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Die Erfindung betrifft eine Kontaktiervorrichtung.
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Ferner beschreibt die
US 2009/0302876 A1 eine Kontaktiervorrichtung zum Testen von einer Vielzahl von elektronischen Bauelementen insbesondere von ICs, wobei die Kontaktiervorrichtung mehrere auf einem Träger angeordnete Kontaktiereinheiten für jeweils ein zu testendes Bauteil und eine Anpressvorrichtung aufweist. Eine elektrische Wirkverbindung wird durch das Auflegen von den Kontaktanschlüssen, den sogenannten Pins auf die Kontaktflächen der Kontaktiervorrichtung erreicht. Die Bauteile sind hierbei von dem Träger beabstandet. Mittels einer Pressvorrichtung wird das Bauteil jeweils gegen den Träger gedrückt, wobei sich entsprechend dem durchfahrenen Hub die Lage und Größe des Kontaktbereichs zwischen dem Bauteil und der Kontaktiereinheit ändert. Je nach Verformbarkeit der Kontaktpins und ausgeübter Kraft von der Pressvorrichtung sind die Kontaktpins verbogen.
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Vor diesem Hintergrund besteht die Aufgabe der Erfindung darin, eine Vorrichtung anzugeben, die den Stand der Technik weiterbildet.
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Die Aufgabe wird durch eine Kontaktiervorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
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Gemäß dem Gegenstand der Erfindung wird eine Kontaktiervorrichtung mit einem Träger und mindestens einer Kontaktiereinheit bereitgestellt, wobei der Träger eine Unterseite und eine Oberseite aufweist und die Oberseite des Trägers mehrere zueinander isolierte Leiterbahnen aufweist.
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Die Kontaktiereinheit weist mehrere teilweise aus einem elektrisch leitfähigen Material bestehende und jeweils zueinander elektrisch isolierte Kontaktelemente auf, wobei jedes Kontaktelement entlang einer Längsachse aus einem Fixierabschnitt und einem sich an den Fixierabschnitt anschließenden Kontaktabschnitt besteht.
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Jeder Fixierabschnitt liegt auf der Oberseite des Trägers auf, weist eine erste Kontaktfläche auf und ist mit der ersten Kontaktfläche mit einer der Leiterbahnen kraftschlüssig und leitfähig verbunden.
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Jeder Kontaktabschnitt weist zu der Oberseite einen zwischen Null und einem Maximalabstand variierenden Abstand auf, ist in eine senkrecht zu der Oberseite des Trägers verlaufenden Richtung elastisch ausgebildet und weist in einem Bereich mit Abstand zu der Oberseite eine von der Oberseite des Trägers abgewandte zweite Kontaktfläche aufweist.
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Die zweite Kontaktfläche des Kontaktabschnitts und die erste Kontaktfläche des Fixierabschnitts sind durch das elektrisch leitfähige Material elektrisch leitfähig verbunden, um eine elektrische Wirkverbindung zwischen einem auf der zweiten Kontaktfläche aufliegenden Anschlusskontakt eines elektrischen oder elektronischen Bauelements und einer der Leiterbahnen herzustellen.
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Es sei angemerkt, dass mit Längsachse eine Erstreckungsrichtung des Kontaktelements bezeichnet wird, wobei entlang der Erstreckungsrichtung die verschiedenen Abschnitte aufeinander folgen und entlang der Erstreckungsrichtung die Variation des Abstands des Kontaktelements gegenüber der Oberfläche des Trägers erfolgt.
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Es versteht sich, dass der Träger vorzugsweise als eine Leiterplatte ausgebildet ist, wobei mittels der Leiterbahnen bzw. der Leiterbahnebenen eine Entflechtung durchführen lässt. Es sei angemerkt, dass es bevorzugt ist, die Kontaktbereiche jeweils mittels eines Leiterbahnabschnitts mit der Auswerteschaltung zu verbinden, d. h. die elektrische Wirkverbindung wird mittels einer Leiterbahnabschnitts bewirkt. Ferner versteht sich, dass die Leiterbahnen in mehreren Lagen auf dem Träger angeordnet sein können.
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Es versteht sich, dass das Bauelement als eine gehäuste integrierte Schaltung, d. h. als ein gehäustes IC- oder als gehäustes elektrisches Bauelement ausgebildet ist, wobei nachfolgend der Begriff des Halbleiter-Gehäuses synonym verwendet wird. Wenigstens ein Teil der Anschlusskontakte oder alle Anschlusskontakte sind an der Außenseite des Gehäuses ausgebildet.
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Vorzugsweise sind die Kontakte an der Außenseite des Gehäuses als sogenannte „Balls” oder als Beinchen bzw. Kontaktfahnen ausgebildet. Es sei angemerkt, dass mittels den auf den zweiten Kontaktflächen der Kontaktelemente kraftschlüssig aufliegenden Anschlusskontakten die Bauelemente sich mit einer Spannung und/oder mit einem Strom beaufschlagen lassen und sich insbesondere eine Funktionsprüfung der Bauelemente durchführen lässt. Dabei wird durch einen Anpressdruck eine elastische Verformung der Kontaktelemente bewirkt, jedoch ohne dass sich die Anschlusskontakte der Bauteile plastisch oder irreversibel verformen.
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Es sei angemerkt, dass die Kontaktiervorrichtung vorzugsweise als Teil eines Messsystems ausgebildet ist, wobei die Auswerteschaltung in dem Messsystem ausgebildet ist. Derartige Messsysteme werden auch als „final tester” bezeichnet und werden insbesondere bei dem Endmessen in der IC-Produktion eingesetzt. Hierbei liegt, das zu messende gehäuste ICs oder das Bauelement während der Endmessung mit den an der Außenseite des IC-Gehäuses oder des Bauelements ausgebildeten Kontakten auf den Kontaktbereichen auf, um einen elektrischen Kontakt auszubilden. Um die elektrische Wirkverbindung zwischen der Kontaktiervorrichtung und dem Messsystem herzustellen, lässt sich ein Stecker oder eine Kontaktleiste an dem Träger ausbilden.
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Es versteht sich, dass das elektrisch leitfähige Material insbesondere einstückig und bevorzugt ein Metall oder eine metallischen Verbindung umfasst. Vorzugsweise ist das elektrische leitfähige Material bzw. das gesamte Kontaktelement wenigstens teilweise elastisch ausgebildet, um bei einer Auslenkung der Kontaktelemente nicht deformiert zu werden oder abzureißen.
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Vorzugsweise besteht jedes Kontaktelement vollständig oder zumindest vorwiegend aus dem leitfähigen Material, wobei durch eine beabstandete Anordnung der Kontaktelemente eine elektrische Isolierung der Kontaktelemente gegeneinander erreicht wird.
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Es sei angemerkt, dass bei einer Auflage des Bauelements bereits aufgrund der Gewichtskraft des Bauelements und der Elastizität der Kontaktelemente der Kontaktiereinheit die Kontaktelemente in Richtung der Oberseite des Trägers ausgelenkt werden, so dass sich der Abstand zwischen dem Kontaktabschnitt der Kontaktelemente und der Oberseite des Trägers zumindest teilweise verringert.
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Es versteht sich, dass das Elastizitätsmodul und die geometrischen Abmessungen der Kontaktelemente, wie die Breite und die Länge jedes Kontaktelements oder die Form, Länge und Höhe des Anstiegs des Kontaktabschnitts gegenüber der Oberfläche des Trägers entsprechend des Anpressdrucks auf die Kontaktelemente gewählt werden.
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Um eine besonders zuverlässige Kontaktierung zu erreichen, ist es bevorzugt, dass das Bauelement mit einer Kraft zu beaufschlagen. Besonders bevorzugt weist die Kontaktiervorrichtung eine Anpressvorrichtung auf, um das Bauelement auf die zweite Kontaktfläche bzw. die zweiten Kontaktflächen zu drücken. Hierdurch werden die Kontaktabschnitte der Kontaktelemente zusätzlich in Richtung der Oberseite des Trägers ausgelenkt und das Bauelement vorzugsweise auf den Kontaktelementen einer Kontaktiereinheit fixiert. In einer Weiterbildung umfasst das Trägermaterial ein Verbundmaterial.
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Ein Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist es, dass durch die Elastizität der Kontaktelemente der Kontaktiereinheit sich insbesondere auf dem Gebiet der Messtechnik gehäuste Bauelemente, wie beispielsweise ICs einfach, kostengünstig und zuverlässig messen lassen. Nach der Messung lassen sich die Bauelemente wieder von den leitfähigen Bereichen entfernen. Ferner gehen die Kontaktelemente der Kontaktiereinheit aufgrund der Federeigenschaften wieder in die Ausgangslage zurück, wobei Untersuchungen gezeigt haben, dass die Standzeit der erfindungsgemäßen Vorrichtung hoch ist.
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Ein weiterer Vorteil ist, dass mittels der Anpressvorrichtung unmittelbar die Pins der Bauteile, insbesondere der ICs, auf die Kontaktabschnitte der Kontaktelemente pressen lassen, d. h. es treten keine Hebelkräfte entlang den Pins auf. Anders ausgedrückt die Pins werden in der Längsrichtung nicht inelastisch verformt.
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Ein weiterer Vorteil ist, dass die elektronischen Bauelemente bei der Kontaktierung und Messung im Unterschied zu einem Lötprozess oder bei einem Einpressen in einen Adapter mechanisch nur wenig beansprucht und nicht verformt werden. Dadurch wird verhindert, dass das Bauelement mit mechanischen Spannungen beaufschlagt wird, welche die Funktionsweise des Bauelements beeinträchtigt, z. B. beim Testen und Abgleichen von Hall-Effekt-Sensoren. Ein anderer Vorteil ist, dass sich mit den Federeigenschaften der Kontaktelemente Höhentoleranzen zwischen den verschiedenen Kontakten des Bauelements auszugleichen lassen. Hierdurch lässt sich die Zuverlässigkeit der Kontaktierung von den elektrischen Kontakten des Bauelementes mit den Bereichen bzw. den Kontaktflächen einer Kontaktiereinheit erhöhen.
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Ein weiterer Vorteil ist, dass eine kostengünstige einfache Herstellung der Kontaktiereinheiten als Struktur im großen Nutzen möglich ist. Ferner kann auch die Anordnung auf dem Träger und das Verbindung der Kontaktiereinheiten mit der Trägeroberfläche schnell und einfach durch Anordnen und beispielsweise durch Verlöten der Struktur vorgenommen werden.
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Untersuchungen haben gezeigt, dass sich eine biegebalkenartige Ausgestaltung der Kontaktelemente mit einer zwei Plateaus verbindenden Rampe besonders gut eignet.
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Gemäß einer Weiterbildung besteht jedes Kontaktelement zumindest vorwiegend aus einem nicht-magnetischen Material.
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In einer bevorzugten Ausführungsform besteht jedes Kontaktelemente zumindest vorwiegend aus einem Metall oder einer metallischen Verbindung, wobei die Breite der Kontaktelemente zwischen 0,02 mm und 2 mm und/oder die Länge der Kontaktelemente 0,2 mm bis 5 cm beträgt. Ein Vorteil ist, dass bei einer metallischen streifenförmigen bzw. zungenförmigen Ausführung sich die Ausbildung der einzelnen Kontaktflächen aus einem Metall erübrigen. Auch ist bei der metallischen streifen- bzw. zungenförmigen Ausführung die Ausbildung von Leiterbahnabschnitten zum Herstellen einer elektrischen Wirkverbindung zwischen der ersten Kontaktfläche und der zweiten Kontaktfläche obsolet. Durch eine stufen- oder rampenförmige Ausgestaltung des Kontaktelements wird eine Federwirkung erreicht. Höchst bevorzugt ist es, die Kontaktiereinheit, insbesondere die Kontaktelemente, zumindest vorwiegend aus Kupfer-Beryllium auszubilden.
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In einer alternativen Weiterbildung weist die mindestens eine Kontaktiereinheit mehrere parallel verlaufend nebeneinander angeordnete Kontaktelemente auf, wodurch mehrere einseitig nebeneinander liegende Anschlusskontakte eines Bauelements gleichzeitig jeweils mittels eines der Kontaktelemente kontaktierbar sind.
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Gemäß einer anderen Ausführungsform weist die mindestens eine Kontaktiereinheit mindestens ein Kontaktelementpaar aus einem ersten Kontaktelement und einem zweiten Kontaktelement auf, wobei die Längsachse des ersten Kontaktelements und die Längsachse des zweiten Kontaktelements mit einer gemeinsamen Längsachse zusammenfallen und das erste Kontaktelement entlang der gemeinsamen Längsachse zu dem zweiten Kontaktelement gespiegelt angeordnet ist.
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Bevorzugt weist die Kontaktiervorrichtung mehrere parallel verlaufende nebeneinander angeordnete Kontaktelementpaare auf. Durch die gespiegelte Anordnung ist eine gleichzeitige Kontaktierung von Anschlusskontakten eines Bauelements möglich, die an zwei entgegengesetzten Seiten des Bauelements angeordnet sind.
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In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind auf dem Träger eine Vielzahl von Kontaktiereinheiten angeordnet, wobei die Kontaktiereinheiten bevorzugt arrayförmig angeordnet sind, um eine Vielzahl von Bauelementen gleichzeitig mit den Kontaktbereichen zu verbinden.
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In einer alternativen Ausführungsform weist jedes Kontaktelement entlang der Längsachse einen sich an den Kontaktabschnitt anschließenden, parallel zu der Oberseite des Trägers verlaufenden zweiten Fixierabschnitt auf. Durch den Fixierabschnitt erhöht sich die Stabilität des Kontaktelements. Auch lässt sich die Federkraft erhöhen, indem das Kontaktelement kraftschlüssig mit dem Träger verbunden ist.
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Bevorzugt liegt der zweite Fixierabschnitt auf der Oberseite des Träger auf und/oder ist mit der Oberseite des Trägers kraftschlüssig verbunden, wobei der zweite Fixierabschnitt besonders bevorzugt eine mit der zweiten Kontaktfläche elektrisch leitfähig verbundene dritte Kontaktfläche aufweist, wobei die dritte Kontaktfläche mit einer der Leiterbahnen kraftschlüssig und leitfähig verbunden ist. Eine bevorzugte Ausführungsform ist ein in einer Seitenansicht Omega-förmig ausgebildetes Kontaktelement.
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Alternative Ausführungsform des Kontaktelements ist eine stufenförmige Ausgestaltung, mit einer relativ zu der Oberseite des Trägers schräg oder s-förmig verlaufenden Zunahme des Abstands bis zu dem Maximalabstand.
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In einer weiteren Weiterbildung weist die Kontaktiervorrichtung einen Grundträger mit einer Oberfläche mit mehreren Leiterbahnen auf, wobei mehrere Träger mit der Unterseite auf dem Grundträger angeordnet und mit der Oberfläche des Grundträgers und/oder den Leiterbahnen des Grundträgers kraftschlüssig verbunden sind, die Träger zu jeder Leiterbahn einen von der Leiterbahn zu der Unterseite des Trägers reichenden Durchgangskontakt aufweisen und die Durchgangskontakte mit den Leiterbahnen des Grundträgers elektrisch verbunden sind. Hierdurch wird eine Baukasten-artige Gestaltung der Kontaktiervorrichtung mit unterschiedlichen und/oder gleichartigen Kontaktiereinheiten oder Untereinheiten möglich, wobei durch die Leiterbahnen des Grundträgers eine weitere Entflechtung durchgeführt wird.
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Bevorzugt liegt während eines Testdurchlaufs auf der zweiten Kontaktfläche jedes Kontaktelements ein Anschlusskontakt von einer gehäusten integrierten Schaltung auf.
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In einer Weiterbildung ist zwischen dem Kontaktabschnitt jedes Kontaktelements und der Oberseite des Trägers ein elastisches Material angeordnet. Es ist bevorzugt, die Härte des elastischen Materials wesentlich weicher als die Härte der Kontaktelemente der Kontaktiereinheiten auszubilden. Insbesondere sind bei dem elastischen Material Elastomere und/oder Blastomere umfasst. Untersuchungen haben gezeigt, dass insbesondere Schaumstoffe gut geeignet sind, um den Raum zwischen dem Fixierabschnitt der Kontaktelemente und der Trägeroberseite zumindest teilweise zu füllen. Hierdurch wird eine Rückstellkraft erzeugt und die Kontaktbereiche in die Ausgangslage zurückgestellt, sofern das Bauelement nicht mehr aufliegt oder keine Anpresskraft auf das Bauelement drückt.
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In einer alternativen Ausführung ist die zweite Kontaktfläche in einem den Maximalabstand zu der Oberseite des Trägers aufweisenden Bereich ausgebildet.
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Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Hierbei werden gleichartige Teile mit identischen Bezeichnungen beschriftet. Die dargestellten Ausführungsformen sind stark schematisiert, d. h. die Abstände, die lateralen und die vertikalen Erstreckungen sind nicht maßstäblich und weisen, sofern nicht anders angegeben, auch keine ableitbaren geometrischen Relationen zueinander auf. Darin zeigt:
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1 eine Querschnittsansicht auf eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktiervorrichtung,
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2 eine perspektivische Aufsicht auf eine vereinfachte Darstellung der Ausführungsform aus 1,
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3 eine Draufsicht auf eine Struktur mit Kontaktelementen,
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4 eine Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform der Kontaktiervorrichtung,
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5 eine Querschnittsansicht einer dritten Ausführungsform der Kontaktiervorrichtung,
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6 eine Querschnittsansicht einer alternativen Ausführungsform eines Kontaktelements einer Kontaktiervorrichtung.
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Die Abbildung der 1 zeigt eine schematische Ansicht einer ersten Ausführungsform, die eine Kontaktiervorrichtung 10 mit einem Träger 20 und einer Kontaktiereinheit 30 aufweist, wobei der Träger 20 eine Unterseite 22, eine Oberseite 24 und mehrere auf der Oberseite 24 ausgebildete Leiterbahnen 26 aufweist und die Kontaktiereinheit 30 auf der Oberseite 24 des Trägers 20 angeordnet ist.
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Die Kontaktziereinheit 10 besteht in der dargestellten Ausführungsform aus mindestens einem ersten Kontaktelement 32 und einem zweiten Kontaktelement 34. Die Kontaktelemente 32, 34 sind zueinander beabstandet und elektrisch isoliert auf der Oberseite 24 des Trägers 20 angeordnet. Jedes Kontaktelement 32, 34 besteht aus einem elektrisch leitfähigen Material 30.1 und einer Beschichtung 40, wobei die Beschichtung 40 jeweils einen Teil einer von der Oberseite 24 des Trägers 20 abgewandten Seite des jeweiligen Kontaktelements 32, 34 bedeckt. Jedes Kontaktelement 32, 34 umfasst einen auf der Oberseite 24 des Trägers aufliegenden Fixierabschnitt 32.2, 34.2 und einen sich an den Fixierabschnitt 32.1, 34.1 anschließenden Kontaktabschnitt 32.2, 34.2.
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Jeder Fixierabschnitt 32.1, 34.1 ist kraftschlüssig und elektrisch leitfähig, beispielsweise mittels Lötverbindung, mit einer der Leiterbahnen 26 der Oberseite 24 des Trägers 20 verbunden. In der dargestellten Ausführungsform bildet zumindest der mit der Leiterbahn 26 verbundene Teil einer dem Träger 20 zugewandten Oberfläche eine erste Kontaktfläche 36.
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Jeder Kontaktabschnitt 32.2, 34.2 steigt ausgehend von dem jeweiligen Fixierabschnitt 32.1, 34.1 in einem ersten Teilbereich gegenüber der Oberseite 24 des Trägers schräg bzw. rampenförmig an und verläuft ab Erreichen eines Maximalabstands A in einem zweiten Teilbereich parallel zu der Oberseite 24 des Trägers 22. Hierdurch erhält jedes Kontaktelement 32, 34 eine stufenförmige Gestalt, wobei die Fixierabschnitt 32.1, 34.1 jeweils eine untere Stufe und die zweiten Teilbereiche der Kontaktabschnitte 32.2, 34.2 jeweils eine obere Stufe bilden. Auf der von der Oberseite 24 des Trägers 20 abgewandten Seite des zweiten Teilbereichs weist jedes Kontaktelement 32, 34 eine zweite Kontaktfläche 38 auf. In der dargestellten Ausführungsform wird die zweite Kontaktfläche 38 von einem nicht von der Beschichtung 40 bedeckten Teil der Oberfläche des jeweiligen Kontaktelements 32, 34 gebildet. Durch die Verwendung von elektrisch leitfähigem Material 30.1 besteht eine elektrische Wirkverbindung zwischen der ersten Kontaktfläche 36 und der zweiten Kontaktfläche 38 jedes Kontaktelements 32, 34.
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Die Kontaktelemente 32, 34 sind zueinander gespiegelt auf dem Träger angeordnet, so dass die Kontaktbereiche 32.1, 32.4 einander zugewandt und die zweiten Kontaktflächen 38 benachbart angeordnet sind.
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Oberhalb des Trägers 20 ist ein elektrisches oder elektronisches Bauelement 50, vorzugsweise ein gehäustes IC angeordnet. Das Bauelement 50, nachfolgend auch als IC-Gehäuse 50 bezeichnet, weist an der Unterseite mindestens zwei Anschlusskontakte 60 auf. Jeweils ein Anschlusskontakt 60 des Bauelements 50 liegt auf der zweiten Kontaktfläche 38 eines der beiden Kontaktelemente 32, 34 auf. Zur besseren Kontaktierung von den Anschlusskontakten 60 des Bauelements 50 mit den zweiten Kontaktfläche 38 der Kontaktelemente 32, 34 drückt eine als Vektor dargestellte Kraft 70, z. B. eine Anpressvorrichtung (nicht dargestellt), auf das IC-Gehäuse 50.
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Die Kontaktabschnitte 32.2 und 34.2 der beiden Kontaktelemente 32 und 34 werden jeweils in Richtung der Oberseite 24 des Trägers 20 ausgelenkt und die Kontaktelemente 32 und 34 entsprechend verformt. Es sei angemerkt, dass je nach Elastizität der beiden Kontaktelemente 32 und 24 eine Auslenkung der Kontaktabschnitte 32.2 und 34.2 der Kontaktelemente 32 und 34 bereits durch die Gewichtskraft des IC-Gehäuses 50 erreichbar ist.
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In einer nicht dargestellten Ausführungsform weist das IC-Gehäuse 50 seitlich an dem Gehäuse angeordnete als Anschlusskontaktfahnen oder auch als Beinchen bezeichnete ausgeführte Pins auf. Um die Pins nicht inelastisch entlang ihrer jeweiligen Längserstreckung zu verformen, ist es bevorzugt, die Anpresskraft wenigstens teilweise oder vorzugsweise vollständig auf die Beinchen auszuüben. Höchst vorzugsweise wirkt die Presskraft teilweise oder ausschließlich auf den auf das Kontaktelement aufliegenden Bereich des Pins.
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In der Abbildung der 2 ist eine perspektivische Ansicht der Ausführungsform nach 1 abgebildet. Im Folgenden werden nur die Unterschiede zu der Abbildung der 1 erläutert. Jeweils drei Paare von sich gespiegelt gegenüberliegenden Kontaktelemente 32, 34 und 132, 134 und 232, 234 sind parallel verlaufend, nebeneinander und zueinander beabstandet angeordnet. Alle Kontaktelemente 32, 34, 132, 134, 232 und 234 zusammen bilden eine Kontaktiereinheit 30. Jedes der Kontaktelemente 32, 34, 132, 134, 232 und 234 weist einen erste Kontaktfläche 36 und einen zweiten Kontaktfläche 38 auf (nicht dargestellt). Mit der vorliegenden Ausführungsform lassen sich mittels einer Kontaktiereinheit 30 elektrische oder elektronische Bauelemente 50, z. B. ICs, mit bis zu sechs Anschlusskontakten einfach und zuverlässig kontaktieren.
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Die Abbildung der 3 zeigt eine als Nutzen gefertigte Struktur 90 von mehreren insgesamt zwölf Kontaktiereinheiten 30 mit jeweils sechs Kontaktelementen 32, 34, 132, 134, 232 und 234. Die Kontaktiereinheiten 30 sind nicht aufgetrennt und weisen eine arrayförmige Anordnung auf. Die Kontaktiereinheiten sind hierbei in der negativ Form dargestellt.
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Die Abbildung der 4 zeigt eine Anordnung von insgesamt zehn spaltenförmig auf einem Träger 20 angeordneten Kontaktiereinheiten 30 auf. Hierbei sind die Kontaktelemente 32, 34, 132, 134, 232 und 234 der Kontaktiereinheiten 30 in der linkten Spalte freigeschnitten und in der rechten Spalte nicht vollständig freigeschnitten.
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Ein Vorteil ist, dass mit der spaltenförmigen oder der arrayarteigen Anordnung eine Vielzahl von Bauelementen kontaktieren lassen und sich entweder parallel oder sequentiell elektrische Parameter von den Bauelementen messen lassen.
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In der Abbildung der 5 ist eine weitere Ausführungsform der Kontaktiervorrichtung 10 dargestellt. Auf einer Oberfläche 82 eines Grundträgers 80 sind mehrere Träger 20.1 und 20.1 und 20.3 mit jeweils mindestens einer Kontaktiereinheit 30 nebeneinander angeordnet. Die Träger 20.1 und 20.1 und 20.3 weisen für jede-Leiterbahn 26 jeweils einen von der Leiterbahn 26 zu der Unterseite 22 des Trägers reichenden Durchgangskontakt 28 auf. Die Oberfläche 82 der Grundplatte weist ebenfalls mehrere Leiterbahnen 84 auf, wobei jeder Durchgangskontakt 28 der Träger 20.1 und 20.1 und 20.3 zur weiteren Entflechtung mit einer Leiterbahn 84 elektrisch leitend verbunden ist. Die Unterseiten 22 der Träger 20.1 und 20.1 und 20.3 sind zumindest bereichsweise kraftschlüssig mit der Oberfläche 82 des Grundträgers 80 und/oder mindestens einer der Leiterbahnen 84 des Grundträgers 80 verbunden.
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In der Abbildung der 6 ist eine weitere Ausführungsform eines Kontaktelements 32 dargestellt. Das Kontaktelement 32 ist omegaförmig mit zwei den Kontaktabschnitt 32.2 einrahmenden Fixierabschnitten 32.1 und 32.3 ausgebildet. Ein Vorteil ist, dass die omegaförmigen Kontaktelemente durch die beiden voneinander beabstandeten Fixierabschnitten 32.1 und 32.3 eine größere Rückstellkraft aufweisen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 112010004846 T5 [0002]
- US 5528466 [0002]
- JP 2004085424 A [0002]
- US 2009/0302876 A1 [0003]
