DE102016202467A1 - Regler zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, insbesondere eines Mikrospiegels, Ansteuersystem, Mikrospiegelsystem und Verfahren zum Ansteuern eines mikromechanischen Aktors - Google Patents
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Abstract
Es wird ein Regler zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, insbesondere eines Mikrospiegels, vorgeschlagen mit einem Sollwerteingang zum Empfangen eines Sollwertsignals, mit einem Istwerteingang zum Empfangen eines Istwertsignals, mit einem Sollwertfilter, welches dazu ausgebildet ist, eine erste vorgegebene Frequenz oder ein erstes vorgegebenes Frequenzband in dem empfangen Sollwertsignal zu dämpfen, um ein gefiltertes Sollwertsignal bereitzustellen, mit einem Differenzierer, welcher dazu ausgebildet ist, eine zeitliche Ableitung des empfangenen Istwertsignals bereitzustellen, mit einem Reglerkern, welcher dazu ausgebildet ist, anhand einer Regelabweichung zwischen dem gefilterten Sollwertsignal und dem Istwertsignal ein Stellgrößensignal für den mikromechanischen Aktor bereitzustellen, mit einem Phasendrehelement, welches dazu ausgebildet ist, die Phase der Differenz von Stellgrößensignal und der Ableitung des Istwertsignals für eine zweite Frequenz oder in einem vorgegebenen zweiten Frequenzband zu modifizieren, um ein modifiziertes Stellgrößensignal bereitzustellen, und mit einem ersten Stellgrößenfilter, welches dazu ausgebildet ist, eine vorgegebene dritte Frequenz in dem Stellgrößensignal zu unterdrücken, um ein gefiltertes Stellgrößensignal für den mikromechanischen Aktor bereitzustellen.
Description
- Stand der Technik
- Die Erfindung geht aus von einem Regler zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie einem Verfahren zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors nach dem Oberbegriff des Anspruchs 8.
- Ein Mikrospiegelsystem mit einem Ansteuersystem, welches einen solchen Regler aufweist, und ein entsprechendes Verfahren zur Ansteuerung werden in der
DE 10 2013 217 102 A1 beschrieben. Der Regler weist einen Sollwerteingang zum Empfangen eines Sollwertsignals sowie einen Istwerteingang zum Empfangen eines Istwertsignals auf. Das empfangene Sollwertsignal wird mittels eines Sollwertfilters in einem vorgegebenen ersten Frequenzband gefiltert, um ein gefiltertes Sollwertsignal bereitzustellen. Ein Differenzierer stellt anhand des empfangenen Istwertsignals eine zeitliche Ableitung des Istwertsignals bereit. Ferner ist ein Reglerkern vorgesehen, welcher anhand einer Regelabweichung zwischen dem gefilterten Sollwertsignal und dem Istwertsignal ein Stellgrößensignal für den mikromechanischen Aktor bereitstellt. Es wird die Differenz von Stellgrößensignal und der Ableitung des Istwertsignals gebildet und die Phase dieser Differenz wird in einem vorgegebenen, zweiten Frequenzband modifiziert, um ein modifiziertes Stellgrößensignal zu erhalten. - Mit diesem Regler kann die unerwünschte Anregung von einer ersten Resonanzfrequenz des mikromechanischen Aktors ausreichend gedämpft werden. Allerdings werden Resonanzen höherer Ordnung mit dem bekannten Regler nur unzureichend gedämpft, so dass es zu unerwünschten Schwingungen des mikromechanischen Aktors kommen kann. Vor diesem Hintergrund ist es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Anregung von Resonanzen höherer Ordnung mit einem möglichst geringen technischen Aufwand zu verringern.
- Offenbarung der Erfindung
- Bei dem erfindungsgemäßen Regler, dem erfindungsgemäßen Ansteuersystem und dem erfindungsgemäßen Mikrospiegelsystem wird die Aufgabe durch ein erstes Stellgrößenfilter gelöst, welches derart ausgebildet ist, eine vorgegebene dritte Frequenz in dem modifizierten Stellgrößensignal zu unterdrücken, um ein gefiltertes Stellgrößensignal für den mikromechanischen Aktor bereitzustellen. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird zur Lösung der Aufgabe eine dritte Frequenz in dem modifizierten Stellgrößensignal unterdrückt, um ein gefiltertes Stellgrößensignal für den mikromechanischen Aktor bereitzustellen.
- Gegenüber dem Stand der Technik ergibt sich der Vorteil, dass solche Frequenzen in dem modifizierten Stellgrößensignal, welche den Resonanzfrequenzen und/oder Antiresonanzfrequenzen des mikromechanischen Aktors entsprechen, bei entsprechender Wahl der vorgegebenen dritten Frequenz mittels des ersten Stellgrößenfilters unterdrückt werden können. Der mikromechanische Aktor kann mit einem gefilterten Stellgrößensignal betrieben werden. Insofern wird eine Anregung des mikromechanischen Aktors in einem Frequenzband, in welchem dieser Resonanzfrequenzen aufweist, möglichst unterbunden. Es ist nicht erforderlich, die Bandbreite des Reglerkerns zu erhöhen, um die Resonanzfrequenzen mit höherer Ordnung zu unterdrücken, so dass der der erforderliche technische Aufwand möglichst gering gehalten werden kann.
-
- f3:
- dritte Frequenz
- q:
- Güte-Faktor
- Bevorzugt wird das Sollwertsignal als im Zeitbereich vorliegende Führungsgröße bereitgestellt. Das Istwertsignal kann als im Zeitbereich vorliegende Regelgröße bereitgestellt werden. Das gefilterte Stellgrößensignal kann einem Steuereingang eines mikromechanischen Aktors zugeführt werden. Bevorzugt ist ein Positionssensor vorgesehen, über welchen eine Stellung des Aktors erfassbar ist. Der Positionssensor kann ein Istwertsignal erzeugen, welches dem Regler zugeführt wird.
- Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung weist der Regler ein zweites Stellgrößenfilter auf, welches dazu ausgebildet ist, eine vorgegebene, vierte Frequenz in dem modifizierten Stellgrößensignal zu unterdrücken. Über das zweite Stellgrößenfilter ist es möglich, zusätzlich zu der dritten Frequenz, welche mittels des ersten Stellgrößenfilters unterdrückt wird, eine weitere, vierte Frequenz in dem modifizierten Stellgrößensignal zu dämpfen. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird bevorzugt eine vorgegebene vierte Frequenz in dem Stellgrößensignal unterdrückt.
-
- f4:
- vierte Frequenz
- q:
- Güte-Faktor
- In diesem Zusammenhang ist es besonders bevorzugt, wenn das erste Stellgrößenfilter und das zweite Stellgrößenfilter in Reihe geschaltet sind. Bei einer Reihenschaltung des ersten Stellgrößenfilters mit dem zweiten Stellgrößenfilter ergibt sich eine gemeinsame Übertragungsfunktion NO(s) der Stellgrößenfilter, welche dem Produkt der Übertragungsfunktionen der beiden Stellgrößenfilter entspricht:
NO(s) = NO1(s)·NO2(s) (Gleichung 3) - Als vorteilhaft hat sich eine Ausgestaltung erwiesen, bei welcher die vorgegebene dritte Frequenz und die vorgegebene vierte Frequenz weniger als 10 kHz beabstandet sind, bevorzugt weniger als 5 kHz, besonders bevorzugt weniger als 3 kHz. Durch einen derart geringen Abstand der dritten Frequenz von der vierten Frequenz kann erreicht werden, dass sich die Frequenzbereiche, in welchen die Stellgrößenfilter eine dämpfende Wirkung haben, überlappen. Die beiden Stellgrößenfilter können auf diese Weise ein gemeinsames Stellgrößenfilter mit einem vergrößerten Frequenzbereich bilden, in welchem unerwünschte Resonanzen des mikromechanischen Aktors unterdrückt werden können.
- Bevorzugt sind das erste Stellgrößenfilter und/oder das zweite Stellgrößenfilter als Kerbfilter ausgebildet. Kerbfilter (engl. notch filter) sind Bandsperrfilter, welche in einem sehr engen Frequenzband, insbesondere bei genau einer Frequenz, eine starke Dämpfung aufweisen.
- Das Sollwertfilter kann als Kerbfilter, als FIR-Filter (engl. finite impulse response filter) oder als IIR-Filter (engl. infinite impulse response filter) ausgestaltet sein.
- Dem Reglerkern kommt bei dem erfindungsgemäßen Regler die Aufgabe zu, die Regelabweichung möglichst gering zu halten. Der Reglerkern kann beispielsweise als P-Regler, PD-Regler, PI-Regler oder PID-Regler ausgestaltet sein. Alternativ kann der Reglerkern ein Regler dritter oder höherer Ordnung sein. Der Reglerkern kann ein oder mehrere I-Elemente, D-Elemente, P-Elemente, Lead-Elemente (phasenanhebende Elemente), Lag-Elemente (phasensenkende Elemente) oder Kerbfilterelemente aufweisen.
- Das Phasendrehelement ist bevorzugt derart ausgebildet, dass es ein Abfallen der Phase der Differenz von Stellgrößensignal und der Ableitung des Istwertsignals unter einen Wert von –180° verhindert, so dass eine ausreichende Phasenreserve des Reglers erhalten werden kann. Beispielsweise kann das Phasendrehelement dazu ausgebildet sein, eine Phase im Bereich von –180° bis –360° auf eine Phase im Bereich von 0° bis –180° abzubilden. Bevorzugt weist das Phasendrehelement eine Übertragungsfunktion nullter Ordnung auf.
- Das erfindungsgemäße Ansteuersystem zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors weist einen Signalgenerator zur Erzeugung eines Sollwertsignals auf. Ferner umfasst das Ansteuersystem eine erste Signalaufbereitungseinheit zur Aufbereitung eines Stellgrößensignals für den mikromechanischen Aktor und eine zweite Signalaufbereitungseinheit zur Aufbereitung eines Istwertsignals. Über einen vorstehend beschriebenen Regler zur Ansteuerung des mikromechanischen Aktors ist das Stellgrößensignal anhand des Sollwertsignals und des Istwertsignal bereitstellbar.
- Das erfindungsgemäße Mikrospiegelsystem weist mindestens einen als Mikrospiegel ausgebildeten mikromechanischen Aktor und ein vorstehend genanntes Ansteuersystem auf.
- Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
- Kurze Beschreibung der Zeichnungen
-
1 zeigt ein Bode-Diagramm der Übertragungsfunktion eines mikromechanischen Aktors. -
2 zeigt ein Blockdiagramm eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Mikrospiegelsystems. -
3 zeigt ein Sollwertsignal im Zeitbereich. -
4 zeigt ein Sollwertsignal im Frequenzraum. -
5 zeigt ein Blockdiagramm eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Reglers. -
6 zeigt ein Bodediagramm einer Reihenschaltung zweier Stellgrößenfilter. -
7 zeigt ein Bodediagramm einer Reihenschaltung zweier Stellgrößenfilter und eines mikromechanischen Aktors. - Ausführungsformen der Erfindung
- Die
1 zeigt in einem Bode-Diagramm einer beispielhaften Übertragungsfunktion eines als Mikrospiegel ausgebildeten mikromechanischen Aktors25 , welcher als Teil eines Mikrosystems24 in einem Projektionssystem verwendet werden kann. Das Bode-Diagramm zeigt in seinem oberen Teil den Amplitudengang und in seinem unteren Teil den Phasengang. Die Übertragungsfunktion beschreibt das Verhältnis zwischen dem Eingangssignal des mikromechanischen Aktors25 und einem Ausgangssignal eines Sensors, welcher die tatsächliche Auslenkung des mikromechanischen Aktors25 erfasst. Dem Bode-Diagramm kann entnommen werden, dass die Übertragungsfunktion des Aktors25 mehrere mechanische Resonanzstellen R1, R2, R3, R4 aufweist. Insbesondere umfasst die Übertragungsfunktion mehrere Resonanzfrequenzen, bei denen der Amplitudengang jeweils ein Maximum aufweist. Ferner sind mehrere Antiresonanzstellen A1, A2, A3 erkennbar, bei welchen der Amplitudengang jeweils ein Minimum aufweist. Insofern ist der mikromechanische Aktor25 schwingungsfähig. - In der
2 ist ein Blockdiagramm eines beispielhaften Mikrospiegelsystems24 dargestellt, welches einen derartigen mikromechanischen Aktor25 aufweist. Der mikromechanische Aktors25 des Mikrospiegelsystems24 wird in einem quasi-statischen Betrieb mit einer Grundfrequenz von ca. 60 Hz angeregt. Um mechanische Resonanzen des Aktors25 zu vermeiden, weist das Ansteuersystem einen Regler1 auf. Dem Regler1 wird ein Sollwertsignal4 zugeführt, welches von einem Signalgenerator21 erzeugt wird. Der Regler1 erzeugt ein erstes Stellgrößensignal5 , welches in einer ersten Signalaufbereitungseinheit22 aufbereitet und als zweites Stellgrößensignal7 dem mikromechanischen Aktor25 zugeleitet wird. Die erste Signalaufbereitungseinheit22 umfasst einen Reihenschaltung eines Digital/Analog-Wandlers26 , eines Tiefpassfilters27 und eines Treibers28 . - Der mikromechanische Aktor
25 ist als Mikrospiegel ausgebildet und weist eine nicht näher dargestellte Erfassungseinrichtung auf, über welche die Auslenkung des mikromechanischen Aktors25 erfassbar ist. Die Erfassungseinrichtung stellt ein erstes Istwertsignal8 bereit. Das erste Istwertsignal8 wird in einer zweiten Signalaufbereitungseinheit23 aufbereitet und als zweites Istwertsignal6 an den Regler1 weitergeleitet. Die zweite Signalaufbereitungseinheit23 umfasst eine Reihenschaltung eines Antialiasing-Filters29 mit einem Analog/Digital-Wandler30 und einer Abgleicheinheit31 . - Die
3 zeigt mehrere beispielhafte Verläufe eines Sollwertsignals4 , welches durch den Signalgenerator21 bereitgestellt wird. Das Sollwertsignal4 ist ein periodisches Sägezahnsignal mit einer vorgegebenen Grundfrequenz von ca. 60 Hz, so dass das Mikrospiegelsystem eine Projektion mit einer Bildwiederholrate von ca. 60 Bildern/s erzeugen kann. - In der
4 ist ein Spektrum des Sollwertsignals4 wiedergegeben. Neben der Grundfrequenz von ca. 60 Hz umfasst das Sollwertsignal4 zusätzlich gerade und ungerade harmonische Oberschwingungen der Grundfrequenz, z:B. bei 120 Hz, 180Hz usw. Von den Frequenzanteilen dieser Oberschwingungen geht die Gefahr aus, dass die zuvor beschriebenen mechanischen Resonanzen des mikromechanischen Aktors25 angeregt werden können, welche bei Frequenzen oberhalb der Grundfrequenz des Sollwertsignals4 liegen. Die Anregung dieser Resonanzen kann zu fehlerhaften Projektionen führen, beispielsweise zu unerwünschten Hell-Dunkel-Verläufen. - Die
5 zeigt ein Blockdiagramm eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Reglers1 zur Ansteuerung des mikromechanischen Aktors25 . - Der Regler weist einen Sollwerteingang
100 zum Empfangen des Sollwertsignals4 auf. Das Sollwertsignal4 wird einem Sollwertfilter101 zugeleitet, welches dazu ausgebildet ist, eine vorgegebene Frequenz oder ein vorgegebenes Frequenzband in dem empfangen Sollwertsignal4 zu dämpfen, um ein gefiltertes Sollwertsignal102 bereitzustellen. Das Sollwertfilter ist als FIR-Filter, als IIR-Filter oder als Kerbfilter ausgebildet. - Ferner ist ein Istwerteingang
116 zum Empfangen des Istwertsignals6 vorgesehen. Das Istwertsignal6 wird einem ersten Subtrahierer103 zugeführt, welcher die Differenz des gefilterten Sollwertsignals102 und des Istwertsignals116 bildet, welche als Regelabweichung104 bezeichnet wird. Die Regelabweichung104 wird einem als PID-Regler ausgebildeten Reglerkern105 des Reglers1 zugeführt, welcher anhand der Regelabweichung104 ein Stellgrößensignal106 erzeugt. - Der Regler weist zudem einen Differenzierer
113 auf, der eine zeitliche Ableitung114 des empfangenen Istwertsignals6 bildet. In einem zweiten Komparator107 wird die Differenz108 aus dem Stellgrößensignal106 und der zeitliche Ableitung114 des empfangenen Istwertsignals6 gebildet. Diese Differenz108 wird einem Phasendrehelement109 zugeführt. Das Phasendrehelement109 ist dazu ausgebildet ist, die Phase der Differenz108 von Stellgrößensignal106 und der Ableitung114 des Istwertsignals6 für eine zweite Frequenz oder in einem vorgegebenen zweiten Frequenzband zu modifizieren, um ein modifiziertes Stellgrößensignal110 bereitzustellen. - Um die Anregung von Resonanzen höherer Ordnung zu verhindern, wird das modifizierte Stellgrößensignal
110 einer Serienschaltung aus einem ersten Stellgrößenfilter111 und einem zweiten Stellgrößenfilter112 zugeführt. Beide Stellgrößenfilter111 ,112 sind als Kerbfilter ausgebildet. Mittels des ersten Stellgrößenfilters111 wird eine vorgegebene dritte Frequenz in dem modifizierten Stellgrößensignal110 unterdrückt. Das zweite Stellgrößenfilter112 unterdrückt eine vorgegebene, vierte Frequenz. Insofern wird an einem Stellgrößenausgang115 ein gefiltertes Stellgrößensignal5 für den mikromechanischen Aktor25 bereitgestellt. - Das erste Stellgrößenfilter
111 und das zweite Stellgrößenfilter112 sind derart dimensioniert, dass die vorgegebene dritte Frequenz f3 und die vorgegebene vierte Frequenz f4 weniger als 10 kHz beabstandet sind, bevorzugt weniger als 5 kHz, besonders bevorzugt weniger als 3 kHz. - Die
6 zeigt ein Bodediagramm einer Reihenschaltung des ersten Stellgrößenfilters111 mit dem zweiten Stellgrößenfilter112 . Die Übertragungsfunktion dieser Reihenschaltung ergibt sich nach Gleichung 3. Die Reihenschaltung weist bei der dritten Frequenz f3 und vierten Frequenz f4 eine hohe Dämpfung auf. Im Bereich zwischen der dritten Frequenz f3 und vierten Frequenz f4 weist der Amplitudengang eine Dämpfung von ca. 40dB auf, so dass auch Frequenzen im Frequenzband zwischen der dritten Frequenz f3 und vierten Frequenz f4 unterdrückt werden. -
7 zeigt ein Bodediagramm einer Reihenschaltung des ersten Stellgrößenfilters111 mit dem zweiten Stellgrößenfilter112 und mit dem mikromechanischen Aktor25 . Im Vergleich zu dem in1 gezeigten Bodediagramm des Aktors25 ist zu erkennen, dass die Resonanzstelle R4 durch die Reihenschaltung von erstem Stellgrößenfilter111 und zweitem Stellgrößenfilter112 gedämpft ist. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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- Zitierte Patentliteratur
-
- DE 102013217102 A1 [0002]
Claims (10)
- Regler zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors (
25 ), insbesondere eines Mikrospiegels, mit einem Sollwerteingang (100 ) zum Empfangen eines Sollwertsignals (4 ), mit einem Istwerteingang (116 ) zum Empfangen eines Istwertsignals (6 ), mit einem Sollwertfilter (101 ), welches dazu ausgebildet ist, eine erste vorgegebene Frequenz oder ein erstes vorgegebenes Frequenzband in dem empfangen Sollwertsignal (4 ) zu dämpfen, um ein gefiltertes Sollwertsignal (102 ) bereitzustellen, mit einem Differenzierer (113 ), welcher dazu ausgebildet ist, eine zeitliche Ableitung (114 ) des empfangenen Istwertsignals (6 ) bereitzustellen, mit einem Reglerkern (105 ), welcher dazu ausgebildet ist, anhand einer Regelabweichung (104 ) zwischen dem gefilterten Sollwertsignal (102 ) und dem Istwertsignal (6 ) ein Stellgrößensignal (106 ) für den mikromechanischen Aktor (25 ) bereitzustellen, mit einem Phasendrehelement (109 ), welches dazu ausgebildet ist, die Phase der Differenz (108 ) von Stellgrößensignal (196 ) und der Ableitung (114 ) des Istwertsignals (6 ) für eine zweite Frequenz oder in einem vorgegebenen zweiten Frequenzband zu modifizieren, um ein modifiziertes Stellgrößensignal (110 ) bereitzustellen, gekennzeichnet durch ein erstes Stellgrößenfilter (111 ), welches dazu ausgebildet ist, eine vorgegebene dritte Frequenz in dem modifizierten Stellgrößensignal (110 ) zu unterdrücken, um ein gefiltertes Stellgrößensignal (5 ) für den mikromechanischen Aktor (25 ) bereitzustellen. - Regler nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein zweites Stellgrößenfilter (
112 ), welches dazu ausgebildet ist, eine vorgegebene vierte Frequenz in dem modifizierten Stellgrößensignal (110 ) zu unterdrücken. - Regler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Stellgrößenfilter (
111 ) und das zweite Stellgrößenfilter (112 ) in Reihe geschaltet sind. - Regler nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebene dritte Frequenz und die vorgegebene vierte Frequenz weniger als 10 kHz beabstandet sind, bevorzugt weniger als 5 kHz, besonders bevorzugt weniger als 3 kHz.
- Regler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Stellgrößenfilter (
111 ) und/oder das zweite Stellgrößenfilter (112 ) als Kerbfilter ausgebildet sind. - Ansteuersystem zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors (
25 ), insbesondere eines Mikrospiegels, mit einem Signalgenerator (21 ) zur Erzeugung eines Sollwertsignals (4 ), mit einer ersten Signalaufbereitungseinheit (22 ) zur Aufbereitung eines Stellgrößensignals (5 ) für den mikromechanischen Aktor (25 ) und mit einer zweiten Signalaufbereitungseinheit (23 ) zur Aufbereitung eines Istwertsignals (8 ), gekennzeichnet durch einen Regler (1 ) zur Ansteuerung des mikromechanischen Aktors (25 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, über welchen das Stellgrößensignal (5 ) anhand des Sollwertsignals (4 ) und des Istwertsignal (8 ) bereitstellbar ist. - Mikrospiegelsystem mit einem als Mikrospiegel ausgebildeten mikromechanischen Aktor (
25 ) und mit einem Ansteuersystem (20 ) nach Anspruch 6. - Verfahren zum Ansteuern eines mikromechanischen Aktors (
25 ), insbesondere eines Mikrospiegels, mit den Verfahrensschritten: – Empfangen eines Sollwertsignals (4 ); – Empfangen eines Istwertsignals (6 ); – Dämpfen einer vorgegeben, ersten Frequenz oder eines vorgegebenen ersten Frequenzbands in dem empfangen Sollwertsignal (4 ), um ein gefiltertes Sollwertsignal (102 ) bereitzustellen; – Bereitstellung einer zeitlichen Ableitung (114 ) des empfangenen Istwertsignals (6 ); – Bereitstellen eines Stellgrößensignals (106 ) für den mikromechanischen Aktor (25 ) anhand einer Regelabweichung (104 ) zwischen dem gefilterten Sollwertsignal (102 ) und dem Istwertsignal (6 ); – Modifizieren der Phase der Differenz (108 ) von Stellgrößensignal (106 ) und der zeitlichen Ableitung (114 ) des Istwertsignals (6 ) bei einer vorgegebenen, zweiten Frequenz oder in einem vorgegebenen, zweiten Frequenzband, um ein modifiziertes Stellgrößensignal (110 ) bereitzustellen; dadurch gekennzeichnet, dass eine dritte Frequenz in dem modifizierten Stellgrößensignal (110 ) unterdrückt wird, um ein gefiltertes Stellgrößensignal (5 ) für den mikromechanischen Aktor (25 ) bereitzustellen. - Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine vorgegebene vierte Frequenz in dem modifizierten Stellgrößensignal (
110 ) unterdrückt wird. - Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebene dritte Frequenz und die vorgegebene vierte Frequenz weniger als 10 kHz beabstandet sind, bevorzugt weniger als 5 kHz, besonders bevorzugt weniger als 3 kHz.
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