DE102021213183A1

DE102021213183A1 - Schall- oder Druckwandlervorrichtung

Info

Publication number: DE102021213183A1
Application number: DE102021213183.2A
Authority: DE
Inventors: Jochen Reinmuth; Amin JEMILI
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2021-11-23
Filing date: 2021-11-23
Publication date: 2023-05-25

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit einem Zwischensubstrat (10) mit einer ersten Substratoberfläche (10a), einer von der ersten Substratoberfläche (10a) weg gerichteten zweiten Substratoberfläche (10a) und einer sich von der ersten Substratoberfläche (10a) bis zu der zweiten Substratoberfläche (10b) durch das Zwischensubstrat (10) erstreckenden Kavität (12), einer an oder über der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) befestigten Statorelektrode (14), mindestens einer verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektrode (16a, 16b), welche auf einer zu dem Zwischensubstrat (10) ausgerichteten Innenseite der Statorelektrode (14) und/oder auf einer von dem Zwischensubstrat (10) weg gerichteten Außenseite der Statorelektrode (14) angeordnet ist, und einer Elektronikschicht (24) mit mindestens einer darin ausgebildeten integrierten Schaltung (22), wobei die Elektronikschicht (24) derart über eine Bondverbindung (26) an der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) befestigt ist, dass die Elektronikschicht (24) die Kavität (12) überspannt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für mindestens eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung.
Stand der Technik
In der DE 10 2014 212 340 A1 ist ein Mikrofon beschrieben, welches ein Substrat mit einer sich von einer ersten Substratoberfläche bis zu einer zweiten Substratoberfläche erstreckenden Kavität, eine über der ersten Substratoberfläche des Substrats befestigte Statorelektrode, eine auf einer zu der Kavität ausgerichteten Innenseite der Statorelektrode angeordnete erste Aktorelektrode und eine auf einer von der Kavität weg gerichteten Außenseite der Statorelektrode angeordnete zweite Aktorelektrode aufweist.
Offenbarung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung schafft eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und ein Herstellungsverfahren für mindestens eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 6.
Vorteile der Erfindung
Die vorliegende Erfindung ermöglicht eine Herstellung einer Vielzahl von Schall- oder Druckwandlervorrichtungen auf Waferlevel derart, dass die Schall- oder Druckwandlervorrichtungen anschließend mittels eines einfach ausführbaren Wafer-Vereinzelungsprozesses heraustrennbar sind. Anstelle eines relativ teuren, aufwändigen und langsamen Laser-Vereinzelungsprozesses können die Schall- oder Druckwandlervorrichtungen insbesondere mittels eines Säge- oder Fräseschritts vereinzelt werden. Die mittels der vorliegenden Erfindung realisierten Schall- oder Druckwandlervorrichtungen sind derart robust, dass während des Säge- oder Fräseprozesses eine Beschädigung einer auf diese Weise vereinzelten Schall- oder Druckwandlervorrichtung (im Wesentlichen) ausgeschlossen werden kann. Mittels einer Nutzung der vorliegenden Erfindung können Schall- oder Druckwandlervorrichtungen deshalb in großer Stückzahl kostengünstig hergestellt werden. Wie anhand der nachfolgenden Beschreibung außerdem deutlich wird, können die Schall- oder Druckwandlervorrichtungen bei einer Nutzung der vorliegenden Erfindung auch in vergleichsweise kleinen Baugrößen hergestellt werden, was deren Verwendbarkeit zusätzlich steigert.
Ein weiterer wesentlicher Vorteil der vorliegenden Erfindung ist die realisierte vertikale Anordnung mindestens einer integrierten Schaltung einer erfindungsgemäßen Schall- oder Druckwandlervorrichtung in Bezug zu der Statorelektrode und der mindestens einen Aktorelektrode der gleichen Schall- oder Druckwandlervorrichtung. Das die mindestens eine integrierte Schaltung von der Statorelektrode und der mindestens einen Aktorelektrode trennende Zwischensubstrat stellt nicht nur mittels seiner Kavität ein Rückseitenvolumen für die Statorelektrode und die mindestens eine Aktorelektrode bereit, sondern kann auch einen elektrischen Kontakt der mindestens einen integrierten Schaltung zu der Statorelektrode und/oder der mindestens einen Aktorelektrode bereitstellen. Durch die Multifunktionalität des Zwischensubstrats können somit Komponenten herkömmlicher Schall- oder Druckwandler eingespart werden. Insbesondere entfällt bei der erfindungsgemäßen Schall- oder Druckwandlervorrichtung die Notwendigkeit zur Mitverwendung eines herkömmlichen Leiterplattensubstrats, wodurch auch beim Stand der Technik notwendige Prozesse zur Positionierung des Leiterplattensubstrats, zur elektrischen Anbindung des Leiterplattensubstrats (beispielsweise mittels mindestens eines Bonddrahts) und zur Verpackung des Leiterplattensubstrats entfallen.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Schall- oder Druckwandlervorrichtung weist das Zwischensubstrat an mindestens einer sich von seiner ersten Substratoberfläche zu seiner zweiten Substratoberfläche erstreckenden und von der Kavität weg gerichteten Außenfläche Säge- oder Fräsespuren auf. Anhand der Säge- oder Fräsespuren ist erkennbar, dass die hier beschriebene Ausführungsform der Schall- oder Druckwandlervorrichtung mittels eines kostengünstig ausführbaren Säge- oder Fräseschritts vereinzelt ist.
Bevorzugter Weise weist die Schall- oder Druckwandlervorrichtung mindestens einen ersten Durchkontakt, welcher sich jeweils von der ersten Substratoberfläche des Zwischensubstrats bis zu der zweiten Substratoberfläche des Zwischensubstrats erstreckt, auf. Über den mindestens einen ersten Durchkontakt ist eine elektrische Anbindung der mindestens einen integrierten Schaltung in der Elektronikschicht an die Statorelektrode und/oder die mindestens eine Aktorelektrode leicht realisierbar.
Alternativ oder ergänzend kann die Schall- oder Druckwandlervorrichtung auch mindestens einen zweiten Durchkontakt, welcher sich jeweils von einer mit der Elektronikschicht abgedeckten ersten Oberfläche eines weiteren Substrats bis zu einer von der ersten Oberfläche weg gerichteten zweiten Oberfläche des weiteren Substrats erstreckt, aufweisen. Über den mindestens einen zweiten Durchkontakt kann mindestens eine elektrische Kontaktfläche mit der mindestens einen integrierten Schaltung der hier beschriebenen Ausführungsform der Schall- oder Druckwandlervorrichtung elektrisch verbunden sein. Eine externe elektrische Kontaktierung der mindestens einen integrierten Schaltung ist damit leicht möglich.
Als vorteilhafte Weiterbildung kann die Außenseite der Statorelektrode oder eine von der Statorelektrode weg gerichtete Seite der an der Außenseite der Statorelektrode angeordneten Aktorelektrode zumindest teilweise mit einer Schutz- und/oder Gitterstruktur abgedeckt sein, welche mindestens eine sich durch die Schutz- und/oder Gitterstruktur erstreckende Luftzufuhröffnung aufweist. Mittels der Schutz- und/oder Gitterstruktur können eine Verschmutzung oder eine Beschädigung der Elektroden der hier beschriebenen Ausführungsform der Schall- oder Druckwandlervorrichtung verlässlich verhindert werden. Dies trägt zur Steigerung einer Lebensdauer der Schall- oder Druckwandlervorrichtung bei.
Auch ein Ausführen eines korrespondierenden Herstellungsverfahrens schafft die oben erläuterten Vorteile. Das Herstellungsverfahren kann außerdem gemäß den oben erläuterten Ausführungsformen von Schall- oder Druckwandlervorrichtungen weitergebildet werden.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform des Herstellungsverfahrens wird zuerst ein Schichtaufbau gebildet, indem die Kavitäten einer Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen durch das Zwischensubstrat strukturiert werden, die Statorelektroden der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen an oder über der ersten Substratoberfläche des Zwischensubstrats befestigt werden, die verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektroden der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen auf der Innenseite der zugeordneten Statorelektrode und/oder auf der Außenseite der zugeordneten Statorelektrode angeordnet werden, und die Elektronikschichten der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen über die je eine erste Bondverbindung an der zweiten Substratoberfläche des Zwischensubstrats befestigt werden. Danach kann die Vielzahl von Schall- oder Druckwandlervorrichtungen mittels eines Säge- oder Fräseschritts aus dem Schichtaufbau herausgetrennt werden. Die Schall- oder Druckwandlervorrichtungen können somit in großer Stückzahl parallel/auf Waferlevel in dem Schichtaufbau ausgebildet werden. Anschließend können die Schall- oder Druckwandlervorrichtungen durch einen einfachen Wafer-Vereinzelungsprozess auf kostengünstige Weise herausgetrennt werden.
Die jeweilige Statorelektrode und die mindestens eine Aktorelektrode der mindesten seinen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung können beispielsweise über je eine zweite Bondverbindung an und/oder über der ersten Substratoberfläche des Zwischensubstrats befestigt werden. Wie unten genauer erläutert ist, können verschiedene Ausformen des Herstellungsverfahrens zum Herstellen der mindestens einen Schall- oder Druckwandlervorrichtung genutzt werden.
Figurenliste
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand der Figuren erläutert. Es zeigen:

1 eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform der Schall- oder Druckwandlervorrichtung;
2 eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform der Schall- oder Druckwandlervorrichtung;
3a bis 3g schematische Darstellungen von Zwischenprodukten zum Erläutern einer ersten Ausführungsform des Herstellungsverfahrens;
4 eine schematische Darstellung eines Zwischenprodukts zum Erläutern einer zweiten Ausführungsform des Herstellungsverfahrens;
5a bis 5f schematische Darstellungen von Zwischenprodukten zum Erläutern einer dritten Ausführungsform des Herstellungsverfahrens; und
6a und 6b schematische Darstellungen von Zwischenprodukten zum Erläutern einer vierten Ausführungsform des Herstellungsverfahrens.

Ausführungsformen der Erfindung
1 zeigt eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform der Schall- oder Druckwandlervorrichtung.
Die in 1 schematisch dargestellte Schall- oder Druckwandlervorrichtung hat ein Zwischensubstrat 10 mit einer ersten Substratoberfläche 10a und einer von der ersten Substratoberfläche 10a weg gerichteten zweiten Substratoberfläche 10b. Eine Kavität 12 ist derart durch das Zwischensubstrat 10 strukturiert, dass sich die Kavität 12 von der ersten Substratoberfläche 10a bis zu der zweiten Substratoberfläche 10b erstreckt. An der Schall- oder Druckwandlervorrichtung ist auch mittels einer Statorelektrode 14 und mindestens einer verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektrode 16a und 16b ein Elektrodenaufbau 18 ausgebildet. Die Statorelektrode 14 ist an oder über der ersten Substratoberfläche 10a des Zwischensubstrats 10 derart befestigt, dass eine Verstell- oder Verwölbbewegung der Statorelektrode 14 ohne eine Beschädigung der Schall- oder Druckwandlervorrichtung nicht/kaum möglich ist. Demgegenüber ist die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b auf einer zu dem Zwischensubstrat 10 ausgerichteten Innenseite der Statorelektrode 14 und/oder auf einer von dem Zwischensubstrat 10 weg gerichteten Außenseite der Statorelektrode 14 so angeordnet, dass die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b jeweils mittels einer darauf auftreffenden Schallwelle oder mittels eines darauf einwirkenden Drucks in eine Verstell- oder Verwölbbewegung versetzbar ist/versetzt wird.
Die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b kann insbesondere jeweils eine Membran sein. Die erste Aktorelektrode 16a und die zweite Aktorelektrode 16b können insbesondere eine die Statorelektrode 14 umgebende und hermetisch einschließende Membran bilden. Eine Ausbildbarkeit der mindestens einen Aktorelektrode 16a und 16b ist jedoch nicht darauf beschränkt. Vorzugsweise überspannen die Statorelektrode 14 und die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b die Kavität 12 zumindest teilweise.
Lediglich beispielhaft ist bei der Ausführungsform der 1 die auf der Innenseite der Statorelektrode 14 angeordnete erste Aktorelektrode 16a auf der ersten Substratoberfläche 10a des Zwischensubstrats 10 und/oder mindestens einer die erste Substratoberfläche 10a zumindest teilweise abdeckenden Zwischenschicht angeordnet, während die auf der Außenseite der Statorelektrode 14 angeordnete zweite Aktorelektrode 16b auf mindestens einer die Statorelektrode 14 zumindest teilweise abdeckenden Isolierschicht 20 liegt. Es wird jedoch ausdrücklich darauf hingewiesen, dass die in 1 bildlich wiedergegebene Ausbildung der Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit den zwei Aktorelektroden 16a und 16b optional ist.
Die Schall- oder Druckwandlervorrichtung umfasst auch mindestens eine integrierte Schaltung 22, welche in einer Elektronikschicht 24 ausgebildet ist. Die Elektronikschicht 24 ist derart über eine erste Bondverbindung 26 an der zweiten Substratoberfläche 10b des Zwischensubstrats 10 befestigt, dass die Elektronikschicht 24 die Kavität 12 überspannt. Die Elektronikschicht 24 ist damit vertikal zu dem Elektrodenaufbau 18 angeordnet. Die vertikale Anordnung von Elektronikschicht 24 und Elektrodenaufbau 18 erleichtert eine Miniaturisierung der Schall- oder Druckwandlervorrichtung. Zusätzlich kann mittels der mindestens einen in der Elektronikschicht 24 ausgebildeten integrierten Schaltung 22 die Funktionen einer herkömmlichen Leiterplatte ausgeführt werden, wodurch eine derartige Leiterplatte für einen Betrieb der Schall- oder Druckwandlervorrichtung nicht benötigt wird. Damit entfallen auch Prozesse zum Positionieren der Leiterplatte in Bezug zu der Schall- oder Druckwandlervorrichtung, zum Verpacken der Leiterplatte zusammen mit der Schall- oder Druckwandlervorrichtung, wie beispielsweise mittels eines Gehäuses und/oder einer Verkapselung, und zum elektrischen Anbinden der Leiterplatte an die Schall- oder Druckwandlervorrichtung. Auch dies erleichtert eine Miniaturisierung der Schall- oder Druckwandlervorrichtung.
Die Schall- oder Druckwandlervorrichtung der 1 realisiert ein Bare-Die-Element oder ein Bare-Die-Bauteil. Wie anhand der nachfolgenden Beschreibung deutlich wird, weist die Schall- oder Druckwandlervorrichtung insbesondere an mindestens einer sich von der ersten Substratoberfläche 10a zu der zweiten Substratoberfläche 10b erstreckenden und von der Kavität 12 weg gerichteten Außenfläche 10c des Zwischensubstrats 10 nur relativ robuste Strukturen auf. Zusätzlich wird anhand der unteren Beschreibung deutlich, dass die „robuste Ausbildung“ der Schall- oder Druckwandlervorrichtung an der mindestens einen Außenfläche 10c des Zwischensubstrats 10 ein Vereinzeln der Schall- oder Druckwandlervorrichtung erleichtert und damit eine kostengünstige Herstellung der Schall- oder Druckwandlervorrichtung ermöglicht.
Die erste Bondverbindung 26 ist vorzugsweise eine elektrisch leitfähige Bondverbindung. Die erste Bondverbindung 26 ist mittels einer Reaktion einer ersten Bondschicht 26a mit einer zweiten Bondschicht 26b gebildet. Die ersten Bondschicht 26a und die zweite Bondschicht 26b können beispielsweise eine Germaniumschicht, eine Aluminiumschicht, eine Goldschicht, eine Kupferschicht oder eine Kupfer-Zinn-Schicht sein. Die hier aufgezählten Beispiele für die erste Bondschicht 26a und die zweite Bondschicht 26b sind jedoch nicht einschränkend zu interpretieren.
Vorzugsweise weist die Schall- oder Druckwandlervorrichtung mindestens einen Durchkontakt 28 auf, welcher sich von der ersten Substratoberfläche 10a des Zwischensubstrats 10 bis zu der zweiten Substratoberfläche 10b des Zwischensubstrats 10 erstreckt. Über den mindestens einen Durchkontakt 28 ist eine elektrische Anbindung der mindestens einen integrierten Schaltung 22 in der Elektronikschicht 24 durch das Zwischensubstrat 10 an den Elektrodenaufbau 18 möglich. Der mindestens eine Durchkontakt 28 durch das Zwischensubstrat 10 kann insbesondere beabstandet von der mindestens einen Außenfläche 10c des Zwischensubstrats 10 ausgebildet sein. Ein an der mindestens einen Außenfläche 10c des Zwischensubstrats 10 bewirktes Vereinzeln der Schall- oder Druckwandlervorrichtung führt damit kaum zu einer Beeinträchtigung der elektrischen Anbindung der mindestens einen integrierten Schaltung 22 in der Elektronikschicht 24 an den Elektrodenaufbau 18. Vorzugsweise ist der mindestens eine Durchkontakt 28 mittels mindestens eines sich von der ersten Substratoberfläche 10a bis zu der zweiten Substratoberfläche 10b erstreckenden Isoliergrabens 30 aus dem Zwischensubstrat 10 herausstrukturiert. Der mindestens eine Durchkontakt 28 kann somit jeweils als „elektrischer Verbindungsstempel“ ausgebildet sein. Der mindestens eine Durchkontakt 28 ist bevorzugter Weise mittels des mindestens einen Isoliergrabens 30 von einem rahmenförmigen Restbereich 32 des Zwischensubstrats 10, an welchem die mindestens eine Außenfläche 10c des Zwischensubstrats 10 liegt, getrennt.
Die mindestens eine integrierte Schaltung 22 in der Elektronikschicht 24 kann außerdem über mindestens einen (weiteren) Durchkontakt 34, welcher sich jeweils von einer mit der Elektronikschicht 24 abgedeckten ersten Oberfläche 36a eines weiteren Substrats 36 bis zu einer von der ersten Oberfläche 36a weg gerichteten zweiten Oberfläche 36b des weiteren Substrats 36 erstreckt, an mindestens einer elektrischen Kontaktstruktur 38 angebunden sein. Dies erleichtert eine externe elektrische Anbindung der mindestens einen in der Elektronikschicht 24 ausgebildeten integrierten Schaltung 22. Auch der mindestens eine Durchkontakt 34 durch das weitere Substrat 36 kann weit beabstandet von mindestens einer sich von der ersten Oberfläche 36a zu der zweiten Oberfläche 36b erstreckenden Außenfläche 36c des weiteren Substrats 36 sein, so dass eine Beschädigung des mindestens einen Durchkontakts 34 während eines Vereinzelns der Schall- oder Druckwandlervorrichtung (auch) an der mindestens einen Außenfläche 36c des weiteren Substrats 36 (im Wesentlichen) ausgeschlossen werden kann.
2 zeigt eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform der Schall- oder Druckwandlervorrichtung.
Im Unterschied zu der zuvor beschriebenen Ausführungsform der 1 weist die Schall- oder Druckwandlervorrichtung der 2 noch eine Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 auf, welche bei der Ausführungsform der 2 eine von der Statorelektrode 14 weg gerichtete Seite der zweiten Aktorelektrode 16b zumindest teilweise abdeckt. Alternativ, d.h. bei einem „Fehlen“ der zweiten Aktorelektrode 16b, kann die Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 auch die Außenseite der Statorelektrode 14 abdecken. Mittels der Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 kann der Elektrodenaufbau 18 vor Verschmutzungen und Beschädigungen geschützt werden. Die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b kann deshalb problemlos als eine mechanisch empfindliche Membran ausgebildet sein, ohne dass deren Beschädigung zu befürchten ist. Außerdem ist die Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 mit mindestens einer sich durch die Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 erstreckenden Luftzufuhröffnung 42 ausgebildet. Dies stellt sicher, dass trotz der Nutzung der Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b auf eine darauf auftreffende Schallwelle oder auf einen darauf einwirkenden Druck mit einer Verstell- oder Verwölbbewegung reagieren kann.
Die Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 kann insbesondere als ein mechanischer Schutzring oder ein mechanischer Schutzrahmen ausgebildet sein. Alternativ kann die Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 auch als ein Schutzgitter den Elektrodenaufbau 18 auf seiner von dem Zwischensubstrat 10 weg gerichteten Seite teilweise abdecken. Sofern gewünscht, kann die Statorelektrode 14 auch in einzelnen Punkten an der Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 angebunden sein, um eine besonders robuste Form der Statorelektrode 14 zu bewirken oder um unter Einhaltung der Robustheit der Statorelektrode 14 deren Schichtdicke zu reduzieren.
Als optionale Ergänzung weist die Schall- oder Druckwandlervorrichtung der 2 zusätzlich noch mindestens einen luftdurchlässigen Kanal 44 auf, welcher zwischen der Elektronikschicht 24 und dem Zwischensubstrat 10 und/oder zwischen der Elektronikschicht 24 und dem weiteren Substrat 36 ausgebildet ist und über welchen die Kavität 12 mit einem zu einer Außenfläche 10c des Zwischensubstrats 10 benachbarten Außenvolumen der Schall- oder Druckwandlervorrichtung verbunden ist. Der mindestens eine luftdurchlässige Kanal 44 kann als Bypass für ein „Rückseitenvolumen“ der Kavität 12 genutzt werden.
Bei jeder der oben erläuterten Schall- oder Druckwandlervorrichtungen reagiert ihre mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b auf das Auftreffen von Schallwellen oder auf einen von einem Referenzdruck in der Kavität 12 abweichenden Druck an ihrer von der Kavität 12 weg gerichteten Seite mit einer Verstell- oder Verwölbbewegung, wodurch die Schallwellen oder der Druck detektiert, bzw. in ein elektrisches Signal umgewandelt werden können. Alle oben erläuterten Schall- oder Druckwandlervorrichtungen können deshalb für ein Mikrofon, für einen Drucksensor oder für einen Schallsensor, wie insbesondere einen Körperschallsensor, genutzt werden.
Alle oben erläuterten Schall- oder Druckwandlervorrichtungen können an der mindestens einen Außenfläche 10c ihres Zwischensubstrats 10 Säge- oder Fräsespuren aufweisen. Insbesondere an den Säge- oder Fräsespuren kann erkennbar sein, dass die jeweilige Schall- oder Druckwandlervorrichtung mittels eines der im Weiteren beschriebenen Herstellungsverfahrens hergestellt ist. Bezüglich weiterer Merkmale der Schall- oder Druckwandlervorrichtungen der 1 und 2 wird deshalb auf die Beschreibung der Herstellungsverfahren verwiesen.
3a bis 3g zeigen schematische Darstellungen von Zwischenprodukten zum Erläutern einer ersten Ausführungsform des Herstellungsverfahrens.
Bei dem hier beschriebenen Herstellungsverfahren wird mindestens eine spätere Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit je einer Statorelektrode 14 und mit mindestens einer verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektrode 16a und 16b ausgestattet. Die Statorelektrode 14 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung und die mindestens eine zugeordnete Aktorelektrode 16a und 16b bilden jeweils eine Elektrodenstruktur 18 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung. Die jeweilige Statorelektrode 14 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung wird an oder über einer ersten Substratoberfläche 10a eines Zwischensubstrats 10 derart befestigt, dass die Statorelektrode 14 ohne eine Beschädigung ihrer späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung nicht/kaum verstellbar oder verwölbbar ist. Hingegen wird die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b der mindestens einen Schall- oder Druckwandlervorrichtung auf einer zu dem Zwischensubstrat 10 ausgerichteten Innenseite der jeweiligen Statorelektrode 14 und/oder auf einer von dem Zwischensubstrat 10 weg gerichteten Außenseite der jeweiligen Statorelektrode so angeordnet, dass die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b auf eine darauf auftreffende Schallwelle oder einen darauf einwirkenden Druck mit einer Verstell- oder Verwölbbewegung reagieren kann.
Wie in 3a erkennbar ist, werden bei der hier beschriebenen Ausführungsform des Herstellungsverfahrens eine Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen in einem Schichtaufbau 50 ausgebildet, indem die Statorelektroden 14 der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen an oder über der ersten Substratoberfläche 10a des Zwischensubstrats 10 befestigt werden und die Aktorelektroden 16a und 16b der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen auf der Innenseite der zugeordneten Statorelektrode 14 und/oder auf der Außenseite der zugeordneten Statorelektrode 14 angeordnet werden. Damit kann eine Vielzahl von Elektrodenstrukturen 18 der späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen gleichzeitig erzeugt werden.
3b zeigt ein Zwischenprodukt nach einem Aufbringen mindestens einer Schutzschicht 52 auf der mindestens einen zuvor erzeugten Elektrodenstruktur 18. Die mindestens eine Schutzschicht 52 kann insbesondere eine einzige Schutzschicht 52, wie beispielsweise eine Polysiliziumschicht 52, sein. In diesem Fall wird für die einzige Schutzschicht 52 eine senkrecht zu der ersten Substratoberfläche 10a des Zwischensubstrats 10 ausgerichtete Schichtdicke von mindestens 3 µm, insbesondere von mindestens 10 µm, bevorzugt.
Bei dem hier beschriebenen Herstellungsverfahren wird auch je eine Elektronikschicht 24 mit mindestens einer darin ausgebildeten integrierten Schaltung 22 an und/oder in der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung angeordnet. Speziell wird die jeweilige Elektronikschicht 24 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung über je eine erste Bondverbindung 26 an einer von der ersten Substratoberfläche 10a weg gerichteten zweiten Substratoberfläche 10b des Zwischensubstrats 10 befestigt. Insbesondere können Elektronikschichten 24 der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen über die je eine erste Bondverbindung 26 an der zweiten Substratoberfläche 10b des Zwischensubstrats 10 befestigt werden. 3c zeigt deshalb das Zwischenprodukt nach einem Abscheiden einer ersten Bondschicht 26a auf der zweiten Substratoberfläche 10b des Zwischensubstrats 10, welche später zum Bilden der mindestens einen ersten Bondverbindung 26 verwendet wird.
Danach wird je eine Kavität 12 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung durch das Zwischensubstrat 10 derart strukturiert, dass sich die mindestens eine Kavität 12 jeweils von der ersten Substratoberfläche 10a des Zwischensubstrats 10 bis zu der zweiten Substratoberfläche 10b des Zwischensubstrats 10 erstreckt. Die zuvor auf der zweiten Substratoberfläche 10b des Zwischensubstrats 10 abgeschiedene erste Bondschicht 26a kann dabei mitstrukturiert werden. Zum Bilden der mindestens einen Kavität 12 kann ein Ätzschritt, bevorzugt ein Trench-Schritt, ausgeführt werden. Die mindestens eine Kavität 12 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung kann so positioniert werden, dass die Statorelektrode 14 und die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b der späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung die zugeordnete Kavität 12 zumindest teilweise überspannen.
Wie in 3d anhand des Zwischenprodukts erkennbar ist, kann zusammen mit der mindestens einen Kavität 12 auch mindestens ein sich von der ersten Substratoberfläche 10a des Zwischensubstrats 10 bis zu der zweiten Substratoberfläche 10b des Zwischensubstrats 10 sich erstreckender Durchkontakt 28 ausgebildet werden. Dazu wird mindestens ein Isoliergraben 30 derart von der zweiten Substratoberfläche 10b bis zu der ersten Substratoberfläche 10a durch das Zwischensubstrat 10 strukturiert, dass der mindestens eine spätere Durchkontakt 28 mittels des mindestens einen Isoliergrabens 30 elektrisch von mindestens einem benachbarten Restbereich 54 des Zwischensubstrats 10 getrennt/isoliert wird. Der mindestens eine Durchkontakt 28 kann somit auf einfache Weise als „elektrischer Verbindungsstempel“ erzeugt werden.
Wie in 3d erkennbar ist, können insbesondere die Kavitäten 12 einer Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen durch das Zwischensubstrat 10 des Schichtaufbaus 50 strukturiert werden. In diesem Fall werden die Kavitäten 12 und evtl. auch die späteren Durchkontakte 28 so positioniert, dass der an den Rändern von jeweils zwei benachbarten späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen jeweils verbleibende Restbereich 54 des Zwischensubstrats 10 aufgrund seiner Breite und Länge eine vergleichsweise hohe Robustheit aufweist. Die dabei verbleibenden Restbereiche 54 des Zwischensubstrats 10 können insbesondere ein „Rahmennetz“ bilden, aus welchem später die rahmenförmigen Restbereiche 32 der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen herausgetrennt werden können.
Zum Befestigen der je einen Elektronikschicht 24 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung wird eine zweite Bondschicht 26b auf der mindestens einen Elektronikschicht 24 abgeschieden und evtl. strukturiert. Anschließend kann die je eine erste Bondverbindung 26 mittels einer Reaktion der Bondschichten 26a und 26b miteinander gebildet werden. Weil die mindestens eine integrierte Schaltung 22 in der mindestens einen Elektronikschicht 24 häufig Leiterbahnen aus Aluminium aufweist, wird eine Aluminiumschicht als zweite Bondschicht 26b bevorzugt. Die als zweite Bondschicht 26b gebildete Aluminiumschicht kann dann mit einer als erste Bondschicht 26a eingesetzten Germaniumschicht eine eutektische Aluminium-Germanium-Bondung als erste Bondverbindung 26 bilden. Wie anhand der 3e erkennbar ist, wird beim Bilden der mindestens einen ersten Bondverbindung 26 die mindestens eine Elektronikschicht 24 derart an der zweiten Substratoberfläche 10b des Zwischensubstrats 10 befestigt, dass die mindestens eine Elektronikschicht 24 die jeweilige Kavität 12 der zugeordneten späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung überspannt.
3f zeigt das Bilden mindestens eines Durchkontakts 34 durch das weitere Substrat 36, dessen erste Oberfläche 36a mit der mindestens einen Elektronikschicht 24 abgedeckt ist. Der mindestens eine Durchkontakt 34 wird dabei so gebildet, dass er sich von der ersten Oberfläche 36a bis zu einer von der ersten Oberfläche 36a weg gerichteten zweiten Oberfläche 36b erstreckt. Optionaler Weise kann das weitere Substrat 36 vor dem Bilden des mindestens einen Durchkontakts 34 mittels eines chemisch-mechanischen Polierschritts in seiner Schichtdicke reduziert werden. Sofern gewünscht, kann mindestens eine elektrische Kontaktstruktur 38 auf der zweiten Oberfläche 36b des weiteren Substrats 36 an dem mindestens einen Durchkontakt 34 ausgebildet oder befestigt werden.
Nach dem Bilden des Schichtaufbaus 50 kann die Vielzahl von Schall- oder Druckwandlervorrichtungen mittels eines Säge- oder Fräseschritts aus dem Schichtaufbau 50 herausgetrennt werden. Wie in 3g bildlich anhand der Säge- oder Fräseschnitte 56 wiedergegeben ist, wird der Schichtaufbau 50 durch die Restbereiche 54 des Zwischensubstrats 10 gesägt oder gefräst. Weil die späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen insbesondere an den Restbereichen 54 des Zwischensubstrats 10 besonders robust ausgebildet sind, kann das Vereinzeln der Schall- oder Druckwandlervorrichtungen durch ein klassisches Sägeverfahren oder ein klassisches Fräseverfahren erfolgen. Durch die Herstellung der Schall- oder Druckwandlervorrichtungen in hoher Stückzahl auf Waferlevel und den danach einfach ausführbaren Wafer-Vereinzelungsprozess können die Schall- oder Druckwandlervorrichtungen vergleichsweise kostengünstig hergestellt werden.
Das Vereinzeln der Schall- oder Druckwandlervorrichtungen kann insbesondere auf einer Folie 58, auf welche die zweite Oberfläche 36b des weiteren Substrats 36 geklebt ist, erfolgen. Auch während des Vereinzelns der Schall- oder Druckwandlervorrichtungen ist der mindestens eine Elektrodenaufbau 18 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen mittels der mindestens einen Schutzschicht 52 verlässlich vor Beschädigungen geschützt. Nach dem Vereinzeln der Schall- oder Druckwandlervorrichtungen kann die mindestens eine Schutzschicht 52, beispielsweise mittels eines Ätzschritts, (zumindest teilweise) entfernt werden. Mindestens eine Isolierschicht 20, in welche die Statorelektrode 14 und/oder die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b eingebettet sind, liegt nach dem zumindest teilweisen Entfernen der mindestens einen Schutzschicht 52 unabgedeckt vor und kann somit während dieses Stadiums des Herstellungsverfahrens leicht zumindest bereichsweise entfernt werden. Anschließend können die fertigen Schall- oder Druckwandlervorrichtungen von der Folie 58 abgenommen werden.
Die mittels des hier beschriebenen Herstellungsverfahrens produzierte Schall- oder Druckwandlervorrichtung ist in 1 wiedergegeben.
4 zeigt eine schematische Darstellung eines Zwischenprodukts zum Erläutern einer zweiten Ausführungsform des Herstellungsverfahrens.
Das mittels der 4 schematisch wiedergegebene Herstellungsverfahren ist eine Weiterbildung der zuvor erläuterten Ausführungsform der 3a bis 3g. Wie in 4 erkennbar ist, wird nach dem Abscheiden der mindestens einen Schutzschicht 52 eine Ätzmaske 60 auf die mindestens eine Schutzschicht 52 aufgebracht, welche eine Form mindestens einer Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung wiedergibt.
In einem späteren Verfahrensschritt, vorzugsweise nach dem Vereinzeln der Schall- oder Druckwandlervorrichtungen, wird anstelle eines vollständigen Entfernens der mindestens einen Schutzschicht 52 die mindestens eine Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 unter Verwendung der Ätzmaske 60 aus der mindestens einen Schutzschicht 52 mit ihrer mindestens einen durchgehenden Luftzufuhröffnung 42 aus der mindestens einen Schutzschicht 52 herausstrukturiert, sodass die Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 die Außenseite der jeweiligen Statorelektrode 14 oder eine von der jeweiligen Statorelektrode 14 weg gerichtete Seite der an der Außenseite der Statorelektrode 14 angeordneten jeweiligen Aktorelektrode 16b zumindest teilweise abdeckt.
Die mittels des hier beschriebenen Herstellungsverfahrens produzierte Schall- oder Druckwandlervorrichtung ist in 2 gezeigt.
5a bis 5f zeigen schematische Darstellungen von Zwischenprodukten zum Erläutern einer dritten Ausführungsform des Herstellungsverfahrens.
Bei dem mittels der 5a bis 5f schematisch wiedergegebenen Herstellungsverfahren wird das Zwischensubstrat 10 vor einem Ausbilden der je einen Statorelektrode 14 und der mindestens einen Aktorelektrode 16a und 16b an der ersten Substratoberfläche 10a der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung über die mindestens eine erste Bondverbindung 26 an der mindestens einen Elektronikschicht 24 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung befestigt. Dies ist in 5a schematisch wiedergegeben. Vor dem Bilden der mindestens einen ersten Bondverbindung 26 mittels einer Reaktion der Bondschichten 26a und 26b miteinander kann eine dritte Bondschicht 62a auf der ersten Substratschicht 10a des Zwischensubstrats 10 abgeschieden werden, wie in 5a erkennbar ist.
5b zeigt das anschließende Strukturieren der je einen Kavität 12 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung nach dem Bilden der mindestens einen ersten Bondverbindung 26. Bevorzugt wird zum Strukturieren des Zwischensubstrats 10 ein Trenchprozess ausgeführt. Die dabei verbleibenden Restbereiche 54 des Zwischensubstrats 10 können insbesondere ein Rahmennetz bilden.
Nach dem Strukturieren des Zwischensubstrats 10 können die je eine Statorelektrode 14 und die mindestens eine Aktorelektrode 16a und 16b der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung, welche auf einer Substratoberfläche eines weiteren Substrats 64 angeordnet sind, über je eine zweite Bondverbindung 62 an und/oder über der ersten Substratoberfläche 10a des Zwischensubstrats 10 befestigt werden. Die dazu auf dem mindestens einen Elektrodenaufbau 18 der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung abgeschiedene vierte Bondschicht 62b kann beispielsweise eine Aluminiumschicht sein, während für die damit reagierende dritte Bondschicht 62a eine Germaniumschicht bevorzugt wird. Das gewonnene Zwischenprodukt ist in 5c gezeigt.
5d zeigt das Zwischenprodukt nach dem Ausbilden des mindestens einen Durchkontakts 34 durch das Substrat 36. Anschließend können die Schall- oder Druckwandlervorrichtungen vereinzelt werden. Wie in 5e erkennbar ist, kann das Substrat 64 insbesondere während des Vereinzelungsprozesses als Schutzschicht für den mindestens einen Elektrodenaufbau 18 genutzt werden.
5f zeigt eine mittels des hier beschriebenen Herstellungsverfahrens produzierte Schall- oder Druckwandlervorrichtung.
6a und 6b zeigen schematische Darstellungen von Zwischenprodukten zum Erläutern einer vierten Ausführungsform des Herstellungsverfahrens.
Das mittels der 6a und 6b schematisch wiedergegebene Herstellungsverfahren ist eine Weiterbildung der Ausführungsform der 5a bis 5f. Bei dem Herstellungsverfahren der 6a und 6b wird, wie in 6a gezeigt ist, vor dem Vereinzeln der Schall- oder Druckwandlervorrichtungen eine Ätzmaske 60 auf einer von dem mindestens einen Elektrodenaufbau 18 weg gerichteten Substratoberfläche des Substrats 64 gebildet, welche die Form einer späteren Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 festlegt. Sofern gewünscht, kann das Substrat 64 vor dem Bilden der Ätzmaske 60 mittels eines chemisch-mechanischen Polierschritts in seiner Schichtdicke reduziert werden.
Nach dem Vereinzeln der Schall- oder Druckwandlervorrichtungen kann die Schutz- und/oder Gitterstruktur 40 aus dem Substrat 64 herausstrukturiert werden. Eine mittels des hier beschriebenen Herstellungsverfahrens gebildete Schall- oder Druckwandlervorrichtung ist in 6b wiedergegeben.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102014212340 A1 [0002]

Claims

Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit: einem Zwischensubstrat (10) mit einer ersten Substratoberfläche (10a), einer von der ersten Substratoberfläche (10a) weg gerichteten zweiten Substratoberfläche (10a) und einer sich von der ersten Substratoberfläche (10a) bis zu der zweiten Substratoberfläche (10b) durch das Zwischensubstrat (10) erstreckenden Kavität (12); einer an oder über der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) befestigten Statorelektrode (14); mindestens einer verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektrode (16a, 16b), welche auf einer zu dem Zwischensubstrat (10) ausgerichteten Innenseite der Statorelektrode (14) und/oder auf einer von dem Zwischensubstrat (10) weg gerichteten Außenseite der Statorelektrode (14) angeordnet ist; und einer Elektronikschicht (24) mit mindestens einer darin ausgebildeten integrierten Schaltung (22); dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronikschicht (24) derart über eine Bondverbindung (26) an der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) befestigt ist, dass die Elektronikschicht (24) die Kavität (12) überspannt.
Schall- oder Druckwandlervorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Zwischensubstrat (10) an mindestens einer sich von seiner ersten Substratoberfläche (10a) zu seiner zweiten Substratoberfläche (10b) erstreckenden und von der Kavität (12) weg gerichteten Außenfläche (10c) Säge- oder Fräsespuren aufweist.
Schall- oder Druckwandlervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Schall- oder Druckwandlervorrichtung mindestens einen ersten Durchkontakt (28), welcher sich jeweils von der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) bis zu der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) erstreckt, aufweist.
Schall- oder Druckwandlervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Schall- oder Druckwandlervorrichtung mindestens einen zweiten Durchkontakt (34), welcher sich jeweils von einer mit der Elektronikschicht (24) abgedeckten ersten Oberfläche (36a) eines weiteren Substrats (36) bis zu einer von der ersten Oberfläche (36a) weg gerichteten zweiten Oberfläche (36b) des weiteren Substrats (36) erstreckt, aufweist.
Schall- oder Druckwandlervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Außenseite der Statorelektrode (14) oder eine von der Statorelektrode (14) weg gerichtete Seite der an der Außenseite der Statorelektrode (14) angeordneten Aktorelektrode (16b) zumindest teilweise mit einer Schutz- und/oder Gitterstruktur (40) abgedeckt ist, welche mindestens eine sich durch die Schutz- und/oder Gitterstruktur (40) erstreckende Luftzufuhröffnung (42) aufweist.
Herstellungsverfahren für mindestens eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit den Schritten: Strukturieren je einer Kavität (12) der mindesten seinen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung durch ein Zwischensubstrat (10) derart, dass sich die mindestens eine Kavität (12) von einer ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) bis zu einer von der ersten Substratoberfläche (10a) weg gerichteten zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) erstreckt; Befestigen je einer Statorelektrode (14) der mindesten seinen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung an oder über der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10); Anordnen mindestens einer verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektrode (16a, 16b) der mindesten seinen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung auf einer zu dem Zwischensubstrat (10) ausgerichteten Innenseite der zugeordneten Statorelektrode (14) und/oder auf einer von dem Zwischensubstrat (10) weg gerichteten Außenseite der zugeordneten Statorelektrode (14); und Anordnen je einer Elektronikschicht (24) mit mindestens einer darin ausgebildeten integrierten Schaltung (22) an und/oder in der mindestens einen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung; dadurch gekennzeichnet, dass die jeweilige Elektronikschicht (24) der mindesten seinen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung derart über je eine erste Bondverbindung (26) an der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) befestigt wird, dass die Elektronikschicht (24) die zugeordnete Kavität (12) überspannt.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 6, wobei ein Schichtaufbau (50) gebildet wird, indem die Kavitäten (12) einer Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen durch das Zwischensubstrat (10) strukturiert werden, die Statorelektroden (14) der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen an oder über der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) befestigt werden, die verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektroden (16a, 16b) der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen auf der Innenseite der zugeordneten Statorelektrode (14) und/oder auf der Außenseite der zugeordneten Statorelektrode (14) angeordnet werden, und die Elektronikschichten (24) der Vielzahl von späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtungen über die je eine erste Bondverbindung (26) an der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) befestigt werden, und wobei die Vielzahl von Schall- oder Druckwandlervorrichtungen mittels eines Säge- oder Fräseschritts aus dem Schichtaufbau (50) herausgetrennt werden.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 6 oder 7, wobei mindestens ein erster Durchkontakt (28) der mindesten seinen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung, welcher sich jeweils von der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) bis zu der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) erstreckt, gebildet wird.
Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei mindestens ein zweiter Durchkontakt (34) der mindesten seinen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung, welcher sich jeweils von einer mit der Elektronikschicht (24) abgedeckten ersten Oberfläche (36a) eines weiteren Substrats (36) bis zu einer von der ersten Oberfläche (36a) weg gerichteten zweiten Oberfläche (36b) des weiteren Substrats (36) erstreckt, gebildet wird.
Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, wobei je eine Schutz- und/oder Gitterstruktur (40) der mindesten seinen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung gebildet wird, welche die Außenseite der jeweiligen Statorelektrode (14) oder eine von der jeweiligen Statorelektrode (14) weg gerichtete Seite der an der Außenseite der Statorelektrode (14) angeordneten jeweiligen Aktorelektrode (16b) zumindest teilweise abgedeckt, und welche mit mindestens einer sich durch die Schutz- und/oder Gitterstruktur (40) erstreckenden Luftzufuhröffnung (42) ausgebildet wird.
Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, wobei die jeweilige Statorelektrode (14) und die mindestens eine Aktorelektrode (16a, 16b) der mindesten seinen späteren Schall- oder Druckwandlervorrichtung über je eine zweite Bondverbindung (62) an und/oder über der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) befestigt werden.