DE102022205601A1 - Membransensor zur Kompensation einer Beschleunigung sowie entsprechenden Betriebsverfahren - Google Patents

Membransensor zur Kompensation einer Beschleunigung sowie entsprechenden Betriebsverfahren Download PDF

Info

Publication number
DE102022205601A1
DE102022205601A1 DE102022205601.9A DE102022205601A DE102022205601A1 DE 102022205601 A1 DE102022205601 A1 DE 102022205601A1 DE 102022205601 A DE102022205601 A DE 102022205601A DE 102022205601 A1 DE102022205601 A1 DE 102022205601A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor
membrane
mass
spring
value acquisition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102022205601.9A
Other languages
English (en)
Inventor
Johannes Classen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102022205601.9A priority Critical patent/DE102022205601A1/de
Priority to PCT/EP2023/062946 priority patent/WO2023232448A1/de
Publication of DE102022205601A1 publication Critical patent/DE102022205601A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0092—Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/02—Arrangements for preventing, or for compensating for, effects of inclination or acceleration of the measuring device; Zero-setting means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00—Details of instruments
    • G01P1/02—Housings
    • G01P1/023—Housings for acceleration measuring devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P21/00—Testing or calibrating of apparatus or devices covered by the preceding groups
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0831—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type having the pivot axis between the longitudinal ends of the mass, e.g. see-saw configuration

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

Mit der vorliegenden Erfindung wird sowohl ein mikromechanischer Membransensor, insbesondere ein Drucksensor, als auch ein Verfahren beansprucht, welches dazu geeignet ist, einen Sensorwert und/oder eine Sensorgröße des Membransensors zu bestimmen. Dabei wird der Sensorwert des Membransensors derart bestimmt, dass die Gewichtskraft oder eine sonstige Beschleunigung auf die Membran weitestgehend kompensiert wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Membransensor, bei dem bei der Bestimmung eines Sensorwerts eine anliegende Beschleunigung oder Gewichtskraft auf die Membran berücksichtigt wird sowie ein entsprechendes Betriebsverfahren.
  • Stand der Technik
  • Mikromechanische Membransensoren werden oftmals unmittelbar dem Medium ausgesetzt, deren physikalische und/oder chemische Eigenschaft erfasst werden soll. Zum Schutz der Membran kann dabei vorgesehen sein, die Membran oder zumindest die auf der Membran befindlichen empfindlichen Sensorstrukturen mit einem Gel zu schützen, um eine Korrosion und/oder eine Ablagerung von ungewollten Adsorbaten zu verhindern. Durch die Verwendung eines schützendes Gels auf der Membranoberfläche verändert sich jedoch insbesondere bei einem Drucksensor das Verhalten der Membran, so dass eine Veränderung der zu erfassenden Sensorgrößen oder des mit dem Membransensor zu bestimmenden Sensorwerts auftreten kann.
  • Gerade bei Drucksensoren kann die Belegung der Membran mit einem schützenden Gel zu einer nicht unerheblichen zusätzlichen Gewichtskraft auf die Membran und somit einer orientierungsabhängigen g-Empfindlichkeit oder allgemein einer Beschleunigungsempfindlichkeit bei der Messwerterfassung führen. Mit zunehmender Genauigkeit der erfassten Sensorwerte stellt die Masse der Membran beziehungsweise die Gesamtmasse aus Membran und (Gel-)Bedeckung einen größeren Ungenauigkeitsfaktor bei der Sensorwertbestimmung dar.
  • Rechnerisch lässt sich der Einfluss der orientierungsabhängigen Erdbeschleunigung auf die Membran herausrechnen, wenn neben dem Membransensor zusätzlich das Signal eines Beschleunigungssensors vorliegt, wie es in den meisten Smartphones der Fall ist. Um diese rechnerische Kompensation zu ermöglichen, ist schon bei der Herstellung ein Abgleich notwendig. Darüber hinaus muss die Auswerteeinheit für den Membransensor zusätzlich zur Kompensation der g-Empfindlichkeit betrieben werden, so dass sowohl eine weitere Rechenkapazität berücksichtigt werden muss als auch ein zusätzlicher Energieaufwand notwendig ist.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Mit der vorliegenden Erfindung wird sowohl ein mikromechanischer Membransensor, insbesondere ein Drucksensor, als auch ein Verfahren beansprucht, welches dazu geeignet ist, einen Sensorwert und/oder eine Sensorgröße des Membransensors zu bestimmen. Dabei wird der Sensorwert des Membransensors derart bestimmt, dass die Gewichtskraft oder eine sonstige Beschleunigung auf die Membran weitestgehend kompensiert wird.
  • Dies wird dadurch erreicht, dass neben einem ersten Sensorelement, welches eine erste Sensorgröße erfasst, die die Bewegung der Membran repräsentiert, ein zweites Sensorelement vorgesehen ist, welches in Abhängigkeit einer Gewichtskraft oder Beschleunigung eine zweite Sensorgröße erfasst. Der Kern der Erfindung besteht dabei darin, dass das zweite Sensorelement derart ausgestaltet ist, dass die so erfasste und bei der Bestimmung des Sensorwerts der Sensoranordnung berücksichtigte zweite Sensorgröße die Gewichtskraft oder Beschleunigung auf die Membran repräsentiert. Dabei ist insbesondere vorgesehen, dass die zweite Sensorgröße der Erdbeschleunigung beziehungsweise der Gravitationskraft der Gesamtmasse aus Membran und einer zusätzlichen Bedeckung entspricht oder zumindest diese repräsentiert. Darüber hinaus kann mit dem erfindungsgemäßen Aufbau jedoch auch eine andere Beschleunigung kompensiert werden, die nicht durch die Gravitationskraft hervorgerufen wird.
  • Der Vorteil einer derartigen Ausgestaltung beziehungsweise einer separaten Erfassung des Einflusses der orientierungsabhängigen Erdbeschleunigung liegt darin, dass der Störeffekt, der aufgrund einer Belegung der Membran eine Verfälschung der Sensormesswerte hervorrufen kann, ohne zusätzlichen Rechneraufwand kompensiert werden kann. Dabei kann insbesondere bei einer entsprechenden Ausgestaltung des zweiten Sensorelements mit einer veränderlichen Messwerterfassung auch ein Alterungseffekt kompensiert werden, der sich bei einer Belegung der Membran oder einer darauf befindlichen Gelschicht mit Adsorbaten ergibt.
  • In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das zweite Sensorelement ein Feder-Masse-System aufweist, bei dem wenigstens eine erste Masse mit wenigstens einem Federelement verbunden ist. Optional kann die erste Masse eine bewegliche Elektrode aufweisen, die Teil einer zweiten kapazitiven Messwerterfassung zur Erfassung einer Kompensationsgröße ist. Weiterhin kann vorgesehen sein, dass das Feder-Masse-System einseitig an einer starren Aufhängung befestigt ist.
  • Besonders vorteilhaft ist eine erfindungsgemäße Ausführung, bei der das zweite Sensorelement ein Feder-Masse-System aufweist, insbesondere in Form einer Wippenstruktur. Das Feder-Masse-System kann dabei insbesondere zusätzlich zur ersten Masse eine zweite Masse aufweisen, die ebenfalls mit dem wenigstens einen Federelement verbunden ist. In einer Ausgestaltung der Erfindung kann die zweite Masse und die erste Masse mit dem gleichen Federelement verbunden sein, insbesondere an den beiden entgegengesetzten Enden oder Seiten des Federelements. Ebenso ist denkbar, dass die zweite Masse eine bewegliche Elektrode aufweist, die Teil einer dritten kapazitiven Messwerterfassung ist. Optional kann vorgesehen sein, dass die erste und die zweite Masse gleiche oder wesentlich ungleiche Massen aufweisen. Hierbei kann die zweite Masse um den Faktor 2, 5 oder 10 schwerer als die erste Masse sein. Durch eine derartige unsymmetrische Ausgestaltung der beiden Massen kann erreicht werden, dass sich die zweite Masse gleichsinnig mit der Membranmasse bewegt, wodurch sich in Folge der Aufhängung der zweiten Masse beispielsweise in Form einer Wippenstruktur die erste Masse in entgegengesetzter oder gegenläufiger Richtung bewegt. Somit ergibt sich bei der zweiten Messkapazität der ersten Masse ein größerer Abstand der Elektroden, wodurch die so erfasste Sensorgröße bei einer entsprechenden Dimensionierung des Feder-Masse-Systems als Maß für die anliegende Gewichtskraft sowie zur Kompensation der ersten Sensorgröße verwendet werden kann.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die zweite Masse und/oder die dritte Messwerterfassung aktiv ansteuerbar oder beeinflussbar ist, so dass die Steifigkeit der Wippenstruktur über diese Ansteuerung verändert werden kann.
  • Das Federelement kann in der gleichen Ebene wie die beiden Massen angeordnet sein. Es ist auch möglich, dass das Federelement als Biegefeder, als Torsionsfeder oder als Biegebalken ausgestaltet ist. Darüber hinaus kann vorgesehen sein, dass die Massen in der gleichen Ebene wie die bewegliche Elektrode des ersten Sensorelements angeordnet sind.
  • Das erste Sensorelement kann eine erste kapazitive Messerwerterfassung aufweisen, bei der in Abhängigkeit von der erfassten Kapazität beziehungsweise dem Abstand zweier Elektroden die Durchbiegung der Membran mit Hilfe eines Nutzsignals erfasst wird. Optional kann das erste Sensorelement zusätzlich wenigstens eine kapazitive Referenzmesswerterfassung aufweisen, die unabhängig von der Bewegung der Membran ein Referenzsignal erzeugt. Durch dieses Referenzsignal können weitere störende Einflüssen auf das Nutzsignal erfasst und kompensiert werden, zum Beispiel Effekte, die durch eine Temperatureinwirkung hervorgerufen werden.
  • Das zweite Sensorsignal des zweiten Sensorelements kann als Gewichtskraftkompensationsgröße zusätzlich zum Nutzsignal verwendet werden. Dabei kann das zweite Sensorsignal getrennt erfasst und bei der Auswertung des Nutzsignals berücksichtigt werden. Alternativ können jedoch auch die entsprechende Kapazitäten der ersten Messwerterfassung, der Referenzmesswerterfassung, der zweiten Messwerterfassung sowie der dritten Messwerterfassung paarweise oder sequentiell elektrisch miteinander verbunden werden, so dass aus zumindest zwei kapazitiven Erfassungen eine gemeinsame Sensorgröße erfasst werden kann, ohne dass eine zusätzliche Auswertung notwendig ist. Denkbar ist beispielsweise die Nutzkapazität des ersten Sensorelements und die Kompensationskapazität des zweiten Sensorelements durch eine geeignete Verdrahtung direkt im insbesondere mikromechanischen Sensoraufbau elektrisch miteinander zu verbinden, so dass eine Summenbildung von Nutz- und Kompensationskapazität direkt auf MEMS-Chip-Ebene erfolgt.
  • Alternativ kann auch die Referenzkapazität über die Kompensationskapazität korrigiert werden. Hierzu ist die Kompensationskapazität derart mit der Referenzkapazität elektrisch verbunden, dass beide Kapazitäten parallel geschaltet eine Sensorgröße erzeugen. Eine derartige Beschaltung ist insbesondere geeignet, wenn sich die Nutzkapazität und die Kompensationskapazität gleichsinnig mit der Beschleunigung ändern.
  • Um Resonanzeffekte insbesondere beim zweiten Sensorelement zu verhindern, kann vorgesehen sein, dass das zweite Sensorelement räumlich und fluidisch vom ersten Sensorelement getrennt ist, zum Beispiel in einer abgetrennten zweiten Kaverne. Besonders vorteilhaft kann eine Dämpfung des zweiten Sensorelements erreicht werden, indem die entsprechende zweite Kaverne einen höheren Innendruck aufweist. Durch diese Dämpfung kann eine Amplitudenüberhöhung bei Vorliegen einer Einkopplung in der Resonanzfrequenz des zweiten Sensorelements minimiert werden.
  • Weitere Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen bzw. aus den abhängigen Patentansprüchen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
    • In der 1 ist ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt, bei dem das zweite, die Gewichtskraft kompensierende Sensorelement in einer abgetrennten oder separierten Kaverne untergebracht ist. Die 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel mit einer gemeinsamen Kaverne für das erste und zweite Sensorelement sowie eine alternative Aufhängung des Feder-Masse-Systems. Anhand der 3 wird ausgehend vom ersten Ausführungsbeispiel eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sowie insbesondere deren Herstellung gezeigt. Mit dem Ausführungsbeispiel gemäß der 4 wird eine einstellbare Kompensation der Gewichtskraft gezeigt. Das Blockschaltbild der 5 zeigt eine mögliche Auswerte- und Steuereinheit für den erfindungsgemäßen Membransensor. Ein mögliches Verfahren zur Einstellung der Kompensation mit Hilfe des zweiten Sensorelements wird anhand des Flussdiagramms der 6 beschrieben.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • Wie eingangs bereits ausgeführt, kann bei Membransensoren das Gewicht der Membran oder auch die Gesamtmasse aus Membran und Bedeckung zu einem Störeffekt des eigentlichen Sensorsignals führen. Dabei wirken sich insbesondere orientierungsabhängige Auslenkungen durch die Gewichtskraft nachteilig für die Güte des erfassten Sensorsignals aus. Die nachfolgenden erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiele zeigen Sensoraufbauten, mittels denen eine Kompensation der Auswirkungen derartiger orientierungsabhängiger Auslenkungen ermöglicht werden, ohne dass eine aufwändige nachträgliche Prozessierung der Sensorsignale notwendig ist. Zu diesem Zweck wird ein zweites kapazitiv messendes Sensorelement in einem insbesondere mikromechanischen Sensoraufbau verwendet, welches eine Kapazitätsänderung in Abhängigkeit einer einwirkenden Beschleunigung erzeugt.
  • Anhand der 1 wird ein typischer Aufbau eines mikromechanischen Membransensors in Form eines Drucksensors mit einem ersten Sensorelement 180 beschrieben, dem erfindungsgemäß ein zweites Sensorelement 200 zur Kompensation der Einwirkung einer Gewichtskraft, der Erdbeschleunigung oder einer sonstigen Beschleunigung zugeordnet ist.
  • Der Aufbau des Drucksensors besteht dabei beispielhaft aus einem Substrat 100, auf dem eine Oxidschicht 110 und eine Poly-Siliziumschicht 120 aufgebracht ist. Auf dieser Poly-Siliziumschicht 120 befindet sich das erste Sensorelement 180, welches in gängiger Schichtstruktur 130 beispielsweise als Abfolge von mehreren Poly-Silizium- und Oxidschichten aufgebaut ist. Im vorliegenden Aufbau ist eine Funktionsschicht 135 vorgesehen, aus denen sowohl die oberen (beweglichen) Elektroden 150 einer ersten Messwerterfassung oder ersten Messkapazität als auch die oberen Elektroden 160 einer Referenzkapazität gebildet werden. Alternativ können die einzelnen Elektroden jedoch auch aus unterschiedlichen Schichten oder Strukturen herausgebildet werden. Die entsprechende untere (starre) Elektrode 155 der ersten Messwerterfassung als auch die unteren Elektroden 165 der Referenzkapazitäten sind direkt auf die Poly-Siliziumschicht 120 aufgebracht und durch das Oxid 110 vom Substrat 100 elektrisch getrennt. Optional können in der Poly- Siliziumschicht 120 oder in der Oxidschicht 110 elektrische Verbindungsleitungen zum Kontaktieren der unteren Elektroden 155 beziehungsweise 165 angeordnet sein. Im abgebildeten Aufbau des ersten Sensorelements 180 sind die oberen Elektroden 150 direkt an der Membran 180 des Membransensors befestigt. Hierdurch wird bei einer Druckbeaufschlagung der Membran 140 der Abstand der beiden Elektroden 150 und 155 derart verändert, dass aus der resultierenden Kapazitätsänderung ein Maß für die Durchbiegung der Membran 140 abgeleitet werden kann. Die Elektroden 160 und 165 der Referenzkapazitäten sind dagegen unabhängig von der Bewegung der Membran 140 ausgestaltet, so dass mit dieser Referenzkapazität Störeinflüsse erfasst werden können, die auf das gesamte System wirken. Üblicherweise ist auf der Membran 140 eine in der 1 nicht gezeigte Gel-Bedeckung vorgesehen, um die auf oder in der Membran 140 vorgesehenen elektrischen und/oder sensierenden Strukturen vor dem an die Membran anliegenden Medium zu schützen. Durch diese Gel-Bedeckung wird die Membran 140 jedoch zusätzlich mit einer Masse belegt, die sowohl das Bewegungsverhalten der Membran beeinflusst als auch eine Auswirkung aufgrund der Auswirkung der Erdbeschleunigung g in der Ruhephase des Drucksensors hat.
  • Das zweite Sensorelement 200 zur Erfassung der gewichts- oder beschleunigungsabhängigen Kompensation ist im Ausführungsbeispiel nach 1 direkt neben dem ersten Sensorelement 180 in einer zweiten Kaverne 160 angeordnet, jedoch durch eine Trennwand von dieser getrennt. Diese Trennwand muss nicht zwangsläufig die erste Kaverne 140, in der sich die erste kapazitive Messwerterfassung beziehungsweise die Referenzkapazität befindet, fluidisch von der zweiten Kaverne 260 trennen. Das zweite Sensorelement 200 gemäß der Darstellung der 1 besteht aus einem Feder-Masse-System in Form einer Wippenstruktur, bei dem eine erste (seismische) Masse 230 und eine zweite (seismische) Masse 235 über ein Federelement 240 derart miteinander verbunden sind, dass die Massen 230 und 235 nach oben 10 oder unten 20 beweglich ausgestaltet sind, insbesondere senkrecht zur Membran 140, zur Funktionsschicht 135 oder dem Substrat 100. Die Aufhängung des Federelements 240 an einem Träger innerhalb der zweiten Kaverne 260 ist nicht dargestellt, ist jedoch aus entsprechenden Aufbauten wie beispielsweise aus den Schriften EP 0 244 581 B1 oder EP 0 773 443 B1 bekannt. Das Federelement 240 kann dabei als Biegefeder, Biegebalken oder auch als Torsionsfeder ausgestaltet sein. Aus Symmetriegründen können die beiden Massen auch an jeweils einem eigenen Federelement insbesondere an einem gemeinsamen zentralen Balken angeordnet sein. Alternativ können die Massen auch jeweils mit zwei Seiten an Federelementen verbunden sein. Optional kann vorgesehen sein, dass nur die erste Masse 230 an dem Federelement 240 befestigt ist und auf eine zweite bewegliche Masse 235 verzichtet wird, wie es im Ausführungsbespiel der 2 gezeigt wird. Die erste Masse 230 weist zur Realisierung einer zweiten kapazitiven Messwerterfassung im Rahmen der Kompensationserfassung eine obere (bewegliche) Elektrode 220 und eine darunter befindliche untere (starre) Elektrode 225 auf. Die untere Elektrode 225 ist in der vorliegenden Ausgestaltung ebenfalls auf der Poly-Siliziumschicht 120 aufgebracht. Darüber hinaus kann die untere Elektrode 225 jedoch auch in anderer Form auf das Substrat 100 aufgebracht und insbesondere elektrisch von diesem isoliert sein. Im Ausführungsbeispiel die 1 dient die zweite Masse 235 als Schwingungselement, welches auf eine vorliegenden Beschleunigung oder in einer Ruhelage auf die Erdbeschleunigung g reagiert. Hierzu ist die zweite Masse 235 um ein Vielfaches größer als die erste Masse 230, insbesondere um den Faktor 2, 5 oder 10. Da die zweite Masse 235 massereicher ist, reagiert sie ausgeprägter auf eine Beschleunigung senkrecht zum Substrat 100 oder zur Membran 140, so dass die erste Masse 230, die über das Federelement 240 mit der zweiten Masse 235 wirktechnisch verbunden ist, in die entgegengesetzte Richtung oder gegenläufig bewegt wird. Optional kann vorgesehen sein, dass die erste Masse 230, die zweite Masse 235 sowie das Federelement 240 ebenfalls aus der Funktionsschicht 135 herausstrukturiert wird.
  • In der Ruhephase des Drucksensors erfolgt ohne anliegenden Druck eines Mediums an die Membran 140 aufgrund der Gesamtmasse aus Membran 140 und Gel-Bedeckung eine Durchbiegung der Membran 140 nach unten 20, wodurch eine Verringerung des Abstands der Elektroden 150 und 155 und somit eine Kapazitätsänderung resultiert. Da diese Durchbiegung mit keiner an die Membran 140 anliegenden Druckänderung in Verbindung steht, ist es das Ziel des erfindungsgemäßen Aufbaus des zweiten Sensorelements 200, eine Kompensation dieser gewichtsabhängigen oder allgemein beschleunigungsabhängigen Störgröße zu erfassen. Durch den asymmetrischen Aufbau der Wippenstruktur der 1 wird die zweite Masse 235 in gleiche Richtung wie die Membran 140 von der Erdbeschleunigung g oder allgemein von einer anliegenden Beschleunigung bewegt. Durch die Wippenstruktur kann durch die Bewegung der ersten Masse 230 in entgegengesetzter Richtung eine zweite Sensorgröße erfasst werden, die die Störgröße repräsentiert. Durch eine entsprechenden Ausgestaltung der ersten und zweiten Masse beziehungsweise einem geeignet gewählten Masseverhältnis kann eine zweite Sensorgröße erzeugt werden, die unmittelbar als Kompensationssignal für das Nutzsignal des ersten Sensorelements 180 verwendet werden kann. Alternativ kann auch ein zusätzlicher Kompensationsfaktor K verwendet werden, mit dem die erzeugte zweite Sensorgröße multipliziert wird, um die so erhaltene Größe als Kompensationsgröße zu verwenden.
  • In dem Ausführungsbeispiel der 2 sind das erste Sensorelement 180 und das zweite Sensorelement 200 in einer gemeinsamen Kaverne 175 untergebracht. Durch diese gemeinsame Kaverne 175 sind beide Sensorelemente den gleichen direkten Umgebungsbedingungen ausgesetzt. Darüber hinaus lässt sich durch diesen Aufbau die interne Verschaltung und Ansteuerung der Sensorelemente einfacher und direkter gestalten. Zusätzlich zeigt die 2 einen weiteren Aufbau des Feder-Masse-Systems für das zweite Sensorelement 200. In diesem Fall ist lediglich eine erste Masse 230 vorgesehen, welches über das Federelement 240 an einer Aufhängung 250 direkt auf dem Kavernenboden oder dem Substrat 100 befestigt ist. Bei diesem Aufbau ist daher nur die erste Masse 230 beweglich, wobei sich die erste Masse 230 infolge der Erdbeschleunigung oder einer sonstigen anliegenden Beschleunigung in die gleiche Richtung wie die Membran 140 bewegt.
  • Mit dem Ausführungsbeispiel der 3 wird explizit ein Aufbau beschrieben, bei dem die erste Kaverne 170 und die zweite Kaverne 265 räumlich und fluidisch voneinander getrennt sind. Um mögliche Amplitudenüberhöhungen des zweiten Sensorelements 200 beziehungsweise des Feder-Masse-Systems oder der Wippenstruktur bei Auftreten von Resonanzschwingungen zu verhindern, kann die zweite Kaverne 265 gezielt mit einem höheren Druck als die erste Kaverne versehen werden. Beispielhafte Drücke sind < 5 kPa in der ersten Kaverne 170 sowie 10 - 100 kPa in der zweiten Kaverne 265. Hierzu können im Herstellungsprozess der Sensoranordnung getrennte Öffnungen in die Membran 140 sowie den Deckel 145 der zweiten Kaverne 265 eingebracht werden, durch die der Druck innerhalb der Kavernen individuell festgelegt werden können. Nach der Festlegung des Innendrucks der entsprechenden Kaverne kann die Membran 140 mit einem ersten Verschluss 190 und der Deckel 145 mit einem zweiten Verschluss 195 verschlossen werden. Denkbar ist beispielsweise, dass zunächst bei einer gemeinsamen Prozessierung des Aufbaus des Drucksensors der erste Verschluss 190 zum Beispiel mit einem Schichtabscheideverfahren mittels Oxid- oder Nitrid-Schichten bei einem niedrigeren Druck verschlossen wird. Zu einem nachfolgenden späteren Zeitpunkt kann bei einem höheren Umgebungsdruck der zweite Verschluss 195 mittels einem Laser Reseal verschlossen werden. Durch den so in der zweiten Kaverne 265 vorliegenden höheren Druck wird das zweite Sensorelement 200 stärker gedämpft, so dass es zu geringeren Resonanzschwingungen kommen kann. Generell ist jedoch auch denkbar, die Struktur des zweiten Sensorelements 200 generell so zu gestalten, dass deren Resonanzfrequenz außerhalb/oberhalb des Anwendungsbereichs des Drucksensors liegt.
  • Mit den 1 bis 3 werden Ausführungsbeispiele gezeigt, bei denen die Dimensionen und somit die Erzeugung der zweiten Sensorgröße des zweiten Sensorelements 200 durch die Herstellung festgelegt wird. Mit dem Ausführungsbeispiel der 4 wird dagegen ein Aufbau gezeigt, bei dem auch nach der Herstellung die Schwingungseigenschaften des Feder-Masse-Systems beziehungsweise der Wippenstruktur verändert werden kann. Hierzu weist die zweite Masse 235 eine Elektrodenanordnung, bestehend aus einer oberen (beweglichen) Elektrode 210 sowie einer unteren (starren) Elektrode 215 auf, wobei letztere ebenfalls auf dem Substrat 100 oder einer darauf befindlichen Schicht angeordnet sein kann. Diese beiden Elektroden 210 und 215 können in Form einer Tuning-Elektrodenanordnung derart angesteuert werden, dass sich das Bewegungsverhalten der zweiten Masse 235 nach oben und unten verändert oder gedämpft wird. Durch das Anlegen einer Gleichspannung oder einer hochfrequent gepulsten Spannung an die Elektroden kann so die Steifigkeit des Feder-Masse-Systems gezielt über den Wert der Effektivspannung eingestellt werden. Dieser Effekt wird auch electrostatic spring softening effect genannt. Optional kann auch die zweite Messwertaufnahme mit den Elektroden 220 und 225 als Tuning-Elektrodenanordnung verwendet werden.
  • Bei der Verwendung einer Tuning-Elektrode kann beispielsweise ein Verfahren gemäß des Flussdiagramms der 6 verwendet werden. Zunächst wird in einem ersten Schritt 400 ohne das Anlegen einer Tuning-Spannung an die Elektroden die Auswirkung der Erdbeschleunigung oder einer anderen anliegenden Beschleunigung auf das Gesamtsystem bestehend aus erstem und zweiten Sensorelement erfasst. Anschließend kann im nachfolgenden Schritt 420 die bei dieser Beschleunigung erfasste Kapazitätsänderung des zweiten Sensorelements 200 bestimmt werden. Ausgehend von der so erfassten Kapazitätsänderung kann im nächsten Schritt 440 eine entsprechende Spannung festgelegt werden, bei der das zweite Sensorelement 200 gegebenenfalls ohne Kompensationsfaktor K für die Kompensation der ersten Sensorgröße verwendet werden kann. Ein derartiger Abgleich kann beispielsweise bei der Herstellung erfolgen, so dass die einzustellende Tuning-Spannung gezielt bestimmt werden kann. Hierbei eignet sich die Verwendung eines Beschleunigungs-Stimulus, der hinreichend bekannt ist, insbesondere die Erdbeschleunigung.
  • Die Tuning-Elektroden können hochfrequent betrieben werden, wobei ein erster Teil des Taktzyklus dazu verwendet wird, eine Effektivspannung bereit zu stellen und den spring softening effect zu bewirken, wobei in einem zweiten Teil des Taktzyklus die Auswertung der Kapazität erfolgt. In diesem Fall ist es vorteilhaft, das zweite Sensorelement mit dem Referenzsensorelement zu verschalten, um mögliche negative Einflüsse der elektrischen Taktung auf die Membran (zum Beispiel resonante Anregung von Membranmoden) zu vermeiden.
  • In einer weiteren Ausgestaltung kann die Elektrodenanordnung 210 und 215 auch als dritte kapazitive Messwerterfassung verwendet werden. Hierbei kann beispielsweise die Erfassung der zweiten kapazitiven Messwerterfassung 220 und 225 ergänzt, verstärkt oder mit einem zweiten Wert überprüft werden.
  • Das erste Sensorelement, bestehend aus erster Messwerterfassung 320 und mindestens einer Referenzmesswerterfassung 330 sowie das zweite Sensorelement mit der zweiten Messwerterfassung 340 können in unterschiedlicher Weise angesteuert, abgefragt oder verschaltet werden. So ist denkbar, dass eine Auswerteeinheit 300, wie sie im Blockschaltbild der 5 dargestellt ist, die Sensorgrößen der verschiedenen Erfassungsmittel 320 bis 340 separat erfasst und intern miteinander verknüpft, um daraus einen beschleunigungs- oder gewichtskraftkompensierten Sensorwert beziehungsweise Drucksensorwert zu erzeugen. Dieser kompensierte Sensorwert kann anschließend zur Weiterverarbeitung an andere Systeme 360 weitergeleitet werden. Für den Fall, dass das zweite Sensorelement bei der Herstellung abgeglichen werden muss, kann die Auswerteeinheit 300 zusätzlich ein vorgegebenes oder bestimmbares Beschleunigungssignal eines entsprechenden Beschleunigungssensors 350 erfassen, um daraus einen Kompensationsfaktor K als Multiplikator für die zweite Sensorgröße zu bestimmen. Dieser Kompensationsfaktor K kann in einem Speicher 310 abgelegt und für die weitere Bestimmung der kompensierten Sensorwerte herangezogen werden. Der Abgleich mit dem erfassten Beschleunigungssignal kann auch dazu verwendet werden, die Tuning-Elektroden 370 entsprechend anzusteuern, um die Steifigkeit des Feder-Masse-Systems gezielt einzustellen.
  • Mit der Auswerteeinheit 300 lassen sich darüber hinaus auch Sensorgrößen der miteinander verschalteten ersten und zweiten Sensorelemente erfassen. So kann vorgesehen sein, dass die erste Messwerterfassung 320, die mindestens eine Referenzmesswerterfassung 330 sowie die zweite Messwerterfassung 340 oder auch dritte Messwerterfassung wenigstens teilweise direkt elektrisch im Aufbau des mikromechanisches Membransensors miteinander verbunden sind. Hierzu können beispielsweise in der Poly-Siliziumschicht 120, der Oxidschicht 110, dem Substrat 100 oder einer weiteren Schicht Verdrahtungsleitungen vorgesehen sein, so dass die Auswerteeinheit 300 eine oder mehrere der Erfassungseinheiten mittels einer Sensorgröße erfassen kann.
  • In einer ersten Ausgestaltung ist dabei die erste Messwerterfassung 320, die mit den Elektroden 150 und 155 eine Nutzkapazität Cnutz darstellt, und die zweite Messwerterfassung 340, die mit den Elektroden 220 und 225 die Kompensationskapazität Ckomp darstellt, derart miteinander parallel elektrisch verbunden, dass die Auswerteeinheit eine gemeinsame Sensorgröße erfassen kann. Zusätzlich mit der mindestens einen separat erfassten Referenzmesswerterfassung 330, die mit den Elektroden 160 und 165 die Referenzkapazität Cref darstellt, bestimmt die Auswerteinheit 300 den gewichtskraft- oder beschleunigungskompensierten Sensorwert der Sensoranordnung in Abhängigkeit der Kapazitätsänderung dC = (dCnutz + dCkomp) - dCret.
  • In einer weiteren Ausgestaltung wird durch die zweite Messwerterfassung 340 direkt die Referenzmesswerterfassung 330 kompensiert. Hierbei werden die Referenzkapazität Cref und die Kompensationskapazität Ckomp parallel miteinander verbunden und die Nutzkapazität Cnutz separat erfasst. Somit lässt sich ein gewichtskraft- oder beschleunigungskompensierter Sensorwert der Sensoranordnung in Abhängigkeit der Kapazitätsänderung dC = dCnutz - (dCref + dCkomp) bestimmen.
  • Es sei ausdrücklich darauf hingewiesen, dass die Merkmale der vorstehenden Ausführungen und Ausgestaltungen miteinander kombiniert werden können.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • EP 0244581 B1 [0020]
    • EP 0773443 B1 [0020]

Claims (12)

  1. Membransensor, insbesondere ein Drucksensor, mit • einem ersten Sensorelement (180), das eine erste Sensorgröße in Abhängigkeit der Bewegung der Membran (140) erfasst, und • einem zweiten Sensorelement (200), das in Abhängigkeit einer Gewichtskraft eine zweite Sensorgröße erfasst, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Sensorelement (200) derart ausgestaltet ist, dass die zweite Sensorgröße eine auf die Membran einwirkende Gewichtskraft repräsentiert.
  2. Membransensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Sensorelement (200) ein Feder-Masse-System aufweist, bei dem wenigstens eine erste Masse (230) mit wenigstens einem Federelement (240) verbunden ist, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die erste Masse (230) eine bewegliche Elektrode (220) einer zweiten kapazitiven Messwerterfassung (220, 225) aufweist.
  3. Membransensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Sensorelement (200) ein Feder-Masse-System insbesondere in Form einer Wippenstruktur aufweist, wobei das Feder-Masse-System eine zweite Masse (235) aufweist, die mit einem Federelement (240) verbunden ist, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die zweite Masse (235) eine bewegliche Elektrode (210) einer Elektrodenanordnung (210, 215) aufweist, insbesondere einer dritten kapazitiven Messwerterfassung.
  4. Membransensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Masse (235) größer als die erste Masse (230) ist, insbesondere um den Faktor 2, 5 oder 10.
  5. Membransensor nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Elektroden der Elektrodenanordnung (210, 215) zur Veränderung der Steifigkeit des Feder-Masse-Systems angesteuert wird.
  6. Membransensor nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Federelement (240) eine Biegefeder oder eine Torsionsfeder aufweist.
  7. Membransensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Sensorelement (180) mittels einer ersten kapazitiven Messwerterfassung (150, 155) ein erstes Nutzsignal in Abhängigkeit von der Bewegung der Membran (140) und mittels wenigstens einer kapazitiven Referenzmesswerterfassung (160, 165) ein Referenzsignal unabhängig von der Bewegung der Membran (140) erzeugt.
  8. Membransensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Messwerterfassung des ersten und zweiten Sensorelements (180, 200) elektrisch miteinander verbunden sind, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die zweite kapazitive Messwerterfassung mit der ersten kapazitiven Messwerterfassung oder mit der kapazitiven Referenzwerterfassung parallel geschalten ist.
  9. Membransensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Sensorelement (180) in einer ersten Kaverne (170) und das zweite Sensorelement (200) in einer von der ersten Kaverne (170) abgetrennten zweiten Kaverne (260, 265) angeordnet ist, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die zweite Kaverne (260, 265) mit einem Medium gefüllt ist, welches einen höheren Druck aufweist als in der ersten Kaverne (170) vorliegt.
  10. Verfahren zur Bestimmung eines Sensorwerts eines Membransensors, insbesondere eines Membransensors nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei der Membransensor • ein erstes Sensorelement (180) zur Erfassung einer ersten Sensorgröße in Abhängigkeit der Bewegung der Membran (140), und • ein zweites Sensorelement (200) zur Erfassung einer zweiten Sensorgröße, die eine auf die Membran einwirkenden Gewichtskraft repräsentiert, aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren den Sensorwert in Abhängigkeit der ersten und zweiten Sensorgröße bestimmt.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Sensorelement (200) ein Feder-Masse-System aufweist, insbesondere in Form einer Wippenstruktur, wobei das Feder-Masse-System • eine zweite Masse aufweist, die mit wenigstens einem Federelement (240) verbunden ist, und • eine bewegliche Elektrode (210) einer kapazitiven Elektrodenanordnung (210, 215) aufweist, insbesondere einer dritten kapazitiven Messwerterfassung , wobei das Verfahren die Elektroden der Elektrodenanordnung (210, 215) zur Veränderung der Steifigkeit des Feder-Masse-Systems ansteuert.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bestimmung des Sensorwerts die zweite Sensorgröße mit einem Kompensationsfaktor multipliziert wird.
DE102022205601.9A 2022-06-01 2022-06-01 Membransensor zur Kompensation einer Beschleunigung sowie entsprechenden Betriebsverfahren Pending DE102022205601A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102022205601.9A DE102022205601A1 (de) 2022-06-01 2022-06-01 Membransensor zur Kompensation einer Beschleunigung sowie entsprechenden Betriebsverfahren
PCT/EP2023/062946 WO2023232448A1 (de) 2022-06-01 2023-05-15 Membransensor zur kompensation einer beschleunigung sowie entsprechenden betriebsverfahren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102022205601.9A DE102022205601A1 (de) 2022-06-01 2022-06-01 Membransensor zur Kompensation einer Beschleunigung sowie entsprechenden Betriebsverfahren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102022205601A1 true DE102022205601A1 (de) 2023-12-07

Family

ID=86609762

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102022205601.9A Pending DE102022205601A1 (de) 2022-06-01 2022-06-01 Membransensor zur Kompensation einer Beschleunigung sowie entsprechenden Betriebsverfahren

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102022205601A1 (de)
WO (1) WO2023232448A1 (de)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0244581B1 (de) 1986-04-04 1991-04-24 Robert Bosch Gmbh Sensor zur selbsttätigen Auslösung von Insassenschutzvorrichtungen
DE4031369A1 (de) 1990-10-04 1992-04-09 Bosch Gmbh Robert Sensor
EP0773443B1 (de) 1995-11-07 2000-05-24 TEMIC TELEFUNKEN microelectronic GmbH Mikromechanischer Beschleunigungssensor
US20150102437A1 (en) 2013-10-14 2015-04-16 Freescale Semiconductor, Inc. Mems sensor device with multi-stimulus sensing and method of fabrication
US20180283973A1 (en) 2017-03-28 2018-10-04 Seiko Epson Corporation Sensor device, electronic apparatus, and vehicle

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8387464B2 (en) * 2009-11-30 2013-03-05 Freescale Semiconductor, Inc. Laterally integrated MEMS sensor device with multi-stimulus sensing
US8216882B2 (en) * 2010-08-23 2012-07-10 Freescale Semiconductor, Inc. Method of producing a microelectromechanical (MEMS) sensor device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0244581B1 (de) 1986-04-04 1991-04-24 Robert Bosch Gmbh Sensor zur selbsttätigen Auslösung von Insassenschutzvorrichtungen
DE4031369A1 (de) 1990-10-04 1992-04-09 Bosch Gmbh Robert Sensor
EP0773443B1 (de) 1995-11-07 2000-05-24 TEMIC TELEFUNKEN microelectronic GmbH Mikromechanischer Beschleunigungssensor
US20150102437A1 (en) 2013-10-14 2015-04-16 Freescale Semiconductor, Inc. Mems sensor device with multi-stimulus sensing and method of fabrication
US20180283973A1 (en) 2017-03-28 2018-10-04 Seiko Epson Corporation Sensor device, electronic apparatus, and vehicle

Also Published As

Publication number Publication date
WO2023232448A1 (de) 2023-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69113632T2 (de) Monolithischer beschleunigungsmesser.
DE102009046807B4 (de) Verfahren zur Empfindlichkeitsbestimmung eines Beschleunigungs- oder Magnetfeldsensors
EP2547984B1 (de) Verfahren zur entkoppelten regelung der quadratur und der resonanzfrequenz eines mikromechanischen gyroskops
DE102005018708B4 (de) Wägevorrichtung, insbesondere Mehrspur-Wägevorrichtung
DE102005003684B4 (de) Feinjustierungsmechanismus zur Rastersondenmikroskopie
DE102008017156A1 (de) Mikromechanischer Beschleunigungssensor
EP3250931B1 (de) Beschleunigungssensor mit federkraftkompensation
DE102021202134A1 (de) Verfahren zur Bestimmung, Messung und/oder Überwachung von Eigenschaften eines Sensorsystems
DE102009047018A1 (de) Verfahren zum Abgleich eines Beschleunigungssensors und Beschleunigungssensor
DE102009021567A1 (de) Mikromechanischer Beschleunigungssensor
DE102011006427A1 (de) Drehratensensor und Verfahren zur Kalibrierung eines Drehratensensors
DE102018207573A1 (de) Verfahren zum Re-Kalibrieren eines mikromechanischen Sensors und re-kalibrierbarer Sensor
DE3873927T2 (de) Elektronische steueranordnung.
DE102004061804B4 (de) Mikromechanischer Drehratensensor mit Fehlerunterdrückung
DE102011000869A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kraftmessung
DE102013208688A1 (de) Sensiereinrichtung für eine mikromechanische Sensorvorrichtung
DE102019214984A1 (de) Inertialsensor und computerimplementiertes Verfahren zur Selbstkalibrierung eines Inertialsensors
DE102016203153A1 (de) Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors
DE102022205601A1 (de) Membransensor zur Kompensation einer Beschleunigung sowie entsprechenden Betriebsverfahren
EP1332374B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum elektrischen nullpunktabgleich für ein mikromechanisches bauelement
DE102011083977B4 (de) Verfahren zum Kalibrieren eines Sensors und Sensor
DE102011115971A1 (de) Verfahren zur Bestimmung von inertialen Messgrößen
EP2817640B1 (de) Verfahren zum abgleichen eines beschleunigungssensors und beschleunigungssensor
DE102018217841A1 (de) Mikromechanischer Inertialsensor
WO1998011443A1 (de) Sensor zur kapazitiven aufnahme einer beschleunigung

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified