DE102019213794A1

DE102019213794A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Bewerten einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils

Info

Publication number: DE102019213794A1
Application number: DE102019213794.6A
Authority: DE
Inventors: Stefan Seitz; Daniel Krähmer
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2019-09-11
Filing date: 2019-09-11
Publication date: 2020-09-17

Abstract

Ein Verfahren zum Bewerten einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils (12) umfasst die Schritte: Vermessen einer jeweiligen Positionsabweichung (64) mehrerer Messpunkte (60) am Test-Bauteil von einer jeweiligen Sollposition (62), sowie Bestimmen einer Bewertung (76) der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils durch Interpretation der vermessenen Positionsabweichungen mittels eines anhand einer Vielzahl an Datensätzen (84) vorab angelernten Bewertungsalgorithmus (74), wobei die Datensätze (84) unterschiedliche Anlern-Bauteile (12A) betreffen, welche sich jeweils lediglich durch Fertigungsabweichungen vom Test-Bauteil unterscheiden, und wobei die Datensätze (84) jeweils Messwerte von Positionsabweichungen (64) des betreffenden Anlern-Bauteils an zumindest einem Teil der Messpunkte (60) sowie eine jeweilige, auf einer Messung beruhende, Bewertung (76) der funktionalen Eigenschaft des betreffenden Anlern-Bauteils umfassen.

Description

Hintergrund der Erfindung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Bewerten einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Anlernen eines Bewertungs-Algorithmus.
Bei mechanischen Bauteilen mit hohen funktionalen Anforderungen sind zur Gewährleistung dieser Anforderungen oft nur sehr geringe Formabweichungen am Bauteil zulässig. Ein Beispiel für ein derartiges Bauteil mit hohen funktionalen Anforderungen ist ein Spiegelhalterungsmodul eines Projektionsobjektivs oder eines Beleuchtungssystems einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie. Geringfügige Formabweichungen bei einem derartigen Spiegelhalterungsmodul können zu erheblichen Fehlern im Abbildungsverhalten des Projektionsobjektivs bzw. bei der Funktion des Beleuchtungssystems führen.
Bei der Herstellung derartiger Spiegelhalterungsmodule ist es herkömmlicherweise üblich, entweder sehr strenge Toleranzwerte für mögliche Formabweichungen vorzusehen oder die produzierten Bauteile per manueller Bewertung zu qualifizieren. Da bei der ersten Variante in der Regel der ungünstigste Fall angenommen wird, führt dies oft zu einer Überspezifizierung der Bauteile und damit zu einer schlechten Gutteil-Ausbeute.
Bei manueller Bewertung des allgemeinen Falls besteht die Gefahr, dass Zusammenhänge nicht beachtet werden. Weiterhin entsteht bei der manuellen Bewertung ein großer Aufwand und damit hohe Kosten sowie die Gefahr einer sehr subjektiven Beurteilung. Um diese Probleme zu umgehen wird oft auf die Messung der Formabweichung bzw. die Bewertung der gemessenen Formabweichung verzichtet und stattdessen die funktionalen Anforderungen direkt gemessen. Im Fall eines Spiegelhalterungsmoduls kann dies etwa durch Messung von Abbildungsfehlern des Projektionsobjektivs mit eingebautem Modul erfolgen. Im Fall des Beleuchtungssystems kann dies etwa durch Messung eines Positionsfehlers des Spiegels, nachdem das Spiegelhalterungsmodul montiert wurde, erfolgen. Derartige Bauteil-Qualifizierungen sind jedoch sehr aufwändig und damit kostspielig.
Zugrunde liegende Aufgabe
Es ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung sowie ein Verfahren der eingangs genannten Art bereitzustellen, womit die vorgenannten Probleme gelöst werden, und insbesondere die Bewertung einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils mit hoher Genauigkeit und gleichzeitig geringem Aufwand erfolgen kann.
Erfindungsgemäße Lösung
Die vorgenannte Aufgabe kann erfindungsgemäß beispielsweise gelöst werden mit einem Verfahren zum Bewerten einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst die Schritte: Vermessen einer jeweiligen Positionsabweichung mehrerer Messpunkte am Test-Bauteil von einer jeweiligen Sollposition, sowie Bestimmen einer Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils durch Interpretation der vermessenen Positionsabweichungen mittels eines anhand einer Vielzahl an Datensätzen vorab angelernten Bewertungsalgorithmus. Dabei betreffen die Datensätze unterschiedliche Anlern-Bauteile, welche sich jeweils lediglich durch Fertigungsabweichungen vom Test-Bauteil unterscheiden. Weiterhin umfassen die Datensätze jeweils Messwerte von Positionsabweichungen des betreffenden Anlern-Bauteils an zumindest einem Teil der Messpunkte sowie eine jeweilige, auf einer Messung beruhende, Bewertung der funktionalen Eigenschaft des betreffenden Anlern-Bauteils.
Die jeweilige Messung zur Bewertung der funktionalen Eigenschaft der Anlern-Bauteile kann im Falle, in dem das Test-Bauteil als Spiegelhalterungsmodul ausgeführt ist, durch eine Messung der Position bzw. Ausrichtung eines am betreffenden Anlern-Bauteil befestigten Referenzbauteils bezogen auf dessen Nominalposition bzw. Nominalausrichtung bestimmt werden. Dabei befindet das Anlern-Bauteil vorzugsweise in einem bei seiner bestimmungsgemäßen Verwendung vorliegenden Zustand.
Die erfindungsgemäße Verwendung eines angelernten Bewertungsalgorithmus ermöglicht es, die Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils zu automatisieren. Damit kann die funktionale Eigenschaft des Test-Bauteils mit hoher Genauigkeit und gleichzeitig geringem Aufwand bewertet werden.
Unter der Angabe, dass sich die Anlern-Bauteile jeweils lediglich durch Fertigungsabweichungen vom Test-Bauteil unterscheiden, ist zu verstehen, dass das Test-Bauteil und die Anlern-Bauteile jeweils die gleiche Nominal-Geometrie aufweisen, ihre tatsächliche Geometrie jedoch aufgrund der Tatsache, dass sie unterschiedliche Exemplare des Bauteils sind, im Rahmen von Fertigungstoleranzen voneinander abweichen.
Durch das Vermessen einer jeweiligen Positionsabweichung mehrerer Messpunkte am Test-Bauteil von einer jeweiligen Sollposition wird das Test-Bauteil zumindest teilweise hinsichtlich seiner Geometrie vermessen. Das Vermessen der Positionsabweichungen der Messpunkte am Test-Bauteil kann insbesondere mittels eines Koordinatenmessgeräts erfolgen.
Unter einer funktionalen Eigenschaft ist eine die Funktion des Test-Bauteils bzw. des Anlern-Bauteils betreffende Eigenschaft zu verstehen. Beim Test-Bauteil handelt es sich um ein mechanisches Bauteil mit hohen Anforderungen an die funktionale Eigenschaft, mit anderen Worten hohen funktionalen Anforderungen. Zur Gewährleistung dieser funktionalen Anforderungen sind nur sehr geringe Formabweichungen am Bauteil zulässig. So kann das Test-Bauteil insbesondere ein Bauteil einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie, insbesondere mit einer Betriebswellenlänge im EUV-Bereich, sein. Unter einer Wellenlänge im EUV-Bereich wird in diesem Text eine Wellenlänge kleiner als 100 nm, insbesondere mit einem Wert von etwa 13,5 nm oder etwa 6,8 nm, verstanden. Beim Test-Bauteil kann es sich etwa um ein Spiegelhalterungsmodul zur Halterung eines Spiegelelements im Projektionsobjektiv oder im Beleuchtungssystem der Projektionsbelichtungsanlage handeln.
Gemäß einer Ausführungsform ist die funktionale Eigenschaft eine Eigenschaft des Test-Bauteils bzw. des Anlern-Bauteils, welche bei einer bestimmungsgemäßen Verwendung des betreffenden Bauteils vorliegt. Gemäß einer Ausführungsvariante umfasst die funktionale Eigenschaft eine Positionierung einer Funktionsfläche des Test-Bauteils bzw. des Anlern-Bauteils bei der bestimmungsgemäßen Verwendung des betreffenden Bauteils. Alternativ oder zusätzlich kann die funktionale Eigenschaft z.B. einen Wärmewiderstand des betreffenden Bauteils umfassen.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die funktionale Eigenschaft eine Eigenschaft des Test-Bauteils bzw. des Anlern-Bauteils, welche nach einer Montage des betreffenden Bauteils an einem Trägerelement vorliegt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform wird bei der Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Bauteils zwischen mehreren Kategorien unterschiedlichen Erfüllungsgrads von vorgegebenen Anforderungen unterschieden. Insbesondere wird bei der Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Bauteils zwischen den Kategorien „Anforderungen erfüllt“ und „Anforderungen nicht erfüllt“ unterschieden.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Bauteils eine Maßzahl, welche einen Erfüllungsgrad von vorgegebenen Anforderungen angibt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform basiert der Bewertungsalgorithmus auf künstlicher Intelligenz. Gemäß einer Ausführungsvariante ist der Bewertungsalgorithmus zur Ausführung eines Klassifizierungsverfahrens konfiguriert. Gemäß einer weiteren Ausführungsvariante basiert der Bewertungsalgorithmus auf einem künstlichen neuronalen Netz.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform erfolgt das Vermessen der Positionsabweichungen der Messpunkte durch optische Vermessung, insbesondere durch interferometrische Vermessung oder Vermessung mittels Laser-Scannen oder Mikroskop, einer Formabweichung zumindest eines Teils der Oberfläche des betreffenden Bauteils. Gemäß einer weiteren Ausführungsform erfolgt das Vermessen der Positionsabweichungen der Messpunkte mittels eines Scanning-Konfokal-Mikroskops.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform erfolgt das Vermessen der Positionsabweichungen der Messpunkte durch taktile Vermessung einer Formabweichung zumindest eines Teils der Oberfläche des betreffenden Bauteils. Die taktile Vermessung kann mittels eine Koordinatenmessgeräts erfolgen.
Die vorgenannte Aufgabe kann weiterhin beispielsweise gelöst werden mit einer Vorrichtung zum Bewerten einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils mit einer Messeinrichtung zum Vermessen einer jeweiligen Positionsabweichung mehrerer Messpunkte am Test-Bauteil von einer jeweiligen Sollposition, sowie einer Auswerteeinrichtung zur Bestimmung einer Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils durch Interpretation der vermessenen Positionsabweichungen mittels eines anhand einer Vielzahl an Datensätzen vorab angelernten Bewertungsalgorithmus. Dabei betreffen die Datensätze unterschiedliche Anlern-Bauteile, welche sich jeweils lediglich durch Fertigungsabweichungen vom Test-Bauteil unterscheiden. Weiterhin umfassen die Datensätze jeweils Messwerte von Positionsabweichungen des betreffenden Anlern-Bauteils an zumindest einem Teil der Messpunkte sowie eine jeweilige, auf einer Messung beruhende, Bewertung der funktionalen Eigenschaft des betreffenden Anlern-Bauteils.
Gemäß einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die funktionale Eigenschaft eine Eigenschaft des Test-Bauteils bzw. des Anlern-Bauteils, welche bei einer bestimmungsgemäßen Verwendung des betreffenden Bauteils vorliegt. Gemäß einer Ausführungsvariante umfasst die funktionale Eigenschaft eine Positionierung einer Funktionsfläche des Test-Bauteils bzw. des Anlern-Bauteils bei der bestimmungsgemäßen Verwendung des betreffenden Bauteils.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die funktionale Eigenschaft eine Eigenschaft des Test-Bauteils bzw. des Anlern-Bauteils, welche nach einer Montage des betreffenden Bauteils an einem Trägerelement vorliegt. Gemäß einer weiteren Ausführungsform wird bei der Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Bauteils zwischen mehreren Kategorien unterschiedlichen Erfüllungsgrads von vorgegebenen Anforderungen unterschieden. Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Bauteils eine Maßzahl, welche einen Erfüllungsgrad von vorgegebenen Anforderungen angibt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung basiert der Bewertungsalgorithmus auf künstlicher Intelligenz. Gemäß einer Ausführungsvariante ist der Bewertungsalgorithmus zur Ausführung eines Klassifizierungsverfahrens konfiguriert. Gemäß einer weiteren Ausführungsvariante basiert der Bewertungsalgorithmus auf einem künstlichen neuronalen Netz.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Messeinrichtung ein Inteferometer zur Vermessung einer Formabweichung zumindest eines Teils der Oberfläche des betreffenden Bauteils. Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Messeinrichtung ein Scanning-Konfokal-Mikroskop.
Weiterhin wird erfindungsgemäß ein Verfahren zum Anlernen eines Bewertungsalgorithmus bereitgestellt, welcher zum Bestimmen einer Bewertung einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils konfiguriert ist. Das Verfahren umfasst die Schritte: Vermessen einer jeweiligen Positionsabweichung für eine jeweilige Mehrzahl von Messpunkten an einer jeweiligen Funktionsfläche unterschiedlicher Anlern-Bauteile von einer jeweiligen Sollposition, Vermessen mindestens eines Parameters am jeweiligen Anlern-Bauteil und Bestimmung einer Bewertung der funktionalen Eigenschaft des betreffenden Anlern-Bauteil auf Grundlage des mindestens einen vermessenen Parameters, wobei die jeweilige Positionsabweichungen sowie die jeweilige Bewertung einen Datensatz des jeweiligen Anlern-Bauteils bilden, sowie Anlernen des Bewertungsalgorithmus anhand der Datensätze der unterschiedlichen Anlern-Bauteile.
Gemäß einer Ausführungsform des Anlernverfahrens erfolgt das Vermessen des mindestens einen Parameters am jeweiligen Anlern-Bauteil im Zustand einer bestimmungsgemäßen Verwendung des betreffenden Bauteils. Insbesondere erfolgt das Vermessen des mindestens einen Parameters am jeweiligen Bauteil nach einer Montage des betreffenden Bauteils an einem Trägerelement. Die funktionale Eigenschaft ist dabei eine Eigenschaft des Test-Bauteils bzw. des Anlern-Bauteils, welche nach einer Montage des betreffenden Bauteils an dem Trägerelement vorliegt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Anlernverfahrens umfasst der mindestens eine vermessene Parameter am jeweiligen Anlern-Bauteil eine Positionsabweichung eines oder mehrerer Prüfpunkte von einer jeweiligen Sollposition umfasst. Gemäß einer weiteren Ausführungsform bezeichnet der mindestens eine vermessene Parameter am jeweiligen Anlern-Bauteil eine geometrische Abweichung der Form des betreffenden Anlern-Bauteils von einer Sollform.
Die bezüglich der vorstehend aufgeführten Ausführungsformen, Ausführungsbeispiele bzw. Ausführungsvarianten, etc. des erfindungsgemäßen Bewertungsverfahrens angegebenen Merkmale können entsprechend auf die erfindungsgemäße Bewertungsvorrichtung übertragen werden. Diese und andere Merkmale der erfindungsgemäßen Ausführungsformen werden in der Figurenbeschreibung und den Ansprüchen erläutert. Die einzelnen Merkmale können entweder separat oder in Kombination als Ausführungsformen der Erfindung verwirklicht werden. Weiterhin können sie vorteilhafte Ausführungsformen beschreiben, die selbstständig schutzfähig sind und deren Schutz ggf. erst während oder nach Anhängigkeit der Anmeldung beansprucht wird.
Figurenliste
Die vorstehenden, sowie weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung werden in der nachfolgenden detaillierten Beschreibung beispielhafter erfindungsgemäßer Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten schematischen Zeichnungen veranschaulicht. Es zeigt:

1 eine Ausführungsform einer Vorrichtung zum Bewerten einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils mit einer Messeinrichtung sowie einer Auswerteeinrichtung zur Ausführung eines Bewertungsalgorithmus,
2 ein Ausführungsbeispiel des Test-Bauteils vor Montage an einem Trägerelement,
3 das Test-Bauteil gemäß 2 nach Montage an dem Trägerelement,
4 ein Anlern-Bauteil in einem am Trägerelement montierten Zustand zur Vermessung eines Bewertungsparameters,
5 eine schematische Veranschaulichung einer ersten Ausführungsform des Bewertungsalgorithmus zur Einstufung des Test-Bauteils in eine von zwei Bewertungskategorien,
6 eine schematische Veranschaulichung einer weiteren Ausführungsform des Bewertungsalgorithmus zur Einstufung des Test-Bauteils in eine von zwei Bewertungskategorien,
7a eine Veranschaulichung weiterer Bewertungskategorien des Bewertungsalgorithmus,
7b eine Veranschaulichung einer alternativ vom Bewertungsalgorithmus ausgegebenen Bewertungsmaßzahl, sowie
8 ein mittels einer Ausführungsform der Messeinrichtung gemäß 1 erhobenes Messbild.

Detaillierte Beschreibung erfindungsgemäßer Ausführungsbeispiele
In den nachstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen bzw. Ausführungsformen oder Ausführungsvarianten sind funktionell oder strukturell einander ähnliche Elemente soweit wie möglich mit den gleichen oder ähnlichen Bezugszeichen versehen. Daher sollte zum Verständnis der Merkmale der einzelnen Elemente eines bestimmten Ausführungsbeispiels auf die Beschreibung anderer Ausführungsbeispiele oder die allgemeine Beschreibung der Erfindung Bezug genommen werden.
Zur Erleichterung der Beschreibung ist in der Zeichnung ein kartesisches xyz-Koordinatensystem angegeben, aus dem sich die jeweilige Lagebeziehung der in den Figuren dargestellten Komponenten ergibt. In 1 verläuft die y-Richtung senkrecht zur Zeichenebene in diese hinein, die x-Richtung nach rechts und die z-Richtung nach oben.
1 zeigt eine schematische Veranschaulichung einer Vorrichtung 10 zum Bewerten einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils 12. Beim Test-Bauteil 12 handelt sich um ein mechanisches Bauteil mit hohen funktionalen Anforderungen. Zur Gewährleistung dieser funktionalen Anforderungen sind nur sehr geringe Formabweichungen am Bauteil zulässig. So kann das Test-Bauteil 12 insbesondere ein Bauteil einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie, insbesondere mit einer Betriebswellenlänge im EUV-Bereich, sein. Dabei kann es sich beim Test-Bauteil 12 etwa um ein Halterungsmodul zur Halterung eines Spiegels im Projektionsobjektiv oder im Beleuchtungssystem der Projektionsbelichtungsanlage, handeln. In 1 ist das Test-Bauteil 12 vereinfachend als Quader dargestellt, wobei dessen Geometrie in der Realität selbstverständlich wesentlich komplexer sein kann. Die Oberseite des quaderförmigen Test-Bauteils 12 dient im vorliegenden Fall als Messfläche 66, während die Unterseite des quaderförmigen Test-Bauteils 12 als Funktionsfläche 68 vorgesehen ist.
Die Bewertungsvorrichtung 10 umfasst eine Messeinrichtung 14 sowie eine Auswerteeinrichtung 16. Die Messeinrichtung 14 dient dazu, wie in 2 veranschaulicht, eine jeweilige Positionsabweichung 64 mehrerer Messpunkte 60 am Test-Bauteil 12 von einer jeweiligen Sollposition 62 zu vermessen.
In 2 ist das in 1 gezeigte, quaderförmige Test-Bauteil 12 umgekehrt dargestellt, d.h. die Messfläche 66 weist nach unten und die Funktionsfläche 68 nach oben. Als Messpunkte 60 sind im Ausführungsbeispiel gemäß 2 exemplarisch einige an den Seiten der Messfläche 66, d.h. an den entsprechenden Seitenkanten des Quaders, angeordnete Messpunkte 60-1 bis 60-10 eingezeichnet. Gemäß unterschiedlicher Ausführungsformen können wesentlich mehr Messpunkte 60 entlang der Seitenkanten, sowie insbesondere auch innerhalb der Messfläche 60 vorgesehen sein. Weiterhin kann die Messfläche 60 auch anders konfiguriert sein. Insbesondere kann sie sich neben oder alternativ zur in 2 nach unten weisenden Quader-Seitenfläche auch über andere Seitenflächen des Quaders ganz oder teilweise erstrecken.
In 2 sind bezüglich der dort dargestellten Messpunkte 60-1 bis 60-10 jeweils die zugehörigen Sollpositionen als Kreise eingezeichnet, wobei lediglich die Sollpositionen 62-1 und 62-2 beschriftet sind. Die Positionsabweichungen 64 der Messpunkte 60 von ihren Sollpositionen 62 sind jeweils mit einem Pfeil veranschaulicht, wobei hier ebenfalls lediglich die Positionsabweichungen 64-1 und 64-2 beschriftet sind.
Die in 1 dargestellte Messeinrichtung 14 umfasst einen Messkopf 18 sowie ein Positioniergerät 20. Im gezeigten Ausführungsbeispiel umfasst der Messkopf 18 ein interferometrisches Abstandsmessgerät zur jeweiligen Bestimmung eines Abstands eines jeweiligen angestrahlten Messpunktes 60 an dem auf einem Objekthalter 50 positionierten Test-Bauteil 12 vom Messkopf 18. Alternativ oder zusätzlich kann der Messkopf 18 auch ein Flächen-Interferometer, wie etwa ein Fizeau-Interferometer, zur flächigen Anstrahlung zumindest eines Teils der Messfläche 66 und entsprechender Vermessung der Messflächenform, umfassen. Alternativ kann der Messkopf 18 auch ein anders geartetes Abstandsmessgerät, wie etwa ein Mikroskop, insbesondere ein sogenanntes Scanning-Konfokal-Mikroskop, oder ein taktiles Messgerät, wie bei Koordinatenmessgeräten üblich, umfassen.
Das Positioniergerät 20 ist dazu konfiguriert, den Messkopf 18 und das Test-Bauteil 12, wie nachstehend näher erläutert, in fünf Positionier-Freiheitsgraden zueinander zu positionieren. Die fünf Positionier-Freiheitsgrade des Positioniergeräts 20 umfassen drei Translations- und zwei Rotationsfreiheitsgrade. In der in 1 veranschaulichten Ausführungsform kann der Objekthalter 50 in x- und y-Richtung, d.h. quer zur in z-Richtung verlaufenden Messrichtung des Messkopfes 18 verschoben werden. Der Messkopf 18 wiederum kann in z-Richtung verschoben und, wie nachstehend erläutert, in Bezug auf zwei Kippachsen verkippt werden. Andere Anordnungen und Kombinationen der Positionierfreiheitsgrade sind ebenfalls möglich.
Das Positioniergerät 20 umfasst einen Rahmen 22, welche ein Basiselement 28, zwei vertikale Rahmenelemente 24 sowie ein die vertikalen Rahmenelemente 24 verbindendes Querelement 26 umfasst. Das Positioniergerät 20 weist weiterhin einen Bewegungsmechanismus zur Verschiebung des Objekthalters 50 in x- und y-Richtung auf. Der Bewegungsmechanismus umfasst einen ersten Schlitten 42, welcher auf dem Basiselement 28 in x-Richtung verschoben werden kann, wie mittels des Doppelpfeils 44 veranschaulicht, sowie einen zweiten Schlitten 46, welcher auf dem ersten Schlitten 42 in y-Richtung verschoben werden kann, wie mittels des Doppelpfeils 48 veranschaulicht. Weiterhin kann der Objekthalter 50 um eine in z-Richtung ausgerichtete Rotationsachse 52 gedreht werden.
Weiterhin umfasst das Positioniergerät 20 einen Messkopfpositionierer 30, welcher dazu dient, den Messkopf 18 in vertikaler Richtung, d.h. entlang der z-Achse, wie mittels des Doppelpfeils 32 veranschaulicht, zu bewegen. Weiterhin ist der Messkopfpositionierer 30 dazu konfiguriert, den Messkopf 18 in Bezug auf eine, in der x-y-Ebene und damit quer zur z-Achse angeordnete, Kippachse 34 zu verkippen. Die damit erzielbare Kippbewegung Θ in Bezug auf die Kippachse 34 ist in 1 mittels eines Doppelpfeils 36 veranschaulicht.
Die Mechanik des Messkopfpositionierers 30 ermöglicht weiterhin die Verkippung der Kippachse 34 in Bezug auf eine Rotationsachse 38, welche in Richtung der z-Achse ausgerichtet ist. Die diesbezügliche Kippbewegung φ ist in 1 mittels eines Doppelpfeils 40 veranschaulicht. Der Mechanismus im Messkopfpositionierer 30 ist derart konfiguriert, dass der gesamte Kippmechanismus zur Verkippung des Messkopfes 18 um die Kippachse 34 in Bezug auf die Rotationsachse 38 gedreht werden kann. Damit kann die Kippachse 34 in jeder Orientierung in der x-y-Ebene angeordnet werden.
Gemäß einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Bewertungsverfahrens zur Bewerten der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils 12 werden zunächst, wie bereits vorstehend angesprochen, unter Ausnutzung der Positionier-Freiheitsgrade des Positioniergeräts 20 eine jeweilige Positionsabweichung 64 an mehreren Messpunkten 60 des Test-Bauteils 12 gemessen. Dabei bezieht sich die gemessene Positionsabweichung 64 jeweils auf die Abweichung des jeweiligen Messpunktes 60 von einer jeweiligen Sollposition 62. In dem in 2 veranschaulicht Ausführungsbeispiel ist ein Trägerelement 70 veranschaulicht, an dem das Test-Bauteil 12 in einem späteren Fertigungsschritt befestigt werden soll. Dies erfolgt durch formschlüssige Montage der Messfläche 66 an einer Anlagefläche 72 des Trägerelements 70.
Im vorliegenden Ausführungsbeispiel weist die Anlagefläche 72 eine ebene Form auf. Vor dem Montagevorgang weicht die Form der Messfläche 66 des Test-Bauteils 12 jedoch von der Form der Anlagefläche 72 eines Trägerelements 70 ab. Im Ausführungsbeispiel gemäß 2 ist diese Abweichung an den Eckpunkten der Messfläche 66 vorne links und hinten rechts, d.h. an den Messpunkten 60-1 und 60-5 am größten, und nimmt zu den Eckpunkten vorne rechts und hinten links hin kontinuierlich ab.
Die betreffenden Positionsabweichungen 64 der Messfläche 66 von der Anlagefläche 72 an den jeweiligen Messpunkten 60-1 bis 60-10 werden im vorliegenden Ausführungsbeispiel mittels der Messeinrichtung 14 vermessen. Die gemessenen Positionsabweichungen 64, im vorliegenden Fall die Positionsabweichungen 64-1 bis 64-10, werden in 1 auch als $Δ_{i}^{T}$
bezeichnet, wobei i die Zählvariable der gemessenen Positionsabweichungen ist. Wie in 1 veranschaulicht, werden die Positionsabweichungen $Δ_{i}^{T}$
an die Auswerteeinrichtung 16 übermittelt.
Alternativ zur vorstehend beschriebenen Punkt-für-Punkt-Vermessung der Positionsabweichungen 64 an den diskreten Messpunkten 60 können die Postionsabweichungen $Δ_{i}^{T}$
auch aus einem durch eine Flächenmessung der Abweichung der Messfläche 66 von ihrer Sollform erlangten Messbild gewonnen werden. Ein Beispiel eines derartigen Messbildes ist in 8 dargestellt. Dieses kann z.B. durch die bereits vorstehend angesprochene Konfiguration des Messkopfes 18 als Flächen-Interferometer, wie etwa als Fizeau-Interferometer, oder als Scanning-Konfokal-Mikroskop gewonnen werden. Dabei können dann entweder die gesamte Flächenabweichungsmessung oder auch eine aus der Flächenabweichungsmessung extrahierte Menge an Punktabweichungswerten als Positionsabweichungen $Δ_{i}^{T}$
an die Auswerteeinrichtung 16 übermittelt werden.
Die Auswerteeinrichtung 16 ist dazu konfiguriert, mittels eines Bewertungsalgorithmus 74 eine Bewertung B^T (Bezugszeichen 76) der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils 12 durch Interpretation der Positionsabweichungen $Δ_{i}^{T}$
zu bestimmen.
Dabei handelt es sich bei der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils 12 im vorliegenden Ausführungsbeispiel um die Positionierung der Funktionsfläche 68 nach Durchführung des vorstehend erwähnten Montagevorgangs, bei dem das Test-Bauteil 12 durch Andrücken der Messfläche 66 an die Anlagefläche 72 des Trägerelements 70, d.h. unter Ausübung einer senkrecht zur Anlagefläche 72 gerichteten Montage-Kraft 78, formschlüssig am Trägerelement 70 befestigt wird.
Die Positionierung der Funktionsfläche 68 im montierten Zustand ist maßgeblich für die Bewertung, ob das Test-Bauteil 12 die ihm zugedachte Funktion erfüllen kann. Im vorstehend erwähnten Beispiel, bei dem das Test-Bauteil 12 als Halterungsmodul zur Halterung eines Spiegels im Projektionsobjektiv oder Beleuchtungssystem einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie konfiguriert ist, wird an der Funktionsfläche 68 der betreffende Spiegel befestigt. Eine durch die Montage des Test-Bauteils 12 am Trägerelement 70 auftretende Verdrehung der Funktionsfläche 68 führt zu Fehlern in der optischen Eigenschaft des betreffenden Projektionsobjektivs oder Beleuchtungsmoduls und kann daher nur in begrenztem Umfang toleriert werden.
Alternativ oder zusätzlich kann die funktionale Eigenschaft des Test-Bauteils 12 auch andere Eigenschaften des Test-Bauteils 12 betreffen, welche für die Funktion desselben maßgeblich sind. So kann die funktionale Eigenschaft beispielsweise auch einen Wärmewiderstand des Test-Bauteils 12 umfassen.
Zurückkommend auf das Ausführungsbeispiel, bei dem die funktionale Eigenschaft die Positionierung der Funktionsfläche 68 im montierten Zustand betrifft, veranschaulicht 3 das Test-Bauteil 12 im formschlüssig am Trägerelement 70 montierten Zustand. Aufgrund der vor der Montage vorliegenden Positionsabweichungen 64 der Messfläche 66, welche ja gleichzeitig die Montagefläche ist, verformt sich beim Montagevorgang das Test-Bauteil 12, sodass die oben angeordnete Funktionsfläche 68 im vorliegenden Ausführungsbeispiel im Wesentlichen eine Verdrehung erfährt. Zur Veranschaulichung ist in 3 neben der aufgrund des Montagevorgangs verdehten Funktionsfläche 68 auch die Funktionsfläche 68v im Zustand vor der Montage mit gepunkteten Linien eingezeichnet.
Die aufgrund der Montage des Test-Bauteils 12 am Trägerelement 70 auftretende Verdrehung der Funktionsfläche 68 lässt sich im in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel durch zwei Parameter P₁ (Bezugszeichen 80-1) und P₂ (Bezugszeichen 80-2) charakterisieren. Der Parameter P₁ bezeichnet beispielsweise eine Drehung bzw. Rotation R^y _z Z der sich in y-Richtung erstreckenden Symmetrieachse 82y der Funktionsfläche 68 um eine in z-Richtung angeordnete Drehachse. Der Parameter P₂ bezeichnet wiederum eine Drehung bzw. Rotation R^x _z der sich in x-Richtung erstreckenden Symmetrieachse 82x der Funktionsfläche 68 ebenfalls um eine in z-Richtung angeordnete Drehachse. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel weist der Parameter P₁ einen größeren Wert auf als der Parameter P₂, d.h. bzgl. der Funktionsfläche 68 liegt neben einer Verdrehung auch noch eine Verzerrung vor. Allgemein können die Parameter P_i eine irgendwie geartete Positionsabweichung eines oder mehrerer Prüfpunkte auf der Funktionsfläche 68 von einer jeweiligen Sollposition bezeichnen.
Wie bereits vorstehend erwähnt, ist die Auswerteeinrichtung 16 gemäß 1 dazu konfiguriert, durch Interpretation der mittels der Messeinrichtung 14 gemessenen Positionsabweichungen $Δ_{i}^{T}$
die Bewertung B^T (Bezugszeichen 76) der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils 12 zu bestimmen. Die Bewertung B^T gibt dabei an, wie die funktionale Eigenschaft bei der bestimmungsgemäßen Verwendung des Test-Bauteils 12 zu bewerten ist, im vorliegenden Beispiel ist diese Bewertung abhängig von den Werten der vorstehend erläuterten Parameter P₁ und P₂ der Funktionsfläche 68 im montierten Zustand.
Die Bewertung 76 kann dabei unterschiedliche Formate aufweisen. So kann bei der Bewertung 76 zwischen mehreren Kategorien unterschiedlichen Erfüllungsgrads von vorgegebenen Anforderungen unterschieden werden. Im einfachsten Fall wird bei der Bewertung 76 lediglich zwischen den Kategorien „Anforderungen erfüllt“ (vgl. Bewertungskategorie 76-1 gemäß 5 bzw. 6) und „Anforderungen nicht erfüllt“ (vgl. Bewertungskategorie 76-2 gemäß 5 bzw. 6). Weiterhin kann bei der Bewertung 76 beispielsweise zwischen den Kategorien „Maß der Erfüllung >60“ (vgl. Bewertungskategorie 76-1 gemäß 7a), „Maß der Erfüllung im Bereich 40 bis 60“ (vgl. Bewertungskategorie 76-2 gemäß 7a) und „Maß der Erfüllung im Bereich kleiner als 20“ (vgl. Bewertungskategorie 76-4 gemäß 7a) unterschieden werden, wobei 100 das maximale Erfüllungsmaß ist.
Darüber hinaus kann die Bewertung 76 auch lediglich eine Maßzahl umfassen, welche den Erfüllungsgrad der vorgegebenen Anforderungen angibt (vgl. Bewertung 76 gemäß 7b - Maßzahl 32,4 auf der Bewertungsskala von 0 bis 100). Wird die Bewertung 76 aus ausschließlich einem Parameter bestimmt, so kann die Bewertung dem Parameter selbst entsprechen.
Die Auswerteeinrichtung 16 bestimmt die Bewertung B^T des Test-Bauteils 12 ohne die Messwerte der Parameter P₁ und P₂ für das konkret vorliegende Bauteil zu kennen. Dies erfolgt mittels des Bewertungsalgorithmus 74, welcher zuvor anhand einer Vielzahl an Datensätzen 84 (vgl. Datensätze 84-1, 84-2 usw. in 1) angelernt bzw. trainiert wurde. Ein jeder der Datensätze 84 umfasst gemessene Positionsabweichungen $Δ_{i}^{A}$
(Bezugszeichen 64) eines Anlern-Bauteils 12A-1, 12A-2 etc. (auch Trainings-Bauteil bezeichnet) sowie die zugehörige Bewertung B^A (Bezugszeichen 76). Das jeweilige Anlern-Bauteil 12A weist die gleiche Nominal-Geometrie wie das Test-Bauteil 12 auf, d.h. es unterscheidet sich vom Test-Bauteil lediglich durch Fertigungsabweichungen. Die zugehörige Bewertung B^A der Anlern-Bauteile 12A wird, anders als die Bewertung B^T des Test-Bauteils 12, anhand von Messungen bei bestimmungsgemäßer Verwendung des betreffenden Anlern-Bauteils 12 bestimmt.
Im Fall des veranschaulichten Ausführungsbeispiels, bei dem die Bauteile als Halterungsmodul zur Halterung eines Spiegels im Projektionsobjektiv oder Beleuchtungssystem einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie konfiguriert sind, werden gemäß einer Ausführungsvariante zunächst die vorstehend unter Bezugnahme auf 3 erläuterten Parameter P₁ und P₂ (R^y _z und R^x _z - siehe Bezugszeichen 80-1 und 80-2) für das jeweilige am Trägerelement 70 montierte Anlern-Bauteil 12A vermessen und anhand dieser Parameter die Bewertung B^A bestimmt. Die Bestimmung der Bewertung B^A aus den Parametern P₁ und P₂ kann automatisiert anhand vorgegebener Auswerteregeln oder auch mittels individueller Bewertung durch einen darauf spezialisierten Techniker erfolgen.
In 4 ist ein Ausführungsbeispiel zur Bestimmung Parameters P₂ (R^x _z) des am Trägerelement 70 montierten Anlern-Bauteils 12A (vgl. 3) veranschaulicht. In diesem Ausführungsbeispiel wird ein Referenzbauteil an der Funktionsfläche 68 befestigt und dessen Ausrichtung in Bezug auf eine Nominalausrichtung mittels zweiter Sensoren 92-1 und 92-2 vermessen.
Gemäß einer weiteren Ausführungsvariante kann zur Ermittlung der der Bewertung B^A zugrundeliegenden Parameter P_i nach Montage des Anlern-Bauteils 12A am Trägerelement 70 auch der zugehörige Spiegel an dem betreffenden als Halterungsmodul ausgeführten Anlern-Bauteil 12A montiert werden und daraufhin das optische Verhalten des Anlern-Bauteils 12A durch entsprechend optische Vermessung des das Anlern-Bauteil 12A enthaltenden Projektionsobjektivs oder Beleuchtungssystems bestimmt werden. Die das dabei bestimmte optische Verhalten charakterisierenden Parameter dienen in dieser Ausführungsvariante als Parameter P_i zur Bestimmung der betreffenden Bewertung B^A des jeweiligen Anlern-Bauteils 12A.
Der mittels der Vielzahl an Datensätzen 84 aus jeweils den gemessenen Positionsabweichungen $Δ_{i}^{A}$
und der zugehörigen Bewertung B^A angelernte Bewertungsalgorithmus 74 kann in unterschiedlichen Ausführungsformen vorliegen. 5 veranschaulicht eine Ausführungsform 74-1, bei welcher der Bewertungsalgorithmus zur Ausführung eines auf künstlicher Intelligenz beruhenden Klassifizierungsverfahrens konfiguriert ist. Das zuvor mittels der Datensätze 84 angelernte Klassifizierungsverfahren ermittelt aus den zugeführten Positionsabweichungen $Δ_{i}^{T}$
(in 5 exemplarisch mittels der Positionsabweichungen 64-1, 64-2 und 64-3 bezeichnet) die geeignete Bewertung 76 für das betreffende Test-Bauteil 12.
Dabei unterscheidet die Bewertung 76, wie vorstehend erläutert, lediglich zwischen den Bewertungskategorien „Anforderungen erfüllt“ (Bezugszeichen 76-1) und „Anforderungen nicht erfüllt“ (Bezugszeichen 76-2). Gemäß alternativer Ausführungsvarianten unterscheidet die Bewertung 76 zwischen den vorstehend bereits erläuterten Bewertungskategorien 76-1 bis 76-4 gemäß 7a oder spezifiziert die Maßzahl gemäß 7b. Als dem Klassifizierungsverfahren zugeführte Positionsabweichungen $Δ_{i}^{T}$
können, wie vorstehend beschrieben, die durch Punkt-für-Punkt Vermessung mittels der in 1 dargestellten Messeinrichtung 14 ermittelten diskreten Messwerte oder auch das Ergebnis einer Flächenabweichungsmessung gemäß 8 dienen.
6 veranschaulicht eine weitere Ausführungsform 74-2, bei welcher der angelernte Bewertungsalgorithmus auf einem künstlichen neuronalen Netzwerk beruht. Das zuvor mittels der Datensätze 84 angelernte künstliche neuronale Netzwerk ermittelt aus den zugeführten Positionsabweichungen $Δ_{i}^{T}$
(in 6 exemplarisch mittels der Positionsabweichungen 64-1, 64-2 und 64-3 bezeichnet) die geeignete Bewertung 76 für das betreffende Test-Bauteil 12.
Dabei unterscheidet die Bewertung 76, wie vorstehend erläutert, lediglich zwischen den Bewertungskategorien „Anforderungen erfüllt“ (Bezugszeichen 76-1) und „Anforderungen nicht erfüllt“ (Bezugszeichen 76-2). Gemäß alternativer Ausführungsvarianten unterscheidet die Bewertung 76 zwischen den vorstehend bereits erläuterten Bewertungskategorien 76-1 bis 76-4 gemäß 7a oder spezifiziert die Maßzahl gemäß 7b. Als dem künstlichen neuronalen Netz zugeführte Positionsabweichungen $Δ_{i}^{T}$
können, analog zum Klassifizierungsverfahren gemäß 5, die durch Punkt-für-Punkt Vermessung mittels der in 1 dargestellten Messeinrichtung 14 ermittelten diskreten Messwerte oder auch das Ergebnis einer Flächenabweichungsmessung gemäß 8 dienen.
Das dem Bewertungsalgorithmus 74-2 zugrunde liegende künstliche neuronale Netzwerk ist in 6 exemplarisch anhand dreier verborgener Schichten 86-1, 86-2 und 86-3 sowie einer Ausgabeschicht 88 veranschaulicht. Dabei weist die erste verborgene Schicht 88-1 drei Knoten, und die beiden weiteren verborgenden Schichten 88-2 und 88-3 jeweils vier Knoten auf, wobei die Konfiguration der Verbindungskanten zwischen den einzelnen Knoten insbesondere während des Anlernprozesses mittels der Datensätze 84 ausgebildet werden. Das dem Bewertungsalgorithmus 74-2 zugrunde liegende künstliche neuronale Netz kann in unterschiedlichen Konfigurationsformen vorliegen und insbesondere mehr oder weniger Schichten bzw. Knoten als in 5 dargestellt aufweisen.
Die vorstehende Beschreibung beispielhafter Ausführungsbeispiele, Ausführungsformen bzw. Ausführungsvarianten ist exemplarisch zu verstehen. Die damit erfolgte Offenbarung ermöglicht es dem Fachmann einerseits, die vorliegende Erfindung und die damit verbundenen Vorteile zu verstehen, und umfasst andererseits im Verständnis des Fachmanns auch offensichtliche Abänderungen und Modifikationen der beschriebenen Strukturen und Verfahren. Daher sollen alle derartigen Abänderungen und Modifikationen, insoweit sie in den Rahmen der Erfindung gemäß der Definition in den beigefügten Ansprüchen fallen, sowie Äquivalente vom Schutz der Ansprüche abgedeckt sein.
Bezugszeichenliste

10: Bewertungsvorrichtung
12: Test-Bauteil
12A: Anlern-Bauteil
14: Messeinrichtung
16: Auswerteeinrichtung
18: Messkopf
20: Positioniergerät
22: Rahmen
24: vertikales Rahmenelement
26: Querelement des Rahmens
28: Basiselement des Rahmens
30: Messkopfpositionierer
32: Doppelpfeil
34: Kippachse
36: Doppelpfeil
38: Kippachse
40: Doppelpfeil
42: erster Schlitten
44: Doppelpfeil
46: zweiter Schlitten
48: Doppelpfeil
50: Objekthalter
52: Rotationsachse
60: Messpunkte
62: Sollpositionen
64: Positionsabweichung
66: Messfläche
68: Funktionsfläche
68v: Funktionsfläche vor Montage
70: Trägerelement
72: Anlagefläche
74: Bewertungsalgorithmus
76: Bewertung
76-1 bis 76-4: Bewertungskategorien
78: Montage-Kraft
80: Parameter
82x: x-Symmetrieachse
82y: y-Symmetrieachse
84: Datensätze
86: verborgene Schichten
88: Ausgabeschicht
90: Referenzbauteil
92-1: erster Sensor
92-2: zweiter Sensor

Claims

Verfahren zum Bewerten einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils (12), mit den Schritten: -Vermessen einer jeweiligen Positionsabweichung (64) mehrerer Messpunkte (60) am Test-Bauteil von einer jeweiligen Sollposition (62), sowie - Bestimmen einer Bewertung (76) der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils durch Interpretation der vermessenen Positionsabweichungen mittels eines anhand einer Vielzahl an Datensätzen (84) vorab angelernten Bewertungsalgorithmus (74), wobei die Datensätze (84) unterschiedliche Anlern-Bauteile (12A) betreffen, welche sich jeweils lediglich durch Fertigungsabweichungen vom Test-Bauteil unterscheiden, und wobei die Datensätze (84) jeweils Messwerte von Positionsabweichungen (64) des betreffenden Anlern-Bauteils an zumindest einem Teil der Messpunkte (60) sowie eine jeweilige, auf einer Messung beruhende, Bewertung (76) der funktionalen Eigenschaft des betreffenden Anlern-Bauteils umfassen.
Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die funktionale Eigenschaft eine Eigenschaft des Test-Bauteils (12) bzw. des Anlern-Bauteils (12A) ist, welche bei einer bestimmungsgemäßen Verwendung des betreffenden Bauteils vorliegt.
Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die funktionale Eigenschaft eine Positionierung einer Funktionsfläche (68) des Test-Bauteils (12) bzw. des Anlern-Bauteils (12A) bei der bestimmungsgemäßen Verwendung des betreffenden Bauteils umfasst.
Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, bei dem die funktionale Eigenschaft eine Eigenschaft des Test-Bauteils (12) bzw. des Anlern-Bauteils (12A) ist, welche nach einer Montage des betreffenden Bauteils an einem Trägerelement (70) vorliegt.
Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, wobei bei der Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils (12) zwischen mehreren Kategorien (76-1 bis 76-4) unterschiedlichen Erfüllungsgrads von vorgegebenen Anforderungen unterschieden wird.
Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, bei dem die Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils (12) eine Maßzahl umfasst, welche einen Erfüllungsgrad von vorgegebenen Anforderungen angibt.
Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, bei dem der Bewertungsalgorithmus (74) auf künstlicher Intelligenz basiert.
Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, bei dem der Bewertungsalgorithmus (74-1) zur Ausführung eines Klassifizierungsverfahrens konfiguriert ist.
Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, bei dem der Bewertungsalgorithmus (74-2) auf einem künstlichen neuronalen Netz basiert.
Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, bei dem das Vermessen der Positionsabweichungen (64) der Messpunkte durch optische Vermessung einer Formabweichung zumindest eines Teils der Oberfläche (66) des betreffenden Bauteils (12, 12A) erfolgt.
Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, bei dem das Vermessen der Positionsabweichungen (64) der Messpunkte durch taktile Vermessung einer Formabweichung zumindest eines Teils der Oberfläche des betreffenden Bauteils (12, 12A) erfolgt.
Verfahren zum Anlernen eines Bewertungsalgorithmus (74), welcher zum Bestimmen einer Bewertung (76) einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils (12) konfiguriert ist, mit den Schritten: - Vermessen einer jeweiligen Positionsabweichung (64) für eine jeweilige Mehrzahl von Messpunkten (60) an einer jeweiligen Funktionsfläche (68) unterschiedlicher Anlern-Bauteile (12A) von einer jeweiligen Sollposition (62), - Vermessen mindestens eines Parameters (80) am jeweiligen Anlern-Bauteil (12A) und Bestimmung einer Bewertung (76) der funktionalen Eigenschaft des betreffenden Anlern-Bauteil auf Grundlage des mindestens einen vermessenen Parameters, wobei die jeweilige Positionsabweichungen sowie die jeweilige Bewertung einen Datensatz (84) des jeweiligen Anlern-Bauteils bilden, sowie - Anlernen des Bewertungsalgorithmus (74) anhand der Datensätze (84) der unterschiedlichen Anlern-Bauteile (12A).
Verfahren nach Anspruch 12, bei dem das Vermessen des mindestens einen Parameters am jeweiligen Anlern-Bauteil (12A) im Zustand einer bestimmungsgemäßen Verwendung des betreffenden Bauteils erfolgt.
Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, bei dem der mindestens eine vermessene Parameter (80) am jeweiligen Anlern-Bauteil (12A) eine Positionsabweichung eines oder mehrerer Prüfpunkte von einer jeweiligen Sollposition umfasst.
Vorrichtung (10) zum Bewerten einer funktionalen Eigenschaft eines Test-Bauteils (12) mit: - einer Messeinrichtung (14) zum Vermessen einer jeweiligen Positionsabweichung (64) mehrerer Messpunkte (60) am Test-Bauteil von einer jeweiligen Sollposition, sowie - einer Auswerteeinrichtung (16) zur Bestimmung einer Bewertung der funktionalen Eigenschaft des Test-Bauteils durch Interpretation der vermessenen Positionsabweichungen mittels eines anhand einer Vielzahl an Datensätzen (84) vorab angelernten Bewertungsalgorithmus (74), wobei die Datensätze (84) unterschiedliche Anlern-Bauteile (12A) betreffen, welche sich jeweils lediglich durch Fertigungsabweichungen vom Test-Bauteil unterscheiden, und wobei die Datensätze (84) jeweils Messwerte von Positionsabweichungen (64) des betreffenden Anlern-Bauteils an zumindest einem Teil der Messpunkte (60) sowie eine jeweilige, auf einer Messung beruhende, Bewertung (76) der funktionalen Eigenschaft des betreffenden Anlern-Bauteils umfassen.
Vorrichtung nach Anspruch 15, wobei der Bewertungsalgorithmus (76) auf künstlicher Intelligenz beruht.