DE102023108780A1 - Vorrichtung und verfahren zur bestimmung der sauberkeit von bauteiloberflächen mit flexibler messsonde - Google Patents
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Sauberkeit von Bauteiloberflächen mit einer Messsonde (10) zum Aufsetzen auf die zu untersuchende Bauteiloberfläche (18) mit einem Sondengehäuse (11), welches eine Messöffnung aufweist, die von einer Dichtung (17) umgeben ist, sodass die Messsonde (10) mit der Öffnung unter Abdichtung gegenüber der Umgebung auf die zu untersuchende Oberfläche (18) aufsetzbar ist, sodass innerhalb des Sondengehäuses (11) ein mit der zu untersuchenden Bauteiloberfläche abgeschlossener Messraum (19 definiert ist, wobei die Vorrichtung weiterhin mindestens einen Partikelsensor (20) umfasst, mit dem Partikel in oder aus dem Messraum (19) erfasst werden können, wobei das Sondengehäuse mindestens zweiteilig mit einem ersten Gehäuseteil (12) und einem zweiten Gehäuseteil (13) ausgebildet ist, wobei das erste Gehäuseteil (12) gegenüber dem zweiten Gehäuseteil (13) um mindestens eine Kippachse (21) verkippbar ist.
Description
- HINTERGRUND DER ERFINDUNG
- GEBIET DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Sauberkeit bzw. Reinheit von Bauteiloberflächen.
- STAND DER TECHNIK
- Bauteile, die in Vakuumanlagen eingesetzt werden, müssen gewissen Reinheitsanforderungen genügen, da verunreinigte Bauteile, die in diesen Vakuumanlagen eingesetzt werden, dazu führen, dass die Vakuumanlage durch sich von dem Bauteil lösende Partikel und Verunreinigungen verunreinigt wird und das darin erzeugte Vakuum bzw. die Eigenschaften der Anlage beeinträchtigt werden können. Dies gilt insbesondere auch für Anlagen, die im Zusammenhang mit der Mikro - oder Nano - Lithographie Verwendung finden, wie beispielsweise Projektionsbelichtungsanlagen. Insbesondere bei Systemen, die mit extrem ultraviolettem Licht (EUV - Licht) betrieben werden, können Bauteile, die den hohen Sauberkeitsanforderungen nicht entsprechen, Kontaminationen in die entsprechenden Anlagen einschleppen, sodass nicht nur das erforderliche Vakuum bzw. die entsprechend eingestellte Gasatmosphäre beeinträchtigt wird, sondern auch andere Komponenten der Anlage verunreinigt und beeinträchtigt werden können. Insbesondere können Verunreinigungen, wie Partikel, zu Transmissionsverlusten auf Grund von Streulicht führen oder, falls die Partikel im Bereich der die zu erzeugenden Strukturen tragenden Maske auftreten, entsprechende Abbildungsfehler mit Fehlproduktionen verursachen. Partikel, die in den Bereich von Aktuatoren gelangen, können darüber hinaus auch mechanische Funktionen beeinträchtigen.
- Es ist deshalb unabdingbar, dass Bauteile und Komponenten, die in den entsprechenden EUV - Lithographiesystemen eingesetzt werden, einer Inspektion bezüglich des Reinheitsgrades unterzogen werden, um den definierten Partikelbelastungen zu entsprechen.
- Hierzu können sogenannte Oberflächensonden eingesetzt werden, mit deren Hilfe der Reinheitsgrad einer zu untersuchenden Bauteiloberfläche charakterisiert werden kann. Ein rein schematisches Beispiel einer Messsonde 1 ist in
1 gezeigt. Die in der1 gezeigte Messsonde 1 weist ein Sondengehäuse 2 auf, welches eine Messöffnung aufweist, die auf die zu untersuchende Bauteiloberfläche 6 aufgesetzt wird. Die Messöffnung ist von einer Dichtung 5 umgeben, sodass das Sondengehäuse 2 luftdicht auf der zu untersuchenden Bauteiloberfläche 6 aufgesetzt werden kann. In dem so definierten Messraum ist eine Druckluftdüse 3 angeordnet, mit der Druckluft auf die zu untersuchende Bauteiloberfläche 6 aufgebracht wird, um Verunreinigungen, insbesondere in Form von Partikeln zu lösen. Diese werden über eine Absaugung 4 zu einem Partikelzähler (nicht gezeigt) geführt, der die in dem Messraum befindlichen bzw. aus dem Messraum stammenden Partikel erfasst. - Derartige Vorrichtungen zur Bestimmung der Sauberkeit von Bauteiloberflächen sind beispielsweise in den deutschen Offenlegungsschriften
DE 10 2015 203 161 A1 ,DE 10 2020 212 516 A1 undDE 10 2021 202 771 A1 offenbart, deren Offenbarungsgehalt durch Verweis hierin mitaufgenommen ist und die auch in Kombination mit der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden können. - Bei diesen Oberflächensonden werden vor allem Gehäuse mit kleinem Durchmesser der Messöffnungen eingesetzt, um so Partikel durch eingesetzte Druckluft effizient von der beaufschlagten Oberfläche lösen zu können. Aufgrund der kleinen Messöffnung entsteht beim Aufsetzen der abgedichteten Sonde auf die Bauteiloberfläche aber eine gewisse Instabilität, da aufgrund der kleinen, abgedichteten Messöffnung die Gefahr eines Verkippens der Messsonde und somit der Messöffnung gegenüber der zu untersuchenden Oberfläche gegeben ist.
- Sitzt die Messsonde 1 durch das Verkippen oder Abheben nicht mehr luftdicht auf der Bauteiloberfläche 6, entweicht die in dem Sondengehäuse 2 befindliche Luft zusammen mit bereits abgelösten Partikeln und führt zu falschen Messergebnissen.
- Ein Verkippen und somit schiefes Aufsetzen der Messsonde bzw. des Sondengehäuses 2 ist auch möglich, wenn der Zugang zur zu untersuchenden Oberfläche nicht frei möglich ist, sondern durch benachbarte Bauteile eingeschränkt ist. Dies ist insbesondere bei innen liegenden Flächen häufig der Fall, wenn oberhalb der zu untersuchenden Flächen kein ausreichender Platz für die Messsonde gegeben ist.
- Vor allem bei Messungen auf nicht horizontalen oder nur schwer zugänglichen Flächen besteht die Gefahr, dass es durch Hebelwirkung beim Greifen und Andrücken der Messsonde bzw. des Sondengehäuses leicht zu einem Verkippen der Messsonde kommt und dadurch der notwendige, abschließende Kontakt zwischen Messöffnung und zu untersuchender Oberfläche nicht mehr gewährleistet ist. Ferner kann dies zu einer unergonomischen Handhabung und entsprechenden Belastung für den Anwender führen.
- OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
- AUFGABE DER ERFINDUNG
- Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Sauberkeit von Bauteiloberflächen bereitzustellen, bei welchen die oben geschilderten Probleme des Standes der Technik vermieden oder zumindest verringert werden. Insbesondere sollen die Vorrichtung und das Verfahren zuverlässige Ergebnisse über den Kontaminationszustand einer Bauteiloberfläche von bereits in Baugruppen verbauten Bauteilen auch an schwer zugänglichen Stellen liefern und eine einfache und ergonomische Handhabung ermöglichen.
- TECHNISCHE LÖSUNG
- Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 11. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
- Zur Lösung der Aufgabenstellung schlägt die Erfindung vor, bei einer Messsonde einer Vorrichtung zur Bestimmung der Sauberkeit von Bauteiloberflächen, das Sondengehäuse mindestens zweiteilig mit einem ersten Gehäuseteil und einem zweiten Gehäuseteil auszubilden, wobei das erste Gehäuseteil gegenüber dem zweiten Gehäuseteil um mindestens eine Kippachse verkippbar ist, sodass das Sondengehäuse mit seiner Messöffnung auch an schwer zugänglichen Stellen in ergonomischer Weise zuverlässig an die zu untersuchende Bauteiloberfläche gedrückt werden kann und somit ein abgedichteter Messraum definiert ist, sodass keine Verfälschungen des Messergebnisses durch Entweichen von Partikeln aus dem Messraum auftreten können.
- Hierbei kann das erste Gehäuseteil die Messöffnung aufweisen, während das Sondengehäuse am zweiten Gehäuseteil gehalten und auf die zu untersuchende Oberfläche gedrückt wird.
- Die mindestens eine Kippachse kann quer, insbesondere senkrecht zur Normalen der Messöffnung orientiert sein, damit die Messöffnung sich beim Aufsetzen auf die zu untersuchende Oberfläche automatisch mit der zu untersuchenden Oberfläche ausrichten kann, sodass eine dichte Anlage der Messsonde gewährleistet wird.
- Erstes und zweites Gehäuseteil können über einen Verbindungsbereich miteinander verbunden sein, der sich parallel zur Messöffnung erstreckt, sodass sich also die Trennung von erstem und zweitem Gehäuseteil im Wesentlichen parallel zur Messöffnung erstreckt.
- Der Verbindungsbereich kann durch ein drittes, insbesondere ringförmiges Gehäuseteil gebildet sein, welches elastisch verformbar ist, um so die Verkippung von erstem und zweitem Gehäuseteil zueinander zu ermöglichen.
- Der Verbindungsbereich bzw. der dritte, insbesondere ringförmige Gehäuseteil kann aus einem reinraumtauglichen Material, welches keine oder möglichst wenige Partikel oder gasförmige Bestandteile freisetzt, gebildet sein und vorzugsweise aus mindestens einem der nachfolgen Bestandteile gebildet sein: Fluorelastomere, z.B. mit dem Handelsnamen Viton, Perfluoroelastomere, z.B. mit dem Handelsnamen Kalrez, Fluorkautschuk (FKM), Perfluorkautschuk (FFKM) oder auch Polytetrafluorethylen (PTFE).
- Darüber hinaus kann durch die Erzeugung eines Unterdrucks bzw. Vakuums in dem Messraum durch eine geeignete Absaugung auch der spätere Einsatz in einer Vakuumanlage bzw. einer EUV - Projektionsbelichtungsanlage oder einem sonstigen EUV - System simuliert werden, sodass das Messergebnis die realen Verhältnisse beim Einsatz in der entsprechenden Anlage, insbesondere beim Evakuieren und Belüften, besser wiedergibt.
- Entsprechend können neben den Einrichtungen für die Erzeugung von Druckluft bzw. Druckgas und entsprechenden Düsenvorrichtungen, wie dies bei den Oberflächensonden im Stand der Technik bereits bekannt ist, weitere Einrichtungen zur Simulation der späteren Einsatzbedingungen vorgesehen werden. Beispielsweise kann in das Sondengehäuse bestimmtes Gas zugeführt werden, um nach einer Erzeugung eines Vakuums im Messraum auch die Zufuhr von Gas, also das Belüften, simulieren zu können.
- Zu diesem Zweck kann auch eine Plasmaerzeugungseinrichtung zur Erzeugung eines Plasmas im Messraum vorgesehen werden, um das Ablösen von Partikel unter Systembedingungen zu simulieren.
- Darüber hinaus können auch weitere Einrichtungen vorgesehen sein, die zum Lösen von Partikeln und / oder zum Simulieren der Einsatzbedingungen beitragen können, wie beispielsweise eine Heizeinrichtung zur Erwärmung des Messraums bzw. der Bauteiloberfläche.
- Entsprechend kann auch eine Vibrationseinrichtung vorgesehen sein, um durch Erschütterungen der zu untersuchenden Bauteiloberfläche ebenfalls ein Loslösen der Partikel bzw. Kontaminationen zu erreichen.
- Entsprechende Partikelsensoren können im oder am Messraum angeordnet sein, sodass die Partikel unmittelbar im Messraum erfasst werden können. Alternativ können entsprechende Partikelsensoren auch entfernt von der Messsonde bzw. dem Sondengehäuse und dem Messraum angeordnet sein, wenn der Messraum bzw. Teilmessraum über eine Leitung oder Schlauch mit dem Partikelsensor verbunden ist.
- In einer entsprechenden Absaugleitung aus dem Messraum oder Teilmessraum kann auch ein Partikelfilter zur Entnahme von Partikeln angeordnet sein, sodass über den Partikelfilter und die dort entnommenen Partikel nicht nur Aussagen über die Menge und / oder Größe der Partikel und Verunreinigungen getroffen werden können, sondern die Partikel auch analysiert werden können, sodass über die Art der Kontaminationen und gegebenenfalls über ihren Ursprung Informationen gewonnen werden können.
- Figurenliste
- Die beigefügten Zeichnungen zeigen in rein schematischer Weise in
-
1 eine Vorrichtung zur Bestimmung der Sauberkeit von Bauteiloberflächen mit einer Messsonde nach dem Stand der Technik und in -
2 eine Darstellung einer Vorrichtung zur Bestimmung der Sauberkeit vom Bauteiloberfläche mit einer Messsonde gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. - AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
- Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der Ausführungsbeispiele ersichtlich. Allerdings ist die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt.
- Die
2 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines Teils einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Bestimmung der Sauberkeit von Bauteiloberflächen. In der2 ist die Messsonde 10 einer entsprechenden Vorrichtung in einer rein schematischen Darstellung gezeigt. Die Messsonde 10 weist ähnlich der bekannten Messsonde 1 aus dem Stand der Technik, die in1 wiedergegeben ist, ein Sondengehäuse 11 auf, welches einen Messraum 19 umgibt. Das Sondengehäuse 11 ist gemäß der Darstellung der2 an der Unterseite offen, wobei die so geschaffene Messöffnung 23 von einer Dichtung 17 umgeben ist. Entsprechend wird die Messöffnung 23, wenn das Sondengehäuse 11 auf einer zu untersuchenden Bauteiloberfläche 18 aufgesetzt ist, gegenüber der Bauteiloberfläche 18 abgedichtet, sodass sich ein gasdicht gegenüber der zu untersuchenden Bauteiloberfläche abgedichteter Messraum 19 ergibt. - Wie sich ebenfalls aus der
2 ergibt, ist das Sondengehäuse 11 in zwei Gehäuseteile 12, 13 unterteilt, die durch einen Verbindungsbereich 16 bzw. ein drittes Gehäuseteil 16 miteinander verbunden sind. - Im Bereich des zweiten Gehäuseteils 13 ist an der Oberseite des Sondengehäuses 11 eine Druckgaszuführung 14 bzw. Druckluftzuführung angeordnet, die mit einer Druckluftdüse 24 bzw. Düsenvorrichtung verbunden ist, um Druckluft in Form von z.B. extrem reiner, trockener Druckluft (Extreme Clean Dry Air XCDA) oder reinen, trockenen Stickstoff auf die zu untersuchende Bauteiloberfläche 18 zu strahlen. Die Druckluftdüse 24 kann insbesondere so ausgestaltet sein, dass eine turbulente Strömung im Messraum 19 erzeugt wird, um Partikel und Kontaminationen an der zu untersuchenden Bauteiloberfläche 18 im Bereich des Messraums 19 zu lösen.
- Die in den Messraum 19 eingeführte Druckluft kann über eine Absaugung 15, die ebenfalls an der Oberseite des zweiten Gehäuseteils 13 angeordnet ist, wieder aus dem Messraum 19 entweichen. Im Messraum 19 kann ein Partikelsensor 20 angeordnet sein, der die aus dem Messraum 19 abgesaugten Partikel erfasst. Beispielsweise kann dies ein Streulichtsensor zur Zählung der Partikel sein.
- Über die Absaugung 15 gelangt die in dem Messraum 19 eingeblasene Druckluft alternativ oder zusätzlich zu einem Partikelzähler (nicht dargestellt), mit dem die Anzahl der Partikel im Messraum 19 erfasst werden kann. Alternativ zu einem Partikelzähler können auch andere geeignete Partikelsensoren eingesetzt werden, die eine Erfassung der im Messraum 19 befindlichen Partikel ermöglichen.
- Zwischen dem ersten Gehäuseteil 12 mit der Messöffnung 23 und dem zweiten Gehäuseteil 13 ist ein drittes Gehäuseteil 16 angeordnet, welches das erste Gehäuseteil 12 und das zweite Gehäuseteil 13 verbindet. Bei einer zylindrischen Form des zweiten Gehäuseteils 13 und einer kegelstumpfförmigen Gestalt des ersten Gehäuseteils 12 weist das dritte Gehäuseteil 16 der gezeigten Ausführungsform eine zylinderförmige Ringform auf.
- Das dritte Gehäuseteil 16 ist aus einem reinraumtauglichen, elastisch verformbaren Material, wie z.B. aus Fluorelastomeren, die z.B. unter dem Handelsnamen Viton vertrieben werden, Perfluoroelastomeren, die beispielsweise unter dem Handelsnamen Kalrez vertrieben werden, Fluorkautschuk (FKM), Perfluorkautschuk (FFKM) oder auch Polytetrafluorethylen (PTFE) gebildet. Dadurch ist es möglich das zweite Gehäuseteil 13 gegenüber dem ersten Gehäuseteil 12 zu verkippen, und zwar beispielsweise um eine Kippachse 21, die senkrecht zur Normalen 22 zur Messöffnung 23 oder der zu untersuchenden Oberfläche 18 angeordnet ist. Durch die elastisch verformbare Ausbildung des dritten Gehäuseteils 16 bzw. Verbindungsbereichs 16 zwischen erstem Gehäuseteil 12 und zweitem Gehäuseteil 13 sind eine Vielzahl von Kippachsen 21 gedreht um 360° um die Normale 22 möglich, sodass unabhängig von der Orientierung der Normalen 22 der Messöffnung 23 zur Normalen 22 der zu untersuchenden Oberfläche 18 bzw. einer Verkippung des Sondengehäuses 11 zur zu untersuchenden Oberfläche 18 beim Aufsetzen der Messsonde 10 auf die zu untersuchende Oberfläche 18 die Normale 22 der Messöffnung 23 zur Normalen 22 der zu untersuchenden Oberfläche 18 ausrichtet, sodass die Messöffnung 23 parallel zur zu untersuchenden Oberfläche 18 angeordnet wird und die Dichtung 17 fest an der zu untersuchenden Oberfläche 18 angeordnet wird. Auf diese Weise ist eine sichere und dichte Anordnung der Messsonde 10 an der zu untersuchenden Oberfläche 18 möglich.
- Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann selbstverständlich, dass die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern dass vielmehr Abwandlungen in der Weise möglich sind, dass einzelne Merkmale weggelassen oder andersartige Kombinationen von Merkmalen verwirklicht werden können, ohne dass der Schutzbereich der beigefügten Ansprüche verlassen wird. Insbesondere schließt die vorliegende Offenbarung sämtliche Kombinationen der in den verschiedenen Ausführungsbeispielen gezeigten Einzelmerkmale mit ein, sodass einzelne Merkmale, die nur in Zusammenhang mit einem Ausführungsbeispiel beschrieben sind, auch bei anderen Ausführungsbeispielen oder nicht explizit dargestellten Kombinationen von Einzelmerkmalen eingesetzt werden können.
- Bezugszeichenliste
-
- 1
- Messsonde
- 2
- Sondengehäuse
- 3
- Druckluftdüse
- 4
- Absaugung zum Partikelzähler
- 5
- Dichtung
- 6
- Bauteiloberfläche
- 10
- Messsonde
- 11
- Sondengehäuse
- 12
- erstes Gehäuseteil
- 13
- zweites Gehäuseteil
- 14
- Druckgaszuführung
- 15
- Absaugung zum Partikelzähler
- 16
- drittes Gehäuseteil und Verbindungsbereich
- 17
- Dichtung
- 18
- zu untersuchende Bauteiloberfläche
- 19
- Messraum
- 20
- Partikelsensor
- 21
- Kippachse
- 22
- Normale
- 23
- Messöffnung
- 24
- Düse
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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- Zitierte Patentliteratur
-
- DE 102015203161 A1 [0005]
- DE 102020212516 A1 [0005]
- DE 102021202771 A1 [0005]
Claims (14)
- Vorrichtung zur Bestimmung der Sauberkeit von Bauteiloberflächen mit einer Messsonde (10) zum Aufsetzen auf die zu untersuchende Bauteiloberfläche (18) mit einem Sondengehäuse (11), welches eine Messöffnung aufweist, die von einer Dichtung (17) umgeben ist, sodass die Messsonde (10) mit der Messöffnung unter Abdichtung gegenüber der Umgebung auf die zu untersuchende Oberfläche (18) aufsetzbar ist, sodass innerhalb des Sondengehäuses (11) ein mit der zu untersuchenden Bauteiloberfläche abgeschlossener Messraum (19) definiert ist, wobei die Vorrichtung weiterhin mindestens einen Partikelsensor (20) umfasst, mit dem Partikel in oder aus dem Messraum (19) erfasst werden können, dadurch gekennzeichnet, dass das Sondengehäuse (11) mindestens zweiteilig mit einem ersten Gehäuseteil (12) und einem zweiten Gehäuseteil (13) ausgebildet ist, wobei das erste Gehäuseteil (12) gegenüber dem zweiten Gehäuseteil (13) um mindestens eine Kippachse (21) verkippbar ist.
- Vorrichtung nach
Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das erste Gehäuseteil (12) die Messöffnung (23) aufweist. - Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Kippachse (21) quer, insbesondere senkrecht zur Normalen (22) der Messöffnung (23) orientiert ist.
- Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass erstes und zweites Gehäuseteil (12,13) über einen Verbindungsbereich (16) miteinander verbunden sind, der sich parallel zur Messöffnung (23) erstreckt.
- Vorrichtung nach
Anspruch 4 , dadurch gekennzeichnet, dass der Verbindungsbereich (16) durch ein drittes, insbesondere ringförmiges Gehäuseteil (16) gebildet ist, welches elastisch verformbar ist. - Vorrichtung nach
Anspruch 4 oder5 , dadurch gekennzeichnet, dass der Verbindungsbereich (16) aus mindestens einem Bestandteil der Gruppe gebildet ist, die Fluorelastomeren, Perfluoroelastomere, Fluorkautschuk (FKM), Perfluorkautschuk (FFKM) und Polytetrafluorethylen (PTFE) umfasst. - Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sondengehäuse (11) eine Gaszuführungseinrichtung (14) zum zumindest teilweisen Befüllen des Messraums (19) mit Gas aufweist.
- Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine Druckgaserzeugungseinrichtung umfasst, mit der Druckluft oder ein anderes Gas mit einem über Atmosphärendruck liegenden Druck erzeugbar ist.
- Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messsonde (10) eine Düsenvorrichtung (24) umfasst, mit der Druckluft oder ein anderes Gas mit Druck auf die zu untersuchende Bauteiloberfläche (18) geleitet werden kann.
- Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Partikelsensor (20) so im oder am Messraum (19) angeordnet ist, dass die Partikel im Messraum (19) erfasst werden, oder der Partikelsensor entfernt von der Messsonde (10) angeordnet ist, sodass die Partikel aus dem Messraum (19) über eine Leitung (15) zu dem Partikelsensor geführt werden.
- Verfahren zur Bestimmung der Sauberkeit von Bauteiloberflächen, insbesondere mit einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welchem eine Messsonde (10) mit einem Sondengehäuse (11), welches eine Messöffnung (23) aufweist, die von einer Dichtung (17) umgeben ist, mit der Messöffnung (23) unter Abdichtung gegenüber der Umgebung auf die zu untersuchende Oberfläche (18) aufgesetzt wird, sodass innerhalb des Sondengehäuses (11) ein mit der zu untersuchenden Bauteiloberfläche (18) abgeschlossener Messraum (19) definiert wird, wobei mit mindestens einem Partikelsensor (20) Partikel in oder aus dem Messraum (19) erfasst werden, dadurch gekennzeichnet, dass das Sondengehäuse (11) mindestens zweiteilig mit einem ersten Gehäuseteil (12) und einem zweiten Gehäuseteil (13) ausgebildet ist, wobei das erste Gehäuseteil (12) gegenüber dem zweiten Gehäuseteil (13) um mindestens eine Kippachse verkippbar ist, sodass das Sondengehäuse (11) beim Aufsetzen auf die zu untersuchende Oberfläche (18) mit der Messöffnung (23) parallel zur zu untersuchenden Oberfläche (18) ausgerichtet wird.
- Verfahren nach
Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass vor und / oder während und / oder nach der Erfassung der Partikel mit dem Partikelsensor (20) ein Gas, insbesondere ein Gas aus der Gruppe, die extrem reine trockene Luft, Stickstoff und Edelgase umfasst, in den Messraum (19) eingelassen wird. - Verfahren nach
Anspruch 11 oder12 , dadurch gekennzeichnet, dass vor und / oder während und / oder nach der Erfassung der Partikel mit dem Partikelsensor (20) ein Gas mit einem über Atmosphärendruck liegenden Druck auf die zu untersuchende Bauteiloberfläche (18) gestrahlt wird, insbesondere ein Gas aus der Gruppe, die extrem reine trockene Luft, Stickstoff und Edelgase umfasst. - Verfahren nach einem der
Ansprüche 11 bis13 , dadurch gekennzeichnet, dass das Sondengehäuse (11) beim Aufsetzen auf die zu untersuchende Oberfläche am zweiten Gehäuseteil (13) gehalten wird und das erste Gehäuseteil (12) an der zu untersuchenden Oberfläche angeordnet wird.
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