die Kunststoffummantelung 2 mit Abstand von ihren Enden 11, 12 bzw. der Dichtung 9 und der Kappe 10, wobei sie mit ihren Federschenkeln 16 bis 19 gegenüber der Ummantelung vorgespannt sind. Im einen Federschenkel 18 bzw. 19 (4) ist eine (nicht näher dargestellte) U-förmige Ausbauchung vorgesehen, in deren Quersteg eine Durchstecköffnung für ein Sicherungsteil, wie einen Spreizniet 20, 21 oder dergleichen befestigt werden kann. Mit diesen Sicherungsteilen 20, 21 läßt sich die Leuchte 1 im Leuchtengehäuse einfach montieren. Die Leuchte ist im übrigen mit ihrem Sockel 8 in eine Fassung des Leuchtengehäuses eingesetzt.
Mit der Leuchte 1 kann ultraviolettfreies Licht unter Verwendung eines preisgünstigen Weißlicht-Leuchtmittels erzeugt werden. Das eingefärbte Kunststoffrohr 2 hat den Vorteil, daß es keinem mechanischen Verschleiß ausgesetzt ist und daher eine hohe Einsatzdauer aufweist. Vorteilhaft ist ferner, daß die Ummantelung 2 als Splitterschutz dient, wenn das Leuchtmittel 3 brechen oder splittern sollte. Das Leuchtmittel 3 kann bei Bedarf einfach gegen ein anderes Weißlicht-Leuchtmittel ausgetauscht werden. Bei der beschriebenen Leuchte kann das Leuchtmittel 3 sogar entfernt werden, ohne daß Weißlicht in den umgebenden Raum, vorzugsweise einen Reinraum, gelangt.
Je nach Ausbildung der Ummantelung 2 können Weißlicht-Leuchtmittel auch dann eingesetzt werden, wenn Licht anderer Wellenlänge unterdrückt werden soll. Die Länge der Ummantelung 2 wird entsprechend dem verwendeten Leuchtmittel konfektioniert.

Claims

Leuchte mit mindestens einem Weißlicht aussendenden Leuchtmittel, vorzugsweise einer Kompakt-Leuchtstofflampe, dadurch gekennzeichnet, daß das Leuchtmittel (3) von einer als Lichtfilter dienenden Ummantelung (2) umgeben ist.
Leuchte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (2) durch ein transparentes Rohr gebildet ist.
Leuchte nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (2) aus Kunststoff besteht.
Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (2) ovalen Querschnitt aufweist.
Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (2) aus gelbem Kunststoff besteht.
Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (2) aus nicht-splitterndem Kunststoff besteht.
Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß am einen Ende (11) der Ummantelung (2) eine lichtundurchlässige Dichtung (9) vorgesehen ist.
Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß am anderen Ende (12) der Ummantelung (2) eine lichtundurchlässige Kappe (10) vorgesehen ist.
Leuchte nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (9) eine Ringdichtung ist.
Leuchte nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (9) U-förmigen Querschnitt mit einer Ringnut für das eine Ende (11) der Ummantelung (2) hat.
Leuchte nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (9) einen Sockel (8) der Leuchte (1) umgibt.
Leuchte nach einem der Ansprüche 8 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, daß die Kappe (10) auf dem anderen Ende (12) der Ummantelung (2) klemmend gehalten ist.
Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß an der Ummantelung (2) mindestens ein oder zwei mit Abstand voneinander und von den Enden (11, 12) angeordnete Leuchtenhalter (14, 15) vorgesehen sind.
Leuchte nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtenhalter (14, 15) etwa U-förmig ausgebildet und klemmend auf der Ummantelung (2) gehalten sind.
Leuchte nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtenhalter (14, 15) wenigstens ein Befestigungsteil (20, 21) aufweisen.