DE102020126101A1 - Coating device for depositing a coating material on a substrate - Google Patents

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Michael Strack
Janine-Christina Schauer-Paß
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Abstract

Beschichtungsvorrichtung (1) zum Ablagern eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat (2), aufweisend eine Beschichtungskammer (3), welche einen Eintrittsdurchgang (4) und einen Austrittdurchgang (5) aufweist, einen Beschichtungskanal (6), welcher innerhalb der Beschichtungskammer (3) angeordnet ist und eine Eintrittsöffnung (7) und eine Austrittsöffnung (8) aufweist, mindestens eine Zuführleitung (9), welche mit dem Beschichtungskanal (6) verbunden ist und eine Zuführöffnung (10) aufweist, eine mit dem Beschichtungskanal (6) verbundene Primär-Absaugleitung (12) und eine Filtereinrichtung (14), welche mit der Primär-Absaugleitung (12) verbunden ist, wobei die Filtereinrichtung (14) über eine zum Zurückführen der von Beschichtungsmaterial gereinigten Mischung ausgebildete Primär-Rückführleitung (15) mit der Beschichtungskammer (3) verbunden ist, wobei die Primär-Rückführleitung (15) über eine Primär-Rückführmündung (16) in die Beschichtungskammer (3) mündet.

Figure DE102020126101A1_0000
Coating apparatus (1) for depositing a coating material on a substrate (2), comprising a coating chamber (3) having an inlet passage (4) and an outlet passage (5), a coating channel (6) arranged within the coating chamber (3). and has an inlet opening (7) and an outlet opening (8), at least one feed line (9) which is connected to the coating channel (6) and has a feed opening (10), a primary suction line which is connected to the coating channel (6). (12) and a filter device (14), which is connected to the primary suction line (12), the filter device (14) being connected to the coating chamber (3) via a primary return line (15) designed to return the mixture cleaned of coating material. is connected, the primary return line (15) opening into the coating chamber (3) via a primary return orifice (16).
Figure DE102020126101A1_0000

Description

Die Erfindung richtet sich auf eine Beschichtungsvorrichtung zum Ablagern eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat, aufweisend eine Beschichtungskammer, welche zum Ein- und Ausbringen des Substrates einen Eintrittsdurchgang und einen Austrittdurchgang aufweist, einen zum Beschichten des Substrats ausgebildeten Beschichtungskanal, welcher innerhalb der Beschichtungskammer angeordnet ist und welcher zum Ein- und Ausbringen des Substrats eine Eintrittsöffnung und eine Austrittsöffnung aufweist, und mindestens eine zum Zuführen von Beschichtungsmaterial ausgebildete Zuführleitung, welche mit dem Beschichtungskanal verbunden ist und eine in den Beschichtungskanal mündende Zuführöffnung aufweist. Bei dem Substrat kann es sich beispielsweise um ein Stahlband handeln.The invention is directed to a coating device for depositing a coating material on a substrate, comprising a coating chamber which has an inlet passage and an outlet passage for bringing the substrate in and out, a coating channel designed for coating the substrate, which is arranged inside the coating chamber and which has an inlet opening and an outlet opening for introducing and removing the substrate, and at least one feed line designed for feeding in coating material, which is connected to the coating channel and has a feed opening opening into the coating channel. The substrate can be a steel strip, for example.

Die WO 2016/042079 offenbart eine Vorrichtung zur Ausbildung von Beschichtungen auf einem Substrat, welches zum Beispiel ein bandförmiges Material oder ein Werkzeug sein kann, wobei bei der Vorrichtung das Beschichtungsmaterial durch einen Lichtbogen verdampft und mittels eines Trägergasstroms zum zu beschichtenden Substrat transportiert wird. Bei dieser bekannten Vorrichtung ist es von Nachteil, dass das derart zugeführte und überschüssige Beschichtungsmaterial nicht ausschließlich auf dem zu beschichtenden Substrat kondensiert, sondern auch an jeder anderen Stelle in dem Beschichtungsraum, welcher eine Temperatur unterhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials besitzt und welcher bei der WO 2016/042079 als eine Vakuumkammer ausgebildet ist.the WO 2016/042079 discloses a device for forming coatings on a substrate, which can be, for example, a strip-shaped material or a tool, with the device vaporizing the coating material by means of an arc and being transported to the substrate to be coated by means of a carrier gas stream. A disadvantage of this known device is that the excess coating material supplied in this way does not only condense on the substrate to be coated, but also at any other point in the coating chamber which has a temperature below the condensation temperature of the coating material and which at the WO 2016/042079 is designed as a vacuum chamber.

Eine Beschichtungsvorrichtung der in der Einleitung genannten Art ist zum Beispiel aus der DE 10 2004 041 854 bekannt, wobei bei dieser Beschichtungsvorrichtung innerhalb der als Vakuumkammer ausgebildeten Beschichtungskammer ein Beschichtungskanal bzw. Bedampfungskanal angeordnet ist, welcher beheizbar ausgebildet ist und welcher eine zum Beschichten des Substrates eingerichtete Düse aufweist, welche mit einer zum Zuführen von Beschichtungsmaterial ausgebildeten Zuführleitung verbunden ist. Zum Schutz des Substrats in einem Störfall, wie beispielsweise einer Änderung der Transportgeschwindigkeit des durch den Beschichtungskanal geförderten Substrats oder bei Stillstand des Substrats, sieht die DE 10 2004 041 854 vor, dass durch Einschub eines Hohlkörpers der Beschichtungskanal in einen inneren Raum und in einen äußeren Raum getrennt wird, so dass sich das Substrat geschützt im inneren Raum befindet. Auf diese Weise scheidet sich das in den Beschichtungskanal einströmende Beschichtungsmaterial nicht auf dem Substrat ab. Ebenso findet keine unkontrollierte Beschichtung des Substrats in einem Störfall statt. Dabei ist es bei der DE 10 2004 041 854 aber von Nachteil, dass die sich außen an dem Hohlkörper absetzende Menge überschüssigen Beschichtungsmaterials nicht kontinuierlich abgeführt werden kann, so dass entweder aufwendige Wechselvorrichtungen oder Prozessunterbrechungen inklusive einer Belüftung der Beschichtungskammer bzw. der Vakuumkammer notwendig werden.A coating device of the type mentioned in the introduction is, for example, from DE 10 2004 041 854 known, wherein in this coating device a coating channel or vaporization channel is arranged within the coating chamber designed as a vacuum chamber, which can be heated and which has a nozzle designed for coating the substrate, which is connected to a feed line designed for supplying coating material. The DE 10 2004 041 854 proposes that the coating channel is separated into an inner space and an outer space by inserting a hollow body, so that the substrate is protected in the inner space. In this way, the coating material flowing into the coating channel is not deposited on the substrate. Likewise, there is no uncontrolled coating of the substrate in the event of an accident. It is at the DE 10 2004 041 854 However, the disadvantage is that the amount of excess coating material that settles on the outside of the hollow body cannot be continuously removed, so that either complex changing devices or process interruptions including ventilation of the coating chamber or the vacuum chamber are necessary.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine Lösung zu schaffen, die eine verbesserte Beschichtungsvorrichtung bereitstellt, durch welche überschüssiges Beschichtungsmaterial auf konstruktiv einfache Weise kontinuierlich abgeführt werden kann und ein kontinuierlicher Betrieb der Beschichtungsvorrichtung ohne aufwendige Wechselvorrichtungen möglich ist. Ebenso beinhaltet die Aufgabe dabei, dass die Beschichtungsvorrichtung das eigentliche Aufbringen des Beschichtungsmaterials nicht stört oder behindert und dass nur der überschüssige Anteil des Beschichtungsmaterials abgeführt wird, nicht jedoch die Dämpfe des Beschichtungsmaterials, welche noch auf dem zu beschichtenden Material kondensieren könnten.The object of the invention is to create a solution that provides an improved coating device, through which excess coating material can be continuously removed in a structurally simple manner and continuous operation of the coating device is possible without expensive changing devices. The task also includes that the coating device does not disturb or impede the actual application of the coating material and that only the excess portion of the coating material is removed, but not the vapors of the coating material, which could still condense on the material to be coated.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Beschichtungsvorrichtung mit den Merkmalen gemäß dem Anspruch 1.The object is achieved according to the invention by a coating device with the features according to claim 1.

Die erfindungsgemäße Beschichtungsvorrichtung zum Ablagern eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat weist eine Beschichtungskammer, welche zum Ein- und Ausbringen des Substrates einen Eintrittsdurchgang und einen Austrittdurchgang aufweist, einen zum Beschichten des Substrats ausgebildeten Beschichtungskanal, welcher innerhalb der Beschichtungskammer angeordnet ist und welcher zum Ein- und Ausbringen des Substrats eine Eintrittsöffnung und eine Austrittsöffnung aufweist, und mindestens eine zum Zuführen von Beschichtungsmaterial ausgebildete Zuführleitung, welche mit dem Beschichtungskanal verbunden ist und eine in den Beschichtungskanal mündende Zuführöffnung aufweist, auf. Ferner weist die erfindungsgemäße Beschichtungsvorrichtung eine zum Absaugen einer Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial aus dem Beschichtungskanal ausgebildete und über eine Primär-Absaugöffnung mit dem Beschichtungskanal verbundene Primär-Absaugleitung und eine zum Reinigen der aus dem Beschichtungskanal abgesaugten Mischung ausgebildete Filtereinrichtung, die mit der Primär-Absaugleitung verbunden ist, auf. Dabei ist die Filtereinrichtung über eine zum Zurückführen der von Beschichtungsmaterial gereinigten Mischung ausgebildete Primär-Rückführleitung mit der Beschichtungskammer verbunden, wobei die Primär-Rückführleitung über eine Primär-Rückführmündung in die Beschichtungskammer mündet.The coating device according to the invention for depositing a coating material on a substrate has a coating chamber, which has an inlet passage and an outlet passage for introducing and removing the substrate, a coating channel designed for coating the substrate, which is arranged inside the coating chamber and which is used for introducing and removing of the substrate has an inlet opening and an outlet opening, and at least one feed line designed for feeding in coating material, which is connected to the coating channel and has a feed opening opening into the coating channel. Furthermore, the coating device according to the invention has a primary suction line designed to suck a mixture of carrier gas and coating material out of the coating channel and connected to the coating channel via a primary suction opening, and a filter device designed to clean the mixture sucked out of the coating channel, which is connected to the primary suction line connected, on. The filter device is connected to the coating chamber via a primary return line designed to return the mixture that has been cleaned of coating material feed line opens into the coating chamber via a primary return port.

Vorteilhafte und zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.Advantageous and expedient refinements and developments of the invention result from the dependent claims.

Durch die Erfindung wird eine Beschichtungsvorrichtung zur Verfügung gestellt, welche sich durch eine einfache Konstruktion auszeichnet und durch welche ein Austritt des überschüssigen Beschichtungsmaterials in das freie Volumen der Beschichtungskammer, d.h. in Bereiche außerhalb des Beschichtungskanals, verhindert wird, wodurch wiederum in der Beschichtungskammer das Auftreten von Streuschichten, welche vom Substrat abplatzen können und bei dem Endprodukt zu Qualitätsproblemen führen, vermieden wird.The invention provides a coating device which is characterized by a simple construction and which prevents the excess coating material from escaping into the free volume of the coating chamber, i.e. into areas outside the coating channel, which in turn prevents the occurrence of Stray layers, which can flake off the substrate and lead to quality problems in the end product, are avoided.

Um tatsächlich auch nur überschüssiges Beschichtungsmaterial aus dem Beschichtungskanal abzuführen, ist gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung vorgesehen, dass die Primär-Absaugöffnung mit Bezug auf eine Beförderungsrichtung des Substrats zwischen der Zuführöffnung und dem Austrittsdurchgang liegend angeordnet ist.In order to actually remove only excess coating material from the coating channel, a preferred embodiment provides that the primary suction opening is arranged lying between the feed opening and the outlet passage with respect to a conveying direction of the substrate.

Dabei ist es von Vorteil, wenn die Primär-Absaugöffnung und die Austrittsöffnung in einer gemeinsamen Ebene liegend angeordnet sind. Denn an der Austrittsöffnung besteht bei dem Beschichtungskanal die größte Gefahr, dass überschüssiges Beschichtungsmaterial kondensiert und die Austrittsöffnung für das Substrat blockiert.It is advantageous here if the primary suction opening and the outlet opening are arranged lying in a common plane. Because at the outlet opening there is the greatest risk in the coating channel that excess coating material will condense and block the outlet opening for the substrate.

Alternativ ist es in einer Ausgestaltung der Erfindung aber auch ausreichend, wenn die Primär-Absaugöffnung mit Bezug auf eine Beförderungsrichtung des Substrats zwischen der Zuführöffnung und der Austrittsöffnung liegend angeordnet ist.Alternatively, in one embodiment of the invention, however, it is also sufficient if the primary suction opening is arranged lying between the feed opening and the outlet opening with respect to a conveying direction of the substrate.

Bevorzugt ist die Primär-Absaugöffnung in einer Ebene liegend angeordnet ist, welche sich parallel zu einer Beförderungsrichtung des Substrats erstreckt.The primary suction opening is preferably arranged lying in a plane which extends parallel to a conveying direction of the substrate.

Von besonderem Vorteil ist es in Ausgestaltung der Erfindung, wenn eine zum Absaugen der Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial aus dem Beschichtungskanal ausgebildete und mit dem Beschichtungskanal verbundene Sekundär-Absaugleitung mit der Filtereinrichtung verbunden ist, wobei die Sekundär-Absaugleitung über eine Sekundär-Absaugöffnung mit dem Beschichtungskanal verbunden ist.It is particularly advantageous in an embodiment of the invention if a secondary suction line designed to suck the mixture of carrier gas and coating material out of the coating channel and connected to the coating channel is connected to the filter device, with the secondary suction line being connected to the filter device via a secondary suction opening Coating channel is connected.

Denn durch geschickte Anordnung der Primär-Absaugleitung bzw. der Primär-Absaugöffnung und der Sekundär-Absaugleitung bzw. der Sekundär-Absaugöffnung kann überschüssiges Beschichtungsmaterial besonders effektiv aus dem Beschichtungskanal abgesaugt werden, ohne dabei nachteilig Einfluss auf den hauptsächlichen Beschichtungsprozess zu nehmen. Eine solche vorteilhafte Anordnung ist in Ausgestaltung der Erfindung dadurch gegeben, dass mit Bezug auf eine Beförderungsrichtung des Substrats die Sekundär-Absaugöffnung zwischen der Eintrittsöffnung und der Zuführöffnung liegend angeordnet ist.With a clever arrangement of the primary suction line or the primary suction opening and the secondary suction line or the secondary suction opening, excess coating material can be suctioned out of the coating channel particularly effectively without adversely affecting the main coating process. Such an advantageous arrangement is given in an embodiment of the invention in that, with respect to a conveying direction of the substrate, the secondary suction opening is arranged lying between the inlet opening and the feed opening.

Dabei ist es ferner in weiterer Ausgestaltung von Vorteil, wenn die Sekundär-Absaugöffnung in einer Ebene liegend angeordnet ist, welche sich parallel zu einer Beförderungsrichtung des Substrats erstreckt.It is also advantageous in a further embodiment if the secondary suction opening is arranged lying in a plane which extends parallel to a conveying direction of the substrate.

Die Erfindung sieht in weiterer vorteilhafter Ausgestaltung vor, dass die Sekundär-Absaugleitung aus einem hochtemperaturbeständigen Material, vorzugsweise aus Grafit oder Keramik, besteht.In a further advantageous embodiment, the invention provides that the secondary suction line consists of a high-temperature-resistant material, preferably graphite or ceramic.

Damit das von der Sekundär-Absaugleitung abgesaugte Beschichtungsmaterial erst in der Filtereinrichtung kondensiert, sieht die Erfindung in Ausgestaltung ferner vor, dass die Sekundär-Absaugleitung beheizbar ausgebildet ist.So that the coating material sucked off by the secondary suction line first condenses in the filter device, the invention also provides in an embodiment that the secondary suction line is designed to be heatable.

Die Erfindung sieht in weiterer Ausgestaltung vor, dass eine zum Zurückführen der von Beschichtungsmaterial gereinigten Mischung ausgebildete Sekundär-Rückführleitung mit der Filtereinrichtung verbunden ist, wobei die Sekundär-Rückführleitung mit der Beschichtungskammer verbunden ist und eine Sekundär-Rückführmündung aufweist.In a further embodiment, the invention provides that a secondary return line designed to return the mixture cleaned of coating material is connected to the filter device, the secondary return line being connected to the coating chamber and having a secondary return orifice.

Dabei ist es von besonderem Vorteil, wenn die Sekundär-Rückführmündung an der Eintrittsöffnung und außerhalb des Beschichtungskanals angeordnet ist. Durch diese Anordnung wird verhindert, dass dem Beschichtungskanal zugeführtes Beschichtungsmaterial aus der Eintrittsöffnung des Beschichtungskanals in die Beschichtungskammer entweichen kann.It is of particular advantage here if the secondary return orifice is arranged at the inlet opening and outside of the coating channel. This arrangement prevents the coating material supplied to the coating channel from escaping from the inlet opening of the coating channel into the coating chamber.

Diese vorteilhafte Wirkung kann in Ausgestaltung der Erfindung dadurch erhöht werden, indem die Sekundär-Rückführmündung auf die Eintrittsöffnung ausgerichtet ausgebildet ist.In an embodiment of the invention, this advantageous effect can be increased in that the secondary return orifice is designed to be aligned with the inlet opening.

Ferner ist es in Ausgestaltung der Erfindung von Vorteil, wenn die Primär-Rückführmündung an der Austrittsöffnung und außerhalb des Beschichtungskanals angeordnet ist. Denn durch diese Anordnung wird verhindert, dass dem Beschichtungskanal zugeführtes und/oder überschüssiges Beschichtungsmaterial aus der Austrittsöffnung des Beschichtungskanals in die Beschichtungskammer entweichen kann.Furthermore, it is advantageous in an embodiment of the invention if the primary return orifice is arranged at the outlet opening and outside of the coating channel. Because this arrangement prevents the coating material supplied to the coating channel and/or excess coating material from escaping from the outlet opening of the coating channel into the coating chamber.

Auch hierbei kann - wie bei der Sekundär-Rückführmündung - die vorstehend angeführte, vorteilhafte Wirkung in Ausgestaltung der Erfindung dadurch erhöht werden, indem die Primär-Rückführmündung auf die Austrittsöffnung ausgerichtet ausgebildet ist.In this case, too--as in the case of the secondary return opening--the above-mentioned advantageous effect can be increased in the embodiment of the invention by the primary return opening being designed to be aligned with the outlet opening.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Primär-Absaugleitung aus einem hochtemperaturbeständigen Material, vorzugsweise aus Grafit oder Keramik, besteht.According to a further advantageous embodiment of the invention, it is provided that the primary suction line consists of a high-temperature-resistant material, preferably graphite or ceramic.

Damit das von der Primär-Absaugleitung abgesaugte Beschichtungsmaterial erst in der Filtereinrichtung kondensiert, sieht die Erfindung in Ausgestaltung vor, dass die Primär-Absaugleitung beheizbar ausgebildet ist.So that the coating material sucked off by the primary suction line first condenses in the filter device, the invention provides in an embodiment that the primary suction line is designed to be heatable.

Zur Senkung der Verdampfungstemperatur und auch der Temperatur innerhalb des Beschichtungskanals ist es schließlich in Ausgestaltung der Erfindung von Vorteil, wenn die Beschichtungskammer als eine Vakuumkammer ausgebildet ist, in welcher ein Unterdruck herrscht.In order to lower the vaporization temperature and also the temperature inside the coating channel, it is finally advantageous in an embodiment of the invention if the coating chamber is designed as a vacuum chamber in which a negative pressure prevails.

Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und nachstehenden noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Der Rahmen der Erfindung ist nur durch die Ansprüche definiert.It goes without saying that the features mentioned above and those that are still to be explained below can be used not only in the combination specified in each case, but also in other combinations or on their own, without departing from the scope of the present invention. The scope of the invention is defined only by the claims.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile des Gegenstandes der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung im Zusammenhang mit der Zeichnung, in der beispielhafte und bevorzugte Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt sind.Further details, features and advantages of the subject of the invention result from the following description in connection with the drawing, in which exemplary and preferred exemplary embodiments of the invention are shown.

In der Zeichnung zeigt:

  • 1 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform,
  • 2 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform und
  • 3 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform.
In the drawing shows:
  • 1 a schematic representation of a coating device according to the invention according to a first embodiment,
  • 2 a schematic representation of a coating device according to the invention according to a second embodiment and
  • 3 a schematic representation of a coating device according to the invention according to a third embodiment.

Die 1, 2 und 3 zeigen verschiedene Ausführungsformen einer erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung 1 zum Ablagern eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat 2, wobei es sich bei dem Substrat 2 beispielsweise um ein zu beschichtendes Stahlband handeln kann. Bei allen drei Ausführungsformen weist die Beschichtungsvorrichtung 1 eine Beschichtungskammer 3 auf, wobei die Beschichtungskammer 3 zum Einbringen des Substrats 2 in die Beschichtungskammer 3 einen Eintrittsdurchgang 4 und zum Ausbringen des Substrats 2 aus der Beschichtungskammer 3 einen Austrittsdurchgangs 5 aufweist. Zur Senkung der Verdampfungstemperatur und auch der Temperatur innerhalb der Beschichtungskammer kann die Beschichtungskammer 3 bei den gezeigten Ausführungsformen als eine Vakuumkammer ausgebildet sein, wodurch auch eine Reaktion der Umgebungsluft mit dem Beschichtungsmaterial vermieden wird. Ferner erfolgt bei allen drei Ausführungsformen die Beschichtung des Substrats 2 in einem zum Beschichten des Substrats 2 ausgebildeten Beschichtungskanal 6. Der Beschichtungskanal 6 ist innerhalb der Beschichtungskammer 3 angeordnet, wobei der Beschichtungskanal 6 zum Einbringen des Substrats 2 in den Beschichtungskanal 6 eine Eintrittsöffnung 7 und zum Ausbringen des Substrats 2 aus dem Beschichtungskanal 6 eine Austrittsöffnung 8 aufweist. Dabei ist der Beschichtungskanal 6 beheizbar ausgebildet, indem der Beschichtungskanal 6 beispielsweise vollumfänglich mit einer in den Figuren nicht näher dargestellten Heizeinrichtung versehen ist. Zum Beschichten des Substrats 2 mit Beschichtungsmaterial weist die Beschichtungseinrichtung 1 bei allen drei Ausführungsformen eine zum Zuführen von Beschichtungsmaterial ausgebildete Zuführleitung 9 auf, wobei alternativ auch mehr als eine Zuführleitung 9 vorgesehen sein kann. Die Zuführleitung 9 ist mit dem Beschichtungskanal 6 verbunden und weist eine in den Beschichtungskanal 6 mündende Zuführöffnung 10 auf. Dabei kann die Zuführöffnung 10 zum Einbringen des Beschichtungsmaterials in den Beschichtungskanal 6 düsenförmig ausgebildet sein, wobei die düsenförmig ausgebildete Zuführöffnung entsprechend auf das Substrat 2 ausgerichtet sein kann.the 1 , 2 and 3 12 show different embodiments of a coating device 1 according to the invention for depositing a coating material on a substrate 2, wherein the substrate 2 can be, for example, a steel strip to be coated. In all three embodiments, the coating device 1 has a coating chamber 3 , the coating chamber 3 having an inlet passage 4 for introducing the substrate 2 into the coating chamber 3 and an outlet passage 5 for removing the substrate 2 from the coating chamber 3 . In order to reduce the vaporization temperature and also the temperature inside the coating chamber, the coating chamber 3 can be designed as a vacuum chamber in the embodiments shown, which also prevents the ambient air from reacting with the coating material. Furthermore, in all three embodiments, the substrate 2 is coated in a coating channel 6 designed for coating the substrate 2. The coating channel 6 is arranged within the coating chamber 3, the coating channel 6 for introducing the substrate 2 into the coating channel 6 having an inlet opening 7 and Ejection of the substrate 2 from the coating channel 6 has an outlet opening 8 . The coating channel 6 is designed to be heatable in that the coating channel 6 is provided, for example, with a heating device not shown in detail in the figures over its entire circumference. In order to coat the substrate 2 with coating material, the coating device 1 in all three embodiments has a feed line 9 designed for feeding in coating material, it also being possible for more than one feed line 9 to be provided as an alternative. The feed line 9 is connected to the coating channel 6 and has a feed opening 10 opening into the coating channel 6 . In this case, the feed opening 10 for introducing the coating material into the coating channel 6 can be designed in the form of a nozzle, it being possible for the feed opening, which is designed in the form of a nozzle, to be aligned with the substrate 2 accordingly.

Ferner weist die in den 1 bis 3 gezeigte Beschichtungsvorrichtung 1 bei allen drei Ausführungsformen eine Primär-Absaugöffnung 11 auf, die in der Wandung des Beschichtungskanals 6 ausgebildet ist. Dabei weist die Beschichtungsvorrichtung 1 eine zum Absaugen einer Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial aus dem Beschichtungskanal 6 ausgebildete und über die Primär-Absaugöffnung 11 mit dem Beschichtungskanal 6 verbundene Primär-Absaugleitung 12 auf.Furthermore, the in the 1 until 3 The coating device 1 shown has a primary suction opening 11 in all three embodiments, which is formed in the wall of the coating channel 6 . The coating device 1 has a primary suction line 12 designed to suck a mixture of carrier gas and coating material out of the coating channel 6 and connected to the coating channel 6 via the primary suction opening 11 .

Schließlich weist bei allen drei Ausführungsformen die erfindungsgemäße Beschichtungsvorrichtung 1 eine zum Reinigen der aus dem Beschichtungskanal 6 abgesaugten Mischung ausgebildete Filtereinrichtung 14 auf. Die Filtereinrichtung 14, die in den 1 bis 3 nur schematisch angedeutet ist, ist dabei mit der Primär-Absaugleitung 12 verbunden. Wie den 1 bis 3 ferner zu entnehmen ist, ist die Filtereinrichtung 14 bei allen drei dargestellten Ausführungsformen über eine zum Zurückführen der von Beschichtungsmaterial gereinigten Mischung ausgebildete Primär-Rückführleitung 15 mit der Beschichtungskammer 3 verbunden. Die Primär-Rückführleitung 15 mündet bei allen drei Ausführungsformen der Beschichtungsvorrichtung 1 über eine Primär-Rückführmündung 16 in die Beschichtungskammer 3.Finally, in all three embodiments, the coating device 1 according to the invention has a filter device 14 designed to clean the mixture sucked out of the coating channel 6 . The filter device 14 in the 1 until 3 is indicated only schematically, is connected to the primary suction line 12 . Like the 1 until 3 further to be taken , the filter device 14 in all three illustrated embodiments is connected to the coating chamber 3 via a primary return line 15 designed to return the mixture that has been cleaned of coating material. In all three embodiments of the coating device 1, the primary return line 15 opens into the coating chamber 3 via a primary return orifice 16.

Bei allen drei Ausführungsformen, die in den 1 bis 3 gezeigt sind, ist ferner die Primär-Absaugöffnung 11 mit Bezug auf eine Beförderungsrichtung 17 des Substrats 2 zwischen der Zuführöffnung 10 und dem Austrittsdurchgang 5 liegend angeordnet. Das primäre Absaugen der Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial aus dem Beschichtungskanal 6 erfolgt also mit Bezug auf die Beförderungsrichtung 17 erst hinter dem Zuführen des Beschichtungsmaterials über die Zuführleitung 9 bzw. Zuführöffnung 10.In all three embodiments in the 1 until 3 1, the primary suction opening 11 is arranged lying between the supply opening 10 and the discharge passage 5 with respect to a conveying direction 17 of the substrate 2 . The primary suction of the mixture of carrier gas and coating material from the coating channel 6 therefore takes place with reference to the conveying direction 17 after the supply of the coating material via the supply line 9 or supply opening 10.

Die Primär-Absaugleitung 12 sowie deren Primär-Absaugöffnung 11 können bei allen drei Ausführungsformen, welche in den 1 bis 3 gezeigt sind, beheizbar ausgebildet sein, wobei die Primär-Absaugleitung 12 aus einem hochtemperaturbeständigen Material, vorzugsweise aus Grafit oder Keramik, besteht. Zum Beheizen der Primär-Absaugöffnung 11 und der Primär-Absaugleitung 12 wird dabei bevorzugt eine Temperatur gewählt, welche oberhalb der Kondensationstemperatur des abzusaugenden Beschichtungsmaterials liegt. Dabei sollte diese Temperatur so geringfügig wie möglich oberhalb der Kondensationstemperatur liegen. Denn dadurch ist gewährleistet, dass das abgesaugte Beschichtungsmaterial bis zu der Filtereinrichtung 14, die bei den drei Ausführungsformen jeweils ein Kreislauffilter ist, an Temperatur verliert, wodurch dadurch das abgesaugte Beschichtungsmaterial gewünscht erst innerhalb der Filtereinrichtung 14 kondensiert. Jedoch wird andererseits die Temperatur zum Beheizen der Primär-Absaugöffnung 11 und der Primär-Absaugleitung 12 derart hoch gewählt, dass die Temperatur des in der Filtereinrichtung 14 abgekühlten und zurückgeführten Beschichtungsmaterials immer noch oberhalb der Temperatur des vorgewärmten und der Beschichtungsvorrichtung 1 zugeführten Substrats 2 liegt, um das Substrat 2 bei Wiedereinspeisung des gefilterten Beschichtungsmaterials möglichst wenig abzukühlen.The primary suction line 12 and the primary suction port 11 can in all three embodiments, which in the 1 until 3 are shown, be designed to be heatable, with the primary suction line 12 made of a high-temperature-resistant material, preferably made of graphite or ceramics. To heat the primary suction opening 11 and the primary suction line 12, a temperature is preferably selected which is above the condensation temperature of the coating material to be suctioned off. This temperature should be as slightly as possible above the condensation temperature. Because this ensures that the extracted coating material loses temperature up to the filter device 14 , which is a circuit filter in each of the three embodiments, whereby the extracted coating material condenses as desired only inside the filter device 14 . However, on the other hand, the temperature for heating the primary suction opening 11 and the primary suction line 12 is selected so high that the temperature of the coating material that has been cooled in the filter device 14 and returned is still above the temperature of the preheated substrate 2 that is fed to the coating device 1. in order to cool the substrate 2 as little as possible when the filtered coating material is fed back in.

Die vorstehend beschriebenen Merkmale für die erfindungsgemäße Beschichtungsvorrichtung 1 beziehen sich auf alle drei Ausführungsformen. Nachstehend wird überwiegend auf die Unterschiede der einzelnen Ausführungsformen eingegangen, wobei auf eine Wiederholung der vorstehend bereits beschriebenen Merkmale weitestgehend verzichtet wird.The features described above for the coating device 1 according to the invention relate to all three embodiments. In the following, the differences between the individual embodiments will mainly be discussed, with a repetition of the features already described above being largely dispensed with.

In 1 ist eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung 1 gezeigt. Bei der ersten Ausführungsform der Beschichtungsvorrichtung 1 sind die Primär-Absaugöffnung 11 und die Austrittsöffnung 8 in einer gemeinsamen Ebene 18 (siehe gestrichelte Linie in 1) liegend angeordnet. Somit ist die in einer Stirnwandung des Beschichtungskanals 6 ausgeformte Primär-Absaugöffnung 11 parallel versetzt zu der in der Stirnwandung des Beschichtungskanals 6 ausgeformten Austrittsöffnung 8 angeordnet, wobei sich in dem gezeigten Ausführungsbeispiel ferner die Primär-Absaugleitung 12 parallel zu der Beförderungsrichtung 17 des Substrats 2 erstreckt, wobei eine Parallelität von Beförderungsrichtung 17 und Erstreckung der Primär-Absaugleitung 12 nicht zwingend erforderlich ist. Die Primär-Absaugleitung 12 ist dabei abschnittsweise innerhalb der Beschichtungskammer 3 verlaufend angeordnet, wobei sich die Primär-Absaugleitung 12 mit einem anderen Abschnitt ferner außerhalb der Beschichtungskammer 3 bis zu der Filtereinrichtung 14 erstreckt, mit welcher die Primär-Rückführleitung 15 verbunden ist. Die Primär-Rückführleitung 15 ist andererseits mit ihrem anderen Ende auch mit der Beschichtungskammer 3 verbunden und mündet über die Primär-Rückführmündung 16 in die Beschichtungskammer 3.In 1 a first embodiment of the coating device 1 according to the invention is shown. In the first embodiment of the coating device 1, the primary suction opening 11 and the outlet opening 8 are in a common plane 18 (see dashed line in 1 ) arranged horizontally. Thus, the primary suction opening 11 formed in an end wall of the coating channel 6 is offset parallel to the outlet opening 8 formed in the end wall of the coating channel 6, with the primary suction line 12 also extending parallel to the conveying direction 17 of the substrate 2 in the exemplary embodiment shown , wherein a parallelism of the conveying direction 17 and the extension of the primary suction line 12 is not absolutely necessary. The primary suction line 12 runs in sections within the coating chamber 3, with another section of the primary suction line 12 extending further outside the coating chamber 3 to the filter device 14, to which the primary return line 15 is connected. The other end of the primary return line 15 is also connected to the coating chamber 3 and opens into the coating chamber 3 via the primary return orifice 16.

Die 2 zeigt eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung 1. Im Unterschied zu der ersten Ausführungsform weist die zweite Ausführungsform der Beschichtungsvorrichtung eine Sekundär-Absaugleitung 19 auf. Die Sekundär-Absaugleitung 19 ist zum Absaugen der Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial aus dem Beschichtungskanal 6 ausgebildet und ferner mit einem ihrer beiden Enden mit dem Beschichtungskanal 6 verbunden. Das andere Ende der Sekundär-Absaugleitung 19 ist mit der Filtereinrichtung 14 verbunden, wie es aus 2 ersichtlich ist. Dabei wird die Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial über eine Sekundär-Absaugöffnung 20 aus dem Beschichtungskanal 6 in die Sekundär-Absaugleitung 19 gesaugt und über die Sekundär-Absaugleitung 19 zu der Filtereinrichtung 14 geleitet. In der Filtereinrichtung 14 werden dann bei der zweiten Ausführungsform sowohl die über die Primär-Absaugleitung 12 geförderte Mischung als auch die über die Sekundär-Absaugleitung 19 geförderte Mischung gereinigt und gefiltert. Die von Beschichtungsmaterial in der Filtereinrichtung 14 gereinigte Mischung wird dann von der Filtereinrichtung 14 über die Primär-Rückführleitung 15 in die Beschichtungskammer 3 gefördert. Alternativ ist es bei der zweiten Ausführungsform auch denkbar, dass das Filtern und Reinigen der abgesaugten Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial in separaten Filtereinrichtungen erfolgt, so dass zwei Filtereinrichtungen vorgesehen sind, wobei dann die Primär-Absaugleitung 12 mit einer ersten Filtereinrichtung verbunden ist und die Sekundär-Absaugleitung 19 mit einer zweiten Filtereinrichtung verbunden ist. Bei dieser Alternative würde dann die von Beschichtungsmaterial gereinigte bzw. gefilterte Mischung der Primär-Rückführleitung zugeführt, über welche dann die gereinigte bzw. gefilterte Mischung in die Beschichtungskammer 3 gefördert würde.the 2 shows a second embodiment of the coating device 1 according to the invention. In contrast to the first embodiment, the second embodiment of the coating device has a secondary suction line 19 . The secondary suction line 19 is designed to suck the mixture of carrier gas and coating material out of the coating channel 6 and is also connected to the coating channel 6 at one of its two ends. The other end of the secondary suction line 19 is connected to the filter device 14 as shown in FIG 2 is evident. The mixture of carrier gas and coating material is sucked out of the coating channel 6 into the secondary suction line 19 via a secondary suction opening 20 and conducted to the filter device 14 via the secondary suction line 19 . In the second embodiment, both the mixture conveyed via the primary suction line 12 and the mixture conveyed via the secondary suction line 19 are then cleaned and filtered in the filter device 14 . The mixture cleaned of coating material in the filter device 14 is then conveyed from the filter device 14 via the primary return line 15 into the coating chamber 3 . Alternatively, it is also conceivable in the second embodiment that the filtering and cleaning of the extracted Mixing of carrier gas and coating material takes place in separate filter devices, so that two filter devices are provided, in which case the primary suction line 12 is connected to a first filter device and the secondary suction line 19 is connected to a second filter device. In this alternative, the mixture cleaned or filtered from the coating material would then be fed to the primary return line, via which the cleaned or filtered mixture would then be conveyed into the coating chamber 3 .

Aus der 2 ist ferner für die zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung 1 zu erkennen, dass die Primär-Absaugöffnung 11 mit Bezug auf die Beförderungsrichtung 17 des Substrats 2 zwischen der Zuführöffnung 10 und der Austrittsöffnung 8 liegend angeordnet ist, wohingegen die Sekundär-Absaugöffnung 20 zwischen der Eintrittsöffnung 7 und der Zuführöffnung 10 liegend angeordnet ist. Dabei sind zusätzlich die Primär-Absaugöffnung 11 und die Sekundär-Absaugöffnung 20 in einer Ebene 21 (siehe gestrichelte Linie in 2) liegend angeordnet, welche sich parallel zu der Beförderungsrichtung 17 des Substrats 2 erstreckt.From the 2 it can also be seen for the second embodiment of the coating device 1 according to the invention that the primary suction opening 11 is arranged lying between the feed opening 10 and the outlet opening 8 with respect to the conveying direction 17 of the substrate 2, whereas the secondary suction opening 20 is between the inlet opening 7 and the feed opening 10 is arranged lying. In addition, the primary suction opening 11 and the secondary suction opening 20 are in one plane 21 (see dashed line in 2 ) arranged lying, which extends parallel to the conveying direction 17 of the substrate 2.

Bei der zweiten Ausführungsform gemäß der 2 kann die Sekundär-Absaugleitung 19 wie die Primär-Absaugleitung 12 ebenfalls aus einem hochtemperaturbeständigen Material, vorzugsweise aus Grafit oder Keramik, bestehen. Bei der zweiten Ausführungsform können die Primär-Absaugleitung 12 und/oder die Sekundär-Absaugleitung 19 beheizbar ausgebildet sein. Für den Fall, dass die Sekundär-Absaugleitung 19 beheizbar ausgebildet ist, kann damit die Sekundär-Absaugleitung 19 auf eine Temperatur eingestellt werden, welche so gering wie realisierbar oberhalb der Kondensationstemperatur des abzusaugenden Beschichtungsmaterials liegt, wodurch das abgesaugte Beschichtungsmaterial bis zu der Filtereinrichtung 14 an Temperatur verliert und erst innerhalb der Filtereinrichtung 14 kondensiert. Kennzeichnend für die zweite Ausführungsform ist entsprechend den vorstehenden Ausführungen, dass mindestens eine Absaugöffnung, d.h. die Primär-Absaugöffnung 11, in Beförderungsrichtung 17 betrachtet hinter der Zuführöffnung 10 angeordnet ist und dass mindestens eine Absaugöffnung, d.h. die Sekundär-Absaugöffnung 20, in Beförderungsrichtung 17 betrachtet vor der Zuführöffnung 10 angeordnet ist.In the second embodiment according to 2 If necessary, the secondary suction line 19, like the primary suction line 12, can also consist of a high-temperature-resistant material, preferably graphite or ceramic. In the second embodiment, the primary suction line 12 and/or the secondary suction line 19 can be designed to be heatable. In the event that the secondary suction line 19 is designed to be heatable, the secondary suction line 19 can thus be set to a temperature which is as little as possible above the condensation temperature of the coating material to be suctioned off, whereby the suctioned coating material reaches the filter device 14 Loses temperature and only condenses within the filter device 14. According to the above statements, it is characteristic of the second embodiment that at least one suction opening, i.e. the primary suction opening 11, is arranged behind the supply opening 10, viewed in the direction of transport 17, and that at least one suction opening, i.e. the secondary suction opening 20, is arranged in the direction of transport 17 is arranged in front of the feed opening 10.

In 3 ist schließlich eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Beschichtungsvorrichtung 1 dargestellt. Wie zuvor bei der zweiten Ausführungsform ist auch bei der dritten Ausführungsform eine Sekundär-Absaugleitung 19 mit einer Sekundär-Absaugöffnung 20 vorhanden. Ebenso ist die Sekundär-Absaugleitung 19 wiederum zum Absaugen der Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial aus dem Beschichtungskanal 6 ausgebildet und über die Sekundär-Absaugöffnung 20 mit dem Beschichtungskanal 6 verbunden. Ferner ist die Sekundär-Absaugöffnung 20 in Beförderungsrichtung 17 betrachtet zwischen der Eintrittsöffnung 7 und der Zuführöffnung 10 angeordnet, wohingegen die Primär-Absaugöffnung 11 in Beförderungsrichtung 17 betrachtet zwischen der Zuführöffnung 10 und der Austrittsöffnung 8 angeordnet ist. Auch bei der dritten Ausführungsform sind die Primär-Absaugleitung 12 und die Sekundär-Absaugleitung 19 mit der Filtereinrichtung 14 verbunden, um die aus dem Beschichtungskanal 6 abgesaugte Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial zu reinigen. Alternativ können auch zwei Filtereinrichtungen vorgesehen sein, welche separat die durch die Primär-Absaugleitung 12 aus dem Beschichtungskanal 6 abgesaugte Mischung und die durch die Sekundär-Absaugleitung 19 aus dem Beschichtungskanal 6 abgesaugte Mischung reinigen.In 3 Finally, a third embodiment of the coating device 1 according to the invention is shown. As before in the second embodiment, a secondary suction line 19 with a secondary suction opening 20 is also present in the third embodiment. The secondary suction line 19 is also designed to suck the mixture of carrier gas and coating material out of the coating channel 6 and is connected to the coating channel 6 via the secondary suction opening 20 . Furthermore, the secondary suction opening 20 is arranged between the inlet opening 7 and the feed opening 10 when viewed in the conveying direction 17 , whereas the primary suction opening 11 is arranged between the feed opening 10 and the outlet opening 8 when viewed in the conveying direction 17 . In the third embodiment, too, the primary suction line 12 and the secondary suction line 19 are connected to the filter device 14 in order to clean the mixture of carrier gas and coating material sucked out of the coating channel 6 . Alternatively, two filter devices can also be provided, which separately clean the mixture sucked out of the coating channel 6 through the primary suction line 12 and the mixture sucked out of the coating channel 6 through the secondary suction line 19 .

Im Unterschied zu der zweiten Ausführungsform, bei welcher lediglich die Primär-Rückführleitung 15 vorgesehen ist, weist bei der dritten Ausführungsform die Beschichtungsvorrichtung 1 eine zum Zurückführen der von Beschichtungsmaterial gereinigten Mischung ausgebildete Sekundär-Rückführleitung 22 auf, welche zusätzlich zu der Primär-Rückführleitung 15 vorgesehen ist. Die Sekundär-Rückführleitung 22 ist dabei mit der Filtereinrichtung 14 verbunden und führt die gereinigte Mischung in die Beschichtungskammer 3 zurück, wobei auch die Primär-Rückführleitung 15 einen Teil der gereinigten Mischung in die Beschichtungskammer 3 führt. Dabei mündet die Sekundär-Rückführleitung 22 über eine Sekundär-Rückführmündung 23 in die Beschichtungskammer 3.In contrast to the second embodiment, in which only the primary return line 15 is provided, in the third embodiment the coating device 1 has a secondary return line 22 designed to return the mixture cleaned of coating material, which is provided in addition to the primary return line 15 is. The secondary return line 22 is connected to the filter device 14 and returns the cleaned mixture to the coating chamber 3 , with the primary return line 15 also leading part of the cleaned mixture into the coating chamber 3 . The secondary return line 22 opens into the coating chamber 3 via a secondary return orifice 23.

Bei der dritten Ausführungsform der Beschichtungsvorrichtung 1 ist die Primär-Rückführmündung 16 an der Austrittsöffnung 8 und außerhalb des Beschichtungskanals 6 angeordnet, wobei ferner die Sekundär-Rückführmündung 23 - wie aus der 3 ersichtlich ist - an der Eintrittsöffnung 7 und außerhalb des Beschichtungskanals 6 angeordnet ist. Dabei hat es sich bei der dritten Ausführungsform der Beschichtungsvorrichtung 1 von Vorteil erwiesen, dass die Rückspeisung der gefilterten bzw. gereinigten Mischung beidseitig in die stirnseitigen Öffnungen des Beschichtungskanals 6 erfolgt. Dementsprechend ist die Sekundär-Rückführmündung 23 auf die Eintrittsöffnung 7 des Beschichtungskanals 6 ausgerichtet ausgebildet, wohingegen die Primär-Rückführmündung 16 auf die Austrittsöffnung 8 des Beschichtungskanals 6 ausgerichtet ausgebildet ist. Dadurch wird die gefilterte Mischung so weiter erwärmt, bevor die gefilterte bzw. gereinigte Mischung in den Bereich der Zuführöffnung 10 gelangt, wo die nicht erwärmte und gefilterte Mischung ansonsten das über die Zuführöffnung 10 zugeführte Beschichtungsmaterial unnötig abkühlen würde. Zum anderen sorgt die gezielte Strömung in den Beschichtungskanal 6 dafür, dass ein Austreten des dampfförmigen Beschichtungsmaterials über die stirnseitige Eintrittsöffnung 7 und die stirnseitige Austrittsöffnung 8 des Beschichtungskanals 6, d.h. durch die notwendigen Ein- bzw. Austrittsöffnung 7 und 8 zum Ein- und Ausbringen des Substrats 2, weitestgehend vermieden wird.In the third embodiment of the coating device 1, the primary return port 16 is arranged at the outlet opening 8 and outside of the coating channel 6, wherein the secondary return port 23 - as shown in FIG 3 can be seen - is arranged at the inlet opening 7 and outside of the coating channel 6 . In the case of the third embodiment of the coating device 1, it has proven to be advantageous that the filtered or cleaned mixture is fed back into the front-side openings of the coating channel 6 on both sides. Accordingly, the secondary return orifice 23 is designed to be aligned with the inlet opening 7 of the coating channel 6 , whereas the primary return orifice 16 is designed to be aligned with the outlet opening 8 of the coating channel 6 . As a result, the filtered mixture is further heated before the filtered or cleaned Mixture reaches the area of the feed opening 10, where the unheated and filtered mixture would otherwise unnecessarily cool down the coating material supplied via the feed opening 10. On the other hand, the targeted flow into the coating channel 6 ensures that the vaporous coating material does not exit via the front inlet opening 7 and the front outlet opening 8 of the coating channel 6, i.e. through the necessary inlet and outlet openings 7 and 8 for introducing and removing the Substrate 2 is largely avoided.

Zusammenfassend ist die erfindungsgemäße Beschichtungsvorrichtung 1 dadurch charakterisiert, dass in den Bereich des heißen Beschichtungskanals 6 mindestens eine hochtemperaturbeständige Absaugöffnung (Primär-Absaugöffnung 11) integriert wird, an welcher eine hochtemperaturbeständige und gegebenenfalls aktiv beheizbare Verrohrung in Form der Primär-Absaugleitung 12 angeschlossen wird. Die Primär-Absaugleitung 12 wird mit der Eingangsseite der Filtereinrichtung 14, welche ein Kreislauffilter sein kann, verbunden. Die Ausgangsseite der Filtereinrichtung 14 wiederum wird mit der Beschichtungskammer 3 verbunden, um die gereinigte bzw. gefilterte Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial in die Beschichtungskammer 3 zurück zu speisen, wobei die gereinigte Mischung dann nur noch das Trägergas aufweisen kann.In summary, the coating device 1 according to the invention is characterized in that at least one high-temperature-resistant suction opening (primary suction opening 11) is integrated in the area of the hot coating channel 6, to which a high-temperature-resistant and optionally actively heatable piping in the form of the primary suction line 12 is connected. The primary suction line 12 is connected to the input side of the filter device 14, which can be a circuit filter. The output side of the filter device 14 is in turn connected to the coating chamber 3 in order to feed the cleaned or filtered mixture of carrier gas and coating material back into the coating chamber 3, with the cleaned mixture then only containing the carrier gas.

Die beschriebene Erfindung ist selbstverständlich nicht auf die beschriebenen und dargestellten Ausführungsformen beschränkt. Es ist ersichtlich, dass an den in der Zeichnung dargestellten Ausführungsformen zahlreiche, dem Fachmann entsprechend der beabsichtigten Anwendung naheliegende Abänderungen vorgenommen werden können, ohne dass dadurch der Bereich der Erfindung verlassen wird. Beispielsweise können auch mehr als eine Primär-Absaugöffnung und somit entsprechend mehr als eine Primär-Absaugleitung vorgesehen sein, wobei auch mehr als eine Sekundär-Absaugöffnung und somit entsprechend mehr als eine Sekundär-Absaugleitung vorgesehen sein kann. Zur Erfindung gehört alles dasjenige, was in der Beschreibung enthalten und/oder in der Zeichnung dargestellt ist, einschließlich dessen, was abweichend von den konkreten Ausführungsbeispielen für den Fachmann naheliegt.The invention described is of course not limited to the embodiments described and illustrated. It is evident that numerous modifications can be made to the embodiments shown in the drawing, which would be obvious to a person skilled in the art, depending on the intended application, without thereby departing from the scope of the invention. For example, more than one primary suction opening and thus correspondingly more than one primary suction line can also be provided, with more than one secondary suction opening and thus correspondingly more than one secondary suction line being able to be provided. The invention includes everything that is contained in the description and/or shown in the drawing, including that which differs from the specific exemplary embodiments and is obvious to the person skilled in the art.

BezugszeichenlisteReference List

11
Beschichtungsvorrichtungcoating device
22
Substratsubstrate
33
Beschichtungskammercoating chamber
44
Eintrittsdurchgangentry passage
55
Austrittsdurchgangexit passage
66
Beschichtungskanalcoating channel
77
Eintrittsöffnungentry opening
88th
Austrittsöffnungexit port
99
Zuführleitungsupply line
1010
Zuführöffnungfeed opening
1111
Primär-AbsaugöffnungPrimary suction port
1212
Primär-AbsaugleitungPrimary suction line
1414
Filtereinrichtungfilter device
1515
Primär-Rückführleitungprimary return line
1616
Primär-RückführmündungPrimary Return Orifice
1717
Beförderungsrichtungdirection of transport
1818
Gemeinsame Ebenecommon level
1919
Sekundär-AbsaugleitungSecondary suction line
2020
Sekundär-AbsaugöffnungSecondary suction port
2121
Ebenelevel
2222
Sekundär-Rückführleitungsecondary return line
2323
Sekundär-RückführmündungSecondary Return Orifice

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited

  • WO 2016/042079 [0002]WO 2016/042079 [0002]
  • DE 102004041854 [0003]DE 102004041854 [0003]

Claims (18)

Beschichtungsvorrichtung (1) zum Ablagern eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat (2), aufweisend - eine Beschichtungskammer (3), welche zum Ein- und Ausbringen des Substrates (2) einen Eintrittsdurchgang (4) und einen Austrittdurchgang (5) aufweist, - einen zum Beschichten des Substrats (2) ausgebildeten Beschichtungskanal (6), welcher innerhalb der Beschichtungskammer (3) angeordnet ist und welcher zum Ein- und Ausbringen des Substrats (2) eine Eintrittsöffnung (7) und eine Austrittsöffnung (8) aufweist, - mindestens eine zum Zuführen von Beschichtungsmaterial ausgebildete Zuführleitung (9), welche mit dem Beschichtungskanal (6) verbunden ist und eine in den Beschichtungskanal (6) mündende Zuführöffnung (10) aufweist, - eine zum Absaugen einer Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial aus dem Beschichtungskanal (6) ausgebildete und über eine Primär-Absaugöffnung (11) mit dem Beschichtungskanal (6) verbundene Primär-Absaugleitung (12) und - eine zum Reinigen der aus dem Beschichtungskanal (6) abgesaugten Mischung ausgebildete Filtereinrichtung (14), welche mit der Primär-Absaugleitung (12) verbunden ist, wobei die Filtereinrichtung (14) über eine zum Zurückführen der von Beschichtungsmaterial gereinigten Mischung ausgebildete Primär-Rückführleitung (15) mit der Beschichtungskammer (3) verbunden ist, wobei die Primär-Rückführleitung (15) über eine Primär-Rückführmündung (16) in die Beschichtungskammer (3) mündet.Coating device (1) for depositing a coating material on a substrate (2), comprising - a coating chamber (3) which has an inlet passage (4) and an outlet passage (5) for introducing and removing the substrate (2), - a coating channel (6) designed for coating the substrate (2), which is arranged inside the coating chamber (3) and which has an inlet opening (7) and an outlet opening (8) for introducing and removing the substrate (2), - at least one feed line (9) designed for feeding in coating material, which is connected to the coating channel (6) and has a feed opening (10) opening into the coating channel (6), - a primary suction line (12) designed to suck a mixture of carrier gas and coating material out of the coating channel (6) and connected to the coating channel (6) via a primary suction opening (11) and - a filter device (14) designed to clean the mixture sucked out of the coating channel (6), which is connected to the primary suction line (12), the filter device (14) having a primary return line designed to return the mixture cleaned of coating material (15) is connected to the coating chamber (3), the primary return line (15) opening into the coating chamber (3) via a primary return orifice (16). Beschichtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 1, wobei die Primär-Absaugöffnung (11) mit Bezug auf eine Beförderungsrichtung (17) des Substrats (2) zwischen der Zuführöffnung (10) und dem Austrittsdurchgang (5) liegend angeordnet ist.Coating device (1) after claim 1 wherein the primary suction opening (11) is arranged lying between the supply opening (10) and the discharge passage (5) with respect to a conveying direction (17) of the substrate (2). Beschichtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Primär-Absaugöffnung (11) und die Austrittsöffnung (8) in einer gemeinsamen Ebene (18) liegend angeordnet sind.Coating device (1) after claim 1 or 2 , wherein the primary suction opening (11) and the outlet opening (8) are arranged lying in a common plane (18). Beschichtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 1, wobei die Primär-Absaugöffnung (11) mit Bezug auf eine Beförderungsrichtung (17) des Substrats (2) zwischen der Zuführöffnung (10) und der Austrittsöffnung (8) liegend angeordnet ist.Coating device (1) after claim 1 , wherein the primary suction opening (11) is arranged lying between the feed opening (10) and the outlet opening (8) with respect to a conveying direction (17) of the substrate (2). Beschichtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 4, wobei die Primär-Absaugöffnung (11) in einer Ebene (21) liegend angeordnet ist, welche sich parallel zu einer Beförderungsrichtung (17) des Substrats (2) erstreckt.Coating device (1) after claim 1 or 4 , wherein the primary suction opening (11) is arranged lying in a plane (21) which extends parallel to a conveying direction (17) of the substrate (2). Beschichtungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine zum Absaugen der Mischung aus Trägergas und Beschichtungsmaterial aus dem Beschichtungskanal (6) ausgebildete und mit dem Beschichtungskanal (6) verbundene Sekundär-Absaugleitung (19) mit der Filtereinrichtung (14) verbunden ist, wobei die Sekundär-Absaugleitung (19) über eine Sekundär-Absaugöffnung (20) mit dem Beschichtungskanal (6) verbunden ist.Coating device (1) according to one of the preceding claims, wherein a secondary suction line (19) designed to suck off the mixture of carrier gas and coating material from the coating channel (6) and connected to the coating channel (6) is connected to the filter device (14), the secondary suction line (19) being connected to the coating channel (6) via a secondary suction opening (20). Beschichtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 6, wobei die Sekundär-Absaugöffnung (20) zwischen der Eintrittsöffnung (7) und der Zuführöffnung (10) liegend angeordnet ist.Coating device (1) after claim 6 , wherein the secondary suction opening (20) is arranged lying between the inlet opening (7) and the feed opening (10). Beschichtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 6 oder 7, wobei die Sekundär-Absaugöffnung (20) in einer Ebene (21) liegend angeordnet ist, welche sich parallel zu einer Beförderungsrichtung (17) des Substrats (2) erstreckt.Coating device (1) after claim 6 or 7 , wherein the secondary suction opening (20) is arranged lying in a plane (21) which extends parallel to a conveying direction (17) of the substrate (2). Beschichtungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei die Sekundär-Absaugleitung (19) aus einem hochtemperaturbeständigen Material, vorzugsweise aus Grafit oder Keramik, besteht.Coating device (1) according to one of Claims 6 until 8th , wherein the secondary suction line (19) consists of a high-temperature-resistant material, preferably graphite or ceramic. Beschichtungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 6 bis 9, wobei die Sekundär-Absaugleitung (19) beheizbar ausgebildet ist.Coating device (1) according to one of Claims 6 until 9 , wherein the secondary suction line (19) is heatable. Beschichtungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine zum Zurückführen der von Beschichtungsmaterial gereinigten Mischung ausgebildete Sekundär-Rückführleitung (22) mit der Filtereinrichtung (14) verbunden ist, wobei die Sekundär-Rückführleitung (22) mit der Beschichtungskammer (3) verbunden ist und eine Sekundär-Rückführmündung (23) aufweist.Coating device (1) according to one of the preceding claims, wherein a secondary return line (22) designed to return the mixture cleaned of coating material is connected to the filter device (14), the secondary return line (22) being connected to the coating chamber (3). and having a secondary return port (23). Beschichtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 11, wobei die Sekundär-Rückführmündung (23) an der Eintrittsöffnung (7) und außerhalb des Beschichtungskanals (6) angeordnet ist.Coating device (1) after claim 11 , wherein the secondary return orifice (23) is arranged at the inlet opening (7) and outside of the coating channel (6). Beschichtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 11 oder 12, wobei die Sekundär-Rückführmündung (23) auf die Eintrittsöffnung (7) ausgerichtet ausgebildet ist.Coating device (1) after claim 11 or 12 wherein the secondary return port (23) is formed aligned with the inlet port (7). Beschichtungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Primär-Rückführmündung (16) an der Austrittsöffnung (8) und außerhalb des Beschichtungskanals (6) angeordnet ist.Coating device (1) according to one of the preceding claims, in which the primary return orifice (16) is arranged at the outlet opening (8) and outside the coating channel (6). Beschichtungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Primär-Rückführmündung (16) auf die Austrittsöffnung (8) ausgerichtet ausgebildet ist.Coating device (1) according to one of the preceding claims, wherein the primary Return mouth (16) is aligned with the outlet opening (8). Beschichtungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Primär-Absaugleitung (12) aus einem hochtemperaturbeständigen Material, vorzugsweise aus Grafit oder Keramik, besteht.Coating device (1) according to one of the preceding claims, in which the primary suction line (12) consists of a high-temperature-resistant material, preferably graphite or ceramic. Beschichtungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Primär-Absaugleitung (12) beheizbar ausgebildet ist.Coating device (1) according to one of the preceding claims, in which the primary suction line (12) is designed to be heatable. Beschichtungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Beschichtungskammer (3) als eine Vakuumkammer ausgebildet ist.Coating device (1) according to one of the preceding claims, wherein the coating chamber (3) is designed as a vacuum chamber.
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