DE10236880B4

DE10236880B4 - Getriebemechanismus zum Übertragen einer Drehkraft auf eine Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung

Info

Publication number: DE10236880B4
Application number: DE10236880A
Authority: DE
Inventors: Jin-Hyeung Jang; Hak-young Suwon Kim
Original assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Current assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Priority date: 2001-08-16
Filing date: 2002-08-12
Publication date: 2005-11-24
Anticipated expiration: 2022-08-13
Also published as: US20030034741A1; KR100393231B1; JP2003142024A; KR20030015545A; DE10236880A1; US6762417B2

Abstract

Getriebemechanismus zum Übertragen einer Drehkraft auf eine Waferauflageplatte (75) einer Ionenimplantiervorrichtung, welcher folgendes aufweist:
eine Drehwelle (110) mit einer zentralen Längsdrehachse, einer Endfläche, einer Keilnut (112), die sich longitudinal in einem Körper der Welle parallel zur Drehachse derselben erstreckt, und mit wenigstens einem Loch oder einer Bohrung (114) mit Innengewinde, welches bzw. welche an der Endfläche offen ist;
einen Drehkörper (120) mit einer Seitenfläche, mit einer Nabe (124), in die sich die Drehwelle (110) hinein erstreckt, und eine Vielzahl von Bohrungen oder Öffnungen (126) mit Innengewinde, die an der Seitenfläche desselben offen sind, wobei die Nabe einen Vorsprung (122) bildet, der in Eingriff oder Angriff mit der Drehwelle innerhalb der Keilnut steht;
eine Endkappe (140) mit Schraubenlöchern, die jeweils den Löchern mit den Innengewinden der Drehwelle (110) und des Drehkörpers (120) gegenüberliegen; und
eine Vielzahl an Schrauben (130), die sich durch die Schraubenlöcher in der Endkappe...

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zum Neigen einer Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung zum Herstellen von Halbleitervorrichtungen. Spezieller betrifft die Erfindung eine Verbindung zwischen einem Drehkörper und einer Welle eines Getriebemechanismus zum Übertragen einer Antriebskraft auf die Waferauflageplatte.
Die Ionenimplantation bildet eine Halbleiterherstellungstechnik, bei der Fremdstoffe ionisiert, beschleunigt und in einen gewünschten Bereich eines Halbleitersubstrats implantiert werden. Ferner ermöglicht die Ionenimplantation, daß die Fremdstoffe selektiv mit exakter Steuerung implantiert werden. Zusätzlich kann die Ionenimplantation mit einer ausgezeichneten Prozeßreproduzierbarkeit und Prozeßeinheitlichkeit durchgeführt werden. Daher eignet sich der Ioneimplantationsprozeß selbst gut für eine Massenproduktion von hochintegrierten Halbleitervorrichtungen. Somit gewinnt die Rolle der Ionenimplantation bei dem Halbleiterherstellungsprozeß fortlaufend an Bedeutung.
Für einen maximalen Wirkungsgrad des Ionenimplantationsprozesses ist es bekannt, daß ein Halbleiterwafer in einem vorbestimmten Winkel relativ zu dem Ionenstrahl orientiert sein sollte. Jedoch kann der Wafer unstabil, während er einer Neigung unterworfen wird, gehaltert sein. Geräteuntersuchungen haben Probleme an den Tag gebracht, und zwar hinsichtlich der Befestigung einer Antriebswelle an einen Dreharm, der die Y-Achsenneigung des Wafers steuert, und hinsichtlich der Befestigung einer Drehwelle mit einer Riemenscheibe, welche die X-Achsenneigung des Wafers steuert. Wenn diese Probleme existieren, werden die Fremdstoffe in unterschiedlichen Tiefen an verschiedenen Abschnitten des Wafers implantiert, anstatt in einer einheitlichen Tiefe implantiert zu werden. Somit beeinflussen diese Probleme in nachteiliger Form die Zuverlässigkeit der Geräteschaft und beeinflussen die Produktivität des Herstellungsprozesses.

Es soll nun die Orientierung einer Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung kurz unter Hinweis auf 5 beschrieben werden. Die Waferauflageplatte 75 kann in der Richtung von Pfeilen A'' bewegt werden, um die X-Achsenneigung zu steuern, und kann in der Richtung der Pfeile B' zur Steuerung der Y-Achsenneigung bewegt werden.

1 bis 4 veranschaulichen ein Verbindungssystem zum Steuern der Y-Achsenneigung der Waferauflageplatte in einer Art von Implantiervorrichtung, welche von Fa. Varian Associates, Inc. USA unter der Bezeichnung VII 80 auf den Markt gebracht worden ist. Gemäß 1 enthält das Verbindungssystem eine Antriebswelle 6, einen Dreharm 10, Befestigungsringe 8 eine Befestigungsvorrichtung 14 und Schrauben 12. Die Antriebswelle 6 wird durch einen Antriebsmotor 2 in Drehung versetzt. Das Bezugszeichen 4 bezeichnet eine Platte, an welcher der Motor 2 befestigt ist. Der Dreharm 10 steht in Eingriff mit der Drehwelle 6, um diese in Drehung zu versetzen. Die Befestigungsringe 8 sind zwischen dem Dreharm 10 und der Drehwelle 6 positioniert. Die Befestigungsvorrichtung 14 haltert die Befestigungsringe 8 und hält auch die Drehwelle 6 in Lage. Die Schrauben 12 fixieren die Befestigungsvorrichtung 14 an der Seite des Dreharmes 10.

Die Befestigungsringe 8 haben sich abwechselnde flache und gewinkelte Außenränder und sind an der Außenseite der Drehwelle 6 angeordnet. Da die Befestigungsvorrichtung 14 an dem Dreharm 10 fixiert ist, übertragen die Befestigungsringe 10 die Drehkraft der Antriebswelle 6 auf den Dreharm 10. Jedoch haben die Befestigungsringe 8 relativ zur Antriebswelle 6 einen Schlupf, da sowohl die Antriebswelle 6 als auch die Befestigungsringe 8 aus Stahl hergestellt sind. Die Drehung der Antriebswelle 6 wird somit nicht vollständig auf den Dreharm 10 übertragen und die Waferauflageplatte (nicht gezeigt) wird ungenau durch den Dreharm 10 orientiert.

2 zeigt einen Graphen, der Kodierwerte und Oberflächenwiderstandswerte eines Antriebsmotors wiedergibt, und zwar zur Steuerung der Y-Achsenneigung, mit Zeitangabe unter Verwendung des bekannten Verbindungssystems, welches in 1 gezeigt ist. Die Bezugszeichen 21 bis 23 bezeichnen Kurven, welche die Verteilung der Oberflächenwiderstandswerte gegenüber dem Winkel des Ionenstrahls darstellen, um die Kodierwerte des Antriebsmotors entsprechend dem Nullpunkt der Y-Achsenneigung zu finden. Die Bezugszeichen 31 bis 33 bezeichnen Kurven, welche die Verteilung der Oberflächenwiderstandswerte gegenüber dem Winkel des Ionenstrahls wiedergeben, wenn der Antriebsmotor mit den Kodierwerten entsprechend dem Nullpunkt der Y-Achsenneigung angetrieben wird. Die Bezugszeichen 41 bis 43 bezeichnen Kurvenverläufe, welche die Verteilung der Oberflächenwiderstandswerte gegenüber dem Winkel des Ionenstrahls wiedergeben, um die Kodierwerte des Antriebsmotors entsprechend dem Nullpunkt der Y-Achsenneigung zu finden, und zwar nachdem der Antriebsmotor für eine bestimmte Zeitperiode in Betrieb genommen worden ist.

Erstens wurde am 2. April ein Kodierwert –64,61 mm des Antriebsmotors letztendlich bei einem ersten (21), zweiten (22) und dritten Test (23) erhalten, um den Nullpunkt der Y-Achsenneigung zu erstellen. Der absolute Wert des Oberflächenwiderstandes bei einem Winkel von -1° des Ionenstrahls ist ähnliche dem absoluten Wert des Oberflächenwiderstandes bei einem Winkel von +1° des Ionenstrahls bei dem Kurvenverlauf 23, was zu Kodierwerten führt, die geeignet sind, um den Nullpunkt einzustellen. Hierbei sind die Oberflächenwiderstandswerte um den Winkel von 0° des Ionenstrahls herum symmetrisch.

Am 30. April wurden die Oberflächenwiderstandswerte bei einem Winkel von -1 bis +1° des Ionenstrahls mit ersten (31), zweiten (32) und dritten Tests (33) verglichen, und zwar nachdem der Kodierwert des Antriebsmotors, bei dem der Nullpunkt eingestellt worden war, auf -64,61 mm eingestellt worden war. Wie jedoch der Test veranschaulicht, lagen die absoluten Werte des Oberflächenwiderstandes nicht symmetrisch zu dem Winkel von 0° des Ionenstrahls. Es wurde somit erkannt, daß der Winkel des Ionenstrahls variiert, und zwar selbst dann, wenn der Antriebsmotor durch die gleichen Kodierwerte betrieben wurde.

Am 4. Mai wurden die Kodierwerte des Antriebsmotors anhand eines ersten (41), zweiten (42) und dritten Tests (43) erhalten, wenn die absoluten Werte des Oberflächenwiderstandes symmetrisch zu dem Winkel von 0° des Ionenstrahls lagen. Die Kodierwerte des Antriebsmotors, die anhand dieser Tests erhalten wurden, lagen bei -65,85 mm, -65,05 mm und -65,15 mm, was von dem Kodierwert -64,61 mm des Antriebsmotors verschieden ist, bei welchem Wert der Nullpunkt zuerst eingestellt worden war. Es war somit offensichtlich, daß die Verbindung zwischen der Antriebswelle und dem Dreharm in dem System zum Steuern der Y-Achsenneigung ein Problem verursacht.

Die 3 und 4 veranschaulichen ein Antriebssystem zum Steuern der X-Achsenneigung bei einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß dem genannten Stand der Technik. Gemäß diesen Figuren enthält das Antriebssystem Drehwellen 53 und 59, Antriebs- und Folgeriemenscheiben 51 und 57, einen Riemen 65, der um die Riemenscheiben 51 und 57 herumgeführt ist, Abstandshalter 63 und 73, welche die Wellen 53 und 59 jeweils im Abstand zu den Riemenscheiben 51 und 57 halten, und Muttern 61 und 71 zum Befestigen der Abstandshalter 63 und 73. Das Bezugszeichen 67 bezeichnet eine Nabe der Folgeriemenscheibe 57.

Die Drehausgangsgröße eines Antriebsmotors wird auf die Folgeriemenscheibe 57 durch den Riemen 65 übertragen. Die Antriebskraft der Folgeriemenscheibe 57 wird ihrerseits auf die Drehwelle 59 übertragen, die mit der Folgeriemenscheibe 57 durch eine Mutter 61 verbunden ist. Die Welle 59 dreht einen Waferauflageplattenverbinder 69 zum Steuern der X-Achsenneigung (Winkel der Waferauflageplatte). Bei diesem Antriebssystem schlupft die Folgeriemenscheibe 57 relativ zu der Welle 59, wenn die Mutter 61 lose wird. Auch tritt ein Schlupf zwischen der Welle 59 und dem Abstandshalter 63 auf, da sowohl die Welle 59 als auch der Abstandshalter 63 aus Stahl hergestellt sind. Demzufolge überträgt die Antriebswelle 53 nicht vollständig die Drehkraft auf die Welle 59. Daher wird der Winkel der Waferauflageplatte (nicht gezeigt) ungenau durch die Welle 59 eingestellt.

Die US 54 06 088 A und die DE 40 91 603 C1 zeigen Getriebemechanismen zur Übertragung von Drehbewegungen auf Trägerplatten in Ionenimplantiervorrichtungen, wobei jedoch auf Einzelheiten von Maßnahmen für eine hochgenaue Übertragung der Drehbewegungen und der vorgenommenen Winkeleinstellung nicht eingegangen ist.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, die oben erläuterten Probleme zu lösen. Spezifischer ausgedrückt, besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, einen Getriebemechanismus anzugeben, bei dem ein Drehkörper und eine Drehwelle in einer Neigungsanordnung einer Ionenimplantiervorrichtung derart verbunden sind, dass die Orientierung oder Neigung einer Waferauflageplatte exakt in bezug auf den Ionenstrahl gesteuert werden kann.

Die zuvor genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Getriebemechanismus mit den Merkmalen des Anspruchs 1 oder durch einen Getriebemechnsimus mit den Merkmalen des Anspruches 10 oder durch einen Getriebemechansimus mit den Merkmalen des Anspruches 24 oder schließlich durch einen Getriebemechanismus mit den Merkmalen des Anspruches 37 gelöst.

Zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen solcher Getriebemechanismen sind Gegenstand der den Ansprüchen 1, 10, 24 und 37 jeweils nachgeordneten Ansprüche, deren Inhalt ebenso wie derjenige der erwähnten selbständigen Ansprüche hierdurch ausdrücklich zum Bestandteil der Beschreibung gemacht wird, ohne an dieser Stelle den Wortlaut zu wiederholen.

Gemäß der vorliegenden Erfindung sind eine Drehwelle und ein Drehkörper mit Hilfe von wenigstens einem Mitnehmerteil integriert, so daß sie als eine Einheit drehen, d. h. es kann kein Schlupf zwischen der Drehwelle und dem Drehkörper auftreten. Es wird somit ein exakter Ionenstrahlwinkel beibehalten. Auch wird die Zuverlässigkeit der Ionenstrahl-Implantiervorrichtung erhöht und es werden weniger implantierte Wafer abgewiesen, wodurch die Produktivität des Halbleiterherstellungsprozesses erhöht wird.

Die oben erläuterten und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden detaillierten Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen unter Hinweis auf die beigefügten Zeichnungen, in denen zeigen:
1 eine Querschnittsansicht eines Systems, bei der ein Dreharm mit einer Antriebswelle verbunden ist, um die Y-Achsenneigung einer Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß dem Stand der Technik zu steuern;
2 einen Graphen, der Kodierwerte und Oberflächenwiderstandswerte eines Antriebsmotors des Systems zeigt, welches in 1 dargestellt ist, um die Y-Achsenneigung zu steuern;
3 eine Seitenansicht eines Riemenscheibensystems zur Steuerung der X-Achsenneigung bei einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß dem Stand der Technik;
4 eine Querschnittsansicht eines Riemenscheibensystems gemäß der Linie A-A' von 3, wobei die Verbindung einer Folgeriemenscheibe des Systems mit einer Drehwelle veranschaulicht ist;
5 eine perspektivische Ansicht einer Ionenimplantiervorrichtung, bei der die bevorzugten Ausführungsformen nach der vorliegenden Erfindung angewendet werden;
6 eine Querschnittsansicht eines Systems, bei dem ein Dreharm mit einer Antriebswelle verbunden ist, um die Y-Achsenneigung einer Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung zu steuern;
7A eine perspektivische Ansicht einer Drehwelle des Systems, welches in 6 gezeigt ist;
7B eine Querschnittsansicht der Drehwelle;
8A eine perspektivische Ansicht eines Dreharmes des Systems, welches in 6 gezeigt ist;
8B eine Endansicht der Drehwelle;
9 eine perspektivische Ansicht einer Endkappe des Systems, welches in 6 gezeigt ist;
10 eine Seitenansicht eines Systems, bei dem eine Riemenscheibe mit einer Drehwelle verbunden ist, um die X-Achsenneigung einer Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu steuern;
11 eine Querschnittsansicht des Systems, welches in 10 gezeigt ist, und zwar entlang der Linie B-B in 10;
12 eine Querschnittsansicht eines Systems, bei dem ein rotierender Arm mit einer Antriebswelle verbunden ist, um die Y-Achsenneigung einer Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu steuern;
13 eine perspektivische Ansicht einer Befestigungsvorrichtung des Systems, welches in 12 gezeigt ist;
14A eine perspektivische Ansicht einer Endkappe des gleichen Systems;
14B eine perspektivische Ansicht einer alternativen Form der Endkappe;
15 eine Querschnittsansicht eines Systems, bei dem eine Folgeriemenscheibe mit einer Folgewelle verbunden ist, um die X-Achsenneigung einer Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu steuern;
16 eine perspektivische Ansicht einer Folgewelle des Systems, welches in 15 gezeigt ist;
17 eine perspektivische Ansicht einer anderen Form der Folgewelle, zusammen mit einem Schlüssel, welcher dieser zugeordnet ist;
18 eine Frontansicht einer Folgeriemenscheibe;
19 eine Querschnittsansicht eines Systems, bei dem eine Drehwelle und eine Riemenscheibe in einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verbunden sind;
20 einen Graphen, der die Oberflächenwiderstandswerte gemäß der X-Achsenneigung unter Verwendung einer X-Achsenneigungsanordnung unter Anwendung der Ausführungsform von 19 veranschaulicht; und
21 einen Graphen, der die Oberflächenwiderstandswerte gemäß der Y-Achsenneigung unter Verwendung einer Y-Achsenneigungsanordnung darstellt, und zwar unter Verwendung der Ausführungsform nach 12.
Die vorliegende Erfindung wird nun in Einzelheiten in bezug auf die Anordnungen zur Orientierung einer Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist jedoch auch bei vielfältigen Systemen anwendbar, bei denen die Kraft von einer Drehwelle auf einen Drehkörper übertragen wird.
Die Grundkonfiguration der Ionenimplantiervorrichtung wird zunächst unter Hinweis auf 5 beschrieben. Die Ionenimplantiervorrichtung enthält eine Waferauflageplatte 75, die einen Wafer in einer vorbestimmten Orientierung oder "Neigung" relativ zu einem Ionenstrahl abstützt. Die Position der Waferauflageplatte 75 wird derart eingestellt, daß der Winkel des Ionenstrahls relativ zum Wafer gesteuert werden kann.
Speziell kann die Position der Waferauflageplatte 75 entlang der Richtung eingestellt werden, die durch den Pfeil A'' angezeigt ist, und zwar unter Verwendung einer X-Achsenneigungsanordnung, um die X-Achsenneigung einzustellen. Spezifischer ausgedrückt, wird die Ausgangsgröße eines X-Achsenneigungsantriebsmotors (nicht gezeigt) auf die Waferauflageplatte 75 über einen Getriebemechanismus 70 übertragen. Der Getriebemechanismus 70 enthält ein Paar von Riemenscheiben und einen Riemen. Eine der Riemenscheiben wird durch eine Drehwelle in der Richtung in Drehung versetzt, die durch einen Pfeil A angezeigt ist, während die andere Riemenscheibe durch einen Riemen in der Richtung angetrieben wird, die durch einen Pfeil A' angezeigt ist, um die X-Achsenneigung einzustellen.
Es kann auch die Position der Waferauflageplatte 75 eingestellt werden, um die Y-Achsenneigung entlang der Richtung einzustellen, die durch den Pfeil B' angezeigt ist, und zwar unter Verwendung einer Y-Achsenneigungsanordnung 87. Spezifischer ausgedrückt, wird die Ausgangsgröße eines Y-Achsenneigungsantriebsmotors (nicht gezeigt) auf die Waferauflageplatte 75 durch einen Getriebemechanismus 80 übertragen. Der Getriebemechanismus 80 enthält einen Arm 85, der für eine Drehung in einer Richtung, welche durch einen Pfeil B angezeigt ist, vermittels der Ausgangswelle des Motors angetrieben wird.
Die Y-Achsenneigung und die X-Achsenneigung der Waferauflageplatte 75 werden eingestellt, bevor Ionen in einen Wafer implantiert werden, um dadurch den Nullpunkt der Waferauflageplatte zu erstellen. Bei diesem Prozeß werden die X-Achsenneigung und die Y-Achsenneigung fixiert, um einen Einfallswinkel des Ionenstrahls von 0° zu erzeugen. Die Kodierwerte des Antriebsmotors zur Steuerung der Y-Achsenneigung und die Kodierwerte des Antriebsmotors zur Steuerung der X-Achsenneigung werden dann erhalten, wenn dieser Nullpunkt der Waferauflageplatte 75 einmal eingestellt ist. Die Antriebsmotoren werden somit um bestimmte Inkremente von dem Nullpunkt aus angetrieben, um eine gewünschte X-Achsenneigung und Y-Achsenneigung für einen Ionenimplantationsprozeß zu erstellen. Jedoch wird in Einklang mit dem Stand der Technik, wie dies oben beschrieben wurde, die Möglichkeit geschaffen, daß die Verbindung einer Antriebswelle und eines Dreharmes bei der Anordnung zur Steuerung der Y-Achsenneigung und die Verbindung einer Drehwelle und einer Riemenscheibe in der Anordnung zur Steuerung der X-Achsenneigung, die Kodierwerte der Antriebsmotoren sich bei dem Nullpunkt ändern, und zwar im Laufe der Zeit. Andererseits wirkt die vorliegende Erfindung solchen Bedingungen und den damit zusammenhängenden Problemen entgegen, wie dies weiter unten in Einzelheiten beschrieben wird.
Die 6 bis 11 veranschaulichen erste Ausführungsformen der Getriebemechanismen der X-Achsen- und Y-Achsenneigungsanordnungen einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Speziell veranschaulichen die 6 bis 9 ein System, bei dem ein Drehkörper mit einer Antriebswelle in der Y-Achsenneigungsanordnung verbunden ist, und die 10 und 11 veranschaulichen ein System, bei dem eine Riemenscheibe mit einer Drehwelle in der X-Achsenneigungsanordnung verbunden ist.
Um nun auf 6 einzugehen, so enthält der Getriebemechanismus eine Antriebswelle 110 mit einer Keilnut 112 und einem darin ausgebildeten Innengewindeloch 114, mit einem Dreharm 120, der an die Welle 110 innerhalb der Keilnut 112 angreift, um sich mit der Welle 110 zu drehen, und mit einer Endkappe 140 und mit Schrauben 130, welche die Drehwelle 110 mit dem Dreharm 120 verbinden.
Um nun auf die 7A und 7B einzugehen, so erstreckt sich die Keilnut 112 entlang der Außenfläche der Antriebswelle 110 in einer Richtung parallel zur zentralen Längsachse (Drehachse) der Antriebswelle 110. In bevorzugter Weise verlaufen die Flächen, welche die Boden- und Seitenwände der Keilnut 112 definieren, zueinander senkrecht. Ein Ende der Keilnut 112 ist verschlossen, so daß der Dreharm 120 an der Drehwelle 110 durch die Keilnut 112 positioniert wird, wenn der Dreharm 120 an die Drehwelle 110 gekoppelt ist.
Gemäß den 6 und 8A bis 8C besitzt eine Nabe 124 des Dreharmes 120 einen Vorsprung 122, der in der Keilnut 112 der Antriebswelle 110 aufgenommen ist. In bevorzugter Weise ist der Querschnitt des Vorsprungs 122 identisch mit dem Querschnitt der Keilnut 112. Somit sind der Dreharm 120 und die Antriebswelle 110 einstückig oder integral in solcher Weise ausgebildet, daß der Dreharm 120 sich dreht, wenn sich die Antriebswelle 110 dreht. Das heißt, der Vorsprung 122 und die Keilnut 112 bilden eine Einrichtung, um direkt die Drehkraft zwischen der Antriebswelle 110 und dem Dreharm 120 zu übertragen. Demzufolge dient der Vorsprung 122 dazu, den Dreharm 120 in Drehung zu versetzen, ohne dabei zuzulassen, daß der Dreharm 120 um die Antriebswelle 110 herum ein Drehspiel hat.
Der Antriebsmotor 100 zum Steuern der Y-Achsenneigung einer Waferauflageplatte ist mit einem Ende der Antriebswelle 110 verbunden, um die Antriebswelle 110 und damit den Dreharm 120 zu drehen. Der Antriebsmotor 100 ist an einer Halterungsplatte 150 befestigt.
Das Loch 114 mit dem Innengewinde ist in dem anderen Ende der Antriebswelle 110 ausgebildet. In bevorzugter Weise ist das Loch 114 mit dem Innengewinde an dem Zentrum der Endfläche der Antriebswelle 110 ausgebildet, um eine der Schrauben 130 aufzunehmen. Alternativ kann eine Vielzahl von Löchern 114 mit Innengewinden symmetrisch um das Zentrum der Endfläche der Antriebswelle 110 ausgebildet sein und es können jeweils Schrauben 130 dort eingeschraubt sein, um die Einwirkung einer Scherkraft an jeder der Schrauben 130 zu verringern, welche die Antriebswelle 110 mit dem Dreharm 120 verbinden.
Der Dreharm 120 besitzt eine Vielzahl von Löchern 126 mit Innengewinde, die an einem Ende desselben ausgebildet sind. Es sind jeweilige Schrauben 130 mit den Innengewinden gekoppelt. In bevorzugter Weise besteht eine Endkappe 140 aus einer flachen kreisförmigen Platte (siehe 9) mit Schraubenlöchern 142, durch die sich die Schrauben 130 hindurch erstrecken. Die Löcher 114 und 126 mit den Innengewinden der Antriebswelle 110 und des Antriebsarmes 120 sind mit den Schraubenlöchern 142 in der Endkappe 140 ausgerichtet und es sind die Schrauben 130 durch die Löcher 142 hindurch eingeführt und greifen in die Gewindelöcher 114 und 126 ein, um die Antriebswelle 110 mit dem Antriebsarm 120 zu koppeln. In bevorzugter Weise sind sechs Löcher 126 mit Innengewinden vorgesehen. Auch bestehen die Gewinde der Löcher 126 mit den Innengewinden in bevorzugter Weise aus Stahlgewinden. Andererseits sind die Schrauben 130 in bevorzugter Weise aus SUS (Stahlsorte nach dem japanischen Industriestandard JIS) hergestellt, welches thermisch behandelt ist.
Die Endkappe 140 hält die Schrauben 130 zusammen, so daß der Vorsprung 122 des Dreharmes 120 dicht bei der Drehwelle 110 innerhalb der Keilnut 112 gehalten wird. Auch unterstützt die Endkappe 140 die Übertragung der Drehkraft zwischen der Antriebswelle 110 und dem Dreharm 120.
Um nun auf die 10 und 11 einzugehen, so wird die Verbindung einer Folgeriemenscheibe mit einer Folgewelle gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben. Jedoch ist diese Verbindung in gleicher Weise bei einer Antriebsriemenscheibe zu einer Antriebswelle anwendbar.
Auf jeden Fall wird der Antriebsmotor (nicht gezeigt) angetrieben, um die X-Achsenneigung der Waferauflageplatte zu steuern. Es wird die Drehkraft des Antriebsmotors auf eine Antriebsriemenscheibe 270 übertragen und es wird ein Reimen 250 durch die Antriebsriemenscheibe 270 angetrieben. Die Bewegung des Riemens 250 wird auf eine Folgeriemenscheibe 220 übertragen und es wird die Drehkraft der Folgeriemenscheibe 220 auf eine Drehwelle 210 übertragen. Die Drehwelle 210 ist ihrerseits mit einem Waferauflageplattenverbinder verbunden.
Wie am besten in 11 zu erkennen ist, so besitzt die Drehwelle 210 eine Keilnut 212, die sich parallel zu der zentralen Längsachse derselben erstreckt, und es ist ein Loch mit Innengewinde an der Endfläche derselben ausgebildet. Die Folgeriemenscheibe 220 besitzt eine Nabe 224, die einen Vorsprung 222 festlegt, der in der Keilnut 212 aufgenommen wird, und besitzt eine Vielzahl von Löchern 226 mit Innengewinde in einer Seitenfläche derselben. Eine Endkappe 240 besitzt ein zentrales Schraubenloch 242 gegenüber dem Loch 214 mit dem Innengewinde der Drehwelle 210 und besitzt Umfangsschraubenlöcher 242 gegenüber den Löchern 226 mit den Innengewinden der Folgeriemenscheibe 220. Es schließen sich Schrauben 230 der Endkappe 240 zur Drehwelle 210 und der Folgeriemenscheibe 220 an.
Die Konstruktion, das Material, die Funktion und die Wirkung der Verbindung zwischen der Folgeriemenscheibe 220 und der Drehwelle 210 (und/oder zwischen der Antriebswelle 260 und der Antriebsriemenscheibe 270) und zwischen der Endkappe 240 und der Riemenscheibe sind die gleichen wie diejenigen, die in Verbindung mit der Anordnung zur Steuerung der Y-Achsenneigung der Waferauflageplatte beschrieben wurden.
Die 12 bis 14B veranschaulichen eine zweite Ausführungsform eines Getriebemechanismus einer X-Achsen- oder einer Y-Achsenneigungsanordnung einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Lediglich zum Zwecke der Beschreibung wird die zweite Ausführungsform in Verbindung mit der Y-Achsenneigungsanordnung einer Ionenimplantiervorrichtung beschrieben.
Der Getriebemechanismus zum Übertragen einer Antriebskraft auf die Waferauflageplatte in der Y-Achsenneigungsanordnung einer Ionenimplantiervorrichtung enthält eine Antriebswelle 310, die mit einem Antriebsmotor 370 verbunden ist, einen Dreharm 320, dessen Drehung die Waferauflageplatte um eine Y-Achse neigt, Befestigungsringe 330, eine Befestigungsvorrichtung 340, ein Mitnehmerteil 380, eine Endkappe 350 und Schrauben 360. Die Antriebswelle 310 besitzt einen Mitnehmerkanal 312, der sich parallel zur zentralen Längsachse (der Drehung) erstreckt. Der Mitnehmerkanal 312 besitzt ein Blindende innerhalb der Antriebswelle 310. Der Dreharm 320 besitzt eine Nabe, in die die Antriebswelle 310 hineinragt, und eine Vielzahl von Löchern 324 mit Innengewinde an einer Seite derselben. Der Dreharm 320 ist in bevorzugter Weise aus Stahl hergestellt. Die Befestigungsringe 330 sind zwischen der Antriebswelle 310 und dem Dreharm 320 innerhalb der Nabe 322 eingefügt. Die Befestigungsvorrichtung 340 enthält eine Halterungsplatte 348 mit einem Mitnehmerloch 344 und mit Schraubenlöchern 346, und mit einem Druckring 342, der von der Halterungsplatte 348 vorspringt. Das Mitnehmerteil 380 ist an oder in die Halterungsplatte und die Antriebswelle 310 innerhalb des Mitnehmerloches 344 und des Mitnehmerkanals 312 eingepaßt oder angepaßt. Die Endkappe 350 drückt das Mitnehmerteil 380 an Ort und Stelle und fixiert es dort.
Die Befestigungsringe 330 sind in der Antriebswelle 310 eingebettet und haben sich abwechselnde flache und gewinkelte äußere Kanten oder Ränder. Die Befestigungsringe 330 übertragen die Drehkraft der Antriebswelle 310 auf den Dreharm 320. Der Dreharm 310 und die Befestigungsringe 330 sind aus Stahl hergestellt. Gemäß der vorliegenden Erfindung verhindern das Mitnehmerteil 380 und die Endkappe 350, daß die Befestigungsringe 330 relativ zur Antriebswelle 310 schlupfen, so daß die Drehkraft der Antriebswelle 310 vollständig auf den Dreharm 320 übertragen wird.
Das Mitnehmerteil 380 ist in der Antriebswelle 310 und der Halterungsplatte 348 innerhalb des Mitnehmerloches 344 und des Mitnehmerkanals 312 eingebettet und verhindert vollständig das Auftreten eines Schlupfes während der Übertragung der Drehkraft durch die Befestigungsringe 330. Zu diesem Zweck besitzt das Mitnehmerloch 344 in bevorzugter Weise die gleiche Gestalt und gleiche Größe wie das Mitnehmerteil 380. Demzufolge integriert das Mitnehmerteil 380 die Antriebswelle 310 mit dem Dreharm 320 in solcher Weise, daß der Dreharm 320 sich als Einheit mit der Antriebswelle 310 dreht, und zwar ohne einen Schlupf, so daß die Y-Achsenneigung der Waferauflageplatte exakt eingestellt werden kann. Auch dann, wenn der Antriebsmotor 370 ausfällt, verbleiben die Antriebswelle 310 und der Dreharm 320 unter Spannung. Wenn ein Mitnehmerteil gemäß einem allgemeinen Standard als Mitnehmerteil 380 verwendet wird, wird es schwierig, den Atmosphäre zu entfernen und zu ersetzen. Ein Versuch, dies in diesem Zustand durchzuführen, würde die Verbindung zwischen der Antriebswelle 310 und dem Dreharm 320 zerstören oder beschädigen. Um diesem potentiellen Problem entgegenzuwirken, ist die Höhe des Mitnehmerteils 380 in bevorzugter Weise ein klein wenig kleiner als die Höhe des Mitnehmerkanals 312 und das Mitnehmerteil 380 und der Mitnehmerkanal 312 haben die gleiche Breite.
Gemäß den 12, 14A und 14B ist die Endkappe 350 über dem Mitnehmerloch 344 der Befestigungsvorrichtung 340 positioniert und besitzt eine Vielzahl an Schraubenlöchern 352, benachbart dem Außenumfang derselben. Die Schraubenlöcher 346 der Befestigungsvorrichtung 340 liegen den Löchern oder Bohrungen 324 mit dem Innengewinde des Dreharmes 320 gegenüber. Die Endkappe 350 kann aus einer flachen Platte bestehen, welche die gleiche Gestalt und Größe wie die Befestigungsvorrichtung 340 hat, wie dies in 14A gezeigt ist. In bevorzugter Weise besitzt die Endkappe 350 die gleiche Anzahl von Schraubenlöchern 346, wie die Befestigungsvorrichtung 340. Die Endkappe 350 kann auch aus einer rechteckförmigen Platte mit einer ausreichenden Breite bestehen, um das Mitnehmerloch 344 zu bedecken, wie in 14B dargestellt ist. In diesem Fall besitzt die Endkappe 350 in bevorzugter Weise zwei Schraubenlöcher 352.
Die Befestigungsvorrichtung 340 ist vollständig an den Dreharm 350 durch vier von sechs Schrauben 360 angeschlossen. Demzufolge wird der Druckring 342 in Eingriff oder Anlage mit den Befestigungsringen 330 gepreßt. Die Endkappe 350 wird mit dem Dreharm 320 mit Hilfe der verbleibenden zwei Schrauben 360 verbunden. Die zwei Schrauben 360 erstrecken sich durch die Schraubenlöcher 352 der Endkappe 350, durch die Schraubenlöcher 346 der Befestigungsvorrichtung und in Eingriff mit den Gewinden der Löcher 324 des Dreharmes 320, um die Endkappe 350 gegen das Mitnehmerteil 380 zu zwingen oder zu drücken. Das Mitnehmerteil 380 wird somit daran gehindert, aus dem Mitnehmerkanal 312 freizukommen, und zwar auf Grund der Schaukel- oder Taumelbewegung des rotierenden Armes 320. Die Schrauben 360 sind in bevorzugter Weise aus SUS hergestellt, welches thermisch behandelt wird.
Die 14 bis 18 veranschaulichen eine dritte Ausführungsform eines Getriebemechanismus einer X-Achsen- oder Y-Achsenneigungsanordnung oder -konstruktion einer Ionenimplantiervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Lediglich zum Zwecke der Beschreibung wird die zweite Ausführung in Verbindung mit einer Folgeriemenscheibe und einer Welle des Getriebemechanismus einer X-Achsenneigungsanordnung bzw. -konstruktion einer Ionenimplantiervorrichtung beschrieben, obwohl diese Ausführungsform in gleicher Weise auch bei einer Antriebswelle und einer Antriebsriemenscheibe anwendbar ist.
Gemäß 15 enthält der Getriebemechanismus eine Folgewelle 410, eine Folgeriemenscheibe 420, die mit der Folgewelle 410 verbunden ist, einen Abstandshalter 430, eine Mutter 440, ein Mitnehmerteil 450, eine Endkappe 460 und Schrauben 470. Die Welle 410 besitzt eine Keilnut 412, die in der Endfläche derselben für die Aufnahme eines Teiles des Mitnehmerteils 450 ausgebildet ist. Die Folgeriemenscheibe 420 besitzt Löcher oder Bohrungen 422 mit Innengewinde für die Aufnahme der Schrauben 470, und eine Keilnut 424 zum Aufnehmen eines Teiles des Mitnehmerteils 450. Der Abstandshalter 430 und die Mutter 440 sind in einer Nabe 426 der Folgeriemenscheibe 420 angeordnet, und zwar eingefügt zwischen der Folgewelle 410 und der Folgeriemenscheibe 420. Die Endkappe 460 bedeckt das Mitnehmerteil 450 und besitzt eine Vielzahl von Schraubenlöchern 462 benachbart dem Außenumfang derselben. Die Schraubenlöcher sind gegenüber den Löchern oder Bohrungen 422 mit dem Innengewinde der Folgeriemenscheibe 420 jeweils angeordnet. Die Schrauben 470 erstrecken sich durch die Schraubenlöcher 462 der Endkappe 460 und sind in die Riemenscheibe 420 innerhalb der Löcher oder Bohrungen 422 mit dem Innengewinde eingeschraubt.
Gemäß den 15 und 16 besitzen die Keilnut 412 und das Mitnehmerteil 450 in bevorzugter Weise rechteckförmigen Querschnitt. Bei einer Form der vorliegenden Erfindung erstreckt sich die Keilnut 412 linear über die Drehachse der Drehwelle 410 am Ende der Drehwelle 410. In bevorzugter Weise sind die Breiten oder Weiten des Mitnehmerteils 450, der Keilnut 412 und der Keilnut 424 gleich und die Dicke des Mitnehmerteils 450 ist größer als die Tiefen der Keilnut 412 und der Keilnut 424. Alternativ kann, wenn dies erforderlich ist, die Folgewelle eine kreuzgestaltete Keilnut 419 haben und es kann ein kreuzgestaltetes Mitnehmerteil 418 in der Keilnut 410 aufgenommen sein, wie in 17 gezeigt.
Auch befestigt die Mutter 440 den Abstandshalter 430 an der Außenseite der Folgewelle 410. Es wird in bevorzugter Weise Lock-Tite^© (ein wärmebeständiges Schraubensicherungsmittel) auf die Außenseite der Folgewelle 410 aufgetragen, um den Abstandshalter 430 an der Folgewelle 410 anzuheften oder anzukleben. Auch wird Lock-Tite^© auf die Innenseite der Mutter 440 aufgetragen, bevor die Mutter 440 angezogen wird, um zu verhindern, daß sich die Mutter 440 löst und um dadurch zu verhindern, daß die Folgewelle 410 aus der Nut 440 herausgelangt. Der Abstandshalter 430 kontaktiert sowohl die Folgewelle 410 als auch die Folgeriemenscheibe 420 und überträgt direkt die Drehkraft zwischen der Folgewelle 410 und der Folgeriemenscheibe 420.
Gemäß den 15 und 18 sind eine Vielzahl von Bohrungen oder Löchern 422 mit Innengewinde und eine Keilnut 424 in einer Seite der Folgeriemenscheibe 420 ausgebildet. Die Folgewelle 410 erstreckt sich in die Nabe 426 der Folgeriemenscheibe 420. Das Mitnehmerteil 450 bewirkt, daß sich die Folgewelle 410 und die Folgeriemenscheibe 420 als eine Einheit drehen. Zu diesem Zweck besitzt die Keilnut 424 in bevorzugter Weise den gleichen Querschnitt wie die Keilnut 412, und die Bodenfläche der Keilnut 424 liegt in der gleichen Ebene wie die Bodenfläche der Keilnut 412. Die Folgeriemenscheibe 420 ist in bevorzugter Weise aus Stahl hergestellt, so daß sie durch das Mitnehmerteil 450 und die Schrauben 470 nicht beschädigt wird. Die Löcher oder Bohrungen 422 mit dem Innengewinde der Folgeriemenscheibe 420 ermöglichen es, daß die Endkappe 460 an der Folgeriemenscheibe 422 befestigt werden kann. Es sind in bevorzugter Weise sechs Bohrungen 422 mit Innengewinde vorgesehen.
Gemäß 15 besteht die Endkappe 460 aus einer kreisförmigen flachen Platte und besitzt Schraubenlöcher am Umfang gegenüber den Bohrungen 422 mit dem Innengewinde. Die Endkappe 460 besitzt die gleiche Anzahl an Löchern mit Innengewinde wie die Folgeriemenscheibe 420. Die Schrauben 462 verbinden die Endkappe 460 mit der Folgeriemenscheibe 420, so daß die Endkappe 460 das Mitnehmerteil 450 in den Keilnuten 412 und 424 hält. Als Ergebnis drehen sich die Folgewelle 410 und die Folgeriemenscheibe 420 zusammen, ohne daß dabei ein Schlupf relativ zueinander auftritt.
In dem Getriebemechanismus der X-Achsenneigungsanordnung gemäß dem Stand der Technik, wie er in 3 gezeigt ist, tritt dann, wenn der Antriebsmotor plötzlich startet und anhält, ein Schlupf zwischen der Drehwelle und dem Abstandshalter auf und es wird die Mutter, die den Abstandshalter befestigt, gelockert. Jedoch verhindern bei der oben beschriebenen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung das Mitnehmerteil 412 oder 418 und die Endkappe 460, daß die Drehwelle 410 und die Riemenscheibe 420 relativ zueinander schlupfen und es wird verhindert, daß die Mutter 440 gelöst wird, und zwar um den Abstandshalter 430 herum.
19 zeigt eine andere Ausführungsform eines Systems, bei dem ein Drehkörper mit einer Drehwelle gemäß der vorliegenden Erfindung verbunden ist. Diese Ausführungsform kann bei einem Getriebemechanismus von entweder der X-Achsen- oder Y-Achsenneigungsanordnung einer Ionenimplantiervorrichtung angewendet werden. Lediglich zum Zwecke der Beschreibung wird die Ausführungsform weiter unten unter Hinweis auf die Verbindung zwischen einer Folgewelle und einer Folgeriemenscheibe zur Steuerung der X-Achsenneigung einer Waferauflageplatte beschrieben, obwohl die Ausführungsform in gleicher Weise bei einer Antriebswelle und einer Folgeriemenscheibe des Mechanismus anwendbar ist.
Gemäß 19 enthält der Getriebemechanismus eine Folgewelle 510, eine Folgeriemenscheibe 520, einen Abstandshalter 530, eine Mutter 540, ein Mitnehmerteil 550, eine Endkappe 560 und Schrauben 570. Der Abstandshalter 530 und die Mutter 540 sind in einer Nabe 526 der Folgeriemenscheibe 520 angeordnet und sind zwischen der Folgewelle und der Folgeriemenscheibe 520 zwischengefügt. Die Folgewelle 510 besitzt eine Keilnut 512 in einem Ende derselben. Die Keilnut 512 erstreckt sich über die zentrale Drehachse der Folgewelle 510, und zwar an der Endfläche derselben. In bevorzugter Weise ist der Querschnitt der Keilnut 512 rechteckförmig. Die Folgeriemenscheibe 520 besitzt eine Ausnehmung und eine Vielzahl von Löchern oder Bohrungen 522 mit Innengewinde an einer Seite derselben. Die Ausnehmung nimmt das Mitnehmerteil 550 und das Ende der Folgewelle 510 mit der Keilnut 512 auf. Die Bohrungen 522 mit dem Innengewinde sind zu der Ausnehmung hin offen, um die Schrauben 570 aufzunehmen. Die Endkappe 560 ist mit der Folgeriemenscheibe 520 durch Schrauben 570 verbunden, derart, daß die Endkappe 560 das Mitnehmerteil 550 in der Keilnut 512 der Folgewelle 510 hält und zur gleichen Zeit das Mitnehmerteil 550 gegen die Folgeriemenscheibe drückt.
Die Funktionsweise, Betrieb und Wirkungsweise dieser Komponenten sind ähnlich wie diejenigen der früheren Ausführungsform.
20 zeigt einen Graphen, der Oberflächenwiderstandswerte gemäß der X-Achsenneigung unter Verwendung eines Systems zeigt, bei dem die Folgewelle und die Folgeriemenscheibe des Getriebemechanismus so verbunden sind, wie in 19 gezeigt ist. Gemäß 20 bezeichnet das Bezugszeichen 611 einen Kurvenverlauf von Oberflächenwiderstandswerten gemäß dem Winkel eines Ionenstrahls, nachdem der Nullpunkt der X-Achsenneigung unter Verwendung des Systems eingestellt worden ist. Es wurden erste (613), zweite (615), dritte (617) und vierte (619) Messungen dadurch erhalten, indem der Antriebsmotor in Einklang mit einem Kodierwert des Antriebsmo tors betrieben wurde, und zwar entsprechend dem Nullpunkt der X-Achsenneigung. Die Oberflächenwiderstandswerte haben sich kaum geändert, wenn der Winkel des Ionenstrahls 0° betrug und die Oberflächenwiderstandswerte lagen bei den Winkeln von -1° bis +1° symmetrisch. Es ist somit offensichtlich, daß die Anordnung zum Steuern der X-Achsenneigung der Waferauflageplatte sehr stabil arbeitet, und daß der Übertragungsmechanismus in stabiler Weise die Drehkraft des Antriebsmotors auf die Waferauflageplatte übertragen kann.
21 zeigt einen Graphen, der die Oberflächenwiderstandswerte gemäß der Y-Achsenneigung unter Verwendung eines Systems zeigt, bei dem die Antriebswelle und der Dreharm so verbunden sind, wie in 12 gezeigt ist. Gemäß 21 bezeichnet das Bezugszeichen 621 einen Kurvenverlauf der Oberflächenwiderstandswerte gemäß dem Winkel eines Ionenstrahls, nachdem der Nullpunkt der Y-Achsenneigung unter Verwendung des Systems eingestellt worden war. Es wurden erste (623), zweite (625), dritte (627) und vierte (629) Messungen dadurch erhalten, indem der Antriebsmotor gemäß einem Kodierwert betrieben wurde, der dem Nullpunkt der Y-Achsenneigung entsprach. Die Oberflächenwiderstandswerte haben sich kaum geändert, wenn der Winkel des Ionenstrahls 0° betrug, und die Oberflächenwiderstandswerte waren bei den Winkeln von -1° bis +1° symmetrisch. Es geht somit in offensichtlicher Weise hervor, daß die Waferauflageplatte sehr stabil mit Hilfe der vorliegenden Erfindung betrieben werden konnte.
Obwohl die vorliegende Erfindung oben in Verbindung mit bevorzugten Ausführungsformen derselben beschrieben wurde, sind zahlreiche Änderungen und Abwandlungen bei den bevorzugten Ausführungsformen für Fachleute offensichtlich. Alle derartige Änderungen und Abwandlungen fallen in den Rahmen der vorliegenden Erfindung, wie er durch die anhängenden Ansprüche festgehalten ist.

Claims

Getriebemechanismus zum Übertragen einer Drehkraft auf eine Waferauflageplatte (75) einer Ionenimplantiervorrichtung, welcher folgendes aufweist: eine Drehwelle (110) mit einer zentralen Längsdrehachse, einer Endfläche, einer Keilnut (112), die sich longitudinal in einem Körper der Welle parallel zur Drehachse derselben erstreckt, und mit wenigstens einem Loch oder einer Bohrung (114) mit Innengewinde, welches bzw. welche an der Endfläche offen ist; einen Drehkörper (120) mit einer Seitenfläche, mit einer Nabe (124), in die sich die Drehwelle (110) hinein erstreckt, und eine Vielzahl von Bohrungen oder Öffnungen (126) mit Innengewinde, die an der Seitenfläche desselben offen sind, wobei die Nabe einen Vorsprung (122) bildet, der in Eingriff oder Angriff mit der Drehwelle innerhalb der Keilnut steht; eine Endkappe (140) mit Schraubenlöchern, die jeweils den Löchern mit den Innengewinden der Drehwelle (110) und des Drehkörpers (120) gegenüberliegen; und eine Vielzahl an Schrauben (130), die sich durch die Schraubenlöcher in der Endkappe (140) hindurch erstrecken und die in die Drehwelle (110) und den Drehkörper (120) über die Löcher mit Innengewinde eingeschraubt sind, derart, daß die Endkappe und die Schrauben die Drehwelle an dem Drehkörper fixieren.
Mechanismus nach Anspruch 1, bei dem die Keilnut (112) zur Außenumfangsfläche der Drehwelle (110) hin offen ist und einen Boden und Seiten aufweist, die sich senkrecht zueinander erstrecken.
Mechanismus nach Anspruch 1, bei dem wenigstens ein Loch (114) mit Innengewinde der Drehwelle (110) aus einer einzelnen Bohrung mit Innengewinde besteht, die am Zentrum der Endfläche der Welle offen ist.
Mechanismus nach Anspruch 1, bei dem der Drehkörper (120) aus einem Dreharm einer Y-Achsenneigungsanordnung zur Steuerung der Neigung der Waferauflageplatte (75) um eine vertikale Y-Achse besteht.
Mechanismus nach Anspruch 1, bei dem der Drehkörper aus einer Riemenscheibe (220) einer X-Achsenneigungsanordnung besteht, um die Neigung der Waferauflageplatte zu steuern.
Mechanismus nach Anspruch 1, bei dem der Drehkörper aus Stahl besteht.
Mechanismus nach Anspruch 1, bei dem der Drehkörper (220) sechs Löcher oder Bohrungen (230) mit Innengewinde aufweist, die an der Seitenfläche desselben offen sind.
Mechanismus nach Anspruch 1, bei dem die Endkappe (140) aus einer flachen Platte besteht.
Mechanismus nach Anspruch 1, bei dem die Schrauben aus thermisch behandeltem SUS gebildet sind.
Getriebemechanismus zum Übertragen einer Drehkraft auf eine Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung, welcher folgendes aufweist: eine Drehwelle (310) mit einer zentralen longitudinalen Drehachse und mit einem Mitnehmerkanal (312), der sich parallel zu der Drehachse erstreckt; einen Drehkörper (320) mit einer Nabe, in die sich die umlaufende Welle (310) hinein erstreckt, und mit einer Vielzahl von Bohrungen (324) mit Innengewinde; einen Befestigungsring (330), der in der Nabe angeordnet ist und sich zwischen der Drehwelle (310) und dem Drehkörper (320) erstreckt; einer Befestigungsvorrichtung (340) mit einer Halterungsplatte (348) und mit einem Ring (342), der von der Halterungsplatte vorspringt und der eine Kraft auf den Befestigungsring ausübt, wobei die Halterungsplatte (348) ein Mitnehmerloch (344) aufweist und Schraubenlöcher (346) gegenüber den Bohrungen (324) mit den Innengewinden des Drehkörpers (320) angeordnet sind; einen in die Halterungsplatte (348) in das Mitnehmerloch (344) derselben eingebettetes Mitnehmerteil (380), das sich von dort in den Mitnehmerkanal (312) hinein erstreckt und mit der Drehwelle (310) in Eingriff steht, um sich mit dieser zu drehen; eine Endkappe (350), die das Mitnehmerloch (344) bedeckt und Schraubenlöcher (352) aufweist, die gegenüber den genannten Schraubenlöchern (346) der Befestigungsvorrichtung jeweils angeordnet sind; und eine Vielzahl an Schrauben (360), die sich durch die Schraubenlöcher hindurch erstrecken und die über die Löcher (324) mit den Innengewinden in den Dreh körper (320) eingeschraubt sind, wobei die Schrauben die Befestigungsvorrichtung und die Endkappe mit dem Drehkörper verbinden.
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem der Mitnehmerkanal (312) einen Boden und Seiten aufweist, die zueinander senkrecht verlaufen.
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem der Drehkörper (320) aus einem Dreharm einer Y-Achsenneigungsanordnung zum Steuern der Neigung der Waferauflageplatte um eine vertikale Y-Achse besteht.
Mechanismus nach Anspruch 12, bei dem der Dreharm aus Stahl besteht.
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem der Drehkörper (320) sechs Bohrungen (324) mit Innengewinde aufweist.
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem die Halterungsplatte (348) aus einer ebenen Platte besteht.
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem ein Druckring (342) der Befestigungsvorrichtung (340) von der Halterungsplatte (348) vorspringt und in drückender Anlage an dem Befestigungsring (330) steht.
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem das Mitnehmerteil (380) ein Ende aufweist, welches von dem Ende des Mitnehmerkanals (312) innerhalb der Drehwelle (310) beabstandet ist.
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem der Querschnitt des Mitnehmerloches (344) dieselbe Gestalt und Größe besitzt wie diejenige des Mitnehmerteils (380).
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem die Endkappe (350) aus einer flachen Platte mit der gleichen Größe wie diejenige der Befestigungsvorrichtung (340) besteht.
Mechanismus nach Anspruch 19, bei dem die Endkappe (350) die gleiche Anzahl von Schraubenlöchern (352) wie die Befestigungsvorrichtung (340) aufweist.
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem die Endkappe (350) aus einer rechteckförmigen flachen Platte besteht.
Mechanismus nach Anspruch 21, bei dem die Endkappe (350) lediglich zwei Schraubenlöcher aufweist.
Mechanismus nach Anspruch 10, bei dem die Schrauben (360) aus thermisch behandeltem SUS bestehen.
Getriebemechanismus zum Übertragen einer Drehkraft auf eine Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung, welcher folgendes aufweist: eine Drehwelle (410) mit einer zentralen longitudinalen Drehachse, einer Endfläche und einer Keilnut (412), die sich in der Endfläche senkrecht zur Drehachse erstreckt; einen Drehkörper (420) mit einer Nabe, in die sich die Drehwelle erstreckt, und mit einer Vielzahl von Bohrungen (422) mit Innengewinde und mit einer Keilnut (424), die an einer Seite desselben offen sind; einen Abstandshalter (430), der in der Nabe des Drehkörpers angeordnet ist und zwischen den Drehkörper und die Drehwelle eingefügt ist; eine Mutter (440), die den Abstandshalter (430) an der Drehwelle (410) an der Außenseite des Abstandshalters befestigt; ein Mitnehmerteil (450), das in die Keilnut (424) des Drehkörpers und die Keilnut (412) der Drehwelle eingepaßt bzw. eingesetzt ist; eine Endkappe (460), die das Mitnehmerteil (450) berührt und Schraubenlöcher (462) benachbart dem Außenumfang aufweist, wobei die Schraubenlöcher den Löchern (422) mit Innengewinde des Drehkörpers (420) gegenüberliegend angeordnet sind; und Schrauben (470), die sich durch die Schraubenlöcher der Endkappe (460) hindurch erstrecken und in die Bohrungen (422) mit Innengewinde des Drehkörpers eingeschraubt sind und die dadurch die Endkappe mit dem Drehkörper verbinden.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem die Keilnut (412) der Drehwelle (410) die zentrale Drehachse der Welle kreuzt.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem die Keilnut (412) der Drehwelle (410) einen rechteckförmigen Querschnitt aufweist.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem der Drehkörper (420) aus einer Riemenscheibe besteht.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem der Drehkörper (420) aus Stahl besteht.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem der Drehkörper (420) sechs Bohrungen (422) mit Innengewinde aufweist.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem der Querschnitt der Keilnut (424) des Drehkörpers (420) die gleiche Gestalt besitzt wie die Keilnut (412) der Drehwelle (410).
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem die Keilnut (424) des Drehkörpers (420) eine Bodenfläche aufweist, die in der gleichen Ebene wie diejenige der Keilnut (412) der Drehwelle (410) liegt.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem die Endkappe (460) die gleiche Anzahl an Schraubenlöchern (462) wie die Anzahl der Bohrungen (422) mit Innengewinde des Drehkörpers (420) aufweist.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem die Breiten des Mitnehmerteils (450), der Keilnut (412) der Drehwelle (410) und der Keilnut (424) des Drehkörpers (420) gleich sind.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem das Mitnehmerteil (450) eine Dicke aufweist, die größer ist als die Tiefen von jeder der Keilnuten.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem die Endkappe (460) aus einer flachen Platte besteht.
Mechanismus nach Anspruch 24, bei dem die Schrauben (470) aus thermisch behandeltem SUS bestehen.
Getriebemechanismus zum Übertragen einer Drehkraft auf eine Waferauflageplatte einer Ionenimplantiervorrichtung, welcher folgendes aufweist: eine Drehwelle (510) mit einer zentralen longitudinalen Drehachse, einer Endfläche und mit einer Keilnut (512), die sich in der Endfläche senkrecht zur Drehachse erstreckt; einen Drehkörper (520) mit einer Nabe, in die sich die Drehwelle (510) hin erstreckt, und mit einer Vielzahl von Bohrungen (522) mit Innengewinde, die an einer Seite desselben offen sind; einen Abstandshalter (530), der in der Nabe des Drehkörpers (520) angeordnet ist und zwischen den Drehkörper (520) und die Drehwelle (510) eingefügt ist; eine Mutter (540), die den Abstandshalter (530) gegenüber der Drehwelle (510) an der Außenseite des Abstandshalters befestigt; ein Mitnehmerteil (550), das in die Keilnut (512) der Drehwelle (510) eingepaßt bzw. eingesetzt ist; eine Endkappe (560), die das Mitnehmerteil (550) kontaktiert und Schraubenöffnungen benachbart dem Außenumfang derselben besitzt, wobei die Schraubenöffnungen gegenüber den jeweiligen Bohrungen (522) mit Innengewinde des Drehkörpers (520) angeordnet sind; und Schrauben (570), die sich durch die Schraubenlöcher der Endkappe hindurch erstrecken und die in den Drehkörper über die Bohrungen mit Innengewinde eingeschraubt sind und die dadurch die Endkappe mit dem Drehkörper verbinden.
Mechanismus nach Anspruch 37, bei dem die Keilnut (512) der Drehwelle (510) die zentrale Drehachse der Welle kreuzt.
Mechanismus nach Anspruch 37, bei dem die Keilnut (512) der Drehwelle (510) einen rechteckförmigen Querschnitt aufweist.
Mechanismus nach Anspruch 37, bei dem der Drehkörper (520) von einer Riemenscheibe gebildet ist.
Mechanismus nach Anspruch 37, bei dem der Drehkörper aus Stahl besteht.
Mechanismus nach Anspruch 37, bei dem die Endkappe (560) die gleiche Anzahl an Schraubenlöchern wie die Anzahl der Bohrungen (522) mit Innengewinde des Drehkörpers (520) aufweist.
Mechanismus nach Anspruch 37, bei dem die Breite des Mitnehmerteils (550) gleich der Breite der Keilnut (512) der Drehwelle (510) ist.