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Die Erfindung betrifft einen Aktuator mit wenigstens einem Aktuatorkörper aus dielektrischem Elastomermaterial und zwei Elektroden, die an zueinander entgegengesetzten Flächen des Aktuatorkörpers befestigt sind.
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Die Erfindung ist darüber hinaus auf eine Ventilaktuatoreinheit mit einem solchen Aktuator gerichtet.
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Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Ventil mit einer Ventilaktuatoreinheit der oben genannten Art und einem Ventilelement, wobei das Ventilelement von der Ventilaktuatoreinheit bewegt werden kann.
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Derartige Aktuatoren sowie Ventilaktuatoreinheiten und damit ausgestattete Ventile sind auf dem Fachgebiet bekannt.
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Aufgrund des Materials des Aktuatorkörpers werden solche Aktuatoren oft als dielektrische Elastomeraktuatoren (DEA) bezeichnet.
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Dielektrische Elastomeraktuatoren sind in der Lage, elektrische Energie in mechanische Arbeit umzuwandeln. Dazu wird zwischen den Elektroden eine Spannung angelegt und, abhängig von der Spannung, wird der Aktuatorkörper zwischen den Elektroden definiert zusammengedrückt, was zu einer Streckung des Aktuatorkörpers führt, da der Aktuatorkörper sein Volumen im Wesentlichen konstant hält.
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Derartige Aktuatoren kommen bei einer Vielzahl von Anwendungen zum Einsatz, zum Beispiel bei Ventilaktuatoreinheiten.
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Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, derartige Aktuatoren insbesondere im Hinblick auf eine gesteigerte Lebensdauer und eine erhöhte Funktionssicherheit zu verbessern.
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Die vorliegende Erfindung schafft einen Aktuator mit wenigstens einem Aktuatorkörper aus dielektrischem Elastomermaterial und zwei Elektroden, die an zueinander entgegengesetzten Flächen des Aktuatorkörpers befestigt sind. Der Aktuatorkörper und/oder wenigstens eine der Elektroden ist/sind an seiner/ihrer Außenseite zumindest teilweise mit einer Schutzschicht aus Polymermaterial überzogen. Eine mechanische Steifigkeit der Schutzschicht ist um mindestens das Dreifache geringer als eine mechanische Steifigkeit des Aktuatorkörpers. Somit ist entweder eine Elektrode zumindest teilweise mit einer Schutzschicht überzogen oder sind beide Elektroden zumindest teilweise mit einer Schutzschicht überzogen oder ist der Aktuatorkörper zumindest teilweise mit einer Schutzschicht überzogen. Auch Kombinationen dieser Alternativen sind möglich. Verglichen mit der mechanischen Steifigkeit des Aktuatorkörpers ist die Steifigkeit der Schutzschicht sehr gering. Folglich hat die Schutzschicht eine sehr geringe, insbesondere vernachlässigbare, Auswirkung auf die mechanischen Eigenschaften des Aktuatorkörpers. Dies bedeutet insbesondere, dass die Schutzschicht die Verformung des Aktuatorkörpers aufgrund des Anlegens einer Spannung an die Elektroden nicht behindert. Infolge dieser Konfiguration kann der Aktuator effizient und zuverlässig betrieben werden. Außerdem ist seine Lebensdauer erhöht.
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Gemäß einer Option ist die Steifigkeit der Schutzschicht um mindestens das Fünffache, insbesondere um mindestens das Zehnfache, geringer als die mechanische Steifigkeit des Aktuatorkörpers. Somit ist die Auswirkung der Schutzschicht auf die mechanischen Eigenschaften des Aktuatorkörpers besonders gering.
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Die Schutzschicht kann ein Material umfassen, das als Haftmittel wirkt, wenn es mit dem Aktuatorkörper in Kontakt gebracht wird. Folglich wird die Schutzschicht durch Haftkräfte am Aktuatorkörper gehalten. Dies ist vom Aufbau her einfach, da keine zusätzlichen Elemente oder Materialien zur Befestigung der Schutzschicht am Aktuatorkörper erforderlich sind. Ferner sind Haftkräfte dauerhaft, was sich positiv auf die Lebensdauer des Aktuators auswirkt.
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Vorzugsweise ist die Schutzschicht 0,5 µm bis 5 µm dick. Bei einem Beispiel ist die Schutzschicht 3 µm bis 4 µm dick. Mit anderen Worten, die Schutzschicht ist sehr dünn. Aus diesem Grund wird nur eine sehr geringe Menge an Polymermaterial benötigt. Außerdem hat eine solche dünne Schicht nur sehr geringe Auswirkungen auf die Betriebseigenschaften des Aktuators. Im Idealfall werden die Betriebseigenschaften durch die Schutzschicht nicht verändert.
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Im vorliegenden Zusammenhang kann der Aktuatorkörper die Form einer Scheibe, eines Streifens oder einer Folie haben, wobei eine der Elektroden an einer Oberseite des Aktuatorkörpers und die andere Elektrode an einer Unterseite des Aktuatorkörpers befestigt ist. Vorzugsweise sind die Elektroden unmittelbar zueinander entgegengesetzt positioniert. Dies führt zu einer sehr effizienten Umwandlung von elektrischer Energie in mechanische Arbeit.
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Wenn der Aktuatorkörper die Form einer Folie hat, kann der Aktuator auch als Folienaktuator oder Filmaktuator bezeichnet werden.
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Hat der Aktuatorkörper die Form eines Streifens, so kann der Aktuator auch als Aktuatorstreifen oder Streifenaktuator bezeichnet werden.
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Die Schutzschicht kann ein hydrophobes Polymermaterial umfassen. Im vorliegenden Zusammenhang bezeichnet hydrophob die Eigenschaft eines Materials, darauf verschüttetes Wasser dem Anschein nach abzustoßen. Genau genommen beruht die Abstoßung von Wasser darauf, dass keine Anziehungskräfte zwischen Wasser und dem Material vorhanden sind. Diese Eigenschaft der Schutzschicht erhöht die Lebensdauer des Aktuators erheblich, insbesondere in feuchten Umgebungen. Es wird darauf hingewiesen, dass im Rahmen der vorliegenden Erfindung unter einer feuchten Umgebung eine gashaltige Umgebung zu verstehen ist, die Feuchtigkeit enthält. Insbesondere handelt es sich bei der Umgebung um Umgebungsluft, die eine gewisse Menge an Feuchtigkeit umfasst. Der Aktuator ist also nicht in einer Flüssigkeit angeordnet.
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Vorzugsweise beträgt ein Elastizitätsmodul der Schutzschicht 1 MPa oder weniger. Eine solche Schutzschicht wirkt sich mechanisch in besonders geringem Maße auf den Aktuatorkörper aus und hat praktisch keinen Einfluss auf dessen Verformungsvermögen.
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Des Weiteren kann die Schutzschicht eine Passivierungsschicht sein. Das bedeutet, dass die Schutzschicht wenigstens eine der Elektroden und/oder den Aktuatorkörper zumindest teilweise gegen mögliche chemische Reaktionen mit einer Umgebung, z.B. Korrosion, abschirmt. Auch kann eine elektrochemische Verschlechterung der Elektroden und/oder des Aktuatorkörpers verringert werden. Das gleiche gilt für die Oberflächenlichtbogenbildung. Dadurch ergibt sich eine erhöhte Lebensdauer und eine gute Funktionssicherheit des Aktuators.
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Die Schutzschicht kann auch ein elektrischer Isolator sein. Somit sind die Elektroden zumindest teilweise gegenüber ihrer Umgebung isoliert. Folglich kann der Aktuator sicher betrieben werden. In diesem Zusammenhang ist es klar, dass für elektrische Anschlüsse genutzte Bereiche der Elektroden von einem solchen elektrischen Isolator freibleiben müssen.
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Gemäß einer Variante ist wenigstens eine Elektrode vollständig mit der Schutzschicht überzogen. Vorzugsweise sind beide Elektroden vollständig mit der Schutzschicht überzogen. Dadurch ergibt sich ein sehr zuverlässiger Schutz der jeweiligen Elektrode vor Feuchtigkeit und chemischen Reaktionen mit der Umgebung. Eine Schnittstelle zwischen der Elektrode und dem Aktuatorkörper ist selbstverständlich frei von Material der Schutzschicht. Nur eine Außenseite der jeweiligen Elektrode ist vollständig von der Schutzschicht bedeckt.
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Es ist auch möglich, dass die wenigstens eine Elektrode und ein an die Elektrode angrenzender Oberflächenbereich des Aktuatorkörpers vollständig mit der Schutzschicht überzogen sind. Somit bedeckt die Schutzschicht die Elektrode und benachbarte Abschnitte des Aktuatorkörpers vollständig. Dadurch ist die Zuverlässigkeit des Schutzes der Elektrode vor Umgebungsfeuchtigkeit oder chemischen Reaktionen mit der Umgebung weiter erhöht.
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Ferner kann mehr als eine Fläche des Aktuatorkörpers zumindest teilweise mit der Schutzschicht überzogen sein. Auf diese Weise ist der Aktuatorkörper besonders zuverlässig vor Einflüssen durch seine Umgebung, z.B. Feuchtigkeit, geschützt.
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Insbesondere können alle Flächen des Aktuatorkörpers zumindest teilweise mit der Schutzschicht überzogen sein. Auch in diesem Fall ist der Aktuatorkörper gegenüber unerwünschten Einwirkungen aus der Umgebung gut geschützt.
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In einem Sonderfall können sämtliche Elektroden und sämtliche Flächen des Aktuatorkörpers vollständig von der Schutzschicht bedeckt sein. Mit anderen Worten, der Aktuator ist vollständig mit der Schutzschicht überzogen oder beschichtet. Ein solcher Aktuator ist gegenüber Einflüssen aus der Umgebung besonders widerstandsfähig.
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Der Aktuator kann auch mehr als einen Aktuatorkörper umfassen, wobei die Aktuatorkörper in Schichten angeordnet sind. Somit kann der Aktuator ein mehrschichtiger Aktuator sein. Verglichen mit einem einschichtigen Aktuator ist ein derartiger Aktuator zur Bereitstellung höherer Aktuatorkräfte geeignet.
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Vorzugsweise umfasst die Schutzschicht ein thermoplastisches Elastomermaterial oder ein Silikonmaterial oder ein Acrylmaterial. Das thermoplastische Elastomermaterial ist zum Beispiel ein Styrol-Ethylen-Butylen-Styrol-Blockcopolymermaterial. Das Silikonmaterial ist zum Beispiel ein Polydimethylsiloxanmaterial. Styrol-Ethylen-Butylen-Styrol-Blockcopolymermaterial kann als SEBS abgekürzt werden. Polydimethylsiloxanmaterial kann als PDMS abgekürzt werden. Alle oben genannten Materialien eignen sich dazu, die Betriebsdauer eines erfindungsgemäßen Aktuators zu erhöhen. Zudem können die Materialien auf einfache Weise auf eine Oberfläche einer Elektrode und/oder eines Aktuatorkörpers aufgebracht werden. Hierzu kann eine Lösung, die beispielsweise SEBS bzw. PDMS umfasst, auf die entsprechenden Oberflächen aufgebracht werden. Nachdem das entsprechende Lösungsmittel verdampft oder verdunstet ist, sind die Oberflächen zuverlässig beschichtet.
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Verfahren zum Aufbringen der Schutzschicht auf die Elektrode und/oder den Aktuatorkörper umfassen Laminiertechniken, Tintenstrahldrucktechniken, Vergießtechniken, Verdampfungstechniken, Sprühtechniken und Rotationsbeschichtungstechniken. Natürlich sind auch Kombinationen dieser Techniken möglich. Die Wahl des geeigneten technischen Verfahrens hängt von der konkreten Anwendung ab. In diesem Kontext kann die Schutzschicht auf den Aktuatorkörper in einem vorgestreckten Zustand aufgebracht werden. Dies ist jedoch nur eine Option.
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Gemäß einer Ausführungsform ist der Aktuator ein Ventilaktuator. Das heißt, der Aktuator ist speziell zur Betätigung eines Ventilelements eingerichtet.
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Die Aufgabe wird darüber hinaus durch eine Ventilaktuatoreinheit mit einem erfindungsgemäßen Aktuator und einem Gehäuse gelöst, wobei der Aktuator im Gehäuse angeordnet und das übrige Gehäuse mit einem Gas gefüllt ist. Bei dem Gas handelt es sich insbesondere um Umgebungsluft. Eine solche Ventilaktuatoreinheit hat eine hohe Nutzungsdauer und ist zuverlässig im Betrieb.
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Des Weiteren schafft die vorliegende Erfindung ein Ventil mit einer erfindungsgemäßen Ventilaktuatoreinheit und einem Ventilelement, wobei das Ventilelement von der Ventilaktuatoreinheit bewegt werden kann. Ein solches Ventil bietet eine sehr zuverlässige Leistung und hat eine lange Betriebsdauer.
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Darüber hinaus gelten die im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Aktuator erläuterten Wirkungen und Vorteile auch für die erfindungsgemäße Ventilaktuatoreinheit und das erfindungsgemäße Ventil und umgekehrt.
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Im Rahmen der vorliegenden Offenbarung bedeutet die Formulierung „A und/oder B“ zum Beispiel (A), (B) oder (A und B), einschließlich aller weiteren möglichen Kombinationsmöglichkeiten, wenn mehr als zwei Elemente aufgeführt sind. Mit anderen Worten, der Begriff „A und/oder B“ ist ein Synonym für „A und/oder B“, nämlich „A“ allein, „B“ allein oder „A und B“.
- - 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Ventil mit einer erfindungsgemäßen Ventilaktuatoreinheit, die einen Aktuator gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung aufweist,
- - 2 zeigt den Aktuator aus 1 in einer separaten, perspektivischen Darstellung,
- - 3 zeigt eine Draufsicht auf den Aktuator von 2,
- - 4 zeigt den Aktuator aus den 2 und 3 in einer Schnittansicht längs der Linie IV-IV in 3,
- - 5 zeigt einen Aktuator gemäß einer zweiten Ausführungsform in einer separaten, perspektivischen Darstellung,
- - 6 zeigt eine Draufsicht auf den Aktuator von 5,
- - 7 zeigt den Aktuator aus den 5 und 6 in einer Schnittansicht längs der Linie VII-VII in 6,
- - 8 zeigt einen Aktuator gemäß einer dritten Ausführungsform in einer separaten, perspektivischen Darstellung und
- - 9 zeigt den Aktuator aus 8 in einer Schnittansicht entlang der Ebene IX in 8.
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In 1 ist ein Ventil 10 gezeigt, das einen Ventilblock 12 mit einer Fluideinlassöffnung 14 und einer Fluidauslassöffnung 16 umfasst.
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Die Fluideinlassöffnung 14 und die Fluidauslassöffnung 16 können strömungsmäßig wahlweise verbunden oder getrennt werden, indem ein Ventilelement 18 aus einer Verbindungsposition in eine Trennposition und umgekehrt bewegt wird.
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Bei dem in 1 gezeigten Beispiel handelt es sich bei dem Ventilelement 18 um eine Membran.
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Das Ventil 10 umfasst eine Ventilaktuatoreinheit 20, die das Ventilelement 18 gegen einen Ventilsitz bewegt, um das Ventil zu schließen.
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Die Ventilaktuatoreinheit 20 umfasst einen Aktuator 22 gemäß einer ersten Ausführungsform, der ein Ventilaktuator ist.
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Der Aktuator 22 ist in einem Gehäuse 24 angeordnet.
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Das Gehäuse 24 ist insgesamt mit Umgebungsluft gefüllt, d.h. in allen Bereichen des Gehäuses 24, die nicht vom Aktuator 22 oder anderen Elementen der Ventilaktuatoreinheit 20 eingenommen sind, befindet sich Umgebungsluft.
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Ein erstes Ende 22a des Aktuators 22 ist über eine erste Montageschnittstelle 26a und eine Haltestange 28 am Gehäuse 24 angebracht.
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Ein zum ersten Ende 22a entgegengesetztes zweites Ende 22b des Aktuators 22 ist über eine zweite Montageschnittstelle 26b und ein Kopplungselement 30 mit dem Ventilelement 18 wirkungsmäßig gekoppelt.
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In den 2 bis 4 ist der Aktuator 22 detaillierter gezeigt.
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Der Aktuator 22 umfasst einen Aktuatorkörper 32, der aus einem dielektrischen Elastomermaterial besteht.
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In dem gezeigten Beispiel weist der Aktuatorkörper 32 die Form eines Streifens auf. Er umfasst eine Oberseite 32a und eine Unterseite 32b.
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Eine erste Elektrode 34 ist unmittelbar an der Oberseite 32a des Aktuatorkörpers 32 befestigt und eine zweite Elektrode 36 ist unmittelbar an der Unterseite 32b des Aktuatorkörpers befestigt (siehe insbesondere 4).
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Beide Elektroden 34, 36 haben ebenfalls eine im Wesentlichen rechteckige Form, d.h. auch die Elektroden 34, 36 sind als Streifen ausgebildet.
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Jede der Elektroden 34, 36 hat eine elektrische Anschlussfläche 34a, 36a zum Bereitstellen einer Spannung an die jeweilige Elektrode 34, 36.
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Ein Abschnitt der ersten Elektrode 34 und ein Abschnitt der Oberseite 32a des Aktuatorkörpers 32 sind mit einer ersten Schutzschicht 38a aus Polymermaterial überzogen.
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Die erste Schutzschicht 38a ist so angeordnet, dass die Anschlussfläche 34a nicht mit der ersten Schutzschicht 38a überzogen ist. Anderenfalls wäre ein elektrischer Anschluss an eine externe Spannungsquelle erschwert.
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Das gleiche trifft auf die Unterseite 32b des Aktuatorkörpers 32 zu, d.h. ein Abschnitt der zweiten Elektrode 36 und ein Abschnitt der Unterseite 32b des Aktuatorkörpers 32 sind mit einer zweiten Schutzschicht 38b aus Polymermaterial überzogen.
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Auch die zweite Schutzschicht 38b ist so angeordnet, dass die Anschlussfläche 36a nicht mit der zweiten Schutzschicht 38b bedeckt ist. Anderenfalls wäre ein elektrischer Anschluss an eine externe Spannungsquelle nicht möglich.
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Mit anderen Worten, die Elektroden 34, 36 und ein entsprechender Flächenbereich des Aktuatorkörpers 32, der an die jeweilige Elektrode 34, 36 angrenzt, sind von den Schutzschichten 38a, 38b bedeckt.
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Was den Aktuatorkörper 32 betrifft, so sind seine Oberseite 32a und seine Unterseite 32b vollständig bedeckt, entweder direkt von der entsprechenden Schutzschicht 38a, 38b oder von einer der Elektroden 34, 36.
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Im vorliegenden Beispiel bestehen beide Schutzschichten 38a, 38b entweder aus einem Styrol-Ethylen-Butylen-Styrol-Blockcopolymermaterial oder aus einem Polydimethylsiloxanmaterial. Diese Materialien sind Alternativen.
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Bei beiden dieser Materialien handelt es sich um hydrophobe Polymermaterialien.
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Des Weiteren ist ein Elastizitätsmodul beider Materialien kleiner als 1 MPa.
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Was die mechanische Steifigkeit der Schutzschichten 38a, 38b anbelangt, so ist sie etwa zehnmal geringer als die mechanische Steifigkeit des Aktuatorkörpers 32.
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Die Schutzschichten 38a, 38b dienen auch als Passivierungsschichten, d.h. sie schützen die entsprechenden Elektroden 34, 36 und die entsprechenden Bereiche des Aktuatorkörpers 32 vor unerwünschten chemischen Reaktionen mit der Umgebung und verhindern zusätzlich eine unerwünschte Lichtbogenbildung.
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Ferner sind die Schutzschichten 38a, 38b elektrische Isolatoren.
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In den 5 bis 7 ist eine zweite Ausführungsform des Aktuators 22 gezeigt.
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Der Aktuator 22 gemäß der zweiten Ausführungsform ist dazu geeignet, den Aktuator 22 gemäß der ersten Ausführungsform in der Ventilaktuatoreinheit 20 des Ventils 10, wie er in 1 gezeigt ist, zu ersetzen.
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Im Folgenden werden lediglich die Unterschiede zwischen dem Aktuator 22 der ersten Ausführungsform und dem der zweiten Ausführungsform erläutert.
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Bei der zweiten Ausführungsform bedecken die Schutzschichten 38a, 38b die Seiten des Aktuators 22, die der Oberseite 32a und der Unterseite 32b des Aktuatorkörpers 32 entsprechen, vollständig.
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Aus diesem Grund sind die Anschlussflächen 34a, 36a an der dem jeweiligen Ende 22a, 22b des Aktuators zugewandten Stirnfläche der entsprechenden Elektrode 34, 36 vorgesehen (siehe insbesondere 5 und 7).
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Bei einer Alternative sind die Anschlussflächen 34b, 36b an lateralen Seitenflächen der entsprechenden Elektroden angeordnet (siehe 5).
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Der Aktuator 22 gemäß der ersten und der zweiten Ausführungsform ist ein einlagiger Aktuator. Es ist jedoch auch möglich, dass der Aktuator 22 mehr als einen Aktuatorkörper 32 umfasst und die Aktuatorkörper 32 in Schichten angeordnet sind. Somit kann der Aktuator 22 auch ein mehrlagiger Aktuator sein.
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In den 8 und 9 ist ein Aktuator 22 gemäß einer dritten Ausführungsform gezeigt, bei dem es sich um einen mehrlagigen Aktuator bzw. Stapelaktuator handelt.
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Der Aktuator 22 gemäß der dritten Ausführungsform ist ebenfalls dazu geeignet, den Aktuator 22 gemäß der ersten Ausführungsform in der Ventilaktuatoreinheit 20 des Ventils 10, wie er in 1 gezeigt ist, zu ersetzen.
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Im Folgenden wird der Aktuator 22 gemäß der dritten Ausführungsform nur mit Bezug auf die Unterschiede zur ersten und zur zweiten Ausführungsform erläutert.
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Der beispielhafte Aktuator 22 umfasst insgesamt fünf Elektroden 36, die an eine erste, im Wesentlichen plattenförmige Anschlusseinrichtung 40 elektrisch angeschlossen sind.
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Die erste Anschlusseinrichtung 40 ist elektrisch mit einem Draht 41 verbunden, der an eine Spannungsquelle angeschlossen sein kann.
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Des Weiteren sind insgesamt fünf Elektroden 34 vorgesehen. Diese Elektroden sind elektrisch an eine zweite Anschlusseinrichtung 42 angeschlossen, die ebenfalls im Wesentlichen plattenförmig ist.
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Die zweite Anschlusseinrichtung 42 ist elektrisch mit einem Draht 43 verbunden, der an eine Spannungsquelle angeschlossen sein kann.
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Bei dem in den Figuren gezeigten Beispiel sind die Anschlusseinrichtungen 40, 42 auf entgegengesetzten Seiten des Aktuators 22 angeordnet. Je nach dem konkreten Einsatzzweck ist es jedoch auch möglich, die Anschlusseinrichtungen 40, 42 auf aneinander angrenzenden Seiten anzuordnen, z.B. könnte eine der Anschlusseinrichtungen 40, 42 und der entsprechende Draht 41, 43 auf die Vorderseite oder die Rückseite des Aktuators 22 verlagert werden, wie in 8 gezeigt.
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Der Aktuatorkörper 32 umfasst nun mehrere Schichten, wobei jede Schicht zwischen einer der Elektroden 34 und einer benachbarten der Elektroden 36 angeordnet ist.
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Ferner ist am ersten Ende 22a des Aktuators 22 eine erste Stabilisierungsplatte 44a und am zweiten Ende 22b des Aktuators eine zweite Stabilisierungsplatte 44b vorgesehen.
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Bei der Verwendung im Ventil 10 bildet die erste Stabilisierungsplatte 44a die erste Montageschnittstelle 26a und die zweite Stabilisierungsplatte 44b bildet die zweite Montageschnittstelle 26b.
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Dies bedeutet, dass gegenüber dem Aktuator gemäß der ersten und der zweiten Ausführungsform die Elektroden 34, 36 und der Aktuatorkörper 32 in einer im Wesentlichen um 90 Grad gedrehten Ausrichtung verwendet werden.
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Weiterhin umfasst der Aktuator 22 gemäß der dritten Ausführungsform allseitig Schutzschichten, die nun allgemein mit dem Bezugszeichen 38 bezeichnet sind.
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Dies bedeutet, dass auch die Anschlusseinrichtungen 40, 42 mit den Schutzschichten 38 überzogen sind, d.h. die Anschlusseinrichtungen 40, 42 sind an einer Innenseite der Schutzschichten 38 angeordnet.
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Die Schutzschichten 38 sind nur an den Stellen unterbrochen, an denen die Drähte 41, 43 aus dem Aktuator 22 nach außen ragen. Mit anderen Worten, die Elektroden 34, die Elektroden 36, die Anschlusseinrichtungen 40, 42 und der Aktuatorkörper 32 sind vollständig von den Schutzschichten 38 bedeckt, abgesehen davon, dass die Drähte 41, 43 die Schutzschichten 38 durchdringen.
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Es sei ferner darauf hingewiesen, dass die jeweiligen Stellen, an denen die Drähte 41, 43 die Schutzschichten 38 durchdringen, beispielhafter Art sind. Je nach dem bestimmten Anwendungszweck des Aktuators 22 können die Drähte 41, 43 die Schutzschichten 38 auch an anderen Stellen durchdringen.
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Darüber hinaus kann, wie zuvor erwähnt, auch die Anzahl der Elektroden 34, 36 geändert werden, um den Aktuator 22 an verschiedene Einsatzzwecke anzupassen.
