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Die Erfindung betrifft einen Gassensor. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Vorrichtung und ein Verfahren zur verbesserten Bestimmung der Konzentration eines Gases.
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Stand der Technik
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Ein Gassensor ist dazu eingerichtet, die Konzentration eines vorbestimmten Gases, beispielsweise Ozon, in einem fluiden Medium wie Luft zu bestimmen. Dazu verfolgt der Gassensor das indirekte Messprinzip, bei dem ein gassensitives Element vorgesehen ist, an dem ein Parameter bestimmbar ist, der von der Gaskonzentration beeinflusst werden kann. Idealerweise ist der Parameter nur von der Konzentration des zu messendes Gases abhängig (Selektivität). Schon kleine Änderungen der Gaskonzentration sollen den Parameter messbar beeinflussen (Sensitivität). Zwischen der Gaskonzentration und dem messbaren Parameter sollte ein definierter Zusammenhang bestehen (Genauigkeit). Die zu messende Eigenschaft sollte sich möglichst schnell mit der Gaskonzentration ändern (kurze Messzeit). Außerdem sollen diese Änderungen reversibel sein (Lebensdauer des Sensors). Die Konzentration sollte mit geringem Aufwand zu messen sein (Kosten und Miniaturisierbarkeit) und das Messverfahren soll nur wenig Energie benötigen, um für eine mobile Anwendung, beispielsweise in einem Smartphone, geeignet zu sein.
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Ein klein bauender und indirekt messender Gassensor basiert üblicherweise auf einem Feldeffekttransistor (FET) oder einer Metalloxidschicht (MOX-Schicht). Bei den FET-basierten Sensoren beeinflusst das zu messende Gas meist die Austrittsarbeit einer auf der Gateelektrode angebrachten gassensitiven Schicht und verursacht damit meist eine Änderung des Source-Drain-Stroms. Beispiele für solche Sensoren sind in den Anmeldungen
DE 10 2008 048 715 oder
EP 1 104 884 82 beschrieben.
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Bei den Gassensoren, die auf einer MOX-Schicht basieren, wird der elektrische Widerstand einer beheizbaren MOX-Schicht gemessen. Dieser Widerstand verändert sich durch die Anwesenheit von bestimmten Gasen und deren chemischer Interaktion mit der MOX-Schicht (Oxidations- und Reduktionsvorgänge). Um die Sensitivität und Selektivität des Sensors für ein vorbestimmtes Gas zu kontrollieren, kann die MOX-Schicht beheizbar sein. Mittels einer thermischen Stimulation kann der Sensor in einem definierten Zustand gehalten werden, um die gewünschte Messgenauigkeit zu gewährleisten. Die thermische Stimulation wird auch Regeneration genannt. Andere Arten der Regeneration sind ebenfalls möglich, beispielsweise optisch.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen verbesserten, indirekt messenden Gassensor anzugeben. Die Erfindung löst diese Aufgabe mittels der Gegenstände der unabhängigen Ansprüche. Unteransprüche geben bevorzugte Ausführungsformen wieder.
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Offenbarung der Erfindung
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Ein Verfahren zum Bestimmen einer Gaskonzentration umfasst Schritte des Absorbierens des Gases mittels eines gassensitiven Elements; des Bestimmens einer Änderungsgeschwindigkeit eines Parameters des Elements in einem vorbestimmten Zeitraum, wobei der Parameter von der Menge des absorbierten Gases abhängig ist; des Stimulierens des Elements, um eine Desorption des Gases aus dem Element zu beschleunigen, wobei das Stimulieren derart erfolgt, dass die Konzentration des Gases im Element außerhalb eines Gleichgewichtszustands liegt; und des Bestimmens der Gaskonzentration auf der Basis der Änderungsgeschwindigkeit.
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Es wurde erkannt, dass nicht gewartet werden muss, bis sich der Sensor mit dem Gas in einem Gleichgewichtszustand befindet, um die Gaskonzentration zu bestimmen. Bis der Gleichgewichtszustand eingenommen ist, vergehen üblicherweise Zeiten im Bereich von bis zu mehreren Minuten. Um eine raschere Messung zur ermöglichen, kann es ausreichen, die Änderungsgeschwindigkeit des Parameters des Elements zu bestimmen. Dabei wird der Sensor bewusst in einem Zustand außerhalb des Gleichgewichts gehalten. Dazu kann der Sensor alternativ in Abhängigkeit der Änderungsgeschwindigkeit oder zeitgesteuert, insbesondere periodisch, stimuliert werden. Dadurch kann die Konzentration des Gases schnell und kostengünstig bestimmt werden und ein Energieverbrauch des Verfahrens kann reduziert sein. Der vorbestimmte Zeitraum, in dem die Änderungsgeschwindigkeit bestimmt wird, liegt bevorzugterweise möglichst unmittelbar nach dem Beginnen oder Beenden des Stimulierens des Elements. Zu diesen Zeitpunkten ist die Änderungsgeschwindigkeit vorteilhaft groß, sodass der Messfehler relativ klein sein kann. Außerdem kann die Größe des Zeitfensters dadurch kleiner gewählt sein, sodass die Bestimmung weniger Zeit in Anspruch nehmen kann.
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Bevorzugterweise erfolgt das Stimulieren periodisch, um die Konzentration des Gases im Element in einem vorbestimmten Bereich zu halten. Anders ausgedrückt ist bevorzugt, durch alternierendes Stimulieren und Auslassen des Stimulus das Element in einem vorbestimmten Bereich des Nichtgleichgewichtszustands zu halten. Beispielsweise kann angestrebt werden, das Element in einem Bereich zu halten, in dem der Parameter ca. 50 bis 80 % des Werts im Gleichgewichtszustand beträgt. Dadurch kann gezielt die Änderungsgeschwindigkeit auch mehrfach hintereinander bestimmt werden.
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Es ist besonders bevorzugt, dass die Änderungsgeschwindigkeit unmittelbar nach dem Abschalten des Stimulus der Bestimmung der Gaskonzentration zugrunde gelegt wird. Es hat sich gezeigt, dass der Parameter direkt nach dem Ausschalten des Stimulus besonders stabil ist und eine rauscharme Bestimmung des Parameters erlaubt. Dies ist zum Teil darauf zurückzuführen, dass die Messwerte bei abgeschaltetem Stimulus nicht von der Stimulation und damit nicht von möglichen Schwankungen oder möglichem Rauschen abhängig sind. Auf der Basis der Änderungsgeschwindigkeit kann die Gaskonzentration verbessert bestimmt werden.
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Es ist besonders bevorzugt, dass die Gaskonzentration K auf der Basis des Zusammenhangs
bestimmt wird, wobei R der Parameter ist und B ungefähr 2 beträgt. Anders ausgedrückt hängt die Gaskonzentration über das Potenzgesetz von der Änderungsgeschwindigkeit ab, wobei die Potenz der Änderungsgeschwindigkeit praktisch immer ungefähr einen Wert von 2 aufweist. Als freier Parameter existiert in der oben angegebenen Formel dann nur noch A. Dieser eine freie Parameter kann eine einfache und kostengünstige Kalibration des Verfahrens mit nur einem Messwert erlauben. Eine solche Kalibration ist besonders geeignet für Produkte im Bereich der Unterhaltungselektronik, da die Kalibration automatisch durchgeführt werden kann, sobald eine aktuelle Gaskonzentration im Bereich des gassensitiven Elements bekannt ist. Regelmäßige Kalibrierungen ermöglichen es, einer möglichen Sensordrift effektiv entgegenzuwirken. In weiteren Ausführungsformen können auch komplexere Modelle zur Abgleichung bzw. zum Kalibrieren verwendet werden.
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Es ist besonders bevorzugt, dass der Parameter elektrisch bestimmt wird. Insbesondere kann der Parameter das Durchlassverhalten eines Transistors oder den elektrischen Widerstand des Elements betreffen. In anderen Ausführungsformen kann der Parameter auch beispielsweise optisch ausgelesen werden. Dabei ist ein physischer Kontakt zum gassensitiven Element für das Messen nicht erforderlich.
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Das Stimulieren kann ebenfalls auf unterschiedliche Weisen erfolgen. In einer ersten Ausführungsform wird das gassensitive Element zur Stimulation erwärmt, in einer zweiten Ausführungsform mittels Licht einer vorbestimmten Wellenlänge bestrahlt und in einer dritten Ausführungsform einem elektrischen Feld ausgesetzt. Andere Stimuli, die jeweils ein Entfernen von absorbiertem Gas aus dem gassensitiven Element zum Ziel haben, sind ebenfalls möglich.
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Eine Messvorrichtung zur Bestimmung einer Gaskonzentration umfasst ein gassensitives Element zur Absorption des Gases; eine Abtastvorrichtung zur Bestimmung eines Parameters des Elements, wobei der Parameter von der absorbierten Menge des Gases abhängig ist; eine Stimulationseinrichtung zur Stimulation des Elements, um eine Desorption des Gases aus dem Element zu beschleunigen; und eine Verarbeitungseinrichtung. Dabei ist die Verarbeitungseinrichtung dazu eingerichtet, eine Änderungsgeschwindigkeit des Parameters in einem vorbestimmten Zeitraum zu bestimmen, das Stimulieren so zu steuern, dass die Konzentration des Gases im Element außerhalb eines Gleichgewichtszustands liegt, und die Gaskonzentration auf der Basis der Änderungsgeschwindigkeit zu bestimmen.
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Die Messvorrichtung kann klein und kompakt aufgebaut werden und beispielsweise Anwendung in einem mobilen Gerät wie einem Smartphone finden. Ansprech- und Reaktionszeit der Messvorrichtung können gegenüber einer bekannten Messvorrichtung wesentlich verkürzt sein. Ein Energieverbrauch der Messvorrichtung kann verringert sein.
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Es ist besonders bevorzugt, dass das gassensitive Element ein Metalloxid umfasst.
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Kurze Beschreibung der Figuren
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Die Erfindung wird nun mit Bezug auf die beigefügten Figuren genauer beschrieben, in denen:
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1 eine Messvorrichtung zur Bestimmung einer Gaskonzentration;
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2 einen Verlauf eines von der Gaskonzentration abhängigen Parameters an der Messvorrichtung von 1;
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3 Verläufe eines Messsignals bei unterschiedlichen Gaskonzentrationen nach unterschiedlichen Messprinzipien;
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4 den Verlauf des Parameters am gassensitiven Element bei der Messung nach 3;
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5 Gaskonzentrationen, die auf der Basis des Zusammenhangs von 5 bestimmt wurden;
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6 Messwerte, die auf der Basis des Zusammenhangs von 5 bestimmt wurden; und
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7 ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zum Bestimmen einer Gaskonzentration
darstellt.
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Genaue Beschreibung von Ausführungsbeispielen
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Obwohl die erfindungsgemäße Technik auf unterschiedliche Weisen realisierbar ist, wird im Folgenden rein exemplarisch auf das Bestimmen einer Konzentration von Ozon mittels eines Metalloxids abgestellt. Andere Gase sind ebenfalls nachweisbar und statt des Metalloxids kann auch ein anderes Element verwendet werden, insbesondere ein Feldeffekttransistor.
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1 zeigt eine Messvorrichtung 100 zur Bestimmung einer Konzentration eines Gases 105, das insbesondere in einer Umgebungsluft vorliegen kann. Die Messvorrichtung 100 umfasst ein gassensitives Element 110, eine Abtastvorrichtung 115 zur Bestimmung eines Parameters des Elements 110, eine Stimulationseinrichtung 120 und eine Verarbeitungseinrichtung 125. In einer bevorzugten Ausführungsform sind das gassensitive Element 110, die Abtastvorrichtung 115 und die Stimulationseinrichtung 120 miteinander zu einem integrierten Sensor 130 zusammengefasst.
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Das gassensitive Element 110 hat die Eigenschaft, einen Teil des Gases 105 aus einer Umgebung zu absorbieren und in Abhängigkeit einer erfolgten Absorption einen Parameter zu ändern, der mittels der Abtastvorrichtung 115 bestimmt werden kann. In einer Ausführungsform umfasst das Element 110 ein Metalloxid, dessen Widerstand sich ändert, je mehr von dem Gas 105 im Element 110 absorbiert ist. Ob der Parameter mit steigender Konzentration des Gases steigt oder fällt, hängt üblicherweise von dem Gas und insbesondere von seinen Oxidationseigenschaften ab. Wird das Element 110 einer vorbestimmten Gaskonzentration des Gases 105 ausgesetzt, so dauert es üblicherweise eine Zeitspanne im Minutenbereich, bis im Element 110 so viel von dem Gas 105 absorbiert ist, dass sich der Parameter nicht mehr ändert. Dieser Zustand wird Gleichgewichtszustand genannt. Das Element 110 ist bestrebt, den Gleichgewichtszustand durch Absorbieren oder Desorbieren von Gas 105 in Abhängigkeit der Konzentration der Gases 105 in der Umgebung einzunehmen. Ist im Element 110 mehr oder weniger des Gases 105 absorbiert als es der Konzentration des Gases 105 in der Umgebung entspricht, so befindet sich das Element 110 im Nichtgleichgewichtszustand.
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Die Desorption von Gas 105 aus dem Element 110, also das Austreiben von Gaspartikeln aus dem Element 110, kann mittels der Stimulationseinrichtung 120 vorangetrieben werden. Die Stimulationseinrichtung 120 kann beispielsweise eine Lichtquelle, insbesondere eine Leuchtdiode, deren ausgestrahltes Licht eine vorbestimmte Wellenlänge beträgt, umfassen. Diese Wellenlänge kann beispielsweise ca. 450 nm umfassen. In anderen Ausführungsbeispielen kann die Stimulationseinrichtung 120 auch dazu eingerichtet sein, das Element 110 zu erwärmen oder ein elektrisches Feld im Bereich des Elements 110 zu bewirken.
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Die Verarbeitungseinrichtung 125 ist dazu eingerichtet, die Stimulationseinrichtung 120 auf der Basis des mittels der Abtastvorrichtung 115 bestimmten Parameters des Elements 110 derart zu steuern, dass sich das Element 110 in einem vorbestimmten Nichtgleichgewicht bezüglich der umgebenden Gaskonzentration befindet. Dabei soll insbesondere periodisch bzw. intermittierend vorgegangen werden, indem die Stimulationseinrichtung 120 abwechselnd aktiviert und deaktiviert wird. Wie lange die einzelnen Aktivierungs- oder Deaktivierungsphasen dauern, kann insbesondere von dem Parameter des Elements 110 abhängig sein. Ferner soll die Verarbeitungseinrichtung 125 dazu eingerichtet sein, eine Änderungsgeschwindigkeit des Parameters des Elements 110 und die Konzentration des Gases 105 im Bereich des Elements 110 auf der Basis der Änderungsgeschwindigkeit zu bestimmen. Bevorzugterweise ist eine Schnittstelle 135 vorgesehen, über die die Verarbeitungseinrichtung 125 ein Ergebnis der Konzentrationsbestimmung des Gases 105 nach außen bereitstellen kann.
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Das Messprinzip wird im Folgenden mit Bezug auf 2 genauer beschrieben. 2 zeigt einen Verlauf 225 eines Parameters des Elements 110 an der Messvorrichtung 100 von 1. In der dargestellten Ausführungsform soll der Parameter des Elements 110 ein Widerstand sein, der in vertikaler Richtung im dargestellten Diagramm angetragen ist und der mit einer steigenden Menge absorbierten Gases 105 im Element 110 ansteigt. In anderen Ausführungsformen kann aber auch ein anderer Parameter, etwa eine generierte Spannung oder ein Strom, des Elements 110 betroffen sein und der Zusammenhang zwischen dem Parameter und der Konzentration kann auch invers bezüglich der Darstellung von 2 sein. In horizontaler Richtung ist eine Zeit angetragen. In einem linken Bereich ist eine Gleichgewichtsmessung 205 (Gleichgewicht: GG) und in einem rechten Bereich eine Nichtgleichgewichtsmessung 210 (Nichtgleichgewicht: NGG) dargestellt.
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Ferner sind ein erstes Gleichgewicht 215 ohne den Einfluss der Stimulationseinrichtung 120 und ein zweites Gleichgewicht 220 unter Einfluss der Stimulationseinrichtung 120 dargestellt. Ist die Stimulationseinrichtung 120 aktiv, so sinkt der Verlauf 225 zunächst rascher und dann immer langsamer ab und schmiegt sich an das zweite Gleichgewicht 220 an. In entsprechender Weise steigt bei abgeschalteter Stimulationseinrichtung 120 der Verlauf 225 zunächst rasch und dann immer langsamer an und schmiegt sich an das erste Gleichgewicht 215 an.
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Im Rahmen der Gleichgewichtsmessung 205 kann in einer ersten Phase das im Element 110 absorbierte Gas 105 unter Einfluss der Stimulationseinrichtung 120 desorbiert werden, sodass das erste Gleichgewicht 215 nach Abschalten der Stimulationseinrichtung 120 nach einer vorbestimmten Zeit durch den Verlauf 225 erreicht und der Parameter bestimmt werden kann. Die Gleichgewichtsmessung 205 ist relativ zeit- und energieaufwendig.
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Es wird daher vorgeschlagen, im Rahmen einer Nichtgleichgewichtsmessung 210 durch alternierendes Aktivieren und Deaktivieren der Stimulationseinrichtung 120 gezielt einen Nichtgleichgewichtszustand herbeizuführen, der zwischen den Gleichgewichten 215 und 220 liegt. Bevorzugterweise wird der Parameter des Verlaufs 225 in einem vorbestimmten Bereich zwischen den Gleichgewichten 215 und 220 gehalten, beispielsweise durch Einhalten eines vorbestimmten Bereichs von relativen Gleichgewichten, etwa zwischen 20% und 80%. Die Form der Kurvenabschnitte des Verlaufs 225 mit und ohne aktivierter Stimulationseinrichtung 120 ist bekannt und folgt üblicherweise einer umgekehrten e-Funktion. Zur Bestimmung der Konzentration von Gas 105 am Element 110 kann es daher ausreichend sein, einen charakteristischen Einflussfaktor des Kurvensegments zu bestimmen. Dieser Einflussfaktor kann insbesondere die Steilheit des Verlaufs 225 zu einem vorbestimmten Zeitpunkt oder in einem vorbestimmten Zeitraum, insbesondere am Anfang eines Kurvenabschnitts, umfassen. Jeweils unmittelbar nach dem Abschalten der Stimulationseinrichtung 120 sind diese Steilheiten als Änderungsgeschwindigkeiten in der Darstellung von 2 eingetragen.
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Auf der Basis einer Änderungsgeschwindigkeit kann die zugehörige Gaskonzentration mittels der folgenden Formel nach dem Potenzgesetz bestimmt werden:
mit:
- K
- := Gaskonzentration
- A,B
- := Konstanten
- R
- := Parameter
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Üblicherweise beträgt die Konstante B ca. 2, sodass durch korrektes Wählen der Konstanten A die Abbildung von der Änderungsgeschwindigkeit des bestimmten Parameters des Verlaufs 225 auf die Gaskonzentration K durchgeführt werden kann. Insbesondere kann es ausreichen, für eine beliebige, bekannte Gaskonzentration K die Konstante A anhand der bestimmten Änderungsgeschwindigkeit des Parameters zu bestimmen, um die Messvorrichtung 100 zu kalibrieren. Ist die Messvorrichtung 100 beispielsweise in einem mobilen Gerät angeordnet, so kann die Konzentration von Ozon mittels eines vertrauenswürdigen Web-Dienstes abgefragt werden, um diesen Abgleich durchzuführen.
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3 zeigt beispielhafte Verläufe eines Messsignals bei unterschiedlichen Gaskonzentrationen nach unterschiedlichen Messprinzipien. In einer oberen Darstellung erfolgt die Bestimmung mittels Gleichgewichtsmessung 205 und im unteren Bereich mittels Nichtgleichgewichtsmessung 210, wie oben mit Bezug auf 2 genauer erläutert ist. Die angegebenen numerischen Werte, insbesondere für Gaskonzentrationen, Widerstände und Zeiten, sind beispielhaft. Das zu bestimmende Gas ist hier Ozon, was jedoch ebenfalls nur ein Beispiel ist, das für viele unterschiede Gase stehen kann.
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Für die dargestellten Messsignale wurde das gassensitive Element 110 in Abständen von 30 Minuten unterschiedlichen Konzentrationen von Ozon ausgesetzt, die in die Darstellungen eingetragen sind. In jedem Diagramm sind vier Messkurven zu sehen, die vier baugleichen gassensitiven Elementen 110 zugeordnet sind. Die Unterschiede zwischen den Messkurven bezeichnen die Streuung zwischen den gassensitiven Elementen 110.
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Es ist zu erkennen, dass nach der Gleichgewichtsmessung 205 jeweils mehrere Minuten erforderlich sind, um die korrekte Konzentration zu bestimmen, während mittels der Nichtgleichgewichtsmessung 210 eine deutlich schnellere Bestimmung möglich ist. Ferner ist erkennbar, dass die Kurven der vier gassensitiven Elemente mittels eines einfachen Abgleichs miteinander in Deckung gebracht werden können.
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4 zeigt die Variation des am gassensitiven Element 110 bestimmbaren Parameters des Verlaufs 225 von 2 über die Zeit während der Bestimmung nach 3. Die Stimulationseinrichtung 120 wurde im 5-Sekunden-Takt einund ausgeschaltet. In anderen Ausführungsformen können auch ein anderes Tastverhältnis als 1:1 oder eine andere Periodendauer als 10 Sekunden verwendet werden.
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5 zeigt einen mathematischen Zusammenhang zwischen der Änderungsgeschwindigkeit des Parameters an der Messvorrichtung 100 von 1 und einer Gaskonzentration K. Die dargestellten numerischen Werte sind wieder exemplarisch und vier verschiedene Messkurven sind vier baugleichen, gassensitiven Elementen 110 zugeordnet. Die dargestellten Kurven wurden mit Bezug auf bestimmte Änderungsgeschwindigkeiten erstellt, die jeweils unmittelbar nach dem Ausschalten der Stimulationseinrichtung 120 bestimmt wurden. Es ist offenbar, dass der dargestellte Zusammenhang dem Potenzgesetz folgt.
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6 zeigt exemplarische Gaskonzentrationen, die auf der Basis des Zusammenhangs von 5 bestimmt wurden.
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7 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens 300 zum Bestimmen einer Gaskonzentration. Das Verfahren 300 ist insbesondere zum Durchführen mittels der Messvorrichtung 100 von 1 eingerichtet.
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In einem Schritt 305 wird Gas 105 vom gassensitiven Element 110 absorbiert. Dieser Vorgang dauert eine vorbestimmte Zeit, wobei sich das Gas 105 zuerst schnell und dann immer langsamer am gassensitiven Element 110 anreichert (vgl. 2), bis schließlich ein Gleichgewichtszustand 215 zwischen dem absorbierten Gas 105 und dem in der Umgebung des Elements 110 vorliegenden Gas 105 erreicht ist.
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In einem Schritt 310 wird die Änderungsgeschwindigkeit eines Parameters des Elements 110 bestimmt. Der Parameter weist die Menge des am gassensitiven Element 110 absorbieren Gases 105 hin und kann insbesondere auf der Basis des Durchlassverhaltens eines Transistors, der das Element 110 umfasst, oder des elektrischen Widerstands des Elements 110 bestimmt werden.
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In einem optionalen Schritt 315 wird das Element 110 stimuliert, um die Menge des am Element 110 angelagerten Gases 105 zu reduzieren. Bevorzugterweise umfasst das Stimulieren ein Erwärmen des Elements 110, beispielsweise mittels eines externen Heizelements oder indem ein elektrischer Strom durch das Element 110 bewirkt wird. Das Stimulieren bewirkt ein Austreiben von angelagertem Gas 105 aus dem Element 110, wobei die Menge des gebundenen Gases zunächst schnell und dann immer langsamer absinkt, bis ein zweiter Gleichgewichtszustand 220 erreicht ist. Das Stimulieren erfolgt in Stärke und Dauer bevorzugterweise derart, dass die Konzentration des Gases 105 im Element 110 zwischen den beiden Gleichgewichtszuständen 215 und 220 liegt.
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In einem Schritt 320 wird die Gaskonzentration im Bereich des Elements 110 auf der Basis der Änderungsgeschwindigkeit
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In einem Schritt 320 wird die Gaskonzentration im Bereich des Elements 110 auf der Basis der Änderungsgeschwindigkeit des Parameters bestimmt. Dabei bezieht sich die Bestimmung bevorzugterweise auf einen vorbestimmten Zeitraum, der möglichst unmittelbar nach dem Ende der Stimulation im Schritt 315 liegt, wenn die Änderungsgeschwindigkeit noch hoch ist. In einer weiteren Ausführungsform kann die Gaskonzentration auch auf der Basis der Änderungsgeschwindigkeit des Parameters während des Stimulierens bestimmt werden. Es können auch beide Änderungsgeschwindigkeiten der Bestimmung der Gaskonzentration zugrunde gelegt werden.
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Anschließend kann in einem Schritt 325 eine optionale Pause eingelegt werden, um das Anreichern von Gas 105 am Element zu erlauben. Anschließend kann das Verfahren 300 zum Schritt 305 zurückkehren und erneut durchlaufen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102008048715 [0003]
- EP 110488482 [0003]
