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TECHNISCHER HINTERGRUND
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schneidverfahren zum Schneiden eines Werkstücks mit einer Schneidvorrichtung und eine Schneidvorrichtung.
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Beschreibung der verwandten Technik
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Im technischen Gebiet ist eine Schneidvorrichtung zum Schneiden eines aus Silizium oder dergleichen hergestellten Wafers entlang von Straßen daran mit einer Schneidklinge verwendet worden, um den Wafer in einzelne Bauelementchips zu teilen (siehe beispielsweise
JP 2018-129329 A ).
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Bevor die Schneidklinge von der Fabrik ausgeliefert wird, wird die Schneidklinge gewöhnlicherweise einen Wafer schneiden, um eine Schneidnut darin auszubilden und um die Breite der Schneidnut zu messen. Der gemessene Wert der Breite der Schneidnut wird als eine Kerbbreite in einem Identifikationscode wie beispielsweise einem zweidimensionalen Code oder einem Barcode für die Schneidklinge gespeichert. Der Identifikationscode wird entweder an der Schneidklinge selbst oder an einem Unterbringungsgehäuse, das die Schneidklinge unterbringt, befestigt. Die Schneidklinge wird dann mit dem Identifikationscode ausgeliefert, der die Kerbbreite darstellt.
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Wenn die Schneidklinge an dem distalen Ende einer Spindel anzubringen ist, könnte die Schneidklinge leicht schräg zur zentralen Achse der Spindel angebracht werden. Wenn die Schneidklinge, die leicht schräg zur zentralen Achse der Spindel angebracht ist, ein Werkstück schneidet, wobei eine Schneidnut darin ausgebildet wird, wird die Breite der Schneidnut größer als die Kerbbreite, die vor dem Ausliefern der Schneidklinge gemessen und im Identifikationscode gespeichert ist.
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Zusätzlich könnte die Schneidklinge, wenn die Schneidklinge am distalen Ende einer Spindel anzubringen ist, leicht beschädigt werden. Wenn die Schneidklinge aufgrund eines Übersehens des Schadens an der Spindel angebracht wird, erhöht sich die Differenz zwischen der Breite einer durch die Schneidklinge in einem Werkstück ausgebildeten Schneidnut und der Kerbbreite, die vor dem Ausliefern der Schneidklinge gemessen und im Identifikationscode gespeichert ist. Während das Werkstück von der beschädigten Schneidklinge geschnitten wird, neigt der Schneidrand der Schneidklinge dazu, hin und her zu wandern, was die Breite der Schneidnut größer macht als die Kerbbreite und wodurch das Werkstück nicht geeignet geschnitten wird. Wenn der Schneidrand der Schneidklinge aufgrund eines Schadens davon gebrochen wird oder abplatzt, neigt die Breite der Schneidnut dazu, kleiner als die Kerbbreite zu werden, und die Schneidklinge schneidet das Werkstück nicht geeignet.
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Wenn die beschädigte Schneidklinge einen Wafer beispielsweise entlang einer Straße daran schneidet, ist die Breite einer tatsächlich im Wafer ausgebildeten Schneidnut größer als die Kerbbreite, die Schneidnut und im Wafer durch ein Abplatzen entwickelte Bereiche weichen von der Straße ab, was dazu neigt, einen Schaden an aktiven Bereichen von aus dem Wafer zu erzeugenden Bauelementchips zu verursachen. Im technischen Gebiet gibt es einen starken Bedarf dafür, solche Probleme zu verbessern.
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Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Schneidverfahren und eine Schneidvorrichtung bereitzustellen, die in der Lage sind, zu detektieren, dass die Differenz zwischen der Breite einer tatsächlich in einem Werkstück durch eine Schneidklinge ausgebildeten Schneidnut und einer Kerbbreite, die in Bezug auf die Schneidklinge gemessen wird, bevor die Schneidklinge ausgeliefert wird, einen zulässigen Bereich überschreitet.
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Schneidverfahren zum Schneiden eines Werkstücks mit einer Schneidvorrichtung, die eine an einem distalen Ende einer Spindel angebrachte Schneidklinge aufweist, bereitgestellt, wobei die Schneidklinge einen Identifikationscode aufweist, wobei die Schneidvorrichtung ein Lesemittel zum Lesen des Identifikationscodes aufweist, wobei das Schneidverfahren umfasst: einen Identifikationscodeleseschritt eines Lesens des eine Information über eine Breite einer im Werkstück von der Schneidklinge, die das Werkstück vor einer Auslieferung der Schneidklinge geschnitten hat, ausgebildeten Schneidnut darstellenden Identifikationscodes mit dem Lesemittel, um die Information über die Breite der Schneidnut vor einer Auslieferung der Schneidklinge zu erhalten, einen Klingenanbringschritt eines Anbringens der Schneidklinge am distalen Ende der Spindel nach dem Identifikationscodeleseschritt, einen Schneidschritt eines Schneidens des Werkstücks mit der Schneidklinge, um eine Schneidnut im Werkstück auszubilden, nach dem Klingenanbringschritt, einen Breitendetektionsschritt eines Aufnehmens einer Abbildung der im Schneidschritt ausgebildeten Schneidnut und eines Detektierens der Breite der Schneidnut aus der aufgenommenen Abbildung, einen Vergleichsschritt eines Vergleichens der im Breitendetektionsschritt detektierten Breite der Schneidnut und der im Identifikationscodeleseschritt erhaltenen Breite der Schneidnut miteinander und einen Warnschritt eines Ausgebens einer Warnung in einem Fall, in dem die im Breitendetektionsschritt detektierte Breite der Schneidnut und die im Identifikationscodeleseschritt erhaltene Breite der Schneidnut voneinander um einen Wert abweichen, der einen zulässigen Bereich überschreitet, als ein Ergebnis eines im Vergleichsschritt erfolgten Vergleichs.
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Gemäß dem Aspekt der vorliegenden Erfindung könnte das Schneidverfahren ferner einen Produktschneidschritt eines Schneidens eines Produktwerkstücks nach dem Schneidschritt, dem Breitendetektionsschritt und dem Vergleichsschritt umfassen, wobei ein vom Produktwerkstück unterschiedliches Dummy-Werkstück im Schneidschritt geschnitten werden könnte.
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Gemäß dem Aspekt der vorliegenden Erfindung könnten mehrere der Schneidnuten im Schneidschritt im Werkstück ausgebildet werden und die Breite einer der Schneidnuten, die schließlich geschnitten wird, könnte im Breitendetektionsschritt detektiert werden.
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Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Schneidvorrichtung bereitgestellt, aufweisend ein Haltemittel zum Halten eines Werkstücks, ein Schneidmittel mit einer Schneidklinge zum Schneiden des vom Haltemittel gehaltenen Werkstücks, wobei die Schneidklinge einen eine Information über eine Breite einer im Werkstück durch die Schneidklinge, die das Werkstück vor einer Auslieferung der Schneidklinge geschnitten hat, ausgebildeten Schneidnut darstellenden Identifikationscode aufweist, und einer Spindel, an der die Schneidklinge auswechselbar angebracht ist, ein Bewegungsmittel zum Bewegen des Schneidmittels relativ zum Haltemittel, ein Lesemittel zum Lesen des Identifikationscodes, ein Abbildungsaufnahmemittel zum Aufnehmen einer Abbildung des vom Haltemittel gehaltenen Werkstücks, und ein Steuerungsmittel zum Steuern des Bewegungsmittels, wobei das Steuerungsmittel aufweist: einen Speicherabschnitt zum Speichern der Information über die Breite der Schneidnut vor einer Auslieferung der Schneidklinge, wobei die Information durch das Lesemittel erhalten wird, das den Identifikationscode der Schneidklinge gelesen hat, einen Breitendetektionsabschnitt zum Detektieren der Breite der Schneidnut aus der aufgenommenen Abbildung der im Werkstück ausgebildeten Schneidnut, einen Vergleichsabschnitt zum Vergleichen der vom Breitendetektionsabschnitt detektierten Breite der Schneidnut und der im Speicherabschnitt gespeicherten Breite der Schneidnut, einen Speicherabschnitt für einen zulässigen Bereich zum Speichern eines zulässigen Bereichs für eine Nutbreite, die hinsichtlich der Breite der Schneidnut vor einer Auslieferung der Schneidklinge festgelegt wird, und einen Warnungsausgabeabschnitt zum Ausgeben einer Warnung in einem Fall, in dem die vom Breitendetektionsabschnitt detektierte Breite der Schneidnut und die im Speicherabschnitt gespeicherte Breite der Schneidnut voneinander um einen Wert abweichen, der den im Speicherabschnitt für den zulässigen Bereich gespeicherten zulässigen Bereich überschreitet, als ein Ergebnis eines vom Vergleichsabschnitt durchgeführten Vergleichs.
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Gemäß dem Aspekt und dem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist es möglich, zu detektieren, dass die Differenz zwischen der Breite der im Werkstück durch die Schneidklinge, welche das Werkstück tatsächlich schneidet, ausgebildeten Schneidnut und der vor einer Auslieferung der Schneidklinge gemessenen Kerbbreite den zulässigen Bereich überschreitet.
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Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, verstanden.
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Figurenliste
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- 1 ist eine Perspektivansicht, teilweise in einer Blockform, die ein Ausgestaltungsbeispiel einer Schneidvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
- 2 ist eine Explosionsperspektivansicht einer Schneideinheit der Schneidvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform;
- 3 ist eine Perspektivansicht einer Schneidklinge der in 2 dargestellten Schneideinheit;
- 4 ist eine Draufsicht eines Unterbringungsgehäuses, das die in 3 dargestellte Schneidklinge unterbringt;
- 5 ist ein Flussdiagramm der Abfolge eines Schneidverfahrens gemäß der ersten Ausführungsform;
- 6 ist eine Seitenansicht, teilweise in einem Querschnitt, die schematisch einen Schneidschritt des in 5 dargestellten Schneidverfahrens darstellt;
- 7 ist eine Seitenansicht, teilweise in einem Querschnitt, die schematisch einen Breitendetektionsschritt des in 5 dargestellten Schneidverfahrens darstellt;
- 8 ist eine Ansicht, die schematisch eine von einer Abbildungsaufnahmeeinheit im Breitendetektionsschritt des in 5 dargestellten Schneidverfahrens aufgenommene Abbildung darstellt;
- 9 ist eine Perspektivansicht eines Spiegelwafers, in dem Schneidnuten in einem Schneidschritt eines Schneidverfahrens gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auszubilden sind;
- 10 ist eine Perspektivansicht einer Richttafel, in der Schneidnuten im Schneidschritt des Schneidverfahrens gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auszubilden sind; und
- 11 ist eine Explosionsperspektivansicht einer Schneideinheit einer Schneidvorrichtung gemäß einer Modifikation der ersten und zweiten Ausführungsform.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Arten zum Ausführen der vorliegenden Erfindung, d.h. Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, werden hierin detailliert unten unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der unten beschriebenen Ausführungsform beschränkt. Die unten beschriebenen Komponenten decken solche ab, die vom Fachmann im technischen Gebiet einfach vorgesehen werden könnten, und solche, die im Wesentlichen identisch dazu sind. Darüber hinaus können die unten beschriebenen Anordnungen in geeigneten Kombinationen verwendet werden. Unterschiedliche Auslassungen, Ersetzungen oder Änderungen der Anordnungen können erfolgen, ohne vom Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
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[Erste Ausführungsform]
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Ein Schneidverfahren und eine Schneidvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden unten unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden. 1 stellt perspektivisch teilweise in einer Blockform ein Ausgestaltungsbeispiel der Schneidvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform dar. 2 stellt in einer Explosionsperspektive eine Schneideinheit der Schneidvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform dar. 3 stellt perspektivisch eine Schneidklinge der in 2 dargestellten Schneideinheit dar. 4 stellt in einer Draufsicht ein Unterbringungsgehäuse dar, das die in 3 dargestellte Schneidklinge unterbringt.
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Die in 1 durch 1 bezeichnete Schneidvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform ist eine Vorrichtung zum Schneiden, d.h. Bearbeiten, eines Werkstücks 200. Gemäß der ersten Ausführungsform ist das Werkstück 200 ein Wafer wie beispielsweise ein scheibenförmiger Halbleiterwafer oder ein aus einem Basismaterial wie Silizium, Saphir oder Gallium hergestellter Optikbauelementwafer. Das Werkstück 200 weist eine durch ein Gitter aus Straßen 202 daran in mehrere Bereiche, in denen jeweilige Bauelemente 203 ausgebildet werden, unterteilte Flächenseite auf.
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Das Werkstück 200 könnte ein TAIKO (eingetragene Marke)-Wafer mit einem dünneren zentralen Abschnitt und einem dickeren äußeren Umfangsabschnitt sein oder könnte ein rechteckiges Packungssubstrat mit mehreren in Kunststoff eingehüllten Bauelementen daran, eine Keramikplatte, eine Glasplatte oder dergleichen sein. Das Werkstück 200 weist eine Rückseite 204 auf, an der ein scheibenförmiges Haftband 206 befestigt ist. Ein ringförmiger Rahmen 205, dessen innerer Durchmesser größer als der äußere Durchmesser des Werkstücks 200 ist, ist an einem äußeren Umfangsrandabschnitt des Haftbandes 206 befestigt, sodass das Werkstück 200 in einer inneren Öffnung im ringförmigen Rahmen 205 angeordnet ist. Deswegen ist das Werkstück 200 gemäß der ersten Ausführungsform ein in einzelne Bauelementchips jeweils mit den Bauelementen 203 zu teilendes Produktwerkstück. Das Produktwerkstück bezieht sich auf das in einzelne Bauelementchips zu unterteilende Werkstück 200 mit den Bauelementen 203 zur Verwendung in unterschiedlichen elektronischen Geräten.
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Die in 1 dargestellte Schneidvorrichtung 1 ist eine Vorrichtung, die das Werkstück 200 an einem an einer Vorrichtungsbasis 2 angeordneten Haltetisch 10 trägt und das Werkstück 200 entlang der Straßen 202 mit einer Schneidklinge 21 schneidet. Wie in 1 dargestellt ist, weist die Schneidvorrichtung 1 den Haltetisch 10 als ein Haltemittel zum Halten des Werkstücks 200 unter Ansaugung an einer Halteoberfläche 11, eine Schneideinheit 20 als ein Schneidmittel mit der Schneidklinge 21 zum Schneiden des am Haltetisch 10 gehaltenen Werkstücks 200 und einer Spindel 22, an der die Schneidklinge 21 austauschbar angebracht ist, eine Abbildungsaufnahmeeinheit 30 als ein Aufnahmemittel zum Aufnehmen einer Abbildung des am Haltetisch 10 gehaltenen Werkstücks 200 und eine Steuerungseinheit 100 als ein Steuerungsmittel auf.
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Wie in 1 dargestellt ist, weist die Schneidvorrichtung 1 auch eine Bewegungseinheit 40 als ein Bewegungsmittel zum Bewegen der Schneideinheit 20 relativ zum Haltetisch 10 auf. Die Bewegungseinheit 40 weist eine X-Achsen-Bewegungseinheit 41 zum Bearbeitungszuführen des Haltetischs 10 in zu horizontalen Richtungen parallelen X-Achsen-Richtungen und Querrichtungen der Vorrichtungsbasis 2, eine Y-Achsen-Bewegungseinheit 42 zum Index-Zuführen der Schneideinheit 20 in zu horizontalen Richtungen und Längsrichtungen der Vorrichtungsbasis 2 parallelen und zu den X-Achsen-Richtungen senkrechten Y-Achsen-Richtungen, eine Z-Achsen-Bewegungseinheit 43 zum Einschneidzuführen der Schneideinheit 20 in zu zu sowohl den X-Achsen-Richtungen als auch den Y-Achsen-Richtungen senkrechten vertikalen Richtungen parallelen Z-Achsen-Richtungen und eine Drehbewegungseinheit 44 zum Drehen des Haltetischs 10 um eine zu den Z-Achsen-Richtungen parallele zentrale Achse auf, wobei die Drehbewegungseinheit 44 gemeinsam mit dem Haltetisch 10 durch die X-Achsen-Bewegungseinheit 41 in den X-Achsen-Richtungen bearbeitungszuführbar ist.
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Der Haltetisch 10 weist eine Scheibenform auf, wobei die Halteoberfläche 11 zum Halten des Werkstücks 200 daran aus einem porösen Material wie beispielsweise einer porösen Keramik hergestellt ist. Der Haltetisch 10 ist durch die X-Achsen-Bewegungseinheit 41 in den X-Achsen-Richtungen bewegbar und durch das Drehbewegungsmittel 44 um die zentrale Achse drehbar. Der Haltetisch 10 ist mit einer nicht dargestellten Vakuumansaugquelle verbunden, die Ansaugkräfte auf die Halteoberfläche 11 zum Anziehen und Halten des Werkstücks 200 unter Ansaugung daran aufbringt. Mehrere Klemmen 12 zum Klemmen des ringförmigen Rahmens 205 um die Halteoberfläche 11 sind um den Haltetisch 10 angeordnet.
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Die Schneideinheit 20 ist ein Schneidmittel, wobei die Schneidklinge 21 zum Schneiden des am Haltetisch 10 gehaltenen Werkstücks 200 lösbar an ihrem Platz angebracht ist. Die Schneideinheit 20 ist in Bezug auf das am Haltetisch 10 gehaltene Werkstück 200 durch die Y-Achsen-Bewegungseinheit 42 in den Y-Achsen-Richtungen bewegbar und ist auch durch die Z-Achsen-Bewegungseinheit 43 in den Z-Achsen-Richtungen bewegbar.
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Wie in 1 dargestellt ist, ist die Schneideinheit 20 an einem an der Vorrichtungsbasis 2 errichteten Tragrahmen 3 angeordnet, wobei die Y-Achsen-Bewegungseinheit 42 und die Z-Achsen-Bewegungseinheit 43 dazwischen angeordnet sind. Die Schneideinheit 20 wird durch die Y-Achsen-Bewegungseinheit 42 und die Z-Achsen-Bewegungseinheit 43 bewegt, um die Schneidklinge 21 an einer gewünschten Position an der Halteoberfläche 11 des Haltetischs 10 zu positionieren.
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Wie in 2 dargestellt ist, weist die Schneideinheit 20 zusätzlich zur Schneidklinge 21 und der Spindel 22 mit der an ihrem distalen Ende angebrachten Schneidklinge 21 ein durch die Y-Achsen-Bewegungseinheit 42 bzw. die Z-Achsen-Bewegungseinheit 43 in den Y-Achsen-Richtungen und den Z-Achsen-Richtungen bewegbares Spindelgehäuse 23, das die Spindel 22 darin um ihre eigene zentrale Achse drehbar unterbringt, einen nicht dargestellten im Spindelgehäuse 23 untergebrachten Spindelmotor zum Drehen der Spindel 22 um ihre eigene zentrale Achse und einen Flanschmechanismus 24 auf, durch den die Schneidklinge 21 lösbar am distalen Ende der Spindel 22 angebracht wird.
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Die Schneidklinge 21 weist die Form eines ultradünnen Schneidschleifsteins auf, der im Wesentlichen eine Ringform aufweist. Gemäß der ersten Ausführungsform weist die Schneidklinge 21 eine ringförmige Basis 212 mit einem zentral darin definierten Anbringloch 211, einen an einem äußeren Umfangsrandabschnitt der Basis 212 angeordneten ringförmigen Schneidrand 213 und einem Identifikationscode 214 auf. Der Identifikationscode 214 beinhaltet zumindest die Information über eine Kerbbreite, welche die Breite der Schneidnuten 207 darstellt, die in 1 durch die gestrichelten Linien dargestellt sind, die im Werkstück 200 von der Schneidklinge 21 ausgebildet werden, bevor die Schneidklinge 21 von der Fabrik, welche die Schneidklinge 21 herstellt, ausgeliefert wird. Mit anderen Worten stellt die Kerbbreite die Breite der Schneidnuten 207 vor dem Ausliefern der Schneidklinge 21 aus der Fabrik dar.
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Gemäß der ersten Ausführungsform wird der Identifikationscode 214 auf eine Endfläche der in 2 und 3 dargestellten Basis 212 aufgebracht. Gemäß der vorliegenden Erfindung könnte der Identifikationscode 214 allerdings auf die Oberfläche eines in 4 dargestellten Unterbringungsgehäuses 215 aufgebracht werden, das die Schneidklinge 21 unterbringt, wenn die Schneidklinge 21 transportiert wird. Der Identifikationscode 214 könnte ein zweidimensionaler Code, ein Barcode, eine Spezifikations-Inschrift aus einer Gruppe von Buchstaben und/oder einer Gruppe von Ziffern oder dergleichen sein, die zumindest die Information über die Kerbbreite darstellt.
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Der Flanschmechanismus 24 weist eine am distalen Ende der Spindel 22 durch einen in ein im distalen Ende der Spindel 22 definiertes Innengewindeloch 221 geschraubten Bolzen 25 am distalen Ende der Spindel 22 befestigte Anbringung 26 und eine über Außengewinde 262 an der äußeren Umfangsoberfläche einer Nabe 261 der Anbringung 26 geschraubte Mutter 27 auf.
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Die Anbringung 26 weist die Nabe 261, die eine Röhrenform aufweist, durch welche das distale Ende der Spindel 22 eingebracht ist, und einen von einem Endabschnitt der Nabe 261 näher am Spindelgehäuse 23 nach radial auswärts vorstehenden ringförmigen Flansch 236 auf. Die Nabe 261 weist die Außengewinde 262 an der äußeren Umfangsoberfläche davon auf und ist in das Anbringungsloch 211 in der Basis 212 der Schneidklinge 21 eingebracht. Die Mutter 27 ist über die Außengewinde 262 der in das Anbringungslochs 211 der Schneidklinge 21 eingebrachten Nabe 261 geschraubt.
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Die Schneidklinge 21 ist durch den Flanschmechanismus 24 am distalen Ende der Spindel 22 so angebracht, dass die Nabe 261 der am distalen Ende der Spindel 22 befestigten Anbringung 26 in das Anbringungsloch 211 eingebracht wird und die Mutter 27 über die Außengewinde 262 geschraubt wird, wobei die Basis 212 zwischen dem Flansch 263 und der Mutter 27 in die Mitte genommen wird. Der Flanschmechanismus 24 ermöglicht, dass die Schneidklinge 21 durch die Anbringung 26 von der Spindel 22 gelöst wird, wenn die Mutter 27 von den Außengewinden 262 entfernt wird.
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Die jeweiligen zentralen Achsen der Spindel 22 und der Schneidklinge 21 der Schneideinheit 20 sind parallel zu den Y-Achsen-Richtungen.
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Die X-Achsen-Bewegungseinheit 41 bearbeitungszuführt den Haltetisch 10 und die Schneideinheit 20 relativ zueinander in den X-Achsen-Richtungen durch ein Bewegen des Haltetischs 10 in den X-Achsen-Richtungen, die Bearbeitungszuführrichtungen sind. Die Y-Achsen-Bewegungseinheit 42 indexzuführt den Haltetisch 10 und die Schneideinheit 20 relativ zueinander in den Y-Achsen-Richtungen durch ein Bewegen der Schneideinheit 20 in den Y-Achsen-Richtungen, die Index-Zuführrichtungen sind. Die Z-Achsen-Bewegungseinheit 43 einschneidzuführt den Haltetisch 10 und die Schneideinheit 20 relativ zueinander in den Z-Achsen-Richtungen durch ein Bewegen der Schneideinheit 20 in den Z-Achsen-Richtungen, die Einschneidzuführrichtungen sind.
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Die X-Achsen-Bewegungseinheit 41, die Y-Achsen-Bewegungseinheit 42 und die Z-Achsen-Bewegungseinheit 43 weisen jeweils eine um ihre eigene zentrale Achse drehbare bekannte Kugelgewindespindel, einen bekannten Schrittmotor zum Drehen der Kugelgewindespindel um ihre eigene zentrale Achse und ein bekanntes Paar Führungsschienen, die den Haltetisch 10 oder die Schneideinheit 20 bewegbar in den X-Achsen-Richtungen, den Y-Achsen-Richtungen oder den Z-Achsen-Richtungen tragen, auf.
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Die Schneidvorrichtung 1 weist ferner eine nicht dargestellte X-Achsen-Richtungspositionsdetektionseinheit zum Detektieren der Position des Haltetischs 10 in den X-Achsen-Richtungen, eine nicht dargestellte Y-Achsen-Positionsdetektionseinheit zum Detektieren der Position der Schneideinheit 20 in den Y-Achsen-Richtungen und eine nicht dargestellte Z-Achsen-Richtungspositionsdetektionseinheit zum Detektieren der Position der Schneideinheit 20 in den Z-Achsen-Richtungen auf. Die X-Achsen-Richtungspositionsdetektionseinheit und die Y-Achsen-Richtungspositionsdetektionseinheit können jeweils eine zu den X-Achsen-Richtungen oder den Y-Achsen-Richtungen parallele Linearskala und einen Lesekopf aufweisen. Die Z-Achsen-Richtungspositionsdetektionseinheit detektiert die Position der Schneideinheit 20 in den Z-Achsen-Richtungen mit Pulsen des Schrittmotors. Die X-Achsen-Richtungspositionsdetektionseinheit, die Y-Achsen-Richtungspositionsdetektionseinheit und die Z-Achsen-Richtungspositionsdetektionseinheit geben ein die Position des Haltetischs 10 in den X-Achsen-Richtungen darstellendes Signal und die Positionen der Schneideinheit 20 in den Y-Achsen-Richtungen und den Z-Achsen-Richtungen darstellende Signale zur Steuerungseinheit 100 aus. Gemäß der ersten Ausführungsform sind die Positionen, auf die oben Bezug genommen wurde, als Entfernungen von vorgegebenen Referenzpositionen in den X-Achsen-Richtungen, den Y-Achsen-Richtungen und den Z-Achsen-Richtungen definiert.
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Die Schneidvorrichtung 1 weist ferner einen Kassettenaufzug 50 zum Platzieren einer Kassette 51 darin, die Werkstücke 200 unterbringt, bevor und nachdem sie geschnitten werden, und zum Bewegen der Kassette 51 in den Z-Achsen-Richtungen, eine Reinigungseinheit 60 zum Reinigen von Werkstücken 200, bevor und nachdem sie geschnitten werden, und eine nicht dargestellte Liefereinheit zum herein- und herausbringen von Werkstücken 200 in die und aus der Kassette 51 und zum Liefern von Werkstücken 200 auf.
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Die Abbildungsaufnahmeeinheit 30 ist an der Schneideinheit 20 zur gemeinsamen Bewegung damit befestigt. Die Abbildungsaufnahmeeinheit 30 weist ein Abbildungsaufnahmeelement zum Aufnehmen einer Abbildung eines zu teilenden Bereichs des zu schneidenden Werkstücks 200, das am Haltetisch 10 gehalten wird, auf. Das Abbildungsaufnahmeelement weist beispielsweise die Form eines Sensors mit einer ladungsgekoppelten Vorrichtung (CCD) oder eines Sensors mit einem komplementären MOS (CMOS) auf. Die Abbildungsaufnahmeeinheit 30 nimmt eine in einem Ausrichtungsschritt zum Positionieren des Werkstücks 200 und der Schneidklinge 21 in Bezug auf einander zu verwendende Abbildung des am Haltetisch 10 gehaltenen Werkstücks 200 auf und gibt die Abbildung zur Steuerungseinheit 100 aus.
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Die Abbildungsaufnahmeeinheit 30 weist ein Epi-Beleuchtungs-Element, auch als ein Koaxial-Beleuchtungs-Element bezeichnet, und ein Schrägbeleuchtungs-Element zum Aufbringen von Bestrahlungslicht auf das am Haltetisch 10 gehaltene Werkstück 200 auf. Das Epi-Beleuchtungs-Element bringt Bestrahlungslicht in einer zur optischen Achse des Abbildungsaufnahmeelements koaxialen Richtung zum am Haltetisch 10 gehaltenen Werkstück 200 auf. Das Schrägbeleuchtung-Element bringt Bestrahlungslicht in einer zur optischen Achse des Abbildungsaufnahmeelements transversalen Richtung zum am Haltetisch 10 gehaltenen Werkstück 200 auf. Das Epi-Beleuchtungs-Element und das Schrägbeleuchtungs-Element emittieren jeweilige voreingestellte Mengen an Bestrahlungslicht.
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Die Steuerungseinheit 100 steuert die oben beschriebenen Komponenten der Schneidvorrichtung 1, um zu ermöglichen, dass die Schneidvorrichtung 1 das Werkstück 200 bearbeitet. Insbesondere steuert die Steuerungseinheit 100 zumindest die Bewegungseinheit 40. Die Steuerungseinheit 100 weist die Form eines Computers mit einer arithmetischen Verarbeitungsvorrichtung mit einem Prozessor wie beispielsweise einer zentralen Verarbeitungseinheit (CPU), einer Speichervorrichtung mit einem Speicher wie beispielsweis einem Festspeicher (ROM) und/oder einem Arbeitsspeicher (RAM) und einer Eingabe-/Ausgabeschnittstellenvorrichtung auf. Die arithmetische Verarbeitungsvorrichtung der Steuerungseinheit 100 führt arithmetische Verarbeitungsvorgänge gemäß in der Speichervorrichtung gespeicherten Programmen durch und gibt Steuerungssignale zum Steuern der Schneidvorrichtung 1 durch die Eingabe-/Ausgabeschnittstellenvorrichtung zu den oben beschriebenen Komponenten der Schneidvorrichtung 1 aus.
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Die Steuerungseinheit 100 ist mit einer nicht dargestellten Anzeigeeinheit wie beispielsweise einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung zum Anzeigen von Zuständen und Abbildungen in Bearbeitungsabfolgen der Schneidvorrichtung 1 und einer Eingabeeinheit verbunden, die der Bediener verwendet, um Bearbeitungsdetails darstellende Informationen zu registrieren. Die Eingabeeinheit weist ein in der Anzeigeeinheit vorhandenes Touchpanel und/oder externe Eingabevorrichtungen wie beispielsweise eine Tastatur auf.
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Wie in 1 dargestellt ist, weist die Schneidvorrichtung 1 auch eine Informationseinheit 110 und eine Leseeinheit 120 als ein Lesemittel auf. Die Informationseinheit 110 informiert den Bediener über eine notwendige Information, indem sie ein Geräusch und/oder ein Licht als eine Warnung ausgibt.
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Die Leseeinheit 120 liest den Identifikationscode 214 und gibt Informationen über die durch den Identifikationscode 214 dargestellte Kerbbreite zur Steuerungseinheit 100 aus. In einem Fall, in dem der Identifikationscode 214 ein zweidimensionaler Code oder ein Barcode ist, ist die Leseeinheit 120 ein Code-Leser (Barcode-Leser). In einem Fall, in dem der Identifikationscode 214 eine Spezifikations-Inschrift ist, ist die Leseeinheit 120 als ein Optical Character Recognition-Einrichtung/-Leser (OCR) aufgebaut.
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Wie in 1 dargestellt ist, weist die Steuerungseinheit 100 einen Speicherabschnitt 101, einen Breitendetektionsabschnitt 102, einen Vergleichsabschnitt 103, einen Speicherabschnitt 104 für einen zulässigen Bereich und einen Warnungsausgabeabschnitt 105 auf.
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Der Speicherabschnitt 101 speichert die von der Leseeinheit 120, die den Identifikationscode 214 der Schneidklinge 21 gelesen hat, erhaltene Information über die Kerbbreite. Der Breitendetektionsabschnitt 102 detektiert die Breite einer vom Schneidrand 213 der Schneidklinge 21, welche die Schneideinheit 20 dazu gebracht hat, ins Werkstück 200 zu schneiden, im Werkstück 20 ausgebildeten Schneidnut 207 aus einer von der Abbildungsaufnahmeeinheit 30 aufgenommenen (siehe 8) davon.
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Der Vergleichsabschnitt 103 vergleicht die vom Breitendetektionsabschnitt 102 detektierte Breite der Schneidnut 207 mit der im Speicherabschnitt 101 gespeicherten Kerbbreite. Der Speicherabschnitt 104 des zulässigen Bereichs speichert einen einem zulässigen Bereich für die Breite der Schneidnut 207 entsprechenden zulässigen Wert gemäß der vom Bediener registrierten, Bearbeitungsdetails darstellenden, Information. Der zulässige Wert für die Breite der Schneidnut 207 ist ein Wert, der den zulässigen Bereich für die Breite der Schneidnut 207 darstellt, der in Bezug auf die Kerbbreite festgelegt wurde, und wird verwendet, um zu bestimmen, ob die Breite der im Werkstück 100 von der Schneidklinge 21 ausgebildeten Schneidnut 207 akzeptabel ist oder nicht. Wenn der Unterschied zwischen der Breite der Schneidnut 207 und der Kerbreite den zulässigen Wert überschreitet, dann wird bestimmt, dass die Breite der Schneidnut 207 inakzeptabel ist. Wenn die Differenz zwischen der Breite der Schneidnut 207 und der Kerbbreite gleich oder kleiner als der zulässige Wert ist, wird bestimmt, dass die Breite der Schneidnut 207 akzeptabel ist.
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In einem Fall, in dem die vom Breitendetektionsabschnitt 102 detektierte Breite der Schneidnut 207 und die im Speicherabschnitt 101 gespeicherte Kerbbreite, die vom Vergleichsabschnitt 103 miteinander verglichen wurden, voneinander um einen Wert abweichen, der größer ist als der zulässige Wert, d.h. der zulässige Bereich, der im Speicherabschnitt 104 für den zulässigen Bereich gespeichert ist, betätigt der Warnungsausgabeabschnitt 105 die Informationseinheit 110, um eine Warnung auszugeben.
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Die Funktion des Speicherabschnitts 101 wird durch die Speichervorrichtung realisiert, wenn die Speichervorrichtung die Information über die Kerbbreite speichert. Die Funktionen des Vergleichsabschnitts 103 und des Warnungsausgabeabschnitts 105 werden durch die arithmetische Verarbeitungsvorrichtung realisiert, wenn die arithmetische Verarbeitungsvorrichtung die in der Speichervorrichtung gespeicherten Computerprogramme ausführt. Die Funktion des Speicherabschnitts 104 für den zulässigen Bereich wird durch die Speichervorrichtung realisiert, wenn die Speichervorrichtung den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, speichert.
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Als nächstes wird unten ein Bearbeitungsvorgang der Schneidvorrichtung 1, d.h. das Schneidverfahren gemäß der ersten Ausführungsform, unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden. 5 ist ein Flussdiagramm der Abfolge des Schneidverfahrens gemäß der ersten Ausführungsform.
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Das Schneidverfahren gemäß der ersten Ausführungsform stellt den Bearbeitungsvorgang der Schneidvorrichtung 1 dar, in der die Schneidklinge 21 an die Spindel 22 angebracht ist und die an der Spindel 22 angebrachte Schneidklinge 21 dazu gebracht wird, in das Werkstück 200 zu schneiden, um das Werkstück 200 zu schneiden. Mit anderen Worten ist das Schneidverfahren gemäß der ersten Ausführungsform ein Verfahren zum Anbringen der Schneidklinge 21 an der Spindel 22 und des Bewirkens, dass die Schneidvorrichtung 1 mit der am distalen Ende der Spindel 22 angebrachten Schneidklinge 21 das Werkstück 200 schneidet.
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Wie in 5 dargestellt ist, weist das Schneidverfahren einen Identifikationscodeleseschritt ST1, einen Klingenanbringschritt ST2, einen Schneidschritt ST3, einen Breitendetektionsschritt ST4, einen Vergleichsschritt ST5, einen Warnschritt ST6 und einen Produktschneidschritt ST7 auf.
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Bevor das Schneidverfahren gemäß der ersten Ausführungsform, d.h. der Bearbeitungsvorgang der Schneidvorrichtung 1, startet, nimmt die Steuerungseinheit 100 eine Bearbeitungsdetailinformation an, die der Bediener in die Eingabeeinheit eingegeben hat, und registriert diese. Die Bearbeitungsdetailinformation beinhaltet den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, für die Breite der Schneidnut 207 und die Anzahl an im Schneidschritt ST3 etc. auszubildenden Schneidnuten 207. Der Speicherabschnitt 104 für den zulässigen Bereich speichert den somit eingegebenen zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, für die Breite der Schneidnut 207. Das Schneidverfahren gemäß der ersten Ausführungsform, d.h. der Bearbeitungsvorgang der Schneidvorrichtung 1, startet, wenn der Bediener die die Werkstücke 200, bevor sie geschnitten werden, unterbringende Kassette 51 am Kassettenaufzug 50 platziert und die Steuerungseinheit 100 einen Befehl annimmt, den Bearbeitungsvorgang zu starten, den der Bediener in die Eingabeeinheit eingegeben hat.
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(Identifikationscodeleseschritt)
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Der Identifikationscodeleseschritt ST1 ist ein Schritt eines Lesens des Identifikationscodes 214 der an der Spindel 22 anzubringenden Schneidklinge 21 mit der Leseeinheit 120, um die vom Identifikationscode 214 dargestellte Information über die Kerbbreite zu erhalten. Wenn der Bearbeitungsvorgang startet, schreitet die Abfolge zum Identifikationscodeleseschritt ST1. Im Identifikationscodeleseschritt ST1 liest die Leseeinheit 120 der Schneidvorrichtung 1 den Identifikationscode 214 der Schneidklinge 21 und gibt die vom gelesenen Identifikationscode 214 dargestellte Information über die Kerbbreite zur Steuerungseinheit 100 aus. Im Identifikationscodeleseschritt ST1 speichert der Speicherabschnitt 101 der Steuerungseinheit 100 die von der Leseeinheit 120 erhaltene Information über die Kerbbreite. Danach schreitet die Abfolge zum Klingenanbringschritt ST2.
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(Klingenanbringschritt)
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Der Klingenanbringschritt ST2 ist ein Schritt eines Anbringens der Schneidklinge 21 am distalen Ende der Spindel 22 der Schneideinheit 20, nachdem der Identifikationscodeleseschritt ST1 ausgeführt wurde. Gemäß der ersten Ausführungsform bringt der Bediener im Klingenanbringschritt ST2 die Schneidklinge 21, deren Identifikationscode 214 im Identifikationscodeleseschritt ST1 gelesen wurde, am distalen Ende der Spindel 22 an. Danach schreitet die Abfolge zum Schneidschritt ST3.
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(Schneidschritt)
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6 stellt schematisch in einer Seitenansicht, teilweise in einem Querschnitt, einen Schneidschritt des in 5 dargestellten Schneidverfahrens dar. Der Schneidschritt ST3 ist ein Schritt eines Schneidens des Werkstücks 200, um darin eine Schneidnut 207 auszubilden, nachdem der Klingenanbringschritt ST2 ausgeführt wurde.
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Gemäß der ersten Ausführungsform nimmt im Schneidschritt ST3 die Liefereinheit der Schneidvorrichtung 1 ein Werkstück 200 aus der Kassette 51 und platziert das Werkstück 200 an der Halteoberfläche 11 des Haltetischs 10, der Haltetisch 10 hält das Werkstück 200 unter Ansaugung an der Halteoberfläche 11 mit dem dazwischen angeordneten Haftband 206 und die Klemmen 12 klemmen den ringförmigen Rahmen 205 an einer Position um den Haltetisch 10. Im Schneidschritt ST3 bewegt die Bewegungseinheit 40 den Haltetisch 10 zu einer Position unter der Abbildungsaufnahmeeinheit 30, die Abbildungsaufnahmeeinheit 30 nimmt eine Abbildung unter Ansaugung des an der Halteoberfläche 11 gehaltenen Werkstücks 200 auf und der Ausrichtungsschritt wird durchgeführt.
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Im Schneidschritt ST3 bewegt die Bewegungseinheit 40 auf der Basis der Bearbeitungsdetailinformation die Schneidklinge 21 und das Werkstück 200 entlang einiger der Straßen 202 relativ zueinander, wobei das Werkstück 200 entlang der Straßen 202 geschnitten wird, um so viele Schneidnuten 207 im Werkstück 200 auszubilden wie die durch die Bearbeitungsdetailinformationen dargestellte Anzahl an Schneidnuten 207. Danach schreitet die Abfolge zum Breitendetektionsschritt ST4. Die durch die Bearbeitungsdetailinformationen dargestellte und im Schneidschritt ST3 ausgebildete Anzahl an Schneidnuten 207 kann eins oder mehr betragen.
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(Breitendetektionsschritt)
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7 stellt schematisch in einer Seitenansicht, teilweise in einem Querschnitt, einen Breitendetektionsschritt des in 5 dargestellten Schneidverfahrens dar. 8 stellt schematisch eine im Breitendetektionsschritt des in 5 dargestellten Schneidverfahrens von einer Abbildungsaufnahmeeinheit 30 aufgenommene Abbildung dar. Der Breitendetektionsschritt ST4 ist ein Schritt eines Aufnehmens einer eine der im Schneidschritt ST3 ausgebildeten Schneidnuten 207 abdeckenden Abbildung mit der Abbildungsaufnahmeeinheit 30 und eines Detektierens der Breite der Schneidnut 207.
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Gemäß der ersten Ausführungsform positioniert die Schneidvorrichtung 1 im Breitendetektionsschritt ST4 einen vorgegebenen Bereich einer Schneidnut 207 an einer Position unter der Abbildungsaufnahmeeinheit 30 und die Abbildungsaufnahmeeinheit 40 nimmt eine den vorgegebenen Bereich der Schneidnut 207 abdeckende (siehe 8) auf. Gemäß der ersten Ausführungsform nimmt die Abbildungsaufnahmeeinheit 40 in einem Fall, in dem mehrere Schneidnuten 207 im Schneidschritt ST3 im Werkstück 200 ausgebildet werden, eine einen vorgegebenen Bereich von einer der Schneidnuten 207, die schließlich im Werkstück 200 ausgebildet wird, abdeckende auf.
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Gemäß der ersten Ausführungsform beinhaltet die aufgenommene eine Oberfläche 201 des Werkstücks 200, die weiß dargestellt ist, wenn die Menge an von der Abbildungsaufnahmeeinheit 40 von der Oberfläche 201 des Werkstücks 200 empfangenem Licht größer ist, und die Schneidnut 207, die schraffiert dargestellt ist, wenn die von der Abbildungsaufnahmeeinheit 40 von der Schneidnut 207 empfangene Lichtmenge geringer ist. Im Breitendetektionsschritt ST4 führt der Breitendetektionsabschnitt 102 einen bekannten Abbildungsbearbeitungsschritt auf der aufgenommenen aus, um die Schneidnut 207 aus der aufgenommenen zu detektieren und die Breite der Schneidnut 207 zu detektieren. Danach geht die Abfolge zum Vergleichsschritt ST5. Gemäß der ersten Ausführungsform wird in einem Fall, in dem mehrere Schneidnuten 207 im Schneidschritt ST3 wie oben beschrieben im Werkstück 200 ausgebildet werden, die Breite einer der Schneidnuten 207, die schließlich im Werkstück 200 ausgebildet wird, im Breitendetektionsschritt ST4 detektiert.
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(Vergleichsschritt)
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Der Vergleichsschritt ST5 ist ein Schritt eines Vergleichens der Breite der im Breitendetektionsschritt ST4 detektierten Schneidnut 207 und der im Identifikationscodeleseschritt ST1 erhaltenen Kerbbreite miteinander. Im Vergleichsschritt ST5 vergleicht der Vergleichsabschnitt 103 die vom Breitendetektionsabschnitt 102 im Breitendetektionsschritt ST4 detektierte Breite der Schneidnut 207 und die durch den von der Leseeinheit 120 gelesenen und im Identifikationscodeleseschritt ST1 im Speicherabschnitt 101 gespeicherten Identifikaitonscode 214 dargestellte Kerbbreite miteinander und berechnet die Differenz dazwischen. Danach die Abfolge zum Warnschritt ST6.
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(Warnschritt)
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Der Warnschritt ST6 ist ein Schritt eines Ausgebens einer Warnung in einem Fall, in dem die im Breitendetektionsschritt ST4 detektierte Breite der Schneidnut 207 und die im Identifikationscodeleseschritt ST1 erhaltene Kerbbreite voneinander um einen Wert abweichen, der den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, überschreitet. Im Warnschritt ST6 bestimmt der Warnungsausgabeabschnitt 105, ob die Differenz zwischen der vom Breitendetektionsschritt 102 detektierten Breite der Schneidnut 207 und der im Speicherabschnitt 101 gespeicherten Kerbbreite den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, der im Speicherabschnitt 104 des zulässigen Bereichs in ST61 gespeichert ist, übersteigt.
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Im Warnschritt ST6 betätigt der Warnungsausgabeabschnitt 105, wenn der Warnungsausgabeabschnitt 105 bestimmt, dass die Differenz zwischen der Breite der Schneidnut 207 und der Kerbbreite den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich überschreitet (Schritt ST61: ja), die Informationseinheit 110, um eine Warnung auszugeben, die anzeigt, dass die Breite der Schneidnut 207 und die Kerbbreite voneinander um einen Wert abweichen, der den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, übersteigt (ST62), wobei der Bediener gewarnt wird, dass die Schneidklinge 21 ein Problem aufweist. In diesem Fall endet das Schneidverfahren, d.h. der Bearbeitungsvorgang der Schneidvorrichtung 1. Im Warnschritt ST6 schreitet die Abfolge, wenn der Warnungsausgabeabschnitt 105 bestimmt, dass die Differenz zwischen der Breite der Schneidnut 207 und der Kerbbreite den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, nicht übersteigt (Schritt ST61: nein), zum Produktschneidschritt ST7.
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(Produktschneidschritt)
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Der Produktschneidschritt ST7 ist ein Schritt eines Schneidens des Werkstücks 200 als ein Produktwerkstück mit der Schneidklinge, nachdem der Schneidschritt ST3, der Breitendetektionsschritt ST4 und der Vergleichsschritt ST5 ausgeführt wurden. Gemäß der ersten Ausführungsform schneidet die Schneidvorrichtung 1 im Produktschneidschritt ST7 das Werkstück 200 entlang aller Straßen 202, um darin Schneidnuten 207 auszubilden, indem bewirkt wird, dass die Schneidklinge 21 in das Werkstück 200 schneidet, und danach liefert die Liefereinheit das Werkstück 200 zur Reinigungseinheit 60, wo das Werkstück 200 gereinigt wird, und platziert dann das Werkstück 200 wieder in der Kassette 51 (Schritt ST71).
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Im Produktschneidschritt ST7 bestimmt die Steuerungseinheit 100, ob die Schneidvorrichtung 1 alle in der Kassette 51 gespeicherten Werkstücke 200 geschnitten hat oder nicht (Schritt ST72). Wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die Schneidvorrichtung 1 nicht alle in der Kassette 51 gespeicherten Werkstücke 200 geschnitten hat (Schritt ST72: nein), kehrt die Abfolge zu Schritt ST71 zurück, um ein ungeschnittenes Werkstück 200 aus der Kassette 51 herauszunehmen und das Werkstück 200 wie im Schneidschritt ST3 zu schneiden. Wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die Schneidvorrichtung 1 alle in der Kassette 51 gespeicherten Werkstücke 200 geschnitten hat (Schritt ST72: ja), endet das Schneidverfahren, d.h. der Bearbeitungsvorgang der Schneidvorrichtung 1.
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Wie oben beschrieben, erhalten das Schneidverfahren und die Schneidvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform die Information über die Kerbbreite aus dem Identifikationscode 214 im Identifikationscodeleseschritt ST1. Nachdem die Schneidklinge 21 im Klingenanbringschritt ST2 an der Spindel 22 zum Schneiden des Werkstücks 200 angebracht wurde, bilden das Schneidverfahren und die Schneidvorrichtung 1 im Schneidschritt ST3 Schneidnuten 207 im Werkstück 200 aus. Das Schneidverfahren und die Schneidvorrichtung 1 vergleichen dann die Breite einer der Schneidnuten 207 und die Kerbbreite im Vergleichsschritt ST5. Folglich können das Schneidverfahren und die Schneidvorrichtung 1 detektieren, dass die Differenz zwischen der Breite der von der Schneidklinge 21, die tatsächlich das Werkstück 200 schneidet, im Werkstück 200 ausgebildeten Schneidnut 207 und die Kerbbreite den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, überschreitet.
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Darüber hinaus werden, da das Schneidverfahren und die Schneidvorrichtung 1 detektieren können, dass die Differenz zwischen der Breite der Schneidnut 207 und der Kerbbreite den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, überschreiten, Schneidnuten 207 daran gehindert, von den Straßen abzuweichen, wenn das Schneidverfahren und die Schneidvorrichtung 1 das Werkstück 200 als ein Produktwerkstück bearbeiten.
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Darüber hinaus wird in einem Fall, in dem im Schneidschritt ST3 mehrere Schneidnuten 207 im Werkstück 200 ausgebildet werden, die Breite einer der Schneidnuten 207, die schließlich im Werkstück 200 ausgebildet wird, im Breitendetektionsschritt ST4 detektiert. Deswegen ist es möglich, anzuzeigen, dass die Schneidklinge 21 ein Problem aufweist.
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[zweite Ausführungsform]
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Ein Schneidverfahren und eine Schneidvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden unten unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden. 9 stellt in einer Perspektivansicht einen Spiegelwafer dar, in dem Schneidnuten in einem Schneidschritt eines Schneidverfahrens gemäß der zweiten Ausführungsform auszubilden sind. 10 stellt in einer Perspektivansicht eine Richttafel dar, in der im Schneidschritt des Schneidverfahrens gemäß der zweiten Ausführungsform Schneidnuten auszubilden sind. In 9 und 10 sind diejenigen Teile, die identisch zu denjenigen gemäß der ersten Ausführungsform sind, durch identische Bezugszeichen bezeichnet und werden unten nicht detailliert beschrieben werden.
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Das Schneidverfahren und eine Schneidvorrichtung 1, die das Schneidverfahren gemäß der zweiten Ausführungsform ausführt, sind zu denjenigen gemäß der ersten Ausführungsform ähnlich, außer, dass im Schneidschritt ST3 ein in 9 dargestellter Spiegelwafer 200-1 oder eine in 10 dargestellte Richttafel 200-2, was ein vom Werkstück 200 verschiedenes Dummy-Werkstück darstellt, geschnitten wird, um darin Schneidnuten 207 auszubilden. Der in 9 dargestellte Spiegelwafer 200-1 ist ein aus dem gleichen Basismaterial wie das Werkstück 200 hergestellter Wafer und ist ausschließlich aus dem Basismaterial ohne an der Oberfläche 201 ausgebildete Bauelemente 203 hergestellt.
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Die in 10 dargestellte Richttafel 200-2 ist als eine Platte mit einer rechteckigen ebenen Form ausgestaltet und ist aus abrasiven Körnern aus weißem Alundum (WA, Aluminiumoxid-basiert), grünem Karbonit (GC, Siliziumcarbidbasiert) oder dergleichen mit einem Bindematerial aus Kunststoff oder Keramik gemischt hergestellt. Gemäß der zweiten Ausführungsform wird die Richttafel 200-2 von der Schneidklinge 21 geschnitten, um den Schneidrand 213 der Schneidklinge 21 abzunutzen, um das Zentrum eines kreisförmigen äußeren Randes des Schneidrandes 213 in eine Ausrichtung mit der zentralen Achse der Spindel 22 zu bringen.
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Mit dem Schneidverfahren und der Schneidvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform werden Spiegelwafer 200-1 oder Richttafeln 202 als wie bei den Werkstücken 200 an ringförmigen Rahmen 205 getragene Dummy-Werkstücke in der Kassette 51 untergebracht, dann wird einer der Spiegelwafer 200-1 oder eine der Richttafeln 200-2 aus der Kassette 51 entfernt und Schneidnuten 207 werden im Schneidschritt ST3 darin ausgebildet, eine aufgenommene wird im Breitendetektionsschritt ST4 erhalten und danach werden der Spiegelwafer 200-1 oder die Richttafel 200-2 wieder in der Kassette 51 untergebracht.
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Mit dem Schneidverfahren und der Schneidvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform wird im Produktionsschneidschritt ST3 ein ungeschnittenes Werkstück 200 aus der Kassette 51 herausgenommen und geschnitten, wie im Schneidschritt ST3 gemäß der ersten Ausführungsform. Danach wird das Werkstück 200 entlang aller Straßen 202 wie im Produktionsschneidschritt ST7 gemäß der ersten Ausführungsform geschnitten und dann gereinigt, wonach das Werkstück 200 wieder in der Kassette 51 untergebracht wird.
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Mit dem Schneidverfahren und der Schneidvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform ist es, da die Breite der Schneidnut 207 und die Kerbbreite miteinander verglichen werden, möglich, zu detektieren, dass die Differenz zwischen der in dem Spiegelwafer 200-1 oder der Richttafel 200-2 von der Schneidklinge 21, welche den Spiegelwafer 200-1 oder die Richttafel 200-2 tatsächlich schneidet, ausgebildeten Schneidnut 207 und der Kerbbreite den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, überschreitet, wie in der ersten Ausführungsform.
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Darüber hinaus wird in dem Schneidverfahren und der Schneidvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform, da die Schneidnut 207 durch ein Schneiden des Spiegelwafers 200-1 oder der Richttafel 200-2 im Spiegelwafer 200-1 oder Richttafel 200-2 ausgebildet wird, das Werkstück 200 in einem Fall nicht geschnitten, in dem die Differenz zwischen der Breite der Schneidnut 207 und der Kerbbreite den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, überschreitet.
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[Modifikation]
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Ein Schneidverfahren und eine Schneidvorrichtung gemäß einer Modifikation der ersten und zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden unten unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden. 11 stellt in einer Explosionsperspektive eine Schneideinheit der Schneidvorrichtung gemäß einer Modifikation der ersten und zweiten Ausführungsform dar. In 11 sind diejenigen Teile, die denjenigen gemäß der ersten Ausführungsform identisch sind, durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet und werden unten nicht detailliert beschrieben werden.
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Wie in 11 dargestellt ist, ist die Schneidvorrichtung gemäß der Modifikation ähnlich zu der Schneidvorrichtung gemäß der ersten und zweiten Ausführungsform, außer, dass eine Schneidklinge 21-1 eine Scheibenklinge ausschließlich mit einem Schneidrand 213 ist und ein Flanschmechanismus 24-1 einen ringförmigen Drückerflansch 28 mit einem zentral darin definierten Anbringungsloch 281 aufweist, wodurch eine Nabe 261 der Anbringung 26 eingebracht wird, wobei die Schneidklinge 21-1 zwischen der Anbringung 26 und dem Drückerflansch 28 umgriffen wird.
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Mit dem Schneidverfahren und der Schneidvorrichtung 1 gemäß der Modifikation ist es, da die Breite der Schneidnut 207 und die Kerbbreite miteinander verglichen werden, möglich, zu detektieren, dass die Differenz zwischen der Breite der Schneidnut 207, die tatsächlich im Werkstück ausgebildet wird, und der Kerbbreite den zulässigen Wert, d.h. den zulässigen Bereich, überschreitet, wie in den ersten und zweiten Ausführungsformen.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obigen Ausführungsformen und Modifikationen beschränkt. Unterschiedliche Änderungen und Modifikationen können daran erfolgen, ohne vom Umfang der Erfindung abzuweichen.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Patentansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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Zitierte Patentliteratur
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