DE10223239A1 - Device and method for spectroscopic measurement of a gas concentration by determining a single absorption line - Google Patents

Device and method for spectroscopic measurement of a gas concentration by determining a single absorption line

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Messung einer Konzentration mindestens einer Komponente eines Prozessgases mit einem Laser (2a), wobei der Strahlengang des Lasers (2a) ein das Prozessgas enthaltendes Volumen (1) durchquert. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlengang teilweise frei durch das Prozessgas führt und teilweise von dem Prozessgas abgeschirmt verläuft, wobei nur der Teil des Strahlengangs, der frei durch das Prozessgas führt, als Messstrecke (4) bezeichnet wird und zu einer laserspektroskopischen Messung der Konzentration herangezogen wird, bei der genau eine Absorptionslinie bestimmt wird.The invention relates to a device and a method for measuring a concentration of at least one component of a process gas with a laser (2a), the beam path of the laser (2a) crossing a volume (1) containing the process gas. The invention is characterized in that the beam path leads partly freely through the process gas and partly shields itself from the process gas, only the part of the beam path that leads freely through the process gas being referred to as the measurement section (4) and for a laser spectroscopic measurement of the Concentration is used at which exactly one absorption line is determined.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Messung einer Konzentration mindestens einer Komponente eines Prozessgases mit einem Laser, wobei der Strahlengang des Lasers ein das Prozessgas enthaltendes Volumen durchquert. The invention relates to a device and a method for measuring a Concentration of at least one component of a process gas with a laser, the beam path of the laser being a volume containing the process gas crosses.

Bekannt sind Meßverfahren und -vorrichtungen zur Ermittlung der Konzentration einzelner Komponenten einer Gasmischung, die unter Einsatz eines Lasers zu laserspektroskopischen Messungen ermittelt werden. Measuring methods and devices for determining the concentration are known individual components of a gas mixture using a laser Laser spectroscopic measurements can be determined.

Bei der Anwendung von laserspektroskopischen Verfahren zur Konzentrationsbestimmung von Komponenten in staubbelasteten Prozessgasen (Gasmischungen) sind den bekannten Methoden jedoch durch die auftretende Absorption und Reflexion der Laserstrahlung durch die Staubpartikel Grenzen gesetzt. Bei hoher Staubbelastung und größeren Meßstrecken, beispielsweise über einen größeren Rohrquerschnitt hinweg, nimmt die Intensität der Laserstrahlung über die Meßstrecke hinweg so stark ab, dass kein verwertbares Signal am Detektor ankommt. Die bekannten Verfahren sind somit für die beschriebenen Anwendungen nicht geeignet. When using laser spectroscopic methods for Determining the concentration of components in dust-laden process gases (Gas mixtures) are the known methods due to the occurring Absorption and reflection of the laser radiation through the dust particles set limits. With high dust pollution and larger measuring distances, for example over one larger tube cross-section, the intensity of the laser radiation takes over Measurement distance so strong that no usable signal arrives at the detector. The known methods are therefore not for the applications described suitable.

Der oben beschriebene Anwendungsfall tritt im Bereich der Metallverarbeitung oder der Energiegewinnung und Kraftwerkstechnik vergleichsweise häufig auf, da dort mit Staub verunreinigte (Prozess)-Gase in großen Mengen anfallen, deren Zusammensetzung für den Anlagenbetreiber von großem Interesse ist. The application described above occurs in the field of metal processing or Energy generation and power plant technology comparatively frequently, because there with dust contaminated (process) gases occur in large quantities, their composition for is of great interest to the plant operator.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Verfahren und eine verbesserte Vorrichtung zur Durchführung von laserspektroskopischen Messungen der Konzentration der Komponenten eines Prozessgases zur Verfügung zu stellen, wobei der Eignung der Erfindung auch für große Volumen staubbelasteter Prozessgase eine besonders wichtige Bedeutung zukommt. The present invention is therefore based on the object of an improved Method and an improved device for carrying out Laser spectroscopic measurements of the concentration of the components of a To provide process gas, the suitability of the invention also for large volumes of dust-laden process gases are of particular importance due.

Vorrichtungsseitig wird die gestellte Aufgabe dadurch gelöst, dass der Strahlengang teilweise frei durch das Prozessgas führt und teilweise von dem Prozessgas abgeschirmt verläuft, wobei nur der Teil des Strahlengangs, der frei durch das Prozessgas führt als Meßstrecke für eine spektroskopische Messung genau einer Absorptionslinie vorgesehen ist. Damit ist der Vorteil verbunden, dass eine gegenüber einer spektroskopischen Messung, die einen Bereich durchmisst (scanning method), wesentlich erhöhte Genauigkeit der Messung erreicht wird. Erfindungsgemäß kommt eine sogenannte Single-Line-Spektroskopie zum Einsatz. Daher wird vorteilhaft ein Laser eingesetzt, dessen Wellenlänge auf einen bestimmten, gewählten Wert festgelegt oder festlegbar ist, die auch präzise eingehalten wird. Beispielsweise wird zur Bestimmung von Kohlenmonoxid ein Infrarotlaser mit einer genau definierten Wellenlänge eingesetzt. Im Gegensatz dazu sind scannende Laser, also Laser, die einen Wellenlängenbereich nach einem vorgegebene Ablauf durchmessen (scannen) für die hohe Genauigkeit, die ein Ziel der vorliegende Erfindung ist, nicht geeignet. Auf Grund der Festlegung auf nur eine Frequenz ist eine fortlaufende automatische Kalibrierung des Lasers ohne sonstige Hilfsmittel möglich. Scannende Laser benötigen im Gegensatz dazu ein oder mehrere Referenzgaszellen um den Laser anhand dieser Gase fortlaufend zu kalibrieren. On the device side, the task is solved in that the beam path partly freely through the process gas and partly from the process gas shielded, only the part of the beam path that is free through the Process gas leads exactly one as a measuring section for a spectroscopic measurement Absorption line is provided. This has the advantage that one over a spectroscopic measurement that measures an area (scanning method), significantly increased accuracy of the measurement is achieved. According to the invention a so-called single-line spectroscopy is used. Therefore, one is advantageous Laser used, its wavelength at a certain, chosen value fixed or definable, which is also precisely adhered to. For example an infrared laser with a precisely defined one to determine carbon monoxide Wavelength used. In contrast, scanning lasers are lasers that measure (scan) a wavelength range according to a predefined sequence not suitable for the high accuracy that is an object of the present invention. On Because it is set to only one frequency, it is a continuous automatic Calibration of the laser possible without other aids. Scanning lasers need in contrast, one or more reference gas cells around the laser based on this Calibrate gases continuously.

Bevorzugt ist die Abschirmung des Strahlengangs als Hohlkörper ausgebildet. Besonders bevorzugt sind im Bereich der Abschirmung Mittel zur Einspeisung eines Spülgases vorgesehen, welches zur Verdrängung des Prozessgases aus der Abschirmung, insbesondere aus dem Inneren des Hohlkörpers, dient. Dadurch befindet sich vorteilhaft im Inneren der Abschirmung ein in seiner Zusammensetzung bekanntes, sauberes Gas durch das der Laserstrahl fast keine Abschwächung seiner Intensität erfährt und das sich für die Konzentrationsmessung neutral verhält oder aufgrund der bekannten Zusammensetzung nachträglich aus der Messung wieder eliminiert werden kann. Als Spülgas ist beispielsweise Stickstoff sehr geeignet. Auch Inertgase sind generell als geeignet anzusehen. Die Eignung eines Gases als Spülgas hängt u. a. davon ab von welcher Komponente des Prozessgases die Konzentration ermittelt werden soll. The shielding of the beam path is preferably designed as a hollow body. Means for feeding in a are particularly preferred in the area of the shielding Purge gas is provided, which is used to displace the process gas from the Shielding, in particular from the interior of the hollow body, is used. Doing so advantageous inside the shielding in its composition Known, clean gas through which the laser beam has almost no attenuation Experiences intensity and that behaves neutrally for the concentration measurement or due to the known composition from the measurement again can be eliminated. Nitrogen, for example, is very suitable as the purge gas. Also Inert gases are generally considered suitable. The suitability of a gas as a purge gas depends u. a. depending on which component of the process gas the concentration should be determined.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Abschirmung rohrförmig ausgebildet. Besonders vorteilhaft ist die Abschirmung als wassergekühlte Lanze ausgeführt. Durch diese Ausführung wird ermöglicht, dass die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Konzentrationsmessung auch in Prozessgasen, die eine sehr hohe Temperatur aufweisen, problemlos eingesetzte werden kann. In an advantageous embodiment of the invention, the shield is tubular educated. The shielding is particularly advantageous as a water-cooled lance executed. This embodiment enables the inventive Device for measuring the concentration even in process gases, which have a very high Temperature, can be used easily.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist die Abschirmung ein hitzebeständiges und/oder säurefestes Material auf. Bevorzugt weist die Abschirmung ein keramisches Material auf. Diese Materialien ermöglichen ebenfalls den problemlosen Einsatz der erfindungsgemäßen Vorrichtung unter schwierigen Bedingungen, beispielsweise in Anwesenheit von sauren Komponenten im Prozessgas. In an advantageous embodiment of the invention, the shield has heat-resistant and / or acid-proof material. The shield preferably has a ceramic material. These materials also enable the problem-free use of the device according to the invention under difficult Conditions, for example in the presence of acidic components in the Process gas.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist die Abschirmung am Beginn des Strahlengangs beim Laser angebracht sowie vor einem Detektor, auf den die Laserstrahlung trifft, wodurch die Meßstrecke von beiden Seiten durch die Abschirmung begrenzt wird. Diese Ausgestaltung birgt unter anderem den Vorteil, dass eventuell vorhandene Randeffekte (Effekte im Randbereich eines Gasvolumens) aus der Messung ausgeblendet werden. Störende Randeffekte können beispielsweise in einem strömenden Prozessgas auftreten. According to a development of the invention, the shield is at the beginning of the Beam path attached to the laser and in front of a detector on which the Laser radiation hits, whereby the measuring section from both sides through the Shielding is limited. One of the advantages of this configuration is that any existing edge effects (effects in the edge area of a gas volume) the measurement are hidden. Disruptive edge effects can, for example, in a flowing process gas.

Verfahrensseitig wird die gestellte Aufgabe dadurch gelöst, dass der Strahlengang teilweise frei durch das Prozessgas führt und teilweise von dem Prozessgas abgeschirmt verläuft, wobei nur der Teil des Strahlengangs, der frei durch das Prozessgas führt, als Meßstrecke bezeichnet wird und zu einer spektroskopischen Messung der Konzentration mit Hilfe des Lasers herangezogen wird, bei der genau eine Absorptionslinie bestimmt wird. Das so gestaltete Verfahren ermöglicht eine zuverlässige Messung mit hoher Genauigkeit auch über größere Meßstrecken hinweg und in staubbelasteten oder anderweitig verschmutzten oder allgemein mit Partikel vermengten Prozessgasen. Die Prozessgase können dabei problemlos eine hohe Temperatur aufweisen, da die bei höheren Temperaturen zu erwartenden Spektralbänder des Wasserdampfs auf die erfindungsgemäße Messung einer einzelnen Absorptinslinie (single-line-spectroscopy) keinen störenden Einfluss ausüben. On the procedural side, the task is solved in that the beam path partly freely through the process gas and partly from the process gas shielded, only the part of the beam path that is free through the Process gas leads, is called the measuring section and leads to a spectroscopic Measurement of the concentration with the help of the laser is used, at which exactly an absorption line is determined. The process designed in this way enables one reliable measurement with high accuracy even over large measuring distances and in dusty or otherwise dirty, or generally particulate mixed process gases. The process gases can easily achieve a high level Have temperature, as expected at higher temperatures Spectral bands of water vapor on the measurement according to the invention single absorber line (single-line spectroscopy) no disruptive influence exercise.

Vorteilhaft wird die Abschirmung mit einem Spülgas gespült. Mit besonderem Vorteil wird als Spülgas Stickstoff eingesetzt. Dadurch befindet sich vorteilhaft im Inneren der Abschirmung ein in seiner Zusammensetzung bekanntes, sauberes Gas durch das der Laserstrahl fast keine Abschwächung seiner Intensität erfährt und das sich für die Konzentrationsmessung neutral verhält, d. h. keinen Beitrag liefert sofern nicht die Konzentration einer Stickstoffverbindung gemessen werden soll. Allgemein formuliert hängt die Eignung eines Gases als Spülgas davon ab von welcher Komponente des Prozessgases die Konzentration ermittelt werden soll. In der Regel wird bevorzugt ein Spülgas gewählt, das sich von dem Gas dessen Konzentration bestimmt werden soll im Hinblick auf die Spektroskopie deutlich unterscheidet. The shield is advantageously flushed with a purge gas. With a special advantage nitrogen is used as the purge gas. This is advantageously located inside the Shielding a clean gas known in its composition by the Laser beam experiences almost no weakening of its intensity and that for the Concentration measurement is neutral, d. H. makes no contribution unless the Concentration of a nitrogen compound to be measured. Generally formulated the suitability of a gas as a purge gas depends on which component of the Process gas the concentration is to be determined. Usually one is preferred Purge gas selected, which is to be determined from the gas whose concentration clearly distinguishes in terms of spectroscopy.

Auch Inertgase sind vorteilhaft als Spülgase einsetzbar. Der besondere Vorteil besteht bei Inertgasen darin, dass eine chemische Reaktion zwischen Spülgas und Prozessgas ausgeschlossen werden kann. Inert gases can also advantageously be used as purge gases. The particular advantage is there in the case of inert gases, that a chemical reaction between the purge gas and Process gas can be excluded.

Gemäß einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens wird Umgebungsluft angesaugt und als Spülgas eingesetzt. Diese Ausgestaltung bietet vor allem den Vorteil niedriger Verfahrenskosten. Jedoch ist die Gegenwart von Umgebungsluft nicht bei allen Anwendungen wünschenswert, beispielsweise bei einer Bestimmung der CO- Konzentration in einem Abgas würde Umgebungsluft als Spülgas zu einer Störung der Messung führen. According to another advantageous embodiment of the method, ambient air sucked in and used as a purge gas. This configuration primarily offers the Advantage of low procedural costs. However, the presence of ambient air is not desirable for all applications, for example when determining the CO Concentration in an exhaust gas would disrupt the ambient air as purge gas Measure.

Ebenso ist beispielsweise für Messungen der Sauerstoffkonzentration in einem Prozessgas Stickstoff als Spülgas zu bevorzugen. Likewise, for example, for measurements of the oxygen concentration in one Process gas nitrogen preferred as purge gas.

Die Erfindung weist weiterhin den Vorteil auf, dass zur Messung der Konzentration ein Laser mit geringer Leistung eingesetzt werden kann, da die Meßstrecke durch die erfindungsgemäße Abschirmung im Vergleich zu einer Messung ohne Abschirmung verkürzt wird. Der Einsatz eines Lasers mit geringer Leistung reduziert darüber hinaus vorteilhaft die Gefahr von unerwünschten Veränderungen im Prozessgas, die durch die Energie der Laserstrahlung im Prozessgas ausgelöst werden könnten. The invention also has the advantage that for measuring the concentration Low power lasers can be used because the measuring section through the shielding according to the invention in comparison to a measurement without shielding is shortened. The use of a laser with low power also reduces advantageous the risk of undesirable changes in the process gas caused by the Energy of the laser radiation in the process gas could be triggered.

Die Erfindung sowie weitere Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Hierbei zeigt die einzige The invention and further details of the invention are described below of an embodiment shown in the drawing. in this connection shows the only one

Figur einen Querschnitt durch ein das Prozessgas enthaltendes Volumen Im einzelnen ist in der Figur ein das Prozessgas enthaltendes, rohrförmig begrenztes Volumen 1 dargestellt, das auf einer Seite einen Laser 2a und gegenüberliegend einen Detektor 2b aufweist, der die das Volumen 1 durchquerende und auf dem Detektor 2b auftreffende Laserstrahlung registriert. Der Strahlengang des Lasers 2a ist zum Teil von der Abschirmung 3 umgeben, die die Meßstrecke 4 auf beiden Seiten begrenzt, sowohl in Richtung zum Laser 2a hin als auch in Richtung auf den Detektor 2b zu. An der Abschirmung 3 sind vorteilhaft Mittel zur Einspeisung eines Spülgases wie z. B. Stickstoff vorgesehen. Diese Mittel sind in der Figur nicht dargestellt. FIG. 1 shows a cross section through a volume containing the process gas. In the figure, a tubular volume 1 containing the process gas is shown in detail, which has a laser 2 a on one side and a detector 2 b on the opposite side that crosses the volume 1 and up the detector 2 b incident laser radiation registered. The beam path of the laser 2 a is partially surrounded by the shield 3 , which delimits the measuring section 4 on both sides, both in the direction of the laser 2 a and in the direction of the detector 2 b. On the shield 3 are advantageous means for feeding a purge gas such. B. provided nitrogen. These means are not shown in the figure.

Das Volumen 1 ist beispielsweise mit einem heißen Prozessgas (z. B. dem Abgas aus einem Stahlwerksofen) gefüllt, das eine Temperatur von 800°C oder größer aufweist und dessen Gehalt an Kohlenmonoxid bestimmt werden soll. Dazu wird eine Abschirmung 3 eingesetzt, die zwei wassergekühlte Keramikrohre 3 aufweist. Als Spülgas kommt gasförmiger Stickstoff zum Einsatz, der das Prozessgas aus dem Inneren der Keramikrohre 3 verdrängt, die beispielsweise durch Kühlwasser führende Rohrschlangen (nicht dargestellt) gekühlt werden. Volume 1 is filled, for example, with a hot process gas (e.g. the exhaust gas from a steelworks furnace), which has a temperature of 800 ° C or higher and whose content of carbon monoxide is to be determined. For this purpose, a shield 3 is used, which has two water-cooled ceramic tubes 3 . Gaseous nitrogen is used as the purge gas, which displaces the process gas from inside the ceramic tubes 3 , which are cooled, for example, by tube coils (not shown) carrying cooling water.

Vorteilhaft weist eine erfindungsgemäße Abschirmung 3 in Abhängigkeit von der Distanz zwischen Laser 2a und Detektor 2b solche Abmessungen auf, dass die Meßstrecke 4 beispielsweise eine Länge von 10 cm bis 30 cm beträgt. Besonders vorteilhaft erweist sich eine Meßstrecke 4 von ca. 20 cm. A shield 3 according to the invention, depending on the distance between laser 2 a and detector 2 b, advantageously has dimensions such that the measuring section 4 is, for example, a length of 10 cm to 30 cm. A measuring section 4 of approximately 20 cm has proven to be particularly advantageous.

Der eingesetzte Laser ist bespielsweise ein abstimmbarer Laser, der erfindungsgemäß bei einer einzigen, vor den Messungen ausgewählten Frequenz betrieben wird. Ein abstimmbarer Laser hat den Vorteil, dass aus seinem möglichen Frequenzbereich die Frequenz (respektive Wellenlänge) ausgewählt werden kann, die von der zu bestimmenden Gaskomponente gut absorbiert wird. Die Schwächung der gewählten Absoprtionslinie ist dabei ein Maß für die Konzentration der zu bestimmenden Gaskomponete im Prozessgas. The laser used is, for example, a tunable laser, which according to the invention is operated at a single frequency selected before the measurements. On tunable laser has the advantage that from its possible frequency range Frequency (or wavelength) can be selected from the determining gas component is well absorbed. The weakening of the elected Absorption line is a measure of the concentration of those to be determined Gas components in the process gas.

Es ist jedoch auch möglich einen Singel-Mode-Laser einzusetzen, der eine zu der zu bestimmenden Gaskomponente passende Frequenz aufweist. However, it is also possible to use a single-mode laser that is one to the determining gas component has a suitable frequency.

Die Lasermessungen können mit besonderem Vorteil als kontinuierliche Messungen durchgeführt werden. In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung sind jedoch auch diskontinuierliche Meßmethoden mit Erfolg einsetzbar. The laser measurements can be particularly advantageous as continuous measurements be performed. However, in a further embodiment of the invention discontinuous measurement methods can also be used successfully.

Claims (11)

1. Vorrichtung zur Messung einer Konzentration mindestens einer Komponente eines Prozessgases mit einem Laser (2a), wobei der Strahlengang des Lasers (2a) ein das Prozessgas enthaltendes Volumen (1) durchquert, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlengang teilweise frei durch das Prozessgas führt und teilweise von dem Prozessgas abgeschirmt verläuft, wobei nur der Teil des Strahlengangs, der frei durch das Prozessgas führt als Meßstrecke (4) für eine spektroskopische Messung genau einer Absorptionslinie vorgesehen ist. 1. Device for measuring a concentration of at least one component of a process gas with a laser ( 2 a), the beam path of the laser ( 2 a) crossing a volume ( 1 ) containing the process gas, characterized in that the beam path is partially free through the process gas leads and partially shielded from the process gas, only the part of the beam path that leads freely through the process gas is provided as a measuring section ( 4 ) for a spectroscopic measurement of exactly one absorption line. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (3) des Strahlengangs als Hohlkörper (3) ausgebildet ist. 2. Device according to claim 1, characterized in that the shield ( 3 ) of the beam path is designed as a hollow body ( 3 ). 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der Abschirmung (3) Mittel zur Einspeisung eines Spülgases vorgesehen sind, welches zur Verdrängung des Prozessgases aus der Abschirmung (3), insbesondere aus dem Inneren des Hohlkörpers (3), dient. 3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that in the area of the shield ( 3 ) means are provided for feeding a purge gas which is used to displace the process gas from the shield ( 3 ), in particular from the interior of the hollow body ( 3 ), serves. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (3) rohrförmig ausgebildet ist. 4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the shield ( 3 ) is tubular. 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (3) als wassergekühlte Lanze ausgeführt ist. 5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the shield ( 3 ) is designed as a water-cooled lance. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (3) ein hitzebeständiges und/oder säurefestes Material aufweist. 6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the shield ( 3 ) comprises a heat-resistant and / or acid-resistant material. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (3) ein keramisches Material aufweist. 7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the shield ( 3 ) comprises a ceramic material. 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (3) am Beginn des Strahlengangs beim Laser (2a) angebracht ist sowie vor einem Detektor (2b), auf den die Laserstrahlung trifft, wodurch die Meßstrecke (4) von beiden Seiten durch die Abschirmung (3) begrenzt wird. 8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the shield ( 3 ) at the beginning of the beam path at the laser ( 2 a) is attached and in front of a detector ( 2 b), which the laser radiation strikes, whereby the measuring section ( 4 ) is delimited from both sides by the shield ( 3 ). 9. Verfahren zur Messung einer Konzentration mindestens einer Komponente eines Prozessgases mit einem Laser (2a), wobei der Strahlengang des Lasers (2a) ein das Prozessgas enthaltendes Volumen (1) durchquert, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlengang teilweise frei durch das Prozessgas führt und teilweise von dem Prozessgas abgeschirmt verläuft, wobei nur der Teil des Strahlengangs, der frei durch das Prozessgas führt, als Meßstrecke (4) bezeichnet wird und zu einer spektroskopischen Messung der Konzentration mit Hilfe des Lasers (2a) herangezogen wird, bei der genau eine Absorptionslinie bestimmt wird. 9. A method for measuring a concentration of at least one component of a process gas with a laser ( 2 a), the beam path of the laser ( 2 a) crossing a volume ( 1 ) containing the process gas, characterized in that the beam path is partially free through the process gas leads and partially shielded from the process gas, whereby only the part of the beam path that leads freely through the process gas is referred to as the measuring section ( 4 ) and is used for a spectroscopic measurement of the concentration using the laser ( 2 a), in which exactly one absorption line is determined. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (3) mit einem Spülgas gespült wird. 10. The method according to claim 9, characterized in that the shield ( 3 ) is flushed with a purge gas. 11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass als Spülgas Stickstoff eingesetzt wird. 11. The method according to claim 10, characterized in that nitrogen as the purge gas is used.
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