DE102015213527A1

DE102015213527A1 - pump system

Info

Publication number: DE102015213527A1
Application number: DE102015213527.6A
Authority: DE
Inventors: Thomas Dreifert; Roland Müller; Max Pelikan; Daniel Schneidenbach; Christian Beyer
Original assignee: Leybold GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 2015-07-17
Filing date: 2015-07-17
Publication date: 2017-01-19
Also published as: WO2017012988A3; CN107850064B; CN107850064A; US20180202445A1; JP2018520304A; TW201708705A; EP3325806A2; WO2017012988A2; TWI706084B

Abstract

Pumpensystem mit einer Vakuumpumpe (12) und einem mit der Vakuumpumpe (12) verbundenen Kühlelement (18). Mit dem Kühlelement (18) ist ein Kühlmittelzulauf (20) und ein Kühlmittelablauf (22) verbunden zur Kühlung der Vakuumpumpe durch Aufnahme und Abführen von Wärme durch ein Kühlmittel. Dabei ist der Kühlmittelzulauf (20) und der Kühlmittelablauf (22) mit einem Wärmetauscher (24) verbunden, so das Wärme vom Kühlmittelablauf (22) auf den Kühlmittelzulauf (20) übertragen wird.Pump system comprising a vacuum pump (12) and a cooling element (18) connected to the vacuum pump (12). A coolant inlet (20) and a coolant outlet (22) are connected to the cooling element (18) for cooling the vacuum pump by absorbing and removing heat by a coolant. In this case, the coolant inlet (20) and the coolant outlet (22) is connected to a heat exchanger (24), so that the heat from the coolant outlet (22) is transferred to the coolant inlet (20).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Pumpensystem insbesondere zum Pumpen von Gasen/Dämpfen nahe der Kondensationsgrenze beziehungsweise nahe der Resublimationsgrenze.The present invention relates to a pump system, in particular for pumping gases / vapors near the condensation boundary or near the resublimation boundary.

In einigen Beschichtungsprozessen (z.B. in der Halbleiterindustrie oder bei der Herstellung von Flachbildschirmen) werden Gase/Dämpfe nahe der Kondensationsgrenze (Übergang aus dem gasförmigen in den flüssigen Zustand) bzw. nahe der Resublimationsgrenze (Übergang in den festen Zustand) gefördert. Insbesondere der zweite Fall ist für Vakuumpumpen kritisch, da die entstehenden Festkörper sich als Stäube oder Beläge in der Vakuumpumpe ansammeln und diese zusetzen können. Dies betrifft vor allem die Druckseite der Vakuumpumpe, da hier naturgemäß der höhere Druck herrscht und der Dampf sich damit näher der Kondensations-/Resublimationsgrenze befindet.In some coating processes (e.g., in the semiconductor industry or in the manufacture of flat panel displays), gases / vapors are promoted near the condensation limit (transition from the gaseous to the liquid state) or near the resublimation limit (transition to the solid state). In particular, the second case is critical for vacuum pumps, since the resulting solids can accumulate as dusts or deposits in the vacuum pump and can enforce them. This applies above all to the pressure side of the vacuum pump, since naturally the higher pressure prevails here and the steam is thus closer to the condensation / resublimation limit.

Eine Möglichkeit zur Vermeidung dieser Problematik ist die Verwendung von Zusatzgasen (z.B. Gasballast, Spülgas), um die Dämpfe zu verdünnen und ihren Partialdruck ausreichend niedrig zu halten. In einigen Anwendungen ist dieser Lösungsweg jedoch nicht sinnvoll, da eine zu große Hilfsgasmenge benötigt würde. In solchen Fällen empfiehlt es sich, die Temperatur der Vakuumpumpe zu erhöhen, um die geförderten Stoffe gasförmig durch die Vakuumpumpe zu transportieren. Aufgrund des höheren Druckes ist hierbei die Temperatur an der Druckseite der Abgasleitung der Vakuumpumpe kritisch.One way to avoid this problem is to use additional gases (e.g., gas ballast, purge gas) to dilute the vapors and keep their partial pressures sufficiently low. However, in some applications, this approach is not useful because an excessive amount of auxiliary gas would be needed. In such cases, it is advisable to increase the temperature of the vacuum pump in order to transport the conveyed substances in gaseous form through the vacuum pump. Due to the higher pressure in this case the temperature at the pressure side of the exhaust pipe of the vacuum pump is critical.

Nach bekanntem Stand der Technik werden zur gezielten Temperierung Regelsysteme für die Kühlwassersteuerung eingesetzt. Diese schalten bzw. regeln den Kühlwasserfluss derart, dass die Temperatur an einer Referenzstelle an der Vakuumpumpe (typischerweise an der Druckseite) gezielt auf einer vorgegebenen Temperatur gehalten wird. According to the known state of the art, control systems for cooling water control are used for targeted temperature control. These switch or regulate the cooling water flow in such a way that the temperature at a reference point on the vacuum pump (typically on the pressure side) is kept deliberately at a predetermined temperature.

Nachteilig an dieser Lösung ist, dass unter Umständen nur eine geringe bzw. zeitweise keine Versorgung der Vakuumpumpe mit Kühlwasser erfolgt. Dies kann je nach Bauart der Vakuumpumpe zur unzureichenden Kühlung von temperaturempfindlichen Bauteilen wie z.B. Motor, Lagern oder elektronischen Bauteilen führen.A disadvantage of this solution is that under certain circumstances only a small or temporarily no supply of the vacuum pump with cooling water takes place. This may, depending on the design of the vacuum pump for insufficient cooling of temperature-sensitive components such. Motor, bearings or electronic components.

Da auch die Abgasleitung der Vakuumpumpe auf einem hohen Temperaturniveau gehalten werden muss, wird diese in der Regel zusätzlich gesondert beheizt (z.B. durch elektrisch betriebene Heizmanschetten). Hierdurch wird die Energieeffizienz der Vakuumpumpe reduziert, was zu höheren Kosten führt.Since the exhaust pipe of the vacuum pump must be kept at a high temperature level, this is usually additionally heated separately (for example, by electrically operated heating jackets). This reduces the energy efficiency of the vacuum pump, resulting in higher costs.

Ein weiteres Problem in diesen Prozessen stellt der Einsatz von Spülgasen dar, die der Vakuumpumpe zugeführt werden und dort, an der Zuführstelle, eine lokale Abkühlung des Prozessgases bewirken können. Damit kann es wiederum zu einer unerwünschten Kondensation bzw. Resublimation kommen.Another problem in these processes is the use of purge gases, which are supplied to the vacuum pump and there, at the supply point, can cause a local cooling of the process gas. This can lead to unwanted condensation or resublimation.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Pumpensystem zu schaffen, insbesondere zur Förderung von Gasen/Dämpfen nahe der Kondensationsgrenze bzw. der Resublimationsgrenze, bei der Kondensation bzw. Resublimation effektiv verhindert wird bei gleichzeitig sicherem und effizientem Betrieb des Pumpensystems.The object of the present invention is to provide a pump system, in particular for conveying gases / vapors near the condensation boundary or the resublimation boundary, in which condensation or resublimation is effectively prevented while at the same time ensuring safe and efficient operation of the pump system.

Die Aufgabe wird gelöst durch ein Pumpensystem nach Anspruch 1, 7 und 13, sowie durch die Verfahren der Ansprüche 20, 22 und 23. The object is achieved by a pump system according to claims 1, 7 and 13, as well as by the methods of claims 20, 22 and 23.

Das erfindungsgemäße Pumpensystem weist eine Vakuumpumpe auf. Dabei weist das Pumpensystem mindestens eine Vakuumpumpe auf, so dass auch ein Pumpensystem aus mehreren Vakuumpumpen, die miteinander in Verbindung stehen, mit umfasst ist. Bei der Vakuumpumpe handelt es sich insbesondere um eine trockenverdichtende Pumpe. Jedoch ist die nachfolgend beschriebene Erfindung im Wesentlichen unabhängig vom Typ der Pumpe, so dass im Wesentlichen jeder Pumpentyp mit umfasst ist. Bei der Vakuumpumpe des erfindungsgemäßen Pumpensystems handelt sich um eine aus dem Stand der Technik bekannte Vakuumpumpe, die üblicherweise einen Schöpfraum aufweisen, in dem ein bewegliches Pumpelement angeordnet ist, um eine Medium von einem Einlass zu einem Auslass zu befördern. Bei dem beweglichen Pumpelement handelt es sich beispielsweise um einen sich drehenden Rotor oder einen Kolben. Insbesondere am Rotor ist mindestens ein Pumpelement angeordnet, durch welches die Förderung des Mediums bewirkt wird. Bei dem hier beschriebenen erfindungsgemäßen Pumpensystem können Schraubenpumpen, Klauenpumpen, Wälzkolbenpumpen, Kolbenpumpen und dergleichen Verwendung finden. Darüber hinaus kann das erfindungsgemäße Pumpensystem neben Verdrängerpumpen auch kinetische Pumpsysteme einschließlich der Mischform der Seitenkanalverdichter aufweisen sowie molekulare Pumpstufen, wie beispielsweise Holweckstufen, Siegbahnstufen, Gaedepumpen und Turbomolekularpumpen. Insbesondere ist das Pumpensystem geeignet, ein Vakuum zu erzeugen, von insbesondere 10^–2 mbar, bevorzugt 10^–3 mbar und besonders bevorzugt 10^–6 mbar.The pump system according to the invention has a vacuum pump. In this case, the pump system has at least one vacuum pump, so that a pump system of a plurality of vacuum pumps, which are in communication with each other, is included. The vacuum pump is in particular a dry-compressing pump. However, the invention described below is essentially independent of the type of pump, so that essentially any type of pump is included. The vacuum pump of the pump system according to the invention is a vacuum pump known from the prior art, which usually has a suction chamber in which a movable pumping element is arranged in order to convey a medium from an inlet to an outlet. The movable pumping element is, for example, a rotating rotor or a piston. In particular, at least one pumping element is arranged on the rotor, through which the delivery of the medium is effected. In the pump system according to the invention described here screw pumps, claw pumps, Roots pumps, piston pumps and the like can be used. In addition, the pump system according to the invention in addition to positive displacement pumps and kinetic pumping systems including the mixed form of side channel compressors and molecular pumping stages, such as Holweckstufen, Siegbahnstufen, Gaedepumpen and turbomolecular pumps. In particular, the pump system is suitable for generating a vacuum, in particular 10 ^-2 mbar, preferably 10 ^-3 mbar and particularly preferably 10 ^-6 mbar.

Weiter weist das erfindungsgemäße Pumpensystem ein Kühlelement auf, welches mit der Vakuumpumpe zur Kühlung verbunden ist. Dabei ist das Kühlelement insbesondere mit dem den Schöpfraum der Vakuumpumpe ausbildenden Gehäuse der Vakuumpumpe verbunden. Das Kühlelement weist einen Kühlmittelzulauf und einen Kühlmittelablauf auf. Durch den Kühlmittelzulauf wird Kühlmittel dem Kühlelement zugeführt, welches sodann die Wärme der Vakuumpumpe aufnimmt. Das erwärmte Kühlmittel verlässt das Kühlelement über den Kühlmittelablauf. Somit wird durch das Kühlelement die Vakuumpumpe durch Aufnahme und Abführen von Wärme durch das Kühlmittel gekühlt. Furthermore, the pump system according to the invention has a cooling element, which is connected to the vacuum pump for cooling. In this case, the cooling element is in particular connected to the pump chamber of the vacuum pump forming the pump chamber. The cooling element has a coolant inlet and a coolant outlet. Through the coolant inlet coolant is supplied to the cooling element, which then receives the heat of the vacuum pump. The heated coolant leaves the cooling element via the coolant outlet. Thus, by the cooling element, the vacuum pump is cooled by receiving and removing heat by the coolant.

Erfindungsgemäß ist mit dem Kühlmittelzulauf und Kühlmittelablauf ein Wärmetauscher verbunden, so dass vom Kühlmittel aufgenommene Wärme vom Kühlmittelablauf auf den Kühlmittelzulauf bzw. das dahin geführte Kühlmittel übertragen wird. According to the invention, a heat exchanger is connected to the coolant inlet and coolant outlet, so that heat absorbed by the coolant is transferred from the coolant outlet to the coolant inlet or the coolant guided there.

Somit erfolgt eine Temperierung der Vakuumpumpe mit vorgewärmtem Kühlwasser. Hierbei kann das vorgewärmte Kühlwasser kontinuierlich die Vakuumpumpe in ausreichender Menge durchströmen. Es kommt daher zu keiner Unterbrechung der Kühlwasserversorgung, so dass eine stets ausreichende Kühlung von empfindlichen Bauteilen gewährleistet ist und somit eine Homogeneisierung der Wärmeverteilung innerhalb der Pumpe erreicht wird. Hierbei wird durch die Temperierung mit vorgewärmten Kühlwasser vermieden, dass einige Stellen der Pumpe überkritisch heiß werden. Gleichzeitig ist es nicht erforderlich, ausreichend warmes Kühlwasser zu Verfügung zu stellen, welches zuvor energieaufwändig erwärmt werden müsste. Das Vorwärmen des Kühlwassers erfolgt über den Wärmetauscher durch die vom Kühlmittel abgeführte Wärme der Vakuumpumpe. Thus, there is a temperature control of the vacuum pump with preheated cooling water. Here, the preheated cooling water can continuously flow through the vacuum pump in sufficient quantity. There is therefore no interruption of the cooling water supply, so that an always sufficient cooling of sensitive components is ensured and thus a homogenization of the heat distribution within the pump is achieved. In this case, it is avoided by tempering with preheated cooling water that some parts of the pump are supercritically hot. At the same time, it is not necessary to provide sufficiently warm cooling water, which would have to be heated in an energy-consuming manner beforehand. The preheating of the cooling water via the heat exchanger by the heat dissipated by the coolant of the vacuum pump.

Insbesondere ist der Wärmetauscher mit einem Kühlmitteleintritt und einem Kühlmittelaustritt verbunden. Durch den Kühlmitteleintritt gelangt das Kühlmittel zum Pumpensystem und über den Kühlmittelautritt verlässt das Kühlmittel das Pumpensystem wieder. Hierbei kann durch den Kühlmitteleintritt ein unbehandeltes untemperiertes Kühlmittel zum Pumpensystem gelangen. Eine Vorbehandlung insbesondere eine Vorwärmung des Kühlmittels ist nicht erforderlich. Dies erspart weitere konstruktive Maßnahmen am Einsatzort der Pumpe, wodurch Kosten gespart werden können und ein kompaktes Pumpensystem geschaffen werden kann. In particular, the heat exchanger is connected to a coolant inlet and a coolant outlet. Due to the coolant inlet, the coolant reaches the pump system and the coolant leaves the pump system again via the coolant step. In this case, can pass through the coolant inlet an untreated temperature-controlled coolant to the pump system. Pre-treatment, in particular preheating of the coolant is not required. This saves further design measures at the place of use of the pump, whereby costs can be saved and a compact pump system can be created.

Insbesondere handelt es sich bei dem Kühlmittel um Wasser, wobei diesem bevorzugt chemische Zusätze zugeführt werden können, um einzelne Eigenschaften des Kühlmittels an die Erfordernisse des Pumpensystems anzupassen. Alternativ handelt es sich bei dem Kühlmittel um ein Öl oder um eine andere synthetische Flüssigkeit. In particular, the coolant is water, to which chemical additives can preferably be supplied in order to adapt individual properties of the coolant to the requirements of the pump system. Alternatively, the coolant is an oil or other synthetic fluid.

Insbesondere weist das Pumpensystem einen ersten Kühlkreislauf auf für ein erstes Kühlmittel ausgehend vom Wärmetauscher über das Kühlmittel wieder zurück zum Wärmetauscher, sowie einen zweiten Kühlkreislauf für ein zweites Kühlmittel ausgehend vom Kühlmitteleintritt über den Wärmetauscher zum Kühlmittelaustritt. Somit wird die in der Vakuumpumpe erzeugte Wärme durch den ersten Kühlkreislauf vom ersten Kühlmittel abgeführt und durch den Wärmetauscher auf den zweiten Kühlkreislauf mit dem zweiten Kühlmittel übertragen. Sodann verlässt das zweite Kühlmittel das Pumpensystem über den Kühlmittelaustritt. Im Wärmetauscher wird nicht die gesamte Wärme vom ersten Kühlmittel auf das zweite Kühlmittel übertragen, sondern lediglich nur ein Anteil, so dass Restwärme im ersten Kühlmittel verbleibt und hierdurch vorgewärmtes Kühlmittel wiederum für die Vakuumpumpe zur Verfügung steht. Hierbei können sich bevorzugt das erste Kühlmittel und das zweite Kühlmittel voneinander unterscheiden, so dass im ersten Kühlkreislauf als erstes Kühlmittel beispielsweise Öl und in zweiten Kühlkreislauf als zweite Kühlmittel Wasser verwendet wird. In particular, the pump system has a first cooling circuit for a first coolant, starting from the heat exchanger via the coolant back to the heat exchanger, and a second cooling circuit for a second coolant, starting from the coolant inlet via the heat exchanger to the coolant outlet. Thus, the heat generated in the vacuum pump is discharged through the first cooling circuit from the first coolant and transmitted through the heat exchanger to the second cooling circuit with the second coolant. Then the second coolant leaves the pump system via the coolant outlet. In the heat exchanger, not all of the heat is transferred from the first coolant to the second coolant, but only a portion, so that residual heat remains in the first coolant and thus preheated coolant is again available for the vacuum pump. In this case, the first coolant and the second coolant may preferably differ from one another, so that in the first cooling circuit, for example, oil is used as the first coolant, and water is used as the second coolant in the second cooling circuit.

Alternativ hierzu weist das Pumpensystem insbesondere einen einzelnen Kühlkreislauf auf, ausgehend vom Kühlmitteleintritt über den Wärmetauscher zum Kühlelement zurück zum Wärmetauscher und zum Kühlmittelaustritt. Die von der Vakuumpumpe durch das Kühlmittel abgeführte Wärme wird durch den Wärmetauscher auf das zur Vakuumpumpe strömende Kühlmittel im Kühlmittelzulauf übertragen, wodurch der Vakuumpumpe vorgewärmtes Kühlmittel bereitgestellt wird. Hierbei findet insbesondere ein ständiger Austausch des Kühlmittels statt, welcher das Pumpensystem durchströmt. Alternatively, the pump system in particular a single cooling circuit, starting from the coolant inlet via the heat exchanger to the cooling element back to the heat exchanger and the coolant outlet. The heat dissipated by the vacuum pump through the coolant is transmitted through the heat exchanger to the coolant flowing to the vacuum pump in the coolant inlet, whereby the preheated refrigerant is provided to the vacuum pump. In this case, in particular a constant exchange of the coolant takes place, which flows through the pump system.

Insbesondere ist im Kühlmittelzulauf und/oder zwischen Kühlmitteleintritt und Wärmetauscher ein Regelventil angeordnet zur Regelung der Durchflussmenge des Kühlmittels. Insbesondere bei Vorsehen von zwei Kühlkreisläufen kann über ein Regelventil zwischen Kühlmitteleintritt und Wärmetauscher der Anteil der abgeführten Wärme durch den zweiten Kühlkreislauf geregelt werden. Bevorzugt wird das Regelventil gesteuert über eine Temperaturerfassung, wobei durch die Temperaturerfassung beispielsweise die Gehäusetemperatur der Vakuumpumpe und/oder die Temperatur des Kühlmittels im Kühlmittelzulauf bevorzugt unmittelbar vor dem Eintritt in die Vakuumpumpe gemessen wird. In particular, a control valve is arranged in the coolant inlet and / or between coolant inlet and heat exchanger for controlling the flow rate of the coolant. In particular, when providing two cooling circuits can be regulated by a second control valve between coolant inlet and heat exchanger, the proportion of heat dissipated by the second cooling circuit. Preferably, the control valve is controlled by a temperature detection, wherein by the temperature detection, for example, the housing temperature of the vacuum pump and / or the temperature of the coolant in the coolant inlet is preferably measured immediately before entering the vacuum pump.

Insbesondere weist die Vakuumpumpe eine Spülgaszuleitung auf zur Bereitstellung von Spülgas für den Pumpprozess. Dabei ist die Spülgaszuleitung zum Vorwärmen des Spülgases mit dem Wärmetauscher und/oder dem Kühlmittelablauf verbunden, so dass von der Vakuumpumpe durch das Kühlmittel abgeführte Wärme auf das Spülgas übertragen wird. Hierdurch wird das Spülgas vor Einleiten in die Vakuumpumpe vorgewärmt, so dass das Prozessgas nicht lokal abgekühlt wird, was zu einer Kondensation oder Resublimation des Prozessgases führen könnte. Hierbei wird die von der Vakuumpumpe erzeugte Wärme auf das Spülgas übertragen, so dass eine zusätzliche Vorrichtung zum Vorwärmen des Spülgases entfallen kann und bereits vorhandene Wärme, welche durch die Vakuumpumpe erzeugt wird effizient genutzt werden kann zum Vorwärmen des Spülgases. In particular, the vacuum pump has a purge gas supply line for the provision of purge gas for the pumping process. In this case, the purge gas supply line for preheating the purge gas is connected to the heat exchanger and / or the coolant outlet, so that heat dissipated by the vacuum pump through the coolant is transferred to the purge gas. As a result, the purge gas is preheated before being introduced into the vacuum pump, so that the process gas is not cooled locally, which could lead to condensation or resublimation of the process gas. Here is the of the vacuum pump transferred heat transferred to the purge gas, so that an additional device for preheating the purge gas can be omitted and existing heat generated by the vacuum pump can be used efficiently for preheating the purge gas.

Eine zweite unabhängige Erfindung betrifft ein Pumpensystem mit einer Vakuumpumpe, wobei die Vakuumpumpe einen Einlass und einen Auslass aufweist. Dabei weist das Pumpensystem mindestens eine Vakuumpumpe auf, so dass auch ein Pumpensystem aus mehreren Vakuumpumpen, die miteinander in Verbindung stehen, mit umfasst ist. Bei der Vakuumpumpe handelt es sich insbesondere um eine trockenverdichtende Pumpe. Jedoch ist die nachfolgend beschriebene Erfindung im Wesentlichen unabhängig vom Typ der Pumpe, so dass im Wesentlichen jeder Pumpentyp mit umfasst ist. Bei der Vakuumpumpe des erfindungsgemäßen Pumpensystems handelt sich um eine aus dem Stand der Technik bekannte Vakuumpumpe, die üblicherweise einen Schöpfraum aufweisen, in dem ein bewegliches Pumpelement angeordnet ist, um eine Medium von einem Einlass zu einem Auslass zu befördern. Bei dem beweglichen Pumpelement handelt es sich beispielsweise um einen sich drehenden Rotor oder einen Kolben. Insbesondere am Rotor ist mindestens ein Pumpelement angeordnet, durch welches die Förderung des Mediums bewirkt wird. Bei dem hier beschriebenen erfindungsgemäßen Pumpensystem können Schraubenpumpen, Klauenpumpen, Wälzkolbenpumpen, Kolbenpumpen und dergleichen Verwendung finden. Darüber hinaus kann das erfindungsgemäße Pumpensystem neben Verdrängerpumpen auch kinetische Pumpsysteme einschließlich der Mischform der Seitenkanalverdichter aufweisen sowie molekulare Pumpstufen, wie beispielsweise Holweckstufen, Siegbahnstufen, Gaedepumpen und Turbomolekularpumpen. Insbesondere ist das Pumpensystem geeignet, ein Vakuum zu erzeugen, von insbesondere 10^–2 mbar, bevorzugt 10^–3 mbar und besonders bevorzugt 10^–6 mbar.A second independent invention relates to a pump system having a vacuum pump, the vacuum pump having an inlet and an outlet. In this case, the pump system has at least one vacuum pump, so that a pump system of a plurality of vacuum pumps, which are in communication with each other, is included. The vacuum pump is in particular a dry-compressing pump. However, the invention described below is essentially independent of the type of pump, so that essentially any type of pump is included. The vacuum pump of the pump system according to the invention is a vacuum pump known from the prior art, which usually has a suction chamber in which a movable pumping element is arranged in order to convey a medium from an inlet to an outlet. The movable pumping element is, for example, a rotating rotor or a piston. In particular, at least one pumping element is arranged on the rotor, through which the delivery of the medium is effected. In the pump system according to the invention described here screw pumps, claw pumps, Roots pumps, piston pumps and the like can be used. In addition, the pump system according to the invention in addition to positive displacement pumps and kinetic pumping systems including the mixed form of side channel compressors and molecular pumping stages, such as Holweckstufen, Siegbahnstufen, Gaedepumpen and turbomolecular pumps. In particular, the pump system is suitable for generating a vacuum, in particular 10 ^-2 mbar, preferably 10 ^-3 mbar and particularly preferably 10 ^-6 mbar.

Erfindungsgemäß weist das Pumpensystem eine Spülgaszuleitung auf, die mit der Vakuumpumpe verbunden ist zur Bereitstellung von Spülgas für den Pumpprozess. According to the invention, the pump system has a purge gas supply line, which is connected to the vacuum pump for the provision of purge gas for the pumping process.

Erfindungsgemäß ist mit dem Auslass eine Auslassheizung zum Aufheizen des Auslasses verbunden. Dabei ist die Spülgaszuleitung mit der Auslassheizung verbunden, so dass durch die Auslassheizung erzeugte Wärme auf das Spülgas übertragen wird. Hierdurch wird für das Pumpensystem ein vorgewärmtes Spülgas bereitgestellt, ohne dass weitere Heizelemente erforderlich sind durch Nutzen der Auslassheizung. Hierdurch ist die durch die Auslassheizung erzeugte Wärme effizient genutzt zum Vorwärmen des Spülgases. Alternativ hierzu ist mit dem Auslass eine Auspuffleitung verbunden, welche eine Auspuffleitungsheizung aufweist zum Aufheizen der Auspuffleitung. Hierbei ist die Spülgaszuleitung mit der Auspuffleitungsheizung verbunden, so dass durch die Auspuffleitungsheizung erzeugte Wärme auf das Spülgas übertragen wird. Auch hierbei wird bereits erzeugte Wärme genutzt zum Vorwärmen des Spülgases, so dass das Pumpensystem effizient ausgebildet ist.According to the invention, an outlet heater for heating the outlet is connected to the outlet. In this case, the purge gas supply line is connected to the outlet heating, so that heat generated by the outlet heating is transferred to the purge gas. As a result, a preheated purge gas is provided for the pump system without the need for further heating elements by utilizing the outlet heater. As a result, the heat generated by the Auslassheizung is used efficiently for preheating the purge gas. Alternatively, an exhaust pipe is connected to the exhaust, which has an exhaust pipe heating for heating the exhaust pipe. Here, the purge gas supply line is connected to the exhaust line heater so that heat generated by the exhaust line heater is transferred to the purge gas. Here, too, already generated heat is used to preheat the purge gas, so that the pump system is formed efficiently.

Insbesondere ist sowohl eine Auslassheizung als auch eine Auspuffleitungsheizung vorgesehen, welche besonders bevorzugt als ein gemeinsames Auslass-Auspuffleitung-Heizelement ausgebildet ist. Somit ist nur ein einzelnes Heizelement vorgesehen, welches gleichzeitig den Auslass als auch die Auspuffleitung aufheizt. Durch das Auslass-Auspuffleitung-Heizelement wird über die damit verbundene Spülgaszuleitung das Spülgas für den Pumpprozess vorgewärmt. In particular, both an outlet heating and an exhaust line heating is provided, which is particularly preferably designed as a common outlet exhaust pipe heating element. Thus, only a single heating element is provided, which simultaneously heats the outlet and the exhaust pipe. The purge gas for the pumping process is preheated by the outlet exhaust pipe heating element via the purge gas supply line connected thereto.

Insbesondere umgibt die Spülgaszuleitung den Auslass und/oder die Auspuffleitung spiralförmig. Hierdurch wird ein effektiver Wärmeübertrag von der Auslassheizung und/oder der Auspuffleitungsheizung beziehungsweise dem Auslass-Auspuffleitung-Heizelement gewährleistet. In particular, the purge gas supply line spirally surrounds the outlet and / or the exhaust line. As a result, an effective heat transfer from the outlet heater and / or the exhaust line heating or the exhaust outlet line heating element is ensured.

Insbesondere ist die Spülgaszuleitung teilweise von der Auslassheizung und/oder der Auspuffleitungsheizung und bevorzugt dem Auslass-Auspuffleitung-Heizelement umgeben. Durch diese Anordnung wird eine effiziente Wärmeübertragung sichergestellt. Gleichzeitig können die Heizungen bzw. das Heizelement von einer Isolierung umgeben sein, so dass möglichst wenig Wärme an die Umgebung abgegeben wird. In particular, the purge gas supply line is partially surrounded by the Auslassheizung and / or the Auspuffleitungsheizung and preferably the outlet exhaust pipe heating element. This arrangement ensures efficient heat transfer. At the same time, the heaters or the heating element can be surrounded by insulation, so that as little heat as possible is released to the environment.

Insbesondere ist mit der Vakuumpumpe ein Kühlelement verbunden, wobei das Kühlelement einen Kühlmittelzulauf und einen Kühlmittelablauf aufweist zur Kühlung der Vakuumpumpe durch Aufnahme und Abführen von Wärme durch ein Kühlmittel. Dabei sind der Kühlmittelzulauf und der Kühlmittelablauf mit einem Wärmetauscher verbunden. In particular, a cooling element is connected to the vacuum pump, wherein the cooling element has a coolant inlet and a coolant outlet for cooling the vacuum pump by receiving and removing heat by a coolant. The coolant inlet and the coolant outlet are connected to a heat exchanger.

Insbesondere ist das Pumpensystem weitergebildet entsprechend den Merkmalen der ersten Erfindung.In particular, the pump system is developed according to the features of the first invention.

Eine dritte unabhängige Erfindung betrifft ein Pumpensystem mit einer Vakuumpumpe. Dabei weist das Pumpensystem mindestens eine Vakuumpumpe auf, so dass auch ein Pumpensystem aus mehreren Vakuumpumpen, die miteinander in Verbindung stehen, mit umfasst ist. Bei der Vakuumpumpe handelt es sich insbesondere um eine trockenverdichtende Pumpe. Jedoch ist die nachfolgend beschriebene Erfindung im Wesentlichen unabhängig vom Typ der Pumpe, so dass im Wesentlichen jeder Pumpentyp mit umfasst ist. Bei der Vakuumpumpe des erfindungsgemäßen Pumpensystems handelt sich um eine aus dem Stand der Technik bekannte Vakuumpumpe, die üblicherweise einen Schöpfraum aufweist, in dem ein bewegliches Pumpelement angeordnet ist, um ein Medium von einem Einlass zu einem Auslass zu befördern. Bei dem beweglichen Pumpelement handelt es sich beispielsweise um einen sich drehenden Rotor oder einen Kolben. Insbesondere am Rotor ist mindestens ein Pumpelement angeordnet, durch welches die Förderung des Mediums bewirkt wird. Bei dem hier beschriebenen erfindungsgemäßen Pumpensystem können Schraubenpumpen, Klauenpumpen, Wälzkolbenpumpen, Kolbenpumpen und dergleichen Verwendung finden. Darüber hinaus kann das erfindungsgemäße Pumpensystem neben Verdrängerpumpen auch kinetische Pumpsysteme einschließlich der Mischform der Seitenkanalverdichter aufweisen sowie molekulare Pumpstufen, wie beispielsweise Holweckstufen, Siegbahnstufen, Gaedepumpen und Turbomolekularpumpen. Insbesondere ist das Pumpensystem geeignet, ein Vakuum zu erzeugen, von insbesondere 10^–2 mbar, bevorzugt 10^–3 mbar und besonders bevorzugt 10^–6 mbar.A third independent invention relates to a pump system with a vacuum pump. In this case, the pump system has at least one vacuum pump, so that a pump system of a plurality of vacuum pumps, which are in communication with each other, is included. The vacuum pump is in particular a dry-compressing pump. However, the invention described below is essentially independent of the type of pump, so that in Essentially every type of pump is included. The vacuum pump of the pump system according to the invention is a vacuum pump known from the prior art, which usually has a suction chamber in which a movable pumping element is arranged in order to convey a medium from an inlet to an outlet. The movable pumping element is, for example, a rotating rotor or a piston. In particular, at least one pumping element is arranged on the rotor, through which the delivery of the medium is effected. In the pump system according to the invention described here screw pumps, claw pumps, Roots pumps, piston pumps and the like can be used. In addition, the pump system according to the invention in addition to positive displacement pumps and kinetic pumping systems including the mixed form of side channel compressors and molecular pumping stages, such as Holweckstufen, Siegbahnstufen, Gaedepumpen and turbomolecular pumps. In particular, the pump system is suitable for generating a vacuum, in particular 10 ^-2 mbar, preferably 10 ^-3 mbar and particularly preferably 10 ^-6 mbar.

Erfindungsgemäß ist die Vakuumpumpe mit einem Kühlelement verbunden, wobei das Kühlelement einen Kühlmittelzulauf und einen Kühlmittelablauf aufweist zur Kühlung der Vakuumpumpe durch Aufnehmen und Abführen von Wärme durch das Kühlmittel.According to the invention, the vacuum pump is connected to a cooling element, wherein the cooling element has a coolant inlet and a coolant outlet for cooling the vacuum pump by absorbing and removing heat by the coolant.

Erfindungsgemäß ist im Kühlmittelzulauf ein Heizelement zum Vorwärmen des Kühlmittels angeordnet. Hierdurch wird das der Vakuumpumpe zugeführte Kühlmittel vorgewärmt, so dass auch bei erhöhter Pumpentemperatur stets eine ausreichende Kühlung von temperaturempfindlichen Bauteilen gewährleistet wird und es zu einer Homogenisierung der Wärmeverteilung innerhalb der Vakuumpumpe kommt, so dass keine temperaturempfindlichen Bauteile beschädigt werden können. According to the invention, a heating element for preheating the coolant is arranged in the coolant inlet. As a result, the vacuum pump supplied coolant is preheated, so that even at elevated pump temperature, a sufficient cooling of temperature-sensitive components is always guaranteed and there is a homogenization of the heat distribution within the vacuum pump, so that no temperature-sensitive components can be damaged.

Insbesondere sind der Kühlmittelzulauf und der Kühlmittelablauf mit einem Wärmetauscher verbunden. Somit wird Wärme von Kühlmittelablauf auf den Kühlmittelzulauf übertragen. Dies erfolgt jedoch erst, sobald die Vakuumpumpe eine gewisse Betriebstemperatur erreicht hat. Somit wird insbesondere durch das vorgesehene erfindungsgemäße Heizelement während der Anlaufphase der Vakuumpumpe sichergestellt, dass trotzdem geeignet vorgewärmtes Kühlwasser zur Vakuumpumpe gelangt. Sobald über den Wärmetauscher ausreichend Wärme vom Kühlmittelablauf auf den Kühlmittelzulauf übertragen wird, kann im Weiteren das Heizelement abgeschaltet werden. In particular, the coolant inlet and the coolant outlet are connected to a heat exchanger. Thus, heat is transferred from the coolant outlet to the coolant inlet. However, this takes place only when the vacuum pump has reached a certain operating temperature. Thus, it is ensured in particular by the proposed heating element according to the invention during the start-up phase of the vacuum pump that still passes suitably preheated cooling water to the vacuum pump. As soon as sufficient heat is transferred from the coolant outlet to the coolant inlet via the heat exchanger, the heating element can subsequently be switched off.

Insbesondere ist das Pumpensystem gemäß den Merkmalen der ersten Erfindung weitergebildet. In particular, the pump system is developed according to the features of the first invention.

Insbesondere weist die Vakuumpumpe einen Einlass und einen Auslass auf. Weiter ist die Vakuumpumpe verbunden mit einer Spülgaszuleitung zur Bereitstellung von Spülgas für den Pumpprozess. Mit dem Auslass ist eine Auslassheizung verbunden zum Aufheizen des Auslasses, wobei die Spülgaszuleitung mit der Auslassheizung verbunden ist, so dass durch die Auslassheizung erzeugte Wärme auf das Spülgas übertragen wird und das Spülgas vor Einleiten in die Vakuumpumpe somit vorgewärmt wird. Alternativ hierzu ist mit dem Auslass eine Auspuffleitung verbunden, die wiederum mit einer Auspuffleitungsheizung verbunden ist zum Aufheizen der Auspuffleitung. Hierbei ist die Spülgaszuleitung mit der Auspuffleitungsheizung verbunden, so dass durch die Auspuffleitungsheizung erzeugte Wärme auf das Spülgas übertragen wird. Auch hierdurch wird die erzeugte Wärme effizient genutzt durch Vorwärmen des Spülgases. Durch ein vorgewärmtes Spülgas wird sichergestellt, dass es nicht zu einer lokalen Abkühlung des Prozessgases kommt, welches zur Kondensation oder Sublimierung innerhalb der Vakuumpumpe führen würde.In particular, the vacuum pump has an inlet and an outlet. Further, the vacuum pump is connected to a purge gas supply line for providing purge gas for the pumping process. An outlet heater is connected to the outlet for heating the outlet, wherein the purge gas supply line is connected to the outlet heater, so that heat generated by the outlet heater is transferred to the purge gas and the purge gas is thus preheated before being introduced into the vacuum pump. Alternatively, an exhaust pipe is connected to the exhaust, which is in turn connected to an exhaust pipe heater for heating the exhaust pipe. Here, the purge gas supply line is connected to the exhaust line heater so that heat generated by the exhaust line heater is transferred to the purge gas. Again, the generated heat is used efficiently by preheating the purge gas. A preheated purge gas ensures that there is no local cooling of the process gas, which would lead to condensation or sublimation within the vacuum pump.

Insbesondere ist das Pumpensystem weitergebildet entsprechend den Merkmalen der zweiten Erfindung. In particular, the pump system is developed according to the features of the second invention.

Insbesondere ist das Heizelement in Strömungsrichtung nach dem Wärmetauscher angeordnet. In particular, the heating element is arranged downstream of the heat exchanger.

Insbesondere handelt es sich bei dem Heizelement um ein elektrisches Heizelement. Hierdurch wird ein einfacher Aufbau sichergestellt. Alternativ oder zusätzlich handelt es sich bei dem Heizelement um die Auslassheizung, die Auspuffleitungsheizung und/oder das Auslass-Auspuffleitung-Heizelement. Somit wird die durch die Auslassheizung und/oder die Auspuffleitungsheizung und/oder das Auslass-Auspuffleitung-Heizelement erzeugte Wärme genutzt, um das Kühlmittel vorzuwärmen, so dass effizient die erzeugte Wärme genutzt werden kann. In particular, the heating element is an electrical heating element. This ensures a simple construction. Alternatively or additionally, the heating element is the outlet heater, the exhaust line heater, and / or the exhaust outlet header heating element. Thus, the heat generated by the exhaust heater and / or the exhaust pipe heater and / or the exhaust outlet pipe heater is utilized to preheat the coolant so that the generated heat can be efficiently utilized.

Insbesondere können die Merkmale der einzelnen Erfindungen, sofern nicht bereits erwähnt, frei miteinander kombiniert werden, so dass ein effizientes Pumpensystem erreicht wird, welches bei Förderung von Gasen und Dämpfen nahe der Kondensationsgrenzen bzw. der Resublimationsgrenze sicherstellt, dass weder Kondensation noch Resublimation auftritt. Hierdurch wird stets ein sicherer Betrieb des Pumpensystems gewährleistet und dadurch sichergestellt, dass kondensierendes oder sublimierendes Prozessgas die Vakuumpumpe nicht zusetzen oder sogar blockieren kann.In particular, the features of the individual inventions, if not already mentioned, can be combined freely with one another, so that an efficient pump system is achieved which ensures that neither condensation nor resublimation occurs when conveying gases and vapors near the condensation limits or the resublimation boundary. This always ensures safe operation of the pump system and thereby ensures that condensing or sublimating process gas can not clog or even block the vacuum pump.

Eine vierte unabhängige Erfindung betrifft ein Verfahren zum Vorwärmen eines Kühlmittels bei einer Vakuumpumpe. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird zumindest ein Teil der vom Kühlmittel bei Durchlauf durch die Vakuumpumpe aufgenommenen Wärme auf das zur Vakuumpumpe zugeführte Kühlmittel übertragen. Somit wird durch das Kühlmittel nicht die gesamte aufgenommene Wärme abgeführt, sondern ein Teil der aufgenommenen Wärme wird genutzt, um das zugeführte Kühlmittel vorzuwärmen. A fourth independent invention relates to a method of preheating a refrigerant in a vacuum pump. In the method according to the invention, at least part of the heat absorbed by the coolant as it passes through the vacuum pump is transferred to the coolant supplied to the vacuum pump. Thus, not the entire absorbed heat is dissipated by the coolant, but a part of the absorbed heat is used to preheat the supplied coolant.

Insbesondere wird das Verfahren durchgeführt mit einem Pumpensystem gemäß der ersten Erfindung.In particular, the method is carried out with a pump system according to the first invention.

Insbesondere wird das Kühlmittel vor dem Durchlauf durch die Vakuumpumpe zur Kühlung der Vakuumpumpe durch ein Heizelement vorgewärmt.In particular, the coolant is preheated by a heating element before passing through the vacuum pump for cooling the vacuum pump.

Insbesondere wird dabei das Heizelement zugeschaltet, sofern keine ausreichende von der Vakuumpumpe erzeugte Wärme vorliegt, wie beispielsweise beim Anlaufen der Pumpe oder beim Anhalten. In dieser Situation kann nicht genügend Wärme, welche das Kühlmittel beim Durchlauf durch die Vakuumpumpe aufgenommen hat, auf das zugeführte Kühlmittel übertragen werden zur ausreichenden Vorwärmung des Kühlmittels vor Durchlauf durch die Vakuumpumpe. Sobald die von der Vakuumpumpe abgeführte Wärme ausreicht, das zugeführte Kühlmittel vorzuwärmen, wird bevorzugt das Heizelement ausgeschaltet.In particular, while the heating element is switched on, if there is no sufficient heat generated by the vacuum pump, such as when starting the pump or stopping. In this situation, not enough heat that the coolant has taken up as it passes through the vacuum pump can be transferred to the supplied coolant to sufficiently preheat the coolant before passing through the vacuum pump. Once the heat dissipated by the vacuum pump is sufficient to preheat the supplied coolant, the heating element is preferably switched off.

Insbesondere erfolgt das Verfahren unter Verwendung eines Pumpensystems der dritten Erfindung.In particular, the method is carried out using a pump system of the third invention.

Eine fünfte unabhängige Erfindung beschreibt ein Verfahren zum Vorwärmen eines Kühlmittels bei einer Vakuumpumpe, bei welchem das Kühlmittel durch ein Heizelement vor dem Durchlauf durch die Vakuumpumpe vorgewärmt wird.A fifth independent invention describes a method of preheating a refrigerant in a vacuum pump in which the refrigerant is preheated by a heating element before passing through the vacuum pump.

Insbesondere erfolgt das Verfahren unter Verwendung eines Pumpensystems gemäß der dritten Erfindung.In particular, the method is carried out using a pump system according to the third invention.

Eine sechste unabhängige Erfindung betrifft ein Verfahren zum Vorwärmen eines Spülgases bei einer Vakuumpumpe, bei welchem das Spülgas durch die von der Vakuumpumpe erzeugte Wärme und/oder durch die durch ein Heizelement erzeugte Wärme vorgewärmt wird.A sixth independent invention relates to a method of preheating a purge gas in a vacuum pump in which the purge gas is preheated by the heat generated by the vacuum pump and / or by the heat generated by a heating element.

Insbesondere wird das Verfahren durchgeführt unter Verwendung eines Pumpensystems gemäß der zweiten Erfindung.In particular, the method is performed using a pump system according to the second invention.

Insbesondere wird die von der Vakuumpumpe erzeugte Wärme über ein Kühlmittel auf das Spülgas übertragen.In particular, the heat generated by the vacuum pump is transferred to the purge gas via a coolant.

Insbesondere wird durch das Heizelement ein Auslass bzw. eine mit dem Auslass verbundene Auspuffleitung aufgeheizt. Dies erfolgt mit demselben Heizelement zur Vorwärmung des Spülgases, so dass die durch das Heizelement erzeugte Wärme effizient genutzt wird. In particular, an outlet or an exhaust line connected to the outlet is heated by the heating element. This is done with the same heating element for preheating the purge gas, so that the heat generated by the heating element is used efficiently.

Insbesondere können die Merkmale der Verfahren der Erfindungen vier bis sechs frei miteinander kombiniert werden, so dass ein effizientes Verfahren erreicht wird, bei dem ein sicherer Betrieb gewährleistet wird, das effektiv Kondensation und Resublimation des Prozessgases verhindert wird. In particular, the features of the methods of the invention four to six can be freely combined with each other, so that an efficient method is achieved in which a safe operation is ensured, which is effectively prevented condensation and resublimation of the process gas.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. The invention will be explained in more detail below with reference to preferred embodiments with reference to the accompanying drawings.

Es zeigen:Show it:

1 eine erste Ausführungsform des Pumpensystems mit einem Wärmetauscher, 1 A first embodiment of the pump system with a heat exchanger,

2 eine zweite Ausführungsform des Pumpensystems mit einem Wärmetauscher, 2 A second embodiment of the pump system with a heat exchanger,

3 eine dritte Ausführungsform des Pumpensystems mit einem Heizelement, 3 A third embodiment of the pump system with a heating element,

4 eine vierte Ausführungsform des Pumpensystems mit einem Wärmetauscher und einem Heizelement, 4 A fourth embodiment of the pump system with a heat exchanger and a heating element,

5 eine fünfte Ausführungsform des Pumpensystems mit einem Wärmetauscher und einem Heizelement, 5 A fifth embodiment of the pump system with a heat exchanger and a heating element,

6 eine sechste Ausführungsform des Pumpensystems mit einer Spülgasvorwärmung, 6 A sixth embodiment of the pump system with a purge gas preheating,

7 eine Detailansicht der Spülgasvorwärmung, 7 a detailed view of the purge gas preheating,

8 eine siebte Ausführungsform des Pumpensystems mit zwei Heizelementen, 8th A seventh embodiment of the pump system with two heating elements,

9 eine achte Ausführungsform des Pumpensystems mit einer Spülgasvorwärmung und einem Wärmetauscher und 9 an eighth embodiment of the pump system with a Spülgasvorwärmung and a heat exchanger and

10 eine neunte Ausführungsform des Pumpensystems mit einer Spülgasvorwärmung und einem Wärmetauscher. 10 A ninth embodiment of the pump system with a Spülgasvorwärmung and a heat exchanger.

Erfindungsgemäß weist das Pumpensystem 10 mindestens eine Vakuumpumpe 12 auf, mit einem Einlass 14 und einem Auslass 16. Dabei kann mit dem Einlass 14 und/oder dem Auslass 16 eine weitere Vakuumpumpe verbunden sein. According to the invention, the pump system 10 at least one vacuum pump 12 up, with one inlet 14 and an outlet 16 , It can with the inlet 14 and / or the outlet 16 be connected to another vacuum pump.

Mit der Vakuumpumpe 12 ist ein Kühlelement 18 verbunden, welches fluidisch verbunden ist mit einem Kühlmittelzulauf 20 und einem Kühlmittelablauf 22. Über den Kühlmittelzulauf 20 gelangt Kühlmittel zum Kühlelement 18, nimmt dort Wärme, die von der Vakuumpumpe 12 produziert wurde, auf und wird über den Kühlmittelablauf 22 aus der Vakuumpumpe 12 herausgeführt. With the vacuum pump 12 is a cooling element 18 connected, which is fluidly connected to a coolant inlet 20 and a coolant drain 22 , About the coolant inlet 20 coolant reaches the cooling element 18 , it absorbs heat from the vacuum pump 12 was produced, and is about the coolant drain 22 from the vacuum pump 12 led out.

Der Kühlmittelzulauf 20 sowie der Kühlmittelablauf 22 sind mit einem Wärmetauscher 24 verbunden. Der Kühlmittelzulauf 20 und der Kühlmittelablauf 22 bilden dabei einen ersten Kühlkreislauf 26. Mit dem Wärmetauscher 24 sind ein Kühlmitteleintritt 28 sowie ebenfalls ein Kühlmittelaustritt 30 verbunden. Kühlmitteleintritt 28 sowie Kühlmittelaustritt 30 bilden einen zweiten Kühlkreislauf 27, der mit dem ersten Kühlkreislauf 26 lediglich über den Wärmetauscher 24 verbunden ist und nicht in fluidischer Verbindung mit diesem steht. Durch den ersten Kühlkreislauf 26 aufgenommene Wärme der Vakuumpumpe 12 wird über den Wärmetauscher 24 auf den zweiten Kühlkreislauf 27 übertragen. Durch Kühlmittel, welches durch den Kühlmitteleintritt 28 eintritt, nimmt der Wärmetauscher 24 diese Wärme auf und verlässt das Pumpensystem über den Kühlmittelaustritt 30, so dass die aufgenommene Wärmte effektiv abgeführt wird.The coolant inlet 20 and the coolant drain 22 are with a heat exchanger 24 connected. The coolant inlet 20 and the coolant drain 22 form a first cooling circuit 26 , With the heat exchanger 24 are a coolant inlet 28 as well as a coolant outlet 30 connected. Coolant inlet 28 as well as coolant outlet 30 form a second cooling circuit 27 that with the first cooling circuit 26 only over the heat exchanger 24 is connected and not in fluid communication with this. Through the first cooling circuit 26 absorbed heat of the vacuum pump 12 is via the heat exchanger 24 on the second cooling circuit 27 transfer. By coolant, which enters through the coolant 28 enters, takes the heat exchanger 24 this heat on and leaves the pump system via the coolant outlet 30 so that the absorbed heat is dissipated effectively.

Im Kühlmitteleintritt 28 ist ein Regelventil 32 vorgesehen, welches die Durchflussmenge des Kühlmittels durch den zweiten Kühlkreislauf 27 reguliert, wodurch ebenfalls die durch den zweiten Kühlkreislauf 27 abgeführte Wärme reguliert werden kann. Somit kann über das Regelventil 32 die im ersten Kühlkreislauf 26 verbleibende Wärme so eingestellt werden, dass über den Kühlmittelzulauf 20 vorgewärmtes Kühlmittel zum Kühlelement 18 gelangt. Vorzugsweise ist hierzu das Regelventil 32 steuerbar in Abhängigkeit der Temperatur am Kühlelement 18, wozu ein Temperaturmesssensor 34 im Bereich des Kühlelements 18 angeordnet ist. Andere Orte für den Temperatursensor wären beispielsweise der Kühlmittelzulauf 20 sowie das Gehäuse der Vakuumpumpe 12. In the coolant inlet 28 is a control valve 32 provided, which is the flow rate of the coolant through the second cooling circuit 27 regulated, which also through the second cooling circuit 27 Dissipated heat can be regulated. Thus, via the control valve 32 in the first cooling circuit 26 remaining heat can be adjusted so that over the coolant inlet 20 preheated coolant to the cooling element 18 arrives. Preferably, this is the control valve 32 controllable as a function of the temperature at the cooling element 18 including a temperature sensor 34 in the region of the cooling element 18 is arranged. Other locations for the temperature sensor would be, for example, the coolant inlet 20 and the housing of the vacuum pump 12 ,

Selbstverständlich können weitere Regelventile vorgesehen sein zur genauen Steuerung der Kühlung der Vakuumpumpe. Auf diese wurde einfachheitshalber verzichtet zur Verbesserung der Darstellung. So können beispielsweise Regelventile auch im ersten Kühlkreislauf 26 vorgesehen sein. Of course, further control valves may be provided for precise control of the cooling of the vacuum pump. This was omitted for the sake of simplicity to improve the presentation. For example, control valves can also be used in the first cooling circuit 26 be provided.

Im Nachfolgenden werden gleiche oder identische Bauteile mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.Hereinafter, identical or identical components are identified by the same reference numerals.

In einer zweiten Ausführungsform gezeigt in 2 weist das Pumpensystem 36 lediglich einen Kühlkreislauf auf. Vom Kühlmitteleintritt 28 gelangt das Kühlmittel zum Wärmetauscher 24 und wird von dort dem mit der Vakuumpumpe 18 verbundenen Kühlelement über einen Kühlmittelzulauf zugeführt. Über das Kühlelement 18 nimmt das Kühlmittel die von der Vakuumpumpe 12 erzeugte Wärme auf und wird über einen Kühlmittelablauf 22 wieder zum Wärmetauscher 24 geführt. Im Wärmetauscher 24 wird die Wärme, welche das Kühlmittel im Kühlelement 18 von der Vakuumpupe 12 aufgenommen hat, auf das zur Vakuumpumpe 12 hinströmende Kühlmittel im Kühlmittelzulauf 20 zumindest teilweise übertragen. Vom Wärmetauscher 24 aus verlässt das Kühlmittel das Pumpensystem über den Kühlmittelaustritt 30. Beträgt die Temperatur des Kühlmittels am Kühlmitteleintritt beispielsweise 20°, so wird das Kühlmittel im Wärmetauscher 24 auf beispielsweise 45° aufgewärmt und sodann dem Kühlelement 18 über den Kühlmittelzulauf 20 zugeführt. Im Kühlelement 18 nimmt das Kühlmittel Wärme auf, die von der Vakuumpumpe 12 produziert wurde und erwärmt sich so beispielsweise auf 60°. Nach dem Übertrag dieser aufgenommenen Wärme im Wärmetauscher auf das zuströmende Kühlmittel reduziert sich die im Kühlmittel enthaltene Wärme, so dass das Kühlmittel beispielsweise eine Temperatur von nur noch 45° aufweist, so dass ein Kühlmittel mit beispielsweise 45° über den Kühlmittelautritt 30 das Pumpensystem 30 verlässt. In a second embodiment shown in FIG 2 has the pump system 36 only a cooling circuit. From the coolant inlet 28 the coolant reaches the heat exchanger 24 and from there it becomes with the vacuum pump 18 connected cooling element fed via a coolant inlet. About the cooling element 18 the coolant takes the from the vacuum pump 12 generated heat and is via a coolant outlet 22 back to the heat exchanger 24 guided. In the heat exchanger 24 is the heat, which is the coolant in the cooling element 18 from the vacuum horn 12 on the vacuum pump 12 incoming coolant in the coolant inlet 20 at least partially transmitted. From the heat exchanger 24 the coolant leaves the pump system via the coolant outlet 30 , If the temperature of the coolant at the coolant inlet, for example, 20 °, so the coolant in the heat exchanger 24 heated to, for example, 45 ° and then the cooling element 18 over the coolant inlet 20 fed. In the cooling element 18 The coolant absorbs heat from the vacuum pump 12 was produced and thus heats up to 60 °, for example. After the transfer of this absorbed heat in the heat exchanger to the inflowing coolant, the heat contained in the coolant is reduced, so that the coolant, for example, has a temperature of only 45 °, so that a coolant with, for example, 45 ° over the Kühlmittelautritt 30 the pump system 30 leaves.

Im Pumpensystem 30 ist in der Kühlmittelzuleitung 20 ein Regelventil 38 vorgesehen, welches in Abhängigkeit der Temperatur des Kühlmittels beispielsweise am Ort des Regelventils 38 gesteuert wird und so die Durchflussmenge des Kühlmittels durch das Kühlelement 18 reguliert. In the pump system 30 is in the coolant supply line 20 a control valve 38 provided, which depending on the temperature of the coolant, for example, at the location of the control valve 38 is controlled and so the flow rate of the coolant through the cooling element 18 regulated.

Das in der 3 gezeigte Pumpensystem 40 weist im Kühlmittelzulauf 20 neben einem Regelventil 38 wie vorstehend beschrieben ein Heizelement 42 auf, welches ebenfalls mit dem Kühlmitteleintritt 28 verbunden ist. Durch den Kühlmitteleintritt 28 eintretendes Kühlmittel wird durch das Heizelement 42 vorgewärmt, gelangt über den Kühlmittelzulauf 20 zum Kühlelement 18. Der Kühlmittelablauf 22 ist im Pumpensystem 40 unmittelbar mit dem Kühlmittelautritt 30 verbunden, so dass das Kühlmittel vom Kühlelement 18 unmittelbar zum Kühlmittelaustritt 30 gelangt. That in the 3 shown pump system 40 points in the coolant inlet 20 next to a control valve 38 as described above, a heating element 42 on, which also with the coolant inlet 28 connected is. Through the coolant inlet 28 entering coolant is through the heating element 42 preheated, passes over the coolant inlet 20 to the cooling element 18 , The coolant drain 22 is in the pump system 40 immediately with the coolant failure 30 connected so that the coolant from the cooling element 18 directly to the coolant outlet 30 arrives.

Im Pumpensystem 44 gezeigt in der 4 ist das Heizelement 42 in einem ersten Kühlkreislauf 26 angeordnet, der über einen Wärmtauscher 24 mit einem zweiten Kühlkreislauf 27 gekoppelt ist. So wird beim Abfallen der Temperatur des Kühlmittels im ersten Kühlkreislauf 26 über das Heizelement 42 die Temperatur angehoben, so dass stets ausreichend vorgewärmtes Kühlmittel zum Kühlelement 18 gelangt. Über den zweiten Kühlkreislauf 27 kann mittels des Wärmetauschers 24 das Kühlmittel im ersten Kühlkreislauf 26 gekühlt werden. In the pump system 44 shown in the 4 is the heating element 42 in a first cooling circuit 26 arranged, via a heat exchanger 24 with a second cooling circuit 27 is coupled. Thus, when the temperature of the coolant in the first cooling circuit drops 26 over the heating element 42 the temperature is raised, so that always enough preheated coolant to the cooling element 18 arrives. About the second cooling circuit 27 can by means of the heat exchanger 24 the coolant in the first cooling circuit 26 be cooled.

Das Pumpensystem 48 der 5 weist lediglich einen Pumpkreislauf auf, wobei mit dem Kühlmittelzulauf 20 und dem Kühlmittelablauf 22 ein Wärmetauscher 24 vorgesehen ist. Zusätzlich ist am Auslass 16 der Vakuumpumpe 12 eine Auslassheizung 50 vorgesehen, die den Auslass 16 der Vakuumpumpe 12 auf einer geeigneten Temperatur hält, so dass im Bereich des Auslasses 16 Kondensation und Sublimation vermieden wird. The pump system 48 of the 5 has only one pumping circuit, with the coolant inlet 20 and the coolant drain 22 a heat exchanger 24 is provided. Additionally is at the outlet 16 the vacuum pump 12 an outlet heating 50 provided the outlet 16 the vacuum pump 12 keeps at a suitable temperature, leaving in the area of the outlet 16 Condensation and sublimation is avoided.

Über eine zusätzliche Leitung 52, in der ein Ventil 54 angeordnet ist, kann das Kühlmittel vom Kühlmitteleintritt 28 über die Auslassheizung 50 zum Kühlmittelzulauf 20 geführt werden. Im Kühlmittelzulauf 20 ist ein weiteres Ventil 56 angeordnet. Sollte die Temperatur des Kühlmittels zu niedrig sein und die von der Vakuumpumpe 12 erzeugte Wärme nicht ausreichen, um über den Wärmetauscher 24 das Kühlmittel geeignet vorzuwärmen, so kann ein Vorwärmen des Kühlmittels erfolgen durch die Auslassheizung 50, wobei hierzu das Ventil 54 zumindest teilweise geöffnet wird, wohingegen das Ventil 56 zumindest teilweise geschlossen wird. Somit wird die Auslassheizung 50 sowohl zum Heizen des Auslasses 16 der Vakuumpumpe 12 genutzt als auch zum Vorwärmen des Kühlmittels. About an additional line 52 in which a valve 54 is arranged, the coolant from the coolant inlet 28 over the outlet heating 50 to the coolant inlet 20 be guided. In the coolant inlet 20 is another valve 56 arranged. Should the temperature of the coolant be too low and that of the vacuum pump 12 generated heat is insufficient to pass through the heat exchanger 24 To preheat the coolant suitably, the coolant can be preheated by the outlet heater 50 , in which case the valve 54 is at least partially opened, whereas the valve 56 at least partially closed. Thus, the outlet heater 50 both for heating the outlet 16 the vacuum pump 12 used as well as for preheating the coolant.

Das Pumpensystem 58 gezeigt in der 6 weist eine Spülgaszuleitung 60 auf, über die ein Spülgas von einem Spülgaseintritt 62 der Pumpe 12 zugeleitet wird.The pump system 58 shown in the 6 has a purge gas supply line 60 on, via which a purge gas from a purge gas inlet 62 the pump 12 is forwarded.

Weiter weist das Pumpensystem 58 eine Auslassheizung 50 auf. Die Spülgaszuleitung 60 ist mit der Auslassheizung 50 verbunden, so dass Wärme der Auslassheizung 50 auf das Spülgas übertragen wird und dieses geeignet vorwärmt. Next points the pump system 58 an outlet heating 50 on. The purge gas supply line 60 is with the outlet heater 50 connected so that heat the outlet heating 50 is transferred to the purge gas and this preheats suitable.

Dabei ist die Spülgaszuleitung 60 spiralförmig um den Auslass 16 gelegt, wie in 7 gezeigt, um einen möglichst effektiven Wärmeübertrag von der Auslassheizung auf die Spülgaszuleitung zu erhalten.Here is the purge gas inlet 60 spiral around the outlet 16 laid as in 7 shown to obtain the most effective heat transfer from the outlet heater to the purge gas supply line.

Bei der Auslassheizung 50 kann es sich alternativ oder zusätzlich um ein Heizelement zum Heizen einer Auspuffleitung handeln, welche mit dem Auslass 16 der Vakuumpumpe 12 verbunden ist. Auch können Auslass 16 und Auspuffleitung ein gemeinsames Heizelement aufweisen, welches den Auslass 16 und die Auspuffleitung gleichzeitig heizt.At the outlet heating 50 it may alternatively or additionally be a heating element for heating an exhaust pipe, which communicates with the outlet 16 the vacuum pump 12 connected is. Also can outlet 16 and exhaust pipe having a common heating element, which is the outlet 16 and heats the exhaust pipe at the same time.

Das Pumpsystem 64 der 8 weist ein Kühlelement 18 auf, welches über eine Kühlmittelzuleitung 20 mit einem Kühlmitteleintritt 28 verbunden ist, sowie einen Kühlmittelablauf 22 mit einem Kühlmittelaustritt 30. Im Kühlmittelzulauf 20 ist ein Heizelement 42 angeordnet zum Vorwärmen des Kühlmittels, welches sodann durch das Kühlelement 18 die Vakuumpumpe 12 kühlt. Weiter weist die Pumpe eine Spülgaszuleitung 60 auf, die mit einer Auslassheizung 50 verbunden ist. Über eine weitere Leitung 66 ist die Spülgaszuleitung 60 mit dem Heizelement 42 verbunden. Hierdurch wird Spülgas, welches durch den Spülgaseintritt 62 in das Pumpensystem eintritt, zunächst im Heizelement 42 vorgewärmt, welches auch dem Vorwärmen des Kühlmittels dient. Nachfolgend erfolgt eine abschließende Aufwärmung des Spülgases in der Auslassheizung 50, bevor das Spülgas der Vakuumpumpe 12 zugeführt wird. Hierdurch wird sowohl die Wärme des Heizelements für das Kühlmittel als auch der Auslassheizung 50 genutzt, um das Spülgas vorzuheizen. Da die Auslassheizung üblicherweise höhere Temperaturen aufweist als das Heizelement 42 zum Vorwärmen des Kühlmittels, ist es vorteilhaft, das Spülgas zunächst durch das Heizelement 42 und erst danach durch die Auslassheizung 50 zu leiten.The pumping system 64 of the 8th has a cooling element 18 on, which via a coolant supply line 20 with a coolant inlet 28 is connected, and a coolant outlet 22 with a coolant outlet 30 , In the coolant inlet 20 is a heating element 42 arranged for preheating the coolant, which then through the cooling element 18 the vacuum pump 12 cools. Next, the pump has a purge gas supply line 60 on that with an outlet heater 50 connected is. About another line 66 is the purge gas supply line 60 with the heating element 42 connected. This will purge gas, which enters through the purge gas 62 enters the pump system, first in the heating element 42 preheated, which also serves to preheat the coolant. Subsequently, a final warming of the purge gas in the Auslassheizung takes place 50 before the purge gas of the vacuum pump 12 is supplied. As a result, both the heat of the heating element for the coolant and the outlet heating 50 used to preheat the purge gas. Since the outlet heater usually has higher temperatures than the heating element 42 for preheating the coolant, it is advantageous, the purge gas first through the heating element 42 and only then through the Auslassheizung 50 to lead.

Das Pumpensystem 68 gezeigt in der 9 weist einen ersten Kühlmittelkreislauf 26 und einen zweiten Kühlmittelkreislauf 27 auf, die über einen Wärmetauscher 24 miteinander verbunden sind. Darüber hinaus weist die Pumpe 12 des Pumpensystems eine Spülgaszuleitung 60 auf. Diese ist mit dem Kühlmittelablauf 22 des ersten Kühlmittelkreislaufs 26 verbunden und umgibt diesen insbesondere spiralförmig. Durch den Spülgaseintritt 62 eintretendes Spülgas nimmt sodann Wärme auf, welche die Pumpe 12 über das Kühlelement 18 an das Kühlmittel abgegeben hat, welches durch den Kühlmittelablauf 22 strömt. Hierdurch wird das Spülgas geeignet vorgewärmt und über die Spülgaszuleitung 60 zur Vakuumpumpe 12 geleitet. Insbesondere umgibt die Spülgaszuleitung 60 den Kühlmittelablauf 22 dabei spiralförmig.The pump system 68 shown in the 9 has a first coolant circuit 26 and a second coolant circuit 27 on that over a heat exchanger 24 connected to each other. In addition, the pump points 12 the pump system, a purge gas supply line 60 on. This is with the coolant drain 22 of the first coolant circuit 26 connected and surrounds this particular spiral. Through the purge gas inlet 62 Entering purge gas then absorbs heat, which is the pump 12 over the cooling element 18 has delivered to the coolant, which by the coolant outlet 22 flows. As a result, the purge gas is preheated suitable and over the purge gas inlet 60 to the vacuum pump 12 directed. In particular, surrounds the purge gas supply line 60 the coolant drain 22 while spiraling.

Das Pumpensystem 70 der 10 weist einen Kühlmittelkreislauf auf, bei dem ein Kühlmittelzulauf 20 und ein Kühlmittelablauf 22 über einen Wärmetauscher 24 mit einem Kühlmitteleintritt 28 und einem Kühlmittelaustritt 30 verbunden sind. Darüber hinaus weist die Pumpe 12 des Pumpensystems 70 eine Spülgaszuleitung 60 auf. Dabei ist die Spülgaszuleitung 60 mit dem Wärmtauscher verbunden, so dass Wärme von dem Kühlmittelablauf 22 nicht nur auf den Kühlmittelzulauf 20 übertragen wird, sondern gleichzeitig auch auf die Spülgaszuleitung 60, so dass das Spülgas geeignet vorgewärmt wird.The pump system 70 of the 10 has a coolant circuit in which a coolant inlet 20 and a coolant drain 22 via a heat exchanger 24 with a coolant inlet 28 and a coolant outlet 30 are connected. In addition, the pump points 12 of the pump system 70 a purge gas supply line 60 on. Here is the purge gas inlet 60 connected to the heat exchanger, allowing heat from the coolant drain 22 not just on the coolant supply 20 is transferred, but at the same time on the purge gas supply 60 so that the purge gas is preheated suitable.

Selbstverständlich können die Merkmale der einzelnen Ausführungsformen miteinander kombiniert werden, wo dies sinnvoll ist. Die einzelnen Ausführungsbeispiele stellen keine abschließende Beschreibung der jeweiligen Pumpensysteme dar, sondern können mit Merkmalen der anderen Ausführungsformen ergänzt werden.Of course, the features of the individual embodiments can be combined with each other, where appropriate. The individual embodiments do not represent a conclusive description of the respective pump systems, but can be supplemented with features of the other embodiments.

Claims

Pump system with a vacuum pump ( 12 ), one with the vacuum pump ( 12 ) connected cooling element ( 18 ) with a coolant inlet ( 20 ) and a coolant outlet ( 22 ), for cooling the vacuum pump ( 12 by absorbing and removing heat by a coolant, wherein the coolant inlet ( 20 ) and the coolant outlet ( 22 ) with a heat exchanger ( 24 ) are connected, so that heat from the coolant outlet ( 22 ) on the coolant inlet ( 20 ) is transmitted.

Pump system according to claim 1, characterized in that the heat exchanger ( 24 ) with a coolant inlet ( 28 ) and a coolant outlet ( 30 ) connected is.

Pump system according to claim 2, characterized by a first cooling circuit ( 26 ) for a first coolant, starting from the heat exchanger ( 24 ) over the cooling element ( 18 ) back to the heat exchanger ( 24 ), and a second cooling circuit ( 27 ) for a second coolant, starting from the coolant inlet ( 28 ) over the heat exchanger ( 24 ) to the coolant outlet ( 30 ), so that from the vacuum pump ( 12 ) through the first cooling circuit ( 26 ) with the first coolant dissipated heat through the heat exchanger ( 24 ) to the second cooling circuit ( 27 ) is transferred with the second coolant.

Pump system according to claim 2, characterized by a single cooling circuit, starting from the coolant inlet ( 28 ) over the heat exchanger ( 24 ) to the cooling element ( 18 ), back to the heat exchanger ( 24 ) and the coolant ( 30 ), so that from the vacuum pump ( 12 ) dissipated by the coolant heat through the heat exchanger ( 24 ) on the coolant in the coolant inlet ( 20 ) is transmitted.

Pump system according to one of claims 1 to 4, characterized in that in the coolant inlet ( 20 ) and / or between coolant inlet ( 28 ) and heat exchangers ( 24 ) a control valve ( 32 . 38 ) is arranged to control the flow rate of the coolant.

Pump system according to one of claims 1 to 5, characterized by one with the vacuum pump ( 12 ) connected purge gas supply line ( 60 ) for the provision of purge gas for the pumping process, wherein the purge gas supply ( 60 ) for preheating the purge gas with the heat exchanger ( 24 ) and / or the coolant outlet ( 22 ), so that from the vacuum pump ( 12 ) is transferred by the coolant heat dissipated to the purge gas.

Pump system with a vacuum pump ( 12 ), wherein the vacuum pump ( 12 ) an inlet ( 14 ) and an outlet ( 16 ), one with the vacuum pump ( 12 ) connected purge gas supply line ( 60 ) for providing purge gas for the pumping process, an outlet heater connected to the outlet ( 50 ) for heating the outlet ( 16 ) or an exhaust pipe connected to the exhaust, which is connected to an exhaust pipe heater, for heating the exhaust pipe, wherein the purge gas supply line ( 60 ) with the outlet heating ( 50 ) or the Auspuffleitungsheizung is connected, so that through the Auslassheizung ( 50 ) or exhaust line heating heat is transferred to the purge gas.

Pump system according to claim 7, characterized in that both an outlet heater ( 50 ) as well as an exhaust line heating is provided, which is designed in particular as a common outlet exhaust pipe heating element.

Pump system according to claim 7 or 8, characterized in that the purge gas supply line ( 60 ) the outlet ( 16 ) and / or the exhaust pipe spirals around.

A pump system according to any one of claims 7 to 9, characterized in that the Auslassheizung ( 50 ) and / or the exhaust line heating and in particular the outlet exhaust pipe heating element, the purge gas supply line ( 60 ) at least partially surrounds.

Pump system according to one of claims 7 to 10, characterized by one with the vacuum pump ( 12 ) connected cooling element ( 18 ) with a coolant inlet ( 20 ) and a coolant outlet ( 22 ), for cooling the vacuum pump ( 12 by absorbing and removing heat by a coolant, wherein the coolant inlet ( 20 ) and the coolant outlet ( 22 ) with a heat exchanger ( 24 ) are connected, so that heat from the coolant outlet ( 22 ) on the coolant inlet ( 20 ) is transmitted.

Pump system according to claim 11, characterized by features of claims 2 to 6.

Pump system with a vacuum pump ( 12 ), one with the vacuum pump ( 12 ) connected cooling element ( 18 ) with a coolant inlet ( 20 ) and a coolant outlet ( 22 ), for cooling the vacuum pump ( 12 ) by absorbing and removing heat by a coolant and in the coolant inlet ( 20 ) arranged heating element ( 42 . 50 ) for preheating the coolant.

Pump system according to claim 13, characterized in that the coolant inlet ( 20 ) and the coolant outlet ( 22 ) with a heat exchanger ( 24 ) are connected.

Pump system according to claim 14, characterized by features of claims 2 to 6.

Pump system according to one of claims 13 to 15, characterized by an inlet ( 14 ) and an outlet ( 16 ) of the vacuum pump ( 12 ), one with the vacuum pump ( 12 ) connected purge gas supply line ( 60 ) for providing purge gas for the pumping process, one with the outlet ( 16 ) connected outlet heating ( 50 ) for heating the outlet ( 16 ) or one with the outlet ( 16 ) connected to an exhaust line heating for heating the exhaust pipe, wherein the purge gas supply ( 60 ) with the outlet heating ( 50 ) or the Auspuffleitungsheizung is connected, so that through the Auslassheizung ( 50 ) or exhaust line heating heat is transferred to the purge gas.

Pump system according to claim 16, characterized by features of claims 8 to 12.

Pump system according to one of claims 14 to 17, characterized in that the heating element ( 42 ) is arranged in the flow direction after the heat exchanger.

Pump system according to one of Claims 13 to 18, characterized in that the heating element is an electric heating element ( 42 ), the outlet heating ( 50 ), the exhaust line heater, and / or the exhaust outlet heater.

Method for preheating a coolant in a vacuum pump ( 12 ), in which at least part of the coolant flows through the vacuum pump ( 12 ) absorbed heat to the vacuum pump ( 12 ) supplied coolant is transferred.

A method according to claim 20, wherein a pump system according to any one of claims 1 to 6 is used.

Method according to claim 20 or 21, wherein the coolant is cooled by a heating element ( 42 . 50 ) before passing through the vacuum pump ( 12 ) is preheated.

A method according to any one of claims 20 to 22, wherein a pump system according to any one of claims 13 to 19 is used.

Method according to one of claims 20 to 23, wherein the heating element ( 42 . 50 ) is switched on, as long as no sufficient for the preheating of the coolant heat from the vacuum pump ( 12 ) is generated and the heating element ( 42 . 50 ) is switched off as soon as the vacuum pump ( 12 ) dissipated heat sufficient to preheat the supplied coolant.

Method for preheating a coolant in a vacuum pump ( 12 ), in which the coolant by a heating element ( 42 . 50 ) before passing through the vacuum pump ( 12 ) is preheated.

The method of claim 25, wherein a pump system according to any one of claims 13 to 19 is used.

Method according to claim 25 or 26, in which the heating element ( 42 . 50 ), provided that no heat sufficient for preheating the coolant from the vacuum pump ( 12 ) is generated and the heating element ( 42 . 50 ) is switched off, provided that the vacuum pump ( 12 ) dissipated heat sufficient to preheat the supplied coolant.

Method for preheating a purge gas in a vacuum pump ( 12 ), in which the purge gas by the by the vacuum pump ( 12 ) and / or through which a heating element ( 42 . 50 ) is preheated heat.

The method of claim 28, wherein a pump system according to any one of claims 7 to 12 is used.

The method of claim 28 or 29, wherein the of the vacuum pump ( 12 ) is transferred via a coolant to the purge gas.

Method according to one of claims 28 to 30, wherein the heating element ( 42 . 50 ) an outlet ( 16 ) or one with the outlet ( 16 ) connected exhaust pipe heats up.