DE102017103509B4

DE102017103509B4 - Laserbearbeitungsvorrichtung zum ausführen einer laserbearbeitung eines zu bearbeitenden objekts

Info

Publication number: DE102017103509B4
Application number: DE102017103509.5A
Authority: DE
Inventors: Tatsuya Mochizuki
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2016-02-29
Filing date: 2017-02-21
Publication date: 2021-02-11
Anticipated expiration: 2037-02-22
Also published as: US20170246708A1; CN107127449A; CN107127449B; JP2017154148A; US10722975B2; JP6423812B2; DE102017103509A1

Abstract

Laserbearbeitungsvorrichtung (10) zum Ausführen einer Laserbearbeitung eines zu bearbeitenden Objekts (18) durch Bündeln eines Laserstrahls mithilfe eines optischen Lichtbündelungssystems (16) und Einstrahlen des Laserstrahls auf das Objekt (18), wobei die Laserbearbeitungsvorrichtung(10) umfasst:ein Reflexionsstrahlintensitäts-Detektionsteil (22), das zum Detektieren einer Intensität eines reflektierten Strahls ausgebildet ist, welcher ein Teil eines Laserstrahls ist, der von einem Laseroszillator (12) über ein optisches Lasersystem (14) eingestrahlt wird und dann durch eine Oberfläche (20) des Objekts (18) reflektiert wird, so dass er zu dem Laseroszillator (12) oder dem optischen Lasersystem (14) zurückkehrt,ein optisches Lichtbündelungssystem (16), das zum Bündeln des von dem Laseroszillator (12) eingestrahlten Laserstrahls ausgebildet ist,ein Strahlintensitätserhöhungsteil (24), das derart ausgebildet ist, dass es eine Intensität des auf die Oberfläche des Objekts (18) eingestrahlten Laserstrahls über eine vorgegebene Zeitdauer von eins bis zehn Sekunden kontinuierlich erhöht,ein Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26), das derart ausgebildet ist, dass es einen Inhalt eines nächsten Prozesses (26) auf der Grundlage einer zeitlichen Änderung der Intensität des reflektierten Strahls auswählt, die durch das Reflexionsstrahlintensitäts-Detektionsteil (22) detektiert wird, während die Intensität des auf die Oberfläche des Objekts (18) eingestrahlten Laserstrahls erhöht wird, undein Ausführungsteil (28), das derart ausgebildet ist, dass es den nächsten Prozess (26) im Anschluss an die Laserbearbeitung auf der Grundlage des Inhalts des durch das Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26) ausgewählten nächsten Prozesses (26) ausführt.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laserbearbeitungsvorrichtung, die eine Funktion zum Starten einer Laserbearbeitung eines zu bearbeitenden Objekts aufweist, während ein reflektierter Laserstrahl von dem Objekt reduziert wird.
DE 10 2017 101 223 A1 offenbart eine Maschinenlernvorrichtung welches Folgendes umfasst: eine Zustandsdaten-Beobachtungseinheit, die Zustandsdaten der Laservorrichtung beobachtet, die die von einer Einheit zur Detektion von reflektiertem Licht zum Messen einer reflektierten Lichtmenge ausgegebenen Daten umfassen; eine Arbeitsvorgangsergebnis-Erfassungseinheit, die ein Erfolgs/Fehlschlagsergebnis erfasst, das angibt, ob die Bearbeitung erfolgreich durch den Laserstrahl gestartet wurde, der von einem Laseroszillator abgegeben wurde; eine Lerneinheit, die Lichtabgabe-Befehlsdaten durch Verknüpfen der Lichtabgabe-Befehlsdaten mit den Zustandsdaten der Laservorrichtung und dem Erfolgs/Fehlschlagsergebnis für den Start der Bearbeitung verknüpft; und eine Entscheidungsfindungseinheit, die die Lichtabgabe-Befehlsdaten durch Bezugnahme auf die durch die Lerneinheit gelernten Lichtabgabe-Befehlsdaten bestimmt.
Beschreibung der verwandten Technik
In manchen Techniken nach dem Stand der Technik, wird, wenn eine Laserbearbeitung durch Einstrahlen eines Laserstrahls auf ein Objekt (oder ein Werkstück), wie z.B. ein zu bearbeitendes Metallmaterial, ausgeführt wird, ein reflektierter Laserstrahl von dem Werkstück zum Verbessern der Schweißqualität verwendet. Zum Beispiel JP 2 706 498 B2 offenbart Laserbearbeitungsvorrichtung, umfassend: eine Detektionseinrichtung eines reflektierten Strahls zum Detektieren eines Pegels eines durch eine Werkstückoberfläche reflektierten und in einen Laseroszillator zurückgeführten Laserstrahls, eine Abtasteinrichtung zum Abtasten, ob der Pegel des reflektierten Strahls unter einen vorgegebenen Schwellenwert fällt, und eine Befehlseinrichtung zum Starten eines Perforationsprozesses durch Einstrahlen eines Laserstrahls mit einem erforderlichen Ausgangspegel, Beenden des Perforationsprozesses, wenn der Pegel des reflektierten Strahls unter den Schwellenwert fällt, und anschließendes Ausgeben eines Befehls für den nächsten Perforationsprozess.
JP 2012 - 76 088 A offenbart ein Verfahren, in dem vor einem Laserschneidprozess eines plattenförmigen Werkstücks ein Perforationsprozess mehrmals ausgeführt wird, indem eine Annäherungsposition einer Lichtsammellinse in Bezug auf ein Werkstück verschiedenartig geändert wird, so dass eine Brennpunktposition für das Werkstück verschiedenartig geändert wird, und dann ein Laserschneidprozess des Werkstücks ausgeführt wird, während die Brennpunktposition beibehalten wird, wobei ein Detektionswert eines Betrags von Streulicht, das bei dem mehrmaligen Perforieren detektiert wird, minimal ist.
Wenn ein zu bearbeitendes Objekt ein Metallmaterial, wie z.B. Stahl oder Aluminium, ist, das einen Laserstrahl leicht reflektiert, wird in dem Moment, in dem ein Laserstrahl auf das Werkstück eingestrahlt wird, ein Teil des eingestrahlten Laserstrahls derart reflektiert, dass er umgekehrt entlang eines dem nach außen führenden Pfad ähnlichen Pfades verläuft, und dann wird der Teil des Laserstrahls zu einem Laseroszillator als der reflektierte Strahl zurückgeführt, wodurch der Laseroszillator oder ein Laserpfad beschädigt werden kann. Aufgrund des zum Laseroszillator zurückgeführten reflektierten Laserstrahls kann daher die Laserleistung nicht gesteuert werden und/oder das optische System kann beschädigt werden. Als ein relevantes Dokument des Stands der Technik zum Vermeiden eines solchen Problems offenbart JP S62-289387 A eine Technik zum Neigen eines Bestrahlungskopfs und/oder eines reflektierenden Materials, so dass eine optische Achse eines eingestrahlten Laserstrahls nicht mit einer optischen Achse eines reflektierten Laserstrahls ausgerichtet ist.
Im Fall, in dem, wie vorstehend beschrieben, das zu bearbeitende Objekt ein Metallmaterial, wie z.B. Stahl oder Aluminium, ist, durch welches der Laserstrahl leicht reflektiert wird, oder in dem eine Energiedichte an einem Bearbeitungspunkt verhältnismäßig niedrig ist, kann, wenn ein Lichtbündelungspunkt auf einer Oberfläche des Objekts angeordnet wird, der Teil des eingestrahlten Laserstrahls entlang des Pfads, der ähnlich dem nach außen gerichteten Pfad ist, verlaufen, so dass er zu dem Laseroszillator als der reflektierte Strahl zurückgeführt wird. Da der Betrag (oder die Intensität) des reflektierten Strahls hoch ist, kann die Laserlichtquelle oder der Strahlengang der Laserbearbeitungsvorrichtung erhöht werden. Um einen übermäßigen reflektierten Strahl zu vermeiden, ist es im Stand der Technik notwendig, den Laserstrahl auf die Oberfläche des Objekts bei einer Probebearbeitungsbedingung einzustrahlen, und dann die Bearbeitungsbedingung zu ändern (oder optimieren), so dass die Intensität des reflektierten Strahls reduziert wird, wenn die Intensität des reflektierten Strahls hoch genug ist, um eine negative Wirkung zu erzeugen.
Obwohl die Technik von JP 2 706 498 B2 oder JP 2012 - 76 088 A den reflektierten Strahl (oder das Streulicht) detektieren soll, ist die Technik nicht dafür bestimmt, die negative Wirkung des reflektierten Strahls auf die Laserlichtquelle usw. zu reduzieren oder eliminieren. Andererseits wird in JP S62- 289 387 A mindestens der Bestrahlungskopf oder das reflektierende Material geneigt, so dass die negative Wirkung des reflektierten Strahls vermieden wird. Wenn jedoch der Laserstrahl schräg zur Oberfläche des Objekts eingestrahlt wird, kann die Qualität der Laserbearbeitung im Vergleich mit einem Fall, in dem der Laserstrahl im Allgemeinen vertikal zum Objekt eingestrahlt wird, verschlechtert werden. Andererseits ist es in der Ausgestaltung von JP S62- 289 387 A notwendig, eine Einrichtung zum beliebigen Ändern eines Winkels des Objekts in Bezug auf den Laserstrahl anzuordnen, um den Laserstrahl vertikal auf das Objekt einzustrahlen.
KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Laserbearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, die eine Funktion zum effizienten Beginnen einer Laserbearbeitung aufweist, während eine aufgrund eines reflektierten Laserstrahls von einem zu bearbeitenden Objekt entstehende negative Wirkung eliminiert wird.
Dementsprechend stellt ein Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Laserbearbeitungsvorrichtung zum Ausführen einer Laserbearbeitung eines zu bearbeitenden Objekts, indem ein Laserstrahl durch ein optisches Lichtbündelungssystem gebündelt wird und der Laserstrahl auf das Objekt eingestrahlt wird, bereit, wobei die Laserbearbeitungsvorrichtung Folgendes umfasst: ein Reflexionsstrahlintensitäts-Detektionsteil, das zum Detektieren einer Intensität eines reflektierten Strahls ausgebildet ist, der ein Teil eines Laserstrahls ist, der von einem Laseroszillator über ein optisches Lasersystem eingestrahlt und dann durch eine Oberfläche des Objekts reflektiert wird, so dass er zu dem Laseroszillator oder dem optischen Lasersystem zurückkehrt; ein optisches Lichtbündelungssystem, das zum Bündeln des von dem Laseroszillator eingestrahlten Laserstrahls ausgebildet ist; ein Strahlintensitätserhöhungsteil, das zum kontinuierlichen Erhöhen, über eine vorgegebene Zeitdauer, einer Intensität des auf die Oberfläche des Objekts eingestrahlten Laserstrahls ausgebildet ist; ein Auswahlteil eines nächsten Prozesses, das zum Auswählen eines Inhalts eines nächsten Prozesses ausgebildet ist, und zwar auf der Grundlage einer zeitlichen Veränderung der Intensität des reflektierten Strahls, die durch das Reflexionsstrahlintensitäts-Detektionsteil detektiert wird, während die Intensität des auf die Oberfläche des Objekts eingestrahlten Laserstrahls erhöht wird; und ein Ausführungsteil, das zum Ausführen, auf der Grundlage des Inhalts des durch das Auswahlteil eines nächsten Prozesses ausgewählten nächsten Prozesses, des nächsten Prozesses im Anschluss auf die Laserbearbeitung ausgebildet ist.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Strahlintensitätserhöhungsteil derart ausgebildet, dass es einen Abstand zwischen einem Lichtbündelungspunkt des optischen Lichtbündelungssystems und dem Objekt ändert. Andererseits kann das Strahlintensitätserhöhungsteil derart ausgebildet sein, dass es einen Strahldurchmesser des in das optische Lichtbündelungssystem eindringenden Laserstrahls ändert.
In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst der Inhalt des durch das Auswahlteil eines nächsten Prozesses ausgewählten nächsten Prozesses eines von den Folgenden: Fortsetzen der Laserbearbeitung, Stoppen der Laserbestrahlung oder Aussetzen eines Bearbeitungsprogramms, und Ausführen einer Wiederholungsoperation.
Die Laserbearbeitungsvorrichtung kann ferner eine Einrichtung zum Einstellen einer Erhöhungsrate der Intensität des auf die Oberfläche des Objekts eingestrahlten Laserstrahls und/oder eine Einrichtung zum Ändern einer Zeitdauer von dem Zeitpunkt, zu dem die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt, zu dem Zeitpunkt, zu dem ein gegenwärtiger Prozess in den durch das Auswahlteil eines nächsten Prozesses ausgewählten Prozess überführt wird, umfassen.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Auswahlteil eines nächsten Prozesses derart ausgebildet, dass es ein Fortsetzen der Laserbearbeitung als den nächsten Prozess auswählt, wenn die Intensität des reflektierten Strahls innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer abzunehmen beginnt.
Es wird bevorzugt, dass das Auswahlteil eines nächsten Prozesses derart ausgebildet ist, dass es ein Stoppen der Laserbestrahlung oder ein Aussetzen des Bearbeitungsprogramms als den nächsten Prozess auswählt, wenn die Intensität des reflektierten Strahls einen vorgegebenen ersten Schwellenwert übersteigt.
Außerdem wird bevorzugt, dass das Auswahlteil eines nächsten Prozesses derart ausgebildet ist, dass es ein Fortsetzen der Laserbearbeitung als den nächsten Prozess auswählt, wenn die Intensität des reflektierten Strahls nicht abzunehmen beginnt und nicht einen zweiten Schwellenwert, der niedriger ist als ein vorgegebener erster Schwellenwert, innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer erreicht.
Außerdem wird bevorzugt, dass das Auswahlteil eines nächsten Prozesses derart ausgebildet ist, dass es ein Ausführen der Wiederholungsoperation als den nächsten Prozess auswählt, wenn die Intensität des reflektierten Strahls nicht abzunehmen beginnt und wenn die Intensität des reflektierten Strahls niedriger als ein vorgegebener erster Schwellenwert und höher als ein zweiter Schwellenwert, der niedriger ist als der erste Schwellenwert, ist, nachdem die vorgegebene Zeitdauer verstrichen ist. In diesem Fall kann die Widerholungsoperation ausgeführt werden, nachdem eine Laserleistung erhöht wird, oder nachdem eine Erhöhungsrate der Intensität des Laserstrahls erhöht wird.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird eine Laserleistung, die von dem Laseroszillator ausgegeben wird, konstant gehalten, während die Intensität des auf die Oberfläche des Objekts eingestrahlten Laserstrahls erhöht wird.
Figurenliste
Die vorstehenden und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden durch die nachstehende Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen davon unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen offensichtlicher werden. Es zeigen:

1 ein Funktionsblockdiagramm einer Laserbearbeitungsvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 ein Beispiel, in dem ein Bearbeitungskopf, der ein optisches Lichtbündelungssystem aufnimmt, derart ausgebildet ist, dass er zu einem Werkstück hin oder von ihm weg bewegt wird;
3 ein Beispiel, in dem ein innerhalb eines Bearbeitungskopfs aufgenommenes optisches Lichtbündelungssystem derart ausgebildet ist, dass es zu einem Werkstück hin oder von ihm weg bewegt wird;
4 ein Beispiel, in dem ein optisches Lasersystem einen Strahldurchmesser ändern kann;
5 ein Diagramm, das veranschaulicht, dass eine Intensität eines reflektierten Strahls innerhalb einer vorgegebenen Zeitdauer abzunehmen beginnt;
6 ein Diagramm, das veranschaulicht, dass eine Intensität eines reflektierten Strahls innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer einen ersten Schwellenwert übersteigt, ohne dass sie abzunehmen beginnt;
7 ein Diagramm ähnlich der 5, das veranschaulicht, dass eine Erhöhungsrate der Intensität des Laserstrahls variiert wird;
8 ein Diagramm ähnlich der 5, das veranschaulicht, dass eine Zeitdauer von dem Zeitpunkt, zu dem die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt, zu dem Zeitpunkt, zu dem der nächste Prozess gestartet wird, eingestellt oder geändert wird;
9 ein Beispiel, in dem eine Aussparung, die auf einer Werkstückoberfläche durch Laserbestrahlung ausgebildet wird, eine verhältnismäßig kleine Tiefe aufweist;
10 ein Beispiel, in dem eine Aussparung, die auf einer Werkstückoberfläche durch Laserbestrahlung ausgebildet wird, eine verhältnismäßig große Tiefe aufweist;
11 ein Diagramm ähnlich der 5, das veranschaulicht, dass die Laserbestrahlung fortgesetzt werden kann, auch wenn nicht detektiert wird, dass die Intensität des reflektierten Strahls nicht abzunehmen beginnt;
12 ein Diagramm ähnlich der 11, das veranschaulicht, dass eine Wiederholungsoperation als der nächste Prozess ausgeführt wird, wenn nicht detektiert wird, dass die Intensität des reflektierten Strahls nicht abzunehmen beginnt;
13 ein Beispiel der Wiederholungsoperation, in der eine Laserleistung geändert wird, so dass sie größer ist als jene des vorigen Mals;
14 ein Beispiel der Wiederholungsoperation, in der die Erhöhungsrate der Intensität des Laserstrahls geändert wird, so dass sie größer ist als jene des vorigen Mals; und
15 ein Beispiel, in dem die Laserleistung einen Pulssignalverlauf repräsentiert.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
1 ist ein Funktionsblockdiagramm einer Laserbearbeitungsvorrichtung 10 gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Laserbearbeitungsvorrichtung 10 ist derart ausgebildet, dass sie eine vorgegebene Laserbearbeitung, wie z.B. Schneiden, Schweißen, Perforieren oder Markieren, durch Bündeln eines Laserstrahls, der von einem Laseroszillator 12 über ein optisches Lasersystem 14 ausgegeben wird, unter Verwendung eines optischen Lichtbündelungssystems 16 und durch (vorzugsweise im Allgemeinen vertikales) Einstrahlen des Laserstrahls auf eine Oberfläche 20 eines zu bearbeitenden Objekts (oder eines Werkstücks 18) ausführt, wie in 2 und 3 dargestellt.
Die Laserbearbeitungsvorrichtung 10 wiest Folgendes auf: ein Reflexionsstrahlintensitäts-Detektionsteil 22, wie z.B. einen optischen Sensor, das zum Detektieren (oder Überwachen) einer Intensität eines reflektierten Strahls (oder einer Reflexionsstrahlintensität) ausgebildet ist, welcher ein Teil eines Laserstrahls ist, der von dem Laseroszillator 12 über das optische Lasersystem 14 eingestrahlt wird und dann durch die Oberfläche 20 des Werkstücks 18 reflektiert wird, so dass er zu dem Laseroszillator 12 oder dem optischen Lasersystem 14 zurückkehrt; ein Strahlintensitätserhöhungsteil 24, das derart ausgebildet ist, dass es eine Intensität des auf eine Werkstückoberfläche 20 eingestrahlten Laserstrahls über eine vorgegebene Zeitdauer kontinuierlich oder allmählich erhöht; ein Auswahlteil eines nächsten Prozesses 26, das derart ausgebildet ist, dass es einen Inhalt eines nächsten Prozesses auf der Grundlage einer zeitlichen Veränderung der Intensität des reflektierten Strahls auswählt (oder bestimmt), die durch das Reflexionsstrahlintensitäts-Detektionsteils 22 detektiert wird, während die Laserstrahlintensität des auf die Werkstückoberfläche 20 eingestrahlten Laserstrahls erhöht wird; und ein Ausführungsteil 28, das derart ausgebildet ist, dass es dem nächsten Prozess im Anschluss an die Laserbearbeitung auf der Grundlage des Inhalts des durch das Auswahlteil eines nächsten Prozesses 26 ausgewählten oder bestimmten nächsten Prozesses ausführt.
Die Bewegung jeder Komponente wie in 1 dargestellt, kann durch eine Steuerung 30, die zum Steuern der Grundbewegung der Laserbearbeitungsvorrichtung 10 ausgebildet ist, automatisch ausgeführt oder gesteuert werden. Andererseits kann die Bewegung jeder Komponente durch eine andere Vorrichtung (wie z.B. einen Personal Computer), die von der Steuerung 30 getrennt ist, automatisch ausgeführt oder gesteuert werden. Außerdem können die Funktionen der Laserbearbeitungsvorrichtung, wie nachstehend beschrieben (z.B. eine Einrichtung zum Einstellen einer Erhöhungsrate der Intensität des Laserstrahls, oder eine Einrichtung zum Ändern einer Zeitdauer bis die Laserbearbeitung in den nächsten Prozess überführt wird) an (den Prozessor der) Steuerung 30 oder eine andere Vorrichtung (wie z.B. einen Personal Computer), der von der Steuerung 30 getrennt ist, bereitgestellt werden.
Hierbei bezieht sich die Intensität des reflektierten Strahls auf die Intensität pro Flächeneinheit eines durch die Werkstückoberfläche reflektierten Laserstrahls, oder eine Intensität eines Laserstrahls, der in einen Sensor zum Detektieren des reflektierten Strahls eindringt. Andererseits bezieht sich die Intensität des auf die Werkstückoberfläche eingestrahlten Laserstrahls auf die Intensität pro Flächeneinheit des Laserstrahls, der zu der Werkstückoberfläche hin verläuft, in Bezug auf eine Ebene, die senkrecht zu einer optischen Achse des Laserstrahls ist.
2 bis 4 zeigen Beispiele einer Einheit, die dem Strahlintensitätserhöhungsteil 24 entsprechen kann. 2 veranschaulicht eine Konfiguration, in der das optische Lichtbündelungssystem (oder die Lichtbündelungslinse) 16 innerhalb eines Bearbeitungskopfs 32 befestigt ist, und der Bearbeitungskopf 32 derart ausgebildet ist, dass er (vertikal) zum Werkstück 18 hin oder von ihm weg bewegt wird. Durch Bewegen des Bearbeitungskopfs 32 in Bezug auf das Werkstück 18 unter Verwendung einer Antriebsachse usw. kann die Intensität (oder die Energiedichte) des auf die Werkstückoberfläche 20 eingestrahlten Laserstrahls allmählich erhöht werden.
3 veranschaulicht eine alternative Konfiguration von 2, in der das optische Lichtbündelungssystem (oder die Lichtbündelungslinse) 16 innerhalb des Bearbeitungskopfs 32 beweglich angeordnet ist, und das optische Lichtbündelungssystem 16 derart ausgebildet ist, dass es (vertikal) zum Werkstück 18 hin oder von ihm weg bewegt wird. Durch Bewegen des optischen Lichtbündelungssystems 16 in Bezug auf das Werkstück 18 unter Verwendung einer Antriebsachse usw. kann die Intensität (oder die Energiedichte) des auf die Werkstückoberfläche 20 eingestrahlten Laserstrahls allmählich erhöht werden. In jeder Konfiguration von 2 oder 3 ist der Abstand zwischen dem Lichtbündelungspunkt 34 des optischen Lichtbündelungssystems 16 und der Werkstückoberfläche 20 veränderbar.
4 zeigt eine Einrichtung zum Ändern eines Strahldurchmessers des Laserstrahls, der in das optische Lichtbündelungssystem (die Lichtbündelungslinse) 16 eindringt. Konkret kann durch Verwenden des optischen Lasersystems 14, wie in 1 dargestellt, der Strahldurchmesser des von dem Laseroszillator 12 eingestrahlten Laserstrahls geändert werden. Zum Beispiel kann ein AO (Adaptive Optik)-Spiegel (der eine veränderliche Krümmung aufweist) als das optische Lasersystem 14 verwendet werden, und der Strahldurchmesser des Laserstrahls, der in das optische Lichtbündelungssystem 16 eindringt, kann durch Ändern der Krümmung des AO-Spiegels verändert werden. Folglich kann die Intensität (oder die Energiedichte) des auf die Werkstückoberfläche 20 eingestrahlten Laserstrahls allmählich erhöht werden.
5 ist ein Diagramm, das die Laserleistung der Laserbearbeitungsvorrichtung 10, die Intensität des auf die Werkstückoberfläche 20 eingestrahlten Laserstrahls und die Intensität des reflektierten Strahls von der Werkstückoberfläche 20 unter Verwendung derselben Zeitachse zeigt. Wenn zum Zeitpunkt t1 (Kurve 36) die Ausgabe des Laserstrahls begonnen wird, erhöht das Strahlintensitätserhöhungsteil, wie in 2 bis 4 veranschaulicht, allmählich die Intensität des auf die Werkstückoberfläche 20 eingestrahlten Laserstrahls über eine vorgegebene Zeitdauer (Kurve 38). Zu diesem Zeitpunkt erhöht sich die Intensität des reflektierten Strahls ebenfalls mit der Erhöhung der Intensität des eingestrahlten Laserstrahls, und dann wird in vielen Fällen eine Aussparung (oder eine Vertiefung) auf der Werkstückoberfläche 20 durch den von der Werkstückoberfläche 20 absorbierten Laserstrahl ausgebildet. Daher beginnt die Intensität des reflektierten Strahls (oder die überwachte Intensität) abzunehmen, wie durch Kurve 40 angezeigt.
Wenn die Abnahme der Intensität des reflektierten Strahls detektiert wird, kann es mit anderen Worten beurteilt werden, dass die Aussparung auf der Werkstückoberfläche 20 ausgebildet wird. Nachdem die Aussparung ausgebildet wurde, ist es ferner wahrscheinlich, dass die Werkstückoberfläche 20 den Laserstrahl absorbiert. Daher ist es im Beispiel von 5 bis zum Zeitpunkt t2 nicht notwendig, die Intensität des Laserstrahls zu erhöhen. Stattdessen kann, unmittelbar nachdem die Intensität des reflektierten Laserstrahls (z.B. zum Zeitpunkt t3) abzunehmen beginnt, die Laserleistung gestoppt werden und der gegenwärtige Prozess kann in den nächsten Prozess (z.B. ein Fortsetzen der Laserbearbeitung) überführt werden. In dem nächsten Prozess kann die Laserbearbeitung bei einer hohen Intensität des Laserstrahls vom Anfang des Prozesses an ausgeführt werden. Mit anderen Worten kann die Laserbearbeitung gestartet werden, während die Intensität des reflektierten Strahls begrenzt wird, ohne dass die Intensität des auf die Werkstückoberfläche 20 eingestrahlten Laserstrahls allmählich erhöht wird (auch wenn der Laserstrahl bei hoher Intensität plötzlich auf das Werkstück eingestrahlt wird).
6 ist ein Diagramm ähnlich der 5, wobei die Aussparung nicht innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer (von t1 bis t2) ausgebildet wird. Konkret veranschaulicht 6, dass zum Zeitpunkt t1 (Kurve 36) die Ausgabe des Laserstrahls beginnt, die Intensität des auf die Werkstückoberfläche 20 eingestrahlten Laserstrahls allmählich über eine vorgegebene Zeitdauer (Kurve 38) erhöht wird, und die Intensität des reflektierten Strahls einen vorgegebenen ersten Schwellenwert L1 zum Zeitpunkt t4 übersteigt, während die Intensität des Laserstrahls erhöht wird (Kurve 42). Wenn die Aussparung usw., wie vorstehend beschrieben, auch durch Erhöhen der Intensität des Laserstrahls nicht auf der Werkstückoberfläche ausgebildet wird, und die Intensität des reflektierten Strahls den ersten Schwellenwert L1 übersteigt, kann der Laseroszillator usw. durch den reflektierten Laserstrahl beschädigt oder zerstört werden, und daher wird bevorzugt, dass die Laserleistung in einem solchen Fall angehalten wird. In dieser Hinsicht kann der erste Schwellenwert L1 (zum Beispiel experimentell) auf einen Wert, der einer Intensität entspricht, bei der der Laseroszillator usw. beschädigt werden kann, oder einen Wert, der durch Subtrahieren einer Toleranz von der Intensität erzielt wird, gesetzt werden. Daher stoppt der nächste Prozess in diesem Fall die Laserbestrahlung oder stoppt das Bearbeitungsprogramm hinsichtlich der Laserbearbeitung.
Im Fall, in dem das Werkstück durch ein Material ausgebildet ist, das ein hohes Reflexionsvermögen aufweist, wird je nach der Intensität des Laserstrahls ein reflektierter Strahl, der eine hohe Intensität aufweist, im selben Moment erzeugt, in dem der Laserstrahl auf das Werkstück eingestrahlt wird, und dann kann der Laseroszillator usw. durch den reflektierten Laserstrahl beschädigt oder zerstört werden. Im Beispiel von 6 kann die Laserleistung (oder der Laseroszillator) gestoppt werden, unmittelbar nachdem die Intensität des reflektierten Strahls den ersten Schwellenwert übersteigt, und daher kann eine aufgrund des reflektierten Strahls auftretende Fehlfunktion oder Beschädigung des Laseroszillators usw. sicher vermieden werden. In dieser Hinsicht kann ein Alarm ausgegeben werden, wenn die Intensität des reflektierten Strahls den ersten Schwellenwert L1 übersteigt, so dass die Bedienperson diesen Effekt schnell erkennen kann.
7 ist ein Diagramm ähnlich der 5, das ein Beispiel zeigt, in dem die Erhöhungsrate der Intensität (oder der Energiedichte) des Laserstrahls geändert wird. Da sich die Intensität des reflektierten Strahls je nach der Intensität des einstrahlenden Laserstrahls auch ändert, kann zu dem reflektierten Strahl durch Bestimmen eines optimalen Wertes des Laserstrahls eine Toleranz hinzugefügt werden. Im Beispiel von 7 wird, wenn die Intensität des Laserstrahls vom Zeitpunkt t1 zum Zeitpunkt t2 von der gestrichelten Kurve 44 zu der durchgezogenen Kurve 46 geändert wird, die Intensität des reflektierten Strahls von der gestrichelten Kurve 48 zu der durchgezogenen Kurve 50 geändert.
Im Allgemeinen fluktuiert die Intensität des reflektierten Strahls und kann je nach der Oberflächenbeschaffenheit des Werkstücks steil erhöht werden. Daher wird bevorzugt, dass die Intensität des reflektierten Strahls in Bezug auf den ersten Schwellenwert L1, der das Kriterium für die Ausgabe des Alarms (oder Stoppen der Laserbestrahlung) ist, möglichst niedrig ist. Durch Ändern der Erhöhungsrate der Intensität des Laserstrahls und Bestimmen der optimalen Bedingung, so dass die Intensität des reflektierten Strahls minimiert wird, kann dementsprechend verhindert werden, dass die Intensität des reflektierten Strahls den ersten Schwellenwert übersteigt, auch wenn die Intensität des reflektierten Strahls fluktuiert, wodurch der gegenwärtige Prozess sicher in den nächsten Prozess (oder die normale Laserbearbeitung) überführt werden kann. Im Beispiel von 7 weist (der maximale Wert der) Intensität des reflektierten Strahls, wie durch die durchgezogene Kurve 50 angezeigt, in Bezug auf den ersten Schwellenwert L1 eine größere Toleranz als jene der gestrichelten Kurve 48 auf, und daher könnte verstanden werden, dass die Bedingung der durchgezogenen Kurve besser ist als der gestrichenen Kurve.
Als eine Einrichtung zum Ändern der Erhöhungsrate des einstrahlenden Laserstrahls können verschiedene Mittel verwendet werden. Zum Beispiel kann die Bewegungsgeschwindigkeit des Bearbeitungskopfs 32 in Bezug auf das Werkstück 18, wie in 2 dargestellt, oder die Bewegungsgeschwindigkeit des optischen Lichtbündelungssystems 16 in Bezug auf das Werkstück 18, wie in 3 dargestellt, geändert werden. Andererseits kann die Änderungsrate der Krümmung des AO-Spiegels, wie in 4 dargestellt, geändert werden.
8 ist ein Diagramm ähnlich der 5, das ein Beispiel zeigt, in dem eine Zeitdauer von dem Zeitpunkt, zu dem die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt, zum Zeitpunkt, zu dem der gegenwärtige Prozess in den nächsten Prozess überführt wird, eingestellt oder geändert wird. Zum Beispiel weist, unmittelbar nachdem die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt (Zeitpunkt t3), eine ausgebildete Aussparung 52 eine verhältnismäßig kleine Tiefe auf, wie in 9 dargestellt. Nachdem die Laserbearbeitung eine bestimmte Zeitdauer (Zeitpunkt t2) lang ausgeführt wird, wird dann eine Aussparung 54, die eine verhältnismäßig große Tiefe aufweist, ausgebildet, wie in 10 dargestellt. Daher kann durch Fortsetzen der Laserbestrahlung, nachdem die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt, die Tiefe der auf der Werkstückoberfläche ausgebildeten Aussparung eingestellt werden. Im Fall, in dem der nächste Prozess ein Perforieren ist, kann zum Beispiel, wenn die Tiefe der Aussparung verhältnismäßig groß ist, das Perforieren bei einer niedrigen Laserleistung ausgeführt werden und eine Bearbeitungszeit des Perforierens kann reduziert werden.
11 ist ein Diagramm ähnlich der 5, das ein Beispiel zeigt, in dem die Laserbearbeitung fortgesetzt werden kann, auch wenn nicht detektiert wird, dass die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt. Wenn zum Beispiel das Werkstück durch ein Material ausgebildet ist, das ein niedriges Reflexionsvermögen aufweist, kann es schwierig sein zu detektieren, dass die Intensität des reflektierten Strahls durch die auf der Werkstückoberfläche ausgebildete Aussparung anzunehmen beginnt. Daher kann, wie durch eine Kurve 56 in 11 angezeigt, ein zweiter Schwellenwert L2, der niedriger ist als der erste Schwellenwert L1, vorgegeben werden. Wenn es nicht detektiert wird, dass die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt, und wenn die Intensität des reflektieren Strahls den zweiten Schwellenwert L2 nicht erreicht, bis eine vorgegebene Zeitdauer (von t1 bis t2) verstrichen ist, kann dann der gegenwärtige Prozess in den nächsten Prozess überführt werden.
Wenn, wie vorstehend beschrieben, die Intensität des reflektierten Strahls den zweiten Schwellenwert, der niedriger ist als der erste Schwellenwert, innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer nicht übersteigt, ist es nicht wahrscheinlich, dass der Laseroszillator usw. aufgrund des reflektierten Strahls beschädigt wird, auch wenn die Laserbearbeitung fortgesetzt wird. Auch wenn es nicht detektiert wird, dass die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt, kann daher die Laserbearbeitung fortgesetzt werden. Außerdem kann der zweite Schwellenwert experimentell bestimmt werden.
12 ist ein Diagramm ähnlich der 11, das ein Beispiel zeigt, in dem der gegenwärtige Prozess in eine Wiederholungsoperation als den nächsten Prozess überführt wird, wenn nicht detektiert wird, dass die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt. Im Beispiel von 12 wird es, wie durch eine Kurve 58 angezeigt, nicht detektiert, dass die Intensität des reflektierten Strahls innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer (von t1 bis t2) abzunehmen beginnt, und der Peak der Intensität des reflektierten Strahls liegt zum Zeitpunkt t2 zwischen dem ersten Schwellenwert L1 und dem zweiten Schwellenwert L2. In einem solchen Fall wird bevorzugt, dass der nächste Prozess die Wiederholungsoperation ist (in der eine Operation zum allmählichen Erhöhen der Intensität des eingestrahlten Laserstrahls innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer wiederholt wird), die vom Aussetzen der Laserbearbeitung (wenn die Intensität des reflektierten Strahls den ersten Schwellenwert übersteigt, wie in 6 dargestellt) oder dem Fortsetzen der Laserbearbeitung (wenn die Intensität des reflektierten Strahls den zweiten Schwellenwert nicht übersteigt, wie in 11 dargestellt) verschieden ist. Durch Ausführen der Wiederholungsoperation wird die Wahrscheinlichkeit, dass die Aussparung auf der Werkstückoberfläche innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer ausgebildet wird (oder die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt), erhöht, was dazu führt, dass der gegenwärtige Prozess in die kontinuierliche Laserbearbeitung überführt werden kann, wie in 5 dargestellt. Außerdem kann im Beispiel von 12 vermieden werden, dass der übermäßige reflektierte Strahl erneut in den Laseroszillator usw. in dem nächsten Prozess eindringt, ohne die Aussparung auf der Werkstückoberfläche auszubilden.
13 und 14 zeigen Diagramme, von denen jedes ein bevorzugtes Beispiel der Wiederholungsoperation in Bezug auf 12 erläutert. Die Wiederholungsoperation kann bei derselben Bedingung ausgeführt werden wie die vorherige Operation (z.B. ist die Erhöhungsrate des auf die Werkstückoberfläche eingestrahlten Laserstrahls gleich). Jedoch kann, wie durch Kurve 60 in 13 dargestellt, die Wiederholungsoperation bei einer höheren Laserleistung ausgeführt werden als die vorherige Operation. In diesem Fall wird die Intensität des Laserstrahls variiert, wie durch Kurve 62 veranschaulicht. Andernfalls kann, wie durch Kurve 64 in 14 dargestellt, die Wiederholungsoperation bei einer höheren Erhöhungsrate der Intensität des Laserstrahls ausgeführt werden als die vorherige Operation.
In der Laserbearbeitung fluktuiert die Intensität des reflektierten Strahls wesentlich in Abhängigkeit von der Oberflächenbeschaffenheit usw. des Werkstücks, und daher kann es schwierig sein, die Bearbeitungsbedingung zu spezifizieren. Wie in 13 oder 14 gezeigt, kann in einem solchen Fall durch Ausführen der Wiederholungsoperation, während die Bedingung geändert wird (z.B. durch Erhöhen der Laserleistung oder der Erhöhungsrate der Intensität des Laserstrahls), die Aussparung ohne eine Abhängigkeit von der Oberflächenbeschaffenheit des Werkstücks sicher ausgebildet werden.
In den Arbeitsbeispielen, wie in 5 bis 14 dargestellt, gleicht die Zeitdauer zwischen den Zeitpunkten t1 und t2 je nach der Bearbeitungsbedingung im Allgemeinen 1 bis 10 Sekunden, vorzugsweise 3 bis 5 Sekunden. Die (vorgegebene) Zeitdauer für das allmähliche Erhöhen der Intensität des eingestrahlten Laserstrahls kann derart eingestellt werden, dass eine (arithmetische) Verarbeitung zum Auswählen oder Bestimmen des geeigneten Inhalts des nächsten Prozesses innerhalb der Zeitdauer ausgeführt werden kann, die jedem Muster der zeitlichen Veränderung der Intensität des Laserstrahls entspricht (z.B. in dem die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt oder den ersten Schwellenwert übersteigt).
In den Arbeitsbeispielen, wie in 5 bis 14 dargestellt, wird außerdem bevorzugt, dass die von dem Laseroszillator ausgegebene Laserleistung (die obere Kurve) konstant gehalten wird, während die Intensität des Laserstrahls (die mittlere Kurve) erhöht wird. In einem Verfahren zum Begrenzen des reflektierten Strahls wird die Laserbearbeitung bei einer niedrigen Laserleistung begonnen, und dann wird die Laserleistung allmählich erhöht. Da jedoch in dem Arbeitsbeispiel die Laserleistung konstant sein kann, ist eine komplexe Laserleistungssteuerung nicht notwendig. In dieser Hinsicht kann der Ausdruck „konstant (ge)halten“ nicht nur einen Fall, in dem die Laserleistung einen Dauerstrichsignalverlauf repräsentiert, wie in 5 bis 15 veranschaulicht, sondern auch einen Fall, in dem die Laserleistung einen Pulssignalverlauf repräsentiert, der eine konstante Leistung aufweist, wie in 15 veranschaulicht, umfassen.
In den Arbeitsbeispielen gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Intensität des reflektierten Strahls detektiert (oder überwacht), während die Intensität des eingestrahlten Laserstrahls allmählich erhöht wird, und der Inhalt des nächsten Prozesses wird auf der Grundlage des Musters der Änderung der überwachten Intensität des reflektierten Strahls ausgewählt und ausgeführt. Wenn zum Beispiel die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt, kann beurteilt werden, dass die Aussparung auf der Werkstückoberfläche ausgebildet wird. Da der Laserstrahl leicht durch die Werkstückoberfläche absorbiert werden kann, nachdem die Aussparung ausgebildet wurde, kann der reflektierte Strahl in der Laserbearbeitung in dem nächsten Prozess reduziert werden. Auch wenn der reflektierte Strahl erhöht wird, ohne dass die Aussparung auf der Werkstückoberfläche ausgebildet wird, kann außerdem der Laseroszillator durch Einstellen des Schwellenwerts in Bezug auf den reflektierten Strahl gestoppt werden, bevor der übermäßige reflektierte Strahl erzeugt wird.
In der Laserbearbeitungsvorrichtung gemäß dem vorstehenden Arbeitsbeispiel kann die Reihe von Prozessen (in der die Intensität des eingestrahlten Laserstrahls detektiert (oder überwacht) wird, während die Intensität des eingestrahlten Laserstrahls allmählich erhöht wird, und der Inhalt des nächsten Prozesses auf der Grundlage der zeitlichen Änderung der detektierten Intensität des reflektierten Strahls ausgewählt und ausgeführt wird) automatisch ausgeführt werden. Daher kann die aufgrund des übermäßigen reflektierten Strahls entstehende negative Wirkung eliminiert werden und die Laserbearbeitung kann effizient gestartet werden, ohne dass sie von den Fähigkeiten der Bedienperson abhängt.

Claims

Laserbearbeitungsvorrichtung (10) zum Ausführen einer Laserbearbeitung eines zu bearbeitenden Objekts (18) durch Bündeln eines Laserstrahls mithilfe eines optischen Lichtbündelungssystems (16) und Einstrahlen des Laserstrahls auf das Objekt (18), wobei die Laserbearbeitungsvorrichtung(10) umfasst: ein Reflexionsstrahlintensitäts-Detektionsteil (22), das zum Detektieren einer Intensität eines reflektierten Strahls ausgebildet ist, welcher ein Teil eines Laserstrahls ist, der von einem Laseroszillator (12) über ein optisches Lasersystem (14) eingestrahlt wird und dann durch eine Oberfläche (20) des Objekts (18) reflektiert wird, so dass er zu dem Laseroszillator (12) oder dem optischen Lasersystem (14) zurückkehrt, ein optisches Lichtbündelungssystem (16), das zum Bündeln des von dem Laseroszillator (12) eingestrahlten Laserstrahls ausgebildet ist, ein Strahlintensitätserhöhungsteil (24), das derart ausgebildet ist, dass es eine Intensität des auf die Oberfläche des Objekts (18) eingestrahlten Laserstrahls über eine vorgegebene Zeitdauer von eins bis zehn Sekunden kontinuierlich erhöht, ein Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26), das derart ausgebildet ist, dass es einen Inhalt eines nächsten Prozesses (26) auf der Grundlage einer zeitlichen Änderung der Intensität des reflektierten Strahls auswählt, die durch das Reflexionsstrahlintensitäts-Detektionsteil (22) detektiert wird, während die Intensität des auf die Oberfläche des Objekts (18) eingestrahlten Laserstrahls erhöht wird, und ein Ausführungsteil (28), das derart ausgebildet ist, dass es den nächsten Prozess (26) im Anschluss an die Laserbearbeitung auf der Grundlage des Inhalts des durch das Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26) ausgewählten nächsten Prozesses (26) ausführt.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Strahlintensitätserhöhungsteil (24) derart ausgebildet ist, dass es einen Abstand zwischen einem Lichtbündelungspunkt (34) des optischen Lichtbündelungssystems (16) und dem Objekt (18) ändert.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Strahlintensitätserhöhungsteil (24) derart ausgebildet ist, dass es einen Strahldurchmesser des in das optische Lichtbündelungssystem (16) eindringenden Laserstrahls ändert.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Inhalt des durch das Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26) ausgewählten nächsten Prozesses (26) eines von den Folgenden umfasst: Fortsetzen der Laserbearbeitung, Stoppen der Laserbestrahlung oder Aussetzen eines Bearbeitungsprogramms, und Ausführen einer Wiederholungsoperation.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserbearbeitungsvorrichtung (10) ferner eine Einrichtung zum Einstellen einer Erhöhungsrate der Intensität des auf die Oberfläche des Objekts (18) eingestrahlten Laserstrahls umfasst.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserbearbeitungsvorrichtung (10) ferner eine Einrichtung zum Ändern einer Zeitdauer von dem Zeitpunkt, zu dem die Intensität des reflektierten Strahls abzunehmen beginnt, zu dem Zeitpunkt, zu dem ein gegenwärtiger Prozess in den durch das Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26) ausgewählten Prozess überführt wird, umfasst.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26) derart ausgebildet ist, dass es ein Fortsetzen der Laserbearbeitung als den nächsten Prozess (26) auswählt, wenn die Intensität des reflektierten Strahls innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer abzunehmen beginnt.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26) derart ausgebildet ist, dass es ein Stoppen der Laserbestrahlung oder ein Aussetzen des Bearbeitungsprogramms als den nächsten Prozess (26) auswählt, wenn die Intensität des reflektierten Strahls einen vorgegebenen ersten Schwellenwert übersteigt.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26) derart ausgebildet ist, dass es ein Fortsetzen der Laserbearbeitung als den nächsten Prozess (26) auswählt, wenn die Intensität des reflektierten Strahls nicht abzunehmen beginnt und nicht einen zweiten Schwellenwert, der niedriger ist als ein vorgegebener erster Schwellenwert, innerhalb der vorgegebenen Zeitdauer erreicht.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Auswahlteil eines nächsten Prozesses (26) derart ausgebildet ist, dass es ein Ausführen der Wiederholungsoperation als den nächsten Prozess (26) auswählt, wenn die Intensität des reflektierten Strahls nicht abzunehmen beginnt und wenn die Intensität des reflektierten Strahls niedriger als ein vorgegebener erster Schwellenwert und höher als ein zweiter Schwellenwert ist, der niedriger ist als der erste Schwellenwert, nachdem die vorgegebene Zeitdauer verstrichen ist.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Wiederholungsoperation ausgeführt wird, nachdem eine Laserleistung erhöht wird, oder nachdem eine Erhöhungsrate der Intensität des Laserstrahls erhöht wird.
Laserbearbeitungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Laserleistung, die von dem Laseroszillator (12) ausgegeben wird, konstant gehalten wird, während die Intensität des auf die Oberfläche des Objekts (18) eingestrahlten Laserstrahls erhöht wird.