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Stand der Technik
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Aus dem Stand der Technik ist eine Vielzahl von Sensorelementen zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum bekannt. Beispielsweise kann es sich bei dem Messgas um ein Abgas einer Brennkraftmaschine handeln. Insbesondere kann es sich bei den Partikeln um Ruß- oder Staubpartikel handeln. Die Erfindung wird im Folgenden, ohne Beschränkung weiterer Ausführungsformen und Anwendungen, insbesondere unter Bezugnahme auf Sensorelemente zur Detektion von Rußpartikeln beschrieben.
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Zwei oder mehrere metallische Elektroden können auf einem elektrisch isolierenden Träger angebracht werden. Die sich unter Einwirkung einer Spannung anlagernden Teilchen, insbesondere die Rußpartikel, bilden in einer sammelnden Phase des Sensorelements elektrisch leitfähige Brücken zwischen den beispielsweise als kammartig ineinander greifende Interdigitalelektroden ausgestalteten Elektroden und schließen diese dadurch kurz. In einer regenerierenden Phase werden die Elektroden üblicherweise mit Hilfe eines integrierten Heizelementes freigebrannt. In der Regel werten die Partikelsensoren die aufgrund der Partikelanlagerung geänderten elektrischen Eigenschaften einer Elektrodenstruktur aus. Es kann beispielsweise ein abnehmender Widerstand oder ein zunehmender Strom bei konstanter angelegter Spannung gemessen werden.
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Nach diesem Prinzip arbeitende Sensorelemente werden im Allgemeinen als resistive Sensoren bezeichnet und existieren in einer Vielzahl von Ausführungsformen, wie z.B. aus
DE 103 19 664 A1 ,
DE10 2004 0468 82A1 ,
DE 10 2006 042 362 A1 ,
DE 103 53 860 A1 ,
DE 101 49 333 A1 und
WO 2003/006976 A2 bekannt. Die als Rußsensoren ausgestalteten Sensorelemente werden üblicherweise zur Überwachung von Diesel-Partikelfiltern eingesetzt. Im Abgastrakt einer Brennkraftmaschine sind die Partikelsensoren der beschriebenen Art in der Regel in ein Schutzrohr aufgenommen, das gleichzeitig beispielsweise die Durchströmung des Partikelsensors mit dem Abgas erlaubt.
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Trotz der Vorteile der aus dem Stand der Technik bekannten Sensorelemente zur Erfassung von Partikeln beinhalten diese noch ein weiteres Verbesserungspotential.
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Offenbarung der Erfindung
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Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wird daher ein Sensorelement zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum vorgeschlagen. Unter einem Sensorelement wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine beliebige Vorrichtung verstanden, welche geeignet ist, die Partikel qualitativ und/oder quantitativ zu erfassen und welche beispielsweise ein elektrisches Messsignal entsprechend der erfassten Partikel erzeugen kann, wie beispielsweise eine Spannung oder einen Strom.
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Das Sensorelement kann insbesondere zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug eingerichtet sein. Insbesondere kann es sich bei dem Messgas um ein Abgas des Kraftfahrzeugs handeln. Auch andere Gase und Gasgemische sind grundsätzlich möglich. Bei dem Messgasraum kann es sich grundsätzlich um einen beliebigen, offenen oder geschlossenen Raum handeln, in welchem das Messgas aufgenommen und/oder welcher von dem Messgas durchströmt werden kann. Beispielsweise kann es sich bei dem Messgasraum um einen Abgastrakt einer Brennkraftmaschine, beispielsweise eines Verbrennungsmotors, handeln.
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Das Sensorelement umfasst mindestens einen Träger, wobei auf den Träger mindestens eine erste Elektrodeneinrichtung und mindestens eine zweite Elektrodeneinrichtung aufgebracht sind. Unter einem Träger wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein beliebiges Substrat verstanden, welches geeignet ist, die erste Elektrodeneinrichtung und die zweite Elektrodeneinrichtung zu tragen, und/oder, auf welches die erste Elektrodeneinrichtung und die zweite Elektrodeneinrichtung aufgebracht werden kann.
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Die erste Elektrodeneinrichtung und die zweite Elektrodeneinrichtung weisen jeweils mindestens einen Elektrodenfinger auf. Unter Elektrodeneinrichtungen werden im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich beliebige elektrische Leiter verstanden, die für eine Strommessung und/oder eine Spannungsmessung geeignet sind und/oder welche mindestens ein mit den Elektrodeneinrichtungen in Kontakt stehendes Element mit einer Spannung und/oder einem Strom beaufschlagen können. Unter dem Begriff Elektrodenfinger wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige Ausformung der Elektrodeneinrichtung verstanden, deren Abmessung in einer Dimension die Abmessung in mindestens einer anderen Dimension deutlich überschreitet, beispielsweise mindestens um einen Faktor 2, vorzugsweise mindestens um einen Faktor 3, besonders bevorzugt mindestens um einen Faktor 5.
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Der Träger kann mindestens ein elektrisch isolierendes Material, insbesondere mindestens ein keramisches Material, umfassen. Der Träger kann eine Trägeroberfläche aufweisen. Unter einer Trägeroberfläche wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige Schicht verstanden, welche den Träger von seiner Umgebung abgrenzt, und auf welche die erste und die zweite Elektrodeneinrichtung des Sensorelements aufgebracht sind.
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Die erste Elektrodeneinrichtung und die zweite Elektrodeneinrichtung können jeweils mindestens zwei Elektrodenfinger aufweisen. Die mindestens zwei Elektrodenfinger der ersten Elektrodeneinrichtung und die mindestens zwei Elektrodenfinger der zweiten Elektrodeneinrichtung können ineinander greifen. Insbesondere können die Elektrodenfinger der ersten Elektrodeneinrichtung und die Elektrodenfinger der zweiten Elektrodeneinrichtung kammartig ineinander greifen. Weiterhin kann die erste Elektrodeneinrichtung mit der zweiten Elektrodeneinrichtung eine Struktur aufweisen ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einer Fischgrätstruktur, einer Zickzackstruktur und einer Wickelstruktur.
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Ein Querschnittsprofil des Elektrodenfingers kann rechteckig oder trapezförmig sein. Unter einem Querschnittsprofil des Elektrodenfingers wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Umriss des Elektrodenfingers verstanden, welcher senkrecht zu einer hauptsächlichen Erstreckungsrichtung des Elektrodenfingers stehen kann. Beispielsweise kann es sich bei dem Querschnittsprofil um ein Profil in einer Schnittebene handeln, welche senkrecht zur Erstreckungsrichtung des Elektrodenfingers und senkrecht zur Oberfläche des Trägers angeordnet sein kann.
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Die Elektrodenfinger sind zumindest teilweise mit einem elektrisch leitfähigen Pulver beschichtet. Der Begriff des Pulvers bezeichnet hierbei eine Substanz, welche eine Vielzahl von gesonderten Pulverkörnern umfasst, die insbesondere locker und trennbar aneinander gelagert sein können. Die Tatsache, dass das Pulver elektrisch leitfähig ist, kann sich insbesondere darin ausdrücken, dass die Pulverkörner bei Anlegen einer elektrischen Spannung einen elektrischen Strom tragen können, welcher wiederum Ursache für einen magnetischen Effekt sein kann. Das elektrisch leitfähige Pulver kann hierbei vorzugsweise auf eine, einem benachbarten Elektrodenfinger zugewandte Oberfläche des Elektrodenfingers aufgebracht sein. Andere Stellen für die Aufbringung des elektrisch leitfähigen Pulvers, insbesondere auf der dem Messgas zugewandten Oberfläche der Elektrodenfinger und/oder zwischen zwei benachbarten Elektrodenfingern, sind jedoch ebenfalls möglich.
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Die Pulverkörner sind hierbei in Form mindestens einer Lage auf den Elektrodenfingern aufgebracht. Hierbei können die Pulverkörner in Form genau einer einzelnen Lage oder in Form von mindestens zwei übereinander angeordneten Lagen, d.h. zwei, drei, vier oder mehr Lagen, auf den Elektrodenfingern vorliegen. Hierbei kann die Lage der Pulverkörner die Elektrodenfinger vorzugsweise vollständig bedecken. Dies kann insbesondere dadurch erfolgen, dass sich benachbarte Pulverkörner gegenseitig berühren, zumindest in einer überwiegenden Anzahl.
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In einer alternativen Ausgestaltung können die Pulverkörner vereinzelt auf den Elektrodenfingern aufgebracht sein. Der Begriff „vereinzelt“ bezieht sich hierbei auf eine Art der Aufbringung der Pulverkörner auf die Elektrodenfinger, bei welcher sich zumindest ein Teil der Pulverkörner, vorzugsweise ein überwiegender Teil der Pulverkörner, insbesondere alle Pulverkörner nicht gegenseitig berühren.
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Die elektrisch leitfähigen Pulverkörner können hierbei insbesondere zwei, sich vorzugsweise ergänzende Effekte aufweisen. Einerseits kann dadurch ein Abstand zwischen zwei benachbart angeordneten Elektrodenfingern verkürzt werden. Um jedoch zu verhindern, dass die Pulverkörner bereits ohne äußeren Anlass einen elektrischen Kurzschluss erzeugen, weist die mindestens eine Lage der Pulverkörner eine Dicke auf, welche geringer ist als der halbe Abstand zwischen der ersten Elektrodeneinrichtung und der zweiten Elektrodeneinrichtung.
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In der bevorzugten Ausgestaltung, in welcher die Pulverkörner in Form einer einzelnen Lage auf dem Elektrodenfingern aufgebracht sind, können somit die Pulverkörner eine Größe aufweisen, welche geringer ist als der halbe Abstand zwischen der ersten Elektrodeneinrichtung und der zweiten Elektrodeneinrichtung. In der besonderen Ausgestaltung, in welcher die Pulverkörner in mehr als einer Lage übereinander angeordnet sind, ist die Gesamtschichtdicke der Lagen geringer ist als der halbe Abstand zwischen der ersten Elektrodeneinrichtung und der zweiten Elektrodeneinrichtung.
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Der Abstand kann hierbei insbesondere eine Distanz zwischen benachbart angeordneten Elektrodenfingern beschreiben, wobei der Abstand in der Regel einen minimalen Abstand zwischen zwei Elektrodenfingern in dem Sensorelement bezeichnet. Insbesondere können die Pulverkörner eine Größe von 0,1 µm, bevorzugt von 0,5 µm, besonders bevorzugt von 1 µm, bis 20 µm, bevorzugt bis 10 µm, besonders bevorzugt bis 5 µm, aufweisen, solange die Größe der Pulverkörner bzw. die Gesamtschichtdicke der Lagen geringer ist als der halbe Abstand zwischen der ersten Elektrodeneinrichtung und der zweiten Elektrodeneinrichtung.
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Andererseits kann die geometrische Form der Körner ein magnetisches Feld lokal verstärken. Feldlinien des magnetischen Felds können sich hierbei derart an den Pulverkörnern konzentrieren lassen, so dass sich ein Rußpartikel bevorzugt an diesen Stellen anlagern kann. Eine bevorzugte Anlagerung der Rußpartikel kann in Sensorelementen gemäß dem Stand der Technik bereits an sich auf der Oberfläche der Elektrodenfinger ausbildenden Rußdendriten erfolgen. Die vorliegende Anordnung, in welcher zusätzlich Pulverkörner auf den Elektrodenfingern angeordnet sind, ermöglicht jedoch eine zeitlich frühere Konzentration der Feldlinien des magnetischen Felds an den Pulverkörnern. Auf diese Weise kann die vorgeschlagene Beschichtung der Elektrodenfinger mit dem elektrisch leitfähigen Pulver ein schnelleres Ansprechen des Sensorelements bei einer Beaufschlagung mit Rußpartikeln im Vergleich zu Sensorelementen, die aus dem Stand der Technik bekannt sind, ermöglichen.
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Das elektrisch leitfähige Pulver kann mindestens ein elektrisch leitfähiges Material umfassen, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus: einem reinen Metall ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Platin, Palladium und Gold; und einer Legierung, insbesondere einer Legierung umfassend mindestens eines der Metalle Platin, Palladium und Gold. Die Wahl des elektrisch leitfähigen Materials kann vorzugsweise derart erfolgen, dass das Sensorelement zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum mit den dafür bekannten Bedingungen einsetzbar ist.
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Das Sensorelement kann insbesondere als Rußpartikelsensor ausgestaltet sein. Weiterhin kann das Sensorelement in mindestens einem Schutzrohr aufgenommen sein.
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In einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum vorgeschlagen, welches die folgenden Schritte umfasst, bevorzugt in der angegebenen Reihenfolge. Auch eine andere Reihenfolge ist grundsätzlich möglich. Weiterhin können einer oder mehrere oder alle der Verfahrensschritte auch wiederholt durchgeführt werden. Weiterhin können zwei oder mehrere der Verfahrensschritte auch ganz oder teilweise zeitlich überlappend oder gleichzeitig durchgeführt werden. Das Verfahren kann, zusätzlich zu den genannten Verfahrensschritten auch weitere Verfahrensschritte umfassen.
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Die Verfahrensschritte sind:
- a) Bereitstellen mindestens eines Trägers;
- b) Aufbringen mindestens einer ersten Elektrodeneinrichtung und mindestens einer zweiten Elektrodeneinrichtung derart auf den mindestens einen Träger, dass die erste Elektrodeneinrichtung und die zweite Elektrodeneinrichtung jeweils mindestens einen Elektrodenfinger aufweisen;
- c) Beschichten der Elektrodenfinger mittels mindestens eines elektrisch leitfähigen Pulvers, wobei das elektrisch leitfähige Pulver eine Vielzahl von gesonderten Pulverkörnern umfasst, wobei die Pulverkörner derart in Form mindestens einer Lage auf den Elektrodenfingern aufgebracht werden, dass die mindestens eine Lage der Pulverkörner eine Dicke aufweist, welche geringer ist als der halbe Abstand zwischen der ersten Elektrodeneinrichtung und der zweite Elektrodeneinrichtung.
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Das Verfahren kann insbesondere zur Herstellung eines Sensorelements gemäß der vorliegenden Erfindung, also gemäß einer der oben genannten Ausführungsformen oder gemäß einer der unten noch näher beschriebenen Ausführungsformen eingesetzt werden. Dementsprechend kann für Definitionen und optionale Ausgestaltungen weitgehend auf die Beschreibung des Sensorelements verwiesen werden. Auch andere Ausgestaltungen sind jedoch grundsätzlich möglich.
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Der Träger in Schritt a) kann als Trägerfolie bereitgestellt werden. Die Trägerfolie kann mindestens ein keramisches Material umfassen.
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Für das Aufbringen der mindestens einer ersten Elektrodeneinrichtung und der mindestens einer zweiten Elektrodeneinrichtung auf den mindestens einen Träger gemäß Schritt b) kann ein auf mindestens ein aus dem Stand der Technik bekanntes Verfahren zurückgegriffen werden.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung kann Schritt c) des Verfahrens wie folgt durchgeführt werden. Hierzu können das elektrisch leitfähige Pulver in mindestens ein Trägerpulver eingebracht werden. Der Begriff des Trägerpulvers bezeichnet hierbei eine Substanz, welche zur Aufnahme der Pulverkörner des elektrisch leitfähigen Pulvers eingerichtet ist. In dieser Ausgestaltung werden die Elektrodenfinger mit dem Trägerpulver und somit gleichzeitig mit dem hierin eingebrachten elektrisch leitfähigen Pulver beschichtet. Um das Trägerpulver wieder zu entfernen, kann, vorzugsweise hieran anschließend, das Trägerpulver abgedampft werden. Das Abdampfen des Trägerpulvers kann insbesondere in einer Schutzgasatmosphäre, welche bevorzugt Stickstoff oder Argon umfasst, erfolgen.
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Die vorgeschlagene Vorrichtung und das vorgeschlagene Verfahren weisen gegenüber bekannten Vorrichtungen und Verfahren zahlreiche Vorteile auf. Insbesondere kann durch die vorgeschlagene Beschichtung der Elektrodenfinger mit dem elektrisch leitfähigen Pulver ein schnelleres Ansprechen des Sensorelements bei einer Beaufschlagung mit Rußpartikeln im Vergleich zu Sensorelementen, die aus dem Stand der Technik bekannt sind, erfolgen.
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Figurenliste
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Weitere optionale Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele, welche in den Figuren schematisch dargestellt sind.
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Es zeigen:
- 1 eine Ausführungsform eines Sensorelements der vorliegenden Erfindung, wobei das Sensorelement in Draufsicht dargestellt ist;
- 2A bis 2C unterschiedliche Ausführungsformen eines Elektrodenfingers des Sensorelements in Querschnittsansicht; und
- 3A bis 3E Stadien des Verfahrens zur Herstellung des Sensorelements in einer besonders bevorzugten Ausführungsvariante in Querschnittsansicht.
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Ausführungsformen der Erfindung
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1 zeigt eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensorelements 110 zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum in einer Draufsicht. 2A bis 2C zeigen unterschiedliche Ausführungsformen eines Elektrodenfingers 112 des Sensorelements 110 in einer Querschnittsansicht.
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Das Sensorelement 110 kann insbesondere zum Einsatz in einem Kraftfahrzeug eingerichtet sein. Insbesondere kann es sich bei dem Messgas um ein Abgas des Kraftfahrzeugs handeln. Das Sensorelement 110 kann insbesondere ein oder mehrere in den Figuren nicht dargestellte, weitere Funktionselemente umfassen, wie beispielsweise Elektroden, Elektrodenzuleitungen und Kontakte, mehrere Schichten, Heizelemente, elektrochemische Zellen oder andere Elemente, wie beispielsweise in dem oben genannten Stand der Technik gezeigt. Weiterhin kann das Sensorelement 110 beispielsweise in einem ebenfalls nicht dargestellten Schutzrohr aufgenommen sein.
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Das Sensorelement 110 umfasst mindestens einen Träger 114, wobei auf den Träger mindestens eine erste Elektrodeneinrichtung 116 und mindestens eine zweite Elektrodeneinrichtung 118 aufgebracht sind. Insbesondere kann der Träger 114 mindestens ein keramisches Material umfassen. Weiterhin kann der Träger 114 mindestens ein elektrisch isolierendes Material umfassen. Der Träger 114 kann eine Trägeroberfläche aufweisen.
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Die erste Elektrodeneinrichtung 116 und die zweite Elektrodeneinrichtung 118 weisen jeweils mindestens einen Elektrodenfinger 112 auf. Die erste Elektrodeneinrichtung 116 und die zweite Elektrodeneinrichtung 118 können jeweils zwei oder, wie in 1 dargestellt, jeweils mehr als zwei Elektrodenfinger 112 aufweisen. Ein Abstand d kann hierbei eine Distanz zwischen benachbart angeordneten Elektrodenfingern 112 beschreiben, wobei der Abstand d in der Regel einen minimalen Abstand zwischen zwei Elektrodenfingern 112 in dem Sensorelement 110 bezeichnet.
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Wie 1 zeigt, können die Elektrodenfinger 112 der ersten Elektrodeneinrichtung 116 und die Elektrodenfinger 112 der zweiten Elektrodeneinrichtung 118 ineinander greifen. Die erste Elektrodeneinrichtung 116 als auch die zweiten Elektrodeneinrichtung 118 können jedoch auch eine andere Struktur aufweisen. Insbesondere kann die erste Elektrodeneinrichtung 116 mit der zweiten Elektrodeneinrichtung 118 eine Struktur aufweisen, die ausgewählt sein kann aus der Gruppe bestehend aus einer Kammstruktur, einer Fischgrätstruktur, einer Zickzackstruktur und einer Wickelstruktur.
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Die in 1 dargestellten Elektrodenfinger 112 sind zumindest teilweise mit einem elektrisch leitfähigen Pulver 120 beschichtet.
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Die 2A bis 2C zeigen drei verschiedene Ausführungsformen des mit dem elektrisch leitfähigen Pulver 120 beschichteten Elektrodenfingers 112 des Sensorelements 110 in einer Querschnittsansicht. Das elektrisch leitfähige Pulver 120 kann hierbei insbesondere auf die, den anderen Elektrodenfingern 112 zugewandten Oberflächen 122 des Elektrodenfingers 112, bevorzugt in Form von gesonderten Pulverkörnern 124, aufgebracht werden. Das elektrisch leitfähige Pulver 120 kann hierbei vorzugsweise mindestens ein Material umfassen, das ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Platin, Palladium und Gold und einer Legierung umfassend mindestens eines der Metalle Platin, Palladium oder Gold.
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Die Pulverkörner 124 verfügen hierbei über eine Größe a, welche geringer sein kann als die Hälfte des oben beschriebenen Abstandes d zwischen der ersten Elektrodeneinrichtung 116 und der zweite Elektrodeneinrichtung 118. Auf diese Weise kann ein elektrischer Kurzschluss zwischen zwei benachbart angeordneten Elektrodenfingern 112 vermieden werden. Insbesondere können die Pulverkörner eine Größe von 0,1 µm, bevorzugt von 0,5 µm, besonders bevorzugt von 1 µm, bis 20 µm, bevorzugt bis 10 µm, besonders bevorzugt bis 5 µm, jedoch stets geringer als die Hälfte des Abstandes d zwischen zwei benachbart angeordneten Elektrodenfingern 112, aufweisen.
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Die in den 2A bis 2C dargestellten drei verschiedenen Ausführungsformen unterscheiden sich insbesondere durch die Anordnung des elektrisch leitfähigen Pulvers 120 auf der damit beschichteten Oberfläche 122 des Elektrodenfingers 112. In der Praxis können jedoch auch Mischformen zwischen den in den 2A bis 2C dargestellten Ausführungsformen auftreten.
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In der Ausführungsform gemäß 2A kann eine einzelne Lage 126 der gesonderten Pulverkörner 124 auf die beschichtete Oberfläche 122 des Elektrodenfingers 112 aufgebracht sein. Hierbei können, wie in 2A schematisch dargestellt, die Pulverkörner 124 derart innerhalb der einzelnen Lage 126 angeordnet sein, dass praktisch keine Lücke zwischen zwei benachbart angeordneten Pulverkörnern 124 auftreten kann.
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In der weiteren Ausführungsform gemäß 2B kann mehr als eine Lage 126 der gesonderten Pulverkörner 124 auf die beschichtete Oberfläche 122 des Elektrodenfingers 112 aufgebracht sein, zum Beispiel drei aufeinander folgende einzelne Lagen 126. Eine andere Anzahl von Lagen 126, beispielsweise zwei, vier oder mehr als vier Lagen 126, ist jedoch möglich. Gemäß der Darstellung in 2B können die Pulverkörner 124 in Form einer dichtesten Kugelpackung vorliegen; andere Ausführungen sind jedoch möglich.
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Gemäß der in 2C dargestellten weiteren Ausführungsform können die Pulverkörner 124 vereinzelt auf die beschichtete Oberfläche 122 des Elektrodenfingers 112 aufgebracht sein. Diese Ausführungsform kann als bevorzugt betrachtet werden, da sie eine maximale lokale Verstärkung des Magnetfeldes bewirken kann.
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In einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements 110 zur Erfassung von Partikeln eines Messgases in einem Messgasraum vorgeschlagen. Die 3A bis 3E zeigen hierbei unterschiedliche Stadien des Verfahrens zur Herstellung einer besonders bevorzugten Ausführungsvariante des Sensorelements 110 in Querschnittsansicht.
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Gemäß 3A kann hierbei zunächst der Träger 114 bereitgestellt werden.
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Gemäß 3B kann hieran anschließend ein Aufbringen mindestens eines Elektrodenfinger 112 auf eine Oberfläche des Trägers 114 erfolgen, wobei der Elektrodenfinger 112 Teil mindestens einer ersten Elektrodeneinrichtung 116 oder mindestens einer zweiten Elektrodeneinrichtung 118 ist.
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Gemäß 3C kann hieran anschließend ein Beschichten des Elektrodenfinger 112 derart erfolgen, dass die Pulverkörner 124 des elektrisch leitfähigen Pulvers 120 zusammen mit weiteren Bestandteilen als mindestens ein Trägerpulver 128 vorliegen und die Elektrodenfinger 112 mit dem Trägerpulver 128 und damit gleichzeitig mit dem in das Trägerpulver 128 eingebrachten Pulverkörnern 124 beschichtet werden.
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Gemäß 3D kann hieran anschließend ein Abdampfen 130 des Trägerpulver 128 derart erfolgen, dass, abgesehen von den Pulverkörnern 124, die übrigen Bestandteile des Trägerpulver 128 wieder von der Oberfläche 122 der Elektrodenfinger 112 entfernt werden können und nur die Pulverkörnern 124, vorzugsweise in einer vereinzelten Form gemäß der Darstellung in 2C auf der Oberfläche 122 der Elektrodenfinger 112 verbleiben. Das Abdampfen 130 des Trägerpulvers 128 kann hierbei vorzugsweise in einer Schutzgasatmosphäre 132 erfolgen.
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Ein schließlich mit dem vorliegenden Verfahren erhaltener Ausschnitt aus dem Sensorelement 110 in der Ausführungsform gemäß 2C findet sich in der Querschnittsansicht in 3E.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 10319664 A1 [0003]
- DE 102004046882 A1 [0003]
- DE 102006042362 A1 [0003]
- DE 10353860 A1 [0003]
- DE 10149333 A1 [0003]
- WO 2003/006976 A2 [0003]
