DE102021211300A1

DE102021211300A1 - Sensoreinheit und korrespondierende Sensoranordnung

Info

Publication number: DE102021211300A1
Application number: DE102021211300.1A
Authority: DE
Inventors: Bernd Tepass; Anwar Hegazi; Thomas Loebe
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2021-10-07
Filing date: 2021-10-07
Publication date: 2023-04-13

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Sensoreinheit (10) mit mindestens zwei Sensorchips (13, 14) zum Erfassen und Auslesen einer von einem bewegten Messwertgeber (3) bewirkten bewegungsrelevanten physikalischen Messgröße sowie eine Sensoranordnung (1) mit einer solchen Sensoreinheit (10), wobei jeder Sensorchip (13, 14) mindestens ein im Randbereich ausgebildetes Sensorelement (13.1, 14.1) zum Erfassen eines Messsignals aufweist, und wobei die Sensorchips (13, 14) so zueinander angeordnet und orientiert sind,a. dass Chipebenen der Sensorchips (13, 14) einen Winkel (a) einschließen,b. dass die im Randbereich ausgebildeten Sensorelemente (13.1, 14.1) der mindestens zwei Sensorchips (13, 14) in einer vorgegebenen gemeinsamen Messrichtung (MR) der Sensoreinheit (10) sensitiv sind, undc. dass die im Randbereich ausgebildeten Sensorelemente (13.1, 14.1) der mindestens zwei Sensorchips (13, 14) parallel versetzt zu der vorgegebenen Messrichtung (MR), nebeneinander angeordnet sind, so dass keines der Sensorelemente (13.1, 14.1) in der vorgegebenen Messrichtung (MR) vom Sensorchip (13, 14) des anderen Sensorelements (13.1, 14.1) überdeckt ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Sensoreinheit sowie eine korrespondierende Sensoranordnung mit einer solchen Sensoreinheit.
Aus der DE 10 2015 224 255 A1 ist ein Raddrehzahlsensorsystem zur Montage an einer Fahrzeugachse bekannt, welches ein erstes Raddrehzahlsensorelement mit einem ersten und einem zweiten elektrischen Anschluss zur Übertragung von durch das erste Raddrehzahlsensorelement erfassten ersten Sensordaten, ein zweites Raddrehzahlsensorelement mit einem ersten und einem zweiten elektrischen Anschluss zur Übertragung von durch das zweite Raddrehzahlsensorelement erfassten zweiten Sensordaten, ein Leadframe mit vier getrennten elektrischen Leitungen, welche sensorelementseitige Kontaktflächen aufweisen, die jeweils mit den ersten und zweiten elektrischen Anschlüssen der beiden Raddrehzahlsensorelemente kontaktiert sind, und welche externe Kontaktflächen zur externen Kontaktierung der beiden Raddrehzahlsensorelemente aufweisen, und einen Sensorelementträger umfasst, in den das Leadframe eingebettet ist.
Aus der DE 11 2017 001 253 T5 ist eine Drehungsdetektionsvorrichtung bekannt, welche einen Magnetgeber als ein zu detektierendes Element, welches an einem inneren Ring, der als ein sich drehendes Element dient, montiert ist und mehrere Magnetpole aufweist, die in der Umfangsrichtung des inneren Rings angeordnet sind; und einen Sensorabschnitt umfasst, der dem Magnetgeber zugewandt angeordnet ist. Hierbei ist der Sensorabschnitt an einem Achsschenkel montiert, der als ein stationäres Element dient und sich nicht dreht, wenn sich der innere Ring dreht. Der Sensorabschnitt weist mehrere Magnetsensoren mit plattenförmigen Detektionsabschnitten auf, die gemeinsam mit Signalverarbeitungsschaltungen von einem Harzmaterial umhüllt sind. Die Detektionsabschnitte sind in der Richtung gestapelt, in der der Sensorabschnitt und der Magnetgeber einander zugewandt sind. Hierbei weist der am weitesten von dem Magnetgeber entfernt angeordnete Magnetsensor eine höhere Empfindlichkeit als der dem Magnetgeber am nächsten angeordnete Magnetsensor auf.
Aus der DE 10 2015 202 333 A1 sind ein Sensorgehäuse für eine Radsensorvorrichtung für ein Fahrzeug und eine Radsensorvorrichtung für ein Fahrzeug bekannt. Hierbei löst nach einem Montieren des Sensorgehäuses bzw. der Radsensorvorrichtung mit einem ersten Drehzahlsensor und einem zweiten Drehzahlsensor darin an dem Fahrzeug ein mit einem rotierenden Rad des Fahrzeugs mitrotierender Drehgeber eine Änderung mindestens einer ersten physikalischen Größe in dem ersten Drehzahlsensor und zusätzlich eine Änderung mindestens einer zweiten physikalischen Größe in dem zweiten Drehzahlsensor aus. Hierbei sind die beiden Drehzahlsensoren benachbart zueinander angeordnet.
Offenbarung der Erfindung
Die Sensoreinheit mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1 und die korrespondierende Sensoranordnung mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 11 haben jeweils den Vorteil, dass beide Sensorelemente im montierten Zustand einen ähnlichen Abstand zu einer Encoderspur des bewegten Messwertgebers aufweisen. Zudem ist keines der Sensorelemente in einer vorgegebenen Messrichtung der Sensoreinheit vom Sensorchip des anderen Sensorelements überdeckt. Ausführungsformen der Sensoreinheit und der Sensoranordnung werden im Fahrzeug bevorzugt zum Ermitteln von Informationen bezüglich eines Drehverhaltens eines zugeordneten Fahrzeugrads eingesetzt. So können mit den beiden Sensorelementen der Sensoreinheit beispielsweise Drehzahl und/oder Drehgeschwindigkeit und/oder Drehrate des zugeordneten Fahrzeugrads redundant ermittelt werden, da jedes der beiden Sensorelemente ein eigenes Messsignal erfasst, welches auf der Drehbewegung des Rotors basiert. Durch die winklige Anordnung können die beiden Sensorchips der Sensoreinheit bauraumoptimiert in einem Sensorkopf der Sensoreinheit angeordnet werden. Durch die Sensoreinheit können ein Ausfall oder eine Funktionsbeeinträchtigung eines der beiden Sensorelemente verlässlich mittels des noch einsetzbaren anderen der beiden Sensorelemente kompensiert werden.
Ausführungsformen der Sensoreinheit oder der korrespondierenden Sensoranordnung können trotz eines Ausfalls eines der beiden Sensorelemente weiterhin aktuelle Werte bezüglich des Drehverhaltens des korrespondierenden Fahrzeugrads zur Verfügung stellen. Daher eignen sich Ausführungsformen der Erfindung insbesondere für einen Einsatz in Fahrzeug mit autonomen oder teilautonomen Fahrzeugfunktionen, welcher beispielsweise eine automatische Brems- und/oder Fahrdynamikregelung durchführen.
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung stellen eine Sensoreinheit mit mindestens zwei Sensorchips zum Erfassen und Auslesen einer von einem bewegten Messwertgeber bewirkten bewegungsrelevanten physikalischen Messgröße zur Verfügung, wobei jeder Sensorchip mindestens ein im Randbereich ausgebildetes Sensorelement zum Erfassen eines Messsignals aufweist. Hierbei sind die Sensorchips so zueinander angeordnet und orientiert,

a. dass Chipebenen der Sensorchips einen Winkel einschließen,
b. dass die im Randbereich ausgebildeten Sensorelemente der mindestens zwei Sensorchips in einer vorgegebenen gemeinsamen Messrichtung der Sensoreinheit sensitiv sind, und
c. dass die im Randbereich ausgebildeten Sensorelemente der mindestens zwei Sensorchips parallel versetzt zu der vorgegebenen Messrichtung, nebeneinander angeordnet sind, so dass keines der Sensorelemente in der vorgegebenen Messrichtung vom Sensorchip des anderen Sensorelements überdeckt ist.

Zudem wird eine Sensoranordnung mit einem beweglichen Messwertgeber und einer solchen Sensoreinheit vorgeschlagen. Hierbei ist der Messwertgeber an einem Rotor, insbesondere einem Rad, befestigt, dessen Drehbewegung erfasst werden soll. Die Sensoreinheit ist an einem feststehenden Halter in der Umgebung des Rotors angeordnet, so dass der Messwertgeber aufgrund der Drehbewegung des Rotors an der Sensoreinheit vorbeigeführt wird und dabei die vorgegebene Messrichtung der Sensoreinheit durchläuft, so dass jedes Sensorelement ein eigenes Messsignal erfasst.
Unter einer Sensoreinheit wird vorliegend eine Baueinheit verstanden, welche zwei Sensorchips umfasst, welche unabhängig voneinander jeweils eine physikalische Größe bzw. eine Änderung einer physikalischen Größe direkt oder indirekt erfassen und vorzugsweise in ein elektrisches Sensorsignal umwandeln. Die vorgegebene Messrichtung der Sensoreinheit ist vorzugsweise auf die Mitte einer Encoderspur des beweglichen Messwertgebers ausgerichtet. Die Sensorchips können beispielsweise auf ein wechselndes Magnetfeld reagieren und diese Magnetfeldänderungen dann direkt in korrespondierende elektrische Signale umwandeln und ein Hallsensorelement oder ein magnetoresistives Sensorelement oder ein induktives Sensorelement umfassen, welches die Änderung eines Magnetfeldes beispielsweise über die durch magnetische Induktion entstehende Spannung registriert. Dadurch stehen zwei voneinander unabhängige elektrische Sensorsignale zur weiteren Auswertung zur Verfügung. Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Sensoreinheit können beispielsweise zur Messung von Drehzahlen und/oder Drehrichtungen und/oder Drehgeschwindigkeiten und/oder Drehraten im Fahrzeug eingesetzt werden. Je nach Anwendungsfall kann die Sensoreinheit als Drehzahlfühler an den Rädern für ein Antiblockierbremssystem (ABS), als Drehzahl- und Phasengeber für eine Motorsteuerung oder als Lenkwinkelsensor für sogenannte Fahrdynamikregelsysteme und für elektrische Lenkhilfen eingesetzt werden. Die Sensorchips sind üblicherweise als integrierte Elektronikschaltkreise (IC) mit mindestens einem integrierten Sensorelement aufgebaut. Diese Magnetfeldänderungen können beispielsweise durch ein relativ zu den Sensorelementen bewegtes Impulsrad erzeugt werden. Daraus können die Sensorchips jeweils ein elektrisches Signal zur Ermittlung eines relativ zum jeweiligen Sensorelement zurückgelegten Wegs, einer Geschwindigkeit, einer Beschleunigung, eines Beschleunigungsgradienten und/oder eines Drehwinkels erzeugen und ausgeben.
Unter einen Sensorchip wird nachfolgend eine vorzugsweise als ASIC (Anwendungsspezifischer Integrierter Schaltkreis) ausgeführte flache Baugruppe verstanden, bei welcher das mindestens eine Sensorelement im Randbereich angeordnet ist. Vorzugsweise kann das mindestens eine Sensorelement sehr nahe an der Außenkante der Stirnseite des Sensorchips angeordnet sein. Dadurch kann der Sensorchip in verkippten Lagen zum bewegten Messwertgeber betrieben werden. Das bedeutet, dass ein solcher Sensorchip in die Lage versetzt ist, in einer nahezu beliebigen Schräglage zum bewegten Messwertgeber die Magnetfeldänderungen lesen zu können. Dadurch kann die korrespondierende Sensoreinheit in unterschiedlichen Einbaulagen betrieben werden, ohne konstruktiv etwas an der Sensoreinheit zu ändern.
Unter dem bewegliche Messwertgeber wird nachfolgend ein Signalgeber bzw. Drehsignalgeber verstanden. Der Messwertgeber kann insbesondere ein magnetischer Drehgeber sein und beispielsweise als Encoder und/oder Inkrementalgeber ausgeführt sein.
Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen und Weiterbildungen sind vorteilhafte Verbesserungen der im unabhängigen Patentanspruch 1 angegebenen Sensoreinheit möglich.
In vorteilhafter Ausgestaltung der Sensoreinheit kann der von den Chipebenen der Sensorchips eingeschlossene Winkel beispielsweise zwischen 5° und 135° betragen. Vorzugsweise kann der eingeschlossenen Winkel einen Wert von 90° aufweisen. Durch eine entsprechende Anpassung des von den Chipebenen der Sensorchips eingeschlossenen Winkels, können die beiden Sensorchips in vorteilhafter Weise auf den gleichen Sensierbereich auf der Encoderspur des beweglichen Messwertgebers ausgerichtet werden. Dadurch wird eine Optimierung einer Luftspaltauslegung ermöglicht.
In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Sensoreinheit können die Chipebenen der Sensorchips symmetrisch zur Messrichtung angeordnet sein. Durch die symmetrische Anordnung sind die beiden Sensorchips in vorteilhafter Weise auf den gleichen Sensierbereich auf der Encoderspur des beweglichen Messwertgebers ausgerichtet.
In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Sensoreinheit kann jeder Sensorchip mit einem eigenen Chipgehäuse, insbesondere mit einem Moldgehäuse, versehen sein. Alternativ können die mindestens zwei Sensorchips in einem gemeinsamen Chipgehäuse, insbesondere in einem Moldgehäuse, verbaut sein. Dadurch können die Abmessungen der Sensoreinheit weiter reduziert werden.
In vorteilhafter Ausgestaltung der Sensoreinheit können die mindestens zwei Sensorchips in einem gemeinsamen Sensorkopfgehäuse verbaut sein, welches in Kombination mit einem Einbauort die Messausrichtung und Messposition der Sensoreinheit innerhalb einer Sensoranordnung definieren kann. Dadurch können die Abmessungen der Sensoreinheit weiter reduziert werden. Zudem kann das Sensorkopfgehäuse eine Messseite aufweisen, welche die Anordnung und Orientierung der mindestens zwei Sensorchips innerhalb des Sensorkopfgehäuses definiert, indem jeweils der Randbereich mit dem Sensorelement der Messseite zugewandt ist. So können die mindestens zwei Sensorchips vorzugsweise so angeordnet sein, dass die Sensorelemente im Wesentlichen den gleichen Abstand zur Messseite des Sensorkopfgehäuses haben.
In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Sensoreinheit kann die Messsignalerfassung der Sensorelemente der mindestens zwei Sensorchips auf einem magnetischen Sensorprinzip beruhen, insbesondere auf einem Hall-Effekt und/oder einem GMR-Effekt (GMR: Riesenmagnetowiderstand) und/oder einem TMR-Effekt (TMR: magnetischer Tunnelwiderstand) und/oder einem AMR-Effekt (AMR: Anisotroper magnetischer Effekt). Das eingesetzte magnetische Sensorprinzip ist beispielsweise von dem zu überbrückenden Luftspalt zwischen der Sensoreinheit und dem beweglichen Messwertgeber abhängig. Weisen die Sensorelemente im eingebauten Zustand der Sensoreinheit unterschiedliche Abstände zum beweglichen Messwertgeber auf, dann können auch Sensorelemente mit unterschiedlichen Sensorprinzipien eingesetzt werden. Vorzugsweise kann die Messignalerfassung der Sensorelemente der mindestens zwei Sensorchips auf demselben magnetischen Sensorprinzip beruhen. Dies ermöglicht die kostengünstige Verwendung von zwei gleichen Sensorchips.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. In den Zeichnungen bezeichnen gleiche Bezugszeichen Komponenten bzw. Elemente, die gleiche bzw. analoge Funktionen ausführen.
Figurenliste

1 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem ersten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
2 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem zweiten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
3 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines dritten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem dritten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
4 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines vierten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem vierten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
5 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines fünften Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem fünften Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
6 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines sechsten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem sechsten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
7 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines siebten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem siebten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
8 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines achten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem achten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
9 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines neunten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem neunten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
10 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines zehnten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem zehnten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sensoreinheit.
11 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines elften Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung mit einem elften Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sensoreinheit.

Ausführungsformen der Erfindung
Wie aus 1 bis 11 ersichtlich ist, umfassen die dargestellten Ausführungsbeispiele einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung 1, 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1K, 1L, 1M jeweils einen beweglichen Messwertgeber 3 mit einer Encoderspur 3.1 und eine erfindungsgemäße Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M.
Wie aus 1 bis 11 weiter ersichtlich ist, umfassen die dargestellten Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M jeweils mit mindestens zwei Sensorchips 13, 14 zum Erfassen und Auslesen einer von dem bewegten Messwertgeber 3 bewirkten bewegungsrelevanten physikalischen Messgröße, wobei jeder Sensorchip 13, 14 mindestens ein im Randbereich ausgebildetes Sensorelement 13.1, 14.1 zum Erfassen eines Messsignals aufweist. Hierbei sind die Sensorchips 13, 14 so zueinander angeordnet und orientiert,

a. dass Chipebenen der Sensorchips 13, 14 einen Winkel a einschließen,
b. dass die im Randbereich ausgebildeten Sensorelemente 13.1, 14.1 der mindestens zwei Sensorchips 13, 14 in einer vorgegebenen gemeinsamen Messrichtung MR der Sensoreinheit 10 sensitiv sind, und
c. dass die im Randbereich ausgebildeten Sensorelemente 13.1, 14.1 der mindestens zwei Sensorchips 13, 14 parallel versetzt zu der vorgegebenen Messrichtung MR, nebeneinander angeordnet sind, so dass keines der Sensorelemente 13.1, 14.1 in der vorgegebenen Messrichtung MR vom Sensorchip 13, 14 des anderen Sensorelements 13.1, 14.1 überdeckt ist.

Bei den dargestellten Ausführungsbeispielen ist der Messwertgeber 3 an einem nicht dargestellten Rotor, insbesondere einem Rad, befestigt, dessen Drehbewegung erfasst werden soll. Die jeweilige Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M ist an einem feststehenden Halter in der Umgebung des Rotors angeordnet, so dass der Messwertgeber 3 aufgrund der Drehbewegung des Rotors an der jeweiligen Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M vorbeigeführt wird und dabei die vorgegebene Messrichtung MR der Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M durchläuft, so dass jedes Sensorelement 13.1, 14.1 ein eigenes Messsignal erfasst.
Wie aus 1 bis 11 weiter ersichtlich ist, sind die Sensorchips 13, 14 der dargestellten Sensoreinheiten 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M jeweils mit einem eigenen Chipgehäuse 13.2, 14.2 versehen, welche als Moldgehäuse ausgeführt sind. Bei nicht dargestellten alternativen Ausführungsbeispielen der Sensoreinheit 10 sind die mindestens zwei Sensorchips 13, 14 in einem gemeinsamen Chipgehäuse verbaut.
In den dargestellten Ausführungsbeispielen sind die mindestens zwei Sensorchips 13, 14 in einem gemeinsamen Sensorkopfgehäuse 12 verbaut, welches in Kombination mit einem Einbauort die Messausrichtung und Messposition der Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M innerhalb der Sensoranordnung 1, 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1K, 1L, 1M definiert. Das Sensorkopfgehäuse 12 der jeweiligen Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M weist eine Messseite 19 auf, welche die Anordnung und Orientierung der mindestens zwei Sensorchips 13, 14 innerhalb des Sensorkopfgehäuses 12 definiert, indem jeweils der Randbereich mit dem Sensorelement 13.1, 14.1 der Messseite 19 zugewandt ist.
Wie aus 1 bis 11 weiter ersichtlich ist, ist in den dargestellten Ausführungsbeispielen der Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M in dem Sensorkopf 11 jeweils ein erster Sensorchip 13 mit einem ersten Sensorelement 13.1 angeordnet, welcher beispielsweise als erster Drehzahlfühler verwendet wird. Das erste Sensorelement 13.1 ist über erste Kontaktelemente 13.3 mit einem Träger 17 kontaktiert. Hierbei erfasst das erste Sensorelement 13.1 im eingebauten Zustand eine durch den mit dem Fahrzeugrad mitrotierenden Drehgeber 3A bewirkte Änderung mindestens einer ersten physikalischen Größe. Durch ein Auswerten der Änderung der mindestens einen ersten physikalischen Größe in dem ersten Sensorchip 13 ist mindestens eine erste Information bezüglich eines Drehverhaltens des mit dem Drehgeber 3A ausgestatteten Fahrzeugrads, wie beispielsweise ein erster Wert einer Drehzahl des Fahrzeugrads bzw. des an dem Fahrzeugrad angebrachten Drehgebers 3A, bestimmbar. Beispielsweise kann mindestens eine nicht dargestellte Auswerte- und Steuereinheit der Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M basierend auf der Änderung der mindestens einen ersten physikalischen Größe in dem ersten Sensorelement 13.1 des ersten Sensorchips 13 die mindestens eine erste Information bezüglich des Drehverhaltens des mit dem Drehgeber 3A ausgestatteten Fahrzeugrads ermitteln und ausgeben. So kann beispielsweise der erste Wert der Drehzahl ermittelt und ausgegeben werden. Selbstverständlich kann auch ein erstes Sensorsignal bezüglich der Änderung der mindestens einen ersten physikalischen Größe in dem ersten Sensorelement 13.1 des ersten Sensorchips 13 an eine externe Auswerteelektronik ausgegeben werden, welche anschließend die mindestens eine erste Information bezüglich des Drehverhaltens des mit dem Drehgeber 3A ausgestatteten Fahrzeugrads ermittelt.
Zusätzlich zu dem ersten Sensorchip 13 ist ein zweiter Sensorchip 14 mit einem zweiten Sensorelement 14.1 in dem Sensorkopf 11 angeordnet, welcher beispielsweise als zweiter Drehzahlfühler verwendet wird. Das zweite Sensorelement 14.1 ist über zweite Kontaktelemente 14.3 mit dem Träger 17 kontaktiert. Hierbei erfasst das zweite Sensorelement 14.1 im eingebauten Zustand eine durch den mit dem Fahrzeugrad mitrotierenden Drehgeber 3A bewirkte Änderung mindestens einer zweiten physikalischen Größe. Durch ein Auswerten der Änderung der mindestens einen zweiten physikalischen Größe in dem zweiten Sensorchip 14 ist mindestens eine zweite Information bezüglich eines Drehverhaltens des mit dem Drehgeber 3A ausgestatteten Fahrzeugrads, wie beispielsweise ein zweiter Wert einer Drehzahl des Fahrzeugrads bzw. des an dem Fahrzeugrad angebrachten Drehgebers 3A, bestimmbar. Beispielsweise kann die mindestens eine nicht dargestellte Auswerte- und Steuereinheit der Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M basierend auf der Änderung der mindestens einen zweiten physikalischen Größe in dem zweiten Sensorelement 14.1 des zweiten Sensorchips 14 die mindestens eine zweite Information bezüglich des Drehverhaltens des mit dem Drehgeber 3A ausgestatteten Fahrzeugrads ermitteln und ausgeben. So kann beispielsweise der zweite Wert der Drehzahl ermittelt und ausgegeben werden. Selbstverständlich kann auch ein zweites Sensorsignal bezüglich der Änderung der mindestens einen zweiten physikalischen Größe in dem zweiten Sensorelement 14.1 des zweiten Sensorchips 14 an die externe Auswerteelektronik ausgegeben werden, welche anschließend die mindestens eine zweite Information bezüglich des Drehverhaltens des mit dem Drehgeber 3A ausgestatteten Fahrzeugrads ermittelt.
Aufgrund der Ausstattung der Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M mit den beiden Sensorchips 13, 14 für das gleiche mit dem Drehgeber 3A ausgestattete Fahrzeugrad können die Informationen und/oder Werte bezüglich des Drehverhaltens des Fahrzeugrads verlässlicher bestimmt werden. So kann beispielsweise die Drehzahl des Fahrzeugrads über eine Mittelwertbildung genauer festgelegt werden. Ebenso kann, sofern lediglich einer der beiden Sensorchips 13, 14 des zugeordneten Fahrzeugrads einen Extremwert ermittelt, verlässlich auf einen an dem jeweiligen Sensorchip 13, 14 vorliegenden Fehler rückgeschlossen werden. Die beiden Sensorchips 13, 14 ermöglichen somit ein Untersuchen des Drehverhaltens des korrespondierenden Fahrzeugrads mit einer größeren Genauigkeit und einer geringeren Fehlerrate. Zudem ist auch eine automatische Qualitätsüberprüfung der ermittelten Informationen und/oder Werte möglich. Gegebenenfalls kann auch das Vorliegen eines Fehlers an einem der beiden Sensorchips 13, 14 oder ein Ausfall eines der beiden Sensorchips 13, 14 mittels des anderen der beiden Sensorchips 13, 14 überbrückt werden. Dadurch kann sichergestellt werden, dass auch in einer solchen Situation noch eine verlässliche Untersuchung bzw. Ermittlung des Drehverhaltens des mit dem Drehgeber 3A ausgestatteten Fahrzeugrads möglich ist.
Die Sensoreinheit 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H, 10K, 10L, 10M weist an einem dem Sensorkopf 11 gegenüberliegenden nicht dargestellten Endbereich eine externe elektrische Schnittstelle auf. An der externen elektrischen Schnittstelle können externe Kontaktbereiche des Trägers 17 oder die Kontaktelemente 13.3, 14.3 direkt ohne Träger 17 mit Adern eines Anschlusskabels oder mit Kontaktelementen einer Steckeraufnahme kontaktiert werden. In den dargestellten Ausführungsbeispielen ist der der Träger 17 als Leiterplatte 17A ausgeführt. Alternativ kann der Träger 17 als Kunststoffspritzgussteil oder als Stanzgitter ausgeführt werden.
Wie aus 1 bis 4 weiter ersichtlich ist, beträgt der von den Chipebenen der Sensorchips 13, 14 eingeschlossene Winkel a in den dargestellten Ausführungsbeispielen 90°. Das bedeutet, dass die beiden Sensorchips 13, 14 senkrecht zueinander angeordnet sind.
Wie aus 1 und 2 weiter ersichtlich ist, weisen der Messwertgeber 3 und die Sensoreinheit 10A, 10B in den dargestellten Ausführungsbeispielen der Sensoranordnung 1A, 1B eine so genannte „Side-Read-Position“ auf. Das bedeutet, dass die Messseite 19A an einer Oberseite des Sensorkopfs 11 angeordnet ist und mit einem vorgebbaren Abstand parallel zur Encoderspur 3.1 des Messwertgebers 3 verläuft. Hierbei verläuft eine Drehachse DAA des Messwertgebers senkrecht zur Messseite 19A in Hochrichtung z. Wie aus 1 und 2 weiter ersichtlich ist, ist der erste Sensorchip 13 im ersten und zweiten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10A, 10B auf einer Oberseite des Trägers 17 angeordnet und parallel zur in Längsrichtung x verlaufenden Messseite 19A ausgerichtet. Der erste Sensorchip 13 ist über die ersten Kontaktelemente 13.3 mit an der Oberseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert und schließt bündig mit einer Stirnseite des Trägers 17 ab. Der zweite Sensorchip 14 ist senkrecht zum ersten Sensorchip 13 an der Stirnseite des Trägers 17 angeordnet und senkrecht zur in Längsrichtung x verlaufenden Messseite 19A ausgerichtet. Der zweite Sensorchip 14 ist über die zweiten Kontaktelemente 14.3 mit an einer Unterseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert. Zudem überlappt der zweite Sensorchip 14 mit seinem dem Messwertgeber 3 zugewandten Randbereich, an welchem das zweite Sensorelement 14.1 angeordnet ist, den Randbereich des ersten Sensorchips 13, an welchem das erste Sensorelement 13.1 angeordnet ist, so dass die beiden Sensorelemente 13.1, 14.1 parallel versetzt zu der vorgegebenen Messrichtung MR nebeneinander angeordnet sind und keines der Sensorelemente 13.1, 14.1 in der vorgegebenen Messrichtung MR vom Sensorchip 13, 14 des anderen Sensorelements 13.1, 14.1 überdeckt ist. Durch diese Ausrichtung weisen das erste Sensorelement 13.1 und das zweite Sensorelement 14.1 einen ähnlichen Abstand zur Messseite 19A und zum Messwertgeber 3 auf.
Wie aus 1 und 2 weiter ersichtlich ist, ist bei dem in 2 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10B der zweite Sensorchip 14 im Unterschied zu dem in 1 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10A jedoch um 180° um seine in Hochrichtung z verlaufende Längsachse gedreht, so dass die zweiten Kontaktelemente 14.3 zwischen dem zweiten Sensorelement 14.1 des zweiten Sensorchips 14 und dem ersten Sensorelement 13.1 des ersten Sensorchips 13 angeordnet sind. Dadurch ergibt sich ein etwas größerer Abstand zwischen den beiden Sensorelementen 13.1, 14.1.
Wie aus 3 und 4 weiter ersichtlich ist, weisen der Messwertgeber 3 und die Sensoreinheit 10C, 10D in den dargestellten Ausführungsbeispielen der Sensoranordnung 1C, 1D eine so genannte „Bottom-Read-Position“ auf. Das bedeutet, dass die Messseite 19B an einer Stirnseite des Sensorkopfs 11 angeordnet ist und mit einem vorgebbaren Abstand parallel zur Encoderspur 3.1 des Messwertgebers 3 verläuft. Hierbei verläuft die Drehachse DAB des Messwertgebers 3 senkrecht zur Messseite 19B in Längsrichtung x. Wie aus 3 und 4 weiter ersichtlich ist, ist der erste Sensorchip 13 in dem dargestellten dritten und vierten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10C, 10D auf der Oberseite des Trägers 17 angeordnet und senkrecht zur in Hochrichtung z verlaufenden Messseite 19B ausgerichtet. Der erste Sensorchip 13 ist über die ersten Kontaktelemente 13.3 mit an der Oberseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert. Der zweite Sensorchip 14 ist senkrecht zum ersten Sensorchip 13 an der Stirnseite des Trägers 17 angeordnet und parallel zur in Hochrichtung z verlaufenden Messseite 19B ausgerichtet. Der zweite Sensorchip 14 ist über die zweiten Kontaktelemente 14.3 mit an einer Unterseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert und schließt bündig mit der Oberseite des Trägers 17 ab. Der erste Sensorchip 13 überlappt mit seinem dem Messwertgeber 3 zugewandten Randbereich, an welchem das erste Sensorelement 13.1 angeordnet ist, den Randbereich des zweiten Sensorchips 14, an welchem das zweite Sensorelement 14.1 angeordnet ist, so dass die beiden Sensorelemente 13.1, 14.1 parallel versetzt zu der vorgegebenen Messrichtung MR nebeneinander angeordnet sind und keines der Sensorelemente 13.1, 14.1 in der vorgegebenen Messrichtung MR vom Sensorchip 13, 14 des anderen Sensorelements 13.1, 14.1 überdeckt ist. Durch diese Ausrichtung weisen das erste Sensorelement 13.1 und das zweite Sensorelement 14.1 einen ähnlichen Abstand zur Messseite 19B und zum Messwertgeber 3 auf.
Wie aus 3 und 4 weiter ersichtlich ist, ist bei dem in 4 dargestellten vierten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10D der erste Sensorchip 13 im Unterschied zu dem in 3 dargestellten dritten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10C jedoch um 180° um seine in Längsrichtung x verlaufende Längsachse gedreht, so dass die ersten Kontaktelemente 13.3 zwischen dem zweiten Sensorelement 14.1 des zweiten Sensorchips 14 und dem ersten Sensorelement 13.1 des ersten Sensorchips 13 angeordnet sind. Dadurch ergibt sich ein etwas größerer Abstand zwischen den beiden Sensorelementen 13.1, 14.1.
Wie aus 5 bis 10 weiter ersichtlich ist, kann der Winkel a zwischen den Chipebenen der beiden Sensorchips 13, 14 auch einen anderen Winkelwert in einem Winkelbereich von 5° bis 135° aufweisen.
Wie aus 5 und 6 weiter ersichtlich ist, beträgt der von Sensorchips 13, 14 eingeschlossene Winkel a in den dargestellten Ausführungsbeispielen beispielhaft ca. 65°. Das bedeutet, dass die beiden Sensorchips 13, 14 verkippt zueinander angeordnet sind. Die Messseite 19A ist an einer Oberseite des Sensorkopfs 11 angeordnet und verläuft mit einem vorgebbaren Abstand parallel zur Encoderspur 3.1 des Messwertgebers 3. Die Drehachse DAA des Messwertgebers 3 verläuft senkrecht zur Messseite 19A in Hochrichtung z. Wie aus 5 und 6 weiter ersichtlich ist, ist der erste Sensorchip 13 in dem dargestellten fünften und sechsten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10E, 10F auf der Oberseite des Trägers 17 angeordnet und schräg zur in Längsrichtung x verlaufenden Messseite 19A ausgerichtet. Der erste Sensorchip 13 ist über die ersten Kontaktelemente 13.3 mit an der Oberseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert. Der zweite Sensorchip 14 ist senkrecht zur Messseite 19A an der Stirnseite des Trägers 17 angeordnet und parallel zur in Hochrichtung z verlaufenden Messrichtung MR ausgerichtet. Der zweite Sensorchip 14 ist über die zweiten Kontaktelemente 14.3 mit an einer Unterseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert. Der erste Sensorchip 13 überlappt mit seinem dem Messwertgeber 3 zugewandten Randbereich, an welchem das erste Sensorelement 13.1 angeordnet ist, den Randbereich des zweiten Sensorchips 14, an welchem das zweite Sensorelement 14.1 angeordnet ist, so dass die beiden Sensorelemente 13.1, 14.1 parallel versetzt zu der vorgegebenen Messrichtung MR nebeneinander angeordnet sind und keines der Sensorelemente 13.1, 14.1 in der vorgegebenen Messrichtung MR vom Sensorchip 13, 14 des anderen Sensorelements 13.1, 14.1 überdeckt ist. Durch diese Ausrichtung weisen das erste Sensorelement 13.1 und das zweite Sensorelement 14.1 einen ähnlichen Abstand zur Messseite 19A und zum Messwertgeber 3 auf.
Wie aus 5 und 6 weiter ersichtlich ist, ist bei dem in 6 dargestellten sechsten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10F der erste Sensorchip 13 im Unterschied zu dem in 5 dargestellten fünften Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10E jedoch um 180° um seine Längsachse gedreht, so dass die ersten Kontaktelemente 13.3 zwischen dem ersten Sensorelement 13.1 des ersten Sensorchips 13 und der Messseite 19A und dem Messwertgeber 3 angeordnet sind. Dadurch ergibt sich ein etwas größerer Abstand zwischen dem ersten Sensorelement 13.1 und der Messseite 19A und dem Messwertgeber 3.
Wie aus 7 bis 10 weiter ersichtlich ist, sind die Chipebenen der Sensorchips 13, 14 der dargestellten Sensoreinheiten 10G, 10H, 10K, 10L symmetrisch zur Messrichtung MR angeordnet. Hierbei beträgt der von Sensorchips 13, 14 eingeschlossene Winkel a in den dargestellten Ausführungsbeispielen beispielhaft ca. 20°. Das bedeutet, dass die beiden Sensorchips 13, 14 verkippt zueinander und zur Messrichtung MR angeordnet sind.
Wie aus 7 und 8 weiter ersichtlich ist, ist die Messseite 19A an der Oberseite des Sensorkopfs 11 angeordnet und verläuft mit einem vorgebbaren Abstand parallel zur Encoderspur 3.1 des Messwertgebers 3. Die Drehachse DAA des Messwertgebers 3 verläuft senkrecht zur Messseite 19A in Hochrichtung z. Wie aus 7 und 8 weiter ersichtlich ist, ist der erste Sensorchip 13 in dem dargestellten siebten und achten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10G, 10H schräg zur in Längsrichtung x verlaufenden Messseite 19A und zur in Hochrichtung z verlaufenden Messrichtung MR ausgerichtet und über die ersten Kontaktelemente 13.3 mit an der Oberseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert. Der zweite Sensorchip 14 ist ebenfalls schräg zur in Hochrichtung z verlaufenden Messseite 19A und bezogen auf die Messrichtung MR symmetrisch zum ersten Sensorchip 13 ausgerichtet und über die zweiten Kontaktelemente 14.3 mit an einer Unterseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert. Durch diese Anordnung sind die beiden Sensorelemente 13.1, 14.1 parallel versetzt zu der vorgegebenen Messrichtung MR nebeneinander angeordnet, wobei keines der Sensorelemente 13.1, 14.1 in der vorgegebenen Messrichtung MR vom Sensorchip 13, 14 des anderen Sensorelements 13.1, 14.1 überdeckt ist. Zudem weisen das erste Sensorelement 13.1 und das zweite Sensorelement 14.1 einen ähnlichen Abstand zur Messseite 19A und zum Messwertgeber 3 auf.
Wie aus 7 und 8 weiter ersichtlich ist, sind die Sensorelemente 13.1, 14.1 der beiden Sensorchips 13, 14 bei dem in 7 dargestellten siebten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10G einander zugewandt. Bei dem in 8 dargestellten achten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10H ist der zweite Sensorchip 14 im Unterschied zu dem in 7 dargestellten siebten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10G jedoch um 180° um seine Längsachse gedreht, so dass die zweiten Kontaktelemente 13.4 zwischen dem ersten Sensorelement 13.1 des ersten Sensorchips 13 und dem zweiten Sensorelement 14.1 des zweiten Sensorchips 14 angeordnet sind. Dadurch ergibt sich ein etwas größerer Abstand zwischen dem ersten Sensorelement 13.1 und dem zweiten Sensorelement 14.1.
Bei dem in 11 dargestellten neunten Ausführungsbeispiel der Sensoreinheit 10M weist das Sensorkopfgehäuse 12 einen Knick auf. Im dargestellten neunten Ausführungsbeispiel ist die Messseite 19C an einer Oberseite des abgeknickten Teils des Sensorkopfs 11 angeordnet und verläuft mit einem vorgebbaren Abstand parallel zur Encoderspur 3.1 des Messwertgebers 3. Hierbei verläuft die Drehachse DAC des Messwertgebers senkrecht zur Messseite 19C aber schräg zur Hochrichtung z und zur Längsrichtung x. Wie aus 11 weiter ersichtlich ist, ist der erste Sensorchip 13 der Sensoreinheit 10M, 10B parallel zur Messseite 19C ausgerichtet und über die ersten Kontaktelemente 13.3 mit an der Oberseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert. Der zweite Sensorchip 14 ist senkrecht zum ersten Sensorchip 13 angeordnet und senkrecht zur Messseite 19A ausgerichtet. Der zweite Sensorchip 14 ist über die zweiten Kontaktelemente 14.3 mit an einer Unterseite des Trägers 17 angeordneten Kontaktflächen 16 kontaktiert. Zudem überlappt der zweite Sensorchip 14 mit seinem dem Messwertgeber 3 zugewandten Randbereich, an welchem das zweite Sensorelement 14.1 angeordnet ist, den Randbereich des ersten Sensorchips 13, an welchem das erste Sensorelement 13.1 angeordnet ist, so dass die beiden Sensorelemente 13.1, 14.1 parallel versetzt zu der vorgegebenen Messrichtung MR nebeneinander angeordnet sind und keines der Sensorelemente 13.1, 14.1 in der vorgegebenen Messrichtung MR vom Sensorchip 13, 14 des anderen Sensorelements 13.1, 14.1 überdeckt ist. Durch diese Ausrichtung weisen das erste Sensorelement 13.1 und das zweite Sensorelement 14.1 einen ähnlichen Abstand zur Messseite 19A und zum Messwertgeber 3 auf.
Selbstverständlich ist neben den dargestellten Ausführungsbeispielen noch eine Vielzahl von anderen geeigneten Anordnungen der Sensorchips 13, 14 innerhalb des Sensorkopfgehäuses 12 möglich. So kann beispielsweise bei den in 5 und 6 dargestellten Ausführungsbeispielen auch der zweite Sensorchip 14 zusätzlich oder anstatt des ersten Sensorchips 13 gegen die Messrichtung MR geneigt werden und mit einem anderen Winkel a als 90° zur Messseite 19A ausgerichtet werden. Außerdem können die beiden Sensorchips 13, 14 bei den in 1 bis 4 dargestellten Ausführungsbeispielen andere Winkel a als 90° zueinander aufweisen, wobei entweder der erste Sensorchip 13 oder der zweite Sensorchip 14 oder beide Sensorchips 13, 14 gleichzeitig gekippt bzw. geneigt angeordnet sein können.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102015224255 A1 [0002]
DE 112017001253 T5 [0003]
DE 102015202333 A1 [0004]

Claims

Sensoreinheit (10) mit mindestens zwei Sensorchips (13, 14) zum Erfassen und Auslesen einer von einem bewegten Messwertgeber (3) bewirkten bewegungsrelevanten physikalischen Messgröße, wobei jeder Sensorchip (13, 14) mindestens ein im Randbereich ausgebildetes Sensorelement (13.1, 14.1) zum Erfassen eines Messsignals aufweist, und wobei die Sensorchips (13, 14) so zueinander angeordnet und orientiert sind, a. dass Chipebenen der Sensorchips (13, 14) einen Winkel (a) einschließen, b. dass die im Randbereich ausgebildeten Sensorelemente (13.1, 14.1) der mindestens zwei Sensorchips (13, 14) in einer vorgegebenen gemeinsamen Messrichtung (MR) der Sensoreinheit (10) sensitiv sind, und c. dass die im Randbereich ausgebildeten Sensorelemente (13.1, 14.1) der mindestens zwei Sensorchips (13, 14) parallel versetzt zu der vorgegebenen Messrichtung (MR), nebeneinander angeordnet sind, so dass keines der Sensorelemente (13.1, 14.1) in der vorgegebenen Messrichtung (MR) vom Sensorchip (13, 14) des anderen Sensorelements (13.1, 14.1) überdeckt ist.
Sensoreinheit (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der von den Chipebenen der Sensorchips (13, 14) eingeschlossene Winkel (a) zwischen 5° und 135°, vorzugsweise 90°, beträgt.
Sensoreinheit (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Chipebenen der Sensorchips (13, 14) symmetrisch zur Messrichtung (MR) angeordnet sind.
Sensoreinheit (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Sensorchip (13, 14) mit einem eigenen Chipgehäuse (13.2, 14.2), insbesondere mit einem Moldgehäuse, versehen ist.
Sensoreinheit (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei Sensorchips (13, 14) in einem gemeinsamen Chipgehäuse, insbesondere in einem Moldgehäuse, verbaut sind.
Sensoreinheit (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei Sensorchips (13, 14) in einem gemeinsamen Sensorkopfgehäuse (12) verbaut sind, welches in Kombination mit einem Einbauort die Messausrichtung und Messposition der Sensoreinheit (10) innerhalb einer Sensoranordnung (1) definiert.
Sensoreinheit (10) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorkopfgehäuse (12) eine Messseite (19) aufweist, welche die Anordnung und Orientierung der mindestens zwei Sensorchips (13, 14) innerhalb des Sensorkopfgehäuses (12) definiert, indem jeweils der Randbereich mit dem Sensorelement (13.1, 14.1) der Messseite (19) zugewandt ist.
Sensoreinheit (10) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei Sensorchips (13, 14) so angeordnet sind, dass die Sensorelemente (13.1, 14.1) im Wesentlichen den gleichen Abstand zur Messseite (19) des Sensorkopfgehäuses (12) haben.
Sensoreinheit (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Messsignalerfassung der Sensorelemente (13.1, 14.1) der mindestens zwei Sensorchips (13, 14) auf einem magnetischen Sensorprinzip beruht, insbesondere auf einem Hall-Effekt und/oder einem GMR-Effekt und/oder einem TMR-Effekt und/oder einem AMR-Effekt.
Sensoreinheit (10) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Messignalerfassung der Sensorelemente (13.1, 14.1) der mindestens zwei Sensorchips (13, 14) auf demselben magnetischen Sensorprinzip beruht.
Sensoranordnung (1) mit einem Messwertgeber (3) und einer Sensoreinheit (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei der Messwertgeber (3) an einem Rotor, insbesondere einem Rad, befestigt ist, dessen Drehbewegung erfasst werden soll, und wobei die Sensoreinheit (10) an einem feststehenden Halter in der Umgebung des Rotors angeordnet ist, so dass der Messwertgeber (3) aufgrund der Drehbewegung des Rotors an der Sensoreinheit (10) vorbeigeführt wird und dabei die vorgegebene Messrichtung (MR) der Sensoreinheit (10) durchläuft, so dass jedes Sensorelement (13.1, 14.1) ein eigenes Messsignal erfasst.