DE10229711B4 - Halbleitermodul mit Mikrokühler - Google Patents
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Abstract
dadurch gekennzeichnet,
daß das wenigstens eine Halbleiterbauelement (7) in einem hermetisch verschlossenen Gehäuseinnenraum (6) untergebracht ist, der von einem Gehäuse (3) mit einer mit dem Mehrschichtsubstrat (2, 2a, 2c) dicht verbundenen Gehäusewand (5) gebildet und von den Kühlmediumanschlüssen (17, 18) getrennt ist, und
daß elektrische Anschlüsse (8, 9, 10;...
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf ein Halbleitermodul gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
- Bekannt ist es, bei Keramik-Metall-Substraten die für Leiterbahnen, Anschlüssen usw. benötigte Metallisierung auf einer Keramik, z. B. auf einer Aluminium-Oxid-Keramik mit Hilfe des sogenannten „DCB-Verfahrens" (Direct-Copper-Bond-Technology) herzustellen, und zwar unter Verwendung von die Metallisierung bildenden Metall- bzw. Kupferfolien oder Metall- bzw. Kupferblechen, die an ihren Oberflächenseiten eine Schicht oder einen Überzug (Aufschmelzschicht) aus einer chemischen Verbindung aus dem Metall und einem reaktiven Gas, bevorzugt Sauerstoff aufweisen. Bei diesem beispielsweise in der
US 37 44 120 A oder in derDE 23 19 854 C2 beschriebenen Verfahren bildet diese Schicht oder dieser Überzug (Aufschmelzschicht) ein Eutektikum mit einer Schmelztemperatur unter der Schmelztemperatur des Metalls (z. B. Kupfers), so daß durch Auflegen der Folie auf die Keramik und durch Erhitzen sämtlicher Schichten diese miteinander verbunden werden können, und zwar durch Aufschmelzen des Metalls bzw. Kupfers im wesentlichen nur im Bereich der Aufschmelzschicht bzw. Oxidschicht. - Dieses DCB-Verfahren weist dann z. B. folgende Verfahrensschritte auf:
- • Oxidieren einer Kupferfolie derart, daß sich eine gleichmäßige Kupferoxidschicht ergibt;
- • Auflegen des Kupferfolie auf die Keramikschicht;
- • Erhitzen des Verbundes auf eine Prozeßtemperatur zwischen etwa 1025 bis 1083°C, z. B. auf ca. 1071°C;
- • Abkühlen auf Raumtemperatur.
- Bekannt ist weiterhin auch ein sogenannter Mikrokühler (
DE 197 10 783 A1 ), der aus mehreren stapelartig übereinander angeordneten Metallplatten, beispielsweise Kupferplatten besteht, die mit Hilfe des DCB-Verfahrens flächig miteinander verbunden sind. Mit Ausnahme der äußeren Metallschichten sind die dazwischen liegenden Metallschichten jeweils strukturiert, d. h. mit einer Vielzahl von Öffnungen und diese umgebenden Stegen versehen, und zwar derart, daß sich in dem von diesen strukturierten Metallschichten gebildeten Bereich des Mikrokühlers durch die Öffnungen hindurch eine von einem Kühlmedium durchströmbare Mikrokühlerstruktur ergibt, die (Mikrokühlerstruktur) sich durch einen ständig dreidimensional verzweigenden Strömungsweg für das Kühlmedium auszeichnet. - Bekannt ist weiterhin auch (
DE 196 43 717 A1 ) bei einem Halbleitermodul mit Flüssigkeits-Kühlung die Halbleiterbauelemente in einem und den Kühlmediumanschlüssen getrennten und hermetisch verschlossenen Innenraum vorzusehen. - Bekannt sind weiterhin integrierte Schaltkreise hergestellt unter Verwendung von Halbleiter-Wafern als Substrat (
GB 2 150 749 A - Aufgabe der Erfindung ist es, ein Halbleitermodul aufzuzeigen, welches bei hoher Betriebssicherheit eine optimale Kühlung und Stromversorgung für das verwendete Halbleiterbauelement (z. B. Halbleiterleistungsbauelement) gewährleistet.
- Zur Lösung dieser Aufgabe ist ein Halbleitermodul entsprechend dem Patentanspruch 1 ausgebildet.
- Das erfindungsgemäße Halbleitermodul zeichnet sich u. a. durch eine perfekte Trennung zwischen dem Bereich Kühlung, insbesondere zwischen der Mikrokühlerstruktur mit den Anschlüssen zum Zuführen und Abführen des Kühlmediums und demjenigen Bereich aus, an dem das wenigstens eine Halbleiterbauelement vorgesehen ist.
- Durch die Verwendung der Mikrokühlerstruktur mit hoher Kühlleistung ist eine kleinvolumige und kompakte Ausbildung des Halbleitermoduls möglich. Insbesondere können großvolumige Wärmespreizer vermieden werden. Vielmehr ist die Montage des jeweiligen Halbleiterbauteils auf einer relativ dünnen Befestigungs- und Anschlußplatte an einem relativ dünnen, metallischen Montagebereich möglich, der preiswert durch eine strukturierte Metallschicht oder -folie realisierbar ist.
- Durch den Mikrokühler läßt sich auch bei großflächiger Ausbildung des Kühlers bzw. des diesen Kühler bildenden Substrates, speziell auch bei mehreren auf diesem Substrat vorgesehenen Halbleiterbauelementen eine sehr gleichmäßige Kühlwirkung für sämtliche Bauelemente erreichen. Als Kühlmedium eignet sich bei dem erfindungsgemäßen Halbleitermodul übliches Wasser. Zudem sind elektrische Anschlüsse elektrisch isoliert durch den Mikrokühler hindurchgeführt.
- Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren an Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
-
1 in vereinfachter Darstellung und im Schnitt ein Halbleiterleistungsmodul gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung; -
2 eine Draufsicht auf die Oberseite des als Mikrokühler ausgeführten Mehrschichtsubstrats des Moduls der1 ; -
3 in Einzeldarstellung und in Draufsicht eine strukturierte Metall- oder Metallschicht des Mikrokühlers der1 und2 ; -
4 in vergrößerter Teildarstellung nochmals einen Schnitt durch die Schichten des Mikrokühlers der1 ; -
5 und6 in Darstellungen ähnlich den1 und2 eine weitere mögliche Ausführungsform des erfindungsgemäßen Moduls; -
7 in einer Schnittdarstellung entsprechend1 eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Moduls; -
8 und9 in vergrößerter Detaildarstellung jeweils einen Schnitt durch den Mikrokühler im Bereich eines elektrischen Anschluß für die Halbleiterbauelemente bei weiteren möglichen Ausführungsformen der Erfindung; -
10 in vergrößerter Darstellung eine Schraubbefestigung zum Befestigen einer Trag- und Anschlußplatte eines Halbleiterbauelementes bei dem erfindungsgemäßen Modul; -
11 in einer Schnittdarstellung ähnlich1 eine weitere mögliche Ausführungsform des erfindungsgemäßen Halbleitermoduls. - Das in der
1 allgemein mit1 bezeichnete Halbleitermodul besteht u. a. aus einem plattenförmigen Mehrschichtsubstrat oder Mikrokühler2 , aus einem an der Oberseite2' des Mikrokühlers2 vorgesehenen napfartigen Gehäuse3 , welches einen parallel oder in etwa parallel zum Mikrokühler2 angeordneten und von diesem beabstandeten Gehäuseboden4 und eine Gehäusewand5 aufweist. Mit dieser bzw. mit dem freien Rand5' ist das Gehäuse3 dicht mit der Oberseite des Mikrokühlers2 verbunden, so daß ein von dem Gehäuseboden4 , dem Rand5 und der Oberseite2' begrenzter, nach außen hin hermetisch abgeschlossener Gehäuseinnenraum6 gebildet ist. In diesem Gehäuseinnenraum6 sind bei dem Halbleitermodul1 zwei Leistungs-Halbleiterbauelemente7 vorgesehen, und zwar beispielsweise in Form eines Leistungsbauelementes z. B. Transistors, Thyristors usw.. - Für die Strom- bzw. Spannungsversorgung der Halbleiterbauelemente
7 , die bei der dargestellten Ausführungsform in Serie geschaltet sind, sind zwei elektrische Anschlüsse8 und9 vorgesehen, die isoliert durch den Mikrokühler2 hindurchgeführt sind und über die dem Gehäuse3 abgewandte Unterseite2'' des Mikrokühlers2 herausgeführt sind. Die Unterseite2'' bildet auch die Unterseite10 des Halbleitermoduls1 . Mit10 ist ein weiterer, ebenfalls elektrisch isoliert durch den Mikrokühler2 hindurchgeführter Anschluß angedeutet, der z. B. ein Meßkontakt ist. - Der Mikrokühler
2 ist mehrschichtig aufgebaut, d. h. er besteht aus einer Vielzahl von Schichten. Hinsichtlich der Art und Anordnung dieser Schichten ist der Mikrokühler2 bei dieser Ausführungsform symmetrisch zu einer gedachten Mittelebene M ausgebildet, die parallel zu der Oberseite2' und der Unterseite2'' liegt. In diesem Sinne weist der Mikrokühler2 bei der dargestellten Ausführungsform ausgehend von der Oberseite2' , aber auch ausgehend von der Unterseite2'' jeweils eine äußere Metallschicht11 , daran anschließend eine Keramikschicht12 und daran anschließend eine weitere Metallschicht13 auf. Zwischen den Metallschichten13 an der Oberseite2' bzw. Unterseite2'' ist der von einem Kühlmedium, vorzugsweise von einem flüssigen Kühlmedium, z. B. von Wasser durchströmte Bereich14 (Mikrokühlerstruktur) des Mikrokühlers2 gebildet. Dieser Bereich besteht aus mehreren strukturierten Metallschichten15 (hierzu auch3 ), die durch ihre Strukturierung dreidimensional sich verzweigende Kanäle für das Kühlmedium bilden. Die Strukturierung der Metallschichten15 ist weiterhin so gewählt, daß diese Metallschichten15 durchgehende, vom Kühlmedium ebenfalls umströmte Pfosten16 (4 ) zwischen den innen liegenden Metallschichten13 bilden, wie diese mit16 in der4 angedeutet sind. Zur Strukturierung der Metallschichten15 eignen sich unterschiedlichste Verfahren, u. a. Ätzverfahren, Laserschneiden, Wasserstrahlschneiden, Stanzen usw.. - Die Metallschichten
11 ,13 und15 weisen bei der dargestellten Ausführungsform jeweils die gleiche Dicke auf. An der Unterseite2'' sind zwei Anschlüsse17 und18 vorgesehen, und zwar zum Zuführen und zum Abführen des Kühlmediums in den Bereich14 bzw. aus diesem Bereich. Die einzelnen Schichten11 ,12 ,13 und15 sind mit Hilfe der DCB-Technik vollflächig miteinander verbunden. - Ein derartiger Mikrokühler weist bei geringem Bauvolumen eine extrem hohe Kühlleistung auf, zumal die innere, vom Kühlmedium umströmte Kühlfläche des Bereichs
14 um ein Vielfaches größer ist als die äußere Kühlfläche, d. h. die an der Oberseite2' gebildete Kühlfläche zum Kühlen der Halbleiterbauelemente7 . Durch die Pfosten16 weist der Mikrokühler2 eine hohe Stabilität gegen ein Verwölben seiner Oberseite2' auf, insbesondere auch bei Temperaturänderungen und/oder Druckänderungen im Mikrokühler2 . Durch den in Bezug auf die Mittelebene M symmetrischen Aufbau des Mikrokühlers2 ist weiterhin wirksam verhindert, daß sich dieser Mikrokühler bei Temperaturschwankungen insgesamt verformt bzw. verwölbt (Bimetall-Effekt). Diese thermische Festigkeit wird auch durch das Gehäuse3 noch verstärkt. - Wie die
2 zeigt, ist die Metallschicht11 an der Oberseite2' so strukturiert, daß dort zwei Inseln oder Montagebereiche11' gebildet sind, die bei der dargestellten Ausführungsform eine quadratische Formgebung aufweisen und elektrisch voneinander sowie auch von dem Rest dieser Metallschicht11 getrennt sind. Auf jedem Bereich11' ist eine Trag- oder Anschlußplatte19 aus einem elektrisch leitenden Material, beispielsweise aus Kupfer befestigt, auf der dann auch das jeweilige Halbleiterbauelement7 in geeigneter Weise, beispielsweise durch Auflöten befestigt ist. Die Tragplatte19 besitzt einen Zuschnitt, dessen Abmessungen gleich oder geringfügig kleiner sind als die Abmessungen des Bereichs11 . Über Draht-Bonds oder andere interne Anschlüsse20 und21 sind die Halbleiterbauelemente7 mit den äußeren Anschlüssen8 bzw.9 sowie auch miteinander verbunden. - Für die elektrisch isolierte Durchführung der aus elektrisch leitendem Material bestehenden Anschlüsse
8 –10 sind im Mikrokühler2 bzw. in dessen Schichten11 –13 und15 sich deckende Bohrungen22 vorgesehen, in jede Bohrung22 ist ein hülsenförmiger Einsatz23 aus einem elektrisch isolierenden Material beispielsweise Keramik eingesetzt und in geeigneter Weise befestigt, in dem dann auch der jeweilige Anschluß8 –10 so gehalten ist, daß jeder Anschluß über die Oberseite2' und die Unterseite2'' vorsteht. Die Bohrungen22 sind außerhalb der Strukturierung bzw. Öffnungen in den Metallschichten15 vorgesehen. Die Befestigung der Einsätze23 im Mikrokühler2 erfolgt beispielsweise ebenfalls mit Hilfe der DCB-Technik oder aber auf andere, geeignete Weise. - Das Gehäuse
3 ist beispielsweise ebenfalls aus Metall gefertigt. Grundsätzlich besteht auch die Möglichkeit, dieses Gehäuse aus einem temperaturbeständigen Kunststoff, vorzugsweise mit einer Beschichtung aus Metall zu fertigen. Auch die Herstellung aus Keramik ist denkbar. Die Verbindung zwischen dem Gehäuse3 und dem Mikrokühler2 kann auf unterschiedlichste Weise realisiert werden, beispielsweise durch Schweißen, Löten sowie Kleben. - Wesentliche Vorteile des Halbleitermoduls
1 sind u. a.: - – Kleinvolumige
Bauform bei optimaler Kühlung durch
den Mikrokühler
2 , wobei insbesondere auch große bzw. großvolumige Wärmespreizer vermieden sind; - – extrem
niedriger Wärmeleitwiderstand
zwischen den zu kühlenden
Halbleiterbauelementen
7 und dem Mikrokühler2 sowie innerhalb dieses Kühlers, insbesondere auch durch die Verwendung der DCB-Technik, so daß niedrige Arbeitstemperaturen der Halbleiterbauelemente7 erreicht werden; - – Möglichkeit
einer dichten Anordnung der Halbleiterbauelemente
7 durch gleichmäßige und wirksame Kühlung; - – stabile
Arbeitstemperatur für
die Halbleiterbauelemente
7 durch effektive Kühlung; - – vollständige Trennung
der Halbleiterbauelemente
7 bzw. des Gehäuseinnenraumes6 insbesondere durch durchgehende Schichten11 –13 von der Mikrokühlerstruktur und der an der Unterseite2' vorgesehenen Zufuhr und Abfuhr des Kühlmediums (Anschlüsse17 und18 ); - – hermetischer,
insbesondere auch gasdichter Abschluß des die Halbleiterbauelemente
7 enthaltenden Gehäuseinnenraumes6 ; - – Potentialfreiheit
des Gehäuses
3 und des Mikrokühlers2 insbesondere auch durch die isolierte Durchführung der Anschlüsse8 –10 sowie durch die Anordnung der Halbleiterbauelemente7 bzw. deren Tragplatten19 auf den isolierten Bereichen11' , so daß insbesondere eine Serienschaltung der Halbleiterbauelemente7 möglich ist. - Die
5 und6 zeigen in Darstellungen ähnlich den1 und2 als weitere mögliche Ausführungsform der Erfindung ein Halbleitermodul1a , welches sich von dem Halbleitermodul1 im wesentlichen dadurch unterscheidet, daß anstelle des Mikrokühlers2 der Mikrokühler2a vorgesehen ist, und zwar bestehend aus den Metallschichten13 und15 , die wiederum mit Hilfe der DCB-Technik miteinander flächig verbunden sind. Die Oberseite2a' des Mikrokühlers2a ist von der den Schichten15 abgewandten Oberflächenseite der oberen Schicht13 gebildet, die Unterseite2a'' von der den Schichten15 abgewandten Oberflächenseite der unteren Schicht13 . - Auf der Oberseite
2a' sind mehrere den Bereichen11' entsprechende Montagebereiche11a' vorgesehen, und zwar jeweils durch eine Keramikschicht12a elektrisch von der darunter liegenden Schicht13 getrennt. Die Keramikschichten12a besitzen bei der dargestellten Ausführungsform in Draufsicht den gleichen Zuschnitt wie der zugehörige, von einer Metallschicht, beispielsweise Metallschicht gebildete Bereich11a ', wobei die Abmessungen der Keramikschichten12a allerdings etwas größer sind als die Abmessungen des zugehörigen Bereichs11a' . Die Verbindung der Keramikschichten12a mit der die Oberseite2a bildenden Metallschicht13 sowie die Verbindung des jeweiligen Bereichs11a' mit der zugehörigen Keramikschicht12a sind wiederum mit Hilfe der Direct-Bonding-Technik realisiert. Aus Gründen der Symmetrie, d. h. zur Erhöhung der Stabilität gegen unerwünschtes Verwölben des Mikrokühlers2a bei Temperaturänderungen (Bimetalleffekt) können auch bei diesem Mikrokühler auf der unteren Metallschicht13 noch weitere Schichten vorgesehen sein, und zwar eine Keramikschicht und auf dieser die weitere Metallschicht, die dann bei dieser Ausführung die Unterseite des Mikrokühlers2a bildet. - Die beiden Halbleiterbauelemente
7 , die wiederum z. B. Leistungsbauelemente sind, sind jeweils mit ihrer Tragplatte19 auf dem zugehörigen Bereich11a' in geeigneter Weise befestigt und mit den Drahtbonds oder anderen Inneren Anschlüssen20 bzw.21 mit den äußeren Anschlüssen8 und9 sowie untereinander zu einer Serienschaltung verbunden. - Die
7 zeigt als weitere mögliche Ausführungsform ein Halbleitermodul1b , welches sich von dem Halbleitermodul1a der4 und5 im wesentlichen nur dadurch unterscheidet, daß die jeweilige Trag- und Anschlußplatte19 nicht direkt auf dem zugehörigen Bereich11a ' befestigt ist, sondern daß zwischen der Tragplatte19 und dem Bereich11a' eine Peltier-Anordnung25 vorgesehen ist, die zumindest ein Peltier-Element aufweist. Die zusätzlichen Anschlüsse10 , die bei der Darstellung der7 hintereinander angeordnet sind und von denen daher nur einer sichtbar ist, dienen zur elektrischen Versorgung der Peltier-Anordnungen25 . Die Polarität der Peltier-Elemente ist so gewählt, daß diese als Wärmesenke für die jeweilige Tragplatte19 wirken und die von der jeweiligen Tragplatte19 bzw. dem jeweiligen Halbleiterbauelement7 abgegebene Verlustwärme an den Mikrokühler2a weiterleiten. Durch die Peltier-Anordnungen25 wird nicht nur eine verbesserte Kühlwirkung erreicht, sondern mit diesen Elementen ist es insbesondere auch möglich, die Arbeitstemperatur der Halbleiterbauelemente7 durch eine weitestgehend verzögerungsfreie Regelung exakt auf einem vorgegebenen Wert zu halten. - Die
8 zeigt in vergrößerter Teildarstellung nochmals eine Durchführung bzw. einen Anschluß26 , wie er anstelle der Anschlüsse8 –10 verwendet werden kann. Der Anschluß26 besteht im wesentlichen aus einem Anschlußbolzen27 aus einem elektrisch gut leitenden Material, beispielsweise aus Kupfer. Dieser Bolzen besitzt einen Abschnitt27' mit größerem Durchmesser und einen achsgleich mit dem Abschnitt27' angeordneten Abschnitt27'' mit kleinerem Durchmesser. - Mit dem Abschnitt
27' , der an seinem freien Ende eine axiale Bohrung28 mit einem Innengewinde aufweist und an dem über eine Schraubverbindung ein äußeres Anschlußkabel angeschlossen werden kann, bildet den über die Unterseite2'' vorstehenden Teil des elektrischen Anschlusses26 . Mit dem Abschnitt27'' ist der Anschlußbolzen27 durch den Mikrokühler2 hindurchgeführt und steht über die Oberseite2' dieses Kühlers in den Gehäuseinnenraum6 vor. Die die Unterseite2'' bildende Metallschicht, beispielsweise Metallschicht11 ist so strukturiert, daß sie im Bereich des Anschlusses26 einen von dem übrigen Teil der Metallschicht11 elektrisch getrennten Bereich11'' bildet. In gleicher Weise ist auch die Metallschicht11 an der Oberseite2' des Mikrokühlers2 strukturiert, d. h. auch dort ist ein Bereich11''' gebildet, der elektrisch von dem übrigen Teil der Metallschicht11 getrennt ist. Bei der dargestellten Ausführungsform sind die Bereiche11'' und11''' kreisförmig ausgeführt. - Jeder Bereich
11'' und11''' ist ebenso wie die sich anschließende Keramikschicht12 mit einer Bohrung29 bzw.30 versehen. Die deckungsgleich angeordneten Bohrungen29 und30 besitzen jeweils den gleichen Durchmesser, der dem Außendurchmesser des Abschnittes27'' entspricht. In den anschließenden Schichten13 und15 , die den aktiven Bereich14 des Mikrokühlers2 bilden, ist eine durchgehende Bohrung31 vorgesehen, und zwar mit einem Durchmesser größer als der Außendurchmesser des Abschnittes27'' . Der den Abschnitt27'' innerhalb der Bohrung31 umgebende Ringraum ist von einer den Abschnitt27'' umschließenden Hülse32 aus einem elektrisch isolierenden Material, beispielsweise aus Keramik oder Kunststoff ausgefüllt. - An dem zwischen den Abschnitten
27' und27'' gebildeten Absatz ist der Anschlußbolzen27 mit dem Bereich11'' verbunden, beispielsweise durch Löten, durch Direct-Bonden oder auf andere geeignete Weise. Ebenso ist der Bolzenabschnitt mit dem Bereich11''' durch Verlöten verbunden. - Die
9 zeigt als weitere mögliche Ausführungsform einen elektrischen Anschluß26a , der ebenso wie der Anschluß26 beispielsweise bei dem Halbleitermodul1 anstelle der Anschlüsse8 –10 verwendbar ist und der sich vom Anschluß26 dadurch unterscheidet, daß anstelle des Anschlußbolzens27 ein Anschlußbolzen27a verwendet ist, der insgesamt drei Abschnitte aufweist, und zwar einen in der9 oberen Abschnitt27a' , der über die Oberseite2' des Mikrokühlers2 in den Gehäuseinnenraum6 vorsteht, daran anschließend den Abschnitt27a'' mit einem vergrößerten Durchmesser, der (Abschnitt) gegen die Oberseite des Bereichs11''' anliegt und mit diesem beispielsweise durch Löten oder Direct-Bonden oder auf andere geeignete Weise verbunden ist, sowie aus dem Abschnitt27a''' , der durch den Mikrokühler hindurchgeführt ist und über die Unterseite2'' des Mikrokühlers vorsteht. - Der Anschluß
26a hat gegenüber dem Anschluß26 den Vorteil, daß mit der Verbindung des Bolzenabschnitts27a'' mit dem Bereich11''' eine Abdichtung der Durchführung des Anschlußbolzens27a unmittelbar in der Ebene erfolgt, die auch die Trennebene zwischen dem Gehäuseinnenraum6 und der Kühlung liegt und daß eine zweite Verbindung des Bolzens27a mit dem Bereich11'' nicht notwendig ist. - Die in den
8 und9 dargestellten Anschlüsse26 und26a ermöglichen auch eine direkte Verbindung zu den Anschluß- und Montagebereichen11' bzw.11a' ohne die Notwendigkeit eines inneren Anschlusses20 , und zwar dadurch, daß der Bereich11''' Teil des Bereichs11' bzw.11a' oder aber bei entsprechender Strukturierung der Metallschicht11 Teil eines mit dem Bereich11' verbundenen Leiters ist. - Bei den Anschlüssen
26 und26a ist es weiterhin auch möglich, auf die dortigen Hülsen32 zu verzichten. - Aus Fertigungsgründen kann es zweckmäßig sein, die auf ihrer jeweiligen Anschluß- und Tragplatte
19 montierten Halbleiterbauelemente7 durch eine Schraubbefestigung auf dem Bereich11' bzw.11a' zu befestigen. Diese Befestigung muß dann aber in der Weise ausgebildet sein, daß trotz einer ausreichenden Anpreßkraft der jeweiligen Platte19 gegen den Bereich11' bzw.11a' über die verwendeten Befestigungselemente (z. B. Schrauben) und die zugehörigen Gewinde keine elektrische Verbindung zu den Metallschichten des Mikrokühlers2 bzw.2a besteht. - Die
10 zeigt eine mögliche Ausführung für eine Schraubverbindung. Wesentlicher Bestandteil dieser Verbindung ist ein Muttergewindestück33 aus einem elektrisch isolierenden Material, vorzugsweise aus Keramik. Das Muttergewindestück33 ist in einer als Sackbohrung ausgebildeten Ausnehmung34 angeordnet, die (Ausnehmung) in einigen Schichten15 ausgebildet ist, die auf die obere Schicht13 des Mikrokühlers2 bzw.2a folgen. Das Muttergewindestück33 liegt mit der Achse seines Innengewindes senkrecht zur Ober- bzw. Unterseite des Mikrokühlers. Achsgleich mit der Achse des Muttergewindestücks33 sind in der Metallschicht13 , der darüber liegenden Keramikschicht12 und dem darüber liegenden Abschnitt11' bzw.11a' der Metallschicht11 Bohrungen35 ,36 und37 vorgesehen. Die Bohrungen35 und37 weisen einen größeren Durchmesser als die Bohrung36 auf, der Durchmesser sämtlicher Bohrungen35 –37 ist aber kleiner als der Außendurchmesser des Muttergewindestücks33 und größer ist als der Durchmesser der Gewindebohrung33' dieses Muttergewindestücks. - Wie dargestellt, ist der Außendurchmesser des Muttergewindestücks
33 kleiner als der Durchmesser der Ausnehmung34 . Weiterhin ist auch die axiale Länge des Muttergewindestücks33 kleiner als die Tiefe der Ausnehmung34 , so daß das gegen die Unterseite der Metallschicht13 mit einer Stirnseite anliegende und dort beispielsweise durch Direct-Bonden fixierte Muttergewindestück33 sowohl von der Umfangswand der Ausnehmung34 , als auch von dem Boden dieser Ausnehmung beabstandet ist. - Angedeutet ist in der
10 auch eine Befestigungsschraube38 , mit der die jeweilige Tragplatte19 auf dem Bereich11' bzw.11a' befestigt ist. Die Schraube38 greift mit ihrem Schaft in das Gewinde33' ein und liegt mit ihrem Kopf gegen die Oberseite der Platte19 an. - Die
11 zeigt als weitere mögliche Ausführungsform ein Halbleitermodul1c , welches sich von den Halbleitermodulen1 –1b dadurch unterscheidet, daß keine durch den Mikrokühler2 hindurchgeführte Anschlüsse8 –10 bzw.26 oder26a vorgesehen sind, sondern Anschlüsse39 an der Oberseite des Halbleitermoduls1c bzw. des Mikrokühlers2 . Bei dieser Ausführungsform ist der Mikrokühler2c , der in seinem Aufbau im wesentlichen dem Mikrokühler2 entspricht, so ausgeführt, daß er an wenigstens zwei einander gegenüberliegenden Seiten über das Gehäuse3 vorsteht. Die Metallschicht11 ist so strukturiert, daß sie Leiterbahnen11'''' bildet, die bis an den Rand des Mikrokühlers reichen, und zwar dort, wo dieser Mikrokühler über das Gehäuse3 seitlich wegsteht. Auf der Metallschicht11 ist eine weitere Keramikschicht40 und auf dieser eine weitere Metallschicht41 vorgesehen. Die Metallschicht41 , mit der das Gehäuse3 mit dem freien Rand der Gehäuseumfangswandung5 dicht verbunden ist, bildet durch entsprechende Strukturierung einerseits Bereiche41' , die von ihrer Funktion den Bereichen11' entsprechen, und andererseits Kontaktflächen41'' , die über die Drahtbonds oder interne Verbindungen20 mit den Bauelementen7 oder deren Anschluß- und Tragplatten19 verbunden sind. Durch Durchkontaktierungen42 sind die Bereiche41 jeweils mit einem Leiter11'''' verbunden, der seinerseits außerhalb des Gehäuses3 mit einem der stiftförmigen Anschlüsse39 verbunden ist, die über die Oberseite2c' des Mikrokühlers2c wegstehen. Die Bereiche41' und41'' sind wiederum durch entsprechende Strukturierung der Metallschicht41 von dem restlichen Teil dieser Metallschicht elektrisch isoliert. - Als Keramikmaterialien eignen sich bei der Erfindung allgemein Al2O3, AlN, BeO, CBN, Si3N4 und SiC.
- Als Metall für die Metallschichten eignet sich Kupfer und Kupferlegierungen, beispielsweise Kupferwolfram sowie Aluminium und Aluminiumlegierungen.
- Die Dicke der Schichten
13 und15 liegt beispielsweise in der Größenordnung zwischen 200 bis 1000 μm. Die übrigen Schichten besitzen beispielsweise eine Dicke von 200 bis 600 μm, wobei die Dicke der Trag- oder Kontaktplatten19 beispielsweise wesentlich größer ist als die Dicke der zugehörigen Kontaktbereiche11' ,11a' bzw.41' . - Die Erfindung wurde voranstehend an verschiedenen Ausführungsbeispielen beschrieben. Es versteht sich, daß zahlreiche weitere Änderungen sowie Abwandlungen möglich sind, ohne daß dadurch der der Erfindung zugrundeliegende Erfindungsgedanke verlassen wird.
- So ist es beispielsweise möglich, am Gehäuse
3 eine oder mehrere als isolierte Durchführungen ausgebildete Anschlüsse vorzusehen, wie dies beispielsweise in der1 für den dortigen Anschluß43 gezeigt ist, der unter Verwendung einer aus Glas bestehenden Isolierung44 durch die Gehäusewand5 hindurchgeführt ist. Der Anschluß43 dient beispielsweise als Logikanschluß oder als Anschluß für Steuersignale und ist im Gehäuseinnenraum über eine Verbindung45 mit einem Halbleiterbauelement7 , beispielsweise mit einem Steueranschluß oder Gate dieses Bauelementes verbunden. Bei dieser Ausführung ist das Gehäuse3 bevorzugt zweiteilig ausgebildet, und zwar bestehend aus der rahmenartigen Gehäuseumfangswand5 und dem Gehäuseboden4 , der in geeigneter Weise, beispielsweise durch Rollschweißen dicht mit der Gehäusewand5 verbunden ist. -
- 1, 1a, 1b, 1c
- Halbleitermodul
- 2, 2a, 2c
- Mikrokühler
- 2', 2a', 2c'
- Mikrokühleroberseite
- 2'', 2a'', 2c''
- Mikrokühlerunterseite
- 3
- Gehäuse
- 4
- Gehäuseboden
- 5
- Gehäusewand
- 5'
- Gehäuserand
- 6
- Gehäuseinnenraum
- 7
- Halbleiterbauelement
- 8–10
- interne elektrische Verbindung
- 11
- Metallschicht
- 11', 11'', 11'''
- Bereich
- 11''''
- Anschluß-Leiterbahn
- 11a'
- Bereich
- 12, 12a
- Keramikschicht
- 13
- Metallschicht
- 14
- Strukturierter Bereich des Mikrokühlers
- 15
- Strukturierte Metallschicht
- 16
- Pfosten
- 17, 18
- Anschluß für Kühlmediumvorlauf und -rücklauf
- 19
- Halte- und Anschlußplatte
- 20/21
- interne Verbindung
- 22
- Bohrung
- 23
- Einsatz aus isolierendem Material, beispielsweise Keramik
- 25
- Peltieranordnung
- 26, 26a
- elektrischer Anschluß
- 27, 27a
- Anschlußbolzen
- 27', 27'', 27a'
- Bolzenabschnitt
- 27a'', 27a''
- Bolzenabschnitt
- 28
- Gewindebohrung
- 29–31
- Bohrung
- 32
- Hülse
- 33
- Muttergewindestück aus isolierendem Material, vorzugsweise Keramik
- 33'
- Gewindebohrung
- 34
- Ausnehmung
- 35–37
- Bohrung
- 38
- Befestigungsschraube
- 39
- Anschlußbolzen
- 40
- Keramikschicht
- 41
- Metallschicht
- 41', 41''
- Bereich
- 42
- Durchkontaktierung
- 43
- Anschluß
- 44
- isolierte
Durchführung
für Anschluß
43 - 45
- interne Verbindung
Claims (31)
- Halbleitermodul mit wenigstens einem Halbleiterbauelement (
7 ), wobei das Halbleiterbauelement (7 ) auf einem Bereich (11' ,11a ',41' ) eines als Mikrokühler ausgebildeten Mehrschichtsubstrates (2 ,2a ,2c ) vorgesehen ist, welches aus einer Vielzahl von mit einander verbundenen Metallschichten (13 ,15 ) besteht, und zwar aus äußeren Metallschichten (13 ) sowie aus dazwischen liegenden inneren Metallschichten (15 ), die zur Bildung einer von einem Kühlmedium durchströmbaren Mikrokühlerstruktur mit sich ständig in wenigstens zwei senkrecht zueinander verlaufenden Achsrichtungen verzweigenden Strömungswegen für das Kühlmedium mit einer Vielzahl von Öffnungen und dazwischen liegenden Stegen strukturiert sind, sowie mit Anschlüssen (17 ,18 ) zum Zuführen und Abführen des Kühlmediums, dadurch gekennzeichnet, daß das wenigstens eine Halbleiterbauelement (7 ) in einem hermetisch verschlossenen Gehäuseinnenraum (6 ) untergebracht ist, der von einem Gehäuse (3 ) mit einer mit dem Mehrschichtsubstrat (2 ,2a ,2c ) dicht verbundenen Gehäusewand (5 ) gebildet und von den Kühlmediumanschlüssen (17 ,18 ) getrennt ist, und daß elektrische Anschlüsse (8 ,9 ,10 ;26 ,26a ) des wenigstens einen Halbleiterbauelementes (7 ) elektrisch isoliert durch das Mehrschichtsubstrat außerhalb der strukturierten Bereiche der inneren Metallschichten (15 ) hindurch von dem Gehäuseinnenraum (6 ) an die Unterseite (2'' ,2a'' ) dieses Substrates reichen. - Halbleitermodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Mehrschichtsubstrat bezüglich der Schichten und der für diese Schichten verwendeten Materialien symmetrisch zu einer parallel zu den Oberflächenseiten des Substrats verlaufenden Mittelebene (M) ausgebildet ist.
- Halbleitermodul nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die die Oberseite des Mehrschichtsubstrates (
2 ,2a ,2c ) bildende Schicht eine Metallschicht (11 ,41 ) ist. - Halbleitermodul nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß an der Oberseite (
2' ,2a' ,2c' ) des Mehrschichtsubstrates wenigstens ein metallischer Bereich (11' ,11a' ,41' ) im Gehäuseinnenraum (6 ) gebildet ist, an welchem das wenigstens eine Halbleiterbauelement (7 ) vorgesehen ist und welcher über eine Keramikschicht (12 ,12a ) elektrisch von weiteren Schichten des Mehrschichtsubstrates (2 ,2a ,2c ) getrennt ist. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Halbleiterbauelement (
7 ) auf einer Anschluß- und/oder Tragplatte (19 ) montiert ist, und daß die Tragplatte (19 ) an dem Bereich (11' ,11a ',41' ) flächig anliegend befestigt ist. - Halbleitermodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Befestigung durch in das Mehrschichtsubstrat (
2 ,2a ,2c ) eingreifende mechanische Befestigungsmittel, beispielsweise Bolzen oder Schrauben erfolgt ist, und zwar elektrisch gegenüber anderen Bereichen oder Teilen des Mehrschichtsubstrates isoliert. - Halbleitermodul nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß im Mehrschichtsubstrat (
2 ,2a ,2c ) ein Verankerungselement, beispielsweise in Form eines Muttergewindestücks (3 ) aus einem elektrisch isolierenden Material, beispielsweise aus Keramik, für wenigstens ein Befestigungselement (38 ) vorgesehen ist. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesamtfläche des wenigstens einen Bereichs (
11' ,11a' ,41' ) wesentlich kleiner ist als die Innenfläche der von dem Kühlmedium durchströmten Mikrokühlerstruktur (14 ). - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlmediumanschlüsse (
17 ,18 ) an einer von der Oberseite des Substrates unterschiedlichen Seite dieses Substrates vorgesehen sind. - Halbleitermodul nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlmediumanschlüsse (
17 ,18 ) an der Unterseite des Substrates (2 ,2a ,2c ) vorgesehen sind. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch wenigstens einen Einsatz (
23 ,32 ) aus einem elektrisch isolierenden Material, vorzugsweise aus Keramik, im Bereich der Durchführung des wenigstens einen elektrischen Anschlusses (8 ,9 ,10 ;26 ,26a ). - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an der Oberseite des Mehrschichtsubstrates (
2 ,2a ,2c ) mehrere elektrisch voneinander getrennte Bereiche (11' ,11a ',41 ) gebildet sind. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der wenigstens eine Bereich (
11' ,41' ) durch Strukturierung der die Oberseite (2' ,2a' ,2c' ) bildenden und auf einer Keramikschicht (12 ,40 ) vorgesehenen Metallschicht (11 ,41 ) erzeugt ist. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (
3 ) aus Metall oder einem mit einer Metallisierung versehenen Kunststoff besteht. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehäusewand (
5 ) durch Direct-Bonden, durch Löten, Schweißen oder Kleben mit dem Mehrschichtsubstrat (2 ,2a ,2c ) verbunden ist. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der die Mikrokühlerstruktur bildende Bereich (
14 ) aus mehreren flächig miteinander verbundenen Metallschichten (13 ,15 ) besteht. - Halbleitermodul nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß beidseitig an die äußeren Metallschichten (
13 ) der Mikrokühlerstruktur sich jeweils wenigstens eine Keramikschicht (12 ) und an diese wenigstens eine weitere Metallschicht (11 ) anschließen. - Halbleitermodul nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Metallschicht (
11 ) an einer Seite des Substrates (2 ,2a ) dessen Oberseite (2' ,2a' ) bildet. - Halbleitermodul nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß auf die weitere Metallschicht (
11 ) eine zusätzliche Keramikschicht (40 ) und auf diese eine zusätzliche Metallschicht (41 ) folgen. - Halbleitermodul nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Metallschicht (
41 ) an einer Seite des Substrates dessen Oberseite (2c' ) bildet. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichten mittels der Direct-Bonding-Technik miteinander verbunden sind.
- Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschichten zumindest teilweise Schichten aus Kupfer, Aluminium oder Kupferwolfram sind.
- Halbleitermodul nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die die Mikrokühlerstruktur bildenden Schichten (
13 ,15 ) solche aus Kupfer sind. - Halbleitermodul nach einem der Ansprüche 4 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Keramik und/oder Keramikschichten (
12 ,12a ,40 ) Al2O3, AlN, BeO, CBN, Si3N4 oder SiC ist. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die die Mikrokühlerstruktur (
14 ) bildende Metallschichten (13 ,15 ) eine Dicke in der Größenordnung von 200 bis 600 μm aufweisen. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die übrigen Metallschichten eine Dicke im Bereich zwischen 200 und 1000 μm aufweisen.
- Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein elektrischer Anschluß (
39 ) seitlich aus dem Substrat (2c ) oder an der Oberseite des Substrates außerhalb des Gehäuses (3 ) vorgesehen ist. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei mehreren in dem Gehäuse (
3 ) aufgenommenen Bauelementen (7 ) diese elektrisch in Serie geschaltet sind. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem wenigstens einen Halbleiterbauelement (
7 ) oder dessen Trag- und Anschlußplatte (19 ) und dem Bereich (11a ') eine Peltier-Anordnung (25 ) mit wenigstens einem Peltier-Element vorgesehen ist. - Halbleitermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Gehäuse (
3 ) vorzugsweise in einer den Gehäuseinnenraum umgebenden Gehäusewand (5 ) wenigstens ein als elektrische Durchführung ausgebildeter Anschluß (43 ) vorgesehen ist. - Halbleitermodul nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß (
43 ) unter Verwendung einer isolierenden Durchführung (44 ) vorzugsweise aus Glas durch das Gehäuse (3 ) bzw. dessen Gehäusewand (5 ) hindurchgeführt ist.
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