DE10305674A1 - Leuchte - Google Patents
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Abstract
Bei der Herstellung integrierter Schaltungen kommen in der Photolithographie Prozesse zum Einsatz, bei denen UV-Strahlungen aus der Beleuchtung vermieden werden müssen. Dies wird durch Einsatz von Gelblicht erreicht, wofür jedoch teure Leuchtstoffröhren erforderlich sind. DOLLAR A Damit auf konstruktiv günstige Weise die Abstrahlung von Licht bestimmter Wellenlänge unterdrückt werden kann, ist das Leuchtmittel von einer als Lichtfilter dienenden Ummantelung umgeben. Sie filtert das Licht unerwünschter Wellenlänge aus. Für das Leuchtmittel selbst können herkömmliche, preisgünstige Lampen eingesetzt werden. DOLLAR A Die Leuchte wird insbesondere in der Photolithographie zur Herstellung integrierter Schaltungen eingesetzt.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Leuchte nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
- Bei der Herstellung integrierter Schaltungen kommen in der Photolithographie häufig Prozesse zum Einsatz, bei denen UV-Strahlungen aus der Beleuchtung vermieden werden müssen. Wellenlängen des austretenden Lichtes kleiner als 500 nm müssen unterdrückt werden. Um dies zu erreichen, wird gelbes Licht eingesetzt. Dieses Gelblicht wird mittels spezieller Leuchtstoffröhren für sogenannte Aufbauleuchten erzeugt. Der Preis für diese gelben Leuchtstoffröhren ist relativ hoch.
- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Leuchten dieser Art so auszubilden, daß auf konstruktiv günstige Weise die Abstrahlung von Licht bestimmter Wellenlänge unterdrückt werden kann.
- Diese Aufgabe wird bei einer Leuchte der gattungsbildenden Art erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.
- Bei der erfindungsgemäßen Leuchte wird als Leuchtmittel eine Weißlicht-Leuchtstofflampe, vorzugsweise eine Kompakt-Leuchtstofflampe, verwendet, die in der als Lichtfilter wirkenden Ummantelung untergebracht ist. Sie sorgt dafür, daß Licht unerwünschter Wellenlänge ausgefiltert und nur Licht hindurchgelassen wird, das für den jeweiligen Einsatzfall unschädlich ist. Durch Veränderung der Ummantelung kann somit ein preisgünstiges Weißlicht-Leuchtmittel verwendet werden, so daß die Leuchte auf einfache und kostengünstige Weise hergestellt werden kann. Die Ummantelung hat ferner den Vorteil, daß sie als Splitterschutz für das Leuchtmittel dienen kann. Die Ummantelung kann besonders einfach und kostengünstig durch ein transparentes, eingefärbtes Kunststoffrohr gebildet sein.
- Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.
- Die Erfindung wird nachstehend anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispieles näher beschrieben. Es zeigt:
-
1 und2 eine erfindungsgemäße Leuchte in perspektivischer Darstellung, -
3 und4 eine Draufsicht auf die Leuchte in Richtung des Pfeils III bzw. IV in1 bzw.2 , -
5 und6 jeweils eine Stirnansicht der Leuchte gemäß Pfeil V bzw. V1 in3 , -
7 einen Schnitt längs der Linie VII-VII in4 , -
8 einen Schnitt längs der Linie VIII-VIII in3 . - Die in den
1 bis8 dargestellte Leuchte1 ist vorzugsweise eine Kompakt-Leuchtstofflampe des Typs TC-L, die ein U-förmiges Leuchtstoffrohr3 aufweist, dessen beide Enden6 ,7 an einen Sockel8 angeschlossen sind. - Bei der Herstellung von integrierten Schaltungen kommen in der Photolithographie häufig Prozesse zum Einsatz, bei denen UV-Strahlung aus der Beleuchtung vermieden werden müssen. Um dies zu erreichen, wird die Leuchtstoffröhre
3 in eine Ummantelung2 eingesetzt, die das von der Leuchtstoffröhre3 abgegebene Weißlicht so filtert, daß es den Photolithographie-Prozeß nicht stört. - Die Ummantelung
2 ist ein Kunststoffrohr, das beispielsweise ovalen Querschnitt aufweist und aus lichtdurchlässigem Material besteht. Die Ummantelung2 ist gelb eingefärbt und dient als Lichtfilter, mit dem Wellenlängen des Lichtes unterhalb von 500 nm unterdrückt werden. Die für den Prozeß erforderliche Transmission der Ummantelung2 kann durch Messung der spektralen Lichtverteilung einfach ermittelt werden. - Im Ausführungsbeispiel wird mit der Ummantelung
2 eine Lichtwellenlänge unterhalb von 500 nm unterdrückt. Selbstverständlich können je nach Einsatzfall der Leuchte auch andere Wellenlängen des Lichtes unterdrückt werden. Die Ummantelung2 ist in solchen Fällen aus entsprechend anderem Material hergestellt. - Um den Austritt von weißem Licht aus der Ummantelung
2 zu vermeiden, sind an den Enden11 ,12 ausgasungsfreie, lichtundurchlässige Verschlußteile9 ,10 vorgesehen. Das Verschlußteil9 ist ein Dichtring, der auf das eine Ummantelungsende11 gesteckt ist und den Sockel8 dichtend umgibt. Das andere Verschlußteil10 ist eine auf das andere Ummantelungsende12 aufgesetzte Kappe. - Die Dichtung
9 hat U-förmigen Querschnitt. Das Ummantelungsende11 ragt in die Dichtung, die dichtend an der Innenseite der Ummantelung2 und an der Außenseite des Sockels8 anliegt. Das kappenförmige Verschlußteil10 übergreift die Ummantelung2 . Die Dichtung9 und die Kappe10 schließen die Enden der Ummantelung2 vollständig ab, so daß kein Licht nach außen dringen kann. - Zur Befestigung der Leuchte
1 in einem (nicht dargestellten) Leuchtengehäuse oder dergleichen sind zwei mit Abstand voneinander liegende Leuchtenhalter14 und15 vorgesehen. Sie sind vorzugsweise durch Federstahlhügel gebildet, die gleich ausgebildet sind. Die Leuchtenhalter14 ,15 umgreifen die Kunststoffummantelung2 mit Abstand von ihren Enden11 ,12 bzw. der Dichtung9 und der Kappe10 , wobei sie mit ihren Federschenkeln16 bis19 gegenüber der Ummantelung vorgespannt sind. Im einen Federschenkel18 bzw.19 (4 ) ist eine (nicht näher dargestellte) U-förmige Ausbauchung vorgesehen, in deren Quersteg eine Durchstecköffnung für ein Sicherungsteil, wie einen Spreizniet20 ,21 oder dergleichen befestigt werden kann. Mit diesen Sicherungsteilen20 ,21 läßt sich die Leuchte 1 im Leuchtengehäuse einfach montieren. Die Leuchte ist im übrigen mit ihrem Sockel8 in eine Fassung des Leuchtengehäuses eingesetzt. - Mit der Leuchte
1 kann ultraviolettfreies Licht unter Verwendung eines preisgünstigen Weißlicht-Leuchtmittels erzeugt werden. Das eingefärbte Kunststoffrohr2 hat den Vorteil, daß es keinem mechanischen Verschleiß ausgesetzt ist und daher eine hohe Einsatzdauer aufweist. Vorteilhaft ist ferner, daß die Ummantelung2 als Splitterschutz dient, wenn das Leuchtmittel3 brechen oder splittern sollte. Das Leuchtmittel3 kann bei Bedarf einfach gegen ein anderes Weißlicht-Leuchtmittel ausgetauscht werden. Bei der beschriebenen Leuchte kann das Leuchtmittel3 sogar entfernt werden, ohne daß Weißlicht in den umgebenden Raum, vorzugsweise einen Reinraum, gelangt. - Je nach Ausbildung der Ummantelung
2 können Weißlicht-Leuchtmittel auch dann eingesetzt werden, wenn Licht anderer Wellenlänge unterdrückt werden soll. Die Länge der Ummantelung2 wird entsprechend dem verwendeten Leuchtmittel konfektioniert.
Claims (15)
- Leuchte mit mindestens einem Weißlicht aussendenden Leuchtmittel, vorzugsweise einer Kompakt-Leuchtstofflampe, dadurch gekennzeichnet, daß das Leuchtmittel (
3 ) von einer als Lichtfilter dienenden Ummantelung (2 ) umgeben ist. - Leuchte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (
2 ) durch ein transparentes Rohr gebildet ist. - Leuchte nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (
2 ) aus Kunststoff besteht. - Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (
2 ) ovalen Querschnitt aufweist. - Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (
2 ) aus gelbem Kunststoff besteht. - Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ummantelung (
2 ) aus nicht-splitterndem Kunststoff besteht. - Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß am einen Ende (
11 ) der Ummantelung (2 ) eine lichtundurchlässige Dichtung (9 ) vorgesehen ist. - Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß am anderen Ende (
12 ) der Ummantelung (2 ) eine lichtundurchlässige Kappe (10 ) vorgesehen ist. - Leuchte nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (
9 ) eine Ringdichtung ist. - Leuchte nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (
9 ) U-förmigen Querschnitt mit einer Ringnut für das eine Ende (11 ) der Ummantelung (2 ) hat. - Leuchte nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (
9 ) einen Sockel (8 ) der Leuchte (1 ) umgibt. - Leuchte nach einem der Ansprüche 8 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, daß die Kappe (
10 ) auf dem anderen Ende (12 ) der Ummantelung (2 ) klemmend gehalten ist. - Leuchte nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß an der Ummantelung (
2 ) mindestens ein oder zwei mit Abstand voneinander und von den Enden (11 ,12 ) angeordnete Leuchtenhalter (14 ,15 ) vorgesehen sind. - Leuchte nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtenhalter (
14 ,15 ) etwa U-förmig ausgebildet und klemmend auf der Ummantelung (2 ) gehalten sind. - Leuchte nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtenhalter (
14 ,15 ) wenigstens ein Befestigungsteil (20 ,21 ) aufweisen.
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Country Status (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2128889A1 (de) * | 2007-02-07 | 2009-12-02 | Universidad Complutense de Madrid Rectorado | Lichtquelle mit verringerter emission kurzer wellenlängen zum schutz der augen |
DE202008014598U1 (de) | 2008-11-03 | 2010-03-25 | Zumtobel Lighting Gmbh | Verschlusselement für die Stirnseite eines rohrartigen Körpers |
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