DE102022129095A1 - Unterbaugruppe zur korrektur, optische erkennungseinheit und optisches erkennungssystem - Google Patents

Unterbaugruppe zur korrektur, optische erkennungseinheit und optisches erkennungssystem Download PDF

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DE102022129095A1
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Po-Yi Ting
Ting-An Yen
Yu-Hsun HSU
Sebastian Giessmann
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Abstract

Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich um eine Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C), eine optische Erkennungseinheit (S1) und ein optisches Erkennungssystem (S). Die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) kann optional für die Anwendung mit einem Lichtdetektor (D) ausgelegt werden. Die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) besteht aus einer Halterstruktur (1) und einer optischen Wegkorrekturstruktur (2), wobei letztere von der Halterstruktur (1) getragen wird, während die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine Lichtstrahlführungsfläche (2000) aufweist, die als umgekehrte Neigung an einer vertikalen Linie angeordnet ist (V). Die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) kann so ausgelegt sein, dass es einen vorgegebenen Lichtstrahl (B) effektiv oder genau auf eine Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) leitet, um das Sammeln des vorgegebenen Lichtstrahls (B) zu erleichtern. Die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) kann in einem spitzen Winkel zur Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) angeordnet sein.

Description

  • QUERVERWEIS AUF VERWANDTE PATENTANMELDUNG
  • Diese Anmeldung beansprucht die Priorität der am 8. November 2021 eingereichten vorläufigen US-Patentanmeldung Ser. Nr. 63/276,671 , die durch Bezugnahme in vollem Umfang in die vorliegende Anmeldung aufgenommen wird.
  • Einige Referenzen, darunter Patentschriften, Patentanmeldungen und verschiedene Veröffentlichungen, können in der Beschreibung der vorliegenden Erfindung zitiert und erörtert werden. Die Nennung und/oder Erörterung solcher Referenzen dient lediglich der Verdeutlichung der Beschreibung der vorliegenden Erfindung und stellt kein Eingeständnis dar, dass eine solche Referenz „Stand der Technik“ für die hier beschriebene vorliegende Erfindung ist. Alle in dieser Patentschrift zitierten und erörterten Referenzen sind in ihrer Gesamtheit und in demselben Umfang in diese Patentschrift aufgenommen, als ob jede Referenz einzeln aufgenommen worden wäre.
  • UMFELD DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges, eine optische Erkennungseinheit und ein optisches Erkennungssystem, insbesondere eine Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges mit einer Lichtstrahlführungsfläche, wobei die optische Erkennungseinheit die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges und das optische Erkennungssystem die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges anwenden.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • In der Ausführungsart nach dem Stand der Technik kann ein optisches Sondensystem verwendet werden, um die Betriebsleistung eines zu prüfenden Bauteils (DUT), wie z.B. eines Halbleiterbauteils und/oder eines integrierten Schaltkreises, optisch zu erfassen. Darüber hinaus ist eine Fotodiode (PD) eine elektronische Komponente, die eine Lichtquelle empfängt und diese in ein elektrisches Ausgangssignal umwandelt. Wenn ein vorgegebener Lichtstrahl, der von einer optischen Sonde des optischen Sondensystems erzeugt wird, der Fotodiode zugeführt wird, kann die elektronische Charakteristik der Fotodiode durch Empfang des von der Fotodiode erzeugten elektrischen Signals analysiert werden. Vor, während und nach der Erkennung der DUTs durch das optische Sondensystem muss der Benutzer ständig einen Lichtdetektor (z.B. eine Fotodiode) verwenden, um die Qualität der optischen Sonde (d.h. einer optischen Faser) des optischen Sondensystems optisch zu erfassen.
  • Vor, während und nach der Anwendung des optischen Sondensystems zur optischen Erkennung der DUTs wird zur optischen Erkennung der Qualität der optischen Sonde, die in verschiedenen Ausrichtungen (z.B. verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) angeordnet sein kann, die Qualität der optischen Sonde durch manuelles Halten des Lichtdetektors in den Mitteln nach dem Stand der Technik optisch erfasst. Da der Lichtdetektor jedoch von Hand gehalten wird, kann die Qualität der optischen Sonde nicht automatisch erkannt werden. Dies führt dazu, dass die Erkennung gering ist, wobei die Erkennungseffizienz nicht wirksam verbessert werden kann.
  • Vor, während und nach der Anwendung des optischen Sondensystems zur optischen Erkennung der DUTs, um die Qualität der optischen Sonde durch den Lichtdetektor automatisch zu erfassen, wird ein externer Justiermechanismus angewandt, um den Lichtdetektor in verschiedenen Ausrichtungen (wie verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) in den technischen Ausführungsarten nach dem Stand der Technik zu justieren, so dass der durch den externen Justiermechanismus justierte Lichtdetektor verwendet werden kann, um die Qualität der in verschiedenen Ausrichtungen (wie verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) angeordneten optischen Sonde optisch zu erfassen. Die 1 zeigt jedoch, dass wenn der Lichtdetektor so eingestellt ist, dass er in einem vorgegebenen geneigten Winkel durch einen externen Justiermechanismus (nicht gezeigt) angeordnet ist, ein oberer Teil des Lichtdetektors höher ist als die Spitzen von zwei optischen Sonden (jeweils benachbart zu zwei gegenüberliegenden Seiten eines Kreuztisches der Halbleiterscheibe) des optischen Sondensystems, so dass die optische Sonde, die dem Lichtdetektor benachbart ist, leicht mit dem winkeleinstellbaren Lichtdetektor während der Bewegung kollidieren wird, während die andere optische Sonde, die weit vom Lichtdetektor entfernt ist, durch den winkeleinstellbaren Lichtdetektor blockiert wird und nicht durch den Lichtdetektor optisch erfasst werden kann.
  • Um die oben erwähnten Probleme zu lösen, dass „die optische Sonde neben dem Lichtdetektor während der Bewegung leicht mit dem winkeleinstellbaren Lichtdetektor kollidiert“ und dass „die andere optische Sonde, die weit vom Lichtdetektor entfernt ist, durch den winkeleinstellbaren Lichtdetektor blockiert wird und nicht optisch durch den Lichtdetektor erfasst werden kann“, muss das optische Sondensystem mit einem komplizierteren externen Justiermechanismus ausgestattet sein, was nicht nur die Herstellungskosten des optischen Sondensystems erhöht, sondern auch die Schwierigkeiten des optischen Sondensystems während des Betriebs.
  • AUFGABE DER ERFINDUNG
  • Zur Lösung der oben genannten Nachteile wird mit der vorliegenden Erfindung eine Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges, eine optische Erkennungseinheit, die die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges anwendet, und ein optisches Erkennungssystem, das die optische Erkennungseinheit anwendet, geschaffen, so dass in dem Fall, in dem die Ausrichtung des durch die vorliegende Erfindung geschaffenen Lichtdetektors (z.B. unter Verwendung einer Fotodiode) nicht durch einen externen Justiermechanismus eingestellt werden muss, der Lichtdetektor immer noch verwendet werden kann, um die Qualität einer optischen Sonde (d.h. einer Lichtleitfaser) einer optischen Sondenanordnung, die in verschiedenen Ausrichtungen (z.B. verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) angeordnet ist, optisch zu erfassen, indem die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges verwendet wird, die eine Lichtstrahlführungsfläche zum effektiven oder genauen Führen eines vorgegebenen Lichtstrahls auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors aufweist. Daher kann die vorliegende Erfindung vor, während und nach der Anwendung des optischen Erkennungssystems zur optischen Erkennung von mehreren vorgegebenen Objekten (wie z.B. Prüflingen) die Qualität der optischen Sonde der optischen Sondenanordnung durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges mit der Lichtstrahlführungsfläche ohne die Unterstützung des externen Justiermechanismus automatisch erkennen, um die mechanische Struktur zu vereinfachen und den Vorteil der Kostenreduzierung zu erreichen. Da die Ausrichtung der optischen Erkennungseinheit nicht angepasst werden muss (z.B. muss die optische Erkennungseinheit nicht geneigt werden), soll angemerkt werden, dass die gesamte optische Erkennungseinheit sich an einer niedrigeren Position als der gesamte Kreuztisch der Halbleiterscheibe oder auf der gleichen Höhe wie der gesamte Kreuztisch der Halbleiterscheibe befinden kann (d.h. eine obere Fläche der optischen Wegkorrekturstruktur kann gleich oder niedriger als eine Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe sein), so dass die optische Sonde der optischen Sondenanordnung, die an die optische Erkennungseinheit angrenzt, während der Bewegung nicht mit der relativ niedrigen optischen Erkennungseinheit kollidiert, während eine andere optische Sonde der optischen Sondenanordnung, die weit von der optischen Erkennungseinheit entfernt ist, nicht durch die relativ niedrige optische Erkennungseinheit blockiert wird und von demselben Lichtdetektor optisch erfasst werden kann.
  • Zum Lösen der oben genannten Probleme besteht einer der technischen Aspekte der vorliegenden Erfindung in der Schaffung einer Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges, die optional so ausgelegt ist, dass sie auf einen Lichtdetektor angewendet werden kann. Die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges besteht aus einer Halterstruktur und einer optischen Wegkorrekturstruktur, die von der Halterstruktur getragen wird, wobei die optische Wegkorrekturstruktur eine Lichtstrahlführungsfläche aufweist, die als umgekehrte Neigung an einer vertikalen Linie geneigt ist. Wenn die Halterstruktur optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar auf dem Lichtdetektor angeordnet ist, ist die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur so ausgelegt, dass sie einen vorgegebenen Lichtstrahl effektiv oder genau auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors führt, um das Sammeln des vorgegebenen Lichtstrahls zu erleichtern. Wenn die Halterstruktur optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar auf dem Lichtdetektor angeordnet ist, ist die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur in einem spitzen Winkel an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors angeordnet.
  • In der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges, die durch einen der technischen Aspekte der vorliegenden Erfindung geschaffen wird, weist die optische Wegkorrekturstruktur eine Lichtstrahlführungsfläche auf, die mit einer umgekehrten Neigung an einer vertikalen Linie angeordnet ist, während die Lichtstrahlführungsfläche der optische Wegkorrekturstruktur in einem spitzen Winkel an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors angeordnet ist, so dass, wenn die Halterstruktur optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar an dem Lichtdetektor angeordnet ist, die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur so ausgelegt sein kann, dass sie einen vorgegebenen Lichtstrahl effektiv oder genau auf die Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors führt, um den vorgegebenen Lichtstrahl durch die Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors zu sammeln.
  • Daher kann der Lichtdetektor in dem Fall, in dem die Ausrichtung des Lichtdetektors (z.B. unter Verwendung einer Fotodiode), der durch die vorliegende Erfindung geschaffen wird, nicht durch einen externen Justiermechanismus eingestellt werden muss, immer noch verwendet werden, um die Qualität einer optischen Sonde (d.h. einer Lichtleitfaser) einer optischen Sondenanordnung, die in verschiedenen Ausrichtungen (z.B. verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) angeordnet ist, optisch zu erkennen, indem die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges verwendet wird, die eine Lichtstrahlführungsfläche zum effektiven oder genauen Führen eines vorgegebenen Lichtstrahls auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors aufweist. Daher kann die vorliegende Erfindung vor, während und nach der Anwendung des optischen Erkennungssystems zur optischen Erkennung von mehreren vorgegebenen Objekten (wie z.B. DUTs) die Qualität der optischen Sonde der optischen Sondenanordnung durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges mit der Lichtstrahlführungsfläche ohne die Unterstützung des externen Justiermechanismus automatisch erfassen, um die mechanische Struktur zu vereinfachen und den Vorteil der Kostenreduzierung zu erzielen.
  • Um die oben genannten Probleme zu lösen, besteht ein weiterer technischer Aspekt der vorliegenden Erfindung darin, eine optische Erkennungseinheit mit einem Lichtdetektor und einer Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges zu schaffen. Der Lichtdetektor weist eine Lichteintrittsfläche auf. Die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges besteht aus einer Halterstruktur, die abnehmbar auf dem Lichtdetektor angeordnet ist, und aus einer optischen Wegkorrekturstruktur, die von der Halterstruktur getragen wird. Die optische Wegkorrekturstruktur weist eine Lichtstrahlführungsfläche, die mit umgekehrter Neigung der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors in vertikaler Richtung zugewandt ist, während die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur in einem spitzen Winkel relativ zur Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors angeordnet ist. Die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur ist so ausgelegt, dass sie einen vorgegebenen Lichtstrahl effektiv oder genau auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors führt, um das Sammeln des vorgegebenen Lichtstrahls zu erleichtern.
  • In der optischen Erkennungseinheit, die durch einen der technischen Aspekte der vorliegenden Erfindung geschaffen wird, weist die optische Wegkorrekturstruktur eine Lichtstrahlführungsfläche auf, die als eine umgekehrte Neigung angeordnet ist, die der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors in einer vertikalen Richtung gegenüberliegt, während die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur in einem spitzen Winkel an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors angeordnet ist, so dass, wenn die Halterstruktur optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar am Lichtdetektor angeordnet ist, die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur so ausgelegt werden kann, dass sie einen vorgegebenen Lichtstrahl effektiv oder genau auf die Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors führt, um den vorgegebenen Lichtstrahl durch die Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors zu sammeln.
  • Daher kann der Lichtdetektor in dem Fall, in dem die Ausrichtung des Lichtdetektors (z.B. unter Verwendung einer Fotodiode), der durch die vorliegende Erfindung geschaffen wird, nicht durch einen externen Justiermechanismus eingestellt werden muss, immer noch verwendet werden, um die Qualität einer optischen Sonde (d.h. einer Lichtleitfaser) einer optischen Sondenanordnung, die in verschiedenen Ausrichtungen (z.B. verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) angeordnet ist, optisch zu erfassen, indem die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges verwendet wird, die eine Lichtstrahlführungsfläche zum effektiven oder genauen Führen eines vorgegebenen Lichtstrahls auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors aufweist. Daher kann die vorliegende Erfindung vor, während und nach der Anwendung des optischen Erkennungssystems zur optischen Erkennung von mehreren vorgegebenen Objekten (wie z.B. DUTs) die Qualität der optischen Sonde der optischen Sondenanordnung durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges mit der Lichtstrahlführungsfläche ohne die Unterstützung des externen Justiermechanismus automatisch erkennen, um die mechanische Struktur zu vereinfachen und den Vorteil der Kostenreduzierung zu erreichen.
  • Zum Lösen der oben genannten Probleme besteht ein weiterer technischer Aspekt der vorliegenden Erfindung in der Schaffung eines optischen Erkennungssystems, das aus einem Spanngestell, einer optischen Sondenanordnung und einer optischen Erkennungseinheit besteht. Das Spanngestell besteht aus einem Substrathalter zum Tragen von mehreren vorgegebenen Objekten. Die optische Sondenanordnung ist so ausgelegt, dass sie oberhalb des Substrathalters angeordnet ist, um das vorgegebene Objekt optisch zu erkennen. Die optische Erkennungseinheit ist in der Nähe des Substrathalters des Spanngestells angeordnet, um einen vorgegebenen Lichtstrahl, der von der optischen Sondenanordnung erzeugt wird, optisch zu erfassen. Die optische Erkennungseinheit besteht aus einem Lichtdetektor und einer Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges, wobei der Lichtdetektor eine Lichteintrittsfläche aufweist und die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges eine Halterstruktur, die abnehmbar auf dem Lichtdetektor angeordnet ist, und eine optische Wegkorrekturstruktur, die von der Halterstruktur getragen wird, umfasst. Die optische Wegkorrekturstruktur weist eine Lichtstrahlführungsfläche auf, die mit umgekehrter Neigung der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors in vertikaler Richtung zugewandt ist, während die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur in einem spitzen Winkel an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors angeordnet ist. Die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur ist so ausgelegt, dass sie den vorgegebenen Lichtstrahl auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors führt, um das Sammeln des vorgegebenen Lichtstrahls zu erleichtern. Eine obere Fläche der optischen Wegkorrekturstruktur der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges ist gleich oder niedriger als eine Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe des Substrathalters des Spanngestells.
  • Im optischen Erkennungssystem, das durch einen der technischen Aspekte der vorliegenden Erfindung geschaffen wird, weist die optische Wegkorrekturstruktur eine Lichtstrahlführungsfläche, die als eine umgekehrte Neigung angeordnet ist, die der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors in einer vertikalen Richtung gegenüberliegt, während die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur in einem spitzen Winkel an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors angeordnet ist, so dass, wenn die Halterstruktur optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar am Lichtdetektor angeordnet ist, die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur so ausgelegt sein kann, dass sie einen vorgegebenen Lichtstrahl effektiv oder genau auf die Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors führt, um den vorgegebenen Lichtstrahl durch die Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors zu sammeln. Wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges optional neben dem Substrathalter des Spanngestells ausgelegt ist, kann die obere Fläche der optischen Wegkorrekturstruktur der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges außerdem gleich oder niedriger als die Fläche zum Tragen der Halbleiterscheiben des Substrathalters des Spanngestells sein, um zu verhindern, dass die optische Sondenanordnung von der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges berührt wird.
  • Daher kann der Lichtdetektor in dem Fall, in dem die Ausrichtung des Lichtdetektors (z.B. unter Verwendung einer Fotodiode), der durch die vorliegende Erfindung geschaffen wird, nicht durch einen externen Justiermechanismus eingestellt werden muss, immer noch verwendet werden, um die Qualität einer optischen Sonde (d.h. einer Lichtleitfaser) einer optischen Sondenanordnung, die in verschiedenen Ausrichtungen (z.B. verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) angeordnet ist, optisch zu erfassen, indem die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges verwendet wird, die eine Lichtstrahlführungsfläche zum effektiven oder genauen Führen eines vorgegebenen Lichtstrahls auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors aufweist. Daher kann die vorliegende Erfindung vor, während und nach der Anwendung des optischen Erkennungssystems zur optischen Erkennung von mehreren vorgegebenen Objekten (wie z.B. Prüflingen) die Qualität der optischen Sonde der optischen Sondenanordnung durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges mit der Lichtstrahlführungsfläche ohne die Unterstützung des externen Justiermechanismus automatisch erkennen, um die mechanische Struktur zu vereinfachen und den Vorteil der Kostenreduzierung zu erreichen. Es soll angemerkt werden, dass, da die Ausrichtung der optischen Erkennungseinheit nicht eingestellt werden muss (zum Beispiel muss die optische Erkennungseinheit nicht gekippt werden), die gesamte optische Erkennungseinheit an einer niedrigeren Position als der gesamte Kreuztisch der Halbleiterscheibe oder auf der gleichen Höhe wie der gesamte Kreuztisch der Halbleiterscheibe angeordnet werden kann (das heißt, eine obere Fläche der optischen Wegkorrekturstruktur kann gleich oder niedriger als eine Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe des Kreuztisches der Halbleiterscheibe sein), so dass die optische Sonde der optischen Sondenanordnung, die an die optische Erkennungseinheit angrenzt, während der Bewegung nicht mit der relativ niedrigen optischen Erkennungseinheit kollidiert, während eine andere optische Sonde der optischen Sondenanordnung, die weit von der optischen Erkennungseinheit entfernt ist, nicht durch die relativ niedrige optische Erkennungseinheit blockiert wird und durch denselben Lichtdetektor optisch erfasst werden kann.
  • In einer der möglichen oder bevorzugten Ausführungsbeispielen, wenn die Halterstruktur optional so ausgelegt ist, dass sie beweglich auf dem Lichtdetektor angeordnet ist, ist eine relative senkrechte Höhe der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors einstellbar. Wenn die Halterstruktur optional so ausgelegt ist, dass sie durch mindestens ein Befestigungselement an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors einstellbar angeordnet sein kann, ist die relative senkrechte Höhe der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors entsprechend der Halterstruktur einstellbar, die an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors einstellbar angeordnet ist. Wenn das mindestens eine Befestigungselement durch mindestens ein seitliches Durchgangsloch der Halterstruktur führt, um mit einem von mehreren übereinstimmenden Löcher des Lichtdetektors zusammenzuwirken, wird die Halterstruktur durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements und der übereinstimmenden Löcher einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors angeordnet, so dass die Halterstruktur so ausgelegt ist, dass sie die relative senkrechte Höhe der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements und der übereinstimmenden Löcher einstellt. Wenn die Halterstruktur optional so ausgelegt ist, dass sie durch Drehen an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors einstellbar angeordnet sein kann, ist die relative senkrechte Höhe der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors entsprechend der Halterstruktur einstellbar, die einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors angeordnet ist. Wenn ein Innengewinde der Halterstruktur und ein Außengewinde des Lichtdetektors miteinander zusammenwirken, wird die Halterstruktur durch Zusammenwirken des Innengewindes der Halterstruktur und des Außengewindes des Lichtdetektors einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors angeordnet, so dass die Halterstruktur so ausgelegt ist, dass sie die relative senkrechte Höhe der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors durch Zusammenwirken des Innengewindes der Halterstruktur und des Außengewindes des Lichtdetektors einstellt.
  • In den oben genannten möglichen oder bevorzugten Ausführungsbeispielen ist die relative senkrechte Höhe der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur in Bezug auf die Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors einstellbar, so dass in dem Fall, in dem die Ausrichtung des Lichtdetektors (z.B. unter Verwendung einer Fotodiode), der durch die vorliegende Erfindung geschaffen wird, nicht durch einen externen Justiermechanismus eingestellt werden muss, der Lichtdetektor dennoch verwendet werden kann, um die Qualität einer optischen Sonde (d.h. der Lichtdetektor kann dennoch verwendet werden, um die Qualität einer optischen Sonde (d.h. einer Lichtleitfaser) einer optischen Sondenanordnung, die in verschiedenen Ausrichtungen (wie unterschiedlichen Winkeln und/oder Höhen) angeordnet ist, optisch zu erfassen, indem die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges verwendet wird, die eine Lichtstrahlführungsfläche aufweist, um einen vorgegebenen Lichtstrahl, der von der optischen Sonde der optischen Sondenanordnung erzeugt wird, effektiv oder genau auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors zu führen. Daher kann die vorliegende Erfindung vor, während und nach der Anwendung des optischen Erkennungssystems zur optischen Erkennung von mehreren vorgegebenen Objekten (wie z.B. DUTs) die Qualität der optischen Sonde der optischen Sondenanordnung durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges mit der Lichtstrahlführungsfläche ohne die Unterstützung des externen Justiermechanismus automatisch erkennen, um die mechanische Struktur zu vereinfachen und den Vorteil der Kostenreduzierung zu erreichen. Zum Beispiel kann die Halterstruktur an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors durch das Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements und der übereinstimmenden Löcher einstellbar angeordnet sein, so dass die Halterstruktur so ausgestellt sein kann, dass sie die relative senkrechte Höhe der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors durch das Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements und der übereinstimmenden Löcher einstellt. Alternativ kann die Halterstruktur einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors durch Zusammenwirken des Innengewindes der Halterstruktur und des Außengewindes des Lichtdetektors angeordnet sein, so dass die Halterstruktur so ausgelegt sein kann, dass sie die relative senkrechte Höhe der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors durch Zusammenwirken des Innengewindes der Halterstruktur und des Außengewindes des Lichtdetektors einstellt.
  • In einer der möglichen oder bevorzugten Ausführungsbeispiele, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges optional so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor angeordnet ist, oder wenn die Struktur zur Korrektur des optischen Weges so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur angeordnet ist, ist ein relativer Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche der Struktur zur Korrektur des optischen Weges an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors einstellbar. Die optische Wegkorrekturstruktur besteht aus einem einstückigen optischen Element oder einem optischen Element vom kombinierten Typ, das aus mehreren optischen übereinstimmenden Teilen besteht. Die optische Wegkorrekturstruktur weist eine Durchgangsöffnung zur Aufnahme der Lichtstrahlführungsfläche auf, wobei die Durchgangsöffnung als geschlossene Form oder als offene Form gebildet ist, während die Durchgangsöffnung durch das einstückige optische Element oder durch Kombination der optischen übereinstimmenden Teile des optischen Elements vom kombinierten Typ gebildet wird. Die Durchgangsöffnung weist eine oberste Öffnung und eine unterste Öffnung auf, wobei eine Größe der obersten Öffnung kleiner als eine Größe der untersten Öffnung ist, während die Größe der obersten Öffnung und die Größe der untersten Öffnung ein proportionales Verhältnis innerhalb eines vorgegebenen Bereichs haben. Die Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur weist mehrere Lichtstrahlführungsbereiche auf, wobei die Lichtstrahlführungsbereiche so ausgelegt sind, dass sie auf dem einstückigen optischen Element angeordnet oder so ausgelegt sind, dass sie jeweils auf den optischen übereinstimmenden Teilen des optischen Elements vom kombinierten Typ angeordnet sind, während die Lichtstrahlführungsbereiche einen gleichen Neigungswinkel oder unterschiedliche Neigungswinkel an einer vertikalen Linie aufweisen.
  • In den oben erwähnten möglichen oder bevorzugten Ausführungsbeispielen ist der relative Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors einstellbar, so dass in dem Fall, in dem die Ausrichtung des Lichtdetektors (z.B. unter Verwendung einer Fotodiode), der durch die vorliegende Erfindung geschaffen wird, nicht durch einen externen Justiermechanismus eingestellt werden muss, der Lichtdetektor dennoch verwendet werden kann, um die Qualität einer optischen Sonde (d.h. der Lichtdetektor kann dennoch verwendet werden, um die Qualität einer optischen Sonde (d.h. einer Lichtleitfaser) einer optischen Sondenanordnung, die in verschiedenen Ausrichtungen (wie verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) optisch zu erfassen, indem die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges verwendet wird, die eine Lichtstrahlführungsfläche zum effektiven oder genauen Führen eines vorgegebenen Lichtstrahls auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors aufweist. Vor, während und nach der Anwendung des optischen Erkennungssystem, um mehrere vorgegebene Objekte (z.B. DUTs) optisch zu erkennen, kann die vorliegende Erkennung daher automatisch die Qualität der optischen Sonde der optischen Sondenanordnung durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges mit der Lichtstrahlführungsfläche ohne die Unterstützung des externen Justiermechanismus erkennen, um so die mechanische Struktur zu vereinfachen und den Vorteil der Kostenreduzierung zu erreichen. Beispielsweise kann die vorliegende Erfindung den relativen Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche der optischen Wegkorrekturstruktur an der Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors durch das folgende unterschiedliche Verfahren einstellen, um die unterschiedlichen spezifischen Anforderungen zu erfüllen. Die unterschiedlichen Verfahren zum Einstellen des relativen Neigungswinkels können mindestens eine oder mehrere der folgenden möglichen Lösungen sein: (1) die optische Wegkorrekturstruktur kann ein einstückiges optisches Element oder ein optisches Element vom kombinierten Typ sein, das aus mehreren optischen übereinstimmenden Teilen besteht; (2) die Durchgangsöffnung kann durch das einstückige optische Element gebildet sein oder durch Kombinieren der optisch übereinstimmenden Teile des optischen Elements vom kombinierten Typ gebildet sein; (3) bei der Durchgangsöffnung kann die Größe der obersten Öffnung kleiner sein als die Größe der untersten Öffnung, wobei die Größe der obersten Öffnung und die Größe der untersten Öffnung eine proportionale Beziehung innerhalb eines vorgegebenen Bereichs haben; und (4) die Lichtstrahlführungsbereiche können so ausgelegt sein, dass sie am einstückigen optischen Element angeordnet sind, oder ausgelegt sein, um jeweils an den optischen übereinstimmenden Teilen des optischen Elements vom kombinierten Typ angeordnet zu sein, während die Lichtstrahlführungsbereiche einen gleichen Neigungswinkel oder einen unterschiedlichen Neigungswinkel an einer vertikalen Linie aufweisen.
  • Diese und weitere Aspekte der vorliegenden Erfindung werden anhand der nachfolgenden Beschreibung des Ausführungsbeispiels mit Bezug auf die folgenden Zeichnungen und deren Beschreibung offensichtlicher, obwohl diese sich ebenfalls auf Variationen und Modifikationen beziehen können, ohne von dem Geist und dem Umfang der neuen Konzepte der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
  • Figurenliste
  • Die beschriebenen Ausführungsbeispiele werden mit Bezugnahme auf die nachfolgende Beschreibung und auf die beigelegten Zeichnungen offensichtlicher.
    • 1 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht einer ersten optischen Erkennungseinheit, die eine Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung anwendet;
    • 2 zeigt eine schematische Untenansicht einer ersten Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
    • 3 zeigt eine schematische teilweise Querschnittansicht einer zweiten optischen Erkennungseinheit, die die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung anwendet (wenn ein vorgegebener Lichtstrahl von einer optischen Sondenanordnung nicht zu einer Lichteintrittsfläche eines Lichtdetektors geführt werden kann);
    • 4 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht der zweiten optischen Erkennungseinheit, die die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung anwendet (wenn der vorgegebene Lichtstrahl von der optischen Sondenanordnung zu einer Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors geführt werden kann);
    • 5 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht einer dritten optischen Erkennungseinheit, die die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung anwendet (wenn ein vorgegebener Lichtstrahl von einer optischen Sondenanordnung nicht auf eine Lichteintrittsfläche eines Lichtdetektors geführt werden kann);
    • 6 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht der dritten optischen Erkennungseinheit, die die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung anwendet (wenn der vorgegebene Lichtstrahl von der optischen Sondenanordnung auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors geführt werden kann);
    • 7 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht einer vierten optischen Erkennungseinheit, die die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung anwendet (wenn ein vorgegebener Lichtstrahl von einer optischen Sondenanordnung nicht auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors geführt werden kann);
    • 8 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht der vierten optischen Erkennungseinheit, die die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung anwendet (wenn der vorgegebene Lichtstrahl von der optischen Sondenanordnung auf eine Lichteintrittsfläche des Lichtdetektors geführt werden kann);
    • 9 zeigt eine schematische Untenansicht einer zweiten optischen Wegkorrekturstruktur der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
    • 10 zeigt eine schematische Untenansicht einer dritten optischen Wegkorrekturstruktur der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
    • 11 zeigt eine schematische Untenansicht einer vierten optischen Wegkorrekturstruktur der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
    • 12 zeigt eine schematische Untenansicht einer fünften optischen Wegkorrekturstruktur der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
    • 13 zeigt eine schematische Untenansicht einer sechsten optischen Wegkorrekturstruktur der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
    • 14 zeigt eine schematische Untenansicht einer siebten optischen Wegkorrekturstruktur der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
    • 15 zeigt eine schematische Untenansicht einer achten optischen Wegkorrekturstruktur der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
    • 16 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht einer fünften optischen Erkennungseinheit, die die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung anwendet;
    • 17 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht eines optischen Erkennungssystems, die die optische Erkennungseinheit eines zweiten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung anwendet (wenn die optische Sondenanordnung so ausgelegt ist, dass sie oberhalb eines Substrathalters zur optischen Erkennung eines vorgegebenen Objekts angeordnet werden kann);
    • 18 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht des optischen Erkennungssystems, die die optische Erkennungseinheit des zweiten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung anwendet (wenn eine optische Sondenanordnung in eine Position oberhalb der optischen Erkennungseinheit bewegt werden muss, um eine optische Erkennung durch die optische Erkennungseinheit durchzuführen); und
    • 19 zeigt eine teilweise schematische Querschnittansicht des optischen Erkennungssystems, die die optische Erkennungseinheit des zweiten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung anwendet (wenn eine weitere optische Sondenanordnung an eine andere Position über der optischen Erkennungseinheit bewegt werden muss, um eine optische Erkennung durch die optische Erkennungseinheit durchzuführen).
  • WEGE ZUR AUSFÜHRUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Die vorliegende Erfindung wird insbesondere in den folgenden Beispielen beschrieben, die lediglich der Darstellung dienen, da zahlreiche Modifikationen und Änderungen dem Fachmann offensichtlich sind. Gleiche Nummern in den Zeichnungen beziehen sich auf dieselben Komponenten in den Ansichten. Wie in der vorliegenden Beschreibung und in den folgenden Ansprüchen verwendet, schließt die Bedeutung von „ein“, „eine“ und „die“ den Plural ein, wobei sich die Bedeutung von „in“ auf „in“ und „auf“ bezieht, sofern der Kontext nicht eindeutig etwas anderes vorgibt. Für ein besseres Verständnis können hier Titel oder Untertitel verwendet werden, die keinen Einfluss auf den Umfang der vorliegenden Erfindung haben sollen.
  • Die hier verwendeten Begriffe haben im Allgemeinen ihre übliche Bedeutung. Im Falle von Konflikten ist das vorliegende Dokument, einschließlich der darin enthaltenen Definitionen, maßgebend. Ein und dieselbe Sache kann auf mehr als eine Weise ausgedrückt werden. Alternative Begriffe und Synonyme können für alle hier erörterten Begriffe verwendet werden, und es ist nicht von besonderer Bedeutung, ob ein Begriff hier erläutert oder erörtert wird. Die Erwähnung eines oder mehrerer Synonyme schließt die Verwendung anderer Synonyme nicht aus. Die Verwendung von Beispielen an beliebiger Stelle in dieser Patentschrift, einschließlich von Beispielen für beliebige Begriffe, dient lediglich der Darstellung und schränkt in keiner Weise den Umfang und die Bedeutung der vorliegenden Erfindung oder eines beispielhaften Begriffs ein. Ebenso ist die vorliegende Erfindung nicht auf die verschiedenen hier beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Nummerierungsbegriffe wie „erster“, „zweiter“ oder „dritter“ können verwendet werden, um verschiedene Komponente, Signale oder dergleichen zu beschreiben, die lediglich dazu dienen, eine Komponente/ein Signal von einem anderen zu unterscheiden und die nicht dazu gedacht sind und auch nicht so ausgelegt werden sollten, dass sie den Komponenten, Signalen oder dergleichen irgendwelche inhaltliche Beschränkungen auferlegen.
  • [Erstes Ausführungsbeispiel]
  • Die 1 bis 11 zeigen, dass mit einem ersten Ausführungsbeispeil der vorliegenden Erfindung eine optischen Erkennungseinheit S1 mit einem Lichtdetektor D und eine Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C (oder eine Unterbaugruppe zur Einstellung des optischen Weges) geschaffen wird, wobei die 1 zeigt, dass der Lichtdetektor D eine Lichteintrittsfläche D100 (wie beispielsweise eine Lichteintrittsfläche mit einer Fotodiode) aufweist, während die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C aus einer Halterstruktur 1, die abnehmbar auf dem Lichtdetektor D angeordnet ist, sowie eine optische Wegkorrekturstruktur 2 (oder eine Struktur zur Einstellung des optischen Weges 2), die von der Halterstruktur 1 getragen wird, besteht. Es soll angemerkt werden, dass die Unterbaugruppe C zur Korrektur des optischen Weges optional so ausgelegt sein kann, dass sie auf den Lichtdetektor D entsprechend den verschiedenen Anforderungen angewendet werden kann.
  • Die 1 zeigt insbesondere, dass die Halterstruktur 1 einen übereinstimmenden Teil 11 und einen auf dem übereinstimmenden Teil 11 angeordneten tragenden Teil 12 umfasst, wobei der übereinstimmende Teil 11 der Halterstruktur 1 so ausgelegt sein kann, dass er mit dem Lichtdetektor D zusammenwirkt, während der tragende Teil 12 der Halterstruktur 1 so ausgelegt sein kann, dass er die optische Wegkorrekturstruktur 2 trägt. Zum Beispiel können der übereinstimmende Teil 11 und der Lichtdetektor D miteinander bewegt oder gedreht werden, während die optische Wegkorrekturstruktur 2 abnehmbar oder fest außerhalb der Halterstruktur 1 angeordnet sein kann und sich auf einer Oberseite der Halterstruktur 1 befinden (siehe 1), oder die optische Wegkorrekturstruktur 2 kann abnehmbar oder fest innerhalb der Halterstruktur 1 angeordnet und von der Halterstruktur 1 umgeben sein. Die vorgenannten Angaben dienen jedoch lediglich als Beispiele und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Die 1 und 2 zeigen insbesondere, dass die optische Wegkorrekturstruktur 2 eine Lichtstrahlführungsfläche 2000 aufweist, die mit umgekehrter Neigung gegenüber der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D in vertikaler Richtung angeordnet ist, wobei die optische Wegkorrekturstruktur 2 eine Durchgangsöffnung 2001 zur Aufnahme der Lichtstrahlführungsfläche 2000 aufweist. Das heißt, wie in 1 gezeigt, dass die optische Wegkorrekturstruktur 2 eine Lichtstrahlführungsfläche 2000 aufweist, die als umgekehrte Neigung an einer vertikalen Linie V angeordnet ist, wobei die Lichtstrahlführungsfläche 2000 in Bezug auf die vertikale Linie V gegen den Uhrzeigersinn geneigt werden kann, während die senkrechte Projektion der Lichtstrahlführungsfläche 2000 auf die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D projiziert werden kann. Zum Beispiel weist die optische Wegkorrekturstruktur 2 eine obere Fläche 2002, eine untere Fläche 2003, die der oberen Fläche 2002 gegenüberliegt, eine obere Anschlussschnittstelle 2004 (d.h. eine oberste Seite der Lichtstrahlführungsfläche 2000), die zwischen der oberen Fläche 2002 und der Lichtstrahlführungsfläche 2000 verbunden ist, und eine untere Anschlussschnittstelle 2005 (d.h. eine unterste Seite der Lichtstrahlführungsfläche 2000), die zwischen der unteren Fläche 2003 und der Lichtstrahlführungsfläche 2000 verbunden ist, auf, wobei eine obere Anschlussschnittstelle 2004 (d.h. eine oberste Seite der Lichtstrahlführungsfläche 2000), die zwischen der oberen Fläche 2002 und der Lichtstrahlführungsfläche 2000 verbunden ist, und eine untere Anschlussschnittstelle 2005 (d.h. eine unterste Seite der Lichtstrahlführungsfläche 2000), die zwischen der unteren Fläche 2003 und der Lichtstrahlführungsfläche 2000 verbunden ist, während die obere Anschlussschnittstelle 2004 und die untere Anschlussschnittstelle 2005 dem Lichtdetektor D in einer senkrechten Richtung direkt zugewandt sein können (d.h. sowohl die senkrechte Projektion der oberen Anschlussschnittstelle 2004 als auch die senkrechte Projektion der unteren Anschlussschnittstelle 2005 können auf die Lichteinstrittsfläche D100 des Lichtdetektors D projiziert werden). Insbesondere ist die obere Anschlussschnittstelle 2004 näher an der Mittellinie der Durchgangsöffnung 2001 als die untere Anschlussschnittstelle 2005, während die obere Anschlussschnittstelle 2004 näher an der Mittellinie des Lichtdetektors D als die untere Anschlussschnittstelle 2005 ist. Es soll angemerkt werden, dass die Lichtstrahlführungsfläche 2000 durch eine optische Überzugsschicht gebildet sein kann, die zusätzlich (zum Beispiel durch Beschichten, Galvanisieren, Aufdampfen oder ein beliebiges Formgebungsverfahren) auf der optischen Wegkorrekturstruktur 2 gebildet wird (das heißt, die optische Wegkorrekturstruktur 2 besteht aus einer optischen Überzugsschicht mit einer Lichtstrahlführungsfläche 2000), oder die Lichtstrahlführungsfläche 2000 kann durch eine Materialoberflächenschicht gebildet sein, die die optische Wegkorrekturstruktur 2 selbst besitzt (das heißt, die Materialoberflächenschicht der optischen Wegkorrekturstruktur 2 weist eine Lichtstrahlführungsfläche 2000 auf). Die vorgenannten Angaben dienen jedoch lediglich als Beispiele und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Die 1 und 2 zeigen insbesondere, dass wenn die Halterstruktur 1 optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar auf dem Lichtdetektor D angeordnet ist, die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 in einem spitzen Winkel θ an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D angeordnet ist. Die 1 zeigt weiter, dass wenn die Halterstruktur 1 optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar auf dem Lichtdetektor D angeordnet ist, die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie einen vorgegebenen Lichtstrahl B, der von der optischen Sondenanordnung S3 erzeugt wird, effektiv oder genau auf die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D reflektiert (oder leitet, lenkt, überträgt), um den vorgegebenen Lichtstrahl B durch die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D zu sammeln. Es soll angemerkt werden, dass die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie sich auf einem optischen Weg zwischen einer optischen Sondenanordnung S3 zur Erzeugung des vorgegebenen Lichtstrahls B und der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D befindet, so dass die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie den vorgegebenen Lichtstrahl B, der von der optischen Sondenanordnung S3 erzeugt wird, effektiv oder genau auf die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D reflektiert (oder führt, lenkt, überträgt), um den vorgegebenen Lichtstrahl B durch die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D zu sammeln.
  • Die 3 bis 6 zeigen, dass in einem der möglichen Ausführungsbeispiele eine relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellbar ist, wenn die Halterstruktur 1 optional so ausgelegt ist, dass sie beweglich auf dem Lichtdetektor D angeordnet ist. Die relative senkrechte Höhe H kann beispielsweise als Abstand zwischen der unteren Anschlussschnittstelle 2005 der Lichtleitfläche 2000 und der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D definiert sein (siehe 3 bis 6) oder die relative senkrechte Höhe H kann auch als Abstand zwischen der oberen Anschlussschnittstelle 2004 der Lichtleitfläche 2000 und der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D definiert sein. Ein weiteres Beispiel: Die relative senkrechte Höhe H kann auch als Abstand zwischen einem beliebigen Bezugspunkt der Lichtleitfläche 2000 und der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D definiert sein. Die vorgenannten Angaben dienen jedoch lediglich als Beispiele und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Die 3 und 4 zeigen beispielsweise, wenn die Halterstruktur 1 beispielsweise so ausgelegt ist, dass sie durch mindestens ein Befestigungselement F (wie einen Bolzen, einen Schraubennagel oder eine beliebige Art von Befestigungselement) an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D einstellbar angeordnet sein kann, die relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D gemäß der Halterstruktur 1, die an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D einstellbar angeordnet sein kann, eingestellt werden kann. Insbesondere dann, wenn das mindestens eine Befestigungselement F durch mindestens ein seitliches Durchgangsloch 1000 der Halterstruktur 1 führt, um mit einem von mehreren übereinstimmenden Löcher D101 des Lichtdetektors D zusammenzuwirken (zum Beispiel zeigt 3 mindestens ein Befestigungselement F, das durch mindestens ein seitliches Durchgangsloch 1000 führt, um mit dem obersten der übereinstimmenden Löcher D101 zusammenzuwirken, und 4 zeigt mindestens ein Befestigungselement F, das durch mindestens ein seitliches Durchgangsloch 1000 führt, um mit dem untersten der übereinstimmenden Löcher D101 zusammenzuwirken), kann die Halterstruktur 1 einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements F und der übereinstimmenden Löcher D101 angeordnet sein, so dass die Halterstruktur 1 so ausgelegt sein kann, dass sie die relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements F und der übereinstimmenden Löcher D101 einstellt. Daher kann, wenn die Halterstruktur 1 optional so ausgelegt ist, dass sie durch mindestens ein Befestigungselement F an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D einstellbar angeordnet sein kann, die relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellbar sein (beispielsweise kann die in 3 gezeigte relative senkrechte Höhe H auf die in 4 gezeigte relative senkrechte Höhe H eingestellt sein, wodurch die relative senkrechte Höhe H verringert wird), so dass die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie den vorgegebenen Lichtstrahl B, der von der optischen Sondenanordnung S3 erzeugt wird, effektiv oder genau auf die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D reflektiert (oder führt, leitet, überträgt), um den vorgegebenen Lichtstrahl B durch die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D zu sammeln. In einem anderen Beispiel sind die übereinstimmenden Löcher D101 nicht erforderlich, d.h. das Befestigungselement F kann direkt an die Wand des Lichtdetektors D geschraubt werden, wodurch eine stufenlose Einstellung möglich ist. Die oben genannten Angaben dienen jedoch lediglich als Beispiele und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Die 5 und 6 zeigen beispielsweise, wenn die Halterstruktur 1 optional so ausgelegt ist, dass sie durch Drehen an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D einstellbar angeordnet sein kann (zum Beispiel kann die Halterstruktur 1 am Lichtdetektor D gedreht werden, oder der Lichtdetektor D kann an der Halterstruktur 1 gedreht werden), kann die relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D entsprechend der Halterstruktur 1, die an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D einstellbar angeordnet sein kann, eingestellt werden. Insbesondere, wenn ein Innengewinde 1001 der Halterstruktur 1 und ein Außengewinde D102 des Lichtdetektors D miteinander zusammenwirken (z.B. zeigt die 5, dass die Halterstruktur 1 und der Lichtdetektor D durch die Drehung des Innengewindes 1001 und des Außengewindes D102 relativ weit voneinander entfernt sind, während die 6 zeigt, dass die Halterstruktur 1 und der Lichtdetektor D durch die Drehung des Innengewindes 1001 und des Außengewindes D102 näher beieinander liegen), kann die Halterstruktur 1 durch das Zusammenwirken des Innengewindes 1001 der Halterstruktur 1 und des Außengewindes D102 des Lichtdetektors D an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D verstellbar angeordnet sein, so dass die Halterstruktur 1 so ausgelegt sein kann, dass sie die relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D durch das Zusammenwirken des Innengewindes 1001 der Halterstruktur 1 und des Außengewindes D102 des Lichtdetektors D einstellt. Daher kann, wenn die Halterstruktur 1 optional so ausgelegt ist, dass sie durch Drehen an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D einstellbar angeordnet sein kann, die relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellbar sein (zum Beispiel kann die in 5 gezeigte relative senkrechte Höhe H auf die in 6 gezeigte relative senkrechte Höhe H angepasst werden, wodurch die relative senkrechte Höhe H verringert wird), so dass die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie den vorgegebenen Lichtstrahl B, der von der optischen Sondenanordnung S3 erzeugt wird, effektiv oder genau auf die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D reflektiert (oder führt, leitet, überträgt), um den vorgegebenen Lichtstrahl B durch die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D zu sammeln. Die vorgenannten Angaben dienen jedoch lediglich als Beispiele und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Die 3 bis 6 zeigen, dass in einer der möglichen Ausführungsbeispiele die relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 relativ zur Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D eingestellt sein kann, so dass in dem Fall, in dem die Ausrichtung des Lichtdetektors D (z.B. unter Verwendung einer Fotodiode), die durch die vorliegende Erfindung geschaffen wird, nicht durch einen externen Justiermechanismus eingestellt sein muss, der Lichtdetektor D dennoch verwendet werden kann, um die Qualität einer optischen Sonde S30 (d.h. einer optischen Faser) der optischen Sondenanordnung S3, die in verschiedenen Ausrichtungen (wie z.B. verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) angeordnet ist, durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C mit einer Lichtstrahlführungsfläche 2000 zum effektiven oder genauen Reflektieren (oder Führen, Lenken, Übertragen) eines vorgegebenen Lichtstrahls B, der von der optischen Sonde S30 der optischen Sondenanordnung S3 erzeugt wird, zu einer Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellt. Daher kann die vorliegende Erfindung vor, während und nach der Anwendung des optischen Erkennungssystems S zur optischen Erkennung von mehreren vorgegebener Objekte (wie z.B. DUTs) die Qualität der optischen Sonde S30 der optischen Sondenanordnung S3 durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C mit der Lichtstrahlführungsfläche 2000 ohne die Unterstützung des externen Justiermechanismus automatisch erfassen, um die mechanische Struktur zu vereinfachen und den Vorteil der Kostenreduzierung zu erzielen. Beispielsweise kann die Halterstruktur 1 durch das Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements F und der übereinstimmenden Löcher D101 an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D einstellbar angeordnet sein, so dass die Halterstruktur 1 so ausgelegt sein kann, dass sie die relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D durch das Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements F und der übereinstimmenden Löcher D101 einstellt (es soll angemerkt werden, dass das mindestens eine Befestigungselement F durch die Hand des Benutzers oder einen Schraubendreher betätigt werden kann, aber sowohl die Hand des Benutzers als auch der Schraubendreher verwendet werden, um eine Energiequelle zu erzeugen, um das mindestens eine Befestigungselement F statt des externen Justiermechanismus anzutreiben). Alternativ kann die Halterstruktur 1 durch Zusammenwirken des Innengewindes 1001 der Halterstruktur 1 und des Außengewindes D102 des Lichtdetektors D einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors D angeordnet sein, so dass die Halterstruktur 1 so ausgelegt sein kann, dass sie die relative senkrechte Höhe H der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D durch Zusammenwirken des Innengewindes 1001 der Halterstruktur 1 und des Außengewindes D102 des Lichtdetektors D einstellt.
  • Die 7 und 8 zeigen, dass in einer anderen der möglichen Ausführungsbeispiele, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges optional so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor D angeordnet ist (oder wenn die optische Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur 1 angeordnet ist), kann ein relativer Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellbar sein. Die 7 zeigt beispielsweise, dass die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 ist in Bezug auf die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D geneigt ist, um einen relativen Neigungswinkel θ1 aufzuweisen, während die 8 zeigt, dass die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 in Bezug auf die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D geneigt ist, um einen relativen Neigungswinkel θ2 aufzuweisen. Ein weiteres Beispiel zeigt, dass der relative Neigungswinkel θ1und der relative Neigungswinkel θ2 in Bezug auf die obere Fläche 2002 oder die untere Fläche 2003 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 geneigt sein können. Die oben genannten Angaben dienen jedoch lediglich als Beispiele und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Die 7 und 8 zeigen beispielsweise, dass die optische Wegkorrekturstruktur 2 aus einem einstückigen optischen Element (siehe 2) oder einem optischen Element vom kombinierten Typ besteht, das aus mehreren optischen übereinstimmenden Teile 20S besteht (wie in 9 gezeigt, kann das optische Element vom kombinierten Typ aus drei optischen übereinstimmenden Teilen 20S bestehen). Insbesondere dann, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C optional so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor D angeordnet ist (oder wenn die optische Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur 1 angeordnet ist), kann die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C (d.h. die optische Wegkorrekturstruktur 2) durch mehrere verschiedene einstückige optische Elemente oder mehrere verschiedene optische Elemente vom kombinierten Typ ersetzt werden (z.B. weisen die Lichtstrahlführungsflächen 2000 der verschiedenen einstückigen optischen Elemente jeweils verschiedene Neigungswinkel oder die Lichtstrahlführungsflächen 2000 der verschiedenen optischen Elemente vom kombinierten Typ haben jeweils verschiedene Neigungswinkel), so dass der relative Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellbar oder wählbar sein kann.
  • Daher kann, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C optional so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor D angeordnet ist (oder wenn die optische Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur 1 angeordnet ist), der relative Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellbar sein (beispielsweise ist der relative Neigungswinkel θ1der Lichtstrahlführungsfläche 2000 an der Lichteintrittsfläche D100, wie der in 7 gezeigte relative Neigungswinkel θ1der Lichtstrahlführungsfläche 2000 an der Lichteintrittsfläche D100 größer ist als der in 8), so dass die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie den vorgegebenen Lichtstrahl B, der von der optischen Sondenanordnung S3 erzeugt wird, effektiv oder genau auf die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D reflektiert (oder führt, lenkt, überträgt), um den vorgegebenen Lichtstrahl B durch die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D zu sammeln. Die oben genannten Details sind jedoch nur für beispielhafte Zwecke beschrieben und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Es soll angemerkt werden, dass die optische Wegkorrekturstruktur 2 (siehe 2, 10 und 11) eine Durchgangsöffnung 2001 zur Aufnahme der Lichtstrahlführungsfläche 2000 aufweist, wobei die Durchgangsöffnung 2001 als geschlossene Form (wie ein Kreis in 2, ein Quadrat oder eine beliebige geschlossene Form) oder eine offene Form (wie ein in 10 gezeigter 1/2-Kreis, ein in 11 gezeigter 3/4-Kreis oder eine beliebige offene Form) gebildet sein kann, während die Durchgangsöffnung 2001 durch das einstückige optische Element (siehe 1) kann oder durch Kombination der optischen übereinstimmenden Teile 20S des optischen Elements vom kombinierten Typ (siehe 9) gebildet sein kann. Insbesondere kann die Anzahl der Durchgangsöffnungen 2001, die durch die vorliegende Erfindung gebildet ist, nicht nur eine sein wie in 2 und 10 gezeigt, z.B. kann die Anzahl der Durchgangsöffnungen 2001, die in 12 und 13 gezeigt auch mehrfach sein, wobei die mehreren Lichtstrahlführungsfläche 2000 die gleichen oder unterschiedliche Neigungswinkel haben können. Wenn die Durchgangsöffnung 2001 als offene Form gebildet sein kann, hat die optische Wegkorrekturstruktur 2 eine streifenförmige Lichtstrahlführungsfläche 2000 und eine offene Durchgangsöffnung 2001 neben der streifenförmigen Lichtstrahlführungsfläche 2000 (siehe 14), oder die optische Wegkorrekturstruktur 2 weist mindestens zwei streifenförmige Lichtstrahlführungsflächen 2000 und eine Durchgangsöffnung 2001 auf, die sich zwischen den beiden streifenförmigen Lichtstrahlführungsflächen 2000 befindet (siehe 15). Die oben genannten Angaben dienen jedoch lediglich als Beispiele und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Die 7 und 8 zeigen beispielsweise, dass die Durchgangsöffnung 2001 eine oberste Öffnung 2001P und eine unterste Öffnung 2011B aufweist, wobei eine Größe der obersten Öffnung 2001P kleiner als eine Größe der untersten Öffnung 2011B ist. Darüber hinaus stehen die Größe der obersten Öffnung 2001P und die Größe der untersten Öffnung 2011B innerhalb eines vorgegebenen Bereichs in einem proportionalen Verhältnis zueinander, so dass der relative Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellbar ist. Das heißt, unter der Voraussetzung, dass der Abstand zwischen der obersten Öffnung 2001 P und der untersten Öffnung 2001 B fest ist, wenn das Verhältnis der Öffnung der obersten Öffnung 2001P zur Öffnung der untersten Öffnung 2001B größer ist (oder wenn die Öffnung der obersten Öffnung 2001P kleiner ist als die Öffnung der untersten Öffnung 2001B), ist der relative Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 in Bezug auf die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D größer. Die oben genannten Angaben dienen jedoch lediglich als Beispiele und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Die 9 zeigt beispielsweise, dass die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 mehrere Lichtstrahlführungsbereiche 2000R aufweist, wobei die Lichtstrahlführungsbereiche 2000R so ausgelegt sein können, dass sie auf dem einstückigen optischen Element angeordnet sind (wie in 2 gezeigt, sind drei Lichtstrahlführungsbereiche 2000R auf der Lichtstrahlführungsfläche 2000 verteilt) oder so ausgelegt, dass sie jeweils auf den optischen übereinstimmenden Teilen 20S des optischen Elements vom kombinierten Typ angeordnet sind (wie in 9 gezeigt, sind drei Lichtstrahlführungsbereiche 2000R jeweils auf den drei optischen übereinstimmenden Teilen 20S gebildet), während die Lichtstrahlführungsbereiche 2000R einen gleichen Neigungswinkel oder unterschiedliche Neigungswinkel an der vertikalen Linie V aufweisen. Daher kann der relative Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D aufgrund „gleicher oder unterschiedlicher Neigungswinkel, die von den Lichtstrahlführungsbereichen 2000R des einstückigen optischen Elements gebildet werden“ oder „gleicher oder unterschiedlicher Neigungswinkel, die von den Lichtstrahlführungsbereichen 2000R des optischen Elements vom kombinierten Typ gebildet werden“ eingestellt werden. Die oben genannten Angaben dienen jedoch lediglich als Beispiele und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht einschränken.
  • Die 16 zeigt beispielsweise, dass wenn die optische Wegkorrekturstruktur 2 eines der in 10, 11, 13, 14 und 15 gezeigten Muster annimmt, kann die optische Sondenanordnung S3 sehr nahe an eine horizontale Ebene gesetzt werden (das heißt, der Neigungswinkel der optischen Sondenanordnung S3 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D kann sehr klein sein), so dass die optische Sondenanordnung S3 flexibler in Zusammenarbeit mit der optischen Wegkorrekturstruktur 2 verwendet werden kann.
  • Abschließend ist in einer anderen der möglichen Ausführungsbeispiele mit Bezugnahme auf die 7 bis 11 der relative Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellbar, so dass in dem Fall, in dem die Ausrichtung des Lichtdetektors D (z.B. unter Verwendung einer Fotodiode), der durch die vorliegende Erfindung geschaffen wird, nicht durch einen externen Justiermechanismus eingestellt werden muss, der Lichtdetektor D dennoch verwendet werden kann, um die Qualität einer optischen Sonde S30 (d.h. einer optischen Faser) der optischen Sondenanordnung S3, die in verschiedenen Ausrichtungen (wie z.B. verschiedenen Winkeln und/oder Höhen) angeordnet ist, durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C mit einer Lichtstrahlführungsfläche 2000 zum effektiven oder genauen Reflektieren (oder Führen, Lenken, Übertragen) eines vorgegebenen Lichtstrahls B, der von der optischen Sonde S30 der optischen Sondenanordnung S3 gebildet ist, auf eine Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D zu erfassen. Daher kann die vorliegende Erfindung vor, während und nach der Anwendung des optischen Erkennungssystems S zur optischen Erkennung von mehreren vorgegebenen Objekte (wie z.B. DUTs) die Qualität der optischen Sonde S30 der optischen Sondenanordnung S3 durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C mit der Lichtstrahlführungsfläche 2000 ohne die Unterstützung des externen Justiermechanismus automatisch erfassen, um die mechanische Struktur zu vereinfachen und den Vorteil der Kostenreduzierung zu erzielen. Zum Beispiel kann die vorliegende Erfindung den relativen Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D durch die folgende unterschiedliche Methode einstellen, um die verschiedenen spezifischen Anforderungen zu erfüllen. Die verschiedenen Methoden zur Einstellung des relativen Neigungswinkels können mindestens eine oder mehrere der folgenden möglichen Lösungen sein: (1) die optische Wegkorrekturstruktur 2 kann ein einstückiges optisches Element oder ein optisches Element vom kombinierten Typ sein, das aus mehreren optischen übereinstimmenden Teilen 20S besteht; (2) die Durchgangsöffnung 2001 kann durch das einstückige optische Element oder durch Kombination der optischen übereinstimmenden Teile 20S des optischen Elements vom kombinierten Typ gebildet sein; (3) für die Durchgangsöffnung 2001 kann die Größe der obersten Öffnung 2001 P kleiner sein als die Größe der untersten Öffnung 2011 B, während die Größe der obersten Öffnung 2001P und die Größe der untersten Öffnung 2011B in einem proportionalen Verhältnis innerhalb eines vorgegebenen Bereichs stehen; und (4) die Lichtstrahlführungsbereiche 2000R können so ausgelegt sein, dass sie auf dem einstückigen optischen Element angeordnet sind, oder so ausgelegt sein können, dass sie jeweils auf den optischen übereinstimmenden Teilen 20S des optischen Elements vom kombinierten Typ angeordnet sind, während die Lichtstrahlführungsbereiche 2000R einen gleichen Neigungswinkel oder unterschiedliche Neigungswinkel an einer vertikalen Linie V aufweisen.
  • Zusammenfassend lässt sich sagen, dass im ersten Ausführungsbeispiel mit Bezugnahme auf 1 bis 11 die optische Wegkorrekturstruktur 2 eine Lichtstrahlführungsfläche 2000 aufweist, die als eine umgekehrte Neigung angeordnet ist, die der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D in einer vertikalen Richtung zugewandt ist (das heißt, die optische Wegkorrekturstruktur 2 weist eine Lichtstrahlführungsfläche 2000 auf, die als eine umgekehrte Neigung angeordnet ist, die an einer vertikalen Linie V geneigt ist), während die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 in einem spitzen Winkel θ an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D angeordnet ist, so dass, wenn die Halterstruktur 1 optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar auf dem Lichtdetektor D angeordnet ist, die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie einen vorgegebenen Lichtstrahl B zur Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D führt, um den vorgegebenen Lichtstrahl B durch die Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D effektiv oder genau zu sammeln.
  • Daher kann der Lichtdetektor D in dem Fall, in dem die Ausrichtung des Lichtdetektors D (z.B. unter Verwendung einer Fotodiode), der durch die vorliegende Erfindung gebildet ist, nicht durch einen externen Justiermechanismus eingestellt werden muss, immer noch verwendet werden, um die Qualität der optischen Sonde S30 (d.h. einer Lichtleitfaser) einer optischen Sondenanordnung S3, die in verschiedenen Ausrichtungen (z.B. unterschiedlichen Winkeln und/oder Höhen) angeordnet ist, durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C mit einer Lichtstrahlführungsfläche 2000 (z.B. wobei mindestens eine der relativen senkrechten Höhen H und der relative Neigungswinkel der Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D einstellbar ist), um einen vorgegebenen Lichtstrahl B auf eine Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D zu führen. Daher kann die vorliegende Erfindung vor, während und nach der Anwendung des optischen Erkennungssystems S zur optischen Erkennung von mehreren vorgegebenen Objekte (wie z.B. DUTs) die Qualität der optischen Sonde S30 der optischen Sondenanordnung S3 durch Verwendung der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C mit der Lichtstrahlführungsfläche 2000 ohne die Unterstützung des externen Justiermechanismus automatisch erfassen, um die mechanische Struktur zu vereinfachen und den Vorteil der Kostenreduzierung zu erzielen.
  • Zweites Ausführungsbeispiel]
  • Die 17 bis 19 zeigen, dass mit einem zweites Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ein optisches Erkennungssystem S geschaffen wird, das aus einer optischen Erkennungseinheit S1 (das durch das erste Ausführungsbeispiel geschaffen sein kann), einem Spanngestell S2 und aus zwei optischen Sondenanordnungen S3 (oder nur einer optischen Sondenanordnung S3) besteht. Insbesondere besteht das Spanngestell S2 aus einem Substrathalter S20 zum Tragen von mehreren vorgegebenen Objekten W (z.B. eine Halbleiterscheibe mit mehreren Spänen). Die optische Sondenanordnung S3 kann so ausgelegt sein, dass sie oberhalb des Substrathalters S20 angeordnet ist, um das vorgegebene Objekt W optisch zu erfassen (siehe 17). Die optische Erkennungseinheit S1 kann in der Nähe des Substrathalters S20 des Spanngestells S2 angeordnet sein, um einen vorgegebenen Lichtstrahl B, der von der optischen Sondenanordnung S3 erzeugt wird, optisch zu erfassen. Darüber hinaus besteht die optische Erkennungseinheit S1 aus einem Lichtdetektor D und einer Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C, wobei der Lichtdetektor D eine Lichteintrittsfläche D100 aufweist und die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C eine Halterstruktur 1, die abnehmbar auf dem Lichtdetektor D angeordnet ist, und eine von der Halterstruktur 1 getragene optische Wegkorrekturstruktur 2 umfasst. Weiter weist die optische Wegkorrekturstruktur 2 eine Lichtstrahlführungsfläche 2000 auf, die als eine umgekehrte Neigung angeordnet ist, die der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D in einer vertikalen Richtung zugewandt ist, wobei die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 in einem spitzen Winkel θ an der Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D angeordnet ist, während die Lichtstrahlführungsfläche 2000 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 so ausgelegt sein kann, dass sie den vorgegebenen Lichtstrahl B auf eine Lichteintrittsfläche D100 des Lichtdetektors D führt, um das Sammeln des vorgegebenen Lichtstrahls B zu erleichtern.
  • Die 17 bis 19 zeigen, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C optional neben dem Substrathalter S20 des Spanngestells S2 ausgelegt ist, eine obere Fläche 2002 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C gleich oder niedriger als die Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe S2000 des Substrathalters S20 des Spanngestells S2 sein kann, um zu verhindern, dass die optische Sondenanordnung S3 von der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C berührt oder kollidiert wird. Die 18 zeigt beispielsweise, dass eine der beiden optischen Sondenanordnungen S3 (wie die optische Sondenanordnung S3, die auf der rechten Seite der 18 gezeigt ist) in eine Position oberhalb der optischen Erkennungseinheit S1 bewegt werden muss, um eine optische Erkennung durch die optische Erkennungseinheit S1 durchzuführen, wobei die optische Sondenanordnung S3, die sich auf der rechten Seite der 18 befindet, während der Bewegung nicht mit der optischen Erkennungseinheit S1 kollidiert, da die obere Fläche 2002 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C gleich oder niedriger als die Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe S2000 des Substrathalters S20 des Spanngestells S2 ist. Wenn eine andere der beiden optischen Sondenanordnungen S3 (wie die optische Sondenanordnung S3, die auf der linken Seite der 19 gezeigt ist) in eine andere Position oberhalb der optischen Erkennungseinheit S1 bewegt werden muss, um eine optische Erkennung durch die optische Erkennungseinheit S1 durchzuführen, wird die optische Sondenanordnung S3, die sich auf der linken Seite der 19 befindet, während der Bewegung nicht mit der optischen Erkennungseinheit S1 kollidieren, da die obere Fläche 2002 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges C gleich oder niedriger als die Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe S2000 des Substrathalters S20 des Spanngestells S2 ist. Die 17 zeigt, dass nachdem die beiden optischen Sondenanordnungen S3 die optische Erkennung durch die optische Erkennungseinheit S1 abgeschlossen haben, die optische Sondenanordnung S3 in eine Position oberhalb des Substrathalters S20 zurückgebracht werden kann, um das vorgegebene Objekt W optisch zu erfassen.
  • Da die Ausrichtung der optischen Erkennungseinheit S1 nicht gekippt zu werden braucht, kann die gesamte optische Erkennungseinheit S1 an einer niedrigeren Position als das gesamte Spanngestell S2 oder auf der gleichen Höhe wie der gesamte Kreuztisch der Halbleiterscheibe angeordnet sein (d.h. die obere Fläche 2002 der optischen Wegkorrekturstruktur 2 kann gleich oder niedriger als die Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe S2000 des Spanngestells S2 sein), so dass die optische Sonde S30 der optischen Sondenanordnung S3, die an die optische Erkennungseinheit S1 angrenzt, während der Bewegung nicht mit der relativ niedrigen optischen Erkennungseinheit S1 kollidiert, während eine andere optische Sonde S30 der optischen Sondenanordnung S3, die weit von der optischen Erkennungseinheit S1 entfernt ist, nicht durch die relativ niedrige optische Erkennungseinheit S1 blockiert wird und von demselben Lichtdetektor D optisch erfasst werden kann. Das heißt, es gibt nur eine relative horizontale Bewegung zwischen der optischen Sondenanordnung S3 und dem Substrathalter S20, so dass, selbst wenn die Erkennung der Qualität der optischen Sonde S30 der optischen Sondenanordnung S3 häufig ist, die Effizienz der Erkennung verbessert wird.
  • Die vorstehende Beschreibung der beispielhaften Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung dient lediglich der Darstellung und Beschreibung und erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit oder Beschränkung der vorliegenden Erfindung auf die genauen Formen, die erörtert sind. Die oben genannte Lehre ermöglicht zahlreiche Modifikationen und Änderungen.
  • Die Ausführungsbeispiele wurden ausgewählt und beschrieben, um die Prinzipien der vorliegenden Erfindung und deren praktische Anwendung zu erläutern, damit andere Fachleute auf diesem Gebiet die vorliegende Erfindung und die verschiedenen Ausführungsbeispiele mit verschiedenen Modifikationen, die für die jeweilige Verwendung geeignet sind, nutzen können. Weitere Ausführungsbeispiele werden dem Fachmann, zu dem die vorliegende Erfindung gehört, offensichtlich, ohne von deren Geist und Umfang abzuweichen.
  • Bezugszeichenliste
    • S
    Optisches Erkennungssystem
    S1
    Optische Erkennungseinheit
    D
    Lichtdetektor
    D100
    Lichteintrittsfläche
    D101
    Übereinstimmendes Loch
    D102
    Außengewinde
    C
    Unterbaugruppe zur Korrektur des optisches Weges
    1
    Halterstruktur
    11
    Übereinstimmender Teil
    12
    Tragender Teil
    1000
    Seitliches Durchgangsloch
    1001
    Innengewinde
    2
    Optische Wegkorrekturstruktur
    2000
    Lichtstrahlführungsfläche
    2000R
    Lichtstrahlführungsbereich
    2001
    Durchgangsöffnung
    2001P
    Oberste Öffnung
    2001B
    Unterste Öffnung
    2002
    Obere Fläche
    2003
    Untere Fläche
    2004
    Obere Anschlussschnittstelle
    2005
    Untere Anschlussschnittstelle
    20S
    Optisch übereinstimmender Teil
    V
    Vertikale Linie
    H
    Relative senkrechte Höhe
    F
    Befestigungselement
    S2
    Spanngestell
    S20
    Substrathalter
    S2000
    Fläche zum Tragen der Halbleiterscheiben
    W
    Vorgegebenes Objekt
    S3
    Optische Sondenanordnung
    S30
    Optische Probenadel
    B
    Vorgegebener Lichtstrahl
    θ
    Spitzer Winkel
    θ1, θ2
    Relativer Neigungswinkel
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • US 63276671 [0001]

Claims (12)

  1. Eine Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C), die optional so ausgelegt ist, dass sie mit einem Lichtdetektor (D) angewendet wird; wobei die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) aus einer Halterstruktur (1) und einer von der Halterstruktur (1) getragene optische Wegkorrekturstruktur (2) besteht, während die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine Lichtstrahlführungsfläche (2000) aufweist, die als umgekehrte Neigung an einer vertikalen Linie (V) angeordnet ist; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie einen vorgegebenen Lichtstrahl (B) zu einer Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) führt, um das Sammeln des vorgegebenen Lichtstrahls (B) zu erleichtern, wenn die Halterstruktur (1) optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) in einem spitzen Winkel an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) angeordnet ist, wenn die Halterstruktur (1) optional so ausgelegt ist, dass sie abnehmbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist.
  2. Die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) nach Anspruch 1, wobei eine relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist, wenn die Halterstruktur (1) optional so ausgelegt ist, dass sie beweglich auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist; wobei, wenn die Halterstruktur (1) optional so ausgelegt ist, dass sie durch mindestens ein Befestigungselement (F) an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet ist, die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) entsprechend der Halterstruktur (1), die an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet ist, einstellbar ist; wobei, wenn das mindestens eine Befestigungselement (F) durch mindestens ein seitliches Durchgangsloch (1000) der Halterstruktur (1) geführt wird, um mit einem der mehreren übereinstimmenden Löchern (D101) des Lichtdetektors (D) zusammenzuwirken, die Halterstruktur (1) durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements (F) und der übereinstimmenden Löcher (D101) einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) angeordnet ist, so dass die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements (F) und der übereinstimmenden Löcher (D101) einstellt; wobei, wenn die Halterstruktur (1) optional so ausgelegt ist, dass sie durch Drehen an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet sein kann, die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichtempfangsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) entsprechend der Halterstruktur (1) einstellbar ist, die an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet ist; wobei, wenn ein Innengewinde (1001) der Halterstruktur (1) und ein Außengewinde (D102) des Lichtdetektors (D) miteinander zusammenwirken, die Halterstruktur (1) durch Zusammenwirken des Innengewindes (1001) der Halterstruktur (1) und des Außengewindes (D102) des Lichtdetektors (D) einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) angeordnet ist, so dass die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der Lichtwegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) durch das Zusammenwirken des Innengewindes (1001) der Halterstruktur (1) und des Außengewindes (D102) des Lichtdetektors (D) einstellt.
  3. Die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) nach Anspruch 1, wobei, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) optional so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, oder wenn die optische Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur (1) angeordnet ist, ein relativer Neigungswinkel (θ1, θ2) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) aus einem einstückigen optischen Element oder einem optischen Element vom kombinierten Typ besteht, das mehrere optische übereinstimmende Teile (20S) umfasst; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine Durchgangsöffnung (2001) zur Aufnahme der Lichtstrahlführungsfläche (2000) aufweist, die Durchgangsöffnung (2001) als eine geschlossene Form oder eine offene Form gebildet ist und die Durchgangsöffnung (2001) durch das einstückige optische Element gebildet ist oder durch Kombination der optischen übereinstimmenden Teile (20S) des optischen Elements vom kombinierten Typ gebildet wird; wobei die Durchgangsöffnung (2001) eine oberste Öffnung (2001P) und eine unterste Öffnung (2011B) aufweist, eine Größe der obersten Öffnung (2001P) kleiner ist als eine Größe der untersten Öffnung (2011B), wobei die Größe der obersten Öffnung (2001P) und die Größe der untersten Öffnung (2011B) eine proportionale Beziehung innerhalb eines vorgegebenen Bereichs aufweisen; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) mehrere Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) aufweist, wobei die Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) so ausgelegt sind, dass sie auf dem einstückigen optischen Element angeordnet oder so ausgelegt sind, dass sie jeweils auf den optischen übereinstimmenden Teilen (20S) des optischen Elements vom kombinierten Typ angeordnet sind, während die Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) einen gleichen Neigungswinkel oder unterschiedliche Neigungswinkel an der vertikalen Linie (V) aufweisen.
  4. Die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) nach Anspruch 1, wobei, wenn die Halterstruktur (1) optional so ausgelegt ist, dass sie beweglich auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, eine relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist; wobei, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) optional so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, oder wenn die optische Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur (1) angeordnet ist, ein relativer Neigungswinkel (θ1, θ2) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie sich auf einem optischen Weg zwischen einer optischen Sondenanordnung (S3) zur Erzeugung des vorgegebenen Lichtstrahls (B) und der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) befindet; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) mehrere Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) aufweist, wobei die Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) einen gleichen Neigungswinkel oder unterschiedliche Neigungswinkel an der vertikalen Linie (V) aufweisen; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) durch eine optische Überzugsschicht, die zusätzlich auf der optischen Wegkorrekturstruktur (2) gebildet ist, oder durch eine Materialoberflächenschicht, die die optische Wegkorrekturstruktur (2) selbst besitzt, erzeugt wird; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine obere Fläche (2002), eine der oberen Fläche (2002) gegenüberliegende untere Fläche (2003), eine obere Eckschnittstelle, die zwischen der oberen Fläche (2002) und der Lichtstrahlführungsfläche (2000) verbunden ist, und eine untere Eckschnittstelle, die zwischen der unteren Fläche (2003) und der Lichtstrahlführungsfläche (2000) verbunden ist, aufweist, wobei die obere Eckschnittstelle und die untere Eckschnittstelle dem Lichtdetektor (D) in einer senkrechten Richtung direkt gegenüberliegen; wobei die Halterstruktur (1) aus einem übereinstimmenden Teil (11) und einem tragenden Teil (12) besteht, der auf dem übereinstimmenden Teil (11) angeordnet ist, wobei der übereinstimmende Teil (11) der Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass er mit dem Lichtdetektor (D) zusammenwirkt, während der tragende Teil (12) der Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass er die optische Wegkorrekturstruktur (2) trägt; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) außerhalb der Halterstruktur (1) und auf einer Oberseite der Halterstruktur (1) oder innerhalb der Halterstruktur (1) angeordnet ist und von der Halterstruktur (1) umgeben ist; wobei die Halterstruktur (1) und die optische Wegkorrekturstruktur (2) einstückig als ein einziges optisches Element gebildet sind und die Lichtstrahlführungsfläche (2000) auf dem einzigen optischen Element gebildet ist; wobei, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) optional angrenzend an einen Substrathalter (S20) eines Spanngestells (S2) ausgelegt ist, die obere Fläche (2002) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) gleich oder niedriger als eine Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe (S2000) des Substrathalters (S20) des Spanngestells (S2) ist, um zu verhindern, dass die optische Sondenanordnung (S3) von der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) berührt wird.
  5. Eine optische Erkennungseinheit (S1), umfassend: einen Lichtdetektor (D) mit einer Lichteintrittsfläche (D100); und eine Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) mit einer Halterstruktur (1), die abnehmbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, und eine optische Wegkorrekturstruktur (2), die von der Halterstruktur (1) getragen wird; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine Lichtstrahlführungsfläche (2000) aufweist, die in einer umgekehrten Neigung angeordnet ist, die der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) in einer vertikalen Richtung zugewandt ist, wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) in einem spitzen Winkel an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) angeordnet ist; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie einen vorgegebenen Lichtstrahl (B) zu der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) führt, um das Sammeln des vorgegebenen Lichtstrahls (B) zu erleichtern.
  6. Die optische Erkennungseinheit (S1) nach Anspruch 5, wobei eine relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist, wenn die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie beweglich auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist; wobei, wenn die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie durch mindestens ein Befestigungselement (F) an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet ist, die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) entsprechend der Halterstruktur (1), die an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet ist, einstellbar ist; wobei, wenn das mindestens eine Befestigungselement (F) durch mindestens ein seitliches Durchgangsloch (1000) der Halterstruktur (1) geführt wird, um mit einem von mehreren übereinstimmenden Löchern (D101) des Lichtdetektors (D) zusammenzuwirken, die Halterstruktur (1) durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements (F) und der übereinstimmenden Löcher (D101) einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) angeordnet ist, so dass die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der Lichtwegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements (F) und der übereinstimmenden Löcher (D101) einstellt; wobei, wenn die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie durch Drehen an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet sein kann, die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) relativ zur Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) entsprechend der Halterstruktur (1) einstellbar ist, die an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet ist; wobei, wenn ein Innengewinde (1001) der Halterstruktur (1) und ein Außengewinde (D102) des Lichtdetektors (D) miteinander zusammenwirken, die Halterstruktur (1) durch Zusammenwirken des Innengewindes (1001) der Halterstruktur (1) und des Außengewindes (D102) des Lichtdetektors (D) einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) angeordnet ist, so dass die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) durch das Zusammenwirken des Innengewindes (1001) der Halterstruktur (1) und des Außengewindes (D102) des Lichtdetektors (D) einstellt.
  7. Die optische Erkennungseinheit (S1) nach Anspruch 5, wobei ein relativer Neigungswinkel (θ1, θ2) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, oder wenn die optische Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur (1) angeordnet ist; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) ein einstückiges optisches Element oder ein optisches Element vom kombinierten Typ umfasst, das aus mehreren optischen übereinstimmenden Teilen (20S) besteht; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine Durchgangsöffnung (2001) zur Aufnahme der Lichtstrahlführungsfläche (2000) aufweist, die Durchgangsöffnung (2001) als eine geschlossene Form oder eine offene Form gebildet ist und die Durchgangsöffnung (2001) durch das einstückige optische Element gebildet ist oder durch Kombination der optischen übereinstimmenden Teile (20S) des optischen Elements vom kombinierten Typ gebildet ist; wobei die Durchgangsöffnung (2001) eine oberste Öffnung (2001 P) und eine unterste Öffnung (2011B) aufweist, eine Größe der obersten Öffnung (2001 P) kleiner ist als eine Größe der untersten Öffnung (2011B), während die Größe der obersten Öffnung (2001 P) und die Größe der untersten Öffnung (2011B) eine proportionale Beziehung innerhalb eines vorgegebenen Bereichs aufweisen; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) mehrere Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) aufweist, wobei die Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) so ausgelegt sind, dass sie auf dem einstückigen optischen Element angeordnet oder so ausgelegt sind, dass sie jeweils auf den optischen übereinstimmenden Teilen (20S) des optischen Elements vom kombinierten Typ angeordnet sind, während die Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) einen gleichen Neigungswinkel oder unterschiedliche Neigungswinkel an einer vertikalen Linie (V) aufweisen.
  8. Die optische Erkennungseinheit (S1) nach Anspruch 5, wobei, wenn die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie beweglich auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, eine relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist; wobei, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, oder wenn die optische Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur (1) angeordnet ist, ein relativer Neigungswinkel (θ1, θ2) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie sich auf einem optischen Weg zwischen einer optischen Sondenanordnung (S3) zur Erzeugung des vorgegebenen Lichtstrahls (B) und der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) befindet; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) mehrere Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) aufweist, wobei die Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) einen gleichen Neigungswinkel oder unterschiedliche Neigungswinkel an einer vertikalen Linie (V) aufweisen; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) eine optische Überzugsschicht aufweist, die zusätzlich auf der optischen Wegkorrekturstruktur (2) gebildet ist oder durch eine Materialoberflächenschicht, die die optische Wegkorrekturstruktur (2) selbst besitzt, erzeugt wird; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine obere Fläche (2002), eine der oberen Fläche (2002) gegenüberliegende untere Fläche (2003), eine obere Eckschnittstelle, die zwischen der oberen Fläche (2002) und der Lichtstrahlführungsfläche (2000) verbunden ist, und eine untere Eckschnittstelle, die zwischen der unteren Fläche (2003) und der Lichtstrahlführungsfläche (2000) verbunden ist, aufweist, wobei die obere Eckschnittstelle und die untere Eckschnittstelle dem Lichtdetektor (D) in einer senkrechten Richtung direkt gegenüberliegen; wobei die Halterstruktur (1) aus einem übereinstimmenden Teil (11) und einem tragenden Teil (12) besteht, der auf dem übereinstimmenden Teil (11) angeordnet ist, wobei der übereinstimmende Teil (11) der Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass er mit dem Lichtdetektor (D) zusammenwirkt, während der tragende Teil (12) der Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass er die optische Wegkorrekturstruktur (2) trägt; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) außerhalb der Halterstruktur (1) und auf einer Oberseite der Halterstruktur (1) oder innerhalb der Halterstruktur (1) angeordnet ist und von der Halterstruktur (1) umgeben ist; wobei die Halterstruktur (1) und die optische Wegkorrekturstruktur (2) einstückig als ein einziges optisches Element gebildet sind, während die Lichtstrahlführungsfläche (2000) auf dem einzigen optischen Element gebildet ist; wobei, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) optional angrenzend an einen Substrathalter (S20) eines Spanngestells (S2) ausgelegt ist, die obere Fläche (2002) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) gleich oder niedriger als eine Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe (S2000) des Substrathalters (S20) des Spanngestells (S2) ist, um zu verhindern, dass die optische Sondenanordnung (S3) von der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) berührt wird.
  9. Ein optisches Erkennungssystem (S), umfassend: ein Spanngestell (S2) mit einem Substrathalter (S20) zum Tragen von mehreren vorgegebenen Objekten (W); eine optische Sondenanordnung (S3), die so ausgelegt ist, dass sie über dem Substrathalter (S20) angeordnet sein kann, um das vorgegebene Objekt (W) optisch zu erkennen; und eine optische Erkennungseinheit (S1), die neben dem Substrathalter (S20) des Spanngestells (S2) angeordnet ist, um einen vorgegebenen Lichtstrahl (B), der von der optischen Sondenanordnung (S3) erzeugt wird, optisch zu erkennen; wobei die optische Erkennungseinheit (S1) aus einem Lichtdetektor (D) und einer Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) besteht, der Lichtdetektor (D) eine Lichteintrittsfläche (D100) aufweist und die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) eine Halterstruktur (1), die abnehmbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, und aus einer optischen Wegkorrekturstruktur (2) besteht, die von der Halterstruktur (1) getragen wird; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine Lichtstrahlführungsfläche (2000) aufweist, die in einer umgekehrten Neigung angeordnet ist, die der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) in einer vertikalen Richtung zugewandt ist, während die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) in einem spitzen Winkel an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) angeordnet ist; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie den vorgegebenen Lichtstrahl (B) auf die Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) führt, um das Sammeln des vorgegebenen Lichtstrahls (B) zu erleichtern; wobei eine obere Fläche (2002) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) der Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) gleich oder niedriger als eine Fläche zum Tragen der Halbleiterscheibe (S2000) des Substrathalters (S20) des Spanngestells (S2) ist.
  10. Das optische Erkennungssystem (S) nach Anspruch 9, wobei, wenn die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie beweglich auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, eine relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist; wobei, wenn die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie durch mindestens ein Befestigungselement (F) an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet ist, die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichtempfangsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) entsprechend der Halterstruktur (1), die an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet ist, einstellbar ist; wobei, wenn das mindestens eine Befestigungselement (F) durch mindestens ein seitliches Durchgangsloch (1000) der Halterstruktur (1) hindurch geführt wird, um mit einem der mehreren übereinstimmenden Löcher (D101) des Lichtdetektors (D) zusammenzuwirken, die Halterstruktur (1) durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements (F) und der übereinstimmenden Löcher (D101) einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) angeordnet ist, so dass die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) durch Zusammenwirken des mindestens einen Befestigungselements (F) und der übereinstimmenden Löcher (D101) einstellt; wobei, wenn die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie durch Drehen an verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet sein kann, die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) entsprechend der Halterstruktur (1) einstellbar ist, die an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) einstellbar angeordnet ist; wobei, wenn ein Innengewinde (1001) der Halterstruktur (1) und ein Außengewinde (D102) des Lichtdetektors (D) miteinander zusammenwirken, die Halterstruktur (1) durch Zusammenwirken des Innengewindes (1001) der Halterstruktur (1) und des Außengewindes (D102) des Lichtdetektors (D) einstellbar an den verschiedenen vorgegebenen Positionen des Lichtdetektors (D) angeordnet ist, so dass die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie die relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) durch das Zusammenwirken des Innengewindes (1001) der Halterstruktur (1) und des Außengewindes (D102) des Lichtdetektors (D) einstellt.
  11. Das optische Erkennungssystem (S) nach Anspruch 9, wobei, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, oder wenn die optische Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur (1) angeordnet ist, ein relativer Neigungswinkel (θ1, θ2) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) ein einstückiges optisches Element oder ein optisches Element vom kombinierten Typ umfasst, das aus mehreren optischen übereinstimmenden Teilen (20S) besteht; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine Durchgangsöffnung (2001) zur Aufnahme der Lichtstrahlführungsfläche (2000) aufweist, die Durchgangsöffnung (2001) als eine geschlossene Form oder eine offene Form gebildet ist und die Durchgangsöffnung (2001) durch das einstückige optische Element gebildet ist oder durch Kombination der optischen übereinstimmenden Teile (20S) des optischen Elements vom kombinierten Typ gebildet ist; wobei die Durchgangsöffnung (2001) eine oberste Öffnung (2001P) und eine unterste Öffnung (2011B) aufweist, eine Größe der obersten Öffnung (2001P) kleiner ist als eine Größe der untersten Öffnung (2011B), während die Größe der obersten Öffnung (2001P) und die Größe der untersten Öffnung (2011B) eine proportionale Beziehung innerhalb eines vorbestimmten Bereichs aufweisen; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) mehrere Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) aufweist, wobei die Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) so ausgelegt sind, dass sie auf dem einstückigen optischen Element angeordnet sind oder so ausgelegt sind, dass sie jeweils auf den optischen übereinstimmenden Teilen (20S) des optischen Elements vom kombinierten Typ angeordnet sind und die Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) einen gleichen Neigungswinkel oder unterschiedliche Neigungswinkel an einer vertikalen Linie (V) aufweisen.
  12. Das optische Erkennungssystem (S) nach Anspruch 9, wobei, wenn die Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass sie beweglich auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, eine relative senkrechte Höhe (H) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der Lichtwegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist; wobei, wenn die Unterbaugruppe zur Korrektur des optischen Weges (C) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf dem Lichtdetektor (D) angeordnet ist, oder wenn die optische Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie austauschbar auf der Halterstruktur (1) angeordnet ist, ein relativer Neigungswinkel (θ1, θ2) der Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) an der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) einstellbar ist; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) so ausgelegt ist, dass sie sich auf einem optischen Weg zwischen der optischen Sondenanordnung (S3) zur Erzeugung des vorgegebenen Lichtstrahls (B) und der Lichteintrittsfläche (D100) des Lichtdetektors (D) befindet; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) der optischen Wegkorrekturstruktur (2) mehrere Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) aufweist, wobei die Lichtstrahlführungsbereiche (2000R) einen gleichen Neigungswinkel oder unterschiedliche Neigungswinkel an einer vertikalen Linie (V) aufweisen; wobei die Lichtstrahlführungsfläche (2000) durch eine optische Überzugsschicht, die zusätzlich auf der optischen Wegkorrekturstruktur (2) gebildet ist, oder durch eine Materialoberflächenschicht, die die optische Wegkorrekturstruktur (2) selbst besitzt, gebildet wird; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) eine untere Fläche (2003) gegenüber der oberen Fläche (2002), eine obere Eckschnittstelle, die zwischen der oberen Fläche (2002) und der Lichtstrahlführungsfläche (2000) verbunden ist, und eine untere Eckschnittstelle, die zwischen der unteren Fläche (2003) und der Lichtstrahlführungsfläche (2000) verbunden ist, aufweist, während die obere Eckschnittstelle und die untere Eckschnittstelle dem Lichtdetektor (D) in einer senkrechten Richtung direkt gegenüberliegen; wobei die Halterstruktur (1) einen übereinstimmenden Teil (11) und einen tragenden Teil (12) umfasst, der auf dem übereinstimmenden Teil (11) angeordnet ist, wobei der übereinstimmende Teil (11) der Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass er mit dem Lichtdetektor (D) zusammenwirkt, während der tragende Teil (12) der Halterstruktur (1) so ausgelegt ist, dass er die optische Wegkorrekturstruktur (2) trägt; wobei die optische Wegkorrekturstruktur (2) außerhalb der Halterstruktur (1) und auf einer Oberseite der Halterstruktur (1) oder innerhalb der Halterstruktur (1) angeordnet ist und von der Halterstruktur (1) umgeben ist; wobei die Halterstruktur (1) und die optische Wegkorrekturstruktur (2) einstückig als ein einziges optisches Element gebildet sind und die Lichtstrahlführungsfläche (2000) auf dem einzigen optischen Element gebildet ist.
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