DE102018131889A1 - Laserstrahljustiervorrichtung - Google Patents

Laserstrahljustiervorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE102018131889A1
DE102018131889A1 DE102018131889.8A DE102018131889A DE102018131889A1 DE 102018131889 A1 DE102018131889 A1 DE 102018131889A1 DE 102018131889 A DE102018131889 A DE 102018131889A DE 102018131889 A1 DE102018131889 A1 DE 102018131889A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
adjustment
laser beam
drive
adjustment device
adjustment drive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE102018131889.8A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102018131889B4 (de
Inventor
Marc-Gordon Griguhn
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Scansonic MI GmbH
Original Assignee
Thermacut K S
Thermacut Ks
Scansonic MI GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thermacut K S, Thermacut Ks, Scansonic MI GmbH filed Critical Thermacut K S
Priority to PCT/DE2019/100802 priority Critical patent/WO2020064051A1/de
Publication of DE102018131889A1 publication Critical patent/DE102018131889A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102018131889B4 publication Critical patent/DE102018131889B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/035Aligning the laser beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/042Automatically aligning the laser beam
    • B23K26/043Automatically aligning the laser beam along the beam path, i.e. alignment of laser beam axis relative to laser beam apparatus
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements
    • G02B7/004Manual alignment, e.g. micromanipulators
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/023Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Laserstrahljustiervorrichtung (1) zur Ablenkung des Laserstrahls im Strahlengang einer Laserbearbeitungsvorrichtung, die ein achstreue Justage des Laserstrahls normal zu seiner Strahlrichtung ermöglicht, wobei die Verstellelemente zur Justage von einer Seite, vorzugsweise der Frontseite (F), der Laserstrahljustiervorrichtung (1) bedienbar sind. Die Laserstrahljustiervorrichtung (1) besitzt eine Fassung (2) mit einem darin eingesetzten optischen Element zur Führung des Laserstrahls. Die Fassung (2) ist innerhalb einer Kulisse (3) geführt und mittels zweier parallel angeordneter Verstelltriebe (5, 6) in zwei senkrecht zueinander liegenden Verstellrichtungen (X, Y) verschiebbar.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Laserstrahljustiervorrichtung zur Ablenkung des Laserstrahls im Strahlengang einer Laserbearbeitungs-, insbesondere einer Laserschneidvorrichtung.
  • Bei Laserbearbeitungsverfahren wie dem Laserstrahlschneiden ist neben der Einhaltung eines konstanten Arbeitsabstandes zum Werkstück eine exakte Ausrichtung des Laserstrahls koaxial zum Düsenaustritt der Schneidgasdüse erforderlich, um ein gleichmäßiges Schnittbild zu erreichen. Die herkömmlich verwendeten isolierten, temperaturstabilen Schneidgasdüsenhalter bestehen aus keramischen Werkstoffen, die prozessbedingt hohem Verschleiß unterliegen. Deren regelmäßig erforderlicher Austausch bedingt eine nachträgliche Feinjustierung des Laserstrahls normal zu seinem Strahlengang, d. h. eine Feinausrichtung quer zur Laserstrahlrichtung. Bei lotrecht geführtem Laserstrahl erfolgt diese Feinjustierung in einer Horizontalebene.
  • Bekannt sind Laserstrahljustiervorrichtungen, die als Kassettenmodul in die Laserbearbeitungsvorrichtung eingeschoben werden. Deren optische Elemente, d. h. die Linsen zur Fokussierung des Laserstrahls, sind mittels Spiralfedern gelagert; die Justierung des Laserstrahls erfolgt mittels zwei Hebeln und zwei Verstellschrauben für die zwei senkrecht zueinander liegenden Verstellrichtungen in der Ebene normal zum Laserstrahl. Die Verstellelemente sind von der Frontseite der Laserstrahljustiervorrichtung, d. h. von der dem Bediener zugewandten Seite, betätig- bzw. bedienbar. Nachteilig bei dieser bekannten Lösung ist, dass keine achstreue Verstellung im Koordinatensystem der Laserbearbeitungsoptik möglich ist. Die Mechanik, die bei Betätigung eines der Verstellelemente eine Verschiebung des optischen Elements in beiden Verstellrichtungen bedingt, erschwert daher die Bedienung durch den Maschinenanwender.
  • Weiterhin sind fest im Laserbearbeitungskopf verbaute Laserstrahljustiervorrichtungen bekannt, die zwar eine achstreue Verstellung in beiden Verstellrichtungen zulassen, jedoch nicht von einer Seite der Laserstrahljustiervorrichtung bedienbar sind, da das erste Bedienelement an der Front- und das zweite an einer Seitenfläche der Laserstrahljustiervorrichtung angeordnet ist. Neben dem aufwendigen Austausch aufgrund des festen Einbaus im Laserbearbeitungskopf ist die Bedienung an der Seitenfläche mangels Zugänglichkeit für den Maschinenbediener meist problematisch.
  • Vorrichtungen zur Justierung des Laserstrahls sind beispielsweise beschrieben in DE 10 2004 005 902 B3 oder DE 10 2009 042 529 A1
  • Aufgabe der Erfindung ist, eine Laserstrahljustiervorrichtung bereitzustellen, die eine achstreue Justage des Laserstrahls normal zu seiner Strahlrichtung gewährleistet, wobei die Verstellelemente zur Justage von einer Seite, vorzugsweise der Frontseite, der Laserstrahljustiervorrichtung bedienbar sein sollen. Zudem soll die Laserstrahljustiervorrichtung für Reparaturzwecke leicht austauschbar sein.
  • Diese Aufgabe wird durch eine Laserstrahljustiervorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen nach Anspruch 1 gelöst; zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 bis 6 beschrieben.
  • Die Laserstrahljustiervorrichtung zur Ablenkung des Laserstrahls im Strahlengang einer Laserbearbeitungsvorrichtung weist eine Fassung mit einem darin eingesetzten optischen Element zur Führung des Laserstrahls, zum Beispiel eine Fokussierlinse, auf, wobei die Fassung in einer normal zum Laserstrahl ausgerichteten Ebene in einer ersten Verstellrichtung (Y-Richtung) und in einer zweiten, senkrecht zu ersten Richtung orientierten Verstellrichtung (X-Richtung) translatorisch verschiebbar ist.
  • Nach Maßgabe der Erfindung ist die Fassung des optischen Elements innerhalb einer Kulisse geführt, die mittels eines ersten Verstelltriebs in der ersten Verstellrichtung (Y-Richtung) verstellbar ist.
  • In der zweiten Verstellrichtung (X-Richtung) ist die Fassung innerhalb der Kulisse mittels eines L-förmigen Hebels verstellbar. Hierzu liegt einer der Hebelarme des L-förmigen Hebels an einer Seite der Fassung an. Bei Betätigung des Hebels über einen am anderen Hebelarm ankoppelnden zweiten Verstelltrieb, der neben dem und vorzugsweise parallel zum ersten Verstelltrieb angeordnet ist, ist die Fassung in der zweiten Verstellrichtung (X-Richtung) verstellbar.
  • Die innerhalb der Kulisse verschiebbare Fassung ist mittels eines als Rückstellfeder ausgebildeten Federelements rückstellbar. Die Federkraft der Rückstellfeder wirkt entgegengesetzt zu dem an der Fassung anliegenden Hebelarm, d. h. die Rückstellfeder drückt die Fassung gegen den anliegenden Hebelarm.
  • Durch die Laserstrahljustiervorrichtung mit der erfindungsgemäßen Kulissenführung ist die achstreue Verstellung des optischen Elements und damit des Laserstrahls im optischen System der Laserbearbeitungsvorrichtung sichergestellt; zudem ist durch die nebeneinander positionierten Verstelltriebe die Bedienung über Bedienelemente nebeneinander an der gleichen Seite der Laserstrahljustiervorrichtung möglich.
  • Es kann vorgesehen sein, dass der erste Verstelltrieb und der zweite Verstelltrieb-Schraubgetriebe mit jeweils einer Verstellachse sind, deren Verstellachsen parallel nebeneinander angeordnet sind. Die Schraubgetriebe können zum Beispiel jeweils in Form einer Verstellschraube und eines korrespondierten Gegengewindeelements realisiert sein. Die Bedienung der Verstelltriebe erfolgt hierbei mittels der als Bedienelemente fungierenden Köpfe der Verstellschrauben, die vorzugsweise an der Frontseite der Laserstrahljustiervorrichtung angebracht sind.
  • In einer Ausgestaltung der Laserstrahljustiervorrichtung ist der an den zweiten Verstelltrieb ankoppelnde Hebelarm des L-förmigen Hebels doppelt so lang wie der an der Fassung anliegende Hebelarm des L-förmigen Hebels, wobei das Übersetzungsverhältnis des ersten Verstelltriebs doppelt so groß ist wie das Übersetzungsverhältnis des zweiten Verstelltriebs, d. h. das Übersetzungsverhältnis des ersten Verstelltriebs beträgt 1:1 und das Übersetzungsverhältnis des zweiten Verstelltriebs 1:2. Unter dem Übersetzungsverhältnis wird das Verhältnis des Betrags der Verstellbewegung am Antrieb, d. h. am Bedienelement, des jeweiligen Verstelltriebs zum Vorschub am Abtrieb des jeweiligen Verstelltriebs verstanden, insbesondere das Verhältnis Umdrehung am Antrieb zu Vorschub am Abtrieb. Bei gleichem Betrag der Verstellbewegung an den Bedienelemementen beider Verstelltriebe, d. h. zum Beispiel gleicher Umdrehung, ist der Vorschub am Abtrieb des zweiten Verstelltriebs folglich doppelt so groß wie der Vorschub am Abtrieb des ersten Verstelltriebs.
  • Diese Ausführung gewährleistet eine gleichmäßige Verstellung in beiden Verstellrichtungen. D. h., bei Verstellung am Bedienelement des ersten Verstelltriebs um einen bestimmten Betrag erfolgt eine Verschiebung der Fassung mit dem optischen Element in der ersten Verstellrichtung (Y-Richtung) um eine bestimmte Länge; bei Verstellung am Bedienelement des zweiten Verstelltriebs um einen der Verstellung am Bedienelement des ersten Verstelltriebs identischen Betrag erfolgt die Verschiebung der Fassung mit dem optischen Element in der zweiten Verstellrichtung (X-Richtung) um die gleiche Länge.
  • Die Verstelltriebe können grundsätzlich auch mit anderen Übersetzungsverhältnissen ausgeführt sein, zum Beispiel durch die Variation der Gewindesteigungen bei den als Schraubgetriebe ausgeführten Verstelltrieben. Dadurch ist es möglich, in den verschiedenen Verstellrichtungen eine unterschiedliche Verstellgenauigkeit bzw. Auflösung zu erzielen.
  • Ferner kann die Laserstrahljustiervorrichtung zum lösbaren Einsetzen in die Laserbearbeitungsvorrichtung, zum Beispiel als Kassettenmodul, ausgebildet sein. Dies erleichtert die leichte Austauschbarkeit im Fall von Reparaturen.
  • In einer weiteren Ausgestaltung besitzt die Laserstrahljustiervorrichtung Führungen zur Verbesserung der Linearität der Verstellung, zum Beispiel eine Zylinderstift-Nut-Kombination, die die Kulisse in der ersten Verstellrichtung (Y-Richtung) innerhalb der Laserstrahljustiervorrichtung translatorisch führt.
  • Des Weiteren können die Fassung und die Kulisse mittels Federelementen spielfrei fixiert sein. Die Federelemente dienen - neben der Rückstellung der Fassung innerhalb der Kulisse durch die Rückstellfeder - dazu, dass Umkehrspiel der Verstelltriebe bei Vor- und Rückstellung wie auch das Gewindespiel der als Schraubgetriebe ausgeführten Verstelltriebe auszugleichen. Dies gewährleistet eine sehr genaue Justage des optischen Elements.
  • Die Erfindung ist nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels und mit Bezug auf die maßstäblichen Zeichnungen näher erläutert. Dazu zeigen:
    • 1: einen Teil eines Laserbearbeitungskopfes mit Laserstrahljustiervorrichtung im Vertikalschnitt,
    • 2: die Laserstrahljustiervorrichtung im Horizontalschnitt,
    • 3: die Laserstrahljustiervorrichtung in Perspektivansicht.
  • Die Laserstrahljustiervorrichtung 1 gemäß der 1 ist als Kassettenmodul mit dem Gehäuseeinsatz 7 im (nicht bezeichneten) Teil des Laserbearbeitungskopfs der Laserbearbeitungsvorrichtung von dessen Frontseite F aus einsetzbar.
  • Gemäß der 2 sind auf dem Gehäuseeinsatz 7 die Kulisse 3 und der Hebel 4 angebracht. Die Kulisse 3 ist translatorisch in der ersten Verstellrichtung (Y) über den ersten Verstelltrieb 5 verschiebbar. Der L-förmige Hebel 4 ist rotatorisch in seinem Eckbereich gelagert.
  • Die Fassung 2 des (nicht bezeichneten) optischen Elements ist von der Kulisse 3 und dem Hebel 4 umschlossen und in der Kulisse 3 geführt. Mit Betätigung des ersten Verstelltriebs 5 findet die Verschiebung der Fassung 2 gemeinsam mit der Kulisse 3 in der ersten Verstellrichtung (Y) statt. Die Verstellung in der zweiten Verstellrichtung (X) erfolgt über den zweiten Verstelltrieb 6, dessen Verschiebung in der ersten Verstellrichtung (Y) über den Hebel 4 die Verschiebung der an dem Hebel 4 anliegenden, innerhalb der Kulisse 3 geführten Fassung 2 in der zweiten Verstellrichtung (X) bewirkt.
  • Die Kulisse 3 ist - gemäß der 3 - mittels der Zylinderstift-Nut-Kombination 8 in der ersten Verstellrichtung (Y) geführt.
  • Zur Minimierung des Gewinde- und Umkehrspiels dienen die Federelemente 9; eines der Federelemente 9 ist die in der Kulisse 3 eingesetzte Rückstellfeder 9.1 zur Rückstellung der nicht in der 3 dargestellten Fassung 2 innerhalb der Kulisse 3 der zweiten Verstellrichtung (X).
  • Der mit dem zweiten Verstelltrieb 6 verbundene Hebelarm des L-förmigen Hebels 4 ist doppelt so lang wie der an der Fassung 2 anliegende Hebelarm. Der erste Verstelltrieb 5 besitzt eine Verstellschraube mit einem Feingewinde mit einer Steigung von 0,5 mm und der zweite Verstelltrieb 6 eine Verstellschraube mit einem Feingewinde mit einer Steigung von 1 mm. Hierdurch und durch die spielfreie Lagerung sind Verstellgenauigkeiten von wenigen Mikrometern erreichbar.
  • Die Bedienung der Laserstrahljustiervorrichtung 1 erfolgt über die beiden nebeneinander angeordneten Bedienelemente 10, 11 an der Frontseite F.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Laserstrahljustiervorrichtung
    2
    Fassung des optischen Element
    3
    Kulisse
    4
    Hebel
    5
    erster Verstelltrieb zur Verstellung in der ersten Verstellrichtung (Y)
    6
    zweiter Verstelltrieb zur Verstellung in der zweiten Verstellrichtung (X)
    7
    Gehäuseeinsatz
    8
    Zylinderstift-Nut-Kombination
    9
    Federelement
    9.1
    Rückstellfeder
    10
    Bedienelement des ersten Verstelltriebs
    11
    Bedienelement des zweiten Verstelltriebs
    F
    Frontseite
    X
    zweite Verstellrichtung
    Y
    erste Verstellrichtung
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 102004005902 B3 [0005]
    • DE 102009042529 A1 [0005]

Claims (6)

  1. Laserstrahljustiervorrichtung zur Ablenkung des Laserstrahls im Strahlengang einer Laserbearbeitungsvorrichtung, aufweisend eine Fassung (2) mit einem darin eingesetzten optischen Element zur Führung des Laserstrahls, wobei die Fassung (2) in einer normal zum Laserstrahl ausgerichteten Ebene in einer ersten Verstellrichtung (Y) und in einer zweiten, senkrecht zu ersten Verstellrichtung (Y) orientierten Verstellrichtung (X) translatorisch verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass - die Fassung (2) des optischen Elements innerhalb einer Kulisse (3) geführt ist, wobei die Kulisse (3) mittels eines ersten Verstelltriebs (5) in der ersten Verstellrichtung (Y) verstellbar ist, - die Fassung (2) des optischen Elements innerhalb der Kulisse (3) mittels eines über einen zweiten Verstelltrieb (6) betätigbaren Hebels (4) mit zwei L-förmig angeordneten Hebelarmen in der zweiten Verstellrichtung (X) verstellbar und mittels einer Rückstellfeder (9.1) rückstellbar ist, wobei einer der Hebelarme des L-förmigen Hebels (4) seitlich an der Fassung (2) anliegt und der andere der Hebelarme an den zweiten Verstelltrieb (6) ankoppelt, und - der erste Verstelltrieb (5) und der zweite Verstelltrieb (6) nebeneinander angeordnet sind.
  2. Laserstrahljustiervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Verstelltrieb (5) und der zweite Verstelltrieb (6) Schraubgetriebe mit jeweils einer Verstellachse sind, deren Verstellachsen parallel nebeneinander angeordnet sind.
  3. Laserstrahljustiervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der an den zweiten Verstelltrieb (6) ankoppelnde Hebelarm des L-förmigen Hebels (4) doppelt so lang ist wie der an der Fassung (2) anliegende Hebelarm des L-förmigen Hebels (4), wobei das Übersetzungsverhältnis des ersten Verstelltriebs (5) doppelt so groß ist wie das Übersetzungsverhältnis des zweiten Verstelltriebs (6).
  4. Laserstrahljustiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserstrahljustiervorrichtung (1) als Kassettenmodul zum lösbaren Einsetzen in die Laserbearbeitungsvorrichtung ausgebildet ist.
  5. Laserstrahljustiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Kulisse (3) mittels einer Zylinderstift-Nut-Kombination zur Führung (8) in der ersten Verstellrichtung (Y) innerhalb der Laserstrahljustiervorrichtung (1) geführt ist.
  6. Laserstrahljustiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Fassung (2) und die Kulisse (3) mittels Federelementen (9) spielfrei fixiert sind.
DE102018131889.8A 2018-09-27 2018-12-12 Laserstrahljustiervorrichtung Active DE102018131889B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/DE2019/100802 WO2020064051A1 (de) 2018-09-27 2019-09-09 Laserstrahljustiervorrichtung

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018123844.4 2018-09-27
DE102018123844 2018-09-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102018131889A1 true DE102018131889A1 (de) 2020-04-02
DE102018131889B4 DE102018131889B4 (de) 2021-08-12

Family

ID=69781003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102018131889.8A Active DE102018131889B4 (de) 2018-09-27 2018-12-12 Laserstrahljustiervorrichtung

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102018131889B4 (de)
WO (1) WO2020064051A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023174596A1 (de) * 2022-03-14 2023-09-21 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Justiereinheit für eine röntgenoptik in einem röntgenfluoreszenzgerät sowie röntgenfluoreszenzgerät

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112114436B (zh) * 2020-09-15 2021-06-01 深圳市韵腾激光科技有限公司 一种长焦深激光切割头的装调方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW525793U (en) 2002-07-23 2003-03-21 Coretronic Corp Adjusting apparatus for an optical element
DE102004005902B3 (de) 2004-02-05 2005-09-08 Messer Cutting & Welding Gmbh Vorrichtung für die Justierung eines Laserstrahls bei einer Laserbearbeitungsmaschine
DE102009037133B4 (de) 2009-07-31 2013-01-31 Carl Zeiss Laser Optics Gmbh Haltevorrichtung für ein optisches Element
DE102009042529A1 (de) 2009-09-22 2011-05-26 Precitec Kg Laserbearbeitungskopf mit einer Fokuslagenjustageeinheit sowie ein System und ein Verfahren zum Justieren einer Fokuslage eines Laserstrahls
CN103930235B (zh) 2011-10-01 2015-11-25 Ipg光子公司 用于激光加工系统的头部组件
DE202015007130U1 (de) 2015-10-13 2016-01-26 Gmt Global Inc. Optische, einstellbare Linsenhalterung für vertikale Montage
DE102016112176B4 (de) * 2016-07-04 2021-08-12 Precitec Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum selektiven Einführen einer Optik in einen Laserstrahl eines Laserbearbeitungskopfes und Laserbearbeitungskopf mit derselben

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023174596A1 (de) * 2022-03-14 2023-09-21 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Justiereinheit für eine röntgenoptik in einem röntgenfluoreszenzgerät sowie röntgenfluoreszenzgerät

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020064051A1 (de) 2020-04-02
DE102018131889B4 (de) 2021-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3027461C2 (de) Verstellvorrichtung für einen Objekttisch eines optischen Instruments
DE2515828B2 (de) Einstellbarer unterbau, insbesondere fuer topometrieinstrumente
DE102018131889A1 (de) Laserstrahljustiervorrichtung
DE102014219601B4 (de) Verfahren zum Scannen einer Probe mittels einer Röntgenoptik und eine Apparatur zum Scannen einer Probe
DE3613643C1 (de) Faseroptische Fokusiereinrichtung
DE3531156C1 (de) Verfahren zum Ausrichten der Achse eines zweiten Halters in bezug auf die Achse eines ersten Halters bei einer Pruef- oder Bearbeitungsmaschine
DE69114550T2 (de) Druckkopf mit variabler Bildelementdichte für elektrophotographische Drucker.
DE112023000310T5 (de) Modenmischer
DE19904972A1 (de) Konturenkollimator für die Strahlentherapie
DE2918024C2 (de) Justiereinrichtung für eine Lichtleitfaserverbindung mit Linsenkopplung
EP1378766A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Auslesen von in einer Speicherschicht abgespeicherter Information
DE3041497C2 (de) Automatische Fokussiereinrichtung für Mikroskope
DE102017107282B4 (de) Kartesische Positioniervorrichtung und Laserbearbeitungskopf mit derselben
DE202018006439U1 (de) Fokussiereinrichtung und Laserbearbeitungseinrichtung mit einer solchen Fokussiereinrichtung
DE4405501C1 (de) Piezoelektrische Verstellvorrichtung
DE102010004084A1 (de) Laserbearbeitungsvorrichtung für groß dimensionierte Bauteile
DE112015005596T5 (de) Ladungsteilchen-strahlvorrichtung
DE102022105838B3 (de) Justiereinheit für eine Röntgenoptik in einem Röntgenfluoreszenzgerät sowie Röntgenfluoreszenzgerät
AT522419A1 (de) Messvorrichtung zur Bestimmung des Biegewinkels
DE4135459A1 (de) Optische vorsatzeinrichtung fuer laser zur erzeugung einer linie variabler laenge und breite
EP0116691A2 (de) Vorrichtung zur Inspektion von Schreib-Lese-Köpfen von Datenträgerplatten in EDV-Anlagen
DE1565590A1 (de) Mit Laserstrahl betriebenes Bearbeitungswerkzeug
DE102022103015B4 (de) Halter für drei Elemente, Stelleinrichtungen, optisches Gerät und Verwendung
DE2360453A1 (de) Anordnung mit einer justierbaren blendenhalterung
DE102008063996A1 (de) Tisch für Objekte

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: SCANSONIC MI GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: SCANSONIC MI GMBH, 12681 BERLIN, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: KAUFMANN, SIGFRID, DR., DE

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R082 Change of representative

Representative=s name: WERNER, ANDRE, DR., DE

R020 Patent grant now final
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: SCANSONIC MI GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNERS: SCANSONIC MI GMBH, 12681 BERLIN, DE; THERMACUT, K.S., UHERSKE HRADISTE, MARATICE, CZ