DE102017100798A1

DE102017100798A1 - Anzeigevorrichtung

Info

Publication number: DE102017100798A1
Application number: DE102017100798.9A
Authority: DE
Inventors: Lorenzo Zini; Martin Rudolf Behringer
Original assignee: Osram Opto Semiconductors GmbH
Current assignee: Ams Osram International GmbH
Priority date: 2017-01-17
Filing date: 2017-01-17
Publication date: 2018-07-19
Also published as: TW201834230A; WO2018134068A1; US20190371774A1; US10770442B2

Abstract

Es wird eine Anzeigevorrichtung (1) mit einer Halbleiterschichtenfolge (2), die einen zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (20) aufweist und eine Mehrzahl von Bildpunkten (2A, 2B) bildet, und mit einem Träger (5), auf dem die Halbleiterschichtenfolge angeordnet ist, angegeben, wobei der Träger (5) eine Mehrzahl von Schaltern (51) aufweist, die jeweils zur Steuerung von zumindest einem Bildpunkt (2A, 2B) vorgesehen sind und auf einer dem Träger abgewandten Strahlungsaustrittsfläche (29) der Halbleiterschichtenfolge auf jedem Bildpunkt ein optisches Element (3) angeordnet ist.

Description

Die vorliegende Anmeldung betrifft eine Anzeigevorrichtung.
Insbesondere bei Anzeigevorrichtungen, bei denen die einzelnen Bildpunkte nahe beieinanderstehen, kann ein Übersprechen von Licht aus einem Bildpunkt in den Wahrnehmungsbereich eines benachbarten Bildpunkts zur Verringerung des Kontrasts führen.
Eine Aufgabe ist es, eine Anzeigevorrichtung anzugeben, mit der ein guter Kontrast einfach und zuverlässig erzielbar ist.
Diese Aufgabe wird unter anderem durch eine Anzeigevorrichtung gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Weitere Ausgestaltungen und Zweckmäßigkeiten sind Gegenstand der abhängigen Patentansprüche.
Es wird eine Anzeigevorrichtung mit einer Halbleiterschichtenfolge angegeben. Der Begriff Anzeigevorrichtung bezeichnet allgemein eine in ihrem Betrieb Strahlung emittierende Vorrichtung, bei der insbesondere einzelne Bildpunkte unabhängig voneinander ansteuerbar sind. Die Strahlung liegt beispielsweise im sichtbaren, infraroten oder ultravioletten Spektralbereich.
Beispielsweise ist die Anzeigevorrichtung für einen Bildschirm zur Darstellung statischer oder beweglicher Bilder oder für die Beleuchtung mit einer veränderlichen Abstrahlcharakteristik vorgesehen, etwa in einem adaptiven Frontscheinwerfersystem.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung weist die Halbleiterschichtenfolge einen zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich auf. Beispielsweise ist der aktive Bereich zwischen einer ersten Halbleiterschicht eines ersten Leitungstyps und einer zweiten Halbleiterschicht eines vom ersten Leitungstyp verschiedenen zweiten Ladungstyps angeordnet, sodass sich der aktive Bereich in einem pn-Übergang befindet.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung bildet die Halbleiterschichtenfolge eine Mehrzahl von Bildpunkten. Die Bildpunkte sind in lateraler Richtung, also entlang einer Haupterstreckungsebene der Halbleiterschichten der Halbleiterschichtenfolge, nebeneinander angeordnet. Bei der Herstellung der Anzeigevorrichtung gehen die Bildpunkte insbesondere aus einer gemeinsamen Halbleiterschichtenfolge hervor, sodass sich die Halbleiterschichten der einzelnen Bildpunkte hinsichtlich ihrer Materialzusammensetzung und ihrer Schichtdicke nicht oder zumindest nur um fertigungsbedingte Schwankungen, die in lateraler Richtung bei der Abscheidung der Halbleiterschichtenfolge auftreten, unterscheiden. In Draufsicht auf die Anzeigevorrichtung können die Bildpunkte zum Beispiel eine mehreckige, beispielsweise eine dreieckige, viereckige, etwa rechteckige oder quadratische, oder eine sechseckige Grundform aufweisen.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung weist die Anzeigevorrichtung einen Träger auf, auf dem die Halbleiterschichtenfolge angeordnet ist. Der Träger dient insbesondere der mechanischen Stabilisierung der Halbleiterschichtenfolge. Insbesondere ist der Träger von einem Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge der Anzeigevorrichtung verschieden. Der Träger ist also nicht das Aufwachssubstrat. Der Träger kann jedoch das selbe Material aufweisen oder aus dem selben Material bestehen wie das Aufwachssubstrat. Das Aufwachssubstrat für die insbesondere epitaktische Abscheidung der Halbleiterschichtenfolge ist in der Anzeigevorrichtung nicht mehr erforderlich und kann entfernt sein.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung weist der Träger eine Mehrzahl von Schaltern auf, die jeweils zur Steuerung von zumindest einem Bildpunkt vorgesehen sind. Beispielsweise sind jeweils die ersten Halbleiterschichten oder jeweils die zweiten Halbleiterschichten der einzelnen Bildpunkte mit einem der Schalter verbunden. Die jeweils andere Halbleiterschicht kann mit den entsprechenden anderen Halbleiterschichten der benachbarten Bildpunkte elektrisch kontaktiert sein. Im Betrieb können diese Halbleiterschichten auf einem gemeinsamen elektrischen Potenzial liegen.
Mittels der Schalter sind die einzelnen Bildpunkte unabhängig voneinander ansteuerbar. Beispielsweise sind die Schalter in Form von Transistoren ausgebildet. Die Schalter können insbesondere in den Träger integriert sein. Beispielsweise sind die Schalter in CMOS-Technik ausgebildet.
Die Anzeigevorrichtung weist zweckmäßigerweise auf einer dem Träger abgewandten Seite eine Strahlungsaustrittsfläche der Halbleiterschichtenfolge auf. Im Betrieb der Anzeigevorrichtung im aktiven Bereich erzeugte Strahlung kann durch die Strahlungsaustrittsfläche aus der Anzeigevorrichtung austreten.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung ist auf der Strahlungsaustrittsfläche auf jedem Bildpunkt ein optisches Element angeordnet. Zum Beispiel stehen die Bildpunkte und die optischen Elemente in einer eineindeutigen Zuordnung zueinander. Beispielsweise überlappt ein optisches Element in Draufsicht auf die Anzeigevorrichtung mit nur genau einem Bildpunkt der Anzeigevorrichtung.
Als optisches Element wird allgemein ein Element verstanden, das die Abstrahlcharakteristik der von der Anzeigevorrichtung abgestrahlten Strahlung beeinflusst, beispielsweise im Hinblick auf die räumliche und/oder spektrale Abstrahlungscharakteristik.
In mindestens einer Ausführungsform weist die Anzeigevorrichtung eine Halbleiterschichtenfolge mit einem zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich auf, wobei die Halbleiterschichtenfolge eine Mehrzahl von Bildpunkten bildet und auf einem Träger angeordnet ist. Der Träger weist eine Mehrzahl von Schaltern auf, die jeweils zur Steuerung von zumindest einem Bildpunkt vorgesehen sind. Auf einer dem Träger abgewandten Strahlungsaustrittsfläche der Halbleiterschichtenfolge ist auf jedem Bildpunkt ein optisches Element angeordnet.
Mittels des jeweils einem Bildpunkt zugeordneten optischen Elements kann die Abstrahlungscharakteristik des jeweils zugeordneten Bildpunkts beeinflusst werden.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung ist das optische Element eine Linse. Beispielsweise ist das optische Element als eine Sammellinse, etwa als Plankonvexlinse, ausgebildet.
In lateraler Richtung sind benachbarte optische Elemente insbesondere jeweils beabstandet voneinander angeordnet.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung ist zwischen zwei benachbarten optischen Elementen jeweils ein Trennkörper angeordnet. Der Trennkörper ist insbesondere für die im Betrieb der Anzeigevorrichtung emittierte Strahlung strahlungsundurchlässig.
„Strahlungsundurchlässig“ bedeutet in diesem Zusammenhang insbesondere, dass auf das jeweils als strahlungsundurchlässig gekennzeichnete Element senkrecht auftreffende Strahlung nicht oder zu höchstens 5 % der ursprünglichen Intensität hindurchtritt.
Beispielsweise ist der Trennkörper rahmenförmig entlang einer äußeren Umrandung der Bildpunkte angeordnet. Jedes optische Element kann von einem Trennkörper vollständig in lateraler Richtung umschlossen sein.
Der Trennkörper kann für die vom aktiven Bereich erzeugte Strahlung reflektierend, etwa mit einer Reflektivität von mindestens 60 %, oder absorbierend, etwa mit einer Absorption von mindestens 60 %, ausgebildet sein. Die angegebenen Reflektivitäten beziehen sich im Zweifel auf eine Peak-Wellenlänge der im Betrieb vom aktiven Bereich abgestrahlten Strahlung.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung sind das optische Element und der Trennkörper bezüglich ihres Materials so aufeinander abgestimmt, dass das Material des Trennkörpers für das Material des optischen Elements im flüssigen Zustand entnetzend wirkt. Bei der Herstellung der Anzeigevorrichtung wird die Herstellung der optischen Elemente zwischen den Trennkörpern vereinfacht. Insbesondere kann mittels der entnetzenden Wirkung die Ausbildung der optischen Elemente und damit deren optische Funktion, beispielsweise die Funktion als Linse, zur verbesserten Auskopplung oder zur Strahlungskonversion, lokal kontrolliert und begrenzt werden. Beispielsweise ist der Trennkörper hydrophil oder hydrophob ausgebildet. Beispielsweise kann der Trennkörper eine fluorierte Oberfläche aufweisen. Eine derartige Oberfläche wirkt entnetzend für ein Material des optischen Elements, das ein Silikon oder ein Epoxid aufweist.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung ist die Anzeigevorrichtung frei von einer eine stoffschlüssige Verbindung bewirkenden Verbindungsschicht zwischen der Strahlungsaustrittsfläche und dem optischen Element.
Bei einer stoffschlüssigen Verbindung werden die, bevorzugt vorgefertigten, Verbindungspartner mittels atomarer und/oder molekularer Kräfte zusammengehalten. Eine stoffschlüssige Verbindung kann beispielsweise mittels eines Verbindungsmittels, etwa eines Klebemittels oder eines Lots, erzielt werden. In der Regel geht eine Trennung der Verbindung mit einer Zerstörung des Verbindungsmittels und/oder zumindest eines der Verbindungspartner einher.
Insbesondere werden die optischen Elemente bei der Herstellung der Anzeigevorrichtung unmittelbar auf der Halbleiterschichtenfolge ausgebildet. Die optischen Elemente sind also keine vorgefertigten Elemente, die nachfolgend an der Halbleiterschichtenfolge befestigt werden. Eine Verbindungsschicht ist deshalb nicht erforderlich.
Alternativ können die optischen Elemente, insbesondere in einem Verbund, vorgefertigt und nachfolgend auf der Anzeigevorrichtung befestigt werden.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung weisen die Bildpunkte auf einer dem Träger zugewandten Seite jeweils einen Anschlussbereich auf, in dem die Bildpunkte elektrisch kontaktiert sind, etwa mittels einer außerhalb der Halbleiterschichtenfolge angeordneten elektrisch leitfähigen Schicht. Die Ladungsträgerinjektion ist also auf den Anschlussbereich begrenzt.
Als Anschlussbereich wird im Zweifel derjenige Bereich der dem Träger zugewandten und am nächsten liegenden Halbleiterschicht der Halbleiterschichtenfolge angesehen, in dem die Halbleiterschicht an eine elektrisch leitende Schicht angrenzt, wobei über diese elektrisch leitende Schicht im Betrieb der Anzeigevorrichtung Ladungsträger in den aktiven Bereich injiziert und dort unter Emission von Strahlung rekombinieren können. Beispielsweise grenzt die Halbleiterschichtenfolge im Anschlussbereich an eine Metallschicht oder eine ein transparentes leitfähiges Oxid (Transparent Conductive Oxide, TCO)-Material enthaltende Schicht an. Außerhalb des Anschlussbereichs erfolgt dagegen keine Ladungsträgerinjektion in diese Halbleiterschicht.
Eine Fläche des Anschlussbereichs beträgt gemäß zumindest einer Ausführungsform höchstens 10 % oder höchstens 5 % oder höchstens 1 % einer Fläche des zugehörigen optischen Elements. Der Anschlussbereich ist im Vergleich zur Fläche des zugehörigen optischen Elements klein. Eine Strahlformung, etwa eine Strahlbündelung mittels des optischen Elements, das beispielsweise als Sammellinse ausgebildet ist, wird so vereinfacht.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung ist zwischen benachbarten Bildpunkten ein strahlungsundurchlässiges Material angeordnet. Beispielsweise sind die Seitenflächen der Bildpunkte mit einer strahlungsundurchlässigen Beschichtung versehen. Die strahlungsundurchlässige Beschichtung kann auch in Form eines Füllmaterials ausgebildet sein, das die Zwischenräume zwischen benachbarten Bildpunkten vollständig füllt.
Beispielsweise weist die strahlungsundurchlässige Beschichtung eine Reflektivität von mindestens 60 % für die im Betrieb der Anzeigevorrichtung emittierte Strahlung auf. Die strahlungsundurchlässige Beschichtung umfasst beispielsweise eine Metallschicht und/oder eine dielektrische Spiegelstruktur mit einer dielektrischen Schicht oder mit einer Mehrzahl von dielektrischen Schichten.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung ist die strahlungsundurchlässige Beschichtung von den Bildpunkten elektrisch isoliert. Die strahlungsundurchlässige Beschichtung dient also nicht der elektrischen Kontaktierung der Bildpunkte und kann selbst elektrisch leitend oder elektrisch isolierend ausgebildet sein.
Bei einer elektrisch leitenden strahlungsundurchlässigen Beschichtung ist zweckmäßigerweise zwischen der Seitenfläche des Bildpunkts und der strahlungsundurchlässigen Beschichtung eine Isolationsschicht angeordnet, insbesondere auf Höhe des aktiven Bereichs.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung sind die Bildpunkte mittels der strahlungsundurchlässigen Beschichtung elektrisch kontaktiert. Insbesondere kann die auf der dem Träger abgewandten Seite des aktiven Bereichs angeordnete Halbleiterschicht mittels der strahlungsundurchlässigen Beschichtung elektrisch kontaktiert sein.
Die strahlungsundurchlässige Beschichtung kann die Strahlungsaustrittsfläche der Bildpunkte auch stellenweise bedecken. In diesem Fall verringert sich mittels der strahlungsundurchlässigen Beschichtung die effektiv leuchtende Fläche der Bildpunkte. Der dunkel erscheinende Graben zwischen zwei benachbarten Bildpunkten wird dadurch kontrastreicher. Weiterhin wird mittels der strahlungsundurchlässigen Beschichtung ein optisches Übersprechen zwischen benachbarten Bildpunkten verhindert oder zumindest stark reduziert.
Die strahlungsundurchlässige Beschichtung kann insbesondere an allen Seitenflächen der Bildpunkte ausgebildet sein.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung ist auf der Strahlungsaustrittsfläche der Bildpunkte eine Kontaktschicht angeordnet. Beispielsweise überdeckt die Kontaktschicht mindestens 5 % der Fläche des Bildpunkts in Draufsicht auf die Anzeigevorrichtung. Die Kontaktschicht kann insbesondere mittels der strahlungsundurchlässigen Beschichtung gebildet sein.
Alternativ oder ergänzend kann der Trennkörper mittels der Kontaktschicht gebildet sein. Beispielsweise kann die Kontaktschicht neben der Funktion der elektrischen Kontaktierung zusätzlich als Trennkörper zwischen benachbarten Bildpunkten und/oder als strahlungsundurchlässige Beschichtung zwischen benachbarten Bildpunkten an den Seitenflächen der Bildpunkte dienen.
Beispielsweise sind mindestens zwei Seitenflächen eines Bildpunkts, etwa zwei von vier Seitenflächen im Fall eines viereckigen Bildpunkts, von der Kontaktschicht bedeckt.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung ist die Halbleiterschichtenfolge zwischen benachbarten Bildpunkten zumindest stellenweise, insbesondere entlang des gesamten Umfangs der Bildpunkte, vollständig durchtrennt. Die Gefahr eines optischen Übersprechens durch Ausbreitung von Strahlung innerhalb eines sich über benachbarte Bildpunkte erstreckenden Halbleitermaterials der Halbleiterschichtenfolge wird dadurch verhindert oder zumindest reduziert.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung sind die optischen Elemente Strahlungskonversionselemente. Die Strahlungskonversionselemente sind dafür vorgesehen, im aktiven Bereich erzeugte Primärstrahlung zumindest teilweise in Sekundärstrahlung umzuwandeln. Die von benachbarten Strahlungskonversionselementen abgestrahlte Strahlung kann im selben Spektralbereich, beispielsweise im gelben Spektralbereich, oder in voneinander verschiedenen Spektralbereichen, insbesondere ausgewählt aus dem roten, grünen und blauen Spektralbereich, liegen.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung weist die Anzeigevorrichtung einen auf der Strahlungsaustrittsfläche angeordneten Trägerkörper auf. Der Trägerkörper erstreckt sich über mehrere Bildpunkte, wobei die Strahlungskonversionselemente jeweils in Vertiefungen des Trägerkörpers angeordnet sind. Der Trägerkörper stellt also ein vorgefertigtes Verbundelement dar, in dem eine Mehrzahl von optischen Elementen in Form von Strahlungskonversionselementen ausgebildet ist.
Die Vertiefungen sind dafür vorgesehen, die laterale Ausdehnung der jeweiligen Strahlungskonversionselemente zu begrenzen. In vertikaler Richtung können die optischen Elemente, insbesondere in Form von Strahlungskonversionselementen, vollständig innerhalb des Trägerkörpers liegen oder stellenweise über den Trägerkörper hinaus ragen.
Die Vertiefungen im Trägerkörper und damit benachbarte Strahlungskonversionselemente sind zweckmäßigerweise in lateraler Richtung voneinander beabstandet. Insbesondere sind die Vertiefungen im Trägerkörper und die Anordnung der Bildpunkte der Anzeigevorrichtung so aufeinander abgestimmt, dass jeweils eine Vertiefung mit genau einem Bildpunkt überlappt.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der Anzeigevorrichtung ist der Trägerkörper zwischen benachbarten Strahlungskonversionselementen strahlungsundurchlässig ausgebildet. Beispielsweise weist der Trägerkörper zwischen benachbarten Strahlungskonversionselementen ein strahlungsundurchlässiges Material auf oder der Trägerkörper ist in diesen Bereichen mit einem strahlungsundurchlässigen Material beschichtet.
Weitere Ausgestaltungen und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aus der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Figuren.
Es zeigen:

1A ein Ausführungsbeispiel für eine Anzeigevorrichtung in schematischer Schnittansicht;
die 1B und 1C jeweils ein Ausführungsbeispiel für eine elektrische Kontaktierung der Anzeigevorrichtung in schematischer Draufsicht; und
die 2, 3, 4, 5, 6, 7 und 8 jeweils ein Ausführungsbeispiel für eine Anzeigevorrichtung.

Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Die Figuren sind jeweils schematisch Darstellungen und daher nicht unbedingt maßstabsgetreu. Vielmehr können vergleichsweise kleine Elemente und insbesondere Schichtdicken zur Verdeutlichung übertrieben groß dargestellt sein.
In 1A ist ein Ausführungsbeispiel für eine Anzeigevorrichtung 1 gezeigt. Die Anzeigevorrichtung 1 weist eine Halbleiterschichtenfolge 2 mit einem zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich 20 auf. Die Halbleiterschichtenfolge 2 ist auf einem Träger 5 angeordnet. Die Halbleiterschichtenfolge 2 bildet eine Mehrzahl von Bildpunkten. Zur vereinfachten Darstellung sind lediglich zwei Bildpunkte 2A, 2B gezeigt.
Abhängig von der Anwendung der Anzeigevorrichtung kann die Anzahl der Bildpunkte in weiten Grenzen variiert werden. Als Anzeigevorrichtung in einem adaptiven Frontscheinwerfer weist die Anzeigevorrichtung beispielsweise zwischen einschließlich 2 und einschließlich 50 Bildpunkte auf. Zur Darstellung von beweglichen oder statischen Bildern kann die Anzeigevorrichtung auch mehr als 50, beispielsweise 1000 Bildpunkte oder mehr oder 1.000.000 Bildpunkte oder mehr aufweisen.
Der Träger 5 weist eine Mehrzahl von Schaltern 51 auf. Die Schalter sind jeweils zur Steuerung von einem Bildpunkt 2A, 2B vorgesehen.
Auf einer dem Träger 5 abgewandten Strahlungsaustrittsfläche 29 der Halbleiterschichtenfolge ist auf jedem Bildpunkt 2A, 2B ein optisches Element 3 angeordnet. Als Beispiel für ein optisches Element weist das Ausführungsbeispiel eine Linse 31 auf. Die Linse ist beispielsweise als eine Sammellinse, etwa eine Plankonvexlinse, ausgebildet. Im Betrieb der Anzeigevorrichtung im aktiven Bereich 20 erzeugte Strahlung kann mittels des optischen Elements 3 gebündelt werden. Eine räumliche Trennung der von den einzelnen Bildpunkten abgestrahlten Strahlung und gegebenenfalls eine weitere Verarbeitung durch ein nachgeordnetes optisches System werden so vereinfacht.
Weiterhin ist auf der Strahlungsaustrittsfläche 29 ein Trennkörper 35 angeordnet. Der Trennkörper 35 ist für die im Betrieb im aktiven Bereich 20 erzeugte Strahlung strahlungsundurchlässig. Der Trennkörper kann absorbierend oder reflektierend für die erzeugte Strahlung ausgebildet sein. Beispielsweise bedeckt der Trennkörper jeweils zwischen einschließlich 5 % und einschließlich 50 % der Fläche eines Bildpunkts. Der Trennkörper ist beispielsweise eine auf der Halbleiterschichtenfolge abgeschiedene Schicht. Mittels des Trennkörpers 35 verringert sich die effektive Fläche, aus der Strahlung aus der Strahlungsaustrittsfläche 29 der einzelnen Bildpunkte 2A, 2B austreten kann. Mit anderen Worten sind die Bereiche zweier benachbarter Bildpunkte, aus denen Strahlung austritt, weiter voneinander beabstandet als die Bildpunkte selbst. Eine räumliche Trennung zwischen benachbarten Bildpunkte 2A, 2B wird so auch bei geringen Abständen zwischen den Bildpunkten vereinfacht.
In lateraler Richtung ist zwischen zwei benachbarten optischen Elementen 3 jeweils ein Trennkörper 35 angeordnet. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Trennkörper 35 zwischen benachbarten Bildpunkten 2A, 2B voneinander beabstandet. Der Trennkörper 35 kann sich davon abweichend jedoch auch durchgängig über zumindest zwei benachbarte Bildpunkte 2A, 2B erstrecken.
In lateraler Richtung umläuft der Trennkörper 35 das optische Element zumindest teilweise, insbesondere vollständig. Das optische Element 3 kann an den Trennkörper 35 unmittelbar angrenzen. Bei der Herstellung der Anzeigevorrichtung 1 kann das optische Element 3 unmittelbar auf der Strahlungsaustrittsfläche 29 ausgebildet werden. Der Trennkörper 35 kann beim Aufbringen des Materials für das optische Element als Begrenzungsrahmen dienen. Beispielsweise weist der Trennkörper ein Metall, etwa Aluminium oder Silber, und/oder ein dielektrisches Material, etwa ein Oxid wie Siliziumoxid oder ein Nitrid wie Siliziumnitrid oder Titannitrid auf. Alternativ kann ein Polymermaterial Anwendung finden, das zur Steigerung der Reflektivität oder der Absorption mit Füllpartikeln versehen ist.
Weiterhin können das optische Element 3 und der Trennkörper 35 bezüglich ihres Materials so aufeinander abgestimmt sein, dass das Material des Trennkörpers für das Material des optischen Elements im flüssigen Zustand entnetzend wirkt. Beispielsweise ist das Material des Trennkörpers oder zumindest eine Oberfläche des Trennkörpers hydrophil oder hydrophob. Zum Beispiel ist die Oberfläche des Trennkörpers fluoriert und das optische Elment enthält ein Epoxid oder ein Silikon oder besteht aus einem solchen Material.
Bei einem unmittelbar auf der Strahlungsaustrittsfläche 29 der Halbleiterschichtenfolge 2 ausgebildeten optischen Element ist eine Verbindungsschicht, die eine stoffschlüssige Verbindung zwischen der Halbleiterschichtenfolge und dem optischen Element 3 bewirkt, nicht erforderlich.
Die Halbleiterschichtenfolge 2 weist eine erste Halbleiterschicht 21 und eine zweite Halbleiterschicht 22 auf, wobei diese Halbleiterschichten auf gegenüberliegenden Seiten des aktiven Bereichs 20 angeordnet und bezüglich ihres Leitungstyps voneinander verschieden sind. Beispielsweise ist die erste Halbleiterschicht 21 n-leitend und die zweite Halbleiterschicht 22 p-leitend oder umgekehrt. Die erste Halbleiterschicht und die zweite Halbleiterschicht können ebenso wie der aktive Bereich auch mehrschichtig ausgebildet sein.
Die erste Halbleiterschicht 21 ist auf der dem Träger 5 abgewandten Seite des aktiven Bereichs 20 angeordnet. Die erste Halbleiterschicht 21 ist mittels einer ersten Kontaktschicht 71 mit einer Gegenkontaktierungsfläche 53 des Trägers elektrisch leitend verbunden.
Die zweite Halbleiterschicht 22 ist mittels einer zweiten Kontaktschicht 72 mit einer Kontaktierungsfläche 52 des Trägers elektrisch leitend verbunden.
In dem gezeigten Ausführungsbeispiel sind die zweiten Halbleiterschichten 22 der Bildpunkte 2A, 2B jeweils mit einem Schalter 51 verbunden, sodass die einzelnen Bildpunkte 2A, 2B über die zweite Halbleiterschichten 22 unabhängig voneinander ansteuerbar sind. Die ersten Halbleiterschichten 21 benachbarter Bildpunkte 2A, 2B oder auch aller Bildpunkte der Anzeigevorrichtung 1 können elektrisch leitend miteinander verbunden sein und im Betrieb der Anzeigevorrichtung 1 auf demselben Potenzial liegen. Selbstverständlich können davon abweichend auch die ersten Halbleiterschichten 21 jeweils mit einem Schalter elektrisch leitend verbunden sein und die zweiten Halbleiterschichten benachbarter Bildpunkte auf demselben elektrischen Potenzial liegen.
Die Halbleiterschichtenfolge 2 weist für jeden Bildpunkt zumindest eine Ausnehmung 25 auf. Die Ausnehmung 25 erstreckt sich durch die zweite Halbleiterschicht 22 und den aktiven Bereich 20 in die erste Halbleiterschicht 21 hinein. In der Ausnehmung ist die erste Kontaktschicht 71 elektrisch leitend mit der ersten Halbleiterschicht 21 verbunden. Die zweite Halbleiterschicht 22 ist in einem Anschlussbereich 220 elektrisch leitend mit der zweiten Kontaktschicht 72 verbunden. Die zweite Kontaktschicht kann mehrschichtig ausgebildet sein und beispielsweise eine an die zweite Halbleiterschicht 22 angrenzende Anschlussschicht 721 und eine Spiegelschicht 722 aufweisen. Beispielsweise weist die Anschlussschicht ein TCO-Material auf, etwa ITO oder ZnO. Die Spiegelschicht kann ein Material enthalten, beispielsweise Aluminium, Silber, Rhodium oder Nickel. Die genannten Materialien zeichnen sich durch eine hohe Reflektivität im sichtbaren Spektralbereich aus. Für Strahlung im infraroten Spektralbereich eignet sich beispielsweise Gold.
Zwischen der zweiten Halbleiterschicht 22 und dem Träger 5 ist eine Isolationsschicht 8 angeordnet. Die Isolationsschicht 8 ist insbesondere als eine dielektrische Spiegelstruktur ausgebildet. Beispielsweise weist die Isolationsschicht 8 eine Mehrzahl von dielektrischen Schichten auf, wobei sich aneinander angrenzende Schichten bezüglich ihres Brechungsindizes voneinander unterscheiden.
In Richtung des Trägers 5 abgestrahlte Strahlung kann an der Isolationsschicht 8 und/oder der Spiegelschicht 722 reflektiert werden und nachfolgend aus der Strahlungsaustrittsfläche 29 austreten.
Benachbarte Bildpunkte 2A, 2B sind durch Zwischenräume 26 voneinander getrennt. Die Zwischenräume 26 erstrecken sich in vertikaler Richtung, also senkrecht zu einer Haupterstreckungsebene des Trägers 5, vollständig durch die Halbleiterschichtenfolge 2 hindurch. Die Gefahr eines optischen Pfades innerhalb der Halbleiterschichtenfolge 2 zwischen benachbarten Bildpunkten wird vermieden. Ein optisches Übersprechen zwischen benachbarten Bildpunkten wird weitergehend verringert.
Das optische Element 3 weist vorzugsweise einen Brechungsindex von mindestens 1,5 auf. Je höher der Brechungsindex ist, desto besser ist die optische Ankopplung zwischen dem optischen Element 3 und der Halbleiterschichtenfolge 2. Beispielsweise enthält das optische Element ein Polymermaterial wie ein Silikon oder ein Epoxid oder ein Oxid, etwa Titanoxid oder Siliziumoxid. Zur Steigerung des Brechungsindizes kann das Material des optischen Elements 3 mit Füllpartikeln gefüllt sein, beispielsweise mit GaP-Partikeln.
Bei der Herstellung der Anzeigevorrichtung 1 gehen die Bildpunkte 2A, 2B aus einer gemeinsamen Halbleiterschichtenfolge 2 hervor. Die Bildpunkte unterscheiden sich daher hinsichtlich der Materialzusammensetzung und des strukturellen Aufbaus der Halbleiterschichten, abgesehen von geringen fertigungsbedingten Schwankungen bei der epitaktischen Abscheidung, nicht voneinander. Die Fertigung der Bildpunkte der Anzeigevorrichtung kann somit im Verbund erfolgen.
Die Halbleiterschichtenfolge 2, insbesondere der aktive Bereich 20, weist ein III-V-Verbindungs-Halbleitermaterial auf.
III-V-Verbindungs-Halbleitermaterialien sind zur Strahlungserzeugung im ultravioletten (Al_x In_y Ga_1-x-y N) über den sichtbaren (Al_x In_y Ga_1-x-y N, insbesondere für blaue bis grüne Strahlung, oder Al_x In_y Ga_1-x-y P, insbesondere für gelbe bis rote Strahlung) bis in den infraroten (Al_x In_y Ga_1-x-y As) Spektralbereich besonders geeignet. Hierbei gilt jeweils 0 ≤ x ≤ 1, 0 ≤ y ≤ 1 und x + y ≤ 1, insbesondere mit x ≠ 1, y ≠ 1, x ≠ 0 und/oder y ≠ 0. Mit III-V-Verbindungs-Halbleitermaterialien, insbesondere aus den genannten Materialsystemen, können weiterhin bei der Strahlungserzeugung hohe interne Quanteneffizienzen erzielt werden.
In den 1B und 1C sind Ausführungsbeispiele für die elektrische Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht 21 in Draufsicht auf die Anzeigevorrichtung 1 gezeigt. Zur vereinfachten Darstellung sind lediglich für vier Bildpunkte 2A, 2B jeweils die Bereiche gezeigt, in denen die erste Kontaktschicht 21 die erste Halbleiterschicht 21 elektrisch kontaktiert.
Bei dem in 1B dargestellten Ausführungsbeispiel umläuft die erste Kontaktschicht 71 rahmenförmig. In Draufsicht auf die Anzeigevorrichtung bildet die elektrische Kontaktierung mittels der ersten Kontaktschicht 71 einen geschlossenen Pfad. Eine lateral gleichmäßige Stromeinprägung im Betrieb der Anzeigevorrichtung wird dadurch vereinfacht.
Alternativ kann die erste Kontaktschicht 71, wie in 1C gezeigt, jedoch auch nur punktuell die Halbleiterschichtenfolge, insbesondere die erste Halbleiterschicht, elektrisch kontaktieren. Gemäß dem in 1C dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die elektrische Kontaktierung beispielsweise jeweils in den Ecken der Bildpunkte 2A, 2B. Die Anordnung der Stellen, an denen die erste Kontaktschicht 71 die Halbleiterschichtenfolge 2 elektrisch kontaktiert, kann jedoch in weiten Grenzen variiert werden. Beispielsweise kann die elektrische Kontaktierung an nur einer Ecke oder an zwei, insbesondere gegenüberliegenden, Ecken erfolgen.
Das in 2 dargestellte Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit 1 beschriebenen Ausführungsbeispiel. Im Unterschied hierzu ist der Anschlussbereich 220 klein gegenüber der lateralen Ausdehnung des optischen Elements 3. Beispielsweise beträgt eine Fläche des Anschlussbereichs 220 in Draufsicht auf die Anzeigevorrichtung höchstens 10 %, insbesondere höchstens 5 % oder höchstens 1 % der Fläche des zugehörigen optischen Elements 3. Die elektrische Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht 22 und damit auch die Strahlungserzeugung im aktiven Bereich 20 wird also gezielt auf einen Bereich begrenzt, der deutlich kleiner ist als die laterale Ausdehnung des aktiven Bereichs 20 eines Bildpunkts 2A, 2B.
Der Anschlussbereich 220 überlappt insbesondere mit einer optischen Achse 30 des optischen Elements 3. Der Anteil der in der unmittelbaren Umgebung der optischen Achse 30 im aktiven Bereich 20 erzeugten Strahlung wird also erhöht. Dadurch vereinfacht sich die Strahlformung, insbesondere die Strahlbündelung der abgestrahlten Strahlung mittels des als Linse 31 ausgebildeten optischen Elements 3.
Ein derartiger vergleichsweise kleiner Anschlussbereich 220 eignet sich auch für die übrigen Ausführungsbeispiele, auch wenn dieser in den Figuren nicht explizit als solcher dargestellt oder weggelassen ist.
Das in 3 dargestellte Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit 2 beschriebenen Ausführungsbeispiel. Im Unterschied hierzu weist die zweite Kontaktschicht 72 eine größere laterale Ausdehnung auf als der Anschlussbereich 220. Die Spiegelschicht 722 überdeckt die Isolationsschicht 8 stellenweise. In vertikaler Richtung gesehen überlappen also die Isolationsschicht 8 und die zweite Kontaktschicht 72, insbesondere die Spiegelschicht 722 der zweiten Kontaktschicht 72. An der Isolationsschicht 8 nicht reflektierte und durch die Isolationsschicht hindurchtretende Strahlung kann an der Spiegelschicht 722 reflektiert werden. Trotz der vergleichsweise großen lateralen Ausdehnung der zweiten Kontaktschicht ist der Anschlussbereich 220, in dem die zweite Halbleiterschicht 22 tatsächlich elektrisch kontaktiert ist, wie im Zusammenhang mit 2 beschrieben klein gegenüber der lateralen Ausdehnung des optischen Elements 3.
Das in 4 gezeigte Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit 1 beschriebenen Ausführungsbeispiel.
Im Unterschied hierzu sind die Seitenflächen 28 der Bildpunkte 2A, 2B mit einer strahlungsundurchlässigen Beschichtung 61 versehen. Die strahlungsundurchlässige Beschichtung 61 ist zumindest in dem an die Seitenfläche 28 der Bildpunkte 2A, 2B angrenzenden Bereich elektrisch isolierend.
Mittels der strahlungsundurchlässigen Beschichtung 61 wird ein optisches Übersprechen zwischen benachbarten Bildpunkten 2A, 2B weiter reduziert. Die strahlungsundurchlässige Beschichtung 61 kann für die im aktiven Bereich 20 erzeugte Strahlung absorbierend oder reflektierend ausgebildet sein. Beispielsweise weist die strahlungsundurchlässige Beschichtung 61 eine Reflektivität von mindestens 60 % oder von mindestens 80 % auf.
Beispielsweise weist die strahlungsundurchlässige Beschichtung 61 eine dielektrische Spiegelstruktur und/oder eine Metallschicht auf. Durch die Kombination einer dielektrischen Spiegelstruktur mit einer Metallschicht können hohe Reflektivitäten erzielt werden, insbesondere über einen Auftreffwinkelbereich, der gegenüber einer dielektrischen Spiegelstruktur groß ist. Die Seitenflächen 28 der Bildpunkte 2A, 2B können also verspiegelt werden, ohne dass hierdurch notwendigerweise ein elektrischer Pfad entsteht. Als Materialien eignen sich insbesondere die im Zusammenhang mit der Isolationsschicht 8 beziehungsweise der Spiegelschicht 722 genannten Materialien. Die strahlungsundurchlässigen Beschichtungen 61 benachbarter Bildpunkte 2A, 2B sind in lateraler Richtung voneinander beabstandet. Davon abweichend können die Zwischenräume 26 jedoch auch vollständig mit der strahlungsundurchlässigen Beschichtung gefüllt sein.
Das in 5 dargestellte Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit 4 beschriebenen Ausführungsbeispiel.
Im Unterschied hierzu bedeckt die erste Kontaktschicht 71 zur elektrischen Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht 21 die Strahlungsaustrittsfläche 29 stellenweise. Beispielsweise überdeckt die erste Kontaktschicht mindestens 5 % der Fläche eines Bildpunkts 2A, 2B. Die erste Kontaktschicht ist über zumindest eine oder auch über alle Seitenflächen 28 der Bildpunkte 2A, 2B geführt. Vorzugsweise ist die erste Kontaktschicht so ausgebildet, dass sie auftreffende Strahlung in die Halbleiterschichtenfolge zurück reflektiert.
Die erste Kontaktschicht 71 kann neben der Funktion der elektrischen Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht 21 auch die Funktion des Trennkörpers 35 und der strahlungsundurchlässigen Beschichtung 61 erfüllen. Die erste Kontaktschicht 71 ist beispielsweise metallisch ausgebildet.
Zur Vermeidung eines elektrischen Kurzschlusses des aktiven Bereichs 20 ist zwischen den Seitenflächen 28 der Bildpunkte 2A, 2B und der ersten Kontaktschicht 71 eine weitere Isolationsschicht 85 angeordnet.
Der mittels der ersten Kontaktschicht 71 gebildete Trennkörper 35 erstreckt sich über zwei benachbarte Bildpunkte 2A, 2B. Beispielsweise verläuft die erste Kontaktschicht 71 in Draufsicht auf die Anzeigevorrichtung gitterförmig über die Anzeigevorrichtung, wobei sich in Öffnungen des Gitters jeweils ein optisches Element 3 eines Bildpunkts befindet.
Die Ausbildung von innerhalb der Bildpunkte verlaufenden Ausnehmungen 25 durch die zweite Halbleiterschicht 22 und den aktiven Bereich 20 hindurch ist für die elektrische Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht 21 in diesem Ausführungsbeispiel nicht erforderlich. Eine derartige elektrische Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht ist auch für die übrigen beschriebenen Ausführungsbeispiele geeignet.
Das in 6 dargestellte Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit 5 beschriebenen Ausführungsbeispiel.
Im Unterschied hierzu verläuft die erste Kontaktschicht 71 nicht in den Zwischenräumen 26 zwischen benachbarten Bildpunkten. Eine elektrische Verbindung zwischen der ersten Kontaktschicht 71 und der Gegenkontaktierungsfläche 53 des Trägers 5 erfolgt beispielsweise lediglich in einem Randbereich der Anzeigevorrichtung 1. Die Zwischenräume zwischen benachbarten Bildpunkten 2A, 2B können optional mit einer strahlungsundurchlässigen Beschichtung 61 vollständig oder zumindest teilweise befüllt sein.
In 7 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel für eine Anzeigevorrichtung gezeigt. Von den vorangegangen Ausführungsbeispielen unterscheidet sich dieses Ausführungsbeispiel insbesondere dadurch, dass das optische Element 3 als ein Strahlungskonversionselement 32 ausgebildet ist. Das Strahlungskonversionselement 32 ist dafür vorgesehen, im aktiven Bereich 20 der Bildpunkte 2A, 2B erzeugte Primärstrahlung zumindest teilweise in Sekundärstrahlung umzuwandeln, wobei sich eine Peak-Wellenlänge der Sekundärstrahlung von der Peak-Wellenlänge der Primärstrahlung unterscheidet. Beispielsweise ist das Strahlungskonversionselement 32 zur teilweisen Umwandlung von Strahlung im blauen Spektralbereich vorgesehen, sodass sich für das menschliche Auge aus der Farbmischung der Primärstrahlung und der Sekundärstrahlung weiß erscheinendes Licht ergibt.
Benachbarte Strahlungskonversionselemente 32 können auch bezüglich der zu erzeugenden Sekundärstrahlung voneinander verschieden sein. Beispielsweise können die Strahlungskonversionselemente 32 jeweils einen Leuchtstoff aufweisen, der in einem Spektralbereich ausgewählt aus dem roten, grünen und blauen Spektralbereich emittiert.
Die Anzeigevorrichtung 1 weist einen Trägerkörper 39 auf. Der Trägerkörper 39 erstreckt sich über mehrere Bildpunkte 2A, 2B, insbesondere über alle Bildpunkte der Anzeigevorrichtung. Der Trägerkörper 39 weist Vertiefungen 390 auf, in denen die Strahlungskonversionselemente 32 angeordnet sind. Für die Herstellung der Anzeigevorrichtung 1 kann der bereits mit den Strahlungskonversionselementen 32 versehene Trägerkörper 39 an der Strahlungsaustrittsfläche 29 der Halbleiterschichtenfolge befestigt werden, etwa mittels einer strahlungsdurchlässigen Verbindungsschicht 9.
Der Trägerkörper 39 ist zumindest im Bereich zwischen den Strahlungskonversionselementen 32 und den Bildpunkten 2A, 2B für die im aktiven Bereich 20 erzeugte Strahlung transparent oder zumindest transluzent, etwa mit einer Transmission von mindestens 80 %. Beispielsweise enthält der Trägerkörper ein Glas oder einen transparenten Kunststoff.
Weitere Details der Anzeigevorrichtung 1, insbesondere die Halbleiterschichtenfolge 2, der Träger 5 und die Art der elektrischen Kontaktierung der einzelnen Bildpunkte 2A, 2B, sind in der 7 nicht explizit gezeigt und können wie im Zusammenhang mit den vorherigen Ausführungsbeispielen beschrieben ausgebildet sein.
Das in 8 gezeigte Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit 7 beschriebenen Ausführungsbeispiel.
Im Unterschied hierzu ist der Trägerkörper 39 stellenweise strahlungsundurchlässig ausgebildet. Hierfür weist der Trägerkörper 39 zwischen benachbarten Vertiefungen 390 eine strahlungsundurchlässige Beschichtung 395 auf. Mittels dieser Beschichtung 395 ist, wie im Zusammenhang mit 1A beschrieben, ein Trennkörper 35 zwischen benachbarten optischen Elementen 3 gebildet. Anstelle einer Beschichtung 395 kann der Trägerkörper 39 auch stellenweise aus einem strahlungsundurchlässigen Material gebildet werden, insbesondere im Bereich zwischen benachbarten Vertiefungen 390.
Die beschriebenen Anzeigevorrichtungen zeichnen sich auch bei Bildpunkten, die vergleichsweise nahe beieinander angeordnet sind, etwa in einem Abstand von höchstens 5 µm, durch einen guten optischen Kontrast zwischen den Bildpunkten 2A, 2B und den Zwischenräumen 26 zwischen den Bildpunkten und zudem durch ein geringes optisches Übersprechen aus. Durch eine verringerte laterale Ausdehnung der Bildpunkte und der Abstände zwischen den Bildpunkten kann eine höhere Auflösung der Anzeigevorrichtung ohne Einbußen im Kontrast erzielt werden. Weiterhin kann bei der Strahlungserzeugung eine höhere Effizienz erzielt werden und die Intensität der Strahlung, die aus der für die Strahlungsauskopplung effektiv genutzten Fläche austritt, erhöht werden.
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder den Ausführungsbeispielen angegeben ist.
Bezugszeichenliste

1: Anzeigevorrichtung
2: Halbleiterschichtenfolge
20: aktiver Bereich
21: erste Halbleiterschicht
22: zweite Halbleiterschicht
220: Anschlussbereich
25: Ausnehmung
26: Zwischenraum
28: Seitenfläche
29: Strahlungsaustrittsfläche
3: optisches Element
30: optische Achse
31: Linse
32: Strahlungskonversionselement
35: Trennkörper
39: Trägerkörper
390: Vertiefung
395: Beschichtung
5: Träger
51: Schalter
52: Kontaktierungsfläche
53: Gegenkontaktierungsfläche
61: strahlungsundurchlässige Beschichtung
71: erste Kontaktschicht
72: zweite Kontaktschicht
721: Anschlussschicht
722: Spiegelschicht
8: Isolationsschicht
85: weitere Isolationsschicht
9: Verbindungsschicht

Claims

Anzeigevorrichtung (1) mit einer Halbleiterschichtenfolge (2), die einen zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (20) aufweist und eine Mehrzahl von Bildpunkten (2A, 2B) bildet, und mit einem Träger (5), auf dem die Halbleiterschichtenfolge angeordnet ist, wobei - der Träger (5) eine Mehrzahl von Schaltern (51) aufweist, die jeweils zur Steuerung von zumindest einem Bildpunkt (2A, 2B) vorgesehen sind; und - auf einer dem Träger abgewandten Strahlungsaustrittsfläche (29) der Halbleiterschichtenfolge auf jedem Bildpunkt ein optisches Element (3) angeordnet ist.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei das optische Element eine Linse (31) ist.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Bildpunkte auf einer dem Träger zugewandten Seite jeweils einen Anschlussbereich (220) aufweisen, in dem die Bildpunkte elektrisch kontaktiert sind, wobei in Draufsicht auf die Anzeigevorrichtung eine Fläche des Anschlussbereichs höchstens 10 % einer Fläche des zugehörigen optischen Elements ist.
Anzeigevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zwischen zwei benachbarten optischen Elementen jeweils ein Trennkörper (35) angeordnet ist.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 4, wobei der Trennkörper für die im Betrieb der Anzeigevorrichtung emittierte Strahlung strahlungsundurchlässig ist.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, wobei das optische Element und der Trennkörper bezüglich ihres Materials so aufeinander abgestimmt sind, dass das Material des Trennkörpers für das Material des optischen Elements im flüssigen Zustand entnetzend wirkt.
Anzeigevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Anzeigevorrichtung frei von einer eine stoffschlüssige Verbindung bewirkenden Verbindungsschicht zwischen der Strahlungsaustrittsfläche und dem optischen Element ist.
Anzeigevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei Seitenflächen (28) der Bildpunkte mit einer strahlungsundurchlässigen Beschichtung (61) versehen sind.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, wobei die strahlungsundurchlässige Beschichtung eine Reflektivität von mindestens 60% für die im Betrieb der Anzeigevorrichtung emittierte Strahlung aufweist.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, wobei die strahlungsundurchlässige Beschichtung von den Bildpunkten elektrisch isoliert ist.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, wobei die Bildpunkte mittels der strahlungsundurchlässigen Beschichtung elektrisch kontaktiert sind.
Anzeigevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei auf der Strahlungsaustrittsfläche der Bildpunkte eine erste Kontaktschicht (71) angeordnet ist.
Anzeigevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Halbleiterschichtenfolge zwischen benachbarten Bildpunkten vollständig durchtrennt ist.
Anzeigevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das optische Element jeweils ein Strahlungskonversionselement (32) ist, das dafür vorgesehen ist, im aktiven Bereich erzeugte Primärstrahlung zumindest teilweise in Sekundärstrahlung umzuwandeln.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Anzeigevorrichtung einen auf der Strahlungsaustrittsfläche angeordneten Trägerkörper (39) aufweist, wobei sich der Trägerkörper über mehrere Bildpunkte erstreckt und die Strahlungskonversionselemente jeweils in Vertiefungen (390) des Trägerkörpers angeordnet sind.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 15, wobei der Trägerkörper zwischen benachbarten Strahlungskonversionselementen strahlungsundurchlässig ausgebildet ist.