DE102016216974A1 - Druckmesszelle und Verfahren zum Beschichten und Kontaktieren eines Trägers einer Druckmesszelle - Google Patents

Druckmesszelle und Verfahren zum Beschichten und Kontaktieren eines Trägers einer Druckmesszelle Download PDF

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Stefan Lehenberger
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Sandra Rimmel
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Druckmesszelle (50) mit einem Träger (52), welcher eine Messmembran (52.1) ausbildet, welche sich unter Einwirkung eines zu erfassenden Druckes verformt, wobei auf dem Träger (52) eine Messstruktur (55) aufgebracht ist, welche die Verformung der Messmembran (52.1) erfasst und mindestens ein den erfassten Druck repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt, welches über mindestens eine erste Bondfläche (56.3) ausgebbar ist, welche mit einem Bonddraht (58) kontaktiert ist, wobei eine Schutzschicht (57) auf die Messstruktur (55) aufgebracht ist, und ein Verfahren zum Beschichten und Kontaktieren eines Trägers (52) einer Druckmesszelle (50) sowie eine Drucksensoreinheit mit einer solchen Druckmesszelle (50). Hierbei bedeckt die Schutzschicht (57) die Messstruktur (55) und die mindestens eine erste Bondfläche (56.3) und der Bonddraht (58) durchdringt die Schutzschicht und ist mit der korrespondierenden ersten Bondfläche (56.3) elektrisch und mechanisch verbunden.

Description

  • Die Erfindung geht aus von einer Druckmesszelle oder einem Verfahren zum Beschichten und Kontaktieren eines Trägers einer Druckmesszelle nach Gattung der unabhängigen Ansprüche. Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist auch eine Drucksensoreinheit mit einer solchen Druckmesszelle.
  • Aus dem Stand der Technik sind zur Druckmessung aus mehreren Komponenten hergestellte Drucksensoreinheiten bekannt. Die Umwandlung des Drucks in ein elektrisches Signal wird durch eine sogenannte Druckmesszelle umgesetzt. Auf einen Träger dieser Druckmesszelle wird mit Hilfe von verschiedenen Dünnschichtverfahren eine Messstruktur, vorzugsweise eine Wheatstone-Messbrücke aufgebracht. Mäander der Messstruktur werden durch eine zusätzliche Schutzschicht vor Verschmutzung und Nässe geschützt, da sich sonst elektrische Brücken bzw. Kurzschlüsse ausbilden und dadurch die Messstruktur durch elektrochemische Korrosion zerstören können. Diese zusätzliche Schutzschicht wird bei aus dem Stand der Technik bekannten Druckmesszellen durch Aufbringen von Schutzlacken oder Gel erzeugt. Bei diesen bekannten Verfahren müssen Bondflächen zur Kontaktierung der Messstruktur durch einen aufwendigen Maskenprozess freigehalten werden oder können erst nach der Kontaktierung mit korrespondierenden Bonddrähten durch Schutzlacke bzw. Gel geschützt werden.
  • Aus der DE 10 2014 221 365 A1 ist eine Vormontagebaugruppe für eine Sensoreinheit und eine korrespondierende Sensoreinheit mit einem als Druckmesszelle ausgeführten Messelement, einem rotationssymmetrischen Sensorträger und einem Schaltungsträger bekannt. Das Messelement ist mit dem Sensorträger verbunden und der Schaltungsträger weist eine interne Schnittstelle auf, welche mindestens ein elektrisches Ausgangssignal des Messelements abgreift. Ein Grundkörper des Schaltungsträgers ist als Hohlzylinder mit einer inneren Fügegeometrie ausgeführt, welche an eine Außenkontur des Messelements angepasst ist und das Messelement umschließt. Zudem ist der Grundkörper des Schaltungsträgers ist über eine Clipsverbindung mit dem Sensorträger mechanisch verbunden.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Die Druckmesszelle mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1 hat den Vorteil, dass die Schutzschicht für den Schutz der Messstruktur kostengünstig und einfach vor der elektrischen Kontaktierung der Messstruktur aufgebracht wird und damit ein besserer Schutz während des Fertigungsprozesses erreicht werden kann. Durch die aufgebrachte Schutzschicht können die Bauteile der Messstruktur in vorteilhafter Weise vor Verschmutzung und Feuchtigkeit geschützt werden, so dass Kurzschlüsse und eine elektrochemische Korrosion verhindert werden können.
  • Die Eigenschaften der Schutzschicht, wie beispielsweise Dicke und Material, sind so gewählt, dass eine elektrische Kontaktierung der Messstruktur durch die Schutzschicht möglich ist. Das Aufbringen der Schutzschicht durch ein atmosphärisches Plasmaverfahren auf die Oberfläche der Druckmesszelle bzw. auf die Messstruktur direkt bei Herstellung der Druckmesszelle ermöglicht in vorteilhafter Weise eine kostengünstige und einfache Fertigung. Vorzugsweise wird die Schutzschicht auf die gesamte Oberfläche der Druckmesszelle bzw. auf die gesamte Messstruktur aufgebracht und schließt auch die mindestens eine erste Bondfläche mit ein, welche vollständig oder zumindest teilweise durch die Schutzschicht bedeckt ist. Zudem ermöglicht das atmosphärische Plasmaverfahren das Aufbringen einer dünnen Schutzschicht mit ausreichender Schutzwirkung. Durch eine Abstimmung der Schutzschicht zwischen Schutzwirkung und Bondbarkeit kann in vorteilhafter Weise durch die Schutzschicht gebondet werden, so dass die Bondflächen nicht von der Schutzschicht ausgespart werden müssen. Bisherige Schutzschichten lassen kein Durchbonden zu, so dass die Bondbereiche bzw. Bondflächen beim Aufbringen der Schutzschicht beispielsweise durch einen Maskenprozess freigehalten werden oder die Schutzschicht erst nach dem Bonden beispielsweise als Gel aufgebracht wird. Da das Gel erst nach dem Kontaktieren bzw. Bonden aufgebracht wird, werden erhöhte Sauberkeitsanforderungen an den Fertigungsprozess der Druckmesszelle gestellt, da die Messstruktur bis zur Kontaktierung ungeschützt ist. Herkömmliche Druckmesszellen werden daher unter Reinraumbedingungen hergestellt.
  • Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung stellen eine Druckmesszelle mit einem Träger zur Verfügung, welcher eine Messmembran ausbildet, welche sich unter Einwirkung eines zu erfassenden Druckes verformt. Auf dem Träger ist eine Messstruktur aufgebracht, welche die Verformung der Messmembran erfasst und mindestens ein den erfassten Druck repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt, welches über mindestens eine erste Bondfläche ausgegeben werden kann, welche mit einem Bonddraht kontaktiert ist. Zudem ist eine Schutzschicht auf die Messstruktur aufgebracht. Hierbei bedeckt die Schutzschicht die Messstruktur und die mindestens eine erste Bondfläche und der Bonddraht durchdringt die Schutzschicht und ist mit der korrespondierenden ersten Bondfläche elektrisch und mechanisch verbunden.
  • Zudem wird ein Verfahren zum Beschichten und Kontaktieren eines Trägers einer Druckmesszelle vorgeschlagen, welcher eine Messmembran ausbildet. Eine Messstruktur wird mit mindestens einer ersten Bondfläche auf eine Oberfläche des Trägers aufgebracht, wobei die mindestens eine erste Bondfläche mit einem Bonddraht kontaktiert wird. Zudem wird eine Schutzschicht auf die Messstruktur aufgebracht. Hierbei wird die Schutzschicht mittels eines atmosphärischen Plasmaverfahrens aufgebracht und bedeckt die Messstruktur und die mindestens eine erste Bondfläche, wobei der Bonddraht durch einen Bondprozess durch die Schutzschicht gedrückt wird und mit der korrespondierenden ersten Bondfläche elektrisch und mechanisch verbunden wird.
  • Durch den Einsatz des atmosphärischen Plasmaverfahrens werden keine besonderen Anforderungen an die Umgebungsbedingungen gestellt, so dass die Herstellung der Druckmesszellen auch außerhalb eines Reinraums in einer Fertigungslinie möglich ist.
  • Vorzugsweise kann die Druckmesszelle in einer Drucksensoreinheit mit einer Schutzhülse verwendet werden, in welcher die Druckmesszelle, ein Schaltungsträger und eine Anschluss- und Schaltungsvorrichtung mit einer senkrecht zur Oberfläche des Schaltungsträgers angeordneten Leiterplatte, welche eine elektronische Schaltung mit mindestens einem elektronischen und/oder elektrischen Bauteil trägt, und eine Stützeinheit angeordnet sind, welche einen Grundkörper mit einer Außenkontur umfasst und die Schutzhülse verschließt. Die Druckmesszelle ist mit einem Sensorträger verbunden, welcher einen Befestigungsflansch mit einem Verbindungsbereich für die Schutzhülse aufweist, wobei ein Grundkörper des Schaltungsträgers mit dem Sensorträger mechanisch verbunden ist und eine interne Schnittstelle aufweist, welche mindestens ein elektrisches Ausgangssignal der Druckmesszelle abgreift und an die elektronische Schaltung anlegt. Der Grundkörper der Stützeinheit bildet eine externe Schnittstelle mit mindestens einem elektrischen Außenkontakt aus, über welchen mindestens ein Ausgangssignal der elektronischen Schaltung abgegriffen werden kann, wobei der mindestens eine Außenkontakt über eine elektrische Verbindung mit einer korrespondierenden Kontaktstelle der Leiterplatte elektrisch verbunden ist.
  • Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen und Weiterbildungen sind vorteilhafte Verbesserungen der im unabhängigen Patentanspruch 1 angegebenen Druckmesszelle und des im unabhängigen Patentanspruch 6 angegebenen Verfahrens zum Beschichten und Kontaktieren eines Trägers einer Druckmesszelle möglich.
  • Besonders vorteilhaft ist, dass die Schutzschicht aus Siliziumdioxid bestehen und eine Schichtdicke im Bereich von 50 bis 200nm aufweisen kann. Eine solche quarzähnliche bzw. glasähnliche Schicht ist sehr beständig und temperaturstabil und kann bei der angegebenen Schichtdicke einen ausreichenden Schutz der Messstruktur zur Verfügung stellen und durch einen Standardbondprozess durchdrungen werden sowie eine gute elektrische und mechanische Anbindung des Bonddrahtes an die darunterliegende Bondfläche ermöglichen.
  • In vorteilhafter Ausgestaltung der Druckmesszelle kann zwischen der Messstruktur und einer Oberfläche des Trägers eine Isolationsschicht mit einer Schichtdicke im Bereich von 0,5µm bis 10µm aufgebracht werden. Durch eine solche Isolationsschicht können in vorteilhafter Weise ungewollte Kurzschlüsse zwischen den Bauteilen der Messstruktur vermieden und das Aufbringen der Messstruktur erleichtert werden.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Druckmesszelle kann die Messstruktur eine Messbrücke aufweisen. Die Messbrücke kann mehrere Widerstandsbahnen und Leitungsbahnen umfassen, welche die Widerstandsbahnen und/oder die mindestens eine erste Bondfläche schaltungsgemäß miteinander verbinden können. Die Messbrücke ist vorzugsweise als Wheatstone-Brücke ausgeführt, wobei die einzelnen Widerstände der Wheatstone-Brücke als Mäander ausgebildet werden können.
  • In vorteilhafter Ausgestaltung des Verfahrens zum Beschichten und Kontaktieren eines Trägers einer Druckmesszelle kann Hexamethyldisiloxan als Präkursor bzw. Ausgangsstoff im atmosphärischen Plasmaverfahren verwendet werden. Dadurch kann die quarzähnliche bzw. glasähnliche Schutzschicht aus Siliziumdioxid einfach und kostengünstig erzeugt werden.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung des Verfahrens kann die Messstruktur vor dem Aufbringen der Schutzschicht mit einem atmosphärischen Plasmastrahl gereinigt werden. Zudem kann die Schutzschicht nach dem Aufbringen mit einem atmosphärischen Plasmastrahl ausgehärtet werden.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung des Verfahrens kann vor dem Aufbringen der Messstruktur eine Isolationsschicht auf die Oberfläche des Trägers mittels eines atmosphärischen Plasmaverfahrens aufgebracht werden.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. In der Zeichnung bezeichnen gleiche Bezugszeichen Komponenten bzw. Elemente, die gleiche bzw. analoge Funktionen ausführen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 zeigt eine schematische perspektivische Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Drucksensoreinheit.
  • 2 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung einer erfindungsgemäßen Druckmesszelle der Drucksensoreinheit aus 1.
  • 3 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung eines Sensorträgers mit einem Befestigungsflansch und der erfindungsgemäßen Druckmesszelle für die erfindungsgemäße Drucksensoreinheit aus 1 vor dem Fügen der Druckmesszelle mit dem Sensorträger.
  • 4 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung des Sensorträgers mit der Druckmesszelle für die erfindungsgemäße Drucksensoreinheit aus 1 nach dem Fügen der Druckmesszelle mit dem Sensorträger während eine Schutzschicht aufgebracht wird.
  • 5 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung des Sensorträgers und eines Schaltungsträgers für die erfindungsgemäße Drucksensoreinheit aus 1 vor dem Fügen des Schaltungsträgers mit dem Sensorträger.
  • 6 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung einer Vormontagebaugruppe für die erfindungsgemäße Drucksensoreinheit aus 1 nach dem Bonden der Druckmesszelle und vor dem Fügen der Schutzhülse.
  • 7 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Druckmesszelle im Bereich einer Messmembran während eines Reinigungsvorgangs.
  • 8 zeigt die Druckmesszelle aus 7 während eines Beschichtungsvorgangs.
  • 9 zeigt die Druckmesszelle aus 7 und 8 während eines Aushärtungsvorgangs.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • Wie aus 1 bis 9 ersichtlich ist, umfasst das dargestellte Ausführungsbeispiel einer Druckmesszelle 50 einen Träger 52, welcher eine Messmembran 52.1 ausbildet. Die Messmembran 52.1 verformt sich unter Einwirkung eines zu erfassenden Druckes P, wobei auf dem Träger 52 eine Messstruktur 55 aufgebracht ist, welche die Verformung der Messmembran 52.1 erfasst und mindestens ein den erfassten Druck repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt. Das elektrische Ausgangssignal kann über mindestens eine erste Bondfläche 56.3 ausgegeben werden, welche mit einem Bonddraht 58 kontaktiert ist. Zudem ist eine Schutzschicht 57 auf die Messstruktur 55 aufgebracht, welche die Messstruktur 55 vor Verschmutzung und Feuchtigkeit schützt. Hierbei bedeckt die Schutzschicht 57 die Messstruktur 55 und die mindestens eine erste Bondfläche 56.3 und der Bonddraht 58 durchdringt die Schutzschicht 57 und ist mit der korrespondierenden ersten Bondfläche 56.3 elektrisch und mechanisch verbunden. Vorzugsweise sind die ersten Bondflächen 56.3 vollständig von der Schutzschicht 57 bedeckt. Es ist aber möglich, dass die ersten Bondflächen 56.3 nur teilweise von der Schutzschicht 57 bedeckt sind, insbesondere dann, wenn die ersten Bondflächen 56.3 am äußeren Rand der zu schützenden Messstruktur 55 angeordnet sind.
  • Wie aus 1 bis 6 weiter ersichtlich ist, weist die Messstruktur 55 im dargestellten Ausführungsbeispiel der Druckmesszelle 50 eine Messbrücke 56 auf, welche mehrere Widerstandsbahnen 56.1 und Leitungsbahnen 56.2 umfasst. Die Leitungsbahnen 56.2 verbinden die Widerstandsbahnen 56.1 und/oder die mindestens eine erste Bondfläche 56.3 schaltungsgemäß miteinander.
  • Durch ein Verfahren zum Beschichten und Kontaktieren eines Trägers 52 einer Druckmesszelle 50, welcher eine Messmembran 52.1 ausbildet, wird eine Messstruktur 55 mit mindestens einer ersten Bondfläche 56.3 auf eine Oberfläche des Trägers 52 aufgebracht. Mittels eines atmosphärischen Plasmaverfahrens wird eine Schutzschicht 57 auf die Messstruktur 55 aufgebracht, welche die Messstruktur 55 und die mindestens eine erste Bondfläche 56.3 bedeckt. Zur Kontaktierung der Messstruktur 55 wird ein Bonddraht 58 durch einen Bondprozess durch die Schutzschicht 57 gedrückt und mit der korrespondierenden ersten Bondfläche 56.3 elektrisch und mechanisch verbunden.
  • Wie aus 7 weiter ersichtlich ist, wird die Messstruktur 55 vor dem Aufbringen der Schutzschicht 57 mit einem atmosphärischen Plasmastrahl gereinigt, welcher aus einer Plasmadüse 2 auf die Messstruktur 55 strömt. 8 zeigt das Aufbringen der Schutzschicht 57 mit dem atmosphärischen Plasmaverfahren, wobei im dargestellten Ausführungsbeispiel Hexamethyldisiloxan als Präkursor bzw. Ausgangsstoff verwendet wird. Wie aus 9 weiter ersichtlich ist, wird die Schutzschicht 57 nach dem Aufbringen mit einem atmosphärischen Plasmastrahl ausgehärtet. Die Schutzschicht 57 besteht im dargestellten Ausführungsbeispiel aus Siliziumdioxid und weist eine Schichtdicke im Bereich von 50 bis 200nm auf. Selbstverständlich können auch andere Materialen mit ähnlichen Eigenschaften verwendet werden, um die Schutzschicht 57 zu erzeugen. Die Eigenschaften der Schutzschicht 57, wie beispielsweise Dicke und Material, sind so gewählt, dass eine elektrische Kontaktierung der Messstruktur 55 durch einen Bondprozess durch die Schutzschicht 57 möglich ist. Das Aufbringen der Schutzschicht durch ein atmosphärisches Plasmaverfahren ermöglicht das Aufbringen einer dünnen Schutzschicht 57 mit ausreichender Schutzwirkung. Durch eine Abstimmung der Schutzschicht 57 zwischen Schutzwirkung und Bondbarkeit kann in vorteilhafter Weise durch die Schutzschicht 57 gebondet werden.
  • Wie aus 7 bis 9 weiter ersichtlich ist, ist zwischen der Messstruktur 55 und einer Oberfläche des Trägers 52 eine Isolationsschicht 54 mit einer Schichtdicke im Bereich von 0,5µm bis 10µm aufgebracht. Die Isolationsschicht 54 ist ebenfalls mittels eines atmosphärischen Plasmaverfahrens auf die Oberfläche des Trägers 52 aufgebracht.
  • Wie aus 1 weiter ersichtlich ist, umfasst das dargestellte Ausführungsbeispiel der Drucksensoreinheit 1 eine Schutzhülse 20, in welcher eine Druckmesszelle 50, ein Schaltungsträger 60 und eine Anschluss- und Schaltungsvorrichtung 3 mit einer senkrecht zur Oberfläche des Schaltungsträgers 60 angeordneten Leiterplatte 40, welche eine elektronische Schaltung 44 mit mindestens einem elektronischen und/oder elektrischen Bauteil 44.1, 44.2 trägt, und eine Stützeinheit 30 angeordnet sind, welche einen Grundkörper 32 mit einer Außenkontur 37 umfasst und die Schutzhülse 20 verschließt. Die Druckmesszelle 50 ist mit einem Sensorträger 10 verbunden, welcher einen Befestigungsflansch 12 mit einem Verbindungsbereich 16 für die Schutzhülse 20 aufweist. Ein Grundkörper 62 des Schaltungsträgers 60 ist mit dem Sensorträger 10 mechanisch verbunden und weist eine interne Schnittstelle 24 auf, welche mindestens ein elektrisches Ausgangssignal der Druckmesszelle 50 abgreift und an die elektronische Schaltung 44 anlegt. Der Grundkörper 32 der Stützeinheit 30 bildet eine externe Schnittstelle 26 mit mindestens einem elektrischen Außenkontakt 34 aus, über welchen mindestens ein Ausgangssignal der elektronischen Schaltung 44 abgreifbar ist. Der mindestens eine Außenkontakt 34 ist über eine elektrische Verbindung mit einer korrespondierenden Kontaktstelle der Leiterplatte 40 elektrisch verbunden.
  • Wie aus 1 bis 6 weiter ersichtlich ist, umfasst eine Messeinheit 9 im dargestellten Ausführungsbeispiel die Druckmesszelle 50, den Sensorträger 10 und den Schaltungsträger 60 und bildet eine Vormontagebaugruppe für die Drucksensoreinheit 1 aus. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Messelement 50 mit dem Sensorträger 10 mechanisch verbunden. Wie aus 3 weiter ersichtlich ist, wird die Druckmesszelle 50 so auf einen rohrförmigen Träger 11 des Befestigungsflansches 12 aufgesetzt, dass abhängig vom zu messenden Fluiddruck die Messmembran 52.1 der Druckmesszelle 50 verformt wird. Die Verformung der Messmembran 52.1 wird von der Messbrücke 56 erfasst. Die Messbrücke 56 ist mit vier ersten Bondflächen 56.3 verbunden, welche jeweils über Bonddrähte 58 mit zweiten Bondflächen 68 des Schaltungsträgers 60 elektrisch verbunden sind. Die zweiten Bondflächen 68 des Schaltungsträgers 60 sind elektrisch mit den ersten Kontaktstellen 66 des Schaltungsträgers 50 verbunden. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Sensorträger 10 als rotationssymmetrisches Drehteil ausgeführt.
  • Wie aus 1 bis 6 weiter ersichtlich ist, kann der Befestigungsflansch 12 beispielsweise mittels eines Self-Clinch-Anschlusses 18 mit dem nicht dargestellten Fluidblock verpresst bzw. angebunden werden. Neben dem Verbindungsbereich 16 zum Aufpressen bzw. Verschweißen der Schutzhülse 20 sind an der Flanschoberfläche 14 Klebestellen vorgesehen, an welchen Haltekleber 5 aufgebracht werden kann, um ein Verdrehen des Grundkörper 62 des Schaltungsträgers 60 zu verhindern.
  • Bei der Herstellung der Sensoreinheit 1 wird die Druckmesszelle 50 mit dem Sensorträger 10 verschweißt. Hierbei kann die Schutzschicht 57 vor dem Schweißvorgang oder nach dem Schweißvorgang auf die Messstruktur 55 aufgebracht werden. Wie aus 4 weiter ersichtlich ist, wird die Schutzschicht 57 im dargestellten Ausführungsbeispiel nach dem Schweißvorgang auf die Messstruktur 55 aufgebracht. Anschließend wird der Schaltungsträger 60 wie aus 5 und 6 ersichtlich ist, mechanisch mit dem Sensorträger 10 verbunden. Der Grundkörper 62 des Schaltungsträgers 60 ist als Hohlzylinder mit einer inneren Fügegeometrie 65 ausgeführt, welche an eine Außenkontur des Grundkörpers 52 der Druckmesszelle 50 angepasst ist und die Druckmesszelle 50 umschließt. Der Sensorträger 10 weist eine erste Clipsgeometrie und der Grundkörper 62 des Schaltungsträgers 10 weist eine korrespondierende zweite Clipsgeometrie auf, welche zur Herstellung einer Clipsverbindung zwischen dem Sensorträger 10 und dem Schaltungsträger 60 zusammenwirken. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist die erste Clipsgeometrie als umlaufende Aufnahmenut 17 in den Befestigungsflansch 12 des Sensorträgers 10 eingebracht, und die zweite Clipsgeometrie umfasst mehrere elastische Rastarme 62.1 mit Rastnasen, welche bei aufgesetztem Schaltungsträger 60 in die umlaufende Aufnahmenut 17 des Sensorträgers 10 rastend eingreifen. Nach dem Aufclipsen des Schaltungsträgers 60 werden die Bondverbindungen zwischen dem Druckmesszelle 50 und dem Schaltungsträger 60 hergestellt und der Zusammenbau der Messeinheit 9 als Vormontagebaugruppe ist abgeschlossen. Anschließend wird Kleber auf die Haltekleberstellen 5 aufgebracht, um ein Verdrehen des Schaltungsträgers zu verhindern. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der aufgesetzte und verrastete Schaltungsträger 60 durch zwei Haltkleberstellen 5 gegen Verdrehen gesichert, welche jeweils neben einem Rastarm 62.1 auf der Flanschoberfläche 14 des Sensorträgers 10 aufgebracht sind. Zudem wird jeweils eine Haltekleberstelle 5 in den Aufnahmetaschen aufgebracht, um die Leiterplatte 40 zu fixieren. Dann wird die Schutzhülse 20 aufgepresst und eventuell mit einer Punktschweißung fixiert.
  • Wie aus 1 weiter ersichtlich ist, ist der Grundkörper 41 der Leiterplatte 40 über eine mechanische Fügegeometrie 42 mit dem Schaltungsträger 60 gekoppelt, wobei die Fügegeometrie 42 am Grundkörper 41 der Leiterplatte 40 eine Aussparung 42.1 ausbildet, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten jeweils von einem Führungsschenkel 42.2 begrenzt ist. Die Führungsschenkel 42.2 sind im kontaktierten Zustand zumindest teilweise in korrespondierende Aussparungen der äußeren Fügegeometrie 64 des Schaltungsträgers 60 eingesteckt.
  • Wie aus 1 weiter ersichtlich ist, weist die Leiterplatte 40 im Bereich der Führungsschenkel 42.2 Kontaktflächen auf, welche zweite Kontaktstellen 46 ausbilden und über Leiterbahnen 42.3 mit der elektronischen Schaltung 44 verbunden sind. Die zweiten Kontaktstellen 46 bilden mit korrespondierenden ersten Kontaktstellen 66 bzw. Kontaktflächen im Bereich der äußeren Fügegeometrie 64 am Grundkörper 62 des Schaltungsträgers 60 die interne elektrische Schnittstelle 24 aus. Die Leitplatte 40 ist in Aussparungen oder Aufnahmetaschen der äußeren Fügegeometrie 64 am Grundkörper 62 des Schaltungsträger 60 eingesteckt und gegebenenfalls dort mit Haltekleber 5 und Leitkleber 7 fixiert, um eine elektrisch leitende Verbindung zwischen dem Schaltungsträger 60 und der Leiterplatte 40 zu gewährleisten und die Leiterplatte 40 zu fixieren. Der Haltekleber 5 wird beispielsweise an Grundflächen der Aussparungen oder Aufnahmetaschen des Schaltungsträgers 60 eingebracht und der Leitkleber wird beispielsweise auf die zweiten Kontaktstellen 46 der Leiterplatte 40 aufgebracht. Alternativ können die ersten Kontaktstellen 66 am Grundkörper 62 des Schaltungsträgers 60 als federelastische Kontaktelemente ausgeführt werden, welche eine zur Einsteckrichtung der Leiterplatte 40 senkrechte Kraft auf die zweiten Kontaktstellen 46 der Leiterplatte 40 ausüben und gleichzeitig die in die Aussparungen oder Aufnahmetaschen der äußeren Fügegeometrie 64 eingesteckte Leiterplatte 40 fixieren, so dass auf den Haltekleber 5 und den Leitkleber 7 an dieser Stelle verzichtet werden kann. Am anderen Ende weist der Grundträger 42 der Leiterplatte 40 nicht näher bezeichnete Kontaktstellen auf, welche von korrespondierenden Gegenkontaktstellen des Grundkörpers 32 der Stützeinheit 30 kontaktiert sind. Der Grundkörpers 32 der Stützeinheit 30 umfasst zwei Halbschalen 32.1, 32.2, welche im dargestellten Ausführungsbeispiel jeweils als Kunststoffspritzteil ausgeführt sind, in welches Stanzgitter eingebettet sind, welche die Kontaktstellen 34 der externen Schnittstelle 26 sowie Durchkontaktierungen und Gegenkontaktstellen ausbilden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 102014221365 A1 [0003]

Claims (10)

  1. Druckmesszelle (50) mit einem Träger (52), welcher eine Messmembran (52.1) ausbildet, welche sich unter Einwirkung eines zu erfassenden Druckes verformt, wobei auf dem Träger (52) eine Messstruktur (55) aufgebracht ist, welche die Verformung der Messmembran (52.1) erfasst und mindestens ein den erfassten Druck repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt, welches über mindestens eine erste Bondfläche (56.3) ausgebbar ist, welche mit einem Bonddraht (58) kontaktiert ist, wobei eine Schutzschicht (57) auf die Messstruktur (55) aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzschicht (57) die Messstruktur (55) und die mindestens eine erste Bondfläche (56.3) bedeckt und der Bonddraht (58) die Schutzschicht durchdringt und mit der korrespondierenden ersten Bondfläche (56.3) elektrisch und mechanisch verbunden ist.
  2. Druckmesszelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzschicht (57) aus Siliziumdioxid besteht und eine Schichtdicke im Bereich von 50 bis 200nm aufweist.
  3. Druckmesszelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Messstruktur (55) und einer Oberfläche des Trägers (52) eine Isolationsschicht (54) mit einer Schichtdicke im Bereich von 0,5µm bis 10µm aufgebracht ist.
  4. Druckmesszelle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Messstruktur (55) eine Messbrücke (56) aufweist.
  5. Druckmesszelle nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Messbrücke (56) mehrere Widerstandsbahnen (56.1) und Leitungsbahnen (56.2) umfasst, welche die Widerstandsbahnen (56.1) und/oder die mindestens eine erste Bondfläche (56.3) schaltungsgemäß miteinander verbinden.
  6. Verfahren zum Beschichten und Kontaktieren eines Trägers (52) einer Druckmesszelle (50), welcher eine Messmembran (52.1) ausbildet, wobei eine Messstruktur (55) mit mindestens einer ersten Bondfläche (56.3) auf eine Oberfläche des Trägers (52) aufgebracht wird, wobei die mindestens eine erste Bondfläche (56.3) mit einem Bonddraht (58) kontaktiert wird, und wobei eine Schutzschicht (57) auf die Messstruktur (55) aufgebracht wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzschicht (57) mittels eines atmosphärischen Plasmaverfahrens aufgebracht wird und die Messstruktur (55) und die mindestens eine erste Bondfläche (56.3) bedeckt, wobei der Bonddraht (58) durch einen Bondprozess durch die Schutzschicht (57) gedrückt wird und mit der korrespondierenden ersten Bondfläche (56.3) elektrisch und mechanisch verbunden wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass Hexamethyldisiloxan als Präkursor im atmosphärischen Plasmaverfahren verwendet wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Messstruktur (55) vor dem Aufbringen der Schutzschicht (57) mit einem atmosphärischen Plasmastrahl gereinigt wird und die Schutzschicht (57) nach dem Aufbringen mit einem atmosphärischen Plasmastrahl ausgehärtet wird.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Aufbringen der Messstruktur (55) eine Isolationsschicht (54) auf die Oberfläche des Trägers (52) mittels eines atmosphärischen Plasmaverfahrens aufgebracht wird.
  10. Drucksensoreinheit (1) mit einer Schutzhülse (20), in welcher eine Druckmesszelle (50), ein Schaltungsträger (60) und eine Anschluss- und Schaltungsvorrichtung (3) mit einer senkrecht zur Oberfläche des Schaltungsträgers (60) angeordneten Leiterplatte (40), welche eine elektronische Schaltung (44) mit mindestens einem elektronischen und/oder elektrischen Bauteil (44.1, 44.2) trägt, und eine Stützeinheit (30) angeordnet sind, welche einen Grundkörper (32) mit einer Außenkontur (37) umfasst und die Schutzhülse (20) verschließt, wobei die Druckmesszelle (50) mit einem Sensorträger (10) verbunden ist, welcher einen Befestigungsflansch (12) mit einem Verbindungsbereich (16) für die Schutzhülse (20) aufweist, wobei ein Grundkörper (62) des Schaltungsträgers (60) mit dem Sensorträger (10) mechanisch verbunden ist und eine interne Schnittstelle (24) aufweist, welche mindestens ein elektrisches Ausgangssignal der Druckmesszelle (50) abgreift und an die elektronische Schaltung (44) anlegt, wobei der Grundkörper (32) der Stützeinheit (30) eine externe Schnittstelle (26) mit mindestens einem elektrischen Außenkontakt (34) ausbildet, über welchen mindestens ein Ausgangssignal der elektronischen Schaltung (44) abgreifbar ist, wobei der mindestens eine Außenkontakt (34) über eine elektrische Verbindung mit einer korrespondierenden Kontaktstelle der Leiterplatte (40) elektrisch verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckmesszelle (50) nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 5 ausgebildet ist.
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