DE10218586B4

DE10218586B4 - Ziehwerkzeug mit elektrischen und mikromechanischen Funktionselementen und Verfahren zur Herstellung eines Werkstücks unter Verwendung dieses Ziehwerkzeuges

Info

Publication number: DE10218586B4
Application number: DE2002118586
Authority: DE
Inventors: Bernd Dr. Burchard
Original assignee: Diatronic Ges fur Diaman GmbH; Diatronic Gesellschaft fur Diamant- und Hochtemperatur-Elektronik GmbH
Current assignee: BURCHARD, BERND, DR., DE
Priority date: 2002-04-26
Filing date: 2002-04-26
Publication date: 2006-03-30
Anticipated expiration: 2022-04-27
Also published as: DE10218586A1

Abstract

Ziehwerkzeug mit an oder unmittelbar unterhalb seiner Oberfläche platzierten Funktionselementen, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionselemente als elektrische oder elektrische und mikromechanische Funktionselemente ausgebildet sind, wobei die Funktionselemente mit Medien (30) führenden Kapillaren (24, 29), die sich bis zur Oberfläche des Ziehwerkzeugs (28) erstrecken, zusammenwirken.

Description

Der Gegenstand des Patents betrifft ein Ziehwerkzeug gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und ein zugehöriges Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks unter Zuhilfenahme dieses Ziehwerkzeuges gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 23.
Das Ziehen von Metallen ist eine der ältesten Formen der Metallbearbeitung. Trotzdem sind bis heute viele damit verbundene Vorgänge ungeklärt.
Für die Herstellung von Drähten beispielsweise werden seit jeher Ziehwerkzeuge in Form von Ziehsteinen verwendet. Dabei wird ein Drahtrohling durch eine Öffnung in einem harten Material beispielsweise Diamant gezogen, dessen Durchmesser kleiner als der des Drahtes ist. Hierbei wird der Draht vor dem Eintritt in die Öffnung gestaucht und komprimiert, wodurch das Drahtmaterial plastisch wird. Während dieser Stauchung und Kompression entstehen erhebliche Drücke und Temperaturen sowohl im Material als auch an der Werkzeugoberfläche.
Stand der Technik und Grundgedanken der Erfindung
Aus dem Stand der Technik ist das Messen von Druck oder Temperatur mittels unter der Oberfläche von Ziehwerkzeugen angebrachten Sensoren bekannt. Durch die weitere Integration mikromechanischer Strukturen in ein Ziehwerkzeug können zusätzliche Funktionalitäten wie beispielsweise Kühlung durch ein Kühlmittel oder Zuführung galvanischer Lösungen in unmittelbarer Nähe der während des Ziehvorganges am meisten thermisch und elektrisch belasteten Stellen des Zeihwerkzeugs in dieses integriert werden. Hierdurch wird beispielsweise die Effektivität der Kühlung maximiert oder insbesondere eine Beschichtung der Drähte während des Ziehvorganges ermöglicht. Besonders zweckmäßig ist die gleichzeitige Kombination mit elektrischen Funktionselementen wie beispielsweise Sensoren zur Erfassung des Werkzeugzustands und elektrischen Aktoren wie beispielsweise Heizern zur exakten Temperaturkontrolle. Die durch die Sensoren gemessenen Parameter umfassen in Falle der Temperaturstabilisierung zweckmäßigerweise Druck und Temperatur an der Kontaktfläche zwischen Werkstück und Ziehstein. Des Weiteren ermöglicht die gleichzeitige elektrische Kontaktierung einer zugeführten Galvanik-Flüssigkeit und des Werkstücks eine galvanische Beschichtung desselben während der Verarbeitung. Für die Reproduzierbarkeit der Ergebnisse ist die exakte Kontrolle aller Fertigungsparameter wie Vorschub und Temperatur von entscheidender Bedeutung.

Eine solche Kombination aus Ziehwerkzeug und Sensorik ist in Form von Ultraschallsensoren bereits aus EP 1 022 070 A2 bekannt. Ziehsteine werden unter anderem aus Diamant gefertigt, was der Offenlegungsschrift DE 199 17 563 A1 beispielhaft entnommen werden kann. Für die Fertigung solcher Ziehsteine kommen grundsätzlich jedoch alle superharten Materialien wie beispielsweise Diamant, SiC, BN, GaN oder WC in Betracht. Unter superharten Materialien versteht man hierbei solche mit einer Vickers Härte von mehr als 40 GPa. In der Offenlegungsschrift DE 100 14 048 A1 wird die Herstellung geeigneter Druck- und Temperatursensoren auf Diamantbasis, deren Strukturen und ein Verfahren zu deren Herstellung beschrieben. Aus letzterer ist bereits die Kombination von monolithisch kointegrierter Sensorik und Aktorik in ein Diamantwerkzeug bekannt. Für Strangpresswerkzeuge sind beispielsweise aus DE 42 42 395 A1 bereits unter der Oberfläche des Strangpresswerkzeuges liegende Sensoren und Aktoren bekannt. Zu solchen zählen auch Kühl- und Heizeinrichtungen.

Mit Hilfe der in obigen Schriften beschriebenen Techniken lässt sich das somit technische Problem in Bezug auf die Sensorik und Aktorik auch für Diamant basierende Ziehwerkzeuge lösen. Mehr noch: Durch den Einsatz dieser Bauelemente lässt sich ein so modifiziertes Ziehwerkzeug, hier im speziellen ein modifizierter Ziehstein, bereits für die Produktion neuartiger Produkte verwenden.

Aufgabenstellung und Lösung

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, den Funktionsumfang von Ziehwerkzeugen zu vergrößern und dadurch neue Möglichkeiten der Fertigung und neue, durch Ziehtechniken herstellbarer Produkte zu erschließen.

Hierzu zählt insbesondere die Integration von Kühl- und Zuführkapillaren und Vorrichtungen für die Werkstückbeschichtung in eine monolithische Werkzeugmaterial-Matrix.

Diese Aufgabe wird gelöst durch die Vorrichtung gemäß Patentanspruch 1 und das Verfahren gemäß Patentanspruch 23.

Erst die Kointegration mikromechanischer, insbesondere mikrofluidischer Funktionselemente und Vorrichtungen im engen Zusammenwirken mit der Zufuhr flüssiger Hilfswerkstoffe, die den wesentlichen neuen Grundgedanken gegenüber den oben angegebenen Stand der Technik darstellt, erweitert nun die oben beschriebenen Möglichkeiten wesentlich.

Kühlnuten für sich allein genommen können zwar als dem Stand der Technik zugehörig betrachtet werden. Wesentliches Unterscheidungsmerkmal zum Stand der Technik ist die Kointegration mikromechanischer Vorrichtungen (insbesondere mikrofluidischer Vorrichtungen, elektrischen bzw. elektronischen Sensoren und elektrischen bzw. elektromechanischen Aktoren) mittels Methoden der Mikrostrukturtechnologie in ein solches „intelligentes" Ziehwerkzeug. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung unterscheidet sich vom Stand der Technik im Kern durch das Vorhandensein Medien führender Kapillare, die sich bis zur Oberfläche des Ziehwerkzeugs erstrecken und welche mit an oder unmittelbar unter der Oberfläche des Ziehwerkzeugs liegenden elektrischen und mikromechanischen Funktionselementen zusammen wirken.

Erst diese Kointegration ermöglicht gegenüber dem Stand der Technik beispielsweise bei der Verwendung von mikrofluidischen Kühlkapillaren sowohl eine verbesserte Kühlung der Kontaktfläche zwischen Werkstück und Ziehwerkzeug als auch die Zufuhr von weiteren flüssigen Medien wie beispielsweise Galvanik-Flüssigkeiten. Im Zusammenspiel im Rahmen einer Prozessregelung zwischen Sensorik und weiteren monolithisch kointegrierten elektrischen aktorischen Funktionselementen wie beispielsweise Heizern, lässt sich eine weitere Prozeßstabilisierung, beispielsweise eine erhöhte Temperaturkonstanz erreichen, Diese beispielhafte erhöhte Prozessqualität durch die Kombination von Mikromechanik, Mikrosensorik und Mikroaktorik ermöglicht insbesondere die Herstellung neuartiger Drähte, die ebenfalls Teil dieser Anmeldung sind. Als wesentliches Beispiel der Anwendung der Erfindung sei hier die elektrolytische Beschichtung der gezogenen Drähte in einem Arbeitsgang während des Ziehens genannt, die erst durch diese Kointegration ermöglicht wird. Schließlich sei erwähnt, dass durch die kombinierte Verwendung von Heizern (als Aktoren) und mikrofluidischer Kühlung ein vordefinierter Temperaturgradient im Bereich der Drahtbearbeitung eingestellt werden kann, welcher für die Reproduzierbarkeit der Ergebnisse von wesentlicher Bedeutung ist.

Beispielhaftes Ziehwerkzeug:
Ziehstein mit elektrischen, mikromechanischen und mikrofluidischen Funktionselementen und zugehöriges Verfahren
Im Folgenden wird die Erfindung anhand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen weiter erläutert:
Es zeigen die Figuren:
1: Schnitt durch einen beispielhaften Ziehstein mit Kapillarkühlung
2: Aufsicht auf einen beispielhaften Ziehstein mit Kapillarkühlung mit Fassung
3: Schnitt durch einen beispielhaften Ziehstein mit Nutkühlung
4: Schnitt durch einen beispielhaften Ziehstein mit Nutkühlung und galvanischer Abscheidung
Der Aufbau eines beispielhaften Ziehwerkzeuges, eines beispielhaften Zeihsteins mit mikromechanischen, insbesondere mikrofluidischen, und elektrischen Funktionselementen, wird anhand von 1 erläutert. Vorzugsweise ist der Ziehstein (1) aus Diamant gefertigt. Er ist üblicherweise zylindersymmetrisch und verfügt über eine mittige Öffnung durch die der Draht (6) in Pfeilrichtung gezogen wird. Dabei wird er im Bereich (5) gestaucht und umgeformt, um dann den Ziehstein mit einem verringerten Durchmesser (7) wieder zu verlassen. Dieser Bereich, in dem das Werkstück Kontakt zum Werkzeug hat, sowie der umgebende Bereich, der chemisch oder physikalisch durch den Bearbeitungsvorgang beeinflusst wird, wird im Folgenden als Bearbeitungsbereich bezeichnet. Bei der Bearbeitung stößt der Draht auf die geeignet geformte Vorderseite (4) des Ziehsteins. Die Rückseite (9) des Ziehsteins ist in der Regel so geformt, dass der Draht gut gekühlt werden kann. In dem erfindungsgemäßen Ziehstein sind nun mehrere Sensoren (11, 19, 29) in Oberflächennähe gefertigt. Diese sind über sich kreuzende Leitungen (3, 10) entsprechend dem in der DE 100 14 048A1 beschriebenen Verfahren angeschlossen. Einige Anschlussleitungen laufen typischerweise von einem der Leitung zugeordneten ersten Kontakt (2) auf der einen Seite des Ziehsteins (1) zu einem der Leitung zugeordneten zweiten Kontakt (8) auf der anderen Seite des Ziehsteins: Die Kontakte werden typischerweise aus Graphit, halbleitendem Diamant oder aufgebrachten Metallschichten hergestellt. Von besonderer Wichtigkeit ist, dass die Leitungen tief genug elektrisch gegenüber der Oberfläche isoliert vergraben werden. Gegebenen Falls muss durch Aufbringen einer elektrisch isolierenden CVD-Schicht aus Diamant diese Tiefe nach der Herstellung der Bauelemente noch vergrößert werden. Die Kontakte müssen dabei selbstverständlich ausgespart werden. Der Widerstand des Sensors im Bereich der Kreuzung hängt nun vom Druck und der Temperatur in besonderer Weise ab. (siehe auch DE 100 14 048 A1 )
Besonders vorteilhaft ist es, nun mehrere Sensoren zu einem Sensor Array zu kombinieren. Dies sei anhand von 2 erläutert. 2 zeigt einen Ziehstein mit Fassung (12) in Aufsicht. Der dort gezeigte beispielhafte Ziehstein ist mit 90° Symmetrie gefertigt. In jedem Quadranten befinden sich auf jeder Ziehsteinseite drei Sensoren (11, 19, 20), die jeweils in den Kreuzungspunkten verschiedener Leitungen liegen. Sensor 11 wird über die Kontakte 15 und 18 angeschlossen, Sensor 19 über die Kontakte 14 und 17 und Sensor 20 über die Kontakte 13 und 16. Darüber hinaus sind die Sensoren 11, 19, 20 über die Kontakte 2 und 8 (nicht sichtbar auf der Rückseite) angeschlossen. Neben den hier eingezeichneten Temperatur und Drucksensoren können weitere Aktoren und Sensoren sowie Aktor- und Sensortypen auf dem Ziehstein gefertigt werden. In 2 befindet sich beispielsweise in jedem Quadranten ein Heizer (21), der über Kontakte (23, 22) angeschlossen ist. Hierdurch kann beispielsweise die Temperatur der plastischen Zone (5) auf der Vorderseite höher als normal eingestellt werden. Hierdurch werden Druck (=Zugkraft/Auflagefläche) und Temperatur an der Öffnung voneinander entkoppelt. Durch sofortiges Abkühlen des Drahtes nach dem Verlassen des Ziehsteins kann dieser in einem Arbeitsgang gezogen und gehärtet werden, was vorher nicht möglich war. Besonders vorteilhaft ist es nun, den Ziehstein nicht nur mit Wasser sondern beispielsweise mit flüssigem Stickstoff oder anderen flüssigen Gasen zu kühlen, da so ein steilerer Temperaturgradient möglich wird ohne dass die Temperatur der Stauchzone (5) geändert werden muss. Hierdurch werden neue Oberflächenqualitäten möglich. Zu diesem Zweck können beispielsweise, wie in 1 und 2 gezeigt, mikromechanische Kapillaren (24) in dem Ziehstein beispielsweise durch Ionenstrahlätzung hergestellt werden, durch die der gefertigte Draht unmittelbar nach dem Verlassen der Bearbeitungszone mittels einer durch diese Kapillare eingeleiteten Flüssigkeit gekühlt wird. Zu diesem Zweck sind auch in die rückseitige Oberfläche des Diamanten durch Mikrotechnologie hergestellte, beispielsweise gefräste oder geätzte Nuten (29) anwendbar, die durch eine Platte (27) abgedeckt werden. (3) In dieser Platte (27) befindet sich zum Beispiel auch eine Verteilerleitung (26), die über symmetrisch angeordnete Kanäle (25) mit den gefrästen Nuten (29) verbunden ist. Im Bereich der Bearbeitungsöffnung deckt die Platte (27) die Nuten nicht mehr ab, so dass Austrittsöffnungen (28) für die Kühlflüssigkeit entstehen.
Durch Heizer und Temperatursensoren in diesem Bereich ist es denkbar, die Kühlflüssigkeit vor dem Zusammentreffen mit dem Werkstück, hier einem Draht, zu temperieren. Solche mikrofluidischen Systeme können darüber hinaus beispielsweise auch zur Beschichtung des Drahtes während der Bearbeitung beispielsweise durch Verwendung kollodialer Partikellösungen genutzt werden. Auch ist es denkbar, als Kühlmittel eine Salzlösung (30) zu verwenden, die durch einen elektrischen Strom elektrolysiert wird. Ein Kontakt wird hierbei durch den Draht, also das Werkstück gebildet, welches im Bearbeitungsbereich durch Kontakte (33) und Leitungen im Werkzeug (32) angeschlossen wird. Die Leitungen im Werkstück werden wieder über geeignete Kontakte (31) angeschlossen. Der andere Kontakt wird beispielsweise durch die Abdeckplatte (27) gebildet, die in diesem Fall elektrisch leitend sein sollte und über eine Leitung (34) angeschlossen wird. Es ist denkbar die Platte in diesem Fall von dem Ziehstein elektrisch durch eine Isolation (35) abzutrennen. Bei geeigneter Stromdichte wird somit der Draht in einem Arbeitsgang direkt galvanisch beschichtet (36).
Für manche Anwendungen mag es schließlich auch sinnvoll sein, den Draht im Bereich der Behandlungszone zu kontaktieren und durch elektrochemische oder -physikalische Vorgänge bei hohen Stromdichten die Beschaffenheit des Drahtes zu modifizieren. Dies kann durch Leitungen erzielt werden, die im Bereich der Behandlungszone mit Kontakten beispielsweise aus halbleitendem Diamant versehen sind.
Vorteile
Ein erfindungsgemäßes Ziehwerkzeug ermöglicht eine verbesserte Kühlung bei gleichzeitiger Erfassung der Druck und Temperaturverhältnisse während des Ziehens im Bereich der Kontaktfläche zwischen Werkstück und Werkzeug, eine exakte Regelung der Temperatur und damit eine kontrollierte Wärmebehandlung der Werkstücke, beispielsweise der Drähte, während des Ziehens, sowie weitere neuartige Arbeitstechniken wie beispielsweise die Beschichtung gezogener Drähte während des Ziehvorganges, was wirtschaftlich vorteilhaft ist. Liste der Bezeichnungen

Claims

Ziehwerkzeug mit an oder unmittelbar unterhalb seiner Oberfläche platzierten Funktionselementen, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionselemente als elektrische oder elektrische und mikromechanische Funktionselemente ausgebildet sind, wobei die Funktionselemente mit Medien (30) führenden Kapillaren (24, 29), die sich bis zur Oberfläche des Ziehwerkzeugs (28) erstrecken, zusammenwirken.
Ziehwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei mindestens einem der mikromechanischen Funktionselemente um eine Pumpe, einen Mikroreaktor oder Verweiler handelt.
Ziehwerkzeug nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, dass es sich um einen Ziehstein (1) handelt.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es aus einem superhartem Material mit Vickers Härte > 40 GPa gefertigt ist.
Ziehwerkzeug nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem superhartem Material um Diamant, SiC, BN, GaN oder WC handelt.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein elektrisches Funktionselement ein Leitfähigkeits-, Druck- oder ein Temperatur-Sensor (11, 19, 20) ist.
Ziehwerkzeug nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, das ein Temperatursensor (11, 19, 20) mit der Oberfläche thermisch verbunden ist.
Ziehwerkzeug nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, das ein Leitfähigkeitssensor (11, 19, 20) mit der Oberfläche elektrisch verbunden ist.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Sensor (11, 19, 20) ein resistiver, kapazitiver oder induktiver Sensor ist.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eines der elektrischen oder elektrischen und mikromechanischen Funktionselemente ein Aktor (33, 21) ist, der mit den Medien (30) führenden Kapillaren (24, 28, 29) entsprechend Anspruch 1 zusammenwirkt.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein elektrisches Funktionselement eine elektrische Leitung (3, 10, 32) oder eine elektrische oder dielektrische Wellenleitung ist.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein oder mehrere elektrische Funktionselemente Kontakte (2, 8, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 22, 23, 31 33,) sind, die gegenüber der Oberfläche nicht elektrisch isoliert sind.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Funktionselemente (3, 10, 11, 19, 20, 21) gegenüber der Oberfläche elektrisch isoliert vergraben sind.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Ziehwerkzeug mit einer oder mehreren Beschichtungen versehen ist
Ziehwerkzeug nach Anspruch 14 dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei mindestens einer Schicht (10) um ein halbleitendes Material handelt.
Ziehwerkzeug nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei einer Schicht um ein isolierendes Material wie beispielsweise mit Stickstoff dotierten Diamant oder SiO2 handelt.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 14 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei mindestens einer Schicht (2, 8) um ein Metall oder Graphit oder einen hochdotierten Halbleiter handelt.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder mehrere der Schichten (10, 2, 8) strukturiert sind.
Ziehwerkzeug nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturierung zumindest teilweise durch Dotierung erfolgt ist.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 18 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturierung zumindest teilweise durch Ätzung wie beispielsweise Ionenstrahlätzung, nasschemische Ätzung, Plasmaätzung und Sputtern oder mechanische Bearbeitung oder selektive Abscheidung erfolgt ist.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 14 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die strukturierte Beschichtung mindestens ein elektrisches oder mechanisches oder mikrofluidisches Funktionselement (29, 28) aufweist.
Ziehwerkzeug nach einem der Ansprüche 1 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei mindestens einem der elektrischen Funktionselemente um eine Leitung, eine Wellenleitung, einen Kontakt, eine Diode, einen Kondensator, eine Spule, einen Widerstand, eine Sicherung, einen Verschleißschalter, einen Transistor, eine Triode, eine Kreuzung, eine Durchkontaktierung, eine Antenne, einen Sensor oder einen Aktor handelt.
Verfahren zur Herstellung eines Werkstückes mit einem Ziehwerkzeug, welches gemäß eines der Ansprüche 1 bis 22 ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück unter Verwendung von Medien führenden Kapillaren während der Bearbeitung beschichtet und/oder temperiert wird.
Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück durch mindestens einen Heizer (21) geheizt wird.
Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizung durch alle integrierten Heizer in gleicher Weise erfolgt.
Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizung durch alle integrierten Heizer in bewusst ungleicher Weise erfolgt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück (6) unter Zuhilfenahme mindestens eines der mikromechanischen Funktionselemente (24, 29, 28) gekühlt wird.
Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlung mit Hilfe einer Flüssigkeit oder Flüssigkeitsmischungen (30) wie beispielsweise Wasser, kolodiale Lösungen von Öl in Wasser, Ölen, oder flüssigen Kohlenwasserstoffen und deren Verbindungen geschieht.
Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlung mit Hilfe eines verflüssigten Gases wie beispielsweise flüssigem Stickstoff, He, H2 oder O2 geschieht.
Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück im Bearbeitungsbereich, beispielsweise der Bearbeitungsöffnung bei Ziehsteinen, durch elektrische Kontakte (33) kontaktiert wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur im Bearbeitungsbereich (4, 5) erfasst wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 31, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck auf die Werkzeugoberfläche im Bearbeitungsbereich (4, 5) erfasst wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Leitfähigkeit im Bearbeitungsbereich (4, 5) erfasst wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 31 bis 33, dadurch gekennzeichnet, dass gleiche Parametertypen an verschiedenen Stellen im Bearbeitungsbereich (4, 5) gleichzeitig erfasst werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 31 bis 34_; dadurch gekennzeichnet, dass einige der gemessenen Parameter Druck, Temperatur oder elektrische Leitfähigkeit für die Regelung der Fertigungsparameter wie beispielsweise Vorschub, Temperatur und Kühlung und/oder die Einstellung der Fertigungsparametersymmetrie benutzt werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 35, dadurch gekennzeichnet, dass symmetrisch vorhandene Aktoren wie beispielsweise Heizer und Kontakte im Bearbeitungsbereich unsymmetrisch angesteuert werden, um nicht symmetrische Werkstückeigenschaften beispielsweise nicht axialsymmetrische Drahteigenschaften hervorzurufen.
Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 36, dadurch gekennzeichnet, dass die Aktorparameter bewusst moduliert werden, um entlang eines Werkstückes unterschiedliche Materialeigenschaften, beispielsweise hinsichtlich der Länge modifizierte Drahteigenschaften zu erzielen.
Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 37, dadurch gekennzeichnet, dass ein galvanischer Prozess Teil des Verfahrens ist.