DE102022211457A1

DE102022211457A1 - Inspektionseinrichtung und Fokuspositions-Justierverfahren

Info

Publication number: DE102022211457A1
Application number: DE102022211457.4A
Authority: DE
Inventors: Masaya Takeda
Original assignee: Nuflare Technology Inc
Current assignee: Nuflare Technology Inc
Priority date: 2021-10-29
Filing date: 2022-10-28
Publication date: 2023-05-04
Also published as: US20230137226A1; JP2023066985A; CN116068861A

Abstract

Gemäß einer Ausführungsform beinhaltet eine Masken-Inspektionseinrichtung: eine Bühne; ein optisches Beleuchtungssystem; ein optisches Bildgebungssystem, das einen Sensor enthält, der eine Fokusposition detektiert; eine Detektionsschaltung, die konfiguriert ist, ein Fokuspositionssignal des Lichts zu detektieren; eine Einstellschaltung, die konfiguriert ist, einen ersten Fokus-Versatzwert einer ersten Region auf Basis eines Ergebnisses einzustellen, welches erhalten wird durch Verschieben, in einer Vorschubrichtung der Bühne, von Koordinatendaten der ersten Fokuspositionsdaten, die auf Basis eines Ergebnisses erzeugt werden, welches durch optisches Scannen der ersten Region erhalten wird; und eine Steuerschaltung, die konfiguriert ist, eine Höhenposition der Bühne auf Basis des Fokuspositionssignals und des ersten Fokusversatzwerts zu steuern.

Description

GEBIET
Hierin beschriebene Ausführungsformen beziehen sich allgemein auf eine Inspektionseinrichtung und ein Fokuspositions-Justierverfahren zur Inspektion eines auf einer Probe gebildeten Musters.
HINTERGRUND
In einem Herstellprozess einer Halbleitervorrichtung wird ein Schaltungsmuster auf ein Halbleitersubstrat mittels einer Verkleinerungs-Belichtung mit einer Belichtungseinrichtung (nachfolgend auch als ein „Stepper“ oder ein „Scanner“ Betriebszeit) transferiert. Bei solch einer Belichtungseinrichtung wird eine Maske (auch als ein „Reticle“ bezeichnet), auf welcher ein Originalmuster (nachfolgend auch einfach als ein „Muster“ bezeichnet) gebildet wird, verwendet.
Eine der Ursachen reduzierter Ausbeutung bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen sind Defekte in dem Maskenmuster.
In den fortschrittlichsten Vorrichtungen ist es beispielsweise erforderlich, ein Muster mit einer Linienbreite von mehreren Nanometern zu bilden. Mit der Miniaturisierung des Musters werden auch Defekte im Maskenmuster miniaturisiert. Entsprechend ist eine Masken-Inspektionseinrichtung mit verbesserter Präzision zur Detektion von kleinsten Defekten verlangt worden.
In einer Masken-Inspektionseinrichtung wird eine Maske auf einer Bühne platziert. Die Bühne bewegt sich und dadurch tastet Licht, mit welchem die Bühne über ein optisches System bestrahlt wird, die Maske ab. Licht, welches durch die Maske transmittiert oder von ihr reflektiert worden ist, wird durch eine Linse veranlasst, ein Bild auf einem Sensor zu bilden. Dadurch wird ein optisches Bild erfasst.
Um ein optisches Bild mit einem feinen Muster aufzunehmen, ist eine Entwicklung gemacht worden, um die Vergrößerung und die numerische Apertur (NA) des optischen Systems der Inspektionseinrichtung zu vergrößern. Dies verursacht, dass das optische System eine geringe Tiefenschärfe für die Maske aufweist. Mit der geringen Tiefenschärfe verursacht eine kleine Änderung in der Distanz zwischen dem optischen System und der Maske eine De-Fokussierung von Licht. Dies führt zu einer Verwischung des Musterbilds im optischen Bild, was die optische Bilderfassung und die Defekt-Detektionsverarbeitung nachteilig beeinträchtigt. Eine Inspektionseinrichtung mit einem Echtzeit-Autofokusmechanismus zur Unterdrückung von De-Fokussierung ist bekannt.
Beispielsweise offenbart Patentdokument 1 (japanische Patentanmeldung JP 2010-217317 A ) ein Verfahren, in welchem Fokus-Positionsinformation einer Inspektionsregion einer Rechenverarbeitung unter Verwendung einer Polynom-Approximation unterworfen wird und die Kurspositions-Steuerung einer angrenzenden Inspektionsregion auf Basis von Ergebnissen der Berechnung durchgeführt wird. Das Verbessern der Bewegungsgeschwindigkeit der Bühne während des optischen Scannens zum Verbessern der Inspektions-Geschwindigkeit kann eine Verzögerung bei dem Autofokus folgen verursachen, was möglicherweise eine De-Fokussierung bei Anwesenheit eines abrupten Stufenhöhe verursacht.
Die vorliegende Erfindung ist im Hinblick auf die oben beschriebenen Umstände gemacht worden. Das heißt, dass die vorliegende Erfindung darauf abzielt, eine Inspektionseinrichtung und ein Fokuspositions-Justierverfahren bereitzustellen, die in der Lage sind, eine Autofokusfolgeverzögerung zu senken.
ZUSAMMENFASSUNG
Gemäß einem ersten Aspekt beinhaltet eine Inspektionseinrichtung: eine Bühne, auf der eine Probe platziert wird; ein optisches Beleuchtungssystem, das konfiguriert ist, die Probe mit zum optischen Abtasten der Probe verwendetem Licht zu bestrahlen; ein optisches Bildgebungssystem, das einen Sensor beinhaltet, der eine Fokusposition detektiert und konfiguriert ist, das Licht, mit welchem die Probe bestrahlt wird, dazu zu bringen, ein Bild auf dem Sensor zu bilden; eine Detektionsschaltung, die konfiguriert ist, ein Fokus-Positionssignal des durch den Sensor empfangenen Lichts zu detektieren; eine Einstellschaltung, die konfiguriert ist, einen ersten Fokus-Versatzwert einer ersten Region auf Basis eines Ergebnisses, welches durch Verschieben in einer Vorschubrichtung der Bühne erhalten wird, von ersten Fokuspositionsdaten, die auf Basis eines Ergebnisses erzeugt werden, das ermittelt wird durch optisches Scannen der ersten Region, wobei die erste Region in einer Vielzahl von streifenförmigen Regionen enthalten ist, in welchen die Probe in einer Richtung orthogonal zur Vorschubrichtung der Bühne virtuell unterteilt wird; und eine Steuerschaltung, die konfiguriert ist, eine Höhenposition der Bühne auf Basis des Fokuspositionssignals und des ersten Fokusversatzwerts zu steuern.
Gemäß einem zweiten Aspekt beinhaltet ein Fokuspositions-Justierverfahren: optisches Scannen, in einer ersten Richtung, einer ersten Region, die in einer Vielzahl von streifenförmigen Regionen enthalten ist, in welcher eine Probe in einer Richtung orthogonal zu einer Vorschubrichtung einer Bühne, auf welcher die Probe platziert ist, virtuell unterteilt ist; Erzeugen erster Fokuspositionsdaten auf Basis eines Ergebnisses, welches durch optisches Scannen der ersten Region erhalten wird; Einstellen eines ersten Fokusversatzwerts der ersten Region auf Basis eines Ergebnisses, welches durch Verschieben von Koordinatendaten der ersten Fokuspositionsdaten in der Vorschubrichtung der Bühne erhalten wird; und optisches Scannen der ersten Region durch Steuern einer Höhenposition der Bühne auf Basis des ersten Fahrzeugversatzwerts und eines Fokuspositions-Detektionsergebnisses.
Figurenliste

1 ist ein Diagramm, das eine Gesamt-Konfiguration einer Inspektionseinrichtung gemäß einer Ausführungsform zeigt.
2 ist ein Blockdiagramm eines optischen Beleuchtungssystems 140 und eines optischen Bildgebungssystems 150 der Inspektionseinrichtung gemäß der Ausführungsform.
3 ist ein Diagramm, das ein Beispiel einer Inspektionsregion einer Maske in einer Inspektionseinrichtung gemäß der Ausführungsform zeigt.
4 ist ein Flussdiagramm eines Inspektionsprozesses in einer Inspektionseinrichtung gemäß der Ausführungsform.
5 ist ein Flussdiagramm, das einen Ablauf von optischer Bilderfassung in einer Inspektionseinrichtung gemäß der Ausführungsform zeigt.
6 ist ein Diagramm, das ein konkretes Beispiel von Approximationsdaten einer Z-Koordinate, die mittels eines gleitenden Durchschnitts und von einer Polynom-Approximation erhalten wird, zeigt.
7 ist ein Diagramm, das ein Beispiel von Vor-Lesen von Fokuspositionsdaten beim Scannen eines Streifens in einer FWD (Vorwärts)-Richtung in der Inspektionseinrichtung gemäß der Ausführungsform zeigt.
8 ist ein Diagramm, das ein Beispiel von Vor-Lesen von Fokuspositionsdaten beim Scannen eines Streifens in einer BWD (Rückwärts)-Richtung in der Inspektionseinrichtung gemäß der Ausführungsform zeigt.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
Nachfolgend werden Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Jede Ausführungsform illustriert eine Einrichtung und ein Verfahren zum Ausführen der technischen Idee der Erfindung. Die Zeichnungen sind entweder schematisch oder konzeptionell, und Abmessungen, Verhältnisse etc. jeder Zeichnung sind nicht notwendigerweise zu den tatsächlichen identisch. Die technische Idee der vorliegenden Erfindung wird nicht durch Form, Struktur, Anordnung etc. der Komponenten angegeben.
Nachfolgend wird eine Masken-Inspektionseinrichtung als ein Beispiel von Proben-Inspektionseinrichtung beschrieben. In der vorliegenden Ausführungsform wird ein Fall beschrieben werden, bei dem eine Inspektionseinrichtung ein optisches Bild aufnimmt; jedoch ist die Konfiguration nicht darauf beschränkt. Die Inspektionseinrichtung kann ein Elektronenstrahlbild als ein Inspektionsbild unter Verwendung beispielsweise eines Scanning-Elektrodenmikroskops (SEM) aufnehmen.
Darüber hinaus wird in der vorliegenden Ausführungsform ein Fall beschrieben, wo eine zu inspizierende Probe eine Maske ist, die bei der Photolithographie etc. verwendet wird; jedoch ist die Konfiguration nicht darauf beschränkt. Es kann auch jegliche Probe sein mit einem Muster, das auf der Oberfläche bereitgestellt ist, wie etwa einer Vorlage, die bei Nanodruck-Lithographie (NIL, nanoimprint lithography) verwendet wird, ein Wafer (Halbleitersubstrat), etc..
Weiterhin wird in der vorliegenden Ausführungsform ein „Dieto-Database“ (D-DB)-Modus, in welchem ein Inspektionsbild mit einem Referenzbild verglichen wird, das auf Design-Daten basiert, als ein Masken-Defekt-Inspektionsmodus in der Inspektionseinrichtung beschrieben; jedoch ist die Konfiguration nicht darauf beschränkt. Der Defekt-Inspektionsmodus kann ein Die-to-Die- (D-D)-Modus sein, in welchem ein Inspektionsbild mit Bildern einer Vielzahl von Regionen mit einem auf der Maske gebildeten identischen Muster verglichen wird.
Weiterhin ist das Fokuspositions-Justierverfahren, das in der Ausführungsform beschrieben wird, nicht auf eine Inspektionseinrichtung beschränkt und kann beispielsweise auf andere Einrichtungen, wie etwa eine Ladepartikelstrahl-Bestrahlungseinrichtung angewendet werden, die zum Herstellen einer Maske verwendet wird.
1. Gesamt-Konfiguration von Inspektionseinrichtung
Zuerst wird ein Beispiel einer Gesamt-Konfiguration einer Inspektionseinrichtung 1 unter Bezugnahme auf 1 beschrieben. 1 ist ein Diagramm, das eine Gesamt-Konfiguration der Inspektionseinrichtung 1 zeigt. Das Beispiel von 1 zeigt eine Konfiguration, in der ein optisches Bild unter Verwendung von Licht erfasst wird (nachfolgend auch als „reflektiertes Licht“ bezeichnet), das von einer Maske 2 reflektiert wird; jedoch ist die Konfiguration der Inspektionseinrichtung 1 nicht darauf beschränkt. Die Inspektionseinrichtung 1 kann konfiguriert sein, ein optisches Bild unter Verwendung von Licht zu erfassen, welches die Maske 2 transmittiert hat (nachfolgend als „transmittiertes Licht“ bezeichnet). Alternativ kann die Inspektionseinrichtung 1 konfiguriert sein, sowohl ein optisches Bild unter Verwendung von reflektiertem Licht als auch ein optisches Bild unter Verwendung von transmittiertem Licht zu erfassen.
Wie in 1 gezeigt, beinhaltet die Inspektionseinrichtung 1 einen Bilderfassungsmechanismus 10 und einen Steuermechanismus 20. Die Inspektionseinrichtung 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet einen Autofokus-Mechanismus.
Der Bilderfassungsmechanismus 10 beinhaltet eine Bühne 110, eine XY-Antriebseinheit 120, eine Z-Antriebseinheit 130, ein optisches Beleuchtungssystem 140, ein optisches Bildgebungssystem 150, eine Sensorschaltung 160, eine Fokuspositions-Detektionsschaltung 170, ein Laserlängen-Messsystem 180 und einen Autolader 190.
Die Bühne 110 ist in einer X-Richtung beweglich, die parallel zu einer Oberfläche der Bühne 110 ist, einer Y-Richtung, die parallel zur Oberfläche der Bühne 110 ist und die X-Richtung schneidet, und einer Z-Richtung, die rechtwinklig zur Oberfläche der Bühne 110 ist. Die Maske 2 wird auf der Bühne 110 platziert.
Die XY-Antriebseinheit 120 beinhaltet einen Antriebsmechanismus zum Gestatten der Bühne 110, sich in einer X-Y-Ebene zu bewegen, die aus den X- und Y-Richtungen konfiguriert ist. Spezifischer beinhaltet die XY-Antriebseinheit 120 einen X-Achsen-Motor 121, der die Bühne 110 in der X-Achsenrichtung antreibt, und einen Y-Achsen-Motor 122, der die Bühne 110 in der Y-Richtung antreibt. Es kann beispielsweise als jeder vom X-Achsenmotor 121 und Y-Achsenmotor 122 ein Schrittmotor verwendet werden. Die XY-Antriebseinheit 120 kann beispielsweise einen Rotationsachsenmotor beinhalten, welcher die Bühne 110 um eine Rotationsachse auf der X-Y-Ebene rotiert, wobei die Z-Richtung die Rotationsachse ist.
Eine Inspektionsregion der Maske 2 wird virtuell in beispielsweise eine Vielzahl von streifenförmigen Bereichen unterteilt, bei Sicht in der Y-Richtung. Nachfolgend wird jeder der Bereiche in welcher die Inspektionsregion unterteilt ist, als ein „Streifen“ bezeichnet. Die XY-Antriebseinheit 120 steuert den Betrieb der Bühne 110 in solcher Weise, dass jeder der Unterteilungsstreifen optisch Kompartiment abgetastet wird.
Die Z-Antriebseinheit 130 beinhaltet einen Antriebsmechanismus zum Bewegen der Bühne 110 in der Z-Richtung. Spezifischer beinhaltet die Z-Antriebseinheit 130 beispielsweise eine Vielzahl von Z-Achsen-Aktuatoren 131, welche die Bühne 110 in der Z-Richtung antreiben. Als Z-Achsen-Aktuatoren können Aktuatoren, die beispielsweise piezo-elektrische Elemente verwenden, verwendet werden.
Das optische Beleuchtungssystem 140 beinhaltet eine Lichtquelle und bestrahlt die Maske 2 mit Beleuchtungslicht, das aus der Lichtquelle emittiert wird. Details des optischen Beleuchtungssystems werden später beschrieben.
Das optische Bildgebungssystem 150 veranlasst von der Maske 2 reflektiertes Licht, ein Bild auf dem Sensor zu bilden. Das optische Bildgebungssystem 150 beinhaltet einen optischen Bildaufnahmesensor und einen Fokuspositions-Messsensor. Details des optischen Bildgebungssystems 150 werden später beschrieben.
Die Sensorschaltung 160 unterwirft ein aus dem Optikbildaufnahmesensor in dem optischen Bildgebungssystem 150 empfangenes elektrisches Signal einer Analog/Digital-(A/D)-Umwandlung. Die Sensorschaltung 160 sendet optische Bilddaten, die auf einem Digitalsignal basieren, welches durch Umwandlung erhalten wird, an eine Vergleichsschaltung 211 des Werkstücks 20. Das optische Bild basiert auf einem Muster der Maske 2. Für das optische Bild wird Helligkeit (Luminanz) jedes der Pixel, in welche die Bildaufnahmeregion auf der X-Y-Ebene unterteilt ist, als ein Tonwert ausgedrückt. Falls beispielsweise der Tonwert als 8 Bit Daten repräsentiert wird, wird der Pixelwert jedes Pixels als ein Tonwert von 0 bis 255 repräsentiert.
Die Fokuspositions-Detektionsschaltung 170 detektiert eine Fokusposition (einen Abweichungsbetrag eines Fokuspunkts) auf Basis eines elektrischen Signals (eines Fokuspositionssignals), das aus dem Fokuspositions-Messsensor im optischen Bildgebungssystem 150 empfangen wird. Die Fokuspositions-Detektionsschaltung 170 erzeugt ein Fokuspositions-Justiersignal auf Basis der detektierten Fokusposition. Das Fokuspositions-Justiersignal ist ein Signal, um die Fokusposition des Beleuchtungslichts in den Fokus auf einer Musteroberfläche der Maske 2 zu bringen. Das Fokuspositions-Justiersignal enthält Information über einen Korrekturbetrag einer Z-Koordinate der Bühne 110. Die Fokuspositions-Detektionsschaltung 170 sendet das Fokuspositions-Justiersignal an eine Z-Antriebseinheits-Steuerschaltung 207. Die Fokuspositions-Detektionsschaltung 170 ist in dem Autofokus-Mechanismus enthalten.
Das Laserlängen-Messsystem 180 misst eine Position (auch als eine „Bühnen-Position“ bezeichnet) der Bühne 110 in den X- und Y-Richtungen. Das Laserlängen-Messsystem 180 sendet Information zur gemessenen Bühnenposition in der X-Y-Ebene an eine Positionsschaltung 212 des Steuermechanismus 20.
Eine Vielzahl von Masken 2 werden am Autolader 190 eingestellt. Der Autolader 190 lädt eine Maske 2, die zu inspizieren ist, auf die Bühne 110. Der Autolader 190 entlädt auf der Bühne 110 eine Maske 2, für welche die optische Bilderfassung beendet ist.
Der Steuermechanismus 20 beinhaltet einen Steuerrechner 200, eine Speichereinheit 201, eine Anzeigeeinheit 202, eine Eingabeeinheit 203, eine Kommunikationseinheit 204, eine Autolader-Steuerschaltung 205, eine XY-Antriebseinheit-Steuerschaltung 206, die Z-Antriebseinheits-Steuereinheit 207, eine FD-Erzeugungsschaltung 208, eine Entwicklungsschaltung 209, eine Referenzschaltung 210, die Vergleichsschaltung 211, und die Positionsschaltung 212. Diese werden miteinander beispielsweise über eine Busleitung gekoppelt.
Die Autolader-Steuerschaltung 205, die XY-Antriebseinheit-Steuerschaltung 206, die Z-Antriebseinheits-Steuereinheit 207, die Entwicklungsschaltung 209, die Referenzschaltung 210, die Vergleichsschaltung 211 und die Positionsschaltung 212 können aus Programmen konfiguriert sein, welche durch den Steuerrechner 200 ausgeführt werden, aus Hardware oder Firmware konfiguriert sein, die in dem Steuerrechner 200 enthalten sind, oder aus individuellen Schaltungen konfiguriert sein, welche durch den Steuerrechner 200 gesteuert werden. Nachfolgend wird ein Fall beschrieben, bei dem die Funktionen dieser Schaltungen auf Basis von durch den Steuerrechner 200 ausgeführten Programmen implementiert werden.
Der Steuerrechner 200 steuert die Gesamtheit der Inspektionseinrichtung 1. Spezifischer steuert der Steuerrechner 200 den Bilderfassungsmechanismus 10, die Speichereinheit 201, die Anzeigeeinheit 202, die Eingabeeinheit 203, die Kommunikationseinheit 204, die Autolader-Steuerschaltung 205, die XY-Antriebseinheit-Steuerschaltung 206, die Z-Antriebseinheits-Steuereinheit 207, die Entwicklungsschaltung 209, die Referenzschaltung 210, die Vergleichsschaltung 211 und die Positionsschaltung 212. Der Steuerrechner 200 erfasst ein optisches Bild durch Steuern des Bilderfassungsmechanismus 10. Auch erzeugt der Steuerrechner 200 ein Referenzbild durch Steuern des Steuermechanismus 20. Der Steuerrechner 200 vergleicht das optische Bild mit dem Referenzbild und detektiert einen Defekt etc. im Muster. Der Steuerrechner 200 beinhaltet beispielsweise eine nicht illustrierte Zentraleinheit (CPU). Die CPU führt beispielsweise ein Inspektionsprogramm 223 in der Speichereinheit 201 aus. Der Steuerrechner 200 kann eine CPU-Vorrichtung, wie etwa ein Mikroprozessor, oder eine Computer-Einrichtung wie etwa ein persönlicher Computer sein. Auch können zumindest einige der Funktionen des Steuerrechners 200 durch andere integrierte Schaltungen bedient werden, wie etwa eine applikationsspezifische integrierte Schaltung (ASIC), ein feldprogrammierbares Gatter-Array (FPGA) oder eine Graphik-Processing-Einheit (GPU) .
Die Speichereinheit 201 speichert Information, die sich auf die Inspektion bezieht. Spezifischer speichert die Speichereinheit 201 Entwurfsdaten 220, Inspektionsbedingungsdaten 221, Inspektionsdaten 222, ein Inspektionsprogramm 223 etc.. Die Speichereinheit 201 kann als ein externer Speicher verschiedene Speichereinrichtungen wie etwa einen Magnet-Disk-Speicher (Festplattenlaufwerk, HDD) oder ein Solid-State-Laufwerk (SSD) beinhalten.
Die Entwurfsdaten 220 sind Entwurfsdaten der Maske 2. Die Inspektionsbedingungsdaten 221 beinhalten Parameter wie etwa Bildaufnahme-Bedingungen und Inspektions-Bedingungen.
Die Inspektionsdaten 222 enthalten Daten, welche sich auf das Referenzbild, das optische Bild und die Inspektionsergebnisse beziehen. Auch enthalten die Inspektionsdaten 222 Fokuspositionsdaten FD. Die Fokuspositionsdaten FD sind Daten auf Basis von X-, Y- und Z-Koordinaten der Maske 2 (Bühne 110) während des optischen Scannens der Maske 2.
Das Inspektionsprogramm 223 ist ein Programm zum Ausführen einer Muster-Inspektion. Die Speichereinheit 201 speichert das Inspektionsprogramm 223 als ein nicht-transitorisches Speichermedium. Das Inspektionsprogramm 223 wird beispielsweise in einem Nurlesespeicher (ROM) gespeichert.
Die Anzeigeeinheit 202 ist eine Anzeigeeinrichtung wie etwa ein Kathodenstrahlröhren-(CAT)-Anzeige, eine Flüssigkristallanzeige oder eine organische Elektrolumineszenz-(EL)-Anzeige. Die Anzeigeeinheit 202 kann eine Sprachausgabe-Einrichtung beinhalten.
Die Eingabeeinheit 203 ist ein Eingabegerät wie etwa eine Tastatur, eine Maus, ein Touch-Panel oder ein Tastenschalter.
Die Kommunikationseinheit 204 ist eine Einrichtung zur Verbindung mit einem Netzwerk zum Durchführen von Datensenden und -empfangen zu und aus einer externen Einrichtung. Für solche Kommunikationen können verschiedene Kommunikations-Standards verwendet werden. Die Kommunikationseinheit 204 ist beispielsweise konfiguriert, Entwurfsdaten aus einer exzellenten Einrichtung zu empfangen und sendet Inspektionsergebnisse an die externe Einrichtung.
Die Autolader-Steuerschaltung 205 steuert den Betrieb des Autoladers 190. Die Autolader-Steuerschaltung 205 betreibt den Autolader 190 und lädt die zu inspizierende Maske 2 auf die Bühne 110. Auch betreibt die Autolader-Steuerschaltung 205 den Autolader 190 und entlädt die Maske 2 von der Bühne 110.
Die XY-Antriebseinheit-Steuerschaltung 206 steuert die XY-Antriebseinheit 120. Beispielsweise erfasst die XY-Antriebseinheit-Steuerschaltung 206 Resultate von Positionsmessung (X- und Y-Koordinaten) der Bühne 110 auf der durch das Laserlängen-Messsystem 180 gemessenen XY-Ebene über die Positionsschaltung 212 und steuert die XY-Antriebseinheit 120 auf Basis der erfassten Ergebnisse.
Die Z-Antriebseinheits-Steuereinheit 207 steuert die Z-Antriebseinheit 130. Die Z-Antriebseinheits-Steuereinheit 207 der vorliegenden Ausführungsform bestimmt die Z-Koordinate auf Basis eines Fokus-Versatzwertes und des Fokus-Positionsjustiersignals (Autofokus-Steuersignal). Der Fokusversatzwert ist ein Einstellwert (X-, Y- und Z-Koordinaten) der Position der Bühne 110, der für die Abtastung verwendet wird. Die Z-Antriebseinheits-Steuereinheit 207 ist in dem Autofokus-Mechanismus enthalten.
Die Z-Antriebseinheits-Steuereinheit 207 beinhaltet eine Versatz-Einstellschaltung 230. Die Versatz-Einstellschaltung 230 stellt den Fokusversatzwert auf Basis der aus der Speichereinheit 201 ausgelesenen Fokuspositionsdaten FD ein. In der vorliegenden Ausführungsform stellt die Versatz-Einstellschaltung 230 den Fokusversatzwert unter Verwendung der Fokuspositionsdaten FD zum Zeitpunkt des Scannens eines gegebenen Streifens der Maske 2 in einer identischen Richtung ein. Zu dieser Zeit stellt die Versatz-Einstellschaltung 230 den Fokusversatzwert durch beispielsweise Vor-Einlesen von Information zur Z-Koordinate der Fokuspositionsdaten FD in Bezug auf die Bewegungsrichtung der Bühne 110 ein. Details der Einstellung des Fokusversatzwerts werden später beschrieben.
Die FD-Erzeugungsschaltung 208 erzeugt die Fokuspositionsdaten FD auf Basis der Ergebnisse des Scannens des Streifens. Spezifischer berechnet die FD-Erzeugungsschaltung 208 Annäherungsdaten mittels eines gleitenden Durchschnitts unter Verwendung von beispielsweise Daten von Kompartimenten Z-Koordinaten (Höhenpositionen der Bühne 110) während des Abtastens eines einzelnen Streifens. Durch Assoziieren beispielsweise der Annäherungsdaten der Z-Koordinate und der Daten der X- und Y-Koordinaten erzeugt die FD-Erzeugungsschaltung 208 die Fokuspositionsdaten FD. Die Fokuspositionsdaten FD können weiter Information zu der Streifennummer etc. enthalten. Die Daten der X-, Y- und Z-Koordinaten können Messergebnisse der Position der Bühne 110 sein, die aus der Positionsschaltung 212 erfasst werden, oder können Information zur Steuerung der Position der Bühne 110 sein, welche durch die XY-Antriebseinheit 120 und die Z-Antriebseinheit 130 durchgeführt wird. Die FD-Erzeugungsschaltung 208 sendet die Fokuspositionsdaten FD an die Speichereinheit 201.
Die Entwicklungsschaltung 209 entwickelt (wandelt um) die Entwurfsdaten 220 in beispielsweise binäre oder mehrwertige Bilddaten. Spezifischer entwickelt beispielsweise die Entwicklungsschaltung 209 die in der Speichereinheit 201 gespeicherten Design-Daten 220 zu Daten jeden Musters (Figur), und interpretiert einen Figurencode, der die Figurenform der Figurendaten, Figuren-Abmessungen etc. angibt. Die Entwicklungsschaltung 209 entwickelt die Design-Daten 220 in ein binäres oder mehrwertiges Bild (nachfolgend als ein „Entwicklungsbild“ bezeichnet) als ein Muster, das in einem Einheitsquadrat oder einem Raster einer vorbestimmten Quantisierungsgröße angeordnet ist. Die Entwicklungsschaltung 209 berechnet eine Besetztheit, die eine Rate angibt, bei welcher die Figur Pixel des Entwicklungsbilds in jedem Pixel besetzt. Die berechnete Figurenbesetzung in jedem Pixel ist der Pixelwert des Entwicklungsbilds. Falls beispielsweise der Pixelwert des Entwicklungsbilds in einem 8-Bit-Tonwert repräsentiert ist, wird der Pixelwert jedes Pixels als ein Tonwert von 0 bis 255 repräsentiert. Die Entwicklungsschaltung 209 sendet das erzeugte Entwicklungsbild an die Referenzschaltung 210.
Die Referenzschaltung 210 erzeugt ein Referenzbild unter Verwendung des Entwicklungsbilds. Die Referenzschaltung 210 sendet das erzeugte Referenzbild an die Vergleichsschaltung 211.
Die Vergleichsschaltung 211 vergleicht das aus der Sensorschaltung 160 empfangene optische Bild mit dem aus der Referenzschaltung 210 empfangenen Referenzbild unter Verwendung eines geeigneten Algorithmus. Die Vergleichsschaltung 211 bestimmt, falls die Differenz bei den Tonwerten des optischen Bilds und des Referenzbilds einen voreingestellten Schwellenwert übersteigt, dass es einen Defekt bei einer entsprechenden Koordinatenposition (X- und Y-Koordinaten) der Maske 2 gibt. Die Vergleichsschaltung 211 speichert die Inspektionsdaten in der Speichereinheit 201. Die Vergleichsschaltung 211 kann konfiguriert sein, die Inspektionsdaten auf der Anzeigeeinheit 202 anzuzeigen oder die Inspektionsdaten nach außerhalb über die Kommunikationseinheit 204 auszugeben.
Die Positionsschaltung 212 erzeugt Positionsdaten der Bühne 110 auf der XY-Ebene auf Basis von aus dem Laserlängen-Messsystem 180 empfangenen Daten.
2. Konfiguration von optischem Beleuchtungssystem und optischem Bildgebungssystem
Als Nächstes wird ein Beispiel einer Konfiguration des optischen Beleuchtungssystems 140 und des optischen Bildgebungssystems 150 unter Bezugnahme auf 2 beschrieben. 2 ist ein Blockdiagramm des optischen Beleuchtungssystems 140 und des optischen Bildgebungssystems 150.
Es wird eine Konfiguration des optischen Beleuchtungssystems 140 und des optischen Beleuchtungssystems 140 beschrieben.
Wie in 2 gezeigt, beinhaltet das optische Beleuchtungssystem 140 Lichtquellen 301 und 302, einen dichroitischen Spiegel 303, eine Linse 304, einen Schlitz 305, eine Linse 306, einen Halbspiegel 307 und eine Objektivlinse 308.
Die Lichtquellen 301 und 302 emittieren Licht, mit welchem die Maske 2 zu bestrahlen ist. Die Wellenlängen des aus den Lichtquellen 301 und 302 emittierten Lichts unterscheiden sich voneinander. Das Licht kann entweder durch eine der Lichtquellen 301 und 302 oder durch beide von ihnen gleichzeitig emittiert werden. Die Lichtquelle 301 wird zum Aufnehmen eines optischen Bildes und Detektieren eine Fokusposition verwendet. Abhängig von der Beziehung von der Wellenlänge des Lichts aus der Lichtquelle 301 und dem Layout des Maskenmusters, kann die Präzision bei der Detektion der Fokusposition durch den Effekt von gebrochenem Licht von aus der Maske 2 reflektiertem Licht beeinträchtigt sein. In einem solchen Fall wird die Lichtquelle 302 zum Detektieren der Fokusposition verwendet. Es ist ein Fall beschrieben worden, bei dem zwei Lichtquellen vorgesehen sind; jedoch kann es sein, dass nur eine einzelne Lichtquelle (zum Beispiel die Lichtquelle 301) vorgesehen ist, und in einem solchen Fall muss der dichroitische Spiegel 303 nicht bereitgestellt werden.
Der dichroitische Spiegel 303 wird als ein optisches Isolationsmittel für die Lichtquellen 301 und 302 verwendet. Der dichroitische Spiegel 303 der vorliegenden Ausführungsform gestattet es Licht aus der Lichtquelle 301, hindurch transmittiert zu werden, und reflektiert Licht von der Lichtquelle 302. Der dichroitische Spiegel 303 kann konfiguriert sein, das Licht von der Lichtquelle 301 zu reflektieren und dem Licht aus der Lichtquelle 302 zu gestatten, hindurch transmittiert zu werden.
Das Licht, das aus dem dichroitischen Spiegel 3 transmittiert oder reflektiert worden ist, propagiert entlang einer optischen Achse L1 und wird auf die Linse 304 einfallend gemacht.
Ein Teil des Lichts, welches die Linse 304 passiert hat, passiert den Schlitz 305. Das Licht, das den Schlitz 305 passiert hat, wird zum Detektieren der Fokusposition verwendet. Das Licht, das die Linse 304 passiert hat, und das Licht, das den Schlitz 305 passiert hat, werden auf die Linse 306 einfallend gemacht.
Das durch die Linse 306 gebrochene Licht wird auf den Halbspiegel 307 einfallend gemacht. Ein Teil des Lichts, das auf den Halbspiegel 307 einfallend gemacht wird, wird reflektiert und wird auf die Objektivlinse 308 einfallend gemacht.
Die Objektivlinse 308 konzentriert das Licht auf die Musteroberfläche der Maske 2. Zu dieser Zeit wird das Licht, welches den Schlitz 305 passiert hat, auf die Außenseite der optischen Bildaufnahmeregion der Maske 2 konzentriert. Die Objektivlinse 308 kann eine Struktur aufweisen, in der eine Vielzahl von Linsen innerhalb einer optischen Säule angeordnet sind.
Die Bühne 110 bewegt sich in der Z-Richtung in solcher Weise, dass das Licht, das die Objektivlinse 308 passiert hat, an einer Position auf der Musteroberfläche der Maske 2 fokussiert wird. In der Beschreibung, die folgt, werden eine Richtung weg von der Objektivlinse 308 bzw. eine Richtung, die sich der Objektivlinse 308 nähert, in der Z-Richtung, als eine „+Z-Richtung“ und eine „-Z-Richtung“ bezeichnet.
Als Nächstes wird eine Konfiguration des optischen Bildgebungssystems 150 beschrieben. Das optische Bildgebungssystem 150 beinhaltet die Objektivlinse 308, Halbspiegel 307, 314 und 316, Linsen 309, 311 bis 313 und 315, einen Spiegel 310, Schlitz 317 und 318, eine Photodioden-Anordnung 320 und Sensoren 321 bis 323. Die Linse 313 und 315, die Halbspiegel 314 und 316, die Schlitze 317 und 318 und die Sensoren 321 bis 323 sind in dem Autofokus-Mechanismus beinhaltet.
Ein Teil des Lichtes, das von der Maske 2 reflektiert worden ist und die Objektivlinse 308 passierte, passiert den Halbspiegel 307 und wird auf die Linse 309 einfallend gemacht. Das Licht, das an der Linse 309 gebrochen worden ist, wird ungefähr parallel zur optischen Achse.
Ein Teil des Lichts, welches die Linse 309 passiert hat, passiert die Linsen 311 und 312. Die Linsen 311 und 312 veranlassen das Licht, ein Bild auf der Photodioden-Anordnung 320 zu bilden.
Das Photodiodenfeld 320 ist ein optischer Bildaufnahmesensor. Photodiodenfeld 320 erzeugt ein elektrisches Signal durch photoelektrisches Umwandeln des Lichts, das ein Bild gebildet hat. Das Photodiodenfeld 320 sendet ein elektrisches Signal an die Sensorschaltung 160. Spezifischer beinhaltet das Photodiodenfeld 320 einen nicht illustrierten Bildsensor. Beispiele des Bildsensors, der verwendet werden kann, beinhalten einen Zeilensensor, in welchem eine Vielzahl von ladungsgekoppelten Vorrichtungs-(CCD)-Kameras, die als Bildaufnahme-Vorrichtungen dienen, in einer Zeile ausgerichtet sind. Beispiele des Zeilensensors beinhalten einen Zeitverzögerungs-Integrations-(TDI)-Sensor. Der TDI-Sensor nimmt beispielsweise Bilder des Musters der auf der Bühne 110 platzierten Maske 2 auf, welche sich kontinuierlich bewegt.
Ein Teil des Lichts, welches die Linse 309 passiert hat, wird am Spiegel 310 reflektiert und auf die Linse 313 einfallend gemacht. Das Licht, das aus dem Spiegel 310 reflektiert worden ist, beinhaltet Licht, welches den Schlitz 305 passiert hat und von der Maske 2 reflektiert wurde. Der Spiegel 310 kann ein Halbspiegel sein. Das durch die Linse 313 gebrochene Licht wird auf den Hochspannung 314 einfallend gemacht.
Das Licht, das vom Halbspiegel 314 reflektiert worden ist, wird auf den Sensor 321 einfallend gemacht.
Der Sensor 321 wird zum Messen der optischen Intensitätsverteilung der Pupille des optischen Beleuchtungssystems 140 verwendet, nämlich der Pupille der Objektivlinse 308, oder einer Pupille an einer Position, die dazu konjugierend ist. Auf Basis des empfangenen Lichts erzeugt der Sensor 321 ein elektrisches Signal und sendet das erzeugte elektrische Signal an die Fokuspositions-Detektionsschaltung 170. Als Sensor 321 wird ein CCD-Bildsensor, der ein zweidimensionaler Sensor ist, verwendet. Falls beispielsweise die Effekte des gebrochenen Lichts aus der Licht-Intensitätsmessung durch den Sensor 321 bestätigt werden können, wird die Lichtquelle 302 zum Detektieren der Fokusposition verwendet.
Das Licht, welches den Halbspiegel 314 durchdrungen hat, passiert die Linse 315 und wird auf den Halbspiegel 316 einfallend gemacht.
Das Licht, das den Halbspiegel 316 durchdrungen hat, bestrahlt den Schlitz 317. Das Licht, das den Schlitz 317 passiert hat, wird auf den Sensor einfallend gemacht. Das Licht, das vom Halbspiegel 316 reflektiert worden ist, bestrahlt den Schlitz 318. Das Licht, das den Schlitz 318 passiert hat, wird auf den Sensor 323 einfallend gemacht. Die Schlitze 317 und 318 sind angeordnet, Licht, das den Schlitz 305 passiert hat und von der Maske 2 reflektiert worden ist, zu gestatten, hindurch zu passieren. Zu dieser Zeit sind die Schlitze 317 und 318 so angeordnet, dass sie an der Frontseiten-Konjugatposition und der Rückseiten-Konjugatposition in Bezug auf die Maske 2 positioniert ist. Der Schlitz 317 kann auf der Frontseite angeordnet sein und der Schlitz 318 kann auf der Rückseite angeordnet sein, oder vice versa. Es wird bevorzugt, dass die Breiten der Schlitze 317 und 318 einem halben Ausbreitungslichtfluss entsprechen, basierend auf der numerischen Apertur (NA) der Objektivlinse 308, das heißt dem Pupillendurchmesser der Objektivlinse 308.
Die Sensoren 322 und 323 sind Sensoren zum Detektieren der Fokusposition. Basierend auf dem empfangenen Licht, erzeugen die Sensoren 322 und 323 ein elektrisches Signal (ein Fokuspositionssignal) und senden das erzeugte elektrische Signal an die Fokuspositions-Detektionsschaltung 170. Für die Sensoren 322 und 323 wird beispielsweise eine Photodiode oder eine Photo-Elektronenverstärkerröhre verwendet. Die Fokuspositions-Detektionsschaltung 170 berechnet eine Fokusposition (ein Abweichungsbetrag gegenüber der Fokusposition) durch Vergleichen des Lichtbetrags an der Frontseiten-Konjugatposition und des Lichtbetrags an der Rückseiten-Konjugatposition. Die Position, wo die Lichtmenge an der Frontseiten-Konjugatposition und die Lichtmenge an der Rückseiten-Konjugatposition gleich sind, ist die optimale Fokusposition.
Im optischen Bildgebungssystem 150 kann das Licht aus der Lichtquelle 301 und das Licht aus der Lichtquelle 302 isoliert sein, und kann die Fokusposition aus jeder von ihnen detektiert werden. In diesem Fall ist ein dichroitischer Spiegel beispielsweise zwischen dem Halbspiegel 314 und der Linse 315 vorgesehen. Der dichroitische Spiegel gestattet beispielsweise, dass das Licht aus der Lichtquelle 301 hindurch dringt und reflektiert das Licht von der Lichtquelle 302. Auch können zwei Fokuspunkt-Detektionssysteme, die beide konfiguriert sind aus der Linse 315, dem Halbspiegel 316, den Schlitzen 317 und 318 und den Sensoren 322 und 323 auf solche Weise vorgesehen sein, dass die Fokusposition aus ...? des Lichts detektiert wird, das hindurchgedrungen ist und dem Licht, das reflektiert worden ist vom dichroitischen Spiegel.
3. Inspektionsregion von Maske
Als Nächstes wird ein Beispiel der Inspektionsregion der Maske 2 unter Bezugnahme auf 3 beschrieben. 3 ist ein Diagramm, das eine Oberfläche der Maske 2 zeigt. Nachfolgend wird ein Fall beschrieben, bei dem die Maske 2 in der X-Richtung abgetastet wird und eine Vielzahl von Streifen in der Y-Richtung ausgerichtet sind. Eine Richtung, die zur linken Seite in 3 geht, und eine Richtung, die zur rechten Seite in 3 geht, werden bei Sicht in der X-Richtung jeweils als eine „-X-Richtung“ und eine „+-X-Richtung“ bezeichnet. Auch werden eine Richtung, die zur unteren Seite in 3 geht, und eine Richtung, die zur oberen Seite in 3 geht, bei Sicht in der Y-Richtung, jeweils als eine „-Y-Richtung“ und eine „+Y-Richtung“ bezeichnet.
Wie in 3 gezeigt, beinhaltet die Maske 2 eine Inspektionsregion 400. In der Inspektionsregion 400 wird ein nicht illustriertes Muster bereitgestellt. Die Inspektionsregion 400 ist beispielsweise eine Transmissionsregion der Maske 2, und eine äußere Peripherie der Inspektionsregion 400 ist eine Licht-Abschirmregion. In einer Verkleinerungsprojektions-Belichtungseinrichtung wird ein Muster durch Licht exponiert, welches die Transmissionsregion durchdrungen hat. Ein Teil der Ladungserzeugungsregion Licht-Abschirmregion kann in der Inspektionsregion 400 enthalten sein.
Die Inspektionsregion 400 wird virtuell in eine Vielzahl von Streifen SP bei Sicht in der Y-Richtung unterteilt. Der Streifen SP weist eine rechteckige Form einer vorgegebenen Breite auf. Endbereiche angrenzender Streifen SP in der Y-Richtung können einander überlappen. Im Beispiel von 3 ist die Inspektionsregion 400 in n Streifen SP1 bis SPn (wobei n eine natürliche Zeit gleich oder größer als Eins ist) unterteilt. Die Streifen SP1 bis SPn sind in dieser Reihenfolge hin zur Y-Richtung angeordnet. Die XY-Antriebseinheit 120 bewegt die Bühne 110 auf solche Weise, dass die Streifen SP1 bis SPn kontinuierlich abgetastet werden.
Spezifischer bewegt sich im Streifen SP1 die mit dem Licht bestrahlte Region in der +X-Richtung. Nachfolgend kann das Bewegen in der +X-Richtung auch als Bewegung in einer „FWD-Richtung“ bezeichnet werden. Zu dieser Zeit bewegt sich die Bühne 110 in der -X-Richtung. Nachfolgend kann das Bewegen der -X-Richtung auch als ein Bewegen in einer „BWD-Richtung“ bezeichnet werden. Nachdem das Scannen des Streifens SP1 endet, wird das Scannen des Streifens SP2 ausgeführt. Im Beispiel des Streifens SP2 bewegt sich die bestrahlte Region in der -X-Richtung (BWD-Richtung). Zu dieser Zeit bewegt sich die Bühne 110 in der +X-Richtung (FWD-Richtung). Nachfolgend bewegt sich beim Scannen des Streifens SP3 die bestrahlte Region in der FWD-Richtung. Zu dieser Zeit bewegt sich die Bühne 110 in der -X-Richtung (BWD-Richtung). Nachfolgend bewegt sich beim Scannen des Streifens SP4 die bestrahlte Region in der BWD-Richtung. Zu dieser Zeit bewegt sich die Bühne 110 in der +X-Richtung (FWD-Richtung). Auf diese Weise wird Scannen ausgeführt, bis das Scannen des Streifens SPn endet, indem der Bewegungsrichtung der bestrahlten Region gestattet wird, zwischen der FWD-Richtung und der BWD-Richtung abzuwechseln. Das heißt, falls die Anzahl der Streifen SP ungerade ist, wird ein Scannen in der FWD-Richtung ausgeführt und falls die Anzahl der Streifen SP gerade ist, wird das Scannen in der BWD-Richtung ausgeführt.
4. Gesamtablauf von Inspektionsprozess
Als Nächstes wird ein Beispiel eines Gesamtablaufs eines Informations-Sendeprozesses unter Bezugnahme auf 4 beschrieben. 4 ist ein Flussdiagramm eines Inspektionsprozesses.
Wie in 4 gezeigt, steuert der Steuerrechner 200 den Bilderfassungsmechanismus 10, um Kalibrierung auszuführen (Schritt S1). Durch die Kalibrierung wird ein Pixelwert (Tonwert) eines durch die Sensorschaltung 160 erfassten optischen Bilds justiert.
Nachfolgend führt der Steuerrechner 200 Scannen durch und erfasst ein Inspektionsbild (optisches Bild) der Maske 2 (Schritt S2). Das erfasste optische Bild wird an die Vergleichsschaltung 211 gesendet.
Die Entwicklungsschaltung 209 führt Entwicklungs-Verarbeitung von Design-Daten 220 aus (Schritt S3). Spezifischer liest die Entwicklungsschaltung 209 die Design-Daten 220, die in der Speichereinheit 201 gespeichert sind, ein. Die Entwicklungsschaltung 209 entwickelt (wandelt um) die Design-Daten 220 in beispielsweise 8-Bit-Bilddaten (ein Entwicklungsbild). Die Entwicklungsschaltung 209 sendet das erzeugte Entwicklungsbild an die Referenzschaltung 210. Die Referenzschaltung 210 erzeugt ein Referenzbild (Schritt S4). Die Referenzschaltung 210 sendet das erzeugte Referenzbild an die Vergleichsschaltung 211. Die Erfassung des Inspektionsbilds und die Erzeugung des Referenzbilds können in reverser Reihenfolge erfolgen oder können gleichzeitig durchgeführt werden.
Die Vergleichsschaltung 211 führt eine Vergleichsverarbeitung durch (Schritt S5). Spezifischer führt die Vergleichsschaltung 211 eine Ausrichtung zwischen dem optischen Bild und dem Referenzbild aus und führt eine Positionierung eines Musters im optischen Bild und eines Musters im Referenzbild durch. Nachfolgend vergleicht die Vergleichsschaltung 211 das optische Bild mit dem Referenzbild. Die Vergleichsschaltung 211 berechnet eine Differenz beim Pixelwert (Tonwert) jedes Pixels und bestimmt, dass das Pixel defekt ist, falls die Differenz beim Tonwert gleich oder größer als ein voreingestellter Schwellenwert ist.
Der Steuerrechner 200 gibt ein Vergleichsergebnis (Inspektionsdaten) aus (Schritt S6). Der Steuerrechner 200 sichert die Inspektionsergebnisse in der Speichereinheit 201. Der Steuerrechner 200 kann die Inspektionsergebnisse auf der Anzeigeeinheit 202 anzeigen oder kann sie an eine externe Einrichtung (zum Beispiel eine Überprüfungseinrichtung etc.) über die Kommunikationseinheit 204 ausgeben.
5. Fokuspositions-Justierung
Als Nächstes wird eine Fokuspositions-Justierung beschrieben. In der vorliegenden Ausführungsform wird beim Scannen die Fokuspositions-Justierung (Höhenpositions-Justierung der Bühne 110) auf Basis eines Fokusversatzwertes und eines Autofokus-Steuersignals durchgeführt. Der Fokusversatzwert wird auf Basis der durch Scannen eines gegebenen Streifens SP in einer identischen Richtung erhaltenen Fokuspositionsdaten FD eingestellt. Spezifischer wird beispielsweise beim Scannen des Streifens SPn der Fokusversatzwert basierend auf den Fokuspositionsdaten FD (n-2) eines Streifens SP (n-2) eingestellt, der vorletztem Scannen in derselben Richtung unterworfen wird. Entsprechend wird in der vorliegenden Ausführungsform vor dem Scannen der Streifen SP1 und SP2 ein Dummy-Scanning in einer Richtung ausgeführt, die der Scan-Vorrückrichtung jedes Streifens entspricht. Beim Dummy-Scan werden die Fokuspositionsdaten FD erfasst und es wird ein optisches Bild nicht erfasst. Falls beispielsweise die Variable n ein numerischer Wert kleiner als n = 1 ist, was dem Streifen SP1 entspricht, nämlich falls n = -1 oder n = 0 eingestellt wird, wird ein Dummy-Scanning ausgeführt.
5.1. Ablauf von optischer Bilderfassung
Zuerst wird ein Beispiel eines Ablaufs von optischer Bilderfassung unter Bezugnahme auf 5 beschrieben, mit einem Fokus auf dem Scannen. 5 ist ein Flussdiagramm, das einen Ablauf von optischer Bilderfassung zeigt.
Wie in 5 gezeigt, stellt der Steuerrechner 200 die Variable n = -1 ein (Schritt S101). Nachfolgend führt der Steuerrechner 200 ein Dummy-Scanning in der FWD-Richtung (Schritt S102) aus. Das Dummy-Scanning in der FWD-Richtung entspricht dem Streifen SP1. Für das Dummy-Scanning in der FWD-Richtung wird beispielsweise der Streifen SP1 verwendet. Zu dieser Zeit wird kein optisches Bild des Streifens SP1 erfasst.
Nachfolgend erzeugt die FD-Erzeugungsschaltung 208 Annäherungsdaten der Z-Koordinate (Höhenposition der Bühne 110) mittels eines gleitenden Durchschnitts auf Basis der Ergebnisse des Scannens. Die FD-Erzeugungsschaltung 208 erzeugt Fokuspositionsdaten FD (-1) auf Basis der Annäherungsdaten der Z-Koordinate (Schritt S103). Die Fokuspositionsdaten FD (-1) werden in der Speichereinheit 201 gespeichert.
Nachfolgend inkrementiert der Steuerrechner 200 die Variable n, um n = 0 zu erfüllen (Schritt S104). Nachfolgend führt der Steuerrechner 200 ein Dummy-Scanning in der BWD-Richtung aus (Schritt S105). Das Dummy-Scanning in der BWD-Richtung entspricht dem Streifen SP2. Entsprechend wird für das Dummy-Scanning in der FWD-Richtung beispielsweise der Streifen SP2 verwendet.
Nachfolgend erzeugt die FD-Erzeugungsschaltung 208 Annäherungsdaten der Z-Koordinate mittels eines gleitenden Durchschnitts auf Basis der Ergebnisse des Scannens. Die Frontoberflächenschicht 208 erzeugt Fokuspositionsdaten FD0 auf Basis der Annäherungsdaten der Z-Koordinate (Schritt S106). Die Fokuspositionsdaten FD0 werden in der Speichereinheit 201 gespeichert.
Nachfolgend inkrementiert der Steuerrechner 200 die Variable n, um n = n+1 zu erfüllen (Schritt S107).
Nachfolgend liest die Versatz-Einstellschaltung 230 Fokuspositionsdaten FD (n-2) aus der Speichereinheit 201 aus. Die Versatz-Einstellschaltung 230 stellt einen Fokusversatzwert für das Scannen des Streifens SPn ein, basierend auf den Fokuspositionsdaten FD (n-2) (Schritt S108). Zu dieser Zeit liest die Versatz-Einstellschaltung 230 die Fokuspositionsdaten FD vorher ein. Mit anderen Worten verschiebt die Versatz-Einstellschaltung 230 die Daten der X-Koordinate der Fokuspositionsdaten FD in der Vorschubrichtung der Bühne 110. Spezifischer wird der Streifen SP1 in beispielsweise der FWD-Richtung gescannt. Das heißt, dass sich die Bühne 110 in der -X-Richtung bewegt. In einem solchen Fall stellt die Versatz-Einstellschaltung 230 den Fokusversatzwert auf Basis von Ergebnissen ein, welche durch Verschieben der Koordinatendaten der Fokuspositionsdaten FD(-1) erhalten werden, spezifischer den Wert der X-Koordinate in der -X-Richtung. Der Streifen SP2 wird beispielsweise in der BWD-Richtung gescannt. Das heißt, dass die Bühne 110 sich in der +X-Richtung bewegt. In einem solchen Fall stellt die Versatz-Einstellschaltung 230 den Fokusversatzwert auf Basis von Ergebnissen ein, welche durch Verschieben des Werts der X-Koordinate der Fokuspositionsdaten FD0 in der +X-Richtung erhalten werden. Der Verschiebebetrag wird auf Basis einer Scan-Geschwindigkeit und einer Autofokus-Verfolgungsgeschwindigkeit bestimmt. Ähnlich stellt im Streifen SP3 und den Streifen, die folgen (n=2 oder größer), beispielsweise die Versatz-Einstellschaltung 230 den Fokusversatzwert auf Basis von Ergebnissen ein, welche durch Verschieben der Fokuspositionsdaten FD im Streifen SP, welcher dem vorletzten Scannen unterworfen war, erhalten wurden.
Im Falle des Einstellens des Fokusversatzwerts können Fokuspositionsdaten FD, auf welche ein Voreinlesen anzuwenden ist, und Fokuspositionsdaten FD, auf welche ein Voreinlesen nicht anzuwenden ist, koexistieren. Beispielsweise kann die Versatz-Einstellschaltung 230 die Fokuspositionsdaten FD(-1) und FD0, die durch Dummy-Scanning erfasst werden voreinlesen und mag die Fokuspositionsdaten FDn (n>1), welche durch anderes Scannen als das Dummy-Scanning erfasst werden, nicht voreinlesen. In der vorliegenden Ausführungsform ist ein Fall beschrieben worden, bei dem die Versatz-Einstellschaltung 230 die Fokuspositionsdaten FD(n-2) aus der Speichereinheit 201 liest; jedoch ist die Konfiguration nicht darauf beschränkt, solange wie die Scan-Vorrückrichtung die gleiche ist. Falls beispielsweise der Streifen SP (n-4) bestimmt wird, ähnlicher dem Muster des Streifens SPn zu sein als der Streifen SP(n-2) durch Bezugnahme auf die Design-Daten 220, kann die Versatz-Einstellschaltung 230 die Fokuspositionsdaten FD (n-4) aus der Speichereinheit 201 lesen.
Nachfolgend führt der Steuerrechner 200 Scannen des Streifens SPn aus (Schritt S109). Zu dieser Zeit steuert die Z-Antriebseinheits-Steuereinheit 207 eine Höhenposition (Z-Koordinate) der Bühne 110 auf Basis des Fokusversatzwertes und des Fokuspositions-Justiersignals aus der Fokuspositions-Detektionsschaltung 170. Durch das Scannen erfasste optische Bilddaten werden an die Vergleichsschaltung 211 übertragen.
Nachfolgend erzeugt die FD-Erzeugungsschaltung 208 Annäherungsdaten der Z-Koordinaten mittels eines gleitenden Durchschnitts auf Basis der Ergebnisse des Scannens. Die FD-Erzeugungsschaltung 208 erzeugt Fokuspositionsdaten FDn auf Basis der Annäherungsdaten der Z-Koordinate (Schritt S110). Die Fokuspositionsdaten FDn werden in der Speichereinheit 201 gespeichert.
Der Steuerrechner 200 bestätigt, ob der dem Scannen unterworfene Streifen SPn der finale Streifen SP ist oder nicht (Schritt S111). Falls der dem Scannen unterworfene Streifen SPn nicht der finale Streifen SP ist (Schritt S111 _ Nein), schreitet der Steuerrechner 200 zu Schritt S107 fort und inkrementiert die Variable n. Falls andererseits der dem Scannen unterworfene Streifen SPn der finale Streifen SP ist (Schritt S111_Ja), beendet der Steuerrechner 200 die Erfassung des optischen Bilds.
5.2. Konkretes Beispiel von Annäherungsdaten von Z-Koordinate
Als Nächstes wird ein konkretes Beispiel von Annäherungsdaten einer Z-Koordinate unter Bezugnahme auf 6 beschrieben. 6 ist ein Diagramm, das ein konkretes Beispiel von Annäherungsdaten einer Z-Koordinate zeigt. Im Beispiel von 6 sind X- und Z-Koordinaten der Bühne 111 in einem einzelnen Streifen SP gezeigt.
Der Graph oben in 6 zeigt Koordinaten der Bühne 110 während des Scannens. Der gesamte Anstieg der Z-Koordinate zur +X-Richtung zeigt die Effekte der Verzerrung der Maske 2.
In dem vorliegenden Beispiel existiert eine abrupte Stufenhöhe bei den Koordinaten X1 und X2.
Der Graph unten zeigt zwei Elemente von Annäherungsdaten der Koordinaten, die im Graphen oben gezeigt sind, ermittelt durch zwei Typen von Berechnung. Die durch die durchgezogene Linie gezeigten Annäherungsdaten geben den Fall an, bei dem die FD-Erzeugungsschaltung 208 der vorliegenden Ausführungsform Annäherungsdaten mittels eines gleitenden Durchschnitts berechnet. Die gestrichelte Linie gibt den Fall an, bei dem als ein Vergleichsbeispiel Annäherungsdaten mittels einer Polynom-Annäherung berechnet werden. Mit Verwendung einer Polynom-Annäherung wie im Vergleichsbeispiel kann es sein, dass eine Stufenhöhe zwischen X1 und X2 nicht widergespiegelt wird, falls die Ordnung des Polynoms klein ist. Andererseits ist es mit dem gleitenden Durchschnitt möglich, eine Stufenhöhe in den Annäherungsdaten widerzuspiegeln. In einem gleitenden Durchschnitt kann die Anzahl von Elementen von Daten, die zur Berechnung des gleitenden Durchschnitts von Z-Koordinaten in Bezug auf jede X-Koordinate verwendet werden, frei eingestellt werden. Eine solche Einstellung kann beispielsweise auf dem Rauschen der Z-Koordinate basieren.
5.3. Konkretes Beispiel von Voreinlesen von Fokuspositionsdaten
Als Nächstes wird ein konkretes Beispiel von Voreinlesen von Fokuspositionsdaten FD unter Bezugnahme auf 7 und 8 beschrieben. 7 ist ein Diagramm, das ein Beispiel von Voreinlesen von Fokuspositionsdaten FD (-1) beim Scannen des Streifens SP1 in der FWD-Richtung zeigt. 8 ist ein Diagramm, das ein Beispiel von Voreinlesen von Fokuspositionsdaten FD0 beim Scannen des Streifens SP2 in der BWD-Richtung zeigt. Zuerst wird ein Fall beschrieben, bei dem der Streifen SP1 in der FWD-Richtung gescannt wird.
Oben in 7 zeigt einen Teil eines Querschnitts der zu scannenden Maske 2. Der Graph in der Mitte zeigt eine Beziehung zwischen der Z-Koordinate und der X-Koordinate der Bühne 110 auf Basis von Dummy-Scannen des Streifens SP1. Der Graph unten zeigt eine Beziehung zwischen der Z-Koordinate und der X-Koordinate der Stufe 110 auf Basis des Scannens des Streifens SP1.
Ein Vorsprung 500 (zum Beispiel ein Muster) mit einer Höhe T1 existiert beispielsweise zwischen den X-Koordinaten P1 und P2 der Maske 2. Ein solcher Bereich wird einem Dummy-Scannen in der FWD-Richtung unterworfen. Das heißt, dass die Stufe 110 in der -X-Richtung bewegt wird. Der Fokusversatzwert zu dieser Zeit ist konstant Z0, unabhängig von der X-Koordinate. In dem Fokuspositionsdaten FD (-1) tritt eine Autofokus-Tracking-Verzögerung in der +X-Richtung, in Bezug auf die tatsächliche X-Koordinate des Vorsprungs 500 auf. Spezifischer steigt die Z-Koordinate der Oberfläche der Maske 2 in Bezug auf die X-Koordinate P1 um +T1 (steigt an). ? andererseits verschiebt sich in den Fokuspositionsdaten FD (-1), wenn sich die X-Koordinate von P1 zu P1+d verschiebt, die Z-Koordinate von Z0 zu Z0+T1. Das heißt, das eine Autofokus-Tracking-Verzögerung einer Größe |d| in der +X-Richtung auftritt. Ähnlich fluktuiert die Z-Koordinate der Oberfläche der Maske 2 in Bezug auf die X-Koordinate P2 um -T1 (fällt ab). Andererseits verschiebt sich in den Fokuspositionsdaten FD (-1), da sich die X-Koordinate von P2 zu P2+d verschiebt, die Z-Koordinate von Z0+T1 zu Z0. Das heißt, dass eine Autofokus-Tracking-Verzögerung einer Größe |d| in der +X-Richtung auftritt. Auf Basis der obigen Ergebnisse werden die Fokuspositionsdaten FD (-1) erzeugt. Entsprechend enthalten die Fokuspositionsdaten FD (-1) Koordinatendaten, in welchen die Autofokus-Tracking-Verzögerung aufgetreten ist.
Die Versatz-Einstellschaltung 230 stellt vor dem Scannen des Streifens SP1 einen zum Scannen des Streifens SP1 verwendeten Fokusversatzwert unter Verwendung der Fokuspositionsdaten FD (-1), die aus der Speichereinheit 201 ausgelesen werden, ein. Zu dieser Zeit liest die Versatz-Einstellschaltung 230 die Fokuspositionsdaten FD (-1) vorab ein. Spezifischer, zum Scannen in der FWD-Richtung, veranlasst die Versatz-Einstellschaltung 230 die X-Koordinatendaten, sich in der -X-Richtung zu verschieben. Unter beispielsweise der Annahme, dass die Größe des Verschiebebetrags Isl ist, stellt die Versatz-Einstellschaltung 230 Daten, die durch Subtrahieren der X-Koordinate der Fokuspositionsdaten FD(-1) von Isl ermittelt wird, als Fokusversatzwert ein. Der Verschiebebetrag Isl ist ein Wert gleich zu oder kleiner als der Tracking-Verzögerungsbetrag Idl.
Dadurch kann beim Scannen des Streifens SP1 die Fluktuation der Z-Koordinate basierend auf dem Fokusversatzwert vor der Fluktuation der Z-Koordinate auf Basis des Autofokus-Steuersignals gestartet werden. Beispielsweise beginnt die Fluktuation der Z-Koordinate, die ab der Koordinate P1 beim Dummy-Scanning startet, ab der Koordinate P1-s beim Scannen. Entsprechend wird die Autofokus-Tracking-Verzögerung um den Verschiebebetrag Isl verringert.
Als Nächstes wird ein Fall beschrieben, bei dem der Streifen SP2 in der BWD-Richtung gescannt wird.
Der obere Teil von 8 zeigt einen Teil eines Querschnitts der zu scannenden Maske 2. Der Graph in der Mitte zeigt eine Beziehung zwischen der Z-Koordinate und der X-Koordinate der Bühne 110 auf Basis von Dummy-Scanning des Streifens SP2. Der Graph unten zeigt eine Beziehung zwischen der Z-Koordinate und der X-Koordinate der Bühne 110 auf Basis des Scannens des Streifens SP2.
Im Beispiel von 8 wird Dummy-Scanning in der BWD-Richtung ausgeführt. Das heißt, dass die Bühne 110 in der +X-Richtung bewegt wird. Der Fokusversatzwert zu dieser Zeit ist konstant Z0, unabhängig von der X-Koordinate. In den Fokuspositionsdaten FD0 tritt eine Autofokus-Tracking-Verzögerung in der -X-Richtung auf, in Bezug auf die tatsächliche X-Koordinate des Vorsprungs 500. Spezifischer fluktuiert die Z-Koordinate der Oberfläche der Maske 2 in Bezug auf die X-Koordinate P2 um +T1 (steigt an). Andererseits verschiebt sich in den Fokuspositionsdaten FD0, wenn die X-Koordinate sich von P2 zu P2-d verschiebt, die Z-Koordinate von Z0 bis Z0 bis ZT1. das heißt, dass eine Autofokus-Tracking-Verzögerung einer Größe von |d| in der -X-Richtung auftritt. Ähnlich fluktuiert die Z-Koordinate der Oberfläche der Maske 2 in Bezug auf die X-Koordinate P1 um - T1 (fällt ab). Andererseits verschiebt sich in den Fokuspositionsdaten FD0, da die X-Koordinate die von P1 zu P1-d verschiebt, die Z-Koordinate von Z0+T1 zu Z0. Das heißt, dass eine Autofokus-Tracking-Verzögerung eine Größe Scheibenrotor |d| in der -X-Richtung auftritt. Basierend auf den obigen Ergebnissen werden die Fokuspositionsdaten FD0 erzeugt. Entsprechend enthalten die Fokuspositionsdaten FD0 Koordinatendaten, in welchen die Autofokus-Tracking-Verzögerung aufgetreten ist.
Vor dem Scannen des Streifens SP2 stellt die Versatz-Einstellschaltung 230 den zum Scannen des Streifens SP2 verwendeten Fokusversatzwert unter Verwendung der aus der Speichereinheit 201 ausgelesenen Fokuspositionsdaten FD0 ein. ZU dieser Zeit liest die Versatz-Einstellschaltung 230 die Fokuspositionsdaten FD0 vorab ein. Spezifischer, um in der BWD-Richtung zu scannen, verschiebt die Versatz-Einstellschaltung 230 die X-Koordinatendaten in der +X-Richtung. Die Versatz-Einstellschaltung 230 stellt Daten, die durch Addieren von Isl zu dem X-Koordinatenwert der Fokuspositionsdaten FD0 erhalten werden, als einen Fokusversatzwert ein.
Als Ergebnis beginnt die Fluktuation der Z-Koordinate, beginnend ab der Koordinate P2 beim Dummy-Scanning, ab der Koordinate P2+s beim Scannen. Entsprechend wird die Tracking-Verzögerung um den Verschiebebetrag Isl gesenkt.
6. Vorteilhafte Effekte der vorliegenden Ausführungsform
Gemäß der Konfiguration der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet eine Inspektionseinrichtung eine FD-Erzeugungsschaltung, die Annäherungsdaten der Z-Koordinate mittels einem gleitenden Durchschnitt auf Basis von Ergebnissen des Scannens eines Streifens SP berechnet und Fokuspositionsdaten FD unter Verwendung der Annäherungsdaten erzeugt, und eine Versatz-Einstellschaltung, die einen Fokusversatzwert durch Voreinlesen (Verschieben) der Fokuspositionsdaten in der Vorrückrichtung der Bühne 110 einstellt. Durch Berechnen von Annäherungsdaten mittels eines gleitenden Durchschnitts ist die Inspektionseinrichtung in der Lage, Annäherungsdaten zu berechnen, in welchen die Effekte von Rauschen reduziert sind, und Information zu einer abrupten Stufenhöhe reflektiert wird. Auch ist durch Voreinlesen der Fokuspositionsdaten und Einstellen des Fokusversatzwerts die Inspektionseinrichtung in der Lage, die Bewegung der Höhenposition der Bühne 110 auf Basis des Fokusversatzwertes vor dem Bewegen der Höhenposition der Bühne 110 auf Basis des Autofokus-Steuersignals zu starten. Es ist daher möglich, die Tracking-Verzögerung des Autofokus-Steuersignals zu senken. Dies senkt das De-Fokussieren in einem optischen Bild, was Bilderfassung eines feinen Musters erleichtert und die Präzision des Detektierens von Musterdefekten verbessert.
7. Sonstiges
Während gewisse Ausführungsformen beschrieben worden sind, sind diese Ausführungsformen lediglich beispielhaft präsentiert worden und sollen nicht den Schutzumfang der Erfindung beschränken. Stattdessen können die hierin beschriebenen neuen Ausführungsformen in einer Vielzahl anderer Formen ausgeführt werden. Weiterhin können verschiedene Weglassungen, Austäusche und Änderungen in Form der hierin beschriebenen Ausführungsformen gemacht werden, ohne vom Geist der Erfindung abzuweichen. Die beigefügten Ansprüche und ihre Äquivalente sollen solche Formen oder Modifikationen abdecken, die innerhalb von Schutzumfang und Geist der Erfindung fallen würden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2010217317 A [0007]

Claims

Inspektionseinrichtung, umfassend: eine Bühne (110), auf der eine Probe (2) platziert wird; ein optisches Beleuchtungssystem (140), das konfiguriert ist, die Probe mit zum optischen Abtasten der Probe verwendetem Licht zu bestrahlen; ein optisches Bildgebungssystem (150), das einen Sensor beinhaltet, der eine Fokusposition detektiert und konfiguriert ist, das Licht, mit welchem die Probe bestrahlt wird, dazu zu bringen, ein Bild auf dem Sensor zu bilden; eine Detektionsschaltung (170), die konfiguriert ist, ein Fokus-Positionssignal des durch den Sensor empfangenen Lichts zu detektieren; eine Einstellschaltung (230), die konfiguriert ist, einen ersten Fokus-Versatzwert einer ersten Region (SP1) auf Basis eines Ergebnisses, welches durch Verschieben in einer Vorschubrichtung (X-Richtung) der Bühne erhalten wird, von ersten Fokuspositionsdaten (FD(-1)), die auf Basis eines Ergebnisses erzeugt werden, das ermittelt wird durch optisches Scannen der ersten Region, wobei die erste Region in einer Vielzahl von streifenförmigen Regionen enthalten ist, in welchen die Probe in einer Richtung (Y-Richtung) orthogonal zur Vorschubrichtung der Bühne virtuell unterteilt wird; und eine Steuerschaltung (207), die konfiguriert ist, eine Höhenposition der Bühne auf Basis des Fokuspositionssignals und des ersten Fokusversatzwerts zu steuern.
Inspektionseinrichtung gemäß Anspruch 1, wobei im Falle des optischen Scannens in einer ersten Richtung (FWD) sich die Bühne in einer zweiten Richtung (BWD) entgegengesetzt zur ersten Richtung bewegt, und die Einstellschaltung konfiguriert ist, den ersten Fokusversatzwert der ersten Region auf Basis eines Ergebnisses einzustellen, welches durch verschiedene Koordinatendaten der ersten Fokuspositionsdaten in der zweiten Richtung erhalten wird.
Inspektionseinrichtung gemäß Anspruch 1, weiter umfassend: eine Erzeugungsschaltung (208), die konfiguriert ist, die ersten Fokuspositionsdaten zu erzeugen und Annäherungsdaten der Höhenposition der Bühne mittels eines gleitenden Durchschnitts auf Basis eines Ergebnisses, welches durch optisches Scannen der Probe erhalten wird, zu erzeugen.
Inspektionseinrichtung gemäß Anspruch 1, wobei in einem Fall des optischen Scannens einer n-ten Region (SPn), wobei n eine natürliche Zahl gleich oder größer als Drei ist, die in den streifenförmigen Regionen enthalten sind, in einer ersten Richtung (FWD) die Einstellschaltung einen n-ten Fokusversatzwert auf Basis eines Ergebnisses einstellt, welches durch optisches Scannen einer (n-2)-ten Region (SP(n-2)) erhalten wird, die in den streifenförmigen Regionen enthalten ist, in der ersten Richtung, einstellt.
Inspektionseinrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die streifenförmigen Regionen eine zweite Region (SP2) angrenzend an der ersten Region beinhalten, und in einem Fall des optischen Scannens der ersten Region in einer ersten Richtung (FWD) die zweite Region optisch in einer zweiten Richtung (BWD) entgegengesetzt zur ersten Richtung gescannt wird.
Inspektionseinrichtung gemäß Anspruch 1, weiter umfassend: eine Vergleichsschaltung (211), die konfiguriert ist, ein optisches Bild auf Basis des optischen Scannens der Probe mit einem Referenzbild zu vergleichen.
Inspektionseinrichtung gemäß Anspruch 6, weiter umfassend: eine Referenzschaltung (210), die konfiguriert ist, das Referenzbild auf Basis von Design-Daten der Probe zu erzeugen.
Inspektionseinrichtung gemäß Anspruch 7, wobei das optische Bildgebungssystem weiter ein Photodiodenfeld (320) enthält, das ein Bild der Probe während des optischen Scannens aufnimmt.
Fokuspositions-Justierverfahren, umfassend: optisches Scannen (S102), in einer ersten Richtung, einer ersten Region (SP1), die in einer Vielzahl von streifenförmigen Regionen enthalten ist, in welcher eine Probe (2) in einer Richtung (Y-Richtung) orthogonal zu einer Vorschubrichtung (X-Richtung) einer Bühne (110), auf welcher die Probe platziert ist, virtuell unterteilt ist; Erzeugen (S103) erster Fokuspositionsdaten (FD(-1)) auf Basis eines Ergebnisses, welches durch optisches Scannen der ersten Region erhalten wird; Einstellen (S108) eines ersten Fokusversatzwerts der ersten Region auf Basis eines Ergebnisses, welches durch Verschieben von Koordinatendaten der ersten Fokuspositionsdaten in der Vorschubrichtung der Bühne erhalten wird; und optisches Scannen (S109) der ersten Region durch Steuern einer Höhenposition der Bühne auf Basis des ersten Fahrzeugversatzwerts und eines Fokuspositions-Detektionsergebnisses.
Fokuspositions-Justierverfahren gemäß Anspruch 9, wobei das Einstellen des ersten Fokusversatzwerts auf Basis eines Ergebnisses durchgeführt wird, welches durch Verschieben der ersten Fokuspositionsdaten in einer zweiten Richtung (BWD) entgegengesetzt zur ersten Richtung erhalten wird.
Fokuspositions-Justierverfahren gemäß Anspruch 9, wobei bei der Erzeugung der ersten Fokuspositionsdaten Annäherungsdaten der Höhenposition der Bühne erzeugt werden mittels eines gleitenden Durchschnitts auf Basis des Ergebnisses, das durch optisches Scannen der ersten Region erhalten wird.
Fokuspositions-Justierverfahren gemäß Anspruch 9, wobei in einem Fall des optischen Scannens einer n-ten Region (SPn), wobei n eine natürliche Zahl gleich oder größer als Drei ist, die in den streifenförmigen Regionen in der ersten Richtung enthalten sind, ein n-ter Fokusversatzwert auf Basis eines Ergebnisses eingestellt wird, welches durch optisches Scannen, in der ersten Richtung, einer in den streifenförmigen Regionen enthaltenen (n-2)-ten Region (SP(n-2)) erhalten wird.
Fokuspositions-Justierverfahren gemäß Anspruch 9, weiter umfassend: optisches Scannen (S105) einer zweiten Region (SP2), die in streifenförmigen Regionen enthalten ist, in einer zweiten Richtung (BWD) entgegengesetzt zur ersten Richtung; Erzeugen (S106) von zweiten Fokuspositionsdaten (FD0) auf Basis eines Ergebnisses, welches durch optisches Scannen der zweiten Region erhalten wird; und Einstellen (S108) eines zweiten Fokusversatzwerts der zweiten Region auf Basis eines Ergebnisses, welches durch Verschieben von Koordinatendaten der zweiten Fokuspositionsdaten in der Vorschubrichtung der Bühne in der zweiten Region erhalten wird.