DE102017108912B3 - Verfahren zur Auswertung eines Messsignals eines induktiven Messsensors sowie ein Längenmesssystem - Google Patents

Verfahren zur Auswertung eines Messsignals eines induktiven Messsensors sowie ein Längenmesssystem Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Auswertung eines Messsignals eines induktiven Messsensors (2). Das Messsignal ist eine Wechselspannung, die mittels einer dem induktiven Messsensor (2) zugeführten Erreger-Wechselspannung generiert wird. In einem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) erfolgt eine Analog-Digital-Wandlung des Messsignals. Das Messsignal wird in dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) über eine Wandel-Periode hinweg integriert. Die Wandel-Periode ist kleiner oder gleich der Signalperiode des Messsignals. Der Start der Analog-Digital-Wandlung ist phasensynchron mit dem Messsignal und der Erreger-Wechselspannung.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Auswertung eines Messsignals eines induktiven Messsensors sowie ein Längenmesssystem.
  • Ein derartiges Längenmesssystem umfasst generell einen induktiven Messsensor mittels dessen Längenmessungen durchgeführt werden. Derartige Längenmesssysteme werden zur hochgenauen Vermessung von Bauteilen, wie Kurbelwellen, Getriebewellen, Automobilkolben eingesetzt, insbesondere im Bereich der Qualitätssicherung. Mit diesen Längenmesssystemen können Messgenauigkeiten im Nanometerbereich erzielt werden. Typischerweise bildet der induktive Messsensor eine induktive Messbrücke aus, welcher ein bewegliches Element zugeordnet ist, das von einem Bolzen oder dergleichen gebildet sein kann. Bei der Bewegung des Bolzens wird ein Magnet in einer Spule des induktiven Messsensors bewegt, der über eine Erreger-Wechselspannung angeregt ist. Durch die Bewegung des Bolzens wird im induktiven Messsensor ein Messsignal in Form einer Wechselspannung generiert, das ein Maß für die Position des Bolzens ist.
  • Bei bekannten Längenmesssystemen erfolgt die Auswertung des Messsignals derart, dass dieses zunächst in einem phasenselektiven Gleichrichter gleichgerichtet und dann einem analogen Filter zugeführt wird. Das so gefilterte Messsignal wird dann in einem Analog-Digital-Wandler digitalisiert und in einer Rechnereinheit zur Längenbestimmung ausgewertet.
  • Dieses Auswerteverfahren ist ein integrierendes Verfahren, da das gleichgerichtete und gefilterte analoge Messsignal über dessen volle Signalperiode integriert wird, wodurch eine Gleichspannung erhalten wird, die ein genaues Maß für die zu bestimmende Position ist. Durch die analoge Filterung können auch störbehaftete Signale zuverlässig ausgewertet werden.
  • Nachteilig hierbei ist jedoch, dass durch die analoge Filterung eine erhebliche zeitliche Verzögerung bei der Messsignal-Auswertung erhalten wird, was insbesondere bei Applikationen nachteilig ist, in welcher eine schnelle Längenmessung gefordert wird.
  • Weiterhin sind Messsignal-Auswertungen bekannt, bei welchen das Messsignal synchron zur Erreger-Wechselspannung mit einem Sample and Hold Glied punktuell abgetastet und dann einem Analog-Digital-Wandler zugeführt wird. Dies ermöglicht zwar eine schnellere Messsignal-Auswertung, nachteilig hierbei ist jedoch, dass das Messsignal nur punktuell abgetastet wird, sodass nicht das gesamte Messsignal zur Auswertung herangezogen wird. Damit hat die Signalqualität des Messsignals einen hohen Einfluss auf die Messgenauigkeit.
  • Die DE 10 2004 055 802 A1 betrifft ein Verfahren zum Auswerten von mittels eines Differentialtransformators oder einer induktiven Halbbrücke mit einer Primärspule, einer Sekundärspule, einem magnetischen Kern und einem Generator zur Erzeugung einer sinusförmigen Erregerspannung zur Durchführung von Längenmessungen. Dabei wird von der in der Sekundärspule durch die Verschiebung des Kerns induzierten Spannung mit sinusförmigem Verlauf das Maximum und Minimum jeweils einer Periode bestimmt. Anschließend wird aus dem Maximum und Minimum ein Mittelwert gebildet. Schließlich wird der Mittelwert oder ein aus dem Mittelwert abgeleiteter Wert als Ausgangssignal für die gemessene Länge gegeben.
  • In WO 2007/144 827 A1 ist ein Verfahren zur Digitalisierung eines periodischen analogen Signals beschrieben. Zur Analog/Digital-Wandlung des periodischen Signals wird ein Delta-Sigma-Modulator eingesetzt. Bei diesem werden Ausgangsbits abschnittsweise integriert, wobei eine erste Integration mit dem periodischen Signal synchronisiert ist und eine Dauer aufweist, die kleiner ist als die Periodendauer des periodischen Signals.
  • Die US 2016/0 254 823 A1 betrifft einen elektrischen Schaltkreis mit einer Signalverarbeitungskette und einem Controller. Die Signalverarbeitungskette umfasst einen Integrator zur Integration eines Eingangssignals über eine Integrationszeit. Der Controller ist an einen Ausgang der Signalverarbeitungskette angeschlossen und bewertet dessen Ausgangssignal. Der Controller stellt abhängig vom Ausgangssignal die Integrationszeit ein.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und ein Längenmesssystem bereitzustellen, mittels dessen schnelle und hochgenaue Längenmessungen durchführbar sind.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe sind die Merkmale der unabhängigen Ansprüche vorgesehen. Vorteilhafte Ausführungsformen und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.
  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Auswertung eines Messsignals eines induktiven Messsensors. Das Messsignal ist eine Wechselspannung, die mittels einer dem induktiven Messsensor zugeführten Erreger-Wechselspannung generiert wird. Das Messsignal wird mit einem phasenselektiven Gleichrichter gerichtet. Das gleichgerichtete Messsignal wird einem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler zugeführt, wobei in den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler eine Analog-Digital-Wandlung erfolgt. Das Messsignal wird in dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler über eine Wandel-Periode hinweg integriert. Die Wandel-Periode ist kleiner oder gleich der Signalperiode des Messsignals. Der Start der Analog-Digital-Wandlung ist phasensynchron mit dem Messsignal und der Erreger-Wechselspannung.
  • Weiterhin betrifft die Erfindung ein Längenmesssystem. Das Messsignal des induktiven Messsensors liefert dabei generell eine Positionsinformation, anhand derer eine Längenbestimmung durchführbar ist.
  • Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht darin, dass mit dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler bereits mit der Analog-Digital-Wandlung des Messsignals eine Integration des Messsignals erzielt wird, sodass auf ein zusätzliches integrierendes Element wie einen analogen Filter verzichtet werden kann. Dies führt nicht nur zu einer signifikanten Kostenersparnis. Vielmehr werden dadurch, dass kein analoger Filter mehr eingesetzt wird, unerwünschte Totzeiten bei der Messsignal-Auswertung vermieden, das heißt es wird eine schnelle Auswertung der Messsignale ermöglicht.
  • Dieser Vorteil beruht darauf, dass die im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler durchgeführte Integration des Messsignals nicht wie bei einem analogen Filter zu Totzeiten beziehungsweise Verzögerungszeiten führt.
  • Danach wird durch die Integration der Messsignale über eine Wandel-Periode im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler eine genaue und gegen Störeinflüsse unempfindliche Längenmessung ermöglicht, da je nach Wahl der Wandel-Periode ein großer Teil oder sogar das gesamte Messsignal zur Auswertung herangezogen wird. Dies wird dadurch erreicht, dass sich die Wandel-Periode über
    einen großen Teil der Signalperiode oder vorteilhaft über die gesamte Signalperiode des Messsignals erstreckt.
  • Wesentlich bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist, dass die im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler durchgeführte Analog-Digital-Wandlung des Messsignals phasensynchron mit dem Messsignal und der Erreger-Wechselspannung ist, was dadurch erreicht wird, dass der Start der Analog-Digital-Wandlung phasensynchron mit dem Messsignal und der Erreger-Wechselspannung ist.
  • Dies wird auf besonders einfache Weise dadurch erreicht, dass von einem Taktgeber ein Grundtakt generiert wird, von dem ein Taktsignal für die Erreger-Wechselspannung, ein Taktsignal für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler und ein Startsignal für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler abgeleitet werden.
  • Dabei erfolgt die Generierung des Taktsignals für die Erreger-Wechselspannung, des Taktsignals für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler und des Startsignals für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler jeweils in einem Taktgenerator.
  • Durch diese Synchronisation ist gewährleistet, dass die Integration des Messsignals immer an der exakt gleichen Winkelposition innerhalb einer Signalperiode beginnt, wobei diese Winkelposition vorteilhaft aber nicht zwingend bei 0° liegt. Da die Dauer der Wandel-Periode über die dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler zugeführten Taktsignale immer konstant bleibt, ist gewährleistet, dass das Messsignal für jede Signalperiode in identischer Weise integriert wird, was eine wesentliche Voraussetzung für eine exakte und reproduzierbare Längenmessung ist.
  • Besonders vorteilhaft sind der Taktgeber und die Taktgeneratoren Bestandteil einer Rechnereinheit, in welcher die Auswertung der im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler digitalisierten Messsignale erfolgt.
  • Insbesondere ist die Rechnereinheit ein Microcontroller.
  • Dadurch wird ein besonders kompakter und kostengünstiger Aufbau des Längenmesssystems realisiert, da im Microcontroller nicht nur die Synchronisationsmittel integriert sind, sondern in diesem auch die gesamte Auswertung der Messsignale zur Durchführung der Längenmessung erfolgen kann.
  • Erfindungsgemäß wird das Messsignal in einem phasenselektiven Gleichrichter gleichgerichtet. Das gleichgerichtete Messsignal wird dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler zugeführt.
  • Mit dem phasenselektiven Gleichrichter wird ein gleichgerichtetes Messsignal dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler zugeführt, welches je nach Auslenkungsrichtung des induktiven Messsensors in beiden Halbperioden jeder Signalperiode nur positive oder nur negative Werte annimmt.
  • Damit wird als wesentlicher Vorteil erhalten, dass sich die Wandel-Periode über die gesamte Signalperiode oder einen beliebigen Teil der Signalperiode erstrecken kann. Die Wandel-Periode kann allgemein so gelegt werden, dass sie sich über beide Halbperioden der Signalperiode zumindest teilweise erstreckt, da in beiden Halbperioden die Messsignale positiv beziehungsweise negativ sind und somit ohne spezifische Beurteilung ermittelbar integriert werden können.
  • Die Wandel-Periode kann somit durch die Taktsignale der Taktgeneratoren beliebig innerhalb der Signalperiode gewählt werden, wodurch eine hohe Flexibilität der Durchführung der Integration der Messsignale gegeben ist. Insbesondere ist vorteilhaft, dass die Wandel-Periode gleich der Signalperiode gewählt werden kann, sodass mit nur einer Integration das Messsignal über die gesamte Signalperiode aufintegriert werden kann. Da damit das gesamte Messsignal im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler ausgewertet wird, wird eine sehr genaue, gegen Störungen unempfindliche Längenmessung erhalten.
  • Die Messgenauigkeit kann prinzipiell dadurch noch erhöht werden, dass dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler ein analoger Filter vorgeordnet ist.
  • Durch die Verwendung eines schnellen analogen Filters zur Vorfilterung der Messsignale können hochfrequente Störanteile ausgefiltert werden, ohne die Totzeit bei der Signalauswertung nennenswert zu erhöhen.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
    • 1: Ausführungsbeispiel einer Sensoranordnung des erfindungsgemäßen Längenmesssystems.
    • 2: Ausführungsbeispiel der Komponenten zur Signalauswertung für das erfindungsgemäße Längenmesssystem.
    • 3: Blockschaltbild des kompletten Längenmesssystems gemäß den 1 und 2.
    • 4: Zeitdiagramm einer ersten Variante der Integration der Messsignale des Längenmesssystems gemäß den 1 - 3.
    • 5: Zeitdiagramm einer zweiten Variante der Integration der Messsignale des Längenmesssystems gemäß den 1 - 3.
    • 6: Zeitdiagramm einer ersten Variante der Integration der Messsignale für eine Variante des Längenmesssystems.
    • 7: Zeitdiagramm einer zweiten Variante der Integration der Messsignale für eine Variante des Längenmesssystems.
  • 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine Sensoranordnung des erfindungsgemäßen Längenmesssystems 1.
  • Die Sensoranordnung gemäß 1 umfasst einen induktiven Messsensor 2 der als Messtaster ausgebildet ist. Der induktive Messsensor 2 weist zwei Spulen 3a, 3b auf, die eine induktive Halbbrücke ausbilden. Die Spulen 3a, 3b werden dadurch angeregt, dass diesen eine in einem Generator 4 erzeugte Erreger-Wechselspannung Uin beziehungsweise eine invertierte Erreger-Wechselspannung zugeführt ist. Den Spulen 3a, 3b ist ein in Pfeilrichtung beweglicher Bolzen 5 zugeordnet. Durch die Bewegung des Bolzens 5 wird mindestens in einer der Spulen 3a, 3b ein Magnet bewegt, wodurch sich die Induktivität dieser Spule 3a, 3b definiert ändert. Dadurch ändert sich entsprechend das an der Halbbrücke abgegriffene Messsignal UA. Das Messsignal UA liefert somit eine Positionsinformation über die Position des Bolzens 5, die für eine Längenmessung eines zu vermessenden Objekts verwendet wird.
  • 2 zeigt ein Beispiel der Komponenten des Längenmesssystems 1 zur Auswertung des mit der Sensoranordnung gemäß 1 generierten Messsignals UA. Das Messsignal UA und die Erreger-Wechselspannung Uin werden einem phasenselektiven Gleichrichter 6 zugeführt. Das im phasenselektiven Gleichrichter 6 gleichgerichtete Messsignal wird dann einem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 zugeführt, wo eine Integration und Digitalisierung des Messsignals erfolgt. Das so am Ausgang erhaltene integrierte Messsignal ist eine Gleichspannung, die einer Rechnereinheit in Form eines Microcontrollers 8 zugeführt wird. Dort wird anhand der in den Messsignalen enthaltenen Positionsinformationen eine Längenmessung eines Objekts durchgeführt.
  • 3 zeigt in einem Blockschaltbild alle wesentlichen Komponenten des Längenmesssystems 1.
  • Wie 3 zeigt, ist ein Taktgeber 9 vorgesehen, welcher einen Grundtakt erzeugt. Dieser Grundtakt wird auf drei Taktgeneratoren 10, 11, 12 ausgegeben, die in Abhängigkeit des Grundtakts Taktsignale generieren. Da alle Taktsignale von demselben Grundtakt abgeleitet sind, sind diese völlig synchron zueinander.
  • Der Taktgeber 9 und die Taktgeneratoren 10, 11, 12 sind im Microcontroller 8 integriert, in dem die Auswertung der Messsignale erfolgt.
  • Der erste Taktgenerator 10 generiert ein Taktsignal für den Generator 4. Die mit diesem Taktsignal generierte Erreger-Wechselspannung Uin wird über einen Ausgangsverstärker 13 an den induktiven Messsensor 2 ausgegeben. Zudem wird der Takt der Erreger-Wechselspannung Uin dem phasenselektiven Gleichrichter 6 zugeführt.
  • Der zweite Taktgenerator 11 generiert ein erstes Taktsignal für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7, mit dem eine Integrationsdauer für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 vorgegeben werden kann.
  • Der dritte Taktgenerator 12 generiert ein zweites Taktsignal für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7, welches ein Startsignal für den Start einer Integration des Messsignals im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 bildet.
  • Durch die mit dem Taktgeber 9 und den Taktgeneratoren 10, 11, 12 durchgeführte Synchronisierung ist gewährleistet, dass die Integration des Messsignals im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7, insbesondere der Start der im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 durchgeführten Analog-Digital-Wandlung und Integration des Messsignals, phasensynchron mit dem Messsignal und der Erreger-Wechselspannung ist.
  • 4 zeigt die Funktionsweise der im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 durchgeführten Analog-Digital-Wandlung des am Ausgang des phasenselektiven Gleichrichters 6 anstehenden gleichgerichteten Messsignals UA.
  • Dabei ist in 4 das Messsignal über eine Signalperiode Ps dargestellt. Zudem ist die zugehörige Erreger-Wechselspannung Uin über eine Signalperiode Ps dargestellt.
  • Die Signalperiode Ps beginnt im vorliegenden Fall bei 0°, was jedoch nicht zwingend ist.
  • Im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 wird aus dem Messsignal UA, das heißt einem gleichgerichteten Wechselspannungssignal, durch Integration eine Gleichspannung gewonnen, die als digitalisierte Spannung an den Microcontroller 8 ausgegeben wird.
  • Die Integration des Messsignals UA erfolgt für jede Signalperiode in gleicher Weise während einer Wandel-Periode. Der Start der Integration und die Größe der Wandel-Periode werden über die Taktsignale der Taktgeneratoren 11, 12 vorgegeben.
  • Wie aus 4 ersichtlich, erfolgt die Integration des Messsignals über eine Wandel-Periode, die einem Teil der Signalperiode entspricht, wobei sich die Wandel-Periode über beide Halbperioden der Signalperiode des Messsignals UA erstreckt.
  • Das so integrierte Messsignal UA ist proportional zur Auslenkung des Bolzens 5 des induktiven Messsensors 2 und liefert somit ein Maß für die durchzuführende Längenmessung. Da mit der Integration über die Wandel-Periode ein großer Teil der Messsignale zur Generierung des Ausgangssignals des Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandlers 7 beiträgt, ist die so durchgeführte Längenmessung relativ unempfindlich gegen Störanteile im Messsignal UA.
  • Diese Störempfindlichkeit kann durch die Ausführungsform gemäß 5 noch weiter verbessert werden.
  • Die Auswertung gemäß 5 unterscheidet sich von der Auswertung gemäß 4 dadurch, dass sich die Wandel-Periode über die gesamte Signalperiode erstreckt, das heißt in diesem Fall wird das gesamte Messsignal bei der Integration im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 erfasst.
  • Das Längenmesssystem 1 der 1 - 3 kann prinzipiell dahingehend modifiziert werden, dass der phasenselektive Gleichrichter 6 weggelassen wird, das heißt das Messsignal wird dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 direkt zugeführt.
  • Dann liegt, wie die 6 und 7 zeigen, im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 kein gleichgerichtetes Messsignal UA, das heißt das Messsignal UA weist in der ersten Halbperiode der Signalperiode ein anderes Vorzeichen als in der zweiten Halbperiode auf.
  • Daher kann in diesem Fall die Wandel-Periode nicht so gewählt werden, dass diese sich über Bereiche beider Halbperioden erstreckt, da ansonsten positive und negative Signalwerte des Messsignals UA aufintegriert und sich gegenseitig kompensieren würden.
  • Um dieses Problem zu lösen, wird bei der Auswertung gemäß 6 die Wandel-Periode Pw so gelegt, dass sie vollständig innerhalb der ersten Halbperiode der Signalperiode liegt. Die innerhalb der Wandel-Periode Pw integrierten Messwerte des Messsignals UA liefern dann ein zuverlässiges Maß für die Position des Bolzens 5 des induktiven Messsensors 2.
  • 7 zeigt eine Erweiterung des Verfahrens gemäß 6. In diesem Fall wird der Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler 7 über die Taktgeneratoren 11, 12 so angesteuert, dass das Messsignal UA innerhalb der ersten Halbperiode der Signalperiode während einer ersten Wandel-Periode Pw1 integriert wird, und innerhalb der zweiten Halbperiode der Signalperiode während einer zweiten Wandel-Periode Pw2 integriert wird. Da die Signalwerte des Messsignals in den beiden Halbperioden unterschiedliche Vorzeichen haben, wird anschließend das Ergebnis der einen Integration, z.B. während der Wandel-Periode Pwz, negiert und dann zu dem Ergebnis der anderen Integration dazugezählt. Das so erhaltene Ergebnis liefert wieder ein zuverlässiges Maß für die Position des Bolzens 5 des induktiven Messsensors 2. Da in diesem Fall separat für beide Halbperioden der Signalperiode eine Integration des Messsignals UA erfolgt, kann nun wieder das gesamte UA bei der Auswertung berücksichtigt werden.
  • Bezugszeichenliste
    • (1)
    Längenmesssystem
    (2)
    induktiver Messsensor
    (3a)
    Spule
    (3b)
    Spule
    (4)
    Generator
    (5)
    Bolzen
    (6)
    phasenselektiver Gleichrichter
    (7)
    Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler
    (8)
    Microcontroller
    (9)
    Taktgeber
    (10)
    Taktgenerator
    (11)
    Taktgenerator
    (12)
    Taktgenerator
    (13)
    Ausgangsverstärker

Claims (10)

  1. Verfahren zur Auswertung eines Messsignals eines induktiven Messsensors (2), wobei das Messsignal eine Wechselspannung ist, die mittels einer dem induktiven Messsensor (2) zugeführten Erreger-Wechselspannung generiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Messsignal in einem phasenselektiven Gleichrichter (6) gleichgerichtet wird, und dass das gleichgerichtete Messsignal einem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) zugeführt wird, wobei in dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) eine Analog-Digital-Wandlung des Messsignals erfolgt, wobei das Messsignal in dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) über eine Wandel-Periode hinweg integriert wird, wobei die Wandel-Periode kleiner oder gleich der Signalperiode des Messsignal ist, und wobei der Start der Analog-Digital-Wandlung phasensynchron mit dem Messsignal und der Erreger-Wechselspannung ist.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass von einem Taktgeber (9) ein Grundtakt generiert wird, von dem ein Taktsignal für die Erreger-Wechselspannung, ein Taktsignal für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) und ein Startsignal für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) abgeleitet werden.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Generierung des Taktsignals für die Erreger-Wechselspannung, des Taktsignals für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) und des Startsignals für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) jeweils in einem Taktgenerator (10, 11, 12) erfolgt.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Taktgeber (9) und die Taktgeneratoren (10, 11, 12) in einer Rechnereinheit integriert sind, in welcher die Auswertung der im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) digitalisierten Messsignale erfolgt.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Wandel-Periode über die gesamte Signalperiode oder einen beliebigen Teil der Signalperiode erstreckt.
  6. Längenmesssystem (1) mit einem induktiven Messsensor (2), welchem eine mittels eines Generators (4) erzeugte Erreger-Wechselspannung zugeführt ist und welcher ein Messsignal in Form einer Wechselspannung generiert, dadurch gekennzeichnet, dass das Längenmesssystem (1) einen phasenselektiven Gleichrichter (6) aufweist, in dem die Messsignale gleichgerichtet sind, wobei die im phasenselektiven Gleichrichter (6) gleichgerichteten Messsignale dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) zugeführt sind, dass im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) eine Analog-Digital-Wandlung des Messsignals durchgeführt ist, wobei das Messsignal in den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) über eine Wandel-Periode hinweg integriert ist, wobei die Wandel-Periode kleiner oder gleich der Signalperiode des Messsignals ist, und wobei der Start der Analog-Digital-Wandlung phasensynchron mit dem Messsignal und der Erreger-Wechselspannung ist.
  7. Längenmesssystem (1) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass dieses einen Taktgeber (9) aufweist, welcher einen Grundtakt generiert, wobei mit dem Grundtakt des Taktgebers (9) ein erster Taktgenerator (10) zur Generierung eines Taktsignals für die Erreger-Wechselspannung, ein zweiter Taktgenerator (11) zur Generierung eines Taktsignals für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) und ein dritter Taktgenerator (12) zur Generierung eines Startsignals für den Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) angesteuert sind.
  8. Längenmesssystem (1) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Taktgeber (9) und die Taktgeneratoren (10,11,12) Bestandteil einer Rechnereinheit sind, in welcher die Auswertung der im Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) digitalisierten Messsignale erfolgt.
  9. Längenmesssystem (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Rechnereinheit ein Microcontroller (8) ist.
  10. Längenmesssystem (1) nach einem der Ansprüche 6-9, dadurch gekennzeichnet, dass dem Delta-Sigma-Analog-Digital-Wandler (7) ein analoger Filter vorgeordnet ist.
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