DE102019208015A1 - Sensoranordnung zur Bestimmung eines Drucks eines fluiden Mediums - Google Patents

Sensoranordnung zur Bestimmung eines Drucks eines fluiden Mediums Download PDF

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Holger Scholzen
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Abstract

Es wird eine Sensoranordnung (110) zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums vorgeschlagen. Die Sensoranordnung (110) umfasst:• mindestens einen Druckstutzen mit mindestens einem für das fluide Medium zugänglichen Innenraum (120);• mindestens ein Sensorelement (130), wobei das Sensorelement (130) eine erste Seite (140) und eine der ersten Seite (140) gegenüberliegende zweite Seite (142) aufweist, wobei die erste Seite (140) dem Druckstutzen (112) zugewandt sind;• mindestens ein Steckergehäuse (128), wobei das Steckergehäuse (128) mindestens einen Steckerkontakt (148) aufweist, wobei der Steckerkontakt (148) mit mindestens einem Sensorelementkontakt (146) des Sensorelements (130) elektrisch leitfähig verbindbar ist; dadurch gekennzeichnet, dass die erste Seite (140) die Sensorelementkontakte (146) aufweist.

Description

  • Stand der Technik
  • Aus dem Stand der Technik sind zahlreiche Vorrichtungen zur Bestimmung eines Drucks eines fluiden Mediums bekannt, also von Flüssigkeiten und/oder Gasen. Bei den Vorrichtungen kann es sich dabei insbesondere um mikromechanische Drucksensoren handeln, wie sie beispielsweise aus Konrad Reif (Hrsg.): Sensoren im Kraftfahrzeug, 2. Auflage 2012, Seiten 134-136 bekannt sind.
  • Bekannt sind Drucksensoranordnungen mit mikromechanisch bearbeiteten elektronischen Drucksensoren (MEMS-Drucksensoren), die wenigstens eine deformierbare drucksensitive Membran aufweisen, die typischerweise einer interessierenden Medienumgebung ausgesetzt wird, um dort den Druck kontinuierlich zu messen und zu überwachen. Während hierbei etwa die Messung des Atmosphärendrucks in Anwendungen der Verbraucherelektronik lediglich ein stabiles Sensormodul innerhalb eines schützenden Gehäuses, beispielsweise eines Mobiltelefons, verlangt, benötigt der selbe elektronische Drucksensor die Verwendung mit einem Isolationsmedium, beispielsweise eines Gels oder eines Öls, als zusätzlichen Schutz gegen Staub, Partikel, Feuchte oder Abgase sowie weitere korrosive oder aggressive Medien in industriellen oder automotiven Anwendungen.
  • Zu derartigen Herausforderungen der Medienisolation durch Ausbildung eines robusten Moduls kennt man bereits Lösungsansätze etwas aus der US 6,311 , 561 B1 , US 6,577,244 B2 und US 6,938,490 B2 .
  • Trotz der Vorteile der aus dem Stand der Technik bekannten Sensoranordnungen beinhalten diese noch Verbesserungspotenzial. So ist eine Fertigung sehr aufwändig und kostenintensiv.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Es wird daher eine Sensoranordnung zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums vorgeschlagen, welches die oben beschriebenen Nachteile des Standes der Technik adressiert. Insbesondere sollen die Fertigung optimiert werden und die Herstellungskosten reduziert werden.
  • In einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Sensoranordnung zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums, insbesondere einer Flüssigkeit und/oder eines Gases, vorgeschlagen. Die Sensoranordnung umfasst mindestens einen Druckstutzen mit mindestens einem für das fluide Medium zugänglichen Innenraum. Insbesondere kann der Druckstutzen mindestens ein erstes Ende und mindestens ein zweites Ende aufweisen. Der Druckstutzen kann eingerichtet sein, einen Druck mittels eines fluiden Mediums vom dem ersten Ende zu dem zweiten Ende zu führen. Weiterhin umfasst die Sensoranordnung mindestens ein Sensorelement. Das Sensorelement kann eingerichtet sein zur Erfassung des Drucks des fluiden Mediums. Das Sensorelement weist eine erste Seite und eine der ersten Seite gegenüberliegende zweite Seite auf. Die erste Seite ist dem Druckstutzen zugewandt. Die erste Seite weist mindestens einen Sensorelementkontakt auf. Die Sensoranordnung umfasst weiterhin mindestens ein Steckergehäuse. Das Steckergehäuse weist mindestens einen Steckerkontakt auf. Der Steckerkontakt ist mit dem Sensorelementkontakt des Sensorelements elektrisch leitfähig verbindbar.
  • Unter einer „Sensoranordnung“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige Vorrichtung verstanden werden, welche einen Druck bestimmen kann und welche beispielsweise mindestens ein Messsignal entsprechend des Drucks erzeugen kann, beispielsweise ein elektrisches Messsignal wie beispielsweise eine Spannung oder einen Strom.
  • Die Sensoranordnung kann insbesondere zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug eingerichtet sein. Beispielsweise kann die Sensoranordnung zum Einsatz in einem Antriebsstrang und/oder einem Getriebe und/oder einem Thermomanagement-System eines Kraftfahrzeugs, beispielsweise eines Elektrofahrzeugs, eingerichtet sein. Auch andere Ausgestaltungsformen und Einsatzgebiete der Sensoranordnung sind jedoch grundsätzlich möglich.
  • Unter einem „Druckstutzen“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein Element verstanden werden, welches mindestens zwei Enden aufweist die durch einen Hohlraum miteinander verbunden sind, beispielsweise ein Rohr, und welches eingerichtet ist einen Druck mittels eines Fluids, insbesondere durch eine Flüssigkeit und/ oder ein Gas, vorzugsweise mittels des fluiden Mediums, von einem ersten Ende des Druckstutzens an mindestens ein zweites Ende des Druckstutzens zu führen. Insbesondere kann der Druckstutzen dabei eingerichtet sein, Formstabilität aufzuweisen, also seine geometrische Form auch bei Belastung durch den Druck des Fluids beizubehalten. Insbesondere kann der Druckstutzen ein Material umfassen, welches eine höhere Festigkeit aufweist, als der durch das fluide Medium aufgebrachte oder aufbringbare Druck. Hierbei kann der Druckstutzen bevorzugt aus Aluminium oder Messing gefertigt sein. In ebenso vorteilhafter Weise ist auch eine Fertigung des Druckstutzens aus einer Aluminiumlegierung oder einer Messinglegierung oder einer anderen Leichtmetalllegierung denkbar. Insbesondere kann der Druckstutzen auch aus einem beliebigen anderen formstabilen Material gefertigt sein.
  • Die Begriffe „erstes Ende“ und „zweites Ende“ sind als reine Beschreibungen anzusehen, ohne eine Reihenfolge oder Rangfolge anzugeben und beispielsweise ohne die Möglichkeit auszuschließen, dass mehrere Arten von ersten Enden und/oder zweiten Enden oder jeweils genau eine Art vorgesehen sein können. Weiterhin können zusätzliche Enden, beispielsweise ein oder mehrere dritte Enden vorhanden sein. Insbesondere können das erste Ende und das zweite Ende jeweils Stirnseiten des Druckstutzens umfassen.
  • Wie oben bereits ausgeführt, weist der Druckstutzen den für das fluide Medium zugänglichen Innenraum, insbesondere eine Bohrung, beispielsweise eine Zylinderbohrung, auf. Der Begriff „Innenraum“ bezeichnet grundsätzlich ein beliebig geformtes freies Volumen, insbesondere einen Hohlraum, innerhalb eines Objekts. Der Begriff „Bohrung“ bezeichnet grundsätzlich eine Vertiefung, insbesondere eine runde Vertiefung, oder einen Durchbruch, welche/r mittels eines rotierenden Werkzeugs hergestellt ist. Bei der Bohrung kann es sich insbesondere um eine Zylinderbohrung handeln. Die Bohrung kann grundsätzlich einen für das fluide Medium zugänglichen Innenraum ausbilden. Weiterhin kann eine Mantelfläche des induktionsfähigen Druckstutzens ein Gewinde aufweisen zur Befestigung des induktionsfähigen Druckstutzens an einem weiteren Element.
  • Der Innenraum kann dabei über eine Druckzuführung mit dem Sensorelement verbunden sein. Unter einer „Druckzuführung“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein beliebiges Kanalsystem verstanden werden, welches eingerichtet ist, um ein fluides Medium an eine definierte Stelle zu führen, vorzugsweise ohne dabei den Druck des fluiden Mediums zu beeinflussen. Beispielsweise kann eine Druckzuführung mindestens einen Eingang und einen Ausgang aufweisen. Insbesondere kann die Druckzuführung ausgebildet sein, um ein fluides Medium von dem Eingang der Druckzuführung an den Ausgang der Druckzuführung zu leiten ohne dabei den Druck des fluiden Mediums zu verändern.
  • Die Sensoranordnung weist, wie bereits oben ausgeführt, das Steckergehäuse auf. Unter einem „Gehäuse“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige Vorrichtung verstanden werden, welche einen Teil der Sensoranordnung vollständig umschließt und welche vorzugsweise der Sensoranordnung eine mechanische Stabilität und/oder eine Stabilität gegen Umwelteinflüsse verleiht. Insbesondere kann das Gehäuse eingerichtet sein, um mit dem Druckstutzen verbunden zu werden. Beispielsweise kann das Gehäuse mit dem Druckstutzen dauerhaft verbunden, insbesondere gefügt, werden. Dabei kann das Gehäuse beispielsweise derart ausgebildet sein um in eine Öffnung des Druckstutzens eingesteckt werden zu können. Insbesondere kann eine Form des Gehäuses und/oder des Druckstutzens eine Verbindung zwischen dem Gehäuse und dem Druckstutzen ermöglichen. Bei der Verbindung zwischen Steckergehäuse und Druckstutzen kann es sich insbesondere um eine formschlüssige Verbindung handeln. Beispielsweise kann ein Fügen des Gehäuses mit dem Druckstutzen durch Umformen, vorzugsweise durch Bördeln, insbesondere Rändeln, Falzen, Engen, oder weitere beliebige Fügeverfahren ermöglicht werden. Die stoffschlüssige Verbindung kann eingerichtet sein, eine Vorspannung des Dichtelements zu gewährleisten. Die stoffschlüssige Verbindung kann von außen mit einem Dichtverguss abgedichtet sein.
  • Wie bereits oben ausgeführt, weist das Steckergehäuse den mindestens einen Steckerkontakt auf. Weiterhin, wie bereits oben aufgeführt, weist das Sensorelement den mindestens einen Sensorelementkontakt auf. Unter den Begriffen „Steckerkontakt“ und „Sensorelementkontakt“ sind grundsätzlich elektrische Kontakte zu verstehen. Der Begriff „elektrischer Kontakt“ bezeichnet grundsätzlich einen beliebigen elektrischen Anschluss eines elektronischen Bauteils, welcher mit einem weiteren elektrischen Anschluss eines weiteren elektronischen Bauteils elektrisch leitfähig verbunden werden kann. Der Sensorelementkontakt und der Steckerkontakt können mittels mindestens einer elektrisch leitfähigen Verbindung miteinander verbunden sein. Der Begriff „elektrisch leitfähige Verbindung“ bezeichnet grundsätzlich ein beliebiges elektrisch leitfähiges Element, mittels dessen ein elektrischer Anschluss eines elektronischen Bauteils mit einem weiteren elektrischen Anschluss eines weiteren elektronischen Bauteils elektrisch leitfähig verbindbar ist. Die elektrisch leitfähige Verbindung kann insbesondere einen dünnen Draht, insbesondere einen Bonddraht, umfassen. Mittels des Drahts können die elektrischen Anschlüsse verbunden werden, insbesondere durch Löten oder Kaltpressschwei ßen.
  • Das Steckergehäuse kann mindestens eine Aufnahme aufweisen. Unter einer „Aufnahme“ wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein freies Volumen eines beliebigen Elements verstanden, in welches ein anderes Element oder Bauteil eingebracht werden kann. Die Aufnahme kann von mindestens einer Oberfläche des Elements zugänglich sein. Insbesondere kann die Oberfläche eine Öffnung aufweisen, von welcher die Aufnahme zugänglich ist. Die Aufnahme kann eine Vertiefung innerhalb des Elements darstellen. Das Sensorelement kann in der Aufnahme angeordnet sein.
  • Unter einem „Sensorelement“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein beliebiges Element mit mindestens einer Sensorfunktion verstanden werden. Das Sensorelement kann mindestens ein mikromechanisch bearbeitetes elektronisches Sensorelement (MEMS-Sensorelement) sein. Das Sensorelement kann mindestens eine deformierbare, drucksensitive Membran aufweisen. Die Membran kann eingerichtet sein, einer interessierenden Medienumgebung ausgesetzt zu werden, um dort den Druck kontinuierlich zu messen und zu überwachen.
  • Das Sensorelement kann mindestens einen Schaltungsträger umfassen. Der Begriff „Schaltungsträger“ bezeichnet grundsätzlich einen beliebigen Träger für elektronische Bauteile. Der Schaltungsträger kann eingerichtet sein für eine mechanische Befestigung von anderen Elementen und/oder für ein Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen zwei oder mehreren Elementen. Der Schaltungsträger kann aus einem elektrisch isolierenden Material hergestellt sein und ein oder mehrere daran haftende, elektrisch leitende Verbindungen, insbesondere Leiterbahnen umfassen. Beispielsweise kann es sich bei dem Schaltungsträger um eine beliebige Platte, insbesondere eine Platine, eine Kunststoff- und/oder eine Metallplatte handeln. Insbesondere kann der Schaltungsträger aus einem faserverstärken Kunststoff hergestellt sein. Der Schaltungsträger kann daher auch als Leiterplatte bezeichnet werden.
  • Weiterhin kann das Sensorelement mindestens eine Moldmasse aufweisen. Der Begriff „Moldmasse“ bezeichnet grundsätzlich ein Material aus einem duroplastischen Material, insbesondere einem Harz, insbesondere aus einem Epoxidmaterial, welches in eine Form gegeben wird und anschließend ausgehärtet wird. Die Moldmasse kann eingerichtet sein, die elektronischen Bauteile des Schaltungsträgers zu umschließen und somit vor äußeren Einflüssen wie Feuchtigkeit und/oder Verschmutzungen zu schützen.
  • Die Sensoranordnung kann weiterhin eine Ansteuer- und Auswerteeinheit umfassen. Die Ansteuer- und Auswerteeinheit kann insbesondere Teil des Sensorelements sein. Die Steuer- und Auswerteeinheit kann auf dem Schaltungsträger angeordnet sein. Unter einer „Ansteuer- und Auswerteeinheit“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein beliebiges System verstanden werden, welches eingerichtet ist eine Aufnahme und/oder Auswertung beliebiger Signale zu steuern. Insbesondere kann die Ansteuer- und Auswerteeinheit eingerichtet sein, um eine Auswertung, beispielsweise eine Auswertung unter Verwendung einer Auswerteeinheit, zu überwachen. Beispielsweise kann die Ansteuer- und Auswerteschaltung insbesondere ein Steuergerät, einen Computer, einen Prozessor oder ein ähnliches System umfassen. Insbesondere kann die Ansteuer- und Auswerteeinheit eine Mehrzahl von Leitungen, insbesondere logisch miteinander verknüpfte elektrisch leitende Leiterbahnen, aufweisen. Beispielsweise kann es sich bei der Ansteuer- und Auswerteeinheit um eine elektronische Schaltung, einen Prozessor, einen integrierten Schaltkreis, beispielsweise eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC), oder eine vergleichbare Schaltung handeln.
  • Das Sensorelement weist, wie bereits oben ausgeführt, die erste Seite und die der ersten Seite gegenüberliegende zweite Seite auf. Die erste Seite ist dem Druckstutzen zugewandt. Die erste Seite weist die Sensorelementkontakte auf. Insbesondere kann der Schaltungsträger dem Druckstutzen zugewandt sein und die Moldmasse kann dem Steckergehäuse zugewandt sein.
  • Die Begriffe „erste Seite“ und „zweite Seite“ sind als reine Beschreibungen anzusehen, ohne eine Reihenfolge oder Rangfolge anzugeben und beispielsweise ohne die Möglichkeit auszuschließen, dass mehrere Arten von ersten Seiten und/oder zweiten Seiten oder jeweils genau eine Art vorgesehen sein können. Weiterhin können zusätzliche Seiten, beispielsweise ein oder mehrere dritte Seiten vorhanden sein. Insbesondere kann es sich bei der ersten Seite und bei der zweiten Seite jeweils um Längsseiten des Sensorelements handeln. Die erste Seite und die zweite Seite des Sensorelements können sich quer, insbesondere senkrecht, zu dem Druckstutzen erstrecken.
  • Das Sensorelement kann an dem Steckergehäuse befestigt sein. Der Begriff „Befestigung“ bezeichnet grundsätzlich eine beliebige formschlüssige, stoffschlüssige und/oder kraftschlüssige Verbindung zwischen zwei oder mehr Elementen. Insbesondere kann das Sensorelement stoffschlüssig mit dem Steckergehäuse verbunden sein. Als stoffschlüssige Verbindungen werden alle Verbindungen genannt, bei denen die Verbindungspartner durch atomare oder molekulare Kräfte zusammengehalten werden. Sie sind gleichzeitig nicht lösbare Verbindungen, die sich nur durch Zerstörung der Verbindungsmittel trennen lassen: Das Sensorelement kann auf dem Steckergehäuse aufgeklebt sein, insbesondere mittels eines medienbeständigen Klebstoffs. Unter einem „Klebstoff“ ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein beliebiger Stoff zu verstehen, welcher eingerichtet ist, Werkstoffe durch eine Oberflächenhaftung, insbesondere eine Adhäsion, und eine innere Festigkeit des Klebstoffs, insbesondere einer Kohäsion, zu verbinden. Bei dem Klebstoff kann es sich insbesondere um einen mechanisch flexiblen Klebstoff handeln. Beispielsweise kann ein Siliconklebstoff Semicosil 988 von Fa. Wacker eingesetzt werden. Die Verwendung eines mechanisch flexiblen Klebstoffs kann insbesondere vorteilhaft sein um eine mechanische Entkopplung vom Gehäuse zu erreichen bzw. zu maximieren, insbesondere um eine Verstimmung des Sensorelementes durch thermomechanisches Arbeiten des gesamten Sensors zu minimieren.
  • Die Sensoranordnung kann weiterhin mindestens einen Druckaufnehmer umfassen. Unter einem „Druckaufnehmer“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein Bauteil verstanden werden, welches eingerichtet ist einen Druck des fluiden Mediums aufzunehmen.
  • Der Druckaufnehmer kann mindestens eine mit dem fluiden Medium aus dem Druckstutzen beaufschlagbare Membran umfassen. Unter einer „Membran“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige dünne Trennschicht verstanden werden, welche eine biaxial gespannte Fläche bildet. Beispielsweise kann die Membran derart angeordnet sein, dass sie sich durch den Druck des fluiden Mediums elastisch verformen, also eine reversible Formänderung aufweisen. Insbesondere kann eine Ausprägung der Verformung der Membran abhängig sein von dem Druck des fluiden Mediums. Beispielsweise, kann die Formänderung der Membran mit dem Druck des fluiden Mediums korrelieren.
  • Die Membran kann an dem zweiten Ende des Druckstutzens angeordnet sein. Die Membran und das Steckergehäuse können einen Zwischenraum ausbilden, welcher mit einem inkompressiblen Fluid verfüllt ist.
  • Dabei kann die Membran an dem Steckergehäuse befestigt sein. Das Steckergehäuse kann weiterhin mindestens einen Fluideinfüllkanal aufweisen, welcher durch eine Versiegelungskugel versiegelbar ist. Der Fluideinfüllkanal kann eine Öffnung aufweisen. Die Öffnung kann einer äußeren Umgebung des Steckergehäuses zugewandt sein. Alternativ kann die Öffnung dem Druckstutzen zugewandt sein. Alternativ kann die Membran an dem Druckstutzen befestigt sein und der Druckstutzen und das Steckergehäuse können mittels Bördeln miteinander verbunden sein.
  • Die Membran kann entweder einteilig sein. Beispielsweise kann die Membran aus einem Kunststoff hergestellt sein und dann auf eine Oberfläche des Steckergehäuses oder des Druckstutzens aufgeklebt sein. Beispielsweise kann die Membran aus einem Metall hergestellt und dann auf die Oberfläche des Steckergehäuses oder des Druckstutzens aufgeklebt aufgeschweißt sein. Alternativ kann die Membran zweiteilig ausgebildet sein, und beispielsweise aus Aluminium and Stahl hergestellt sein.
  • Das inkompressible Fluid kann insbesondere eingerichtet sein, um Elemente der Sensoranordnung, insbesondere das Sensorelement, wie eine Sensormembran des Sensorelements, eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC), elektrische Kontakte sowie elektrische Verbindungen, durch einen Fluidpuffer zu schützen. Dadurch kann dieses Element vor aggressiven Medien wie beispielsweise korrosive Flüssigkeiten und/oder Gase geschützt sein. Das inkompressible Fluid kann insbesondere ein Öl sein oder umfassen.
  • In einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums wie es bereits beschrieben wurde oder im Folgenden noch beschrieben wird, vorgeschlagen.
  • Das Verfahren umfasst die dargestellten Schritte, bevorzugt in der angegebenen Reihenfolge. Auch eine andere Reihenfolge ist grundsätzlich möglich. Weiterhin können einer oder mehrere oder alle der Verfahrensschritte auch wiederholt durchgeführt werden. Weiterhin können zwei oder mehrere der Verfahrensschritte auch ganz oder teilweise zeitlich überlappend oder gleichzeitig durchgeführt werden. Das Verfahren kann, zusätzlich zu den genannten Verfahrensschritten auch weitere Verfahrensschritte umfassen
    Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte:
    1. a) Bereitstellen des Druckstutzens (112) mit dem für das fluide Medium zugänglichen Innenraum (120);
    2. b) Bereitstellens des Sensorelements (130) aufweisend die erste Seite (140) und die der ersten Seite (140) gegenüberliegenden zweiten Seite (142), wobei die erste Seite (140) die Sensorelementkontakte (146) aufweist;
    3. c) Bereitstellen des Steckergehäuses (128), wobei das Steckergehäuse (128) den Steckerkontakt (148) aufweist;
    4. d) Anordnen des Sensorelements (130) derart, dass die erste Seite (140) dem Druckstutzen (112) zugewandt ist;
    5. e) Herstellen einer elektrisch leitfähigen Verbindung zwischen dem Steckerkontakt (148) und dem Sensorelementkontakt (146) des Sensorelements (130).
  • Vorteile der Erfindung
  • Die vorgeschlagene Vorrichtung und das vorgeschlagene Verfahren weisen gegenüber bekannten Vorrichtungen und Verfahren zahlreiche Vorteile auf. Insbesondere kann eine Fertigbarkeit optimiert werden und Herstellkosten können reduziert werden.
  • Durch eine Verwendung eines vorabgeglichenen Sensormoduls kann grundsätzlich eine Notwendigkeit zur Durchführung eines Abgleichs an einer kundenspezifischen Steckerschnittstelle oder einer kundenspezifischen Druckschnittstelle entfallen. Dies kann zu einer Kostenreduzierung führen. Gegebenenfalls kann nur noch ein Offset-Abgleich an der kompletten Sensoranordnung notwendig sein.
  • Durch eine Befestigung des Sensorelements an dem Steckergehäuse kann eine Verwendung des Standard-Prozesses Drahtbonden für eine Kontaktierung des Sensorelements an die Steckerkontakte ermöglich werden. Dies stellt eine robuste Verbindung dar. Zudem können die Herstellungskosten reduziert werden.
  • Alle wesentlichen Fertigungsprozesse zur Erzeugung einer Druckmessfunktion können über die Steckerschnittstelle erfolgen, d.h. diese Fertigungsprozesse erfolgen grundsätzlich aus einer Richtung. Eine Anzahl der Herstellungsschritte kann reduziert werden. Dies kann ebenfalls zu einer Kostenreduzierung beitragen.
  • Das Sensorelement kann an nur an vier kleinen Klebepunkten an dem Steckergehäuse befestigt werden und somit durch das inkompressible Medium, insbesondere eines Öl einer Ölvorlage im Wesentlichen isostatisch mit Druck beaufschlagt werden. Dies kann eine Verstimmung des Sensorelements minimieren. Es kann somit eine hohe Genauigkeit bei geringen Herstellkosten realisiert werden.
  • Durch die Membran kann eine Trennung des Sensorelements vom fluiden Medium, dessen Druck ermittelt werden soll, wie beispielsweise eines Kältemittels einer Klimaanlage erfolgen.
  • Figurenliste
  • Weitere optionale Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele, welche in den Figuren schematisch dargestellt sind.
  • Es zeigen:
    • 1A bis 1D eine erfindungsgemäße Sensoranordnung in einer Schnittdarstellung (1A), in einer perspektivischen Schnittdarstellung (1B) sowie in zwei Detailansichten (1C und 1D);
    • 2 eine erfindungsgemäße Sensoranordnung in einer Schnittdarstellung;
    • 3A bis 3E eine erfindungsgemäße Sensoranordnung in einer Schnittdarstellung (3A), in einer perspektivischen Schnittdarstellung (3B) sowie in drei Detailansichten (3C bis 3E);
    • 4A bis 4D ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Sensoranordnung in einer Schnittdarstellung (4A) und in einer perspektivischen Schnittdarstellung (4B) sowie in zwei Detailansichten (4C und 4D); und
    • 5A und 5C ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Sensoranordnung in einer Schnittdarstellung (5A) und in einer perspektivischen Schnittdarstellung (5B) sowie in einer Detailansicht (5C).
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • 1A bis 1D zeigen eine erfindungsgemäße Sensoranordnung 110 in einer Schnittdarstellung (1A), in einer perspektivischen Schnittdarstellung ( 1B) sowie in zwei Detailansichten (1C und 1D).
  • Die Sensoranordnung 110 umfasst einen Druckstutzen 112 mit einem ersten Ende 114 und einem zweiten Ende 116. Insbesondere weist der Druckstutzen 112 einen für das fluide Medium zugänglichen Innenraum 120, insbesondere eine Bohrung 122 auf. Die Bohrung 122 kann sich von dem ersten Ende 114 zu dem zweiten Ende 116 hin erstrecken.
  • Der Druckstutzen kann eine Aufnahme 126 aufweisen. Die Aufnahme 126 kann an dem zweiten Ende 116 angeordnet sein. Die Sensoranordnung 110 umfasst weiterhin ein Steckergehäuse 128. Dabei kann das Steckergehäuse 128 beispielsweise derart ausgebildet sein um in die Aufnahme 126 des Druckstutzens 112 eingesteckt werden zu können.
  • Darüber hinaus weist die Sensoranordnung 110 mindestens ein Sensorelement 130 auf. Das Sensorelement 130 kann ein mikromechanisch bearbeitetes elektronisches Sensorelement 132 sein. Das Sensorelement 130 kann mindestens einen Schaltungsträger 134 umfassen. Weiterhin kann das Sensorelement 130 mindestens eine Moldmasse 136 aufweisen. Die Moldmasse 136 kann eingerichtet sein, elektronische Bauteile (nicht dargestellt) des Schaltungsträgers 134 zu umschließen. Die Moldmasse 136 kann insbesondere als eine Schicht 138 auf dem Schaltungsträger 134 angeordnet sein. Das Sensorelement 130 weist mindestens eine erste Seite 140 auf. Die erste Seite 140 ist dem ersten Ende 114 des Druckstutzens 112 zugewandt. Weiterhin weist das Sensorelement 130 mindestens eine zweite Seite 142 auf, welche der ersten Seite 140 gegenüberliegend angeordnet ist. Das Sensorelement 130 kann flach ausgebildet sein und kann sich senkrecht zu einer Erstreckungsrichtung 144 der Bohrung 122 des Druckstutzens 112 erstrecken.
  • Das Sensorelement 130 weist mindestens einen Sensorelementkontakt 146 auf. Dies ist beispielsweise in 1B dargestellt. Der Sensorelementkontakt 146 kann auf dem Schaltungsträger 134 angeordnet sein. Insbesondere kann der Sensorelementkontakt 146 auf der ersten Seite 140 des Sensorelements 130 angeordnet sein. Weiterhin weist das Steckergehäuse 128 mindestens einen Steckerkontakt 148 auf. Der Sensorelementkontakt 146 und der Steckerkontakt 148 können mittels mindestens einer elektrisch leitfähigen Verbindung 150 miteinander verbunden sein. Bei der elektrisch leitfähigen Verbindung 150 kann es sich insbesondere um einen Bonddraht 152 handeln.
  • Die Sensoranordnung 110 kann weiterhin mindestens einen Druckaufnehmer 154 umfassen. Der Druckaufnehmer 154 kann mindestens eine mit dem fluiden Medium aus dem Druckstutzen 112 beaufschlagbare Membran 156 umfassen. Diese ist beispielsweise in 1B dargestellt. Die Membran 156 kann, wie in 1B dargestellt, an dem Steckergehäuse 128 befestigt sein. Die Membran 156 kann aus Kunststoff hergestellt sein. Das Steckergehäuse 128 kann ebenfalls aus einem Kunststoff hergestellt sein und die Membran 156 kann auf dem Steckergehäuse 128 auflaminiert sein. Alternativ kann die Membran 156 aus einem metallischen Material hergestellt sein.
  • Wie insbesondere in den 1C und 1D dargestellt, kann das Steckergehäuse 128 mindestens eine Aufnahme 158 aufweisen. Die Aufnahme 158 kann eingerichtet sein, das Sensorelement 130 aufzunehmen. Eine Oberfläche 160 des Steckergehäuses 128 kann mindestens einen Klebepunkt 162 aufweisen. Bei dem Klebepunkt 162 kann es sich insbesondere um ein Klebepad 176 handeln. Dies ist in 1C dargestellt. Das Sensorelement 130 kann an dem Klebepunkt 162 befestigt sein. Dies ist in 1D dargestellt.
  • Die Membran 156 und das Steckergehäuse 128 können einen Zwischenraum 164 ausbilden, welche mit einem inkompressiblen Fluid verfüllbar ist. Zu diesem Zweck kann das Steckergehäuse 128 einen Fluideinfüllkanal 166 aufweisen. Der Fluideinfüllkanal 166 kann eine Öffnung 168 aufweisen. Durch die Öffnung 168 kann das inkompressible Fluid eingefüllt werden. In dem Ausführungsbeispiel gemäß 1A kann die Öffnung einer äußeren Umgebung 170 des Steckergehäuses 128 zugewandt sein. Die Öffnung 168 kann mit einer Versiegelungskugel 172 verschließbar sein. Der Fluideinfüllkanal 166 kann weiterhin einen Einführtrichter 174 aufweisen. Wie in den 1C und 1D dargestellt, kann die Sensoranordnung 110 weiterhin einen Zuführkanal 178 für das Medium zu dem Sensorelement 130 aufweisen.
  • 2 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung 110 in einer Schnittdarstellung. Die Sensoranordnung 110 entspricht zumindest weitgehend dem Ausführungsbeispiel gemäß der 1A bis 1D, so dass auf die Beschreibung der 1A bis 1D oben verwiesen werden kann.
  • Im Unterschied zu dem Ausführungsbeispiel gemäß der 1A bis 1D kann die Membran 156 an dem Druckstutzen 112 befestigt sein. Die Membran 156 kann aus einem Kunststoff hergestellt sein und auf dem Druckstutzen 112 auflaminiert sein. Alternativ kann die Membran 156 mit dem Druckstutzen 112 verschweißt sein.
  • Im Unterschied zu dem Ausführungsbeispiel gemäß der 1A bis 1D kann der Fluideinfüllkanal 166 entfallen. Der Druckstutzen 112 und das Steckergehäuse 128 können durch Bördeln unter Öl miteinander verbunden sein.
  • Die Sensoranordnung 110 kann weiterhin mindestens ein Dichtelement 180, insbesondere einen O-Ring 182, aufweisen. Das Steckergehäuse 128 kann eine Aussparung 184 aufweisen und das Dichtelement 180 kann in der Aussparung 184 aufgenommen sein. Weiterhin kann die Sensoranordnung 110 mindestens eine Vergussmasse 186 aufweisen, Die Vergussmasse 186 kann eingerichtet sein, Steckerpins 188 des Steckergehäuses zu bedecken.
  • 3A bis 3E zeigen eine erfindungsgemäße Sensoranordnung 110 in einer Schnittdarstellung (3A), in einer perspektivischen Schnittdarstellung ( 3B) sowie in drei Detailansichten (3C bis 3E). Die Sensoranordnung 110 entspricht zumindest weitgehend dem Ausführungsbeispiel gemäß der 1A bis 1D sowie dem Ausführungsbeispiel gemäß 2, so dass auf die Beschreibung der 1A bis 1D sowie der 2 oben verwiesen werden kann.
  • Die Membran 156 ist, wie in dem Ausführungsbeispiel gemäß der 1A bis 1D an dem Steckergehäuse 128 befestigt. Die Membran 156 kann insbesondere aus einem Kunststoff hergestellt sein, insbesondere aus PEEK.
  • Wie in dem Ausführungsbeispiel gemäß der 1A bis 1D kann das Steckergehäuse 128 den Fluideinfüllkanal 166 aufweisen. Der Fluideinfüllkanal 166 kann die Öffnung 168 aufweisen. Durch die Öffnung 168 kann das inkompressible Fluid eingefüllt werden. Dies ist insbesondere in den 3C und 3D dargestellt. In dem Ausführungsbeispiel gemäß der 3A bis 3E kann die Öffnung 168 dem Druckstutzen 112 zugewandt sein. Die Öffnung 168 kann daher in den Zwischenraum 164 münden. Die Öffnung 168 kann ebenfalls mit der Versiegelungskugel 172 verschließbar sein. Der Fluideinfüllkanal 166 kann weiterhin den Einführtrichter 174 aufweisen. Wie in der 3D dargestellt, kann der Fluideinfüllkanal 166 quer zu einer Achse 190 des Steckergehäuses 128 verlaufen. Diese Ausführungsform kann den Vorteil aufweisen, dass eine Notwendigkeit einer zusätzlichen Fertigungsrichtung entfällt. Die Versiegelungskugel 172 kann druckausgeglichen sein, da ein Druck des inkompressiblen Mediums einem Systemdruck entsprechen kann.
  • 4A bis 4D zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Sensoranordnung 110 in einer Schnittdarstellung (4A) und in einer perspektivischen Schnittdarstellung (4B) sowie in zwei Detailansichten (4C und 4D). Die Sensoranordnung 110 entspricht zumindest teilweise dem Ausführungsbeispiel gemäß der 1A bis 1D, dem Ausführungsbeispiel gemäß 2, sowie dem Ausführungsbeispiel gemäß der 3A bis 3E so dass auf die Beschreibung der 1A bis 1D, der 2 sowie der 3A bis 3E oben verwiesen werden kann.
  • Die Sensoranordnung 110 kann die Membran 156 als Druckaufnehmer 154 aufweisen. Dies ist insbesondere in den 4B und 4D dargestellt. Die Membran 156 kann einteilig sein. Beispielsweise kann die Membran 156 aus einem Kunststoffmaterial hergestellt sein und auf das Steckergehäuse 128 oder auf den Druckstutzen 112 aufgeklebt sein. Alternativ oder zusätzlich kann die Membran 156 aus einem Metall hergestellt sein und anschließend auf das Steckergehäuse 128 oder auf den Druckstutzen 112 aufgeschweißt sein. Die Membran 112 kann weiterhin zweiteilig ausgebildet sein und beispielsweise aus einer Kombination aus Aluminium und Stahl hergestellt sein. Ein Druckübertrag von dem fluiden Medium kann von der Membran 156 zu dem Sensorelement 130 über das inkompressible Fluid, insbesondere über eine Ölvorlage, erfolgen.
  • Das Sensorelement 130 kann, wie oben bereits ausgeführt, die erste Seite 140 und die der ersten Seite 140 gegenüberliegende zweite Seite 142 aufweisen. Die zweite Seite 142 kann die Sensorelementkontakte 146 aufweisen. Auch eine andere Anordnung der Sensorelementkontakte 146, wie beispielsweise eine Anordnung der Sensorelementkontakte 146 auf der ersten Seite 140 ist jedoch grundsätzlich denkbar. Die Sensorelementkontakte 146 sind insbesondere in 4D dargestellt. Die Sensorelementkontakte 146 können mit den Steckerkontakten 148 mittels der elektrisch leitfähigen Verbindung 150 elektrisch leitfähig verbunden sein. Bei der elektrisch leitfähigen Verbindung 150 kann es sich um Kontaktfedern192 handeln.
  • Die Sensoranordnung 110 gemäß der 4A bis 4D kann insbesondere den Dichtring 180 aufweisen. Ein Innendurchmesser d des Dichtrings 180 kann grundsätzlich minimiert sein. Durch eine Minimierung einer druckbeaufschlagten Fläche 194 kann eine resultierende Kraft auf das Sensorelement 130 minimiert sein. Dadurch kann eine Belastung und somit eine mögliche Verstimmung minimiert sein. Der Innendurchmesser d des Dichtrings 180 kann insbesondere kleiner sein als eine Länge I des Sensorelements 130. Das Sensorelement 130 kann eine Auflagefläche 198 aufweisen und der Dichtring 180 kann zumindest teilweise, vorzugsweise vollständig, auf der Auflagefläche 198 aufliegen.
  • Der Dichtring 180 kann eine beliebige Grundform aufweisen. Insbesondere kann der Dichtring 180 eine runde Grundform aufweisen (hier nicht dargestellt). In dem Ausführungsbeispiel gemäß der 4A bis 4D kann der Dichtring 180 eine eckige Grundform, insbesondere eine viereckige Grundform, insbesondere eine rechteckige Grundform aufweisen. Dabei kann der Dichtring 180 abgerundete Ecken 196 aufweisen, wie insbesondere in 4C dargestellt. Bei einem Dichtring 180 mit einer runden Grundform kann grundsätzlich eine Verspannung geringer sein als bei einem Dichtring 180 mit einer eckigen Grundform da bei einem eckigen O-Ring grundsätzlich die druckbeaufschlagte Fläche 194 größer sein kann.
  • Die Sensoranordnung 110 kann weiterhin eine radiale Abstützung des Dichtrings 180 umfassen. Insbesondere kann der Druckstutzen 112 eine Dichtringnut aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann die Sensoranordnung 110 einen Stützrahmen aufweisen. Der Stützrahmen kann beispielsweise aus Polytetrafluorethylen hergestellt sein.
  • 5A und 5C zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Sensoranordnung 110 in einer Schnittdarstellung (5A) und in einer perspektivischen Schnittdarstellung (5B) sowie in einer Detailansicht ( 5C). Die Sensoranordnung 110 entspricht zumindest teilweise dem Ausführungsbeispiel gemäß der 1A bis 1D, dem Ausführungsbeispiel gemäß 2, dem Ausführungsbeispiel gemäß der 3A bis 3E, sowie dem Ausführungsbeispiel gemäß der 4A bis 4D so dass auf die Beschreibung der 1A bis 1D, der 2, der 3A bis 3E, sowie der 4A bis 4E oben verwiesen werden kann.
  • Wie in dem Ausführungsbeispiel gemäß der 4A bis 4D kann die Sensoranordnung 110 die Membran 156 als Druckaufnehmer 154 aufweisen. Dies ist insbesondere in der 4B dargestellt. Die Membran 156 kann einteilig sein. Beispielsweise kann die Membran 156 aus einem Kunststoffmaterial hergestellt sein und auf das Steckergehäuse 128 oder auf den Druckstutzen 112 aufgeklebt sein. Alternativ oder zusätzlich kann die Membran 156 aus einem Metall hergestellt sein und anschließend auf das Steckergehäuse 128 oder auf den Druckstutzen 112 aufgeschweißt sein. Die Membran 112 kann weiterhin zweiteilig ausgebildet sein und beispielsweise aus einer Kombination aus Aluminium und Stahl hergestellt sein. Ein Druckübertrag von dem fluiden Medium kann von der Membran 156 zu dem Sensorelement 130 über das inkompressible Fluid, insbesondere über eine Ölvorlage, erfolgen.
  • Das Sensorelement 130 kann, wie oben bereits ausgeführt, die erste Seite 140 und die der ersten Seite 140 gegenüberliegende zweite Seite 142 aufweisen. In dem Ausführungsbeispiel gemäß der 5A bis 5C kann die zweite Seite 142 kann die Sensorelementkontakte 146 aufweisen. Auch eine andere Anordnung der Sensorelementkontakte 146, wie beispielsweise eine Anordnung der Sensorelementkontakte 146 auf der ersten Seite 140 ist jedoch grundsätzlich denkbar. Die Sensorelementkontakte 146 können beispielsweise mittels Löten oder Leitkleben mit den Steckerkontakten 148 elektrisch leitfähig verbunden sein.
  • Das Steckergehäuse 128 kann entweder auf der Membran 156 aufliegen (wie in 5A dargestellt) oder auf dem Druckstutzen 112 aufliegen (nicht dargestellt).
  • Der Druckstutzen 112 kann eine umlaufende Aufnahme 200 aufweisen und der Dichtring 180 kann in der umlaufenden Aufnahme 200 angeordnet sein. Insbesondere kann der Dichtring 180 zwischen dem Steckergehäuse 128 und dem Druckstutzen 112 angeordnet sein. Der Druckstutzen 112 und das Steckergehäuse 128 können mittels Bördeln miteinander verbunden sein.
  • Das Steckergehäuse 128 kann die Aufnahme 158 aufweisen. Das Sensorelement 130 kann in der Aufnahme 158 angeordnet sein. Das Sensorelement 130 weist, wie oben beschrieben, die erste Seite 140 und die zweite Seite 142 auf. Weiterhin kann das Sensorelement 130 eine dritte Seite 202, eine vierte Seite 204, eine fünfte Seite 210 und eine sechste Seite 212 aufweisen. Insbesondere kann es sich bei der dritten Seite 202, bei der vierten Seite 204, bei der fünften Seite 210 und bei der sechsten Seite 212 um Stirnseiten 206 des Sensorelements 130 handeln. Insbesondere kann es sich bei der ersten Seite 140 und bei der zweiten Seite 142 um Längsseiten 208 des Sensorelements 130 handeln. Die Stirnseiten 206 sowie die Längsseiten 208 können zumindest teilweise kontaktfrei, d.h. berührungsfrei zu einer Oberfläche 214 der Aufnahme 158 sowie zu einer Oberfläche 216 der Membran 156 ausgebildet sein. Insbesondere können die Stirnseiten 206 sowie die erste Seite 140 vollständig kontaktfrei zu der Oberfläche 214 der Aufnahme 158 sowie zu der Oberfläche 216 der Membran 156 ausgebildet sein. Die zweite Seite 142 kann an den Steckerpins 188 befestigt sein. Insbesondere kann sich zwischen der Oberfläche 214 der Aufnahme 158 sowie zu der Oberfläche 216 der Membran 156 sowie zwischen den Stirnseiten 206 und den Längsseiten 208 des Sensorelements 130 ein Zwischenraum 218 ausbilden. Der Zwischenraum 218 kann eingerichtet sein, mit dem inkompressiblen Fluid verfüllt zu sein. Dadurch kann sich ein isostatischer Einbau des Sensorelements 130 in die Sensoranordnung 110 ergeben. Ein Druck des inkompressiblen Fluids, insbesondere des Öls, kann daher von allen Seiten gleichermaßen auf das Sensorelement 130 wirken. Eine Verstimmung des Sensorelements 130 kann dadurch grundsätzlich minimiert werden.
  • Die Sensoranordnungen 110 gemäß der 4A bis 4D sowie der 5A bis 5C können zahlreiche Vorteile aufweisen. Insbesondere kann eine Verstimmung des Sensorelements minimiert werden, und es kann ein vorabgeglichenes Sensorelement verwendet werden, welches einen Standardaufbau aufweist und somit in einem Standard-Abgleichprozess abgeglichen werden kann. Dies reduziert grundsätzlich Herstellungskosten. Gegebenenfalls kann lediglich ein Offset-Abgleich durchgeführt werden. Das Sensorelement 130 kann vor Umgebungsbedingungen, wie beispielsweise Medien, klimatischen Einflüssen und dynamischen Belastungen, geschützt werden. Weiterhin kann das Sensorelement 130 vor Einwirkungen des fluiden Mediums, insbesondere eines Kältemittels einer Klimaanlage geschützt werden. Weiterhin kann, wie oben bereits ausgeführt, ein vorabgeglichenes Sensorelement 130 verwendet werden, dessen Sensoreigenschaften nicht verändert werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • US 6311 [0003]
    • US 561 B1 [0003]
    • US 6577244 B2 [0003]
    • US 6938490 B2 [0003]

Claims (10)

  1. Sensoranordnung (110) zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums, wobei die Sensoranordnung (110) umfasst: • mindestens einen Druckstutzen mit mindestens einem für das fluide Medium zugänglichen Innenraum (120); • mindestens ein Sensorelement (130), wobei das Sensorelement (130) eine erste Seite (140) und eine der ersten Seite (140) gegenüberliegende zweite Seite (142) aufweist, wobei die erste Seite (140) dem Druckstutzen (112) zugewandt ist; • mindestens ein Steckergehäuse (128), wobei das Steckergehäuse (128) mindestens einen Steckerkontakt (148) aufweist, wobei der Steckerkontakt (148) mit mindestens einem Sensorelementkontakt (146) des Sensorelements (130) elektrisch leitfähig verbindbar ist; dadurch gekennzeichnet, dass die erste Seite (140) die Sensorelementkontakte (146) aufweist.
  2. Sensoranordnung (110) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Sensorelement (130) an dem Steckergehäuse (128) befestigt ist.
  3. Sensoranordnung (110) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Sensorelement (130) stoffschlüssig mit dem Steckergehäuse (128) verbunden ist.
  4. Sensoranordnung (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Steckergehäuse (128) mindestens eine Aufnahme (158) aufweist, wobei das Sensorelement (130) in der Aufnahme (158) angeordnet ist.
  5. Sensoranordnung (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Sensoranordnung (110) weiterhin mindestens einen Druckaufnehmer (154) umfasst, wobei der Druckaufnehmer (154) mindestens eine mit dem fluiden Medium aus dem Druckstutzen (112) beaufschlagbare Membran (156) umfasst, wobei die Membran (156) und das Steckergehäuse (128) einen Zwischenraum (164) ausbilden, welcher mit einem inkompressiblen Fluid verfüllt ist.
  6. Sensoranordnung (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Membran (156) an dem Steckergehäuse (128) befestigt ist, wobei das Steckergehäuse (128) weiterhin mindestens einen Fluideinfüllkanal (166) aufweist, welcher durch eine Versiegelungskugel (172) versiegelbar ist, wobei der Fluideinfüllkanal (166) eine Öffnung (168) aufweist.
  7. Sensoranordnung (110) nach dem vorhergehenden Anspruch, die Öffnung (168) einer äußeren Umgebung des Steckergehäuses (128) zugewandt ist.
  8. Sensoranordnung (110) nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei die Öffnung (168) dem Druckstutzen (112) zugewandt ist.
  9. Sensoranordnung (110) nach einem der vier vorhergehenden Ansprüche, wobei die Membran (156) an dem Druckstutzen (112) befestigt ist, wobei Druckstutzen (112) und das Steckergehäuse (128) mittels Bördeln miteinander verbunden sind.
  10. Verfahren zur Herstellung mindestens einer Sensoranordnung (110) zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden Mediums, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: a) Bereitstellen des Druckstutzens (112) mit dem einem für das fluide Medium zugänglichen Innenraum (120); b) Bereitstellens des Sensorelements (130) aufweisend die erste Seite (140) und die der ersten Seite (140) gegenüberliegenden zweiten Seite (142), wobei die erste Seite (140) die Sensorelementkontakte (146) aufweist; c) Bereitstellen des Steckergehäuses (128), wobei das Steckergehäuse (128) den Steckerkontakt (148) aufweist; d) Anordnen des Sensorelements (130) derart, dass die erste Seite (140) dem Druckstutzen (112) zugewandt ist; e) Herstellen einer elektrisch leitfähigen Verbindung zwischen dem Steckerkontakt (148) und dem Sensorelementkontakt (146) des Sensorelements (130).
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