DE102022212130A1

DE102022212130A1 - Kriechvorschub-schleifvorrichtung

Info

Publication number: DE102022212130A1
Application number: DE102022212130.9A
Authority: DE
Inventors: Keisuke Nakano; Satoshi Yamanaka; Ryo Shimazu
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-11-22
Filing date: 2022-11-15
Publication date: 2023-05-25
Also published as: US20230158628A1; CN116141108A; KR20230075355A; JP2023076059A; TW202320984A

Abstract

Eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung beinhaltet einen Spanntisch, eine Schleifeinheit mit einer Spindel und einer Schleifscheibe, die an einem unteren Ende der Spindel angebracht ist, wobei die Schleifscheibe mehrere Schleifsteine aufweist, die in einer ringförmigen Anordnung an einer Fläche einer ringförmigen Basis angeordnet sind, wobei die Schleifsteine bei einer Drehung der Spindel einer ringförmigen Bahn folgen, einen Bewegungsmechanismus zum Bewegen des Spanntischs und der Schleifeinheit relativ zueinander entlang einer vorbestimmten Richtung senkrecht zu der Längsachse der Spindel, und einen Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche zum Einstellen von Zuständen unterer Flächen der Schleifsteine durch Reinigen und/oder Korrigieren der unteren Flächen der Schleifsteine. Der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche ist außerhalb eines Relativbewegungsbereichs des Spanntischs positioniert, in dem der Spanntisch und die Schleifeinheit durch den Bewegungsmechanismus relativ zueinander bewegt werden.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung zum Schleifen eines Werkstücks mit einer Schleifscheibe, während eine Schleifeinheit mit einer Spindel, bei der die Schleifscheibe an einem unteren Ende von dieser angebracht ist, und ein Spanntisch, der an sich das Werkstück unter Saugwirkung hält, relativ zueinander in einer Richtung senkrecht zu der Längsachse der Spindel bewegt werden.
BESCHREIBUNG DES IN BEZIEHUNG STEHENDEN STANDS DER TECHNIK
Teile elektronischer Ausrüstung, wie zum Beispiel Mobiltelefone und PCs, enthalten typischerweise Bauelementchips, die solche Bauelemente, wie zum Beispiel integrierte Schaltkreise (ICs), aufweisen. Bauelementchips werden wie folgt hergestellt: Als Erstes werden mehrere projizierte Trennlinien oder Straßen in einer gitterförmigen Struktur an der Stirnseite eines Wafers eingerichtet, der aus einem Halbleiter, wie zum Beispiel Silizium, hergestellt ist, und Bauelemente werden in jeweiligen rechteckigen Bereichen ausgebildet, die auf der Stirnseite des Wafers durch die projizierten Trennlinien abgegrenzt sind. Dann wird eine Schneidvorrichtung verwendet, um den Wafer entlang der Straßen in einzelne Teile zu Bauelementchips zu zerschneiden. In den letzten Jahren war es üblich, die Rückseite eines Wafers zu schleifen, nachdem auf dessen Stirnseite Bauelemente ausgebildet worden sind, wodurch die fertige Dicke der aus dem Wafer herzustellenden Bauelementchips reduziert wird, mit der Absicht, die Größe und das Gewicht der Bauelementchips zu verringern.
Wafer werden beispielsweise unter Verwendung einer Kriechvorschub-Schleifvorrichtung geschliffen (siehe offengelegtes japanisches Patent Nr. 2010-103192). Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung schließt einen Haltetisch mit einer Haltefläche ein, um daran unter Saugwirkung ein Werkstück, das heißt einen Wafer, zu halten. Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung schließt auch eine Schleifeinheit ein, die oberhalb der Haltefläche angeordnet ist. Die Schleifeinheit weist eine zylindrische Spindel auf, deren Längsachse sich im Wesentlichen senkrecht zu der Haltefläche erstreckt. In der Regel verläuft die Längsachse der Spindel im Wesentlichen parallel zu einer Z-Achse der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung, zum Beispiel einer vertikalen Achse. Die Spindel weist ein unteres Ende auf, an dem eine ringförmige Schleifscheibe durch einen dazwischen angeordneten kreisförmigen Tellerhalter angebracht ist.
Die Schleifscheibe weist eine ringförmige Basis auf, deren untere Fläche an sich eine ringförmige Anordnung von Schleifsteinen unterstützt, die in im Wesentlichen gleichen Abständen entlang von Umfangsrichtungen der ringförmigen Basis beabstandet sind. Wenn die Spindel um ihre Mittelachse, das heißt ihre Längsachse, gedreht wird, wird auch die Schleifscheibe um ihre Mittelachse gedreht, was es den Schleifsteine ermöglicht, eine ringförmige Schleiffläche entlang einer ringförmigen Bahn bereitstellen, die aus den unteren Flächen der Schleifsteine gebildet wird, während sie sich zusammen mit der Schleifscheibe drehen. Damit die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in einem Kriechvorschub-Schleifmodus arbeiten kann, wird das Werkstück mit seiner Stirnseite unter Saugwirkung auf der Haltefläche gehalten, wobei seine Rückseite nach oben hin exponiert ist, und die Schleifvorrichtung wird in ihrer vertikalen Position oder Höhe so eingestellt, dass die ringförmige Schleiffläche etwas niedriger ist als die exponierte Rückseite des Werkstücks. Dann wird der Spanntisch entlang einer X-Achse senkrecht zu der Z-Achse bewegt, um die Schleifsteine dazu zu bringen, die Rückseite des Werkstücks in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu schleifen.
In dem Kriechvorschub-Schleifmodus ist die Belastung, die entlang der X-Achse auf die äußeren Seitenflächen der Schleifsteine aufgebracht wird, tendenziell größer als die Belastung, die entlang der Z-Achse auf die unteren Flächen der Schleifsteine aufgebracht wird. Im Gegensatz dazu ist in einem Vorschub-Schleifmodus, bei dem die Bearbeitungseinheit entlang der Z-Achse nach unten zugeführt wird, während der unter der Schleifeinheit angeordnete Spanntisch gedreht wird, die Belastung, die entlang der Z-Achse auf die unteren Flächen der Schleifsteine aufgebracht wird, tendenziell größer als die Belastung, die entlang der X-Achse auf die äußeren Seitenflächen der Schleifsteine aufgebracht wird.
In dem Kriechvorschub-Schleifmodus sind die unteren Flächen der Schleifsteine in Abhängigkeit von den Belastungen, die beim Schleifen des Werkstücks auf die Schleifsteine aufgebracht werden, zu einem geringeren Ausmaß anfällig für Verschleiß als die unteren Flächen der Schleifsteine, die in dem Vorschub-Schleifmodus für Verschleiß anfällig sind. In dem Kriechvorschub-Schleifmodus ist es daher wahrscheinlich, dass die unteren Flächen der Schleifsteine eine Schleifsteinzustandsstörung oder eine Schleifsteinfehlfunktion, wie zum Beispiel eine Schleifsteinüberlastung, erleiden. Insbesondere ist es wahrscheinlicher, dass die unteren Flächen der Schleifsteine eine Schleifsteinfehlfunktion erfahren, wenn die Schleifsteine in dem Kriechvorschub-Schleifmodus ein Substrat aus Harz schleifen.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Eine solche Schleifsteinzustandsstörung kann durch einen Abrichtschritt zum Abrichten der Schleifsteine zusätzlich zu einem Schleifschritt zum Schleifen des Werkstücks in dem Kriechvorschub-Schleifmodus beseitigt werden. Der zusätzliche Abrichtschritt senkt jedoch die Effizienz des Schleifens in dem Kriechvorschub-Schleifmodus.
Die vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht der oben genannten Schwierigkeiten gemacht. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung bereitzustellen, die imstande ist, eine Schleifsteinzustandsstörung an den unteren Flächen von Schleifsteinen zu beseitigen, ohne die Effizienz des Schleifens zu verringern.
In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung bereitgestellt, die einen Spanntisch mit einer Haltefläche zum daran Halten eines Werkstücks unter Saugwirkung, eine Schleifeinheit mit einer um eine Längsachse von dieser drehbaren Spindel und eine an einem unteren Ende der Spindel montierte Schleifscheibe, wobei die Schleifscheibe eine ringförmige Basis und mehrere Schleifsteine beinhaltet, die in einer ringförmigen Anordnung an einer Fläche der ringförmigen Basis angeordnet sind, die Schleifsteine bei einer Drehung der Spindel einer ringförmigen Bahn folgen und die ringförmige Bahn einen Außendurchmesser aufweist, der größer als der Durchmesser des Spanntischs ist, einen Bewegungsmechanismus zum Bewegen des Spanntischs und der Schleifeinheit relativ zueinander entlang einer vorbestimmten Richtung senkrecht zu der Längsachse der Spindel, und einen Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche zum Einstellen der Zustände der unteren Flächen der Schleifsteine durch Reinigen oder Korrigieren oder Reinigen und Korrigieren der unteren Flächen, die mit dem Werkstück an der Haltefläche in Kontakt gehalten werden, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in einem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift, aufweist, wobei der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche außerhalb eines Relativbewegungsbereichs des Spanntischs positioniert ist, in dem der Spanntisch und die Schleifeinheit durch den Bewegungsmechanismus relativ zueinander bewegt werden.
Vorzugsweise weist der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine erste Düse auf, um Hochdruckwasser auf die unteren Flächen der Schleifsteine auszustoßen, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Vorzugsweise weist der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine zweite Düse auf, um Hochdruckwasser, das Schleifkörner aufweist, auf die unteren Flächen der Schleifsteine auszustoßen, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Vorzugsweise weist der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine dritte Düse auf, um ein Zweifluidgemisch aus Wasser und Luft zu den unteren Flächen der Schleifsteine auszustoßen, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Vorzugsweise weist der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche einen Abrichter für einen Kontakt mit den unteren Flächen der Schleifsteine auf, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Vorzugsweise weist der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine Bürste für einen Kontakt mit den unteren Flächen der Schleifsteine auf, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Vorzugsweise weist der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine Laserstrahl-Aufbringeinheit auf, die einen Strahlkondensor zum Aufbringen eines Laserstrahls auf die unteren Flächen der Schleifsteine beinhaltet, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit dem Aspekt der vorliegenden Erfindung beinhaltet den Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche. Der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche ist außerhalb des Relativbewegungsbereichs des Spanntischs positioniert, in dem der Spanntisch und die Schleifeinheit durch den Bewegungsmechanismus relativ zueinander bewegt werden. Der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche stellt die Zustände der unteren Flächen der Schleifsteine ein, indem er die unteren Flächen reinigt oder korrigiert oder reinigt und korrigiert, die mit dem Werkstück an der Haltefläche in Kontakt gehalten werden, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift. Wenn die Schleifeinheit das Werkstück beispielsweise in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift, beseitigt der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine Schleifsteinzustandsstörung oder Schleifsteinfehlfunktion, wie zum Beispiel eine Schleifsteinbelastung, durch Reinigen und/oder Korrigieren der unteren Flächen der Schleifsteine, die außerhalb des Spanntischs positioniert sind. Folglich kann eine Schleifsteinzustandsstörung der unteren Flächen der Schleifsteine beseitigt werden, ohne dass die Effizienz des Schleifens in dem Kriechvorschub-Schleifmodus beeinträchtigt wird.
Der obige und andere Gegenstände, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise ihrer Umsetzung werden durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der beigefügten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, deutlicher, und die Erfindung selbst wird hierdurch am besten verstanden.
Figurenliste

1 ist eine seitliche Teilschnittansicht einer Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 ist eine Draufsicht, welche die Weise veranschaulicht, wie die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in einem Kriechvorschub-Schleifmodus arbeitet;
3A ist eine seitliche Teilschnittansicht eines Werkstücks und von Komponenten der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung zu dem Zeitpunkt, zu dem der Kriechvorschub-Schleifmodus gestartet wird;
3B ist eine seitliche Teilschnittansicht des Werkstücks und der Komponenten der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung, die nach einem einzigen Durchgang eines Spanntischs in dem Kriechvorschub-Schleifmodus erhalten wird;
4 ist eine perspektivische Ansicht des Werkstücks und der Komponenten der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung, die in dem Kriechvorschub-Schleifmodus arbeitet;
5 ist eine Draufsicht auf eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit einer ersten Abwandlung der ersten Ausführungsform;
6 ist eine perspektivische Ansicht der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit der ersten Abwandlung der ersten Ausführungsform;
7 ist eine Draufsicht auf eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit einer zweiten Abwandlung der ersten Ausführungsform;
8 ist eine seitliche Teilschnittansicht einer Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
9 ist eine seitliche Teilschnittansicht einer Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
10 ist eine seitliche Teilschnittansicht einer Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
11 ist eine seitliche Teilschnittansicht einer Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
12 ist eine seitliche Teilschnittansicht einer Kriechvorschub-Schleifvorrichtung in Übereinstimmung mit einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

AUSFÜHRLICHE ERLÄUTERUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachfolgend werden bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen im Detail beschrieben. Gleiche oder ähnliche Komponenten sind in allen Ansichten durch gleiche oder ähnliche Bezugszeichen gekennzeichnet. In den Zeichnungen sind Kriechvorschub-Schleifvorrichtungen in Übereinstimmung mit den bevorzugten Ausführungsformen in Bezug auf ein dreidimensionales Koordinatensystem veranschaulicht, dessen X-, Y- und Z-Achse jeweils durch die Pfeile X, Y und Z gekennzeichnet sind. Die X-Achse und die Y-Achse liegen in einer horizontalen Ebene, während sich die Z-Achse senkrecht zu der horizontalen Ebene erstreckt. X-Achsenrichtungen, das heißt die Vorwärts- und Rückwärtsrichtung, erstrecken sich parallel zu der X-Achse, und Y-Achsenrichtungen, das heißt die Links- und Rechtsrichtung, erstrecken sich parallel zu der Y-Achse. Z-Achsenrichtungen, das heißt die Aufwärts- und Abwärtsrichtung, erstrecken sich parallel zu der Z-Achse senkrecht zu der X-Achse und der Y-Achse.
1 veranschaulicht beispielhaft in einer seitlichen Teilschnittansicht eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 in Übereinstimmung mit einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Wie in 1 veranschaulicht, schließt die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 eine Basis 4 ein, die an sich verschiedene Komponenten der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 unterstützt und in sich aufnimmt. Die Basis 4 weist in einem oberen Abschnitt eine Aussparung 4a in Form eines rechteckigen Quaders auf, die sich nach oben hin öffnet. Die Aussparung 4a weist eine Längsachse auf, die sich entlang der X-Achse erstreckt.
Ein kreisförmiger Spanntisch 6 ist bewegbar in der Aussparung 4a angeordnet. Der Spanntisch 6 weist einen kreisförmigen Plattenrahmen 8 auf, der aus Keramik hergestellt ist und der eine kreisförmige Plattenkavität 8a aufweist, die in einem oberen Abschnitt desselben definiert ist und sich nach oben hin öffnet. In der Kavität 8a ist eine kreisförmige, poröse Platte 10 aus poröser Keramik feststehend angeordnet. Der Rahmen 8 und die poröse Platte 10 weisen jeweils obere Flächen auf, die im Wesentlichen bündig zueinander liegen und gemeinsam eine Haltefläche 6a bereitstellen, die im Wesentlichen parallel zu der X-Achse und zu der Y-Achse liegt. Der Rahmen 8 weist einen Fluidkanal 8b auf, der darin definiert ist und die poröse Platte 10 mit einer nicht veranschaulichten Saugquelle, wie zum Beispiel einem Ejektor, in Fluidverbindung bringt. Wenn ein von der Saugquelle erzeugter Unterdruck durch den Fluidkanal 8b zu der porösen Platte 10 übertragen wird, wird ein Werkstück 11 (siehe 2), das auf der Haltefläche 6a platziert ist, unter dem auf die poröse Platte 10 aufgebrachten Unterdruck an der Haltefläche 6a unter Saugwirkung gehalten. Der Spanntisch 6 wird von einer rechteckigen, auf der X-Achse bewegbaren Platte 12 unterstützt.
Die auf der X-Achse bewegbare Platte 12 ist auf einem Paar nicht veranschaulichter Führungsschienen verschiebbar unterstützt, die in der Aussparung 4a angeordnet sind und sich im Wesentlichen parallel zu der X-Achse erstrecken. Eine Mutter 14 ist fest an einer unteren Fläche der auf der X-Achse bewegbaren Platte 12 angebracht und funktionsfähig auf eine Schraubenwelle 16 geschraubt, die drehbar zwischen den Führungsschienen angeordnet ist und sich entlang der X-Achse erstreckt. Die Schraubenwelle 16 weist ein Ende auf, das mit einem Rotationsaktuator 18, wie zum Beispiel einem Elektromotor, verbunden ist, um die Schraubenwelle 16 um ihre Mittelachse zu drehen. Wenn der Rotationsaktuator 18 mit Strom versorgt wird, dreht er die Schraubenwelle 16 um ihre Mittelachse und veranlasst die Mutter 14, den Spanntisch 6 entlang der X-Achse zu bewegen. Die auf der X-Achse bewegbare Platte 12, die Mutter 14, die Schraubenwelle 16, der Rotationsaktuator 18 usw. bilden zusammen einen X-Achsen-Bewegungsmechanismus 20 zum Bewegen des Spanntischs 6 entlang der X-Achse aus.
Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 schließt eine Trägerstruktur 22 in Form eines rechteckigen Quaders ein, der von einem Ende der Basis 4 in einer der X-Achsenrichtungen über die Öffnung der Aussparung 4a hinaus hinter dem X-Achsen-Bewegungsmechanismus 20 nach oben hervorsteht. Die Stützstruktur 22 ist integral mit der Basis 4 verbunden und unterstützt einen Z-Achsen-Bewegungsmechanismus 24 an einer vorderen Fläche davon, die in die andere der X-Achsenrichtungen weist. Der Z-Achsen-Bewegungsmechanismus 24 ist fest an der vorderen Fläche der Stützstruktur 22 angebracht und beinhaltet ein Paar Führungsschienen 26, die sich parallel zueinander vertikal entlang der Z-Achse erstrecken. Ein mit einem Boden versehener hohlzylindrischer Halter 28 ist verschiebbar an den Führungsschienen 26 angebracht, um sich entlang der Z-Achse zu bewegen, und ist vor den Führungsschienen 26 angeordnet. Eine Mutter 30 ist fest an einer hinteren Fläche des Halters 28 angebracht. Die Mutter 30 ist funktionsfähig auf eine Schraubenwelle 32 geschraubt, die drehbar zwischen den Führungsschienen 26 angeordnet ist und sich entlang der Z-Achse erstreckt. Die Schraubenwelle 32 weist ein oberes Ende auf, das mit einem Rotationsaktuator 34, wie zum Beispiel einem Elektromotor, verbunden ist, um die Schraubenwelle 32 um ihre Mittelachse zu drehen. Wenn der Rotationsaktuator 34 mit Strom versorgt wird, dreht er die Schraubenwelle 32 um ihre Mittelachse, wodurch die Mutter 30 veranlasst wird, den Halter 28 entlang der Z-Achse zu bewegen.
Der Halter 28 hält eine Schleifeinheit 36, die ein hohlzylindrisches Spindelgehäuse 38 aufweist, das in dem Halter 28 angeordnet ist. Das Spindelgehäuse 38 wird an einer Bodenwand des Halters 28 unterstützt. Die Schleifeinheit 36 beinhaltet eine zylindrische Spindel 40, die einen Abschnitt aufweist, der drehbar in dem Spindelgehäuse 38 untergebracht ist. Die Spindel 40 weist eine Längsachse auf, die sich vertikal entlang der Z-Achse erstreckt. Die Spindel 40 weist ein oberes Ende auf. Ein nicht veranschaulichter Rotationsaktuator wie zum Beispiel ein Elektromotor ist in der Nähe des oberen Endabschnitts der Spindel 40 bereitgestellt.
Die Spindel 40 weist einen unteren Endabschnitt auf, der von dem Halter durch eine in der Bodenwand des Halters 28 definierte Durchgangsöffnung nach unten hervorsteht. Ein kreisförmiger Tellerhalter 42 ist an einem unteren Ende der Spindel 40 angebracht. Eine ringförmige Schleifscheibe 44 ist durch die Halterung 42 an dem unteren Ende der Spindel 40 angebracht. Die Schleifscheibe 44 weist einen Außendurchmesser auf, der im Wesentlichen dem Durchmesser der Halterung 42 gleicht. Die Schleifscheibe 44 beinhaltet eine ringförmige Basis 46, die aus einem metallischen Material, wie zum Beispiel einer Aluminiumlegierung, hergestellt ist. Die ringförmige Basis 46 weist eine obere Fläche auf, die mit nicht veranschaulichten Befestigungsmitteln, wie zum Beispiel Schrauben, an einer unteren Fläche der Halterung 42 gesichert ist. Die ringförmige Basis 46 weist eine untere Fläche 46a auf, an der eine ringförmige Anordnung von Schleifsteinen 48 angeordnet ist, die in im Wesentlichen gleichen Abständen entlang von Umfangsrichtungen der ringförmigen Basis 46 angeordnet sind. Jeder der Schleifsteine 48 weist im Wesentlichen die Form eines Blocks auf und ist aus Schleifkörnern aus Diamant oder kubischem Bornitrid (cBN) und einem Bindemittel, das heißt einem Bindematerial, aus Metall, Harz oder Keramik ausgebildet, das die Schleifkörner zusammenhält.
Wenn der Z-Achsen-Bewegungsmechanismus 24 betätigt wird, bewegt er die Schleifeinheit 36 entlang der Z-Achse relativ zu dem Spanntisch 6, das heißt auf den Spanntisch 6 zu oder von ihm weg. Die Schleifeinheit 36, die die Schleifscheibe 44, das heißt die Schleifsteine 48, aufweist, wird so in Bezug auf den Spanntisch 6 in ihrer vertikalen Position oder Höhe verstellt. Wenn die Spindel 40 durch den mit ihr verbundenen Rotationsaktuator um ihre Mittelachse gedreht wird, stellen die Schleifsteine 48 eine ringförmige Schleiffläche 48a (siehe 3A) entlang einer ringförmigen Bahn bereit, die von den unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 verfolgt wird, während sie sich zusammen mit der Schleifscheibe 44 drehen. In 3A ist die ringförmige Schleiffläche 48a in ihrer vertikalen Position entlang der Z-Achse veranschaulicht.
2 veranschaulicht in Draufsicht, wie die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 in einem Kriechvorschub-Schleifmodus arbeitet. Die ringförmige Bahn, der die unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 folgen, wenn die Spindel 40 um ihre Mittelachse gedreht wird, das heißt die ringförmige Schleiffläche 48a, weist einen Außendurchmesser 48b auf, der größer ist als ein Durchmesser 6b des Spanntischs 6. Zum Beispiel beträgt der Außendurchmesser 48b 500 mm und der Durchmesser 6b beträgt 300 mm. Der Außendurchmesser 48b kann um 60 mm oder mehr größer sein als der Durchmesser 6b. In Draufsicht auf eine XY-Ebene weist der Außendurchmesser 48b der Schleiffläche 48a einen Mittelpunkt 48c und der Durchmesser 6b des Spanntischs 6 einen Mittelpunkt 6c auf, wobei die Mittelpunkte 48c und 6c auf einer geraden Linie entlang der X-Achse liegen. Wenn der Spanntisch 6 in einer der X-Achsenrichtungen relativ zu einer Position direkt unterhalb der Schleifscheibe 44, das heißt der Schleifeinheit 36, bewegt wird und zu der Schleifscheibe 44 vertikal ausgerichtet ist, ist der Spanntisch 6, wie durch die gestrichelten Linien in 2 angezeigt, in Draufsicht radial innerhalb einer inneren Umfangskante der Schleifscheibe 44 positioniert.
Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 in Übereinstimmung mit der ersten Ausführungsform beinhaltet eine Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50. Die Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50 weist eine erste Düse, das heißt einen Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche 52, auf, die außerhalb eines Relativbewegungsbereichs B (siehe 2) angeordnet ist, in dem der Spanntisch 6 relativ zu der Schleifeinheit 36 entlang der Y-Achse bewegbar ist. Die erste Düse 52 wird relativ zu der Schleifeinheit 36 an einer feststehenden Position gehalten. Zum Beispiel ist die erste Düse 52 an der Basis 4 an einer Position direkt unter der Schleiffläche 48a befestigt. Die Distanz zwischen der ersten Düse 52 und der direkt über der ersten Düse 52 positionierten Schleiffläche 48a wird während eines Schleifvorgangs vorab in Abhängigkeit von der Geschwindigkeit des aus der ersten Düse 52 ausgestoßenen Hochdruckwassers 54 eingestellt.
Wie in 3A veranschaulicht, steht die erste Düse 52 mit einer Hochdruck-Zuführquelle für Wasser 56 in Fluidverbindung. Die Hochdruckwasserzuführquelle 56 weist einen nicht veranschaulichten Tank auf, der Reinwasser enthält, und eine nicht veranschaulichte Pumpe zur Erhöhung des Drucks des aus dem Tank zugeführten Reinwassers auf einen vorgegebenen Druck. Während des Kriechvorschub-Schleifmodus stößt die erste Düse 52 das Hochdruckwasser 54, das mit einem Druck von 0,1 MPa oder mehr, zum Beispiel einem vorbestimmten Druckwert in einem Bereich von 2 MPa bis 13 MPa, beaufschlagt wurde, nach oben zu den Schleifsteinen 48 aus, wodurch die unteren Flächen 48d (siehe 3A) der Schleifsteine 48 eingestellt werden.
Wenn die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 das Kriechvorschub-Schleifen an dem Werkstück 11 ausführt, hält der Spanntisch 6 eine Stirnseite 11a des Werkstücks 11 unter Saugwirkung, so dass dessen Rückseite 11b nach oben exponiert ist. Vorausgesetzt, dass an der Stirnseite 11a Bauelemente ausgebildet sind, wird zum Schutz der Bauelemente ein Schutzband aus Harz an der Stirnseite 11a befestigt, und dann hält der Spanntisch 6 die Stirnseite 11a unter Saugwirkung darauf. Der Spanntisch 6 hält die Stirnseite 11a unter Saugwirkung in einem Be-/Entladebereich A1, der sich an einer Vorderseite der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 befindet. Nachdem der Spanntisch 6 die Stirnseite 11a unter Saugwirkung gehalten hat, wird die Spindel 40 mit einer vorbestimmten Drehzahl um ihre Mittelachse gedreht, und der Z-Achsen-Bewegungsmechanismus 24 stellt die Höhe oder vertikale Position der Schleiffläche 48a auf eine Position zwischen der Haltefläche 6a und der Rückseite 11b des Werkstücks 11 ein (siehe 3A), so dass die unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 mit der Rückseite 11b in Kontakt kommen. Die Rotationsgeschwindigkeit der Spindel 40 kann auf einen geeigneten Wert eingestellt werden, der von dem Außendurchmesser 48b der Fläche 48a abhängt. Wenn der Außendurchmesser 48b beispielsweise 500 mm beträgt, dann wird die Rotationsgeschwindigkeit der Spindel 40 auf 2000 U/min eingestellt, und wenn der Außendurchmesser 48b 300 mm beträgt, dann wird die Rotationsgeschwindigkeit der Spindel 40 auf 3200 U/min eingestellt.
Nachdem der Z-Achsen-Bewegungsmechanismus 24 die Höhe oder vertikale Position der Schleiffläche 48a eingestellt hat, beginnt die erste Düse 52, das Hochdruckwasser 54 nach oben auszustoßen, und der Spanntisch 6 beginnt, sich in Richtung der Schleifeinheit 36 in einer Bearbeitungsvorschubrichtung zu bewegen, die in den 2 und 3A durch den Pfeil angezeigt wird, woraufhin die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 beginnt, das Werkstück 11 in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu schleifen, oder genauer gesagt, die Schleifsteine 48 beginnen, die Rückseite 11b zu schleifen, während sie sich in Kontakt damit entlang der ringförmigen Bahn bewegen. 3A veranschaulicht in einer seitlichen Teilschnittansicht das Werkstück 11 und Komponenten der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 zum Zeitpunkt des Beginns des Vorschub-Schleifmodus. In dem Kriechvorschub-Schleifmodus bewegt der X-Achsen-Bewegungsmechanismus 20 den Spanntisch 6 mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit von zum Beispiel 10 mm/s zu einem vorbestimmten Bereich A2 auf einer Rückseite der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2.
In Übereinstimmung mit der ersten Ausführungsform ist der vorbestimmte Bereich A2 direkt unterhalb der Schleifeinheit 36 positioniert. Der Spanntisch 6, der zu dem vorbestimmten Bereich A2 bewegt worden ist, befindet sich in Draufsicht auf die XY-Ebene radial innerhalb der inneren Umfangskante der Schleiffläche 48a (siehe 2). Während sich die Schleifsteine 48 zu dem vorbestimmten Bereich A2 bewegen, schleifen ihre Seitenflächen und die unteren Flächen 48d die Rückseite 11b des Werkstücks 11 und hinterlassen mehrere bogenförmige Sägespuren 11c (siehe 2) auf der Rückseite 11b, die nacheinander entlang der Bearbeitungsvorschubrichtung angeordnet sind. 3B veranschaulicht in der seitlichen Teilschnittansicht das Werkstück 11 und die Komponenten der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2, die nach einem einzigen Durchgang des Spanntischs 6 in dem Kriechvorschub-Schleifmodus erhalten werden.
Ein einzelner Durchgang bezieht sich auf einen einzigen Vorgang, bei dem der Spanntisch 6 und die Schleifeinheit 36 in einer vorgegebenen Richtung relativ zueinander bewegt werden sollen, um den Spanntisch 6 von einer Position außerhalb der Schleifscheibe 44 in der XY-Ebene bis zu der Position direkt unter der Schleifscheibe 44 zu bewegen. In Übereinstimmung mit der ersten Ausführungsform wird auf eine einzelne Fortbewegung des Spanntischs 6 von außerhalb der Schleifscheibe 44 bis zu der Position direkt unter der Schleifscheibe 44 in einer Richtung entlang der X-Achse von dem Be-/Entladebereich A1 (siehe 3A) zu dem vorbestimmten Bereich A2 (siehe 3B) als einzelner Durchgang Bezug genommen. In Übereinstimmung mit der ersten Ausführungsform stößt die erste Düse 52 das Hochdruckwasser 54 zu den unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 aus, wenn das Werkstück 11 durch die Schleifscheibe 44 in dem einzelnen Durchgang im Kriechvorschub-Schleifmodus geschliffen wird, wodurch die unteren Flächen 48d mit dem Hochdruckwasser 54 gereinigt und/oder korrigiert werden, das heißt gereinigt und korrigiert oder gereinigt oder korrigiert werden. 4 veranschaulicht das Werkstück 11 und die Komponenten der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2, die in dem Kriechvorschub-Schleifmodus arbeitet, perspektivisch.
Da das Hochdruckwasser 54 in Übereinstimmung mit der ersten Ausführungsform zu den unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 ausgestoßen wird, ist es möglich, zumindest Schleifrückstände oder Späne von den Schleifsteinen 48 zu entfernen, die Schleifsteine 48 abzurichten oder die Form der Schleifsteine 48 an ihren unteren Flächen 48d zu korrigieren, wodurch eine Schleifsteinzustandsstörung der unteren Flächen 48d in dem Kriechvorschub-Schleifmodus verhindert wird. Folglich kann eine Schleifsteinzustandsstörung der unteren Flächen 48d beseitigt werden, ohne die Effizienz des Schleifens in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu verringern. Da die erste Düse 52 außerhalb des Relativbewegungsbereichs B (siehe 2) positioniert ist, in dem der Spanntisch 6 relativ zu der Schleifeinheit 36 bewegbar ist, wird der Raum außerhalb des Relativbewegungsbereichs B effektiv genutzt.
Zum Schleifen und Verdünnen des Werkstücks 11 auf die gewünschte Dicke kann die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 den Kriechvorschub-Schleifmodus ausführen, indem sie den Spanntisch 6 in zwei oder mehr Durchgängen bewegt. Insbesondere wenn die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 den Kriechvorschub-Schleifmodus durch Bewegen des Spanntischs 6 in einem zweiten Durchgang ausführen soll, wird die Schleifeinheit 36 auf eine Höhe angehoben, in der die Schleifsteine 48 nicht mit dem Werkstück 11 in Kontakt kommen, nachdem der Spanntisch 6 in dem ersten Durchgang zu der Position direkt unter der Schleifvorrichtung 36 bewegt worden ist. Dann wird der Spanntisch 6 aus dem vorbestimmten Bereich A2 zurück in den Be-/Entladebereich A1 bewegt, wo der Spanntisch 6 in Draufsicht auf die XY-Ebene nicht unter der Schleifscheibe 44 liegt. Danach wird die Schleifeinheit 36 zu einer Position für einen Kontakt mit dem Werkstück 11 abgesenkt, und dann wird der Spanntisch 6 entlang der X-Achse aus dem Be-/Entladebereich A1 (siehe 3A) zu dem vorbestimmten Bereich A2 (siehe 3B) bewegt, um das Werkstück 11 in dem zweiten Durchgang in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu schleifen. Die Schleifscheibe 44 und der Spanntisch 6 können für einen dritten Durchgang oder einen dritten und weitere Durchgänge auf die gleiche Weise bewegt werden, bis das Werkstück 11 auf die gewünschte Enddicke verdünnt ist. Während die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 den Kriechvorschub-Schleifmodus ausführt, stößt die erste Düse 52 das Hochdruckwasser 54 kontinuierlich aus. Die erste Düse 52 hört jedoch während der Bewegung des Spanntischs 6 von dem vorbestimmten Bereich A2 zurück zu dem Be-/Entladebereich A1 damit auf, das Hochdruckwasser 54 auszustoßen.
Zwei oder mehr erste Düsen 52 können direkt unterhalb der Schleiffläche 48a angeordnet sein, sofern sie nicht mit dem Relativbewegungsbereich B in Konflikt stehen. Beispielsweise können zwei oder mehr erste Düsen 52 außerhalb des Relativbewegungsbereichs B auf einer Seite oder jeweils auf beiden Seiten davon entlang der Y-Achse angeordnet sein. Insbesondere wenn zwei erste Düsen 52 diametral zu dem Mittelpunkt 48c auf dem Außendurchmesser 48b der Schleiffläche 48a angeordnet sind, können die unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 unabhängig von der Richtung, in der die Spindel 40 gedreht wird, unmittelbar vor oder nach dem Kontakt der unteren Flächen 48d mit dem Werkstück 11 durch das Hochdruckwasser 54 gereinigt und/oder korrigiert werden. Dementsprechend kann der Freiheitsgrad der Spindel 40 sichergestellt werden.
Eine erste Abwandlung der ersten Ausführungsform wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die 5 und 6 beschrieben. 5 veranschaulicht eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2a in Übereinstimmung mit der ersten Abwandlung in Draufsicht, und 6 veranschaulicht die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2a in Übereinstimmung mit der ersten Abwandlung perspektivisch. In Übereinstimmung mit der ersten Abwandlung wird der Spanntisch 6 nicht durch den X-Achsen-Bewegungsmechanismus 20 bewegt und bleibt zu jeder Zeit stationär. Andererseits ist die Stützstruktur 22, an der der Z-Achsen-Bewegungsmechanismus 24 befestigt ist, durch einen Bewegungsmechanismus ähnlich dem X-Achsen-Bewegungsmechanismus 20 entlang der X-Achse bewegbar. Der Bewegungsmechanismus weist eine nicht veranschaulichte auf der X-Achse bewegbare Platte auf, an der die Stützstruktur 22 unterstützt wird.
Die erste Düse 52 ist fest an dem Halter 28 oder der auf der X-Achse bewegbaren Platte angebracht, so dass die erste Düse 52 mit der Stützstruktur 22 entlang der X-Achse bewegbar ist. Andere Details der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2a in Übereinstimmung mit der ersten Abwandlung sind identisch mit denen der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2 in Übereinstimmung mit der ersten Ausführungsform. In Übereinstimmung mit der ersten Abwandlung ist es auch möglich, in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zumindest die Schleifrückstände oder Späne von den Schleifsteinen 48 zu entfernen, die Schleifsteine 48 abzurichten oder die Form der Schleifsteine 48 an ihren unteren Flächen 48d zu korrigieren. Folglich kann eine Schleifsteinzustandsstörung der unteren Flächen 48d beseitigt werden, ohne die Effizienz des Schleifens in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu verringern.
Eine zweite Abwandlung der ersten Ausführungsform wird im Folgenden unter Bezugnahme auf 7 beschrieben. 7 veranschaulicht in Draufsicht eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2b in Übereinstimmung mit der zweiten Abwandlung. In Übereinstimmung mit der zweiten Abwandlung bleibt auch der Spanntisch 6 jederzeit ortsfest, und die Stützstruktur 22, an der der Z-Achsen-Bewegungsmechanismus 24 befestigt ist, ist ebenfalls entlang der X-Achse bewegbar. In Übereinstimmung mit der zweiten Abwandlung ist die erste Düse 52 jedoch in ihrer Position in der Umgebung des Spanntischs 6 fixiert und nicht entlang der X-Achse bewegbar.
Die zweite Abwandlung unterscheidet sich dadurch von der ersten Abwandlung, dass die erste Düse 52 in Draufsicht auf die XY-Ebene auf einer geraden Linie parallel zu der Y-Achse über den Mittelpunkt 6c (siehe 2) direkt unterhalb eines Relativbewegungsbereichs angeordnet ist, in den die Schleiffläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B relativ zu dem Spanntisch 6 bewegbar ist. Andere Details der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2b in Übereinstimmung mit der zweiten Abwandlung sind identisch mit denen der Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 2a in Übereinstimmung mit der ersten Abwandlung. In Übereinstimmung mit der zweiten Abwandlung ist es auch möglich, in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zumindest die Schleifrückstände oder Späne von den Schleifsteinen 48 zu entfernen, die Schleifsteine 48 abzurichten oder die Form der Schleifsteine 48 an deren unteren Flächen 48d zu korrigieren.
Im Folgenden wird eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 8 veranschaulicht in einer seitlichen Teilschnittansicht eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62a in Übereinstimmung mit der zweiten Ausführungsform. Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62a beinhaltet eine Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50a. Die Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50a weist eine zweite Düse, das heißt einen Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche, 52a auf, dessen relative Position in Bezug auf die Schleifeinheit 36 feststeht. Die in 8 veranschaulichte zweite Düse 52a ist an der Basis 4 befestigt und an einer Position direkt unterhalb der Schleiffläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B (siehe 2) angeordnet, in dem der Spanntisch 6 relativ zu der Schleifeinheit 36 bewegbar ist.
Die zweite Düse 52a stößt Hochdruckwasser 54a₂, das Schleifkörner 54a₁ beinhaltet und mit einem Druck von 0,1 MPa oder mehr beaufschlagt wird, zum Beispiel mit einem vorbestimmten Druckwert zwischen 2 MPa und 13 MPa, nach oben zu den Schleifsteinen 48. Die Schleifkörner 54a₁ weisen eine durchschnittliche Partikelgröße auf, die kleiner ist als die durchschnittliche Partikelgröße der Schleifkörner der Schleifsteine 48. Die zweite Düse 52a steht in Fluidverbindung mit einer schleifkornhaltigen Hochdruckwasserzuführquelle 56a. Die schleifkornhaltige Hochdruckwasserzuführquelle 56a weist einen nicht veranschaulichten Tank auf, der mit Schleifkörnern 54a₁ vermischtes Reinwasser enthält, sowie eine nicht veranschaulichte Pumpe zur Erhöhung des Drucks des aus dem Tank zugeführten, mit den Schleifkörnern 54a₁ vermischten Reinwasser auf einen vorgegebenen Druck.
In Übereinstimmung mit der zweiten Ausführungsform stößt die zweite Düse 52a das die Schleifkörner 54a₁ enthaltende Hochdruckwasser 54 zu den unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 aus, wenn das Werkstück 11 in dem Kriechvorschub-Schleifmodus durch die Schleifscheibe 44 geschliffen wird, wodurch die unteren Flächen 48d mit dem die Schleifkörner 54a₁ enthaltenden Hochdruckwasser 54 gereinigt und/oder korrigiert, das heißt gereinigt und korrigiert oder gereinigt oder korrigiert werden. Somit ist es möglich, zumindest Schleifrückstände oder Späne von den Schleifsteinen 48 zu entfernen, die Schleifsteine 48 abzurichten oder die Form der Schleifsteine 48 an deren unteren Flächen 48d zu korrigieren. Folglich kann eine Schleifsteinzustandsstörung der unteren Flächen 48d beseitigt werden, ohne die Effizienz des Schleifens in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu verringern.
In 8 ist die einzelne zweite Düse 52a direkt unter der Schleiffläche 48a angeordnet. Es können jedoch auch zwei oder mehr zweite Düsen 52a direkt unter der Schleiffläche 48a angeordnet sein, außer sie stehen mit dem Relativbewegungsbereich B in Konflikt. Beispielsweise können zwei oder mehr zweite Düsen 52a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B auf einer Seite oder jeweilig auf beiden Seiten davon entlang der Y-Achse angeordnet sein. Insbesondere wenn zwei zweite Düsen 52a diametral über den Mittelpunkt 48c weg auf dem Außendurchmesser 48b der Schleiffläche 48a angeordnet sind, kann der Freiheitsgrad der Spindel 40, wie oben beschrieben, sichergestellt werden. Die erste Abwandlung oder die oben beschriebene zweite Abwandlung ist auch auf die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62a in Übereinstimmung mit der zweiten Ausführungsform anwendbar.
Im Folgenden wird eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 9 veranschaulicht in einer seitlichen Teilschnittansicht eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62b in Übereinstimmung mit der dritten Ausführungsform. Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62b beinhaltet eine Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50b. Die Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50b weist eine dritte Düse, das heißt einen Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche, 52b auf, dessen relative Position in Bezug auf die Schleifeinheit 36 feststeht. Die in 9 veranschaulichte dritte Düse 52b ist an der Basis 4 befestigt und an einer Position direkt unterhalb der Schleiffläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B (siehe 2) angeordnet, in dem der Spanntisch 6 relativ zu der Schleifeinheit 36 bewegbar ist.
Die dritte Düse 52b stößt ein Zweifluidgemisch 54b aus Reinwasser 54b₁ und Luft 54b₂ nach oben aus. Zum Beispiel werden Reinwasser 54b₁, das mit einem Druck von 0,8 MPa beaufschlagt worden ist, und Luft 54b₂, die mit einem Druck von 0,3 MPa beaufschlagt worden ist, unabhängig voneinander der dritten Düse 52b zugeführt, in der sie miteinander vermischt werden, und sie werden als Zweifluidgemisch 54b aus der dritten Düse 52b nach oben ausgestoßen.
Die dritte Düse 52b steht über eine Leitung für Reinwasser 54b₁ und eine Leitung für Luft 54b₂ mit einer Zweifluidgemisch-Zuführquelle 56b in Fluidverbindung. Die Zweifluidgemisch-Zuführquelle 56b beinhaltet eine nicht veranschaulichte Reinwasser-Zuführquelle mit einer nicht veranschaulichten Pumpe zum Zuführen von unter Druck stehendem Reinwasser 54b₁ und einen nicht veranschaulichten Tank, der Reinwasser 54b₁ enthält. Die Zweifluidgemisch-Zuführquelle 56b beinhaltet auch eine nicht veranschaulichte Luftzuführquelle mit einer nicht veranschaulichten Pumpe zum Zuführen von Druckluft 54b₂ und einen nicht veranschaulichten Tank, der Luft 54b₂ enthält.
Die dritte Düse 52b stößt in Übereinstimmung mit der dritten Ausführungsform das Zweifluidgemisch 54b auf die unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 aus, wenn das Werkstücks 11 durch die Schleifscheibe 44 in dem Kriechvorschub-Schleifmodus geschliffen wird, wodurch die unteren Flächen 48d mit dem Zweifluidgemisch 54b gereinigt und/oder korrigiert werden. Somit ist es möglich, zumindest Schleifrückstände oder Späne von den Schleifsteinen 48 zu entfernen, die Schleifsteine 48 abzurichten oder die Form der Schleifsteine 48 an ihren unteren Flächen 48d zu korrigieren. Folglich kann eine Schleifsteinzustandsstörung der unteren Flächen 48d beseitigt werden, ohne die Effizienz des Schleifens in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu verringern.
In 9 ist die einzelne dritte Düse 52b direkt unterhalb der Fläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B angeordnet. Es können jedoch auch zwei oder mehr dritte Düsen 52b direkt unterhalb der Schleiffläche 48a angeordnet sein. Beispielsweise können zwei oder mehr dritte Düsen 52b außerhalb des Relativbewegungsbereichs B auf einer Seite oder jeweilig auf beiden Seiten von diesem entlang der Y-Achse angeordnet sein. Insbesondere, wenn zwei dritte Düsen 52b diametral über den Mittelpunkt 48c hinweg auf dem Außendurchmesser 48b der Schleiffläche 48a angeordnet sind, kann, wie oben beschrieben, der Freiheitsgrad der Spindel 40 sichergestellt werden. Die erste Abwandlung oder die zweite Abwandlung ist auch auf die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62b in Übereinstimmung mit der dritten Ausführungsform anwendbar.
Eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden beschrieben. 10 veranschaulicht in einer seitlichen Teilschnittansicht eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62c in Übereinstimmung mit der vierten Ausführungsform. Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62c schließt eine Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50c ein. Die Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50c weist einen Kreisplattenabrichter, das heißt einen Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche, 52c₁ auf, dessen relative Position in Bezug auf die Schleifeinheit 36 feststeht. Der Abrichter 52c₁ wird von einer zylindrischen Basis 52c₂ unterstützt und daran befestigt. Die Basis 52c₂ ist durch einen nicht veranschaulichten Hebe- und Senkmechanismus zum wahlweise Heben und Senken der Basis 52c₂ entlang der Z-Achse an der Basis 4 angebracht. Der Abrichter 52c₁ ist an einer Position direkt unterhalb der Schleiffläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B angeordnet (siehe 2).
Der Abrichter 52c₁ weist einen Durchmesser von 1 cm bis 5 cm und eine Dicke von zum Beispiel 1 mm bis 5 mm auf. Auf den Abrichter 52c₁ kann auch als Abrichtplatte Bezug genommen werden. Der Durchmesser des Abrichters 52c₁ wird in Abhängigkeit von der Breite der einzelnen Schleifsteine 48 gewählt. Der Abrichter 52c₁ ist aus einem Bindemittel, wie zum Beispiel einer keramischen Bindung, und Schleifkörnern aus weißem Alund (WA), grünem Kohlenstoff (GC) oder Ähnlichem, die durch das Bindemittel miteinander verbunden sind, ausgebildet.
Wenn die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62c in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu arbeiten beginnt, hebt der Hebe- und Senkmechanismus den Abrichter 52c₁ in eine angehobene Position, in der die Höhe oder vertikale Position einer oberen Fläche desselben zu der Höhe oder vertikalen Position der Schleiffläche 48a ausgerichtet ist. Wenn die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62c das Werkstück 11 nicht schleift, zum Beispiel wenn die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62c zu Wartungszwecken gewartet wird, senkt der Hebe- und Senkmechanismus den Abrichter 52c₁ auf eine vorbestimmte abgesenkte Position ohne Kontakt mit den unteren Flächen 48d. Der Hebe- und Senkmechanismus kann eine Aktuatoreinheit, wie zum Beispiel einen Pneumatikzylinder, aufweisen, um den Abrichter 52c₁ wahlweise auf der angehobenen Position und der abgesenkten Position zu positionieren, und einen kugelspindelartigen Bewegungsmechanismus zur Feineinstellung der Höhe der Basis 52c₂ in Abhängigkeit von dem Ausmaß, zu dem der Abrichter 52c₁ abgenutzt ist.
Wenn das Werkstücks 11 mit der Schleifscheibe 44 in dem Kriechvorschub-Schleifmodus geschliffen wird, wird der Abrichter 52c₁ in Übereinstimmung mit der vierten Ausführungsform mit den unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 in Kontakt gehalten, wodurch die unteren Flächen 48d gereinigt und/oder korrigiert werden. Somit ist es möglich, zumindest Schleifrückstände oder Späne von den Schleifsteinen 48 zu entfernen, die Schleifsteine 48 abzurichten oder die Form der Schleifsteine 48 an deren unteren Flächen 48d zu korrigieren. Folglich kann eine Schleifsteinzustandsstörung der unteren Flächen 48d beseitigt werden, ohne die Effizienz des Schleifens in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu verringern. In 10 ist der einzelne Abrichter 52c₁ direkt unter der Schleiffläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B angeordnet. Es können jedoch auch zwei oder mehr Abrichter 52c₁ direkt unter der Schleiffläche 48a angeordnet sein.
Darüber hinaus können zwei oder mehr Abrichter 52c₁ außerhalb des Relativbewegungsbereichs B auf einer Seite oder jeweilig auf beiden Seiten von diesem entlang der Y-Achse angeordnet sein. Da die Belastung jedes der zwei oder mehr Abrichter 52c₁ geringer ist als die Belastung des einzelnen Abrichters 52c₁ beim Abrichten der Schleifsteine 48, kann es sein, dass die zwei oder mehr Abrichter 52c₁ weniger häufig gewechselt werden müssen. Insbesondere, wenn zwei Abrichter 52c₁ diametral über den Mittelpunkt 48c hinweg auf dem Außendurchmesser 48b der Schleiffläche 48a angeordnet sind, kann, wie oben beschrieben, der Freiheitsgrad der Spindel 40 sichergestellt werden. Die erste Abwandlung oder die zweite Abwandlung ist auch auf die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62c in Übereinstimmung mit der vierten Ausführungsform anwendbar.
Im Folgenden wird eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 11 veranschaulicht in einer seitlichen Teilschnittansicht eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62d in Übereinstimmung mit der fünften Ausführungsform. Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62d beinhaltet eine Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50d. Die Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50d weist eine Bürste, das heißt einen Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche, 52d auf, dessen relative Position in Bezug auf die Schleifeinheit 36 festgelegt ist. In Übereinstimmung mit der fünften Ausführungsform ist die Bürste 52d eine rohrförmige Bürste, die Borsten 52d₁ aus einem Harz, wie zum Beispiel Polyamid oder Polyester, und ein Rohr 52d₂ aufweist, das die unteren Enden der Borsten 52d₁ bündelt. In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ist die Bürste nicht auf eine röhrenförmige Bürste beschränkt und kann beliebige Bürsten mit anderen Formen aufweisen.
Die in 11 veranschaulichte Bürste 52d ist an der Basis 4 an einer Position direkt unterhalb der Schleiffläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B befestigt. Die Bürste 52d ist mit einem nicht veranschaulichten Hebe- und Senkmechanismus zum wahlweisen Heben und Senken der Bürste 52d entlang der Z-Achse verbunden. Wenn die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62d in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu arbeiten beginnt, hebt der Hub- und Senkmechanismus die Bürste 52d auf eine angehobene Position an, in der die Höhe oder vertikale Position der oberen Enden der Borsten 52d₁ zu der Höhe oder vertikalen Position der Schleiffläche 48a ausgerichtet ist. Wenn die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62d das Werkstück 11 nicht schleift, zum Beispiel wenn die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62d zu Wartungszwecken gewartet wird, senkt der Hebe- und Senkmechanismus die Bürste 52d auf eine vorbestimmte abgesenkte Position ohne Kontakt mit den unteren Flächen 48d.
Wenn das Werkstücks 11 durch die Schleifscheibe 44 in dem Kriechvorschub-Schleifmodus geschliffen wird, wird die Bürste 52d in Übereinstimmung mit der fünften Ausführungsform mit den unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 in Kontakt gehalten, wodurch die unteren Flächen 48d gereinigt und/oder korrigiert werden. Somit ist es möglich, zumindest Schleifrückstände oder Späne von den Schleifsteinen 48 zu entfernen, die Schleifsteine 48 abzurichten oder die Form der Schleifsteine 48 an deren unteren Flächen 48d zu korrigieren. Folglich kann eine Schleifsteinzustandsstörung der unteren Flächen 48d beseitigt werden, ohne die Effizienz des Schleifens in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu verringern.
In 11 ist die einzelne Bürste 52d direkt unterhalb der Schleiffläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B angeordnet. Es können jedoch auch zwei oder mehr Bürsten 52d direkt unterhalb der Schleiffläche 48a angeordnet sein. Außerdem können zwei oder mehr Bürsten 52d außerhalb des Relativbewegungsbereichs B auf einer Seite oder jeweilig auf beiden Seiten von diesem entlang der Y-Achse angeordnet sein.
Insbesondere, wenn zwei Bürsten 52d diametral über den Mittelpunkt 48c hinweg auf dem Außendurchmesser 48b der Schleiffläche 48a angeordnet sind, kann, wie oben beschrieben, der Freiheitsgrad der Spindel 40 sichergestellt werden. Die erste Abwandlung oder die zweite Abwandlung ist auch auf die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62d in Übereinstimmung mit der fünften Ausführungsform anwendbar.
Nachfolgend wird eine sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 12 veranschaulicht in einer seitlichen Teilschnittansicht eine Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62e in Übereinstimmung mit der sechsten Ausführungsform. Die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62e schließt eine Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50e ein. Die Zustandseinstelleinheit für eine untere Fläche 50e weist eine Laserstrahl-Aufbringeinheit 52e auf. Die Laserstrahl-Aufbringeinheit 52e weist einen Laseroszillator 52e₁ zum Emittieren eines gepulsten Laserstrahls L auf. Der Laseroszillator 52e₁ beinhaltet eine Laserdiode zum Erzeugen und Emittieren von Laserstrahlung und einen nicht veranschaulichten Pulsgenerator zum Steuern der Pulseigenschaften, einschließlich der Pulsdauer, der Wiederholfrequenz usw., des gepulsten Laserstrahls L.
Der Pulsgenerator steuert die Laseremission von der Laserdiode. Die Laseremission von der Laserdiode wird durch eine mit seltenen Erden dotierte Faser, zum Beispiel eine Ytterbium (Yb)-dotierte Faser, verstärkt, was den Laseroszillator 52e₁ in die Lage versetzt, den gepulsten Laserstrahl L zu emittieren, der eine vorbestimmte Wellenlänge von zum Beispiel 1030 nm aufweist. Der von dem Laseroszillator 52e₁ emittierte Laserstrahl L wird von einem Spiegel 52e₂ reflektiert und durchläuft eine Linse 52e₄ in einem Strahlkondensor, das heißt einem Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche 52e₃, der den Laserstrahl L auf die unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 fokussiert.
Die Linse 52e₄ ist zum Beispiel eine Zylinderlinse. Wenn die Linse 52e₄ den Laserstrahl L auf die unteren Flächen 48d fokussiert, formt die Linse 52e₄ den Laserstrahl L zu einem horizontalen, linearen Strahl, der eine Länge aufweist, die der Breite jedes der Schleifsteine 48 entspricht, das heißt seine Abmessung entlang des Durchmessers der Schleifscheibe 44. Der Strahlkondensor 52e₃ weist eine feststehende relative Position in Bezug auf die Schleifeinheit 36 auf. Der zu eine, horizontalen, linearen Strahl geformte Laserstrahl L wird so auf die unteren Flächen 48d aufgebracht, dass er sich zum Beispiel in radialen Richtungen der Schleifscheibe 44 über die unteren Flächen 48d erstreckt. Der als horizontaler linearer Strahl auf die unteren Flächen 48d fokussierte Laserstrahl L wird im Vergleich zu einem als Laserstrahlpunkt auf die unteren Flächen 48d fokussierten Laserstrahl beim Drehen der Schleifscheibe 44 im Wesentlichen gleichmäßig auf die unteren Flächen 48d aufgebracht.
Die in 12 veranschaulichte Laserstrahl-Aufbringeinheit 52e ist an der Basis 4 befestigt, und der Strahlkondensor 52e₃ ist direkt unterhalb der Schleiffläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B angeordnet. Laserbearbeitungsbedingungen, unter denen das Werkstück 11 mit dem von der Laserstrahl-Aufbringeinheit 52e emittierten Laserstrahl L bearbeitet wird, sind zum Beispiel wie folgt eingestellt:

Wellenlänge: 1030 nm
Wiederholfrequenz: 200 kHz
Pulsdauer: 8 ps
Durchschnittliche Ausgangsleistung: 30 W

Der von dem Strahlkondensor 52e₃ emittierte Laserstrahl L wird in Übereinstimmung mit der sechsten Ausführungsform auf die unteren Flächen 48d der Schleifsteine 48 aufgebracht, wenn das Werkstück 11 durch die Schleifscheibe 44 in dem Kriechvorschub-Schleifmodus geschliffen wird, wodurch die unteren Flächen 48d gereinigt und/oder korrigiert werden. Insbesondere schmilzt oder verdampft der aufgebrachte Laserstrahl L das Bindemittel der Schleifsteine 48, den Schleifrückstände oder die Späne des Werkstücks 11 usw. und gibt Energie an die Schleifkörner der Schleifsteine 48 ab. Somit ist es möglich, zumindest Schleifrückstände oder Späne von den Schleifsteinen 48 zu entfernen, die Schleifsteine 48 abzurichten oder die Form der Schleifsteine 48 an ihren unteren Flächen 48d zu korrigieren. Folglich kann eine Schleifsteinzustandsstörung der unteren Flächen 48d beseitigt werden, ohne die Effizienz des Schleifens in dem Kriechvorschub-Schleifmodus zu verringern.
In 12 ist der einzelne Strahlkondensor 52e₃ direkt unterhalb der Schleiffläche 48a außerhalb des Relativbewegungsbereichs B angeordnet. Es können jedoch auch zwei oder mehr Strahlkondensoren 52e₃ direkt unterhalb der Schleiffläche 48a angeordnet sein. Ferner können zwei oder mehr Strahlkondensoren 52e₃ außerhalb des Relativbewegungsbereichs B auf einer Seite oder jeweilig auf beiden Seiten von diesem entlang der Y-Achse angeordnet sein. Insbesondere, wenn zwei Strahlkondensoren 52e₃ diametral über den Mittelpunkt 48c hinweg auf dem Außendurchmesser 48b der Schleiffläche 48a angeordnet sind, kann, wie oben beschrieben, der Freiheitsgrad der Spindel 40 sichergestellt werden. Die oben beschriebene erste Abwandlung oder die zweite Abwandlung ist in Übereinstimmung mit der fünften Ausführungsform auch auf die Kriechvorschub-Schleifvorrichtung 62e anwendbar.
Die Struktur, das Verfahren usw. in Übereinstimmung mit den obigen Ausführungsformen können in geeigneter Weise geändert oder modifiziert werden, ohne den Schutzbereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Zum Beispiel kann der Spanntisch 6 eine rechteckige Plattenform anstelle einer kreisförmigen Plattenform aufweisen. Wenn der Spanntisch 6 die Form einer rechteckigen Platte aufweist, dann ist die Haltefläche 6a eine im Wesentlichen ebene rechteckige Fläche. Das Werkstück 11, das unter Saugwirkung an der Haltefläche 6a gehalten wird, ist nicht auf einen kreisförmigen Platten-Wafer beschränkt. Das Werkstück 11 kann ein rechteckiges Streifensubstrat sein, das gegossenes Harz oder Ähnliches aufweist. Das Werkstück 11 kann sich in einem Zustand einer Rahmeneinheit befinden, die mehrere Streifensubstrate beinhaltet, die durch ein Schutzband an einem Rahmenring gehalten werden, und jedes der Streifensubstrate kann durch eine der Kriechvorschub-Schleifvorrichtungen in Übereinstimmung mit den obigen Ausführungsformen in dem Kriechvorschub-Schleifmodus geschliffen werden.
Zwei verschiedene Zustandseinstelleinheiten für eine untere Fläche (50, 50a, 50b, 50c, 50d und 50e) können in Kombination verwendet werden. Zum Beispiel können die Zustandseinstelleinheiten für eine untere Fläche 50 und 50c miteinander kombiniert werden. Bei einer solchen Kombination ist die erste Düse 52 an einer der zwei Stellen, die diametral über den Mittelpunkt 48c hinweg beabstandet sind, auf dem Außendurchmesser 48b der Schleiffläche 48a angeordnet, und der Abrichter 52c₁ ist an der anderen der zwei Stellen angeordnet. Das aus der ersten Düse 52 und dem Abrichter 52c₁ ausgestoßene Hochdruckwasser 54 reinigt und/oder korrigiert die unteren Flächen 48d.
Insbesondere entfernt das Hochdruckwasser 54 wirksam Schleifrückstände oder Späne von den Schleifsteinen 48. Das Abrichten der Schleifsteine 48 mit dem Abrichter 52c₁ ist dahingehend wirksam, die Form der Schleifsteine 48 abzurichten und zu korrigieren. Daher kann die erste Düse 52 in Draufsicht auf die XY-Ebene an einer der Stellen angeordnet sein, an denen die Schleifsteine 48 das Werkstück 11 verlassen, und der Abrichter 52c₁ kann an der anderen Stelle angeordnet sein, an der die Schleifsteine 48 mit dem Schleifen des Werkstücks 11 beginnen.
Alternativ können die Zustandseinstelleinheiten für eine untere Fläche 50 und 50d miteinander kombiniert werden, um die unteren Flächen 48d mit dem Hochdruckwasser 54 aus der ersten Düse 52 und der Bürste 52d zu reinigen und/oder zu korrigieren. Alternativ können die Zustandseinstelleinheiten für eine untere Fläche 50 und 50e miteinander kombiniert werden, um die unteren Flächen 48d mit dem Hochdruckwasser 54 aus der ersten Düse 52 und dem Laserstrahl L zu reinigen und/oder zu korrigieren. Für die Reinigung und/oder Korrektur der unteren Flächen 48d können auch andere als die oben beschriebenen Kombinationen aus zwei der Zustandseinstelleinheiten für eine untere Fläche 50, 50a, 50b, 50c, 50d und 50e verwendet werden. Darüber hinaus können drei verschiedene Zustandseinstelleinheiten für eine untere Fläche 50, 50a, 50b, 50c, 50d und 50e in Kombination verwendet werden.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert, und alle Änderungen und Abwandlungen, die in den äquivalenten Schutzbereich der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.

Claims

Kriechvorschub-Schleifvorrichtung umfassend: einen Spanntisch mit einer Haltefläche zum daran Halten eines Werkstücks unter Saugwirkung; eine Schleifeinheit mit einer Spindel, die um ihre Längsachse drehbar ist, und einer Schleifscheibe, die an einem unteren Ende der Spindel angebracht ist, wobei die Schleifscheibe eine ringförmige Basis und mehrere Schleifsteine aufweist, die in einer ringförmigen Anordnung an einer Fläche der ringförmigen Basis angeordnet sind, wobei die Schleifsteine bei einer Drehung der Spindel einer ringförmigen Bahn folgen, wobei die ringförmige Bahn einen Außendurchmesser aufweist, der größer ist als ein Durchmesser des Spanntischs; einen Bewegungsmechanismus zum Bewegen des Spanntischs und der Schleifeinheit relativ zueinander entlang einer vorbestimmten Richtung, die senkrecht zu der Längsachse der Spindel verläuft; und einen Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche zum Einstellen eines Zustands der unteren Flächen der Schleifsteine durch Reinigen oder Korrigieren oder Reinigen und Korrigieren der unteren Flächen, die mit dem Werkstück an der Haltefläche in Kontakt gehalten werden, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in einem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift, wobei der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche außerhalb eines Relativbewegungsbereichs des Spanntischs positioniert ist, in dem der Spanntisch und die Schleifeinheit durch den Bewegungsmechanismus relativ zueinander bewegt werden.
Kriechvorschub-Schleifvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine erste Düse zum Ausstoßen von Hochdruckwasser auf die unteren Flächen der Schleifsteine aufweist, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Kriechvorschub-Schleifvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine zweite Düse zum Ausstoßen von Hochdruckwasser mit Schleifkörnern auf die unteren Flächen der Schleifsteine aufweist, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Kriechvorschub-Schleifvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine dritte Düse aufweist, um ein Zweifluidgemisch aus Wasser und Luft auf die unteren Flächen der Schleifsteine auszustoßen, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Kriechvorschub-Schleifvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche einen Abrichter für einen Kontakt mit den unteren Flächen der Schleifsteine aufweist, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Kriechvorschub-Schleifvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine Bürste für einen Kontakt mit den unteren Flächen der Schleifsteine aufweist, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.
Kriechvorschub-Schleifvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Zustandseinstellmechanismus für eine untere Fläche eine Laserstrahl-Aufbringeinheit aufweist, die einen Strahlkondensor zum Aufbringen eines Laserstrahls auf die unteren Flächen der Schleifsteine enthält, wenn die Schleifeinheit das Werkstück in dem Kriechvorschub-Schleifmodus schleift.